TW298660B - - Google Patents

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I 五 ___ 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 A7 _ B7_ 發明説明（1 ) 〔發明之領域〕 本發明，係關於旋轉部電流傳達機構，在離子注入裝 置所代表半導體製造裝置、產業用機器人等所使用者，用 Μ傳達電流於內部構件侧，及、對於該內部構件所限定之 角度內Μ相對性加以往復旋轉之外部構件側之間。 〔發明之背景〕 從先前，在半導體製造裝置、產業用機器人等，係做 爲用Μ供應電力到旋轉構件之裝置，主要係使用由滑動環 及電刷所構成之匯電環。又，旋轉構件在預定角度內加Μ 往復旋轉時，係在上述匯電環Κ外也要使用電線。而上述 電線，係要設定可以追隨到旋轉於何處時之長度，並藉由 旋旋構件之位置有多餘時，則線鬆箸。 可是，做為用Μ供應電力到旋轉構件之裝置，使用匯 電瓌時，則會磨損滑動環及電刷。藉此，會產生粉塵、接 觸不良、產生噪音等種種問題的發生。該結果，信賴性降 低，成為必需頻繁維修，壽命也減短。特別是在半導體製 造裝置中，非常盼望削減粉塵產生，及、影遒控制条統之 噪音。 又，在上述構成之電線，係因為會產生電線之斷線及 薄嬈使信賴性降低，且不能有大的旋轉角等問題。 〔發明之概要〕 本發明，係有鑑於上述問題而創作，其目的在於，提 供旋轉部電流傳達機構，可Μ抑制產生粉塵、提高信賴性 ，延長壽命，而且幾乎不必要維修。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0><297公釐） ---“---：----装------1Τ------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -Λ - 4 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 Α7 Β7 i'發明説明（2 ) 本發明之旋轉部電流傳達機構，係爲了達成上述之目 的，係具備有： 内部構件，剖面具有圓形之外壁；及 外部構件，在上述内部構件之間打開環狀空間將該内 部構件配置於以同心圓狀包圍位置，而剖面具有圓形之内 壁；及 皮帶，收容於上述環狀之空間内，而兩端部在上述内 部構件之外壁及外部構件之内壁以相互朝向同方向分別固 定箸，並且具有殫性在中途以圖形折回； 上述內部構件及外部構件之至少一方，係在所限定之 角度内設置為可Μ往復旋轉， 而上述皮帶，係固定於成爲底座之薄糢狀的電氣絕緣 體上至少具有一個導體。 又、上述皮帶，係在薄膜狀之電氣絕緣體的內部，成 為至少埋設一個之導體也可。 若依據上述之構成，則瞽如使内部構件在一方加Μ旋 轉等，並與外部構件之相對角度在預定的範圍內加以變化 ，則皮帶係嬈卷於内部構件之外壁。又、内部構件在另一 方加以旋轉，則皮帶係固定於外部構件之內壁。在任何方 向加Μ旋轉時，也在内部構件及外部構件間的環空間，皮 帶為了防止磨擦或彎曲做爲具有引導作用，皮帶係其兩端 分別固定於內部構件及外部構件之狀態下，將環狀之空間 内Μ滑動加Μ轉動。 上述皮帶，係具有導體並設於電氣絕緣體上或電氣絕 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂 5 Α7 Β7 經濟部中央標準局員工消費合作杜印^ i、發明説明（3 ) 縳體內，譬如，在由聚亞胺所構成薄膜内埋設銅箔等之薄 膜狀電線等。皮帶如上述加以轉動時，則皮帶藉由具有銅 箔等之導體，一邊容許内部構件及外部構件之相對性旋轉 角的變化，一邊可Μ用Μ傳達電流於外部構件側及内部構 件側之間。 因此，在上述皮帶及上述外壁及上述内壁之間藉由滑 動成為磨損減少，而可Μ使粉塵之產生減少。進而，在皮 帶不加上過度的力量則很難斷裂，所Μ幾乎不要維修。再 加上，內部構件及外部構件係通過皮帶的導體，經常Μ電 氣連接著。未經由滑動部，所Μ可Μ確實電氣導通，高的 信賴性。 因此，很少產生粉塵及矂音，幾乎不要維修，所以可 Μ實現信賴性高的旋轉部電流傳逹機構。 又、導體係在電氣絕緣體上或電氣絕緣體內所固定箸 ，將複數之導體，在預定之間隔（絕緣距離）中可以容易 加以固持。此等之各導體間，係譬如利用由聚亞胺等所構 成薄膜狀之電氣絕緣體相互所絕緣箸。該結果，藉由增加 皮帶之導體數，可Μ容易增加電流之霄路數用以傳達旋轉 機構。 更且，主要利用内部構件之外周部份環狀空間之構造 ，譬如，內部構件為空心或實心等，而不利用内部構件之 内部構造。該結果，在既設之裝置可動部的周圍容易可Μ 加Μ後裝。 又、在上述之構成中，在面向上述環狀空間壁面之內 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本萸) 裝. 