TW301017B - - Google Patents

Description

A7 B7 3〇^〇17 五、發明説明（1 ) 本發明係關於一種清潔探針卡的方法，該探針卡具有探 針尖端’用來在電氣設備上的測試墊作電氣接觸，此清潔 方法將被污染的尖端暴露在清潔溶液中。而本發明也和一 種實行此方法的器具有關。 探針卡是被用來測試電氣設備諸如：半導體設備或印刷 電路板的電氣性能。此探針卡具有探針尖端用以放置在受 測試的測試墊上。探針卡通常設計成適合—特殊形式规劃 的測試墊。在應用上來説，探針卡隨著測試時間而性 能上的衰減，因此探針卡需時時清潔以回復其原本之性能 〇 在日本專利JP-A-4-3 3 8 662號文件之英文摘要中揭露了 一種在公開文件中所提到過的方法，藉由使用一清潔溶液 的噴射使一用過的探針卡再生。在這種所知的方法中，探 針尖端被暴露於一中酸或鹼的水溶液中。探針卡以一種樹 脂層的方式，緊緊地黏住一圓柱狀的防護膜來防護噴射。 上述方法的劣勢在於縱使使用防護膜，清潔液的噴射也 會污染探針卡。在實際上溶液的噴射會逸出探針尖端而污 染；諸如探針卡底部的部份，況且，防護膜要令人滿意地 附著到樹脂層是非常難達到的。因爲如果附著力太緊則防 羞膜很不各易鬆開，若附著力相對較弱，又有可能使溶液 滲過介於樹脂層和探針卡之間的縫隙而污染到探針卡的危 險。在實用上有效的使用喷射來清潔探針卡也是有困難的 〇 因此本發明的目的在於消除所述的劣勢。 本紙俵尺度適用中國國家榡準（CNS) A4規格（210x297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本萸) •丨裝 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印裳 A7發明説明（ 田此 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 I冬贫明，其方法的特徵在於探針尖端是被浸 入清潔溶液巾而僅有尾段接觸到《溶液。 .二由此方去可達到清潔探針卡而不會污染到探針卡。由 於僅有探針尖一之尾段被浸入清潔溶液中，所以不需要防 4膜=於疋沒有附著或是鬆開防護膜所衍生問題。 本發明係、基於1認知；即僅需要清潔探針尖端之尾段 就可讓探針卡適當地發揮功能。在已知方式中使用清潔液 喷射幾乎清潔了整段長度的探針尖端。由於大多數的尖端 、毛#又都很丨，用已知的方法很難將溶液嘴射對準尖端之 尾，來清潔尖端之尾段。相反地，本發明的方法使用簡單 的浸入程序來清潔探針尖端的那些接點， 尾段’以幫料成良好的電氣接觸。 …心 T金、銀、白金、鎢、鈀、銅/皱或鉬等物質可被用來 作爲探針尖端。而諸如像金、銀'銅、紹或銲錫等物質有 時以突起點的形式用作爲設備的測試整。探針尖端和測試 墊由不同的物質所製成。在實際上所發現導致不良之電氣 ㈣的冷染物質，4常主要由測試塾產生。，然後產生的物 質會附著在探針尖端上。雖然測試墊是由導電物質所製， 而：般測試塾所產生的物質也是電氣導體，但是卻發現到 :著在探針尖端的詩染物質和氧化會導致不良的電氣接 觸。根據本發明，採用的清潔溶液可溶姓測試整材質卻不溶 敍（或僅輕微溶則探針尖端的材質。故本發明乃基於以下的 I忍知··使用測試墊材料的溶蝕劑來溶蝕探針 分地除去探針尖端上㈣染物及氧化物，而在本質上^ 本紙朵尺度適標率（CNS ) A4規格（2: 297公釐~7 ---------4 裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 1- - —I § 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 -------------B7 五、發明説明（3 ) a攻擊探針尖端的材質。溶蚀可以透過以不通贼是電化學 的方式來完成。 在理想狀況下，探針尖端含有鎢的探針卡被清潔。由於 鎢^常的耐久又可以形成良好的電氣接觸，用於探針尖端 上疋種非常安定的材質。本方法又特別適用清潔於含有鋁 的別試整接觸，使得探針卡上含有銘的污染材質。已知道 鋁會形成一層氧化絕緣物。而探針尖端浸在稀釋過的氟化 氫水性清潔溶液中。該種溶液對鋁來説是一種高度選擇性 的/谷蝕劑，而鎢卻不會被溶蝕。並且此清潔溶液可以應用 在不通電的情況下，即不必爲了清潔探針尖端而對其通入 電流°因此實行本方法是非常簡务的。 在第二個有關本方法的實施例中，所清潔的探針卡其探 針尖端含有鎢或鈀，而污染材質中含有金。在本實施例中 所清潔的探針卡用來測量的測試墊含有金。根據本發明， 附著在探針尖端的污染物質可以被溶解在一種以溶蝕金爲 基礎的方式中，例如，ϋ碑（mu中，镜溶液並不 攻擊探針尖端的鈀或鎢。最好是將尖端浸入含有溶於水的 -琪化种和殊的清潔溶液中.。該溶液可以有一非常好的清潔 效果而不攻擊到探針尖端的鎢或鋁。 本發明也用來清潔一種具有和電氣設備的測試墊做接觸 的^木針尖端之探針卡的器具有關。該器具適用來將探針尖 端曝露於清潔溶液中以清除尖端上的污染物質。 在曰本專利JP-A-4-3 3 8 662號文件之英文摘要中揭露了 此一特性的器具。在這已知的器具中，採用一清潔溶液喷 本纸張尺度適用中國國家操準（CNS ) A4規格（210X297公釐） .....--- 二 I II I ^ -1 -I---— - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、發明説明（ 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 射來再生探針卡。 廷種已知的器具是不易於使用的。舉例來説，一防護膜 必須藉由一樹脂層的方式緊緊地附著在探針卡上。並且此 器具必須喷射清潔溶液，將探針尖端全部曝露在清潔溶液 中。琢噴射必㈣常的均句或是精確地對準探針尖端。 因此本發明的目的在於提供-種簡單易用的器且。 所以根據本發明·，此器具的特徵爲；在此器具的组成上 包含了:個給探針卡用的支律框以及裝清潔溶液的容器， 支撑框疋活動的’以便能將探針卡的探針尖端移向容器。 這種器具極爲簡單且易於使用。在使用過程中，容器中充 禹了 β /絮；^液然後探針尖端被移向清潔溶液。理想上此 器具的特徵爲具有-電氣迴路’可以提供介於探針尖端和 清潔落液間形成電氣接觸的指示。當探針尖端接觸到清潔 液體時，迴路偵測到介於探針尖端和清潔溶液間的電氣接 觸，然後一盞指示燈顯示出此—情況。爲了將可能不是位 在同一高度的所有探針尖端都接處到溶液，在最初的接觸 發生足後，支撑框會移動一段固定的額外距離，以確保所 有的探針尖端都能浸入清潔溶液中。此器具最好的特徵爲 :清潔溶液之容器透過一幫浦連接到_蓄液池，且容器也 具有一溢流孔連接到蓄液池。在使用中，清潔溶液從蓄液 池被打到容器中。容器因而藉由幫浦連接到蓄液池。容器 中的清潔溶液，因容器具有一種類似噴嘴方式的溢流孔而 能保持一固定高度。於是由幫浦所提供之過量的溶液會經 由溢流孔送回蓄液池3容器中固定位置的溶液可使得探針 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） --------i 表______丁 0¾ 、τ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) —丨丨一一五、發明説明（ A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 尖端的浸入程度非常精確，甚至不需要使用電氣迴路來偵 測接於探針尖端和清潔溶液之間的電氣接觸。使用幫浦和 溢流孔又具有另一種優勢在於，清潔溶液可以穩定地被更 新，於疋清潔私序更具再生能力。本發明的器具使用容易 。探針卡放置在支撑框上，而探針尖端浸入溶液中。和已 知的器具做比較，不需要對探針卡提供防護膜，並且使全 邵的探針尖端部份都曝露在清潔溶液中做喷射，在容器中 維持一固定位置的溶液顯得簡單的多了。 本發明在下述參照樣本的繪圖中可被詳細的説明。 圖式之簡要説明： 圖1顯示出一器具的剖面圖，以及清潔探針卡之探針尖端 的方法。 發明之詳細説明； 圖1顯示出一種清潔具有探針尖端4用來和電氣設備的測 4墊做電氣接觸的探針卡1的器具及方法，此方法中經由將 尖鲕4曝路於清潔落液6中，以清潔尖端4上的污染物質。一 般來説，探針卡1包括了許多探針尖端4。探針尖端4通常彎 曲並具有尖銳的尾段丨4以盡可能地在測試墊上作精確的定 位。在此清潔方法中，探針卡丨被放置在支撑框2上，支撑 框2疋可移動的，於是可將探針卡丨的探針尖端4移向充滿清 潔溶液6的容器1〇。根據本發明，尖端依照此種方法浸入清 潔溶液6中，僅使其尾段14接觸到清潔溶液6。爲此目的， 此器具具有可調整的螺絲3。這些螺絲3限制住支撑框2和探 針尖端4的移動。由於螺絲3可以調整，只有尾段14可被接