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（21 〇 X 297公釐） 6 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 298660 A7 B7__ 五、發明説明（4 ) 部構件及/或外部構件的壁面，將矽膠或縮聚醛共聚物樹 脂等之電氣絕緣體加以黏接設置所形成壁面絕緣部為較佳 。藉此，皮帶之各導體及各壁面，係藉由壁面絕緣部相互 所絕緣。因此，在内部構件本體或外部構件本體具有導電 性時，也可Μ用以防止各導體間的短路。同樣，卽使内部 之各導體露出之後，也可以防止各導體間之短路，可以防 止以電氣連接於導體之各機器的損傷。 以選擇性而言，在上述之構成中，在面向上述環狀空 間壁面之内部構件及/或外部構件的壁面，加Μ塗敷氟樹 脂，而在該壁面使持有電氣絕緣性也可。或是，將上述壁 面加Κ陽極氧化用以形成陽極氧化皮膜，而在該壁面使持 有電氣絕緣性也可。進而，為了提高電氣絕緣性或耐磨損 '性等諸特性，而在上述壁面形成陽極氧化及膜之後，將氟 樹脂做爲加以浸漬塗敷也可。譬如，内部構件及外部構件 係由鋁或其合金所構成時，首先，將面向環狀空間之壁面 全部或預定之部份加以陽極氧化，用Μ形成多孔質且硬質 之耐食性氧化皮膜。其次，在該皮膜將聚四氯乙烯（PTFE) 等之氟樹脂加浸漬塗敷。如此，在形成於鋁表面之硬質氧 化皮膜藉由將氟樹脂加Μ浸漬塗敷，可獲得如下所述優異 諸特性之壁面。 ① 可獲得具有所需之電氣絕緣性的壁面，可以確實用 Μ防止上述皮帶之各導體間的短路。 ② 可獲得優異耐磨耗性，不會剝離之壁面。缌之，壁 面成爲光滑，而磨擦被緩和（低磨擦係數），所Μ、上述 本紙張尺度逋用中國固家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） ----:---r---^------iT------i (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _B7__ 五、發明説明（5 ) 皮帶之耐久性更提高，同時實現圓滑之動作。又，壁面， 係在本體之鋁表面實施了直接處理（即、浸漬塗敷著氟樹 脂之鋁硬質氧化皮膜），所以在上述皮帶加κ動作時也幾 乎不會有剝離現象。因此，可Μ使粒子（粉塵）之產生更 進一層的減少。 ③ 可獲得硬質之壁面，成爲容易處理，又、幾乎不會 產生擦傷、破損。 ④ 可獲得優異耐熱性之壁面，由於熱也不會引起變形 、變性等不希望的事態。 其他，在耐蝕性、尺寸加工精密度等之各點，也成為 可獲得具有優異恃性之壁面。 更且本發明其他目的，特擞、及優點，係藉由以下所 示記載必定可充分明瞭。又、本發明之優點，係參考附加 圖面在Κ下加以說明必定可Κ明白吧！ 〔圖式之簡單說明〕 苐1圖係顯示本發明之一實施例，並顯示有關本實施 例具有靜電吸盤之旋轉部電流傳達機構剖面圖。 第2圖係上述靜電吸盤之軸方向剖面圖。 第3圖係具有上述旋轉部電流傳達機構之薄膜狀電線 的剖面圖。 第4圖係顯示上述薄膜狀電線之電線固定部，第1圖 中之Ρ部放大詳細剖面圖。 第5圖係顯示具有上述旋轉部電流傳逹機構之旋轉構 件及固定構件之壁面，第2圖中之Q部放大詳細剖面圖。 本紙張尺度逋用中國國家橾準（CNS ) A4規格（2丨0'〆297公釐） ---;---r---种衣------iT------1 (請先閲讀背面之注意事項再填离本頁) 8 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 A7 —B7 --- -------—---- 發明説明（6 ) 第6圖係顯示上述旋轉部電流傳達機構之動作說明圖 〇 第7圖係顯示上述旋轉部電流傳達機構之尺寸及旋轉 角之關係說明圖。 第8圖係顯示本發明其他實施例，並顯示有關本實施 例在面向具有旋轉部電流傳逹機構之旋轉構件及固定構件 的環狀空間之壁面放大詳細剖面圖。 〔實施例〕 〔實施例1〕 對於本發明之一實施例，若根據第1至7圖加Μ說明 *則如下所述。 有關本實施例之靜電吸盤，係在離子注入裝置中為了 用Μ吸箸固持晶圓等所使用箸，改變角度進行離子注入處 理爲了實施節距注入等之處理，吸著晶圓之載置面成辱可 Μ注復旋轉預定之角度內。 如第2圖所示，上述靜電吸盤，係具備旋轉部電流傳 逹機構1。而旋轉部電流傳達機構1，係具有用Μ旋轉之 旋轉構件2 (内部構件）及固定構件3 (外部構件）。又 、旋轉部電流傳達機構1，係可Μ由固定構件3到旋轉構 件2用Μ供應正負之直流電壓。 在上述旋轉構件2之上面，係固設箸圓板狀之夾具底 座4。在前述夾具底座4上，係更且，裝配箸圖板狀之靜 電吸盤本體6 (載置部）用Μ固定並吸著晶圓等之吸著對 象物。上述，對於吸箸對象物5，譬如進行離子注入等之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Α7 Β7 1、發明説明（7 ) 處理。 另外，上述旋轉構件2之下面，係在旋轉軸7之上軸 被固著著，而未圖示直接馬達等之驅動力係通過旋轉軸7 所傳逹。