---------^裝-- • · (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、-=β r 五、 A7 B7 發明説明（6 ) 觸到清潔溶液6。在本清潔方法的應用過程中，平台2緩緩 地移動（向圖1下方）直到被螺絲3限制住移動。於是可以達 到清潔探針卡1而不會污染到探針卡。本發明係基於以下之 認知：！探針卡1適當地發揮功能’只有探針尖端4的尾段 丄4需要被清潔。 清潔溶液6透過幫浦5從蓄有清潔溶液6的蓄液池丨2送往容 器1 〇 a爲使清潔溶液6完成此一目的，容器1 0經由幫浦5連 接到蓄液池1 2。由於容器1 0具有一個溢流噴嘴8使得容器 内的清潔溶液6可保持一固定位置15。由幫浦5所提供之 過量的溶液6經由溢流噴嘴8被送回蓄液池12。在容器1〇内 保持固定位置15的溶液6導致了非常精確的一種浸泡探針尖 端的可能性。使用繁浦5和溢流噴嘴8的附加優勢爲清潔溶 液6可被穩定地更新，於是清潔程序更具再生能力。二於: 發性的清洗來説，一種不具幫浦的大氟簡化排列方式（靜態 清潔）是可被接受的。在這種例子中，—個用來對介於探二 J端和清潔溶液之間的電氣接觸提供指示的電 具有優勢。 以對於一具有鹤的探針尖端4依描述用於含銘的半導體雙 備之測料之探針卡丨料潔料爲料純。根據本發明 ’採用-種可以溶㈣試㈣採用的材f，在本例中爲銘 二^會溶Λ探針尖端所採用的材質’在本例中爲鵪的清 餘溶液來耗探針尖端尾段t 材料的备 ^14 . 洗把无分地除去探針尖端 上的以物。在此例中，鎮質的尖端尾段14被浸入5% 磁^7國國家標準 ί 1-»- - - I -I— I! « I- — I ϋ o ml n -- l^n In TJ. 、-° (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 麵濟部中夬樣準局員x^_合作、社印製 五、發明説明（7 ......—h... 。該種溶液對鋁來説是一種高度選擇 性的落蚀劑’而鎢卻不會被溶蝕。除去了污染物質之後， 尖端4在第二個器具中用水來清洗（未於圖中顯示出來，但 和圖1的器具具有相同的配置，而所供應的清潔液體被更換 成清水）再用乾燥空氣吹乾尖端。然後探針卡的原始性能可 被回復使得探針卡可再度用來測試設備。 在第二個實施例中’描述了清除鈀或鎢探針尖端4上的金 /突起。清潔是在圖1的器具中實行，但使用不同的清潔溶 液6 °探針尖端4上所附著的物質可以溶解在任何已知可溶 #金質，例如以氰或碘化學爲基礎的溶液，該溶液並不會 攻擊探針尖端4上的鈀或鎢。舉例來説，使用水性的碘化鉀 和破的落液6的例子中，一份重量的破和三份重量的碘化钟 溶解在十分重量的水中。爲了選擇性地除去探針尖端上的 /亏染物質’探針尖端4的尾段1 4被浸入於圖1的器具中的清 潔溶液6中15分鐘。然後尖端像上衣個實施例一樣地被用水 清洗和乾澡。然後探針卡的原始性能可被回復使得探針卡 可再度用來測試設備。 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 果 質 溶 尖 I-------f 裝-- » · (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 很清楚地’描述中所代表的實施例僅意謂舉例説明本發 明’而在本發明範圍内的各種變化皆有可能。例如，如 探針尖端由非鎢質的材質所製，而測試墊使用非銘的材 來製造時’對於熟於此道者很容易決定該採用何種清潔 液 '只要採用能妄蝕測試墊材質而不會或輕微溶钱探針 端的材質之溶液。 -10 - 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（210X297公釐）