又、固定構件3，係固著於固定部支持構件8。 在本例，則旋轉軸7，係直接傳動馬達之輪出軸，而固定 部支持構件8，係上述直接傳動馬達之固定部。 上述靜電吸盤本體6，則在本例係羼雙極型，具備有 :由陶瓷所構成之電介體9;及、並排於該電介體9所埋 設之平面形狀2値半圓形之電極10a、10b。而各電極10a 、l〇b，係藉由未圖示配線，連接於旋轉部電流傳達機構 1 0 藉由外部電源11，譬如± 350V程度之直溁電壓，係通 過旋轉電流傳達機構1外加於兩電極10a、l〇b間，則用以 被包兩電極10a、l()b之電介體9中產生感應分極現象，利 用靜電氣力產生吸箸力。靜電吸盤本體6，係藉由所載置 之吸著對象物5產生之吸箸力用以吸著保持。 又，在靜電吸盤本體6之載置面外周部，係設有爪12 爲了用Μ裝睨吸著對象物5。該爪12,係藉由未圖示氣缸 等之驅動源進退於上下方向，並可Κ用以昇降吸著對象物 5。藉由爪12舉起之吸著對象物5係使用搬送機器人等所 搬送。 若使用如此之靜電吸盤本髏6，則在吸著對象物5之 上面不會接觸其他之物可Μ用Μ保持吸箸對象物5，所以 在離子注入處理等之時，對吸著對象物5之表面用以防止 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝_ 訂 10 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明説明（8 ) 粒子附箸上係屬有利。 接著，根據第1及2圖，對於旋轉部電流傅達機構1 ，加Μ詳細說明。又、第1圖係第2圖所示x-x線箭視 剖面圖。 換言之，如第1圖所示，旋轉部電流傳達機構1之旋 轉構件2 ,係做為圓板狀，在其下部剖面具有圓形之外壁 2a。外壁2a之中心軸，係與固箸於旋轉構件2之下面旋轉 軸7之中心軸設定為能成同樣。又、固定構件3，係剖面 Μ略呈L字狀形成為環狀。固定構件3之内壁3a，係其剖 面爲圓形，而前述内壁3a之中心軸係與旋轉構件2之外壁 2a的中心軸能成為同樣，並配置於旋轉構件2之周圍。該 結果，固定構件3之内壁3a及旋轉構件2之外壁2a係對置 箸，並在兩者，係形成著環狀之空間14。又、在本例，則 旋轉構件2及固定構件3，皆使用鋁合金製成。 在上述環狀之空間14内，係收容箸很薄而具有彈性之 薄膜狀電線15 (帶狀）。薄膜狀電線15之一端條固著於設 置在固定構件3之電線固定部16,而另一端係固著於設在 旋轉構件2之電線固定部16。又、薄膜狀電線15係在兩電 線固定部16· 16中，相互朝向同方向而固著著，且在中途 Μ圓形折回箸。其折回部，在第1圖中Μ 15a加Μ顯示。 如第3圖所示，薄膜狀電線15·係對靜電吸盤本體6 爲了用以外加正負之直流電壓而具有2片之導體17· 17, 隔開預定之間隔並將並排之上述2片導體17· 17,使用成 為底座之絕緣薄膜18 (薄膜狀之電氣絕緣體）及成爲蓋之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉Α4規格（210 X 2Μ公釐） ---------ρ---裝-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 線 11 經濟部中央標準局員工消費合作社印褽 Α7 Β7 i、發明説明（9 ) 絕緣薄膜19 (薄膜狀之電氣絕緣體）夾入，並使用電氣絕 緣性之拈接劑20分別加Μ粘接所構成。做為導體17，係使 用銅箔之情形為多，但，不锈鋼或鋁等也被使用。又、在 絕緣薄膜18· 19,從電氣絕緣性、機械強度、及彈性層面 而言，係使用聚亞胺或聚酯等。上述各導體17 ♦ 17間，及 、各導體17及旋轉構件2之外壁2a或固定構件3之内壁3a 之間，係使用絕緣薄膜18 · 19相互所絕緣著。 薄膜狀電線15之寬幅，在原理性而言並無限制，但導 體17之寬幅及厚度係依據流動電流之大小所決定。進而， 各導體17間之絕緣距離，係依據外加之電壓及絕緣薄膜18 • 19的材質所決定。 又，成為薄膜狀電線15之赛命指檫的屈曲破斷次數， 係依存於薄膜狀電線15之厚度，及、薄糢狀電線15之折回 部15a之曲率半徑I·。換言之，薄膜狀電線15之厚度變厚則 屈曲破斷次數係變小，上述曲率半徑r變短則屈曲破斷次 數變小。對於薄膜狀電線15求得屈曲破斷次數係預先被設 定時，則將導體17或絕緣薄膜18 · 19之厚度要加以變薄， 可以將上述曲率半徑r變短，可Μ將旋轉部電流傳達機構 1全體之尺寸變小。又，上述回率半徑r，係如第1圖所 示，將旋轉構件2之外壁2a的半徑做為Rt，將固定構件3 之内壁3a的半徑做爲R,，則表示r=(Ra-Rt)/2。 在本實施例中，薄膜狀電線15之尺寸及材質，係如下 所述。兩絕緣薄膜18 ♦ 19，係由聚亞胺所構成，分別之厚 度，係設定爲25Wm。又、做為導體17 · 17，係使用厚度為 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝.

<1T 12 A7 B7 298660 五、發明説明（i〇 ) 3 5wni且導體寬幅為3 ram之壓延銅箔。各導體17. 17間之間 隔（絕緣距離），係設定為3 mm。藉此，薄膜狀電線15之 厚度，係成為約145 Jim。又、在本實施例中，具有旋轉構 件2之外壁2a的半徑R1，係設定為58、5mm，及、固定構 件3之回壁3a的半徑R,，係設定為78 mm，曲率半徑r係成 為9. 75m。以上所示尺寸關係，係薄膜狀電線15之屈曲破 斷次數超過10111次Μ上之實驗結果所獲得。 又、如第4圖所示，在上述薄膜狀電線15及各電線固 定部16 · 16之連接部，係為了補強設有電氣絕緒性之補強 板21。在各連接部中，薄膜狀電線15之端部，係夾住上述 補強板21在長度方向所折回並固定著。上述浦強板21，係 在不影键於上述薄膜狀電線15内部之導體17 ♦ 17位置用螺 釘鎖緊在電線固定部16 (未圖示）。各導體17· 17,係充 «在形成於絕緣膜19的孔，譬如介於由焊錫等所構成焊錫 部22,而與電線固定部16内之未圖示配線Μ電氣接觸著。 進而，旋轉構件2侧之電線固定部16内之配線，係連接於 第2圖所示各電極10a、10b。又、上述之電線固定部16及 電極10a、10b之間的配線，係未圖示。又，固定構件3侧 之電線固定部16内的配線，係連接於外部電源11。上述各 電線固定部16,係第2圖所示旋轉構件2及固定構件3為 金颶製時，則持有電氣絕緣機能為較佳。 又，如第5圖所示，在旋轉構件2之外壁2a、及固定 構件3之內壁3a，係做為壁面絕緣部，譬如裝設箸矽膠製 之絕緣片23。更且，在環狀空間14上面之旋轉構件2的端 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） I 裝 I I I I 訂— I I I I I 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 _ 1 ^ _ 13 經濟部中央標準局貝工消費合作社印裝 Α7 Β7 五、發明説明（11 ) 面，及、前述環狀空間14下面之固定構件3的端面，係做 爲壁面絕緣部，譬如裝設箸縮緊醛共聚物樹脂製之絕緣板 24 ° 其次，第6圖所示旋轉構件2順時鐘旋轉時之各部動 作。第6圖中之箭頭B，係顯示旋轉構件2之旋轉方向及 旋轉角度。該旋轉部電流傳達機構1中，係旋轉構件2及 固定構件3之間環狀空間14，則兼備引導作用並用以防止 薄膜狀電線15的磨擦或彎曲。旋轉構件2加以旋轉於B方 向，刖薄膜狀電線15 ,係成爲外形卷繞於旋轉構件2之外 壁2a，而旋轉構件2旋轉於另一方（反B方向），則薄膜 狀電線1 5，係成為外形固定於固定構件3之内壁3a。第6 圖中，係顯示旋轉於順時鐘方向時，但反方向之旋轉時其 動作剛好與第6圖成為相反。 還有，在第1至7圖中，薄膜狀電線15,係圖示來接 連於外壁2a及四壁3a，但，此為薄膜狀電線15為了表示容 易了瞭。而實際上，係薄膜狀電線15，係分別連接於外壁 2a及内壁3a。 旋轉構件2之最大容許旋轉角度Θ，係如第7圖所示 ，依存於旋轉構件2之外壁2a的半徑R i，固定構件3之内 壁3a的半徑Ra，及、薄膜狀電線15之長度L等。若無視於 薄膜狀電線1 5之厚度，則旋轉自0，可Μ表示如下式⑴ Θ = (180/ π ) (Rt + R«) {L - n (Ra - Ri)//2}/RiRa .... ⑴ 上式⑴，係可M導出如下。即，如第7圖所示，將旋 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝_ ,ιτ 14 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（12 ) 轉構件2之旋轉角度做為Yi [rad]，將對固定構件3之薄 膜狀電線15之卷繞角度做為Ya[rad]。如前述，薄膜狀電 線15之折回部15a的曲率半徑r，則為rMRa-R, >/2，將此 不變，則如第7圖旋轉構件2正在旋轉時，則成立下式⑵ 及⑶。 Y»Ra = (Y, - Ya) Ri ____ ⑵ Y* = {R, / (R, + Ra)} Y, ____ ⑶ 上式⑶，係將上式⑵加M變形所取得。 另外，在第7圖中，旋轉構件2，係左旋轉之最大位 置時，將對固定構件3之薄膜狀電線15的卷繞長度做為U ，則因為薄膜狀電線15之折回部15a的長度L3=tt (fU-FM/2 ，所Μ成立Μ下之式⑷、⑸、及(6)。

La-L-L3=L-/r (Rs - Ri) / 2 ...⑷ Y a R a = La ....... ⑸

Ya = <L - π (R, - Ri) / 2} / R. ____ ⑹ 上式⑻，係由上式⑷及⑸取得。 此時之旋轉構件2的旋轉角Υ^，係將上式⑶加以變形 而成為，= {(Rt + Ra> / RWYa ⑺ 將上式⑻代入於上式⑺，而取得下式⑻

Yt = (Ri+Ra) {L-n (R.-RO/2} /RiRa ____ ⑻ 將上式⑻之單位由rad變換爲度，則可取得前述之式 譬如，以本實施例，則具有旋轉構件2之外壁2a的半 徑1^係設定為58.5mm，固定構件3之内壁3a的半徑R»，係 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) -裝. -訂 15 Α7 Β7 經濟部中央標準局員工消费合作社印製 五、發明説明（13 ) 設定為78 mm。又、薄糗狀電線15之長度L，係設定為475 mm。因此，由前述之式⑴，最大旋轉角0係成為761.6〔 度〕° 如Μ上，薄膜狀電線15,係不會滑過旋轉構件2之外 壁2a表面及固定構件3之内壁3a表面而加Μ轉動。藉此， 在薄膜狀電線15及上述外壁2a及上述内壁3a之間由於滑動 磨損很少，粉塵之產生也很少。更且，上述外壁2a及上述 内壁3a藉由發揮引導之功能，使薄膜狀電線15順利轉動。 不會過度加力於薄膜狀電線1 5，所Μ薄膜狀電線15則難Μ 斷裂。該結果，壽命變長，幾乎不必維修。再加上，薄膜 狀電線15,係不會有纏繞現象，而且，配置於更接近在旋 轉軸7之位置，所Μ比起先前所使用鬆懈之電線，可Μ取 得較大之最大容許旋轉角。 又、在薄膜狀電線15中，絕緣薄膜18、19,係對於導 體17增加負擔拉力，且用以保護導體17。再加上，做爲導 髏17使用絕緣薄膜18· 19比金屬的彎曲更強，所Μ薄膜狀 電線15,係第1圖所示在折回部15a成為難Μ折彎。該結 果，可以更提高薄膜狀電線15之耐久性及信賴性。 更且，薄膜狀電線1 5對於彎曲變強，所Μ可以將薄膜 狀電線15之折回部15a的曲率半徑r長度變短。譬如，如本 實施例，薄膜狀電線15之厚度為程度時，若有約10 «以上之曲率半徑r，則薄膜狀電線15係可Μ持有相當的 壽命。該結果，可Μ削減環狀之空間14,也可Μ將旋轉部 電流仿逹機構1加Μ小型化。 (请先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝- ,11- 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） 16 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 A7 B7__ 五、發明説明（Π ) 又、旋轉構件2側之電線固定部16及固定構件3側之 電線固定部16，係通過薄膜狀電線15內之導體，而經常以 電氣連接箸。不經由滑動部，所以可確實Μ電氣導通，並 具髙信賴性◦又不經由滑動部，所Μ可以削減噪音的產生 。恃別是在半導體製造裝置中，噪音或產生粉塵給與很大 影鬱，所Μ藉由此等之削減效果很大。 藉此，一邊可容許旋轉構件2所限定之角度內的往復 旋轉，一邊可以確實用Μ傳達電流在旋轉構件2及固定構 件3之間。 該結果，如第2圖所示，在往復預定之角度内用以旋 轉之靜電吸盤本體6，由外部電源11可供應電力。藉由 使吸著於靜電吸盤本體6之吸著對象物5往復旋轉，使對 於上述吸箸對象物5之處理均勻性可以提高，在形成於吸 著對象物5之溝部的側壁可以毫無偏差加以實施離子注入 等之處理。 又，如第3圖所示，各導體17，係夾於絕緣薄膜18及 19之間，在絕緣距離中所固定箸。各導體17，係不會相互 糾纗，而且相互所絕緣著，所Μ在薄膜狀電線15内，容易 設置複數之導體17。再加上，各導體17係藉由絕緣薄膜18 • 19所包圍，所Μ各導體17，及、旋轉構件2之外壁2a或 固定構件3之內壁3a間也被絕縳箸。 但，不設置絕緣薄膜19，將各導體17，在絕緣薄膜18 上適當的絕縳距離中使用拈接劑20加Μ固定做為構成也可 。在該構成中，Μ設置絕緣片23，絕緣板24，即使旋轉構 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Μ規格（210Χ297公缝） ---:---:----------1Τ------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 17 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（15 ) 件2或固定構件3具有導電性，也可Μ防止各導體17間之 短路。可是，在該構成中，為了防止導體17之切斷•損傷 ，成為必須加Μ考慮導體17之厚度。 但是*本發明之發明者，在曰本專利（案）特開平8-96915號公報中，記載著對於做為皮帶使用導體帶所構成 。在如此之構成中，則旋轉部電流傳達機構在增加傳達電 流之電路.數時，係必須增加導體帶之條數。藉此，可Μ防 止各導體帶間之接觸，爲了加以確保絕緣，藉由使用電氣 絕緣體所形成之環狀的絕緣隔壁等，將環狀的空間14内在 對應於上述導體帶之條數的空間加以分割，並將導體帶收 容於各空間内。 但是，在本實施例中，增加電路數時，可Μ增加具有 薄膜狀電線15之導體17之數，所Μ不必要增加薄膜狀電線 15之條數。該結果，如上述在環狀之空間14内不必要設置 絕緣隔壁等，而旋轉部電流傳達機構1可Μ容易增加用Μ 傳達之電流電路數。 更且，將薄膜狀電線15,藉由加Μ積層複數之絕緣薄 膜所形成，並在各絕緣薄膜間藉由加以埋設導體17,在薄 膜狀電線15之厚度方向也可以設置複數之導體17。藉此， 旋轉部電流傳達機構1將用Μ傳達電流之電路數，進而可 Μ再增加。 加上，上述之導體帶，係因為使用金羼等所形成具有 某程度之硬度，使曲率半徑r過短則該帶會彎曲。但是， 在本實施例中，導體17之厚度，係設定極薄。又、絕緣薄 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210X297公釐） I n n I I n I n I n ^ (請先閲讀背面之注意事項再填离本頁) 18 298660 A7 B7 五、發明说明（16 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 膜1S ♦ 19，其厚度係設定很薄，同時譬如聚亞胺等，比起 同樣厚度之金羼使用柔軟性及折曲強度之點Μ優異材質所 形成。該結果，可Μ更加延長薄膜狀電線1 5之壽命。 又、主要利用旋轉構件2之外周部份的環狀空間14之 構造，譬如，旋轉構件2係空心或實心等，不管旋轉構件 2之内部構件如何。該結果，在既設裝置之可動部周圍容 易進行後裝。 更且，將絕緣Η 23，及、絕緣板24放在環狀之空間14 之壁面，藉由加Μ著設於旋轉構件2及固定構件3之壁面 ，使各導體17成為露出狀態時，將各導體17及旋轉構件2 或固定構件3之間，也可Μ相互加以絕緣。各導體17成為 露出狀態時，則露出後之前述各導體17間被短路不希望流 動大的電流，而旋鞞部電流傳達機構1、外部電源11，或 將連接於旋轉部電流傳達機構1之負荷會有損傷之虞，但 ，在如此之情形中，也可Μ用Μ防止各部之損傷。 還有，在本實施例中，係將旋轉構件2及旋轉軸7做 為不同之構件，但使旋轉構件2兼用旋轉軸7也可。又、 不管旋轉構件2係空心、或實心。還有，固定構件3，係衹 要其内壁3a之剖面爲國形卽可，而不管其外周部之形狀如 何。 更且，在本實施例之旋轉部電流傳逹機構1，係配置 於外周之固定構件3所固定箸，而配置於內部之旋轉構件 2加以旋轉著，但、固定構件及旋轉構件之關係為相對性 之關係，所以使外周部加Μ旋轉，而使内周部被固定箸也 I I I I I I 裝 I I 訂— I I I I I 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS〉Α4規格（210Χ297公釐〉 19 Α7 Β7 i、發明説明（Π ) 可。又、使外周部及内周部雙方不被固定也可。 還有，在本實施例，係將旋轉部電流傳逹機構1使用 於靜電吸盤，但並不限定於此，譬如半導體製造裝置中供 電於往復旋轉部份時，或、產業用機器人中供電於往復旋 轉之柄時等，可以適用於其他被限定之角度内具有往復旋 轉之可動部的裝置。又，也可以使用於供電Μ外之配線。 〔實施例2 ] 對於本發明其他實施例根據第8圖加以說明，則如Μ 下所述。還有，爲了說明上方便起見，與實施例1所示構 件具有相同機能之構件，則附與相同编號，並省略其說明 〇 在實施例1，係在面向環狀空間14之旋轉構件2及固 定構件3的壁面，做爲壁面絕緣部，使絕緣片23及絕緣板 24加Μ粘接設置著。可是，該情形，由於粘接，隨著薄膜 狀電線15之動作，絕緣片23及絕緣板24會有剝離之處。總 之，薄膜狀電線15係一邊接合於絕緣片23第一邊加Μ動 作，所Μ動作中，絕緣片23等，係成為與薄膜狀電線15 重複接觸•非接觸狀態，加上過度的應力時，會產生磨損 、剝離之可能性。萬一，絕緣Η 23等一剝離，則在環狀之 空間14内成為產生粒子（粉塵），但如此之事態從耐久性 及信賴性之觀點並非所希望的。 因此，有關本實施例之旋轉部電流傳逹機構，係如第 8圖所示，取代設置絕緣片23及絕緣板24，而在壁面本身 形成絕緣膜30,並在壁面本身使持有電氣絕緣性。該絕緣 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ----U---:----裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 鯉濟部中央標準局員工消费合作社印製 20 A7 B7 五、發明说明（18 ) 膜30，係如下所形成。 旋轉構件2及固定構件3，係與實施例1同樣，屬於 鋁合金製，而在此等旋轉構件2及固定構件3之預定壁面 加以形成絕緣膜30。所諝預定壁面，係指面向環狀之空間 14之壁面的全部或一部份，詳細而言，係由外壁2a、内壁 3a、環狀空間14上面之旋轉構件2的端面，及、環狀空間 14下面之固定構件3的端面所構成壁面之全部或一部份。 形成方法，首先，將預定之壁面加Μ陽極氧化，並加Μ形 成多孔質且硬質之陽極氧化皮膜。如此所形成鋁硬質氧化 皮膜，係具有良好之耐蝕性及電氣絕緣性。其次，為了提 高電氣絕緣性等諸特性，在該皮膜將聚四氟乙烯（PTFE)等 之氟樹脂加以浸漬塗層，用Μ形成絕緣膜3。 如上述所形成絕緣膜30，具有如下之特性。 ① 具有所需之電氣絕緣性，確實用以防止薄膜狀電線 15內之各導體17間的短路。譬如，將膜厚30 Mm〜60 Wm 之絕緣膜30 如上述加以形成，可Μ用K實現絕緣電阻 2 X 10"Ω，耐電壓性2800V良好之電氣絕縳性。 經濟部中央標準局貝工消費合作社印聚 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ② 優異耐磨損性，不會有剝離狀態。絕緣膜30，係低 摩擦抵抗，總之，絕緣膜30所形成壁面係成為非常光滑之 壁面。又，絕緣膜30,係屬氟樹脂所浸漬塗敷之鋁氧化膜 ，所以薄糢狀電線15加以動作時也幾乎不會有剝離現象。 因此，可Κ確實抑制粒子之產生。 ③ 絕緣膜30係屬硬質，所以在表面難Μ擦傷，也成爲 容易處理。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > Α4規格（210Χ297公釐〉 21 -0 1 A7 B7 五、 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 發明説明（19 ④絕緣膜30係具有優異耐熱性，所Μ由於熱不會引起 變形，變性等。 除上述之外，絕緣膜30，係具有耐蝕性，非阽著性， 尺寸加工精密度等優異特性，將如此之絕緣膜30藉由形成 於旋轉構件2及固定構件3之預定的壁面，可以用Μ實現 高耐久性及高信賴性之旋轉部電流傳達機構。 邇有，如上述，將旋轉構件2及固定構件3之預定壁 面加Μ陽極氧化，用以形成硬質氧化皮糢，可以附與壁面 某程度之電氣絕緣性。或，不加以形成氧化膜，僅在壁面 加以塗敷氟樹脂，也可以使壁面持有某程度之電氣絕緣性 。若有必要使滿足電氣絕緣性等諸特性，則形成如此絕緣 膜30也可。在本實施例，不僅電氣絕緣性也綜合性加Μ考 廉耐磨損性，難以剝離等諸點，如上述，將鋁加Μ陽極氧 化在形成後之多孔性硬質氧化皮膜加以浸漬塗敷氟樹脂， 而形成著絕緣膜30。氟樹脂，僅做為浸漬於氧化膜也可， 使浸漬，而且，做爲塗敷於氧化膜上也可。又，做爲氟樹 脂係使用PTFE，但使用除此之外的氟樹脂也可。更且，旋 轉構件2及/或固定構件3係由鋁合金Μ外之材料所構成 時，也將表面加Μ多孔質化並進行浸漬塗敷氟樹脂，或， 將氟樹脂藉由加Μ塗敷於表面等方法而形成絕緣糢30於壁 面，並使在該壁面可Μ持有電氣絕緣性。 如Μ上所述，藉由在旋轉構件2及固定構件3之預定 的壁面加以形成絕緣膜30，壁面本身，係可Μ防止各導體 17間之短路卻成為具有充分之電氣絕縳性，同時，可Κ確 本紙浪尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） ----1---r---^------iT------# (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 22 經濟部中央標準局員工消費合作杜印褽 A7 _________ B7 五、發明説明（2〇 ) 實抑制粒子之產生。 在發明之詳細說明的項中成為具體性之實施態樣或實 施例，係始終，將本發明之技術内容做明白之陳述，但並 非僅限定於如此之具體但而做狹義之解釋，在本發明之精 神及Μ下所記載之申請專利範圍事項之範圍内，可以做種 種變更並加Μ實施。 元件檷號對照 1.. .旋轉部電流傳達機構 14. ..環狀之空間 2.. .旋轉構件 15. ..薄膜狀電線 3.. .固定構件 16. ..電線固定部 4.. .夾具底座 15a ...折回部 5.. .吸著對象物 17. ..導體 6.. .靜電吸盤本體 18. ..絕緣薄膜 7.. .旋轉軸 19. ..絕緣薄膜 8.. .固定部支持構件 20. ..粘接劑 9.. .電介體 21. ..補強板 10a, l〇b____電極 22. ..焊錫部 11.. .外部電源 23. ..絕緣片 12.. .爪 24. ..絕緣板 2a . ..外壁 30. ..絕緒膜 3a . ..内壁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐） ' 裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -23 -

Claims (1)

1. 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 _ 六、申請專利範圍 1. 一種旋轉部電滾傳逹機構，係具備有： 内部構件，剖面具有圓形之外壁；及， 外部構件，在與上述内部構件之間打開環狀之空 間並將該内部構件配置成Μ同心圓狀包圍之位置，而 剖面具有圓形之内壁；及 皮帶，收容於上述環狀之空間内，而兩端部係在 上述内部構件之外壁及外部構件之内壁相互朝向同一 方向並分別被固定箸，而且具有彈性在中途以圓形所 折回； 上述内部構件及外部構件之至少一方，在所限定 之角度內設置為可Μ往復旋轉， 而上述皮帶，係固定於成為底座之薄膜狀電氣絕 緣體上而至少具有一個導體者。 2. 如申請專利範圍第1項之旋轉部電滾傳達機構，在面 向上述環狀空間之壁面的内部構件及/或外部構件之 壁面上，設有由電氣絕緣體所構成之壁面絕緣部。 3 .如申請專利範圍第1項之旋轉部電流傳達機構，其中 上述内部構件係在所設定之角度内設置為可Μ往復旋 轉，而上述外部構件係被固定者。 4. 如申請專利範圍第1項之旋轉部電流傳達機構，其中 內部構件悌被固定，而上述外部構件係在所限定之角 度内設置為可Μ往復旋轉者。 5. —種旋轉部電流傳達機構，係具備有： 内部構件，剖面具有圓形之外壁；及 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 24 裝 —訂 線 (請先閱讀背面之注$項再填寫本貰) 經濟部中央標準局貝工消費合作杜印裝 A8 ’ B8 C8 D8 六、申請專利範圍 外部構件，在與上述内部構件之間打開環狀之空 間並將該内部構件配置成以同心圓包圍之位置，而剖 面具有圓形之内壁；及 皮帶，收容於上述環狀之空間内，而兩端部係在 上述內部構件之外壁及外部構件之内壁相互朝向同一 方向並分別被固定著，而且具有彈性在中途Μ圓形所 折回； 上述内部構件及外部構件之至少一方，在所限定 之角度內設置為可Μ往復旋轉， 而上述皮帶，係在薄膜狀之電氣絕緣體内部，至 少成為埋設一個導體。 6. 如申請專利範圍第5項之旋轉部電流傳達機構，係在 面向上述環狀空間之壁面的内部構件及/或外部構件 之壁面，設有由電氣絕緣體所構成之壁面絕緣部。 7. 如申請專利範圍第5項之旋轉部電流傳逹機構，其中 面向上述環狀空間之壁面的全部或一部份之内部構件 及/或外部構件之壁面，係具有電氣絕緣性者。 8 ·如申請專利範圍第5項之旋轉部電流傳逹機構，其中 上述内部構件係在所限定之角度内設置為可以往復旋 轉，而上述外部構件係被固定者。 9.如申請專利範圍第5項之旋轉部電流傳達機構，其中 上述內部構件係被固定，而上述外部構件係在所限定 之角度内設置為可Μ往復旋轉者。 10.如申請專利範圍第5項之旋轉部電流傳逹機構，其中 本紙張尺度遑用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ^ -25 - I I I裝 mu 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 298660 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 經濟部中央標隼局負工消費合作社印製 上述導體，係由銅箔所構成者。 11.如申請專利範圍第5項之旋轉部電流傳逹機構’其中 上述薄糢狀之電氣絕緣體，係由聚亞胺所構成者。 12 ·如申請專利範圍第6項之旋轉部電流傳達機構，其中 上述壁面絕緣部，係由矽膠或縮聚醛共聚物樹脂所構 成者。 13. 如申請專利範圍第7項之旋轉部電流傳達機構，其中 上述壁面，係由絕緣膜所構成，而該絕緣膜，係硬質 之陽極氧化及膜、氟樹脂之塗敷膜、氟樹脂所浸漬塗 敷硬質之陽極氧化皮暌中任何之一者。 14. 如申請專利範圍第13項之旋轉部電流傳逹機構，其中 上述內部搆件及外部構件，係至少上述環狀空間之近 傍部份由鋁或其合金所構成，而上述絕緣膜，係氟樹 脂所浸漬塗敷之硬質鋁的陽極氧化皮膜者。 15-如申請專利範圍第14項之旋轉部電流傳達機構，其中 上述氟樹脂，係屬聚四氟乙烯（PTFE)者。 16.—種靜電吸盤，係具備有： 載置部，至少具有2値電極，藉由外加於此等電 極間之電壓由於產生靜電力，將被載置之對象物用Μ 吸箸保持於表面；及 旋轉部電流傳達機構，用以傳逹電流於上述電極 5 而上逑旋轉部電滾傳達機構，係具備有： 旋轉構件，與上述載置部以直接性或間接性加Μ I II I I I 訂 i I 線 广#先聞讀背希之注意事項#填寫本萸) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 一 2 6 一 經濟部中央榡率局貝工消f合作社印褽 A8 B8 C8 D8 _ 六、申請專利範圍 結合*而剖面具有圓形之外壁，同時在所限定之角度 内設置為可以往復旋轉； 固定構件，在與上述旋轉構件之間打開環狀空間 並將該旋轉構件配置成Μ同心圓狀包圍之位置，而剖 面具有圓形之内壁；及 皮帶，收容於上述環狀之空間内，而兩端部在上 述旋轉構件之外壁及固定構件之内壁相互朝向同一方 向並分別被固定著，而且具有彈性在中途Μ圓形折回 而上述皮帶，係在薄膜狀之電氣絕緣體的内部， 至少成為埋設一値導體者。 17. 如申請專利範圍第〖6項之靜電吸盤，係在面向上述環 狀空間之壁面的旋轉構件及/或画定構件之壁面，設 有由電氣絕緣體所構成之壁面絕緣部。 18. 如申請專利範圍第16項之靜電吸盤，其中面向上述環 狀空間之壁面的全部或一部份之旋轉構件及/或固定 構件的壁面，係具有電氣絕緣性者。 19 .如申請專利範圍第16項之靜電吸盤，其中上述導體， 係由銅箔所構成者。 20·如申請專利範圍第16項之靜電吸盤，其中上述薄膜狀 之電氣絕緣體，係由聚亞胺所構成者。 21 _如申請專利範圍第17項之靜電吸盤，其中上述壁面絕 緣部，係由矽膠或縮聚醛共聚物樹脂所構成者。 22 ·如申請專利範圍第丨8項之靜電吸盤，其中上述壁面， 本紙張认適用中關家棣準（cNs ) （2川趙7公羞） ---------装------^------0 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)： ABCD 夂、申請專利範圍 係由絕緣膜所構成，而該絕緣膜，係硬質之陽極氧化 皮膜，氟樹脂之塗敷膜，及，氟樹脂所浸漬塗敷之硬 質陽極氧化皮膜中任何之一者。 23_如申請專利範圍第22項之靜電吸盤，其中上述旋轉構 件及固定構件，係至少上述環狀空間之近傍部份由鋁 或其合金所構成，而上述絕緣膜，係氟樹脂所浸漬塗 敷之硬質鋁的陽極氧化皮膜者。 24 如申請專利範圍第23項之靜電吸盤，其中上述氟樹脂 ，係屬聚四氟乙烯（PTFE)者。 ! I 裝 I - - I n H ^ 線 (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁)： 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 I紙 本 準 標 家 國 國 中 用 遑 I釐 祕 9 2 X 8 2