Claims (1)

1. A8 B8 C8 D8 SC1017 、申請專利範圍 L種清潔探針卡的方法，該探針卡具究探針尖端，用來 在電氣設備上的測試墊作電氣接觸，此方法將被污染的 $崎暴露在清潔溶液中作清潔。其特徵爲探針尖端浸入 ^ ’絮落液時，僅有其尾段接觸到清潔溶液。 2.根據申请專利範圍第1項的方法，其特徵爲所採用的清潔 '谷液可以落钱測試墊所採用的材質，而不會溶蝕或僅輕 微地落蚀探針尖端尾段所採用的材質。 3·根據申請專利範圍第2項的方法，其特徵爲所被清潔的探 針卡的探針尖端含有鎢，而芝染物質含有鋁，尖端所浸 入的是稀釋過的氫水性清潔溶液。 4·根據申請專利範圍第2項的方法，其特徵爲所被清潔的探 針卡的探針尖端含有鎢或把，而污染物質含有金，尖端 所浸入的是含有破和溶於水的琪化钾清潔溶液。 5.種π潔用來和電氣設備上的測試塾作電氣接觸的具有 探針尖端之探針卡的器具，該器具適合用來將尖端暴露 =清潔溶液中以除去尖端上的污染物質，其特徵爲該種 ，具包含了一個探針卡的支撑框和一個裝清潔溶液用的 谷器，支撑框是可移動的以能將探針卡的探針尖端移向 容器。 6-根據申請專利範圍第5項的器具，其特徵爲具有一電子電 .路可以提供介於探針尖端和清潔溶液間形成電氣接觸的 指示。 7·根據申請專利範圍第5項或第6項的器具，其特徵爲此容 器經由一幫浦連接到一清潔溶液的蓄液池，並具有—溢 流孔連接到此蓄液池。 & -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐〉 I----：----------、玎------# (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -----