TW202315470A - 電路板及具有該電路板之半導體封裝 - Google Patents

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Abstract

根據一實施例，一種電路板包括：一絕緣層，其包括一頂部表面及一底部表面；及一貫通電極，其穿過該絕緣層之該上部表面及該底部表面，其中該貫通電極包括：一第一電極部分，其鄰近於該絕緣層之該底部表面而安置且具有一第一傾角使得一寬度朝向該絕緣層之該頂部表面減小；一第二電極部分，其安置於該第一電極部分上且具有一第二傾角使得一寬度朝向該絕緣層之該頂部表面增加；及一第三電極部分，其安置於該第一電極部分與該第二電極部分之間且具有不同於該第一傾角及該第二傾角的一第三傾角；其中該第一電極部分之最接近該第三電極部分的一部分之一寬度小於或等於該第三電極部分之一寬度，且其中該第二電極部分之最接近該第三電極部分的一部分之一寬度小於或等於該第三電極部分之一寬度。

Description

電路板及具有該電路板之半導體封裝
實施例係關於一種電路板及一種包括該電路板之半導體封裝。
隨著電子組件之小型化、重量減小以及整合加速，電路之線寬已小型化。特定言之，隨著半導體晶片之設計規則以奈米尺度整合，其上安裝有半導體晶片之封裝基板或印刷電路板之電路線寬已小型化至若干微米或更小。
已提議各種方法以便增加印刷電路板之電路整合程度，亦即，以便減小電路線寬。出於防止在鍍銅之後形成圖案之蝕刻步驟中出現電路線寬損失之目的，已提議半加成製程(SAP)方法及經修改之半加成製程(MSAP)。
接著，用於將銅箔嵌入於絕緣層中以便實施精細電路圖案的嵌入式跡線基板(下文中被稱作「ETS」)方法已用於行業中。在ETS方法中，代替在絕緣層之表面上形成銅箔電路，將銅箔電路以嵌入形式製造於絕緣層中，且因此不存在由於蝕刻引起之電路損失且有利於使電路間距小型化。
同時，近來，為了滿足對無線資料訊務之需求，已努力開發改良型第5代(5th generation；5G)通信系統或預5G通信系統。此處，5G通信系統使用超高頻(毫米波)頻帶(子6GHz、28GHz、38GHz或更高頻率)以達成高資料傳送率。
另外，為了減少無線電波之路徑損失且增加無線電波在超高頻帶中之傳輸距離，在5G通信系統中，已開發出諸如波束成形、大規模多 輸入多輸出(大規模MIMO)及陣列天線之整合技術。考慮到其可由數百個在頻帶中之波長的主動天線組成，天線系統變得相對較大。
由於此天線及AP模組經圖案化或安裝於印刷電路板上，因此印刷電路板之低損失極為重要。此意謂構成主動天線系統之若干基板應整合至一個緻密單元中，該等基板亦即，天線基板、天線功率饋送基板、收發器基板及基頻基板。
另一方面，此電路板包括貫通電極。貫通電極可執行各種功能，例如信號傳輸、熱耗散及屏蔽功能。然而，當貫通電極在具有為300μm或更大之厚度的絕緣層中形成時，習知電路板具有諸如空隙之各種問題。
實施例提供一種電路板及一種包括該電路板之半導體封裝，該電路板包括具有一新穎結構之一貫通電極。
另外，實施例提供一種電路板及一種包括該電路板之半導體封裝，該電路板包括一貫通電極，該貫通電極包括至少三個側反曲部分。
又，實施例提供一種能夠增加一通孔及一貫通電極之一中心區域之一面積的電路板，及一種包括該電路板之半導體封裝。
待由所提議實施例解決之技術問題不限於上文所提及之技術問題，且自以下描述提議之實施例所屬領域的技術人員可清楚地理解未提及之其他技術問題。
根據一實施例，一種電路板包括：一絕緣層，其包括一頂部表面及一底部表面；及一貫通電極，其穿過該絕緣層之該上部表面及該底部表面，其中該貫通電極包括：一第一電極部分，其鄰近於該絕緣層之該底部表面而安置且具有一第一傾角使得一寬度朝向該絕緣層之該頂部表面減小；一第二電極部分，其安置於該第一電極部分上且具有一第二傾角使得一寬度朝向該絕緣層之該頂部表面增加；及一第三電極部分，其安置於該第一電極部分與該第二電極部分之間且具有不同於該第一傾角及該第二傾角的 一第三傾角；其中該第一電極部分之最接近該第三電極部分的一部分之一寬度小於該第三電極部分之一寬度；且其中該第二電極部分之最接近該第三電極部分的一部分之一寬度小於該第三電極部分之一寬度。
另外，根據一實施例，一種電路板包括：一絕緣層，其包括一頂部表面及一底部表面，及穿過該頂部表面及該底部表面之一通孔，其中該通孔包括：一第一孔部分，其鄰近於該絕緣層之該底部表面而安置且具有一第一傾角以朝向該絕緣層之該頂部表面減小寬度；一第二孔部分，其安置於該第一孔部分上且具有一第二傾角以朝向該頂部表面增加寬度；及一第三孔部分，其安置於該第一孔部分與該第二孔部分之間且具有不同於該第一傾角及該第二傾角的一第三傾角；其中該第一孔部分之最接近該第三孔部分的一部分之一寬度小於該第三孔部分之一寬度，且其中該第二孔部分之最接近該第三孔部分的一部分之一寬度小於該第三孔部分之一寬度。
另外，該電路板進一步包含穿過該絕緣層且對應於該通孔之一貫通電極；其中該貫通電極包括：對應於該第一孔部分之一第一電極部分；對應於該第二孔部分之一第二電極部分；及對應於該第三孔部分之一第三電極部分。
另外，該電路板進一步包含：一第一襯墊，其安置於該絕緣層之該底部表面上且連接至該第一電極部分；及一第二襯墊，其安置於該絕緣層之該頂部表面上且連接至該第二電極部分。
另外，該第一電極部分之最接近該第一襯墊的一部分之一寬度小於該第一襯墊之一寬度；且其中該第二電極部分之最接近該第二襯墊的一部分之一寬度小於該第二襯墊之一寬度。
另外，該第三電極部分之一頂部表面之一寬度滿足該第三電極部分之一底部表面之一寬度的95%至105%之一範圍。
另外，該第三傾角垂直於該絕緣層之該頂部表面或該底部表面。
另外，該第一電極部分及該第二電極部分相對於該第三電極部分具有一相互對稱形狀。
另外，該第一傾角及該第二傾角在不同方向上傾斜。
另外，該絕緣層之一厚度為300μm或更大。
另外，該絕緣層包括：一第一絕緣部分，其中安置有該第一電極部分；一第二絕緣部分，其中安置有該第二電極部分；及一第三絕緣部分，其中安置有該第三電極部分。
另外，該第一絕緣部分至該第三絕緣部分包括彼此相同的絕緣材料。
另外，該絕緣材料包括一預浸料。
另外，該第一絕緣部分及該第二絕緣部分中之各者的一厚度具有在該第三絕緣部分之一厚度之35%與65%之間的一範圍。
另外，該第一電極部分具有一梯形形狀，其中該第一電極部分之一底部表面的一寬度大於該第一電極部分之一頂部表面的一寬度，其中該第二電極部分具有一梯形形狀，其中該第二電極部分之一底部表面的一寬度小於該第二電極部分之一頂部表面的一寬度，且其中該第三電極部分具有一矩形形狀，其中該第三電極部分之一底部表面的一寬度與該第三電極部分之一頂部表面的一寬度相同。
同時，根據一實施例，一種半導體封裝包括：一電路板，其包括一安裝襯墊；一連接部分，其安置於該電路板之該安裝襯墊上；一晶片，其安置於該連接部分上；及一模製層，其用於模製該晶片；其中該電路襯墊包括：一絕緣層，其包括一頂部表面及一底部表面；及穿過該絕緣層之該上部表面及該底部表面之一貫通電極，其中該貫通電極包括：一第一電極部分，其鄰近於該絕緣層之該底部表面而安置且具有一第一傾角使得一寬度朝向該絕緣層之該頂部表面減小；一第二電極部分，其安置於該第一電極部分上且具有一第二傾角使得一寬度朝向該絕緣層之該頂部表面增加；及一第三電極部分，其安置於該第一電極部分與該第二電極部分之間且具有不同於該第一傾角及該第二傾角的一第三傾角；其中該第一電極部分之最接近該第三電極部分的一部分之一寬度小於該第三電極部分之一寬度；其中該第二電極部分之最接近該第三電極部分的一部分之一寬度小於該第三電 極部分之一寬度，其中該晶片包括安置為在一寬度方向上彼此間隔開的一第一晶片及一第二晶片，其中該第一晶片對應於一中央處理器(CPU)，且其中該第二晶片對應於一圖形處理器(GPU)。
根據一實施例，一種電路板包括：一絕緣層，其包括一頂部表面及一底部表面；及一貫通電極，其穿過該絕緣層之該上部表面及該底部表面，其中該貫通電極包括：一第一電極部分，其鄰近於該絕緣層之該底部表面而安置且具有一第一傾角使得一寬度朝向該絕緣層之該頂部表面減小；一第二電極部分，其安置於該第一電極部分上且具有一第二傾角使得一寬度朝向該絕緣層之該頂部表面增加；及一第三電極部分，其安置於該第一電極部分與該第二電極部分之間且具有不同於該第一傾角及該第二傾角的一第三傾角；其中該第一電極部分之最接近該第三電極部分的一部分之一寬度等於該第三電極部分之一寬度，且其中該第二電極部分之最接近該第三電極部分的一部分之一寬度等於該第三電極部分之一寬度。
另一方面，根據另一實施例，一種電路板包括：一絕緣層，其包括一頂部表面及一底部表面，及穿過該頂部表面及該底部表面之一通孔，其中該通孔包括：一第一孔部分，其鄰近於該絕緣層之該底部表面而安置且具有一第一傾角以朝向該絕緣層之該頂部表面減小寬度；一第二孔部分，其安置於該第一孔部分上且具有一第二傾角以朝向該頂部表面增加寬度；及一第三孔部分，其安置於該第一孔部分與該第二孔部分之間且具有不同於該第一傾角及該第二傾角的一第三傾角；其中該第一孔部分之最接近該第三孔部分的一部分之一寬度等於該第三孔部分之一寬度，且其中該第二孔部分之最接近該第三孔部分的一部分之一寬度等於該第三孔部分之一寬度。
另外，該電路板進一步包括穿過該絕緣層且對應於該通孔之一貫通電極；其中該貫通電極包括：對應於該第一孔部分之一第一電極部分；對應於該第二孔部分之一第二電極部分；及對應於該第三孔部分之一第三電極部分。
另外，該第三電極部分之一頂部表面之一寬度與該第三電極 部分之一底部表面之一寬度相同，其中該第三電極部分之該底部表面的該寬度與該第一電極部分中具有一最小寬度的一區域之一寬度相同，且該第三電極部分之該頂部表面的該寬度與該第二電極部分中具有一小寬度的一區域之一寬度相同。
另外，該絕緣層包括安置有該第一電極部分之一第一區域；安置有該第二電極部分之一第二區域；安置有該第三電極部分之一第三區域；且其中該第三區域中之一玻璃纖維的一密度大於該第一區域及該第二區域中之各者中之一玻璃纖維的一密度。
另外，該絕緣層包括一第一絕緣部分及該第一絕緣部分上之一第二絕緣部分；其中該第一絕緣部分包括鄰近於該絕緣層之該底部表面之一第一-第一區域；及鄰近於該絕緣層之該底部表面之一第一-第二區域；其中該第二絕緣部分包括鄰近於該絕緣層之該底部表面之一第二-第一區域；及鄰近於該絕緣層之該頂部表面之一第二-第二區域；其中該絕緣層之該第一區域對應於該第一絕緣部分之該第一-第一區域，其中該絕緣層之該第二區域對應於該第二絕緣部分之該第二-第一區域，且該絕緣層之該第三區域對應於該第一絕緣部分之該第一-第二區域及該第二絕緣部分之該第二-第一區域。
另外，該電路板進一步包括：一第一襯墊，其安置於該絕緣層之該底部表面上且連接至該第一電極部分；及一第二襯墊，其安置於該絕緣層之該頂部表面上且連接至該第二電極部分。
另外，該第一電極部分之最接近該第一襯墊的一部分之一寬度小於該第一襯墊之一寬度；且該第二電極部分之最接近該第二襯墊的一部分之一寬度小於該第二襯墊之一寬度。
另外，該第三電極部分之一頂部表面之一寬度滿足該第三電極部分之一底部表面之一寬度的95%至105%之一範圍。
另外，該第三傾角垂直於該絕緣層之該頂部表面或該底部表面。
另外，該第一電極部分及該第二電極部分相對於該第三電極 部分具有一相互對稱形狀。
另外，該第一傾角及該第二傾角在不同方向上傾斜。
另外，該絕緣層包括一預浸料，該預浸料包括一樹脂及玻璃纖維。
另外，該第一電極部分具有一梯形形狀，其中該第一電極部分之一底部表面的一寬度大於該第一電極部分之一頂部表面的一寬度，其中該第二電極部分具有一梯形形狀，其中該第二電極部分之一底部表面的一寬度小於該第二電極部分之一頂部表面的一寬度，且其中該第三電極部分具有一矩形形狀，其中該第三電極部分之一底部表面的一寬度與該第三電極部分之一頂部表面的一寬度相同。
同時，根據一實施例，一種半導體封裝包括：一電路板，其包括一安裝襯墊；一連接部分，其安置於該電路板之該安裝襯墊上；一晶片，其安置於該連接部分上；及一模製層，其用於模製該晶片；其中該電路襯墊包括：一絕緣層，其包括一頂部表面及一底部表面；及穿過該絕緣層之該上部表面及該底部表面之一貫通電極，其中該貫通電極包括：一第一電極部分，其鄰近於該絕緣層之該底部表面而安置且具有一第一傾角使得一寬度朝向該絕緣層之該頂部表面減小；一第二電極部分，其安置於該第一電極部分上且具有一第二傾角使得一寬度朝向該絕緣層之該頂部表面增加；及一第三電極部分，其安置於該第一電極部分與該第二電極部分之間且具有不同於該第一傾角及該第二傾角的一第三傾角；其中該第一電極部分之最接近該第三電極部分的一部分之一寬度等於該第三電極部分之一寬度，其中該第二電極部分之最接近該第三電極部分的一部分之一寬度等於該第三電極部分之一寬度，其中該晶片包括安置為在一寬度方向上彼此間隔開的一第一晶片及一第二晶片，其中該第一晶片對應於一中央處理器(CPU)，且其中該第二晶片對應於一圖形處理器(GPU)。
當在作為具有某一厚度或更大(例如300μm或更大)之核心層的絕緣層中形成貫通電極時，實施例將絕緣層劃分成複數個絕緣部分 (例如第一至第三絕緣部分)，且因此，形成穿過該等絕緣部分中之各者之電極部分(例如第一至第三電極部分)。另外，在首先經由電鍍後製程(post plating process)形成構成貫通電極之第三電極部分之後，藉由分別在第三電極部分之下部部分及上部部分上形成第一電極部分及第二電極部分而形成實施例之最終貫通電極。亦即，首先藉由應用電鍍後方法來形成對應於實施例中之貫通電極之中心的第三電極部分，且接著分別在第三電極部分下方及上方形成第一電極部分及第二電極部分。因此，實施例可防止產生未填充於貫通電極之電極部分中之空的空間。因此，實施例防止在貫通電極中出現諸如空隙或凹坑的問題，藉此改良貫通電極之物理可靠性及電可靠性。
另外，根據實施例，安置於構成貫通電極之複數個電極部分之中心處的第三電極部分係經由電鍍後製程而形成，且因此頂部表面與底部表面的寬度實質上相同。因此，相比於比較實例中之具有沙漏形狀之貫通電極，該實施例可增加貫通電極之面積，且因此，根據貫通電極之功能的效應可最大化。舉例而言，當貫通電極具有信號屏蔽功能時，可進一步改良信號屏蔽效應。舉例而言，當貫通電極具有熱耗散功能時，可進一步改良熱耗散特性。
此外，藉由在絕緣層之中心區域中包括玻璃纖維之密集區域而使玻璃纖維部分地曝露於實施例之通孔之中心區域中。另外，在覆蓋經由通孔曝露之玻璃纖維的同時，可形成實施例之貫通電極。在此狀況下，經曝露之玻璃纖維起到增加通孔內壁之粗糙度的作用，且因此，當形成貫通電極時可改良絕緣層與貫通電極之間的接合力。因此，在實施例中，有可能解決由於電路板之各種使用環境中出現的翹曲而使貫通電極與絕緣層分離的問題，且因此可改良電路板之物理可靠性及電可靠性。
10:絕緣層
11:第一孔部分
12:第二孔部分
20:通孔
30:第一貫通電極
31:空的空間
40:第二貫通電極
110:絕緣層/第一絕緣層
111:第一絕緣部分
112:第二絕緣部分
113:第三絕緣部分
120:貫通電極
121:第一電極部分
121-1:第一晶種層
122:第二電極部分
122-1:第二晶種層
123:第三電極部分
130:第一圖案層
140:第二圖案層
150:第二絕緣層
155:第二貫通電極
160:第三圖案層
170:第三絕緣層
175:第三貫通電極
180:第四圖案層
190:第一保護層
195:第二保護層
210:第一連接部分
220:晶片
225:端子
230:模製層
240:第二連接部分
1110:絕緣層/核心層
1110a:第一絕緣部分
1110a1:第一-第一區域
1110a2:第一-第二區域
1110b:第二絕緣部分
1110b1:第二-第一區域
1110b2:第二-第二區域
1111:第一區域
1111-1:第一玻璃纖維
1112:第二區域
1112-1:第二玻璃纖維
1113:第三區域
1113-1:第三玻璃纖維
1120:貫通電極
1121:第一電極部分
1122:第二電極部分
1123:第三電極部分
1130:第一圖案層
1140:第二圖案層
BS:底部表面
CB:載體板
CB1:載體絕緣層
CB2:金屬層
M1:第一遮罩
M2:第二遮罩
M3:第三遮罩
OR:開口
T:厚度
T1:第一厚度
T2:第二厚度
T3:第三厚度
TH:通孔
TH1:第一孔部分
TH2:第二孔部分
TH3:第三孔部分
TS:頂部表面
t:厚度
W1:寬度
W2:寬度
W3:寬度
W4:寬度
W5:寬度
W6:寬度
w1:寬度
θ1:內角
θ2:內角
θ3:內角
θ4:內角
θ5:內角
θ6:內角
圖1A為用於解釋根據第一比較實例之電路板之問題的視圖。
圖1B為用於解釋根據第二比較實例之電路板之問題的視圖。
圖2及圖3為展示根據第一實施例之電路板的視圖。
圖4A為用於解釋根據一實施例之第一電極部分及第二電極部分之側表面之傾角的視圖。
圖4B為用於解釋根據一實施例之第三電極部分之側表面之傾角的視圖。
圖5為展示根據第二實施例之電路板的視圖。
圖6為展示根據第三實施例之電路板的視圖。
圖7為展示根據第四實施例之電路板的視圖。
圖8為用於解釋圖6之絕緣層的視圖。
圖9為用於解釋在圖6或圖7中形成之貫通電極的視圖。
圖10為展示根據一實施例之半導體封裝的視圖。
圖11至圖24為按製程之次序展示圖2中所展示之電路板之製造方法的視圖。
[最佳模式]
在下文中，將參考隨附圖式詳細地描述本發明之實施例。
然而，本發明之精神及範疇不限於所描述實施例之一部分，且可以各種其他形式且在本發明之精神及範疇內實施，實施例之元件中之一或多者可選擇性地經組合及替換。
此外，除非另外明確地定義及描述，否則用於本發明之實施例中的術語(包括技術及科學術語)可被視為與一般熟習本發明所屬技術者通常理解之涵義相同的涵義，且諸如常用詞典中所定義之彼等術語的術語可被解釋為具有與其在相關技術上下文中之涵義一致的涵義。另外，本發明之實施例中所使用的術語用於描述該等實施例，且並不意欲限制本發明。
在本說明書中，除非片語中另外具體陳述，否則單數形式亦可包括複數形式，且在以「A及(及)B、C中之至少一者(或多者)」描述時可包括可以A、B及C組合的所有組合中之至少一者。另外，在描述本發明之實施例之元件時，可使用諸如第一、第二、A、B、(a)及(b)之術 語。
此等術語僅用於區分元件與其他元件，且該等術語不限於元件之本質、次序或次序。另外，當一元件被描述為「連接」、「耦接」或「連接」至另一元件時，其不僅可包括當該元件直接「連接」至、「耦接」至或「連接」至其他元件時，且亦包括當該元件由另一元件在該元件與其他元件之間「連接」、「耦接」或「連接」時。
另外，當被描述為形成或安置於各元件之「上(上方)」或「下(下方)」時，「上(上方)」或「下(下方)」不僅可包括當兩個元件直接彼此連接時，而且亦可包括當一或多個其他元件形成或安置於兩個元件之間時。另外，當表達為「在……上(上方)」或「在……之下(下方)」時，其可不僅包括基於一個元件之上部方向且亦包括基於一個元件之下部方向。
-比較實例(先前技術之結構及問題)-
圖1A為用於解釋根據第一比較實例之電路板之問題的視圖，且圖1B為用於解釋根據第二比較實例之電路板之問題的視圖。
在下文中，將參考圖1A至圖1B描述根據比較實例之電路板之問題。
在解釋比較實例之前，需要高密度電路板以及電子裝置之高功能化及半導體裝置之高整合。因此，電路板具有多層結構。
此多層電路板應用於之產品群組包括覆晶球狀柵格陣列(FCBGA)及覆晶晶片尺度封裝(FCCSP)。且應用於FCBGA或FCCSP之電路板包括核心層。另外，核心層具有300μm或更大之厚度以實現多層建立。另外，貫通電極形成於核心層中以用於傳導每一層之電路圖案。貫通電極可藉由用導電材料填充穿過核心層之上部表面及底部表面之通孔來形成。然而，如上文所描述之核心層具有300μm或更大之厚度，且因此形成比較實例之通孔及/或貫通電極的製程具有以下問題。
如圖1A之(a)中所展示，在第一比較實例中，製備待用作核心層之絕緣層10。在此狀況下，絕緣層10之厚度(t)可為300μm或更大。
在第一比較實例中，通孔可藉由雷射處理形成於絕緣層10中。此時，由於絕緣層10具有300μm或更大之厚度(t)，因此難以僅在絕緣層10之一側上處理通孔。因此，一般而言，當使用雷射在諸如核心層之絕緣層10中形成通孔時，分別執行在絕緣層10之上部表面及底部表面上形成通孔的製程。
舉例而言，當藉由雷射處理在絕緣層10中形成通孔時，執行在絕緣層10之頂部表面上形成通孔之第一孔部分以對應於通孔之目標大小的製程及在絕緣層10之底部表面上形成連接至通孔之第一孔部分之第二孔部分的製程。
然而，如在圖1A之(b)中，當第一孔部分11及第二孔部分12形成為對應於如上文所描述之目標大小時，會發生未穿過問題，此係因為第一孔部分11與第二孔部分12並未彼此連接。
因此，在第一比較實例中，如在圖1A之(c)中，第一孔部分及第二孔部分形成為具有大於通孔之目標大小的大小以便解決未穿過問題。然而，當執行此製程時，通孔具有大於目標大小之寬度w1。因此，存在一個問題，即難以將第一比較實例中的通孔及藉由填充通孔形成之貫通電極的大小調整至所要目標大小。此外，當執行用導電材料填充通孔之內部的製程時，由於通孔之大小增大而出現諸如空隙(通孔之一部分未被填充的現象)或凹坑(貫通電極之上部或底部表面凹陷的現象)之電鍍問題。
又，如在圖1B之(a)及(b)中，第二比較實例藉由使用電腦數值控制(computer numerical control；CNC)鑽孔代替雷射而在絕緣層10中形成通孔20。並且，在使用CNC鑽孔之狀況下，通孔20具有與頂部表面及底部表面之寬度相同的寬度。並且，第二比較實例之通孔20用導電材料填充以形成貫通電極。在此狀況下，第二比較實例之通孔20具有柱狀形狀，該柱狀形狀在頂部表面及底部表面上具有相同的寬度。然而，與具有沙漏形狀之圖1A之通孔不同，通孔20不包括電鍍橋。因此，存在一個問題，即難以在通孔20中均勻地填充導電材料。舉例而言，如圖1B之(c)中所展示，形成於通孔20中之第一貫通電極30的電鍍在通孔之外部而非通孔20之中 心處完成。因此，存在一個問題，即未經電鍍之空的空間31存在於中心中。舉例而言，形成於通孔20中之第二貫通電極40具有一個問題，即上部表面及底部表面包括具有彎曲表面(例如朝向中心凹入之彎曲表面)而非平坦表面的凹坑部分。為了解決此問題，以孔堵塞方法填充第二比較實例之通孔20的內部。然而，孔堵塞方法包括複數個電鍍製程及一孔堵塞製程，且因此存在電鍍製程增加的問題。另外，孔堵塞製程具有一個問題，即通孔內部之部分並未藉由使用制板執行孔堵塞而填充。在此狀況下，孔堵塞製程係使用銅填充通孔之一部分且使用填充物填充剩餘部分的方法。然而，填充物係由與構成絕緣層10之預浸料以及銅不同的材料製成。因此，使用孔堵塞方法製造之電路板具有由於預浸料、銅與填充物之間的熱膨脹係數之差而容易失真的結構，且因此容易開裂。
因此，實施例使得能夠在形成於具有300μm或更大之厚度之核心層中的通孔中形成具有改良之電可靠性及物理可靠性的貫通電極。舉例而言，實施例提供包括具有新結構之貫通電極的電路板以及包括該電路板之半導體封裝。
-電子裝置-
在描述實施例之前，具有晶片安裝於實施例之電路板上的結構的半導體封裝可包括於電子裝置中。
在此狀況下，電子裝置包括主板(未圖示)。該主板可實體連接及/或電連接至各種組件。舉例而言，主板可連接至實施例之半導體封裝。各種晶片可安裝於半導體封裝上。廣泛地，諸如揮發性記憶體(例如DRAM)、非揮發性記憶體(例如ROM)及快閃記憶體之記憶體晶片、諸如中央處理器(例如CPU)、圖形處理器(例如GPU)、數位信號處理器、加密處理器、微處理器及微控制器之應用程式處理器晶片，以及諸如類比至數位轉換器及特殊應用IC(application-specific IC；ASIC)之邏輯晶片可安裝於半導體封裝上。
另外，實施例提供一種半導體封裝，其能夠在一個基板上安裝至少兩種不同類型的晶片同時減小連接至電子裝置之主板的半導體封裝 之厚度。
在此狀況下，電子裝置可包括智慧型手機、個人數位助理、數位視訊攝影機、數位靜態攝影機、網路系統、電腦、監視器、平板電腦、膝上型電腦、迷你筆記型電腦、電視、視訊遊戲、智慧型手錶、汽車及其類似者。然而，實施例不限於此，且除了此等裝置以外亦可為處理資料的任何其他電子裝置。
-第一實施例之電路板-
圖2及圖3為展示根據第一實施例之電路板的視圖。特定言之，圖2為用於解釋根據實施例之電路板中之核心層之整體結構的視圖，且圖3為用於詳細解釋根據第一實施例之核心層中所包括的貫通電極之結構的視圖。
圖2及圖3，電路板包括絕緣層110、貫通電極120、第一圖案層130及第二圖案層140。
該實施例之電路板可具有多層結構。舉例而言，實施例之電路板可包括複數個絕緣層。然而，圖2及圖3可展示具有多層結構之電路板中的核心層。另外，實施例之貫通電極120可形成為穿過作為核心層之絕緣層110。
絕緣層110可為核心層。舉例而言，絕緣層110可包括預浸料。絕緣層110可增加電路板之實體強度以改良翹曲特性。
實施例之絕緣層110之預浸料可藉由用環氧樹脂浸漬呈織物薄片形式之纖維層(諸如用玻璃紗線編織之玻璃織物)，且接著執行熱壓來形成。然而，實施例不限於此，且構成絕緣層110之預浸料可包括呈用碳纖維紗線編織之織物薄片形式的纖維層。
特定言之，絕緣層110可包括樹脂及安置於樹脂中之增強纖維。樹脂可為環氧樹脂，但不限於此。樹脂不特別限於環氧樹脂，且舉例而言，分子中可包括一或多個環氧基，或替代地，可包括兩個或多於兩個環氧基，或替代地，可包括四個或多於四個環氧基。另外，絕緣層110之樹脂可包括萘基，例如可為芳香胺型，但不限於此。舉例而言，樹脂可包括雙酚A 型環氧樹脂、雙酚F型環氧樹脂、雙酚S型環氧樹脂、苯酚酚醛型環氧樹脂、烷基酚酚醛型環氧樹脂、聯苯型環氧樹脂、芳烷基型環氧樹脂、二環戊二烯型環氧樹脂、萘型環氧樹脂、萘酚型環氧樹脂、具有酚羥基的苯酚及芳族醛之縮合物的環氧樹脂、聯苯芳烷基型環氧樹脂、茀型環氧樹脂樹脂、二苯并型環氧樹脂、異氰尿酸三縮水甘油酯、橡膠改質環氧樹脂、磷基環氧樹脂及其類似物，以及萘基環氧樹脂、雙酚A型環氧樹脂及苯酚酚醛環氧樹脂、甲酚酚醛環氧樹脂、橡膠改質環氧樹脂及磷基環氧樹脂。另外，增強纖維可包括玻璃纖維、碳纖維、芳族聚醯胺纖維(例如，芳族聚醯胺基有機材料)、耐綸、二氧化矽基無機材料或二氧化鈦基無機材料。增強纖維可配置於樹脂中以在平面方向上彼此交叉。
同時，可使用玻璃纖維、碳纖維、芳族聚醯胺纖維(例如，芳族聚醯胺基有機材料)、耐綸、二氧化矽基無機材料或二氧化鈦基無機材料。
實施例之絕緣層110可劃分成複數個部分。舉例而言，絕緣層110可在厚度方向上包括第一絕緣部分111、第二絕緣部分112及第三絕緣部分113。此處，儘管絕緣層110包括第一絕緣部分111、第二絕緣部分112及第三絕緣部分113，但其可實質上構成一個絕緣層。
舉例而言，絕緣層110包括頂部表面(TS，頂部表面)及底部表面(BS，底部表面)。另外，第一圖案層130及第二圖案層140可分別安置於絕緣層110之底部表面BS及頂部表面TS上。此處，絕緣層110之底部表面BS可意謂第一絕緣部分111之底部表面、第二絕緣部分112之底部表面及第三絕緣部分113之底部表面中的任一者。另外，絕緣層110之頂部表面TS可意謂第一絕緣部分111之頂部表面、第二絕緣部分112之頂部表面及第三絕緣部分113之頂部表面中的任一者。特定言之，絕緣層110之底部表面BS可意謂第一絕緣部分111之底部表面。另外，絕緣層110之頂部表面TS可意謂第二絕緣部分112之頂部表面。
另外，一個絕緣層110實質上由第一絕緣部分111、第二絕緣部分112及第三絕緣部分113構成的事實可意謂在除第一絕緣部分111 之底部表面及第二絕緣部分112之頂部表面之外的表面上沒有形成圖案層。舉例而言，圖案層可不形成於第一絕緣部分111之頂部表面、第二絕緣部分112之底部表面以及第三絕緣部分113之上部表面及底部表面上。
絕緣層110之厚度T可為300μm或更大。絕緣層110之厚度T可為350μm或更大。絕緣層110之厚度T可為400μm或更大。亦即，絕緣層110為核心層，且因此可具有至少300μm或更大之厚度以便改良封裝製程中電路板之翹曲特性同時增大電路板之實體剛度。且在實施例中，如上文所描述，當絕緣層110之厚度T為300μm或更大時，絕緣層110被劃分成三個絕緣部分。特定言之，在實施例中，當絕緣層110之厚度T為300μm或更大時，絕緣層110劃分成3個部分以便改良穿過其的貫通電極120之物理可靠性及電可靠性。然而，實施例不限於此，且即使當絕緣層110之厚度T小於300μm時，絕緣層亦被劃分成三個部分，且因此，可形成包括穿過三個絕緣部分中之各者之第一至第三電極部分(稍後將描述)的貫通電極120。然而，當絕緣層110具有300μm或更大之厚度時，在實施例之絕緣層110被劃分成複數個絕緣部分且貫通電極120形成於該複數個絕緣部分上時出現的效應得以最大化。因此，在以下描述中，假定絕緣層110具有300μm或更大之厚度T。
構成絕緣層110之第一絕緣部分111、第二絕緣部分112及第三絕緣部分113可具有不同厚度。舉例而言，第一絕緣部分111可具有小於第三絕緣部分113之厚度。舉例而言，第二絕緣部分112可具有小於第三絕緣部分113之厚度。另外，第一絕緣部分111與第二絕緣部分112的厚度可彼此對應。
第一絕緣部分111可具有在75μm至150μm之範圍內的第一厚度T1。舉例而言，第一絕緣部分111可具有在80μm至130μm之範圍內的第一厚度T1。舉例而言，第一絕緣部分111可具有在90μm至120μm之範圍內的第一厚度T1。當第一絕緣部分111小於75μm時，會失去將絕緣層110劃分成三個絕緣部分的意義。換言之，當第一絕緣部分111小於75μm時，即使下文所描述之貫通電極120並未劃分成複數個電極部 分，貫通電極之物理及電可靠性亦可能不會出現問題。舉例而言，當第一絕緣部分111小於75μm時，第二絕緣部分112或第三絕緣部分113的厚度相對應地增加，且因此，在形成於第二絕緣部分112或第三絕緣部分113上的電極部分之電或物理可靠性方面可能會出現問題。當第一絕緣部分111之厚度超過150μm時，在貫通電極120之穿過第一絕緣部分111的第一電極部分121之電或物理可靠性方面存在問題(例如，可出現空隙或凹坑)。舉例而言，當第一絕緣部分111之厚度超過150μm時，可存在穿過第一絕緣部分111的第一電極部分121包括空隙或凹坑的問題。
第二絕緣部分112可具有對應於第一絕緣部分111之第二厚度T2。舉例而言，第二絕緣部分112可具有在75μm至150μm之範圍內的第二厚度T2。舉例而言，第二絕緣部分112可具有在80μm至130μm之範圍內的第二厚度T2。舉例而言，第二絕緣部分112可具有在90μm至120μm之範圍內的第二厚度T2。當第二絕緣部分112小於75μm時，第一絕緣部分111或第三絕緣部分113的厚度相對應地增加，且因此，在形成於第一絕緣部分111或第三絕緣部分113上的電極部分之電或物理可靠性方面可能會出現問題。當第二絕緣部分112之厚度超過150μm時，在貫通電極120之穿過第二絕緣部分112的第二電極部分122之電或物理可靠性方面存在問題(例如，可出現空隙或凹坑)。當第二絕緣部分112之厚度超過150μm時，可存在穿過第二絕緣部分112的第二電極部分122包括空隙或凹坑的問題。
第三絕緣部分113可具有大於第一絕緣部分111之第一厚度T1或第二絕緣部分112之第二厚度T2的第三厚度T3。舉例而言，第三絕緣部分113可具有在150μm至300μm之範圍內的第三厚度T3。舉例而言，第三絕緣部分113可具有在165μm至280μm之範圍內的第三厚度T3。舉例而言，第三絕緣部分113可具有在180μm至250μm之範圍內的第三厚度T3。當第三絕緣部分113之厚度小於150μm時，第一絕緣部分111或第二絕緣部分112的厚度相對應地增加，且因此，在穿過第一絕緣部分111或第二絕緣部分112的第一電極部分121或第二電極部分122中可包括空 隙或凹坑。此外，當第三絕緣部分113超過300μm時，形成穿過第三絕緣部分113的第三電極部分123之製程中之製程數目可增加。舉例而言，當第三絕緣部分113超出300μm時，第三電極部分123之厚度亦超過300μm，且因此，存在必須執行複數個電鍍製程以便形成超過300μm之第三電極部分123的問題。特定言之，第三電極部分123係經由電鍍後製程而形成。在此狀況下，與可藉由一個電鍍製程形成之第三電極部分123對應的支柱之厚度為約300μm。因此，當第三電極部分123超過300μm時，必須執行複數個電鍍後製程，藉此使製造過程變複雜。
同時，第一絕緣部分111、第二絕緣部分112及第三絕緣部分113藉由絕緣層110之厚度T予以判定。因此，第一絕緣部分111及第二絕緣部分112中之各者的厚度可在第三絕緣部分113之厚度的35%至65%範圍內。舉例而言，第一絕緣部分111及第二絕緣部分112中之各者的厚度可為第三絕緣部分113的38%至62%。舉例而言，第一絕緣部分111及第二絕緣部分112中之各者的厚度可在第三絕緣部分113之40%至58%的範圍內。並且，當第一絕緣部分111及第二絕緣部分112中之各者的厚度超出第三絕緣部分113之35%至65%的範圍時，可能會出現物理或電可靠性問題。
實施例之電路板包括穿過絕緣層110之貫通電極120。舉例而言，貫通電極120包括穿過第一絕緣部分111之第一電極部分121、穿過第二絕緣部分112之第二電極部分122及穿過第三絕緣部分113之第三電極部分123。
特定言之，第一電極部分121鄰近於絕緣層110之底部表面BS而安置且可具有第一傾角，使得寬度朝向絕緣層110之頂部表面TS逐漸減小。第一傾角可意謂第一電極部分121之側表面相對於絕緣層110之底部表面BS的傾角。替代地，第一傾角可意謂第一電極部分121之側表面相對於絕緣層110之頂部表面TS的傾角。
又，第二電極部分122可安置於第一電極部分121上。舉例而言，第二電極部分122可鄰近於絕緣層110之頂部表面TS而安置。第二 電極部分122可具有第二傾角使得其寬度朝向絕緣層110之頂部表面TS逐漸增加。亦即，第二電極部分122可具有不同於第一電極部分121之第一傾角的第二傾角。第二傾角可意謂第二電極部分122之側表面相對於絕緣層110之底部表面的傾角。替代地，第二傾角可意謂第二電極部分122之側表面相對於絕緣層110之頂部表面的傾角。
換言之，第一電極部分121之側表面相對於絕緣層110之底部表面BS的第一傾角可不同於第二電極部分122之側表面相對於絕緣層110之底部表面BS的第二傾角。另外，第一電極部分121之側表面相對於絕緣層110之頂部表面TS的第一傾角可不同於第二電極部分122之側表面相對於絕緣層110之頂部表面TS的第二傾角。
第三電極部分123可安置於第一電極部分121與第二電極部分122之間。第三電極部分123可具有不同於第一電極部分121之第一傾角及第二電極部分122之第二傾角的第三傾角。第三傾角可意謂第三電極部分123之側表面相對於絕緣層110之底部表面BS的傾角。替代地，第三傾角可意謂第三電極部分123之側表面相對於絕緣層110之頂部表面TS的傾角。
總之，第三電極部分123之側表面相對於絕緣層110之底部表面BS的第三傾角可不同於第一電極部分121之側表面相對於絕緣層110之底部表面BS的第一傾角及第二電極部分122之側表面相對於絕緣層110之底部表面BS的第二傾角。另外，第三電極部分123之側表面相對於絕緣層110之頂部表面TS的第三傾角可不同於第一電極部分121之側表面相對於絕緣層110之頂部表面TS的第一傾角及第二電極部分122之側表面相對於絕緣層110之頂部表面TS的第二傾角。
因此，根據實施例之貫通電極120之側表面可包括複數個反曲部分。舉例而言，貫通電極120之側表面可包括形成於第一電極部分121與第三電極部分123之間的邊界處之第一反曲部分，及形成於第二電極部分122與第三電極部分123之間的邊界處之第二反曲部分。
同時，如上文所描述的貫通電極120之第一電極部分121、 第二電極部分122及第三電極部分123可形成為穿過絕緣層110之各絕緣部分。
舉例而言，絕緣層110可包括通孔TH，在該通孔中安置有貫通電極120。
特定言之，絕緣層110之第一絕緣部分111可包括通孔TH之第一孔部分TH1，在該第一孔部分中安置有第一電極部分121。另外，第一孔部分TH1可具有對應於第一電極部分121之形狀。舉例而言，第一孔部分TH1可鄰近於絕緣層110之底部表面而安置，且可朝向絕緣層110之頂部表面TS逐漸減小寬度。舉例而言，第一孔部分TH1之內壁可具有對應於第一電極部分121之第一傾角的傾角。
又，絕緣層110之第二絕緣部分112可包括通孔TH之第二孔部分TH2，在該第二孔部分中安置有第二電極部分122。另外，第二孔部分TH2可具有對應於第二電極部分122之形狀。舉例而言，第二孔部分TH2可鄰近於絕緣層110之頂部表面而安置，且可朝向絕緣層110之頂部表面TS逐漸增加寬度。舉例而言，第二孔部分TH2之內壁可具有對應於第二電極部分122之第二傾角的傾角。
又，絕緣層110之第三絕緣部分113可包括通孔TH之第三孔部分TH3，在該第三孔部分中安置有第三電極部分123。另外，第三孔部分TH3可具有對應於第三電極部分123之形狀。舉例而言，第三孔部分TH3可安置於第一孔部分TH1與第二孔部分TH2之間，且可具有與第一孔部分TH1及第二孔部分TH2不同的傾角。舉例而言，第三孔部分TH3之內壁可具有對應於第三電極部分123之第三傾角的傾角。
同時，第一孔部分TH1及第二孔部分TH2可為形成於第一絕緣部分111及第二絕緣部分112中的加工孔、雷射加工孔及化學加工孔中之一者，以便配置第一電極部分121及第二電極部分122。另外，第一電極部分121及第二電極部分122可藉由用導電材料填充第一孔部分TH1及第二孔部分TH2之內部來形成。舉例而言，第一孔部分TH1及第二孔部分TH2之內部可經由電鍍製程而填充。亦即，第一孔部分TH1及第二孔部分 TH2可藉由諸如機械處理、雷射處理及化學處理之處理方法中的任一者形成。當藉由加工形成通孔時，可使用諸如研磨、鑽孔及佈線之方法，且當藉由雷射處理形成通孔時，可使用UV或CO2雷射方法，且當藉由化學處理形成通孔時，可使用含胺基矽烷、酮等的化學品。因此，可敞開第一絕緣部分111及第二絕緣部分112。
同時，雷射處理係切割方法，其將光能集中於表面上以熔融且蒸發材料之一部分以得到所要形狀，因此，可易於藉由電腦程式處理複雜形成件，且甚至可處理難以藉由其他方法切割之複合材料。另外，雷射處理具有至少0.005mm之切割直徑，且具有廣泛範圍之可能的厚度。作為雷射處理鑽孔，較佳使用釔鋁石榴石(Yttrium Aluminum Garnet；YAG)雷射、CO2雷射或紫外線(UV)雷射。YAG雷射為可處理銅箔層及絕緣層兩者之雷射，且CO2雷射為可僅處理絕緣層之雷射。
因此，填充於第一孔部分TH1中之第一電極部分121可具有梯形形狀，其中頂部表面之寬度W1小於底部表面之寬度W2，且填充於第二孔部分TH2中之第二電極部分122可具有梯形形狀，其中頂部表面之寬度W3大於底部表面之寬度W4。舉例而言，第一電極部分121及第二電極部分122可具有相對於第三電極部分123相互對稱之形狀，但實施例不限於此。
同時，與第一孔部分TH1及第二孔部分TH2不同地，第三孔部分TH3可由第三電極部分123形成。舉例而言，實施例之電路板中的第三絕緣部分113經安置成在形成第三電極部分123之狀態下包圍第三電極部分123。因此，第三絕緣部分113可具有對應於第三電極部分123之第三孔部分TH3。
因此，第一孔部分TH1及第二孔部分TH2係第一絕緣部分111及第二絕緣部分112之敞開部分以形成第一電極部分121及第二電極部分122。另外，第三孔部分TH3係藉由包圍已完成的第三電極部分123配置第三絕緣部分113而形成的部分。在此狀況下，第三電極部分123係藉由電鍍後製程而形成，且因此，底部表面之寬度W5與頂部表面之寬度W6 可實質上相同。舉例而言，第三電極部分123之頂部表面的寬度W6可滿足第三電極部分123之底部表面之寬度W5的95%至105%之範圍。
同時，第一電極部分121之最接近第三電極部分123之部分的寬度可小於第三電極部分123之寬度。舉例而言，第一電極部分121之頂部表面之寬度W1可小於第三電極部分123之底部表面的寬度W5或頂部表面的寬度W6。
又，第二電極部分122之最接近第三電極部分123之部分的寬度可小於第三電極部分123之寬度。舉例而言，第二電極部分122之底部表面之寬度W4可小於第三電極部分123之頂部表面的寬度W6或底部表面的寬度W5。
相對應地，第一孔部分TH1之最接近第三孔部分TH3之部分的寬度可小於第三孔部分TH3之寬度。另外，第二孔部分TH2之最接近第三孔部分TH3之部分的寬度可小於第三孔部分TH3之寬度。
同時，第一圖案層130安置於實施例之絕緣層110之底部表面BS上，且第二圖案層140安置於絕緣層110之頂部表面TS上。第一圖案層130及第二圖案層140可包括連接至貫通電極120之至少一個襯墊及連接至襯墊之跡線。舉例而言，第一圖案層130可包括連接至貫通電極120之底部表面(例如，第一電極部分121之底部表面)之第一襯墊。舉例而言，第二圖案層140可包括連接至貫通電極120之頂部表面(例如，第二電極部分122之頂部表面)之第二襯墊。
第一圖案層130之第一襯墊可具有大於第一電極部分121之寬度的寬度。舉例而言，第一圖案層130之第一襯墊可具有大於第一電極部分121之底部表面之寬度W2的寬度。因此，該實施例中之第一圖案層130之第一襯墊經安置成完全覆蓋第一電極部分121之底部表面，且因此，可改良第一襯墊之功能(例如，信號傳輸、熱耗散或屏蔽)之可靠性(例如，信號傳輸特性、熱耗散特性及屏蔽特性)。
第二圖案層140之第二襯墊可具有大於第二電極部分122之寬度的寬度。舉例而言，第二圖案層140之第二襯墊可具有大於第二電 極部分122之頂部表面之寬度W3的寬度。因此，在該實施例中，第二圖案層140之第二襯墊經安置成完全覆蓋第二電極部分122之頂部表面，且因此，可改良第二襯墊之功能(例如，信號傳輸、熱耗散或屏蔽)之可靠性(例如，信號傳輸特性、熱耗散特性及屏蔽特性)。
第一圖案層130及第二圖案層140可由選自金(Au)、銀(Ag)、鉑(Pt)、鈦(Ti)、錫(Sn)、銅(Cu)及鋅(Zn)之至少一種金屬材料形成。
另外，第一圖案層130及第二圖案層140可由包括選自以下各者中之至少一種金屬材料之膏狀物或焊錫膏形成：金(Au)、銀(Ag)、鉑(Pt)、鈦(Ti)、錫(Sn)、銅(Cu)及鋅(Zn)，其具有極佳接合強度。較佳地，第一圖案層130及第二圖案層140可由銅(Cu)形成，銅具有高電導率且相對便宜。
第一圖案層130及第二圖案層140可使用加成製程、減去製程、經修改之半加成製程(Modified Semi Additive Process；MSAP)及半加成製程(Semi Additive Process；SAP)方法來形成，其為可能的典型印刷電路板製造過程，且本文中將省略其詳細描述。
如上文所描述，在實施例中，當貫通電極120形成於作為具有預定厚度或更大(例如，300μm或更大)之核心層的絕緣層110上時，絕緣層110由複數個絕緣部分(例如第一至第三絕緣部分)形成，且因此形成穿過各別絕緣部分之電極部分(例如第一至第三電極部分)。因此，在實施例中，有可能防止在貫通電極120中出現諸如空隙或凹坑的問題，藉此改良貫通電極120之物理可靠性及電可靠性。另外，在實施例中，安置於構成貫通電極120之複數個電極部分當中的中心處之第三電極部分123係經由電鍍後製程形成，且因此，其具有頂部表面與底部表面之寬度實質上相同的形狀。因此，在該實施例中，相比於比較實例中之具有沙漏形狀之貫通電極，該貫通電極之面積可增加，且因此，根據貫通電極之功能的效應可最大化。舉例而言，當貫通電極具有信號屏蔽功能時，可進一步改良信號屏蔽效應。舉例而言，當貫通電極具有熱耗散功能時，可進一步改良熱耗散特性。
另外，除實施例之第三電極部分123之外的第一電極部分121及第二電極部分122之寬度可增加。然而，當第一電極部分121及第二電極部分122之寬度增加時，第一圖案層130或第二圖案層140之配置空間減小，且因此，電路圖案之密度可減小，且因此，電路板在寬度方向或長度方向上之體積可增加。另一方面，即使實施例之第三電極部分123之寬度增加，第一圖案層130或第二圖案層140之寬度亦根本不受影響。此係因為並不存在在縱向方向或寬度方向(圖式中之水平方向)上與第三電極部分123隔開的圖案層，因為第三電極部分123安置於絕緣層110之中心。
在下文中，將描述根據實施例之第一電極部分121、第二電極部分122及第三電極部分123的第一至第三傾角。在此狀況下，其中安置有第一電極部分121、第二電極部分122及第三電極部分123的第一孔部分TH1、第二孔部分TH2及第三孔部分TH3之各內壁之傾角可分別對應於第一電極部分121、第二電極部分122及第三電極部分123之第一至第三傾角。
圖4A為用於解釋根據一實施例的第一電極部分及第二電極部分之側表面的傾角的視圖，且圖4B為用於解釋根據一實施例的第三電極部分之側表面之傾角的視圖。
在下文中，將參考圖4A及圖4B描述第一電極部分121、第二電極部分122及第三電極部分123之各側的傾角。
第一電極部分121、第二電極部分122及第三電極部分123之側表面的第一至第三傾角可為相對於絕緣層110之頂部表面TS之傾角，或可為相對於絕緣層110之底部表面BS之傾角。
如圖4A之(a)中所展示，第一電極部分121之側表面可相對於絕緣層110之頂部表面TS具有第一傾角。舉例而言，絕緣層110之頂部表面TS與第一電極部分121之具有第一傾角之側表面之間的內角θ1可為銳角。
替代地，如圖4A之(b)中所展示，第二電極部分122之側表面可相對於絕緣層110之頂部表面TS具有不同於第一傾角的第二傾角。舉 例而言，絕緣層110之頂部表面TS與第二電極部分122之具有第二傾角之側表面之間的內角θ2可為鈍角。
同時，如圖4A之(c)中所展示，第一電極部分121之側表面可相對於絕緣層110之底部表面BS具有第一傾角。舉例而言，絕緣層110之底部表面BS與第一電極部分121之具有第一傾角之側表面之間的內角θ3可為鈍角。
替代地，如圖4A之(d)中所展示，第二電極部分122之側表面可相對於絕緣層110之底部表面BS具有不同於第一傾角的第二傾角。舉例而言，絕緣層110之底部表面BS與第二電極部分122之具有第二傾角之側表面之間的內角θ4可為鈍角。
同時，如圖4B中所展示，第三電極部分123可具有不同於第一電極部分121之第一傾角及第二電極部分122之第二傾角的第三傾角。
第三傾角可意謂第三電極部分123之側表面相對於絕緣層110之頂部表面TS的傾角，或替代地可意謂第三電極部分123之側表面相對於絕緣層110之底部表面BS的傾角。
特定言之，第三電極部分123之側表面可相對於絕緣層110之頂部表面TS具有不同於第一傾角及第二傾角的第三傾角。舉例而言，絕緣層110之頂部表面TS與第三電極部分123之具有第三傾角之側表面之間的內角θ5可為直角。舉例而言，絕緣層110之底部表面BS與第三電極部分123之具有第三傾角之側表面之間的內角θ6可為直角。
-第二實施例之電路板-
圖5為展示根據第二實施例之電路板的視圖。
圖5之電路板可意謂包括圖2及圖3之電路板作為核心層的電路板。
舉例而言，該電路板可包括圖2及圖3之電路板作為核心層。
亦即，該電路板基於絕緣層之數目可具有三層結構。然而，實施例不限於此，且電路板可具有雙層結構，或替代地，可具有四個或多於 四個層。
另外，具有多層結構之電路板可包括圖2之絕緣層110作為充當核心層之第一絕緣層110。另外，第一絕緣層110可包括如上文所描述之第一至第三絕緣部分111、112及113。
另外，該電路板可包括穿過第一絕緣層110之貫通電極120。另外，貫通電極120可包括穿過各絕緣部分之第一電極部分121、第二電極部分122及第三電極部分123。
另外，第一圖案層130可安置於第一絕緣層110之底部表面上，且第二圖案層140可安置於第一絕緣層110之頂部表面上。
又，電路板可包括安置於第一絕緣層110之下之第二絕緣層150。在此狀況下，第二絕緣層150可意謂安置於具有多層結構之電路板之最下側上的最下絕緣層。舉例而言，當電路板具有四個或多於四個層時，至少一個絕緣層(未圖示)及圖案層(未圖示)可另外安置於第一絕緣層110與第二絕緣層150之間。
另外，電路板可包括穿過第二絕緣層150之第二貫通電極155及安置於第二絕緣層150之底部表面上的第三圖案層160。
另外，電路板可包括安置於第一絕緣層110上之第三絕緣層170。第三絕緣層170可指安置於具有多層結構之電路板之最上側上的最上絕緣層。舉例而言，當電路板具有四個或多於四個層時，至少一個絕緣層(未圖示)及圖案層160可另外安置於第一絕緣層110與第三絕緣層170之間。
另外，電路板可包括穿過第三絕緣層170之第三貫通電極175及安置於第三絕緣層170之頂部表面上的第四圖案層180。
另外，電路板可包括第一保護層190及第二保護層195。第一保護層190及第二保護層195可實質上被稱作絕緣層，但被稱作保護層以將其與絕緣層110區分。
第一保護層190可安置於第二絕緣層150之頂部表面上且可包括曝露第三圖案層160之底部表面之一部分的開口(未圖示)。另外，第二保護層195可安置於第三絕緣層170之頂部表面上，且可包括曝露第 四圖案層180之頂部表面之一部分的開口(未圖示)。第一保護層190及第二保護層195可為保護第二絕緣層150之底部表面及第三絕緣層160之頂部表面的阻焊劑，但不限於此。
-第三實施例及第四實施例之電路板-
圖6為展示根據第三實施例之電路板的視圖，圖7為展示根據第四實施例之電路板的視圖，圖8為用於解釋圖6之絕緣層的視圖，且圖9為用於解釋在圖6或圖7中形成之貫通電極的視圖。
參看圖6至圖9，電路板可包括絕緣層1110、貫通電極1120、第一圖案層1130及第二圖案層1140。
絕緣層1110可為核心層。在此實施例中，儘管展示出核心層1110可具有與絕緣層1110相同的組態，但本發明實施例不限於此，且絕緣層1110可進一步包括除核心層1110之外的組態。
舉例而言，絕緣層1110可包括預浸料。
該實施例之絕緣層1110可劃分成複數個區域。舉例而言，絕緣層1110可在厚度方向上劃分成第一區域1111、第二區域1112及第三區域1113。為此，絕緣層1110可在厚度方向上劃分成複數個部分。然而，當該實施例中之絕緣層1110劃分成複數個部分時，此僅為了在厚度方向上將絕緣層1110劃分成複數個區域，且可實質上由一個絕緣層組成。
舉例而言，絕緣層1110可在厚度方向上劃分成至少三個區域。另外，包括於絕緣層1110之三個區域中的玻璃纖維之密度可彼此不同。
舉例而言，絕緣層1110包括頂部表面(TS，頂部表面)及底部表面(BS，底部表面)。另外，第一圖案層1130及第二圖案層1140可分別安置於絕緣層1110之底部表面BS及頂部表面TS上。此外，絕緣層1110可劃分成鄰近於絕緣層1110之底部表面BS的第一區域1111、鄰近於絕緣層1110之頂部表面TS的第二區域1112以及第一區域1111與第二區域1112之間的第三區域1113。
另外，第一區域1111中之玻璃纖維的密度可不同於第三區域1113中之玻璃纖維的密度。又，第二區域區1112中之玻璃纖維的密度可 不同於第三區域1113中之玻璃纖維的密度。舉例而言，絕緣層1110之第三區域1113中的玻璃纖維之密度可大於第一區域1111及第二區域1112中之各者中的玻璃纖維之密度。
在此狀況下，第一區域1111、第二區域1112及第三區域1113之厚度可彼此不同。因此，絕緣層1110之第一區域1111中的玻璃纖維之重量%及第二區域1112中的玻璃纖維之重量%中之各者可小於絕緣層1110之第三區域1113中的玻璃纖維之重量%。
舉例而言，在實施例中，如圖6中所展示，第一玻璃纖維1111-1可包括於絕緣層1110之第一區域1111中，第二玻璃纖維1112-1可包括於絕緣層1110之第二區域1112中，且第三玻璃纖維1113-1可包括於絕緣層1110之第三區域1113中。且在此狀況下，第三玻璃纖維1113-1之重量%可大於第一玻璃纖維1111-1之重量%及第二玻璃纖維1112-1之重量%中之各者。
替代地，在實施例中，如圖7中所展示，玻璃纖維可不包括於絕緣層1110之第一區域1111及第二區域1112中，且可集中或密集地包括於絕緣層1110之第三區域1113中。
總之，在實施例中，絕緣層1110可在厚度方向上劃分成第一區域1111、第二區域1112及第三區域1113，且在此狀況下，可包括其中玻璃纖維集中於定位於中心之第三區域1113中的密集區域。
因此，當實施例之通孔形成於絕緣層1110中時，絕緣層1110中之通孔之內壁的傾角可由於玻璃纖維之密度之差而彼此不同。舉例而言，在實施例中，玻璃纖維之密度在第三區域1113中係高的，使得形成於第三區域1113中之通孔之內壁的傾角實質上接近垂直。然而，實施例不限於此，且經由除玻璃纖維之密度之外的方法，形成於第三區域1113中之通孔的垂直橫截面可具有四邊形。
然而，在實施例中，當玻璃纖維包括於絕緣層1110之第一區域1111、第二區域1112及第三區域1113中之各者中時，可進一步改良電路板之翹曲特性。因此，如圖6中所展示，玻璃纖維可部分包括於絕緣層 1110之第一區域1111及第二區域1112中。
同時，可製造如上文所描述之絕緣層1110，如圖8中所展示。
舉例而言，在實施例中，如圖6或圖7中所展示之絕緣層1110可藉由層壓複數個絕緣層而形成。為此，在實施例中，可製備絕緣層1110之第一絕緣部分1110a及第二絕緣部分1110b。
在此狀況下，第一絕緣部分1110a可包括：第一-第一區域1110a1，其中玻璃纖維鄰近於第一絕緣部分1110a之底部表面而安置；及第一-第二區域1110a2，其中玻璃纖維鄰近於第一絕緣部分1110a之頂部表面而安置。
另外，第二絕緣部分1110b可包括：第二-第一區域1110b1，其中玻璃纖維鄰近於第二絕緣部分1110b之底部表面而安置；及第二-第二區域1110b2，其中玻璃纖維鄰近於第二絕緣部分1110b之頂部表面而安置。
另外，在一實施例中，圖6之絕緣層1110可在第二絕緣部分1110b安置於第一絕緣部分1110a上的狀態下藉由熱壓縮形成。舉例而言，絕緣層1110可包括對應於第一絕緣部分1110a之第一-第一區域1110a1的第一區域1111。又，絕緣層1110可包括對應於第二絕緣部分1110b之第二-第二區域1110b2的第二區域1112。此外，絕緣層1110可包括對應於第一絕緣部分1110a之第一-第二區域1110a2及第二絕緣部分1110b之第二-第一區域1110b1的第三區域1113。
因此，絕緣層1110之第三區域1113可包括在第一絕緣部分1110a中包括玻璃纖維之第一-第二區域1110a2及在第二絕緣部分1110b中包括玻璃纖維之第二-第一區域1110b1。因此，在實施例中，玻璃纖維可密集地形成於絕緣層1110之第三區域1113中。舉例而言，該實施例中之絕緣層1110可包括第三區域1113，該第三區域為玻璃纖維密集之區域。另外，第三區域1113可為在鄰近於絕緣層1110之底部表面BS之第一區域1111與鄰近於絕緣層1110之頂部表面TS之第二區域1112之間的區域或中心區域。
另一方面，當玻璃纖維亦包括於絕緣層1110之第一區域1111及第二區域1112中時，第三區域1113中之玻璃纖維之密度可為第一區域1111中之玻璃纖維之密度及/或第二區域1112中之玻璃纖維之密度的至少兩倍。舉例而言，第三區域1113中之玻璃纖維之密度可比第一區域1111中之玻璃纖維之密度及/或第二區域1112中之玻璃纖維之密度大至少三倍。舉例而言，第三區域1113中之玻璃纖維之密度可比第一區域1111中之玻璃纖維之密度及/或第二區域1112中之玻璃纖維之密度大至少五倍。
在實施例中，當絕緣層1110之厚度如上文所描述為300μm或更大時，絕緣層1110在厚度方向上劃分成第一至第三區域，以便改良穿過其的貫通電極1120之物理可靠性及電可靠性。並且，在實施例中，玻璃纖維集中於作為絕緣層1110之中心區域的第三區域1113中。
然而，實施例不限於此，且即使當絕緣層1110之厚度小於300μm時，絕緣層1110亦可劃分成三個區域，且因此，玻璃纖維之密集區域可形成於其中心。
然而，當絕緣層110具有300μm或更大之厚度時，在貫通電極1120在包括第三區域1113之絕緣層1110中形成時出現的效應得以最大化，在該第三區域中，實施例之玻璃纖維係密集的。因此，在以下描述中，假定絕緣層1110具有300μm或更大之厚度T。
構成絕緣層1110的第一區域1111、第二區域1112及第三區域1113可具有不同厚度。舉例而言，第一區域1111可具有比第三區域1113更大的厚度。第一區域1111及第二區域1112可具有彼此對應的厚度。然而，實施例不限於此。舉例而言，絕緣層1110之第一區域1111及第二區域1112中之各者可具有比第三區域1113更小的厚度。
絕緣層1110之第一區域1111可具有在75μm至150μm之範圍內的第一厚度。舉例而言，第一區域1111可具有在80μm至130μm之範圍內的第一厚度。舉例而言，第一區域1111可具有在90μm至120μm之範圍內的第一厚度。當第一區域1111之厚度小於75μm時，第三區域1113中之通孔可加工性可劣化，且因此，通孔之處理時間可增加。當第一區域 1111之厚度超過150μm時，第三區域1113之厚度減小，且因此，藉由第三區域1113增加通孔之面積或貫通電極之面積的效應可能不顯著。
絕緣層1110之第二區域1112可具有對應於第一區域1111之第二厚度。舉例而言，第二區域1112可具有在75μm至150μm之範圍內的第二厚度。舉例而言，第二區域1112可具有在80μm至130μm之範圍內的第二厚度。舉例而言，第二區域1112可具有在90μm至120μm之範圍內的第二厚度。
同時，在一實施例中，第三區域1113之厚度可大於或小於第一區域1111之厚度及第二區域1112之厚度。然而，當第三區域1113之厚度大於第一區域1111之厚度及第二區域1112之厚度時，通孔之面積及貫通電極之面積可經最大化。因此，將在假定第三區域1113之厚度大於第一區域1111之厚度及第二區域1112之厚度的情況下進行以下描述。
第三區域1113可具有大於第一區域1111之第一厚度或第二區域1112之第二厚度的第三厚度T3。舉例而言，第三區域1113可具有在150μm至300μm之範圍內的第三厚度。舉例而言，第三區域1113可具有在165μm至280μm之範圍內的第三厚度。舉例而言，第三區域1113可具有在180μm至250μm之範圍內的第三厚度。當第三區域1113之厚度小於150μm時，藉由第三區域1113增加通孔或貫通電極之面積的效應可能不顯著。舉例而言，當第三區域1113中的通孔之面積或貫通電極之面積增加時，可改良因貫通電極所致之熱耗散特性，且有可能解決貫通電極中注入空隙或凹坑之缺陷。然而，當第三區域1113之厚度減小時，相比於比較實例，改良如上文所描述之熱耗散特性或解決缺陷之效應可能不存在顯著差異。
同時，絕緣層1110之第一區域1111、第二區域1112及第三區域1113中之各者的厚度可藉由核心層之總厚度予以判定。
另外，第一區域1111及第二區域1112中之各者之厚度經設定為具有第三區域1113之厚度的35%至65%之範圍。舉例而言，第一區域1111及第二區域1112中之各者之厚度可為第三區域1113之厚度的38%至62%。舉例而言，第一區域1111及第二區域1112中之各者之厚度可在第三 區域1113之厚度的40%至58%之範圍內。另外，當第一區域1111及第二區域1112中之各者之厚度超出第三區域1113的35%與65%之間的範圍時，可發生如上文所描述的問題。
實施例之電路板包括穿過絕緣層1110之貫通電極1120。舉例而言，貫通電極1120包括穿過絕緣層1110之第一區域1111之第一電極部分1121、穿過絕緣層1110之第二區域1112之第二電極部分1122及穿過絕緣層1110之第三區域1113之第三電極部分1123。
特定言之，第一電極部分1121鄰近於絕緣層1110之底部表面BS而安置且具有第一傾角使得寬度朝向絕緣層1110之頂部表面TS逐漸減小。第一傾角可意謂第一電極部分1121之側表面相對於絕緣層1110之底部表面BS的傾角。替代地，第一傾角可意謂第一電極部分1121之側表面相對於絕緣層1110之頂部表面TS的傾角。
又，第二電極部分1122可安置於第一電極部分1121上。舉例而言，第二電極部分1122可鄰近於絕緣層1110之頂部表面TS而安置。第二電極部分1122可具有第二傾角使得寬度朝向絕緣層1110之頂部表面TS逐漸增加。亦即，第二電極部分1122可具有不同於第一電極部分1121之第一傾角的第二傾角。第二傾角可意謂第二電極部分1122側表面相對於絕緣層1110之底部表面的傾角。替代地，第二傾角可意謂第二電極部分1122之側表面相對於絕緣層1110之頂部表面的傾角。
換言之，第一電極部分1121之側表面相對於絕緣層1110之底部表面BS的第一傾角可不同於第二電極部分1122之側表面相對於絕緣層1110之底部表面BS的第二傾角。另外，第一電極部分1121之側表面相對於絕緣層1110之頂部表面TS的第一傾角可不同於第二電極部分1122之側表面相對於絕緣層1110之頂部表面TS的第二傾角。舉例而言，第一電極部分1121之對應於第一傾角的傾斜方向可不同於第二電極部分1122之對應於第二傾角的傾斜方向。
第三電極部分1123可安置於第一電極部分1121與第二電極部分1122之間。第三電極部分1123可具有不同於第一電極部分1121之 第一傾角及第二電極部分1122之第二傾角的第三傾角。第三傾角可意謂第三電極部分1123之側表面相對於絕緣層1110之底部表面BS的傾角。替代地，第三傾角可意謂第三電極部分1123之側表面相對於絕緣層1110之頂部表面TS的傾角。
因此，第三電極部分1123之側表面相對於絕緣層1110之底部表面BS的第三傾角可不同於第一電極部分1121之側表面相對於絕緣層1110之底部表面BS的第一傾角，及第二電極部分1122之側表面相對於絕緣層1110之底部表面BS的第二傾角。另外，第三電極部分1123之側表面相對於絕緣層1110之頂部表面TS的第三傾角可不同於第三電極部分1123之側表面相對於絕緣層1110之頂部表面TS的第三傾角，可不同於第一電極部分1121之側表面相對於絕緣層1110之頂部表面TS的第一傾角及第二電極部分1122之側表面相對於絕緣層1110之底部表面BS的第二傾角。在此狀況下，在一實施例中，第三傾角可垂直於絕緣層1110之底部表面BS或頂部表面TS。又，在另一實施例中，第三傾角可相對於絕緣層1110之底部表面BS或頂部表面具有預定傾角。另外，當第三傾角相對於絕緣層1110之底部表面或頂部表面具有預定傾角時，該預定傾角可不同於第一傾角及第二傾角，且可為第一傾角與第二傾角之間的角度中之任一者。
因此，根據實施例之貫通電極1120之側表面可包括複數個反曲部分。舉例而言，貫通電極1120之側表面可包括形成於第一電極部分1121與第三電極部分1123之間的邊界處之第一反曲部分，及形成於第二電極部分1122與第三電極部分1123之間的邊界處之第二反曲部分。
同時，如上文所描述的貫通電極1120之第一電極部分1121、第二電極部分1122及第三電極部分1123可在穿過絕緣層1110之各區域的同時形成。
舉例而言，絕緣層1110可包括通孔TH，在該通孔中安置有貫通電極1120。
特定言之，絕緣層1110之第一區域1111可包括通孔TH之第一孔部分TH1，在該第一孔部分中安置有第一電極部分1121。另外，第 一孔部分TH1可具有對應於第一電極部分1121之形狀。舉例而言，第一孔部分TH1可鄰近於絕緣層1110之底部表面而安置，且可朝向絕緣層1110之頂部表面TS逐漸減小寬度。舉例而言，第一孔部分TH1之內壁可具有對應於第一電極部分1121之第一傾角的傾角。
又，絕緣層1110之第二區域1112可包括通孔TH之第二孔部分TH2，在該第二孔部分中安置有第二電極部分1122。另外，第二孔部分TH2可具有對應於第二電極部分1122之形狀。舉例而言，第二孔部分TH2可鄰近於絕緣層1110之頂部表面而安置，且可朝向絕緣層1110之頂部表面TS逐漸增加寬度。舉例而言，第二孔部分TH2之內壁可具有對應於第二電極部分1122之第二傾角的傾角。
又，絕緣層1110之第三區域1113可包括通孔TH之第三孔部分TH3，在該第三孔部分中安置有第三電極部分1123。另外，第三孔部分TH3可具有對應於第三電極部分1123之形狀。舉例而言，第三孔部分TH3可安置於第一孔部分TH1與第二孔部分TH2之間，且可具有與第一孔部分TH1及第二孔部分TH2不同的傾角。舉例而言，第三孔部分TH3之內壁可具有對應於第三電極部分1123之第三傾角的傾角。
填充於第一孔部分TH1中之第一電極部分1121可具有梯形形狀，其中頂部表面之寬度W1小於底部表面之寬度W2，且填充於第二孔部分TH2中之第二電極部分1122可具有梯形形狀，其中頂部表面之寬度W3大於底部表面之寬度W4。舉例而言，第一電極部分1121及第二電極部分1122可具有相對於第三電極部分1123相互對稱之形狀，但不限於此。
同時，第三孔部分TH3形成於對應於絕緣層1110之玻璃纖維密集區域的第三區域1113中。
在此狀況下，當在通用核心層中形成通孔時，在分別在核心層之上部側及下部側上形成凹槽的製程之後連接該等凹槽時形成通孔。此處，在習知核心層中，玻璃纖維之密度在整個區域中係均勻的，且因此，在核心層中形成之通孔具有沙漏形狀。替代地，在實施例中，絕緣層1110之第三區域1113包括玻璃纖維密集的密集區域。因此，矩形通孔可形成於實 施例之絕緣層1110的第三區域1113中，且因此，通孔或貫通電極之總體形狀包括至少三個傾角(沙漏包括兩個傾角)。
同時，如圖6中所展示，玻璃纖維之緻密區域包括於第三區域1113中，且包括於第三區域1113中之玻璃纖維的至少一部在形成第三孔部分TH3時可曝露至第三孔部分TH3。另外，可形成填充第三孔部分TH3的第三電極部分1123以覆蓋曝露至第三孔部分TH3中的玻璃纖維。在此狀況下，經曝露之玻璃纖維可起到增加通孔內壁之粗糙度的作用。基於此，在實施例中，絕緣層1110與貫通電極1120之間的接合強度可得以改良。
同時，第三孔部分TH3之一側連接至第一孔部分TH1，且另一側連接至第二孔部分TH2。第三孔部分TH3形成於其中玻璃纖維緻密的絕緣層1110之第三區域1113中，且因此其頂部表面之寬度可與底部表面之寬度相同。
此外，實施例中之第三孔部分TH3之底部表面的寬度可與第一孔部分TH1之頂部表面的寬度W1相同。又，實施例中之第三孔部分TH3之頂部表面的寬度可與第二孔部分TH2之底部表面的寬度W4相同。
舉例而言，第三孔部分TH3之頂部表面的寬度可在第三孔部分TH3之底部表面的寬度之95%至105%之範圍內。
因此，在一實施例中，第三孔部分TH3之底部表面的寬度可在第一孔部分TH1之頂部表面的寬度之95%至105%之範圍內。
又，實施例中之第三孔部分TH3之頂部表面的寬度可在第二孔部分TH2之底部表面的寬度之95%至105%之範圍內。
舉例而言，第三孔部分TH3之寬度可小於第一孔部分TH1中具有最大寬度之部分的寬度。又，第三孔部分TH3之寬度可與在第一孔部分TH1中具有最小寬度之部分的寬度相同。
舉例而言，第三孔部分TH3之寬度可小於第二孔部分TH2中具有最大寬度之部分的寬度。又，第三孔部分TH3之寬度可與在第二孔部分TH2中具有最小寬度之部分的寬度相同。
同時，第一孔部分TH1之底部表面的寬度可對應於第一電 極部分1121之底部表面的寬度。又，第一孔部分TH1之頂部表面的寬度可對應於第一電極部分1121之頂部表面的寬度。
又，第二孔部分TH2之頂部表面的寬度可對應於第二電極部分1122之頂部表面的寬度。又，第二孔部分TH2之底部表面的寬度可對應於第二電極部分1122之底部表面的寬度。
又，第三孔部分TH3之頂部表面的寬度可對應於第三電極部分1123之頂部表面的寬度。又，第三孔部分TH3之底部表面的寬度可對應於第三電極部分1123之底部表面的寬度。
同時，根據實施例，第一圖案層1130安置於絕緣層1110之底部表面BS上，且第二圖案層1140安置於絕緣層1110之頂部表面TS上。第一圖案層1130及第二圖案層1140可包括連接至貫通電極1120之至少一個襯墊及連接至襯墊之跡線。舉例而言，第一圖案層1130可包括連接至貫通電極1120之底部表面(例如，第一電極部分1121之底部表面)之第一襯墊。舉例而言，第二圖案層1140可包括連接至貫通電極1120之頂部表面(例如，第二電極部分1122之頂部表面)之第二襯墊。
第一圖案層1130之第一襯墊可具有大於第一電極部分1121之寬度的寬度。舉例而言，第一圖案層1130之第一襯墊可具有大於第一電極部分1121之底部表面之寬度W2的寬度。因此，該實施例中之第一圖案層1130之第一襯墊經安置成完全覆蓋第一電極部分1121之底部表面，且因此，可改良第一襯墊之功能(例如，信號傳輸、熱耗散或屏蔽)之可靠性(例如，信號傳輸特性、熱耗散特性及屏蔽特性)。
第二圖案層1140之第二襯墊可具有大於第二電極部分1122之寬度的寬度。舉例而言，第二圖案層1140之第二襯墊可具有大於第二電極部分1122之頂部表面之寬度W3的寬度。因此，在該實施例中，第二圖案層1140之第二襯墊經安置成完全覆蓋第二電極部分1122之頂部表面，且因此，可改良第二襯墊之功能(例如，信號傳輸、熱耗散或屏蔽)之可靠性(例如，信號傳輸特性、熱耗散特性及屏蔽特性)。
同時，除實施例之第三電極部分1123之外的第一電極部分 1121及第二電極部分1122之寬度可增加。然而，當第一電極部分1121及第二電極部分1123之寬度增加時，第一圖案層1130或第二圖案層1140之配置空間減小，且因此，電路圖案之密度可減小，且因此，電路板在寬度方向或長度方向上之體積可增加。另一方面，即使實施例之第三電極部分1123之寬度增加，第一圖案層1130或第二圖案層1140之寬度亦根本不受影響。此係因為並不存在在縱向方向或寬度方向(圖式中之水平方向)上與第三電極部分1123隔開的圖案層，因為第三電極部分1123安置於絕緣層1110之中心。
同時，第三實施例及第四實施例之電路板可具有類似於圖5中所展示之第二實施例之電路板的複數個層結構。
亦即，安置於圖5之電路板之中心的絕緣層、圖案層及貫通電極可實施為圖6或圖7之絕緣層、圖案層及貫通電極。
-半導體封裝-
實施例之半導體封裝可包括上文所描述的第一至第四實施例之電路板中之任一者。在下文中，將描述包括圖5中所展示之第二實施例之電路板的半導體封裝。然而，實施例不限於此，且除了第二實施例以外亦可包括第一實施例、第三實施例及第四實施例之電路板。
圖10為展示根據一實施例之半導體封裝的視圖。
參看圖10，實施例之半導體封裝包括圖5之電路板、安裝於電路板上之至少一個晶片、用於模製晶片之模製層以及用於連接至晶片或外部基板之連接部分。
舉例而言，實施例之半導體封裝可包括安置於作為最外圖案層之第四圖案層180上的第一連接部分210。第一連接部分210之橫截面可具有圓形形狀或半圓形形狀。舉例而言，第一連接部分210之橫截面可包括部分或完全圓形形狀。第一連接部分210之橫截面形狀可為一側上之平坦表面及另一側上之彎曲表面。第一連接部分210可為焊球，但不限於此。
同時，在一實施例中，晶片220可安置於第一連接部分210上。晶片220可為處理器晶片。舉例而言，晶片220可為中央處理器(例如 CPU)、圖形處理器(例如GPU)、數位信號處理器、加密處理器、微處理器及微控制器之應用程式處理器(AP)晶片。晶片220之端子225可經由第一連接部分210連接至第四圖案層180。舉例而言，第四圖案層180可包括上方安裝有晶片220之安裝襯墊。
另外，儘管圖式中未示出，但根據實施例之半導體封裝可進一步包括額外晶片。舉例而言，在一實施例中，中央處理器(例如，CPU)、圖形處理器(例如，GPU)、數位信號處理器、加密處理器、微處理器及微控制器之至少兩個晶片可分別以預定間隔配置於電路板上。舉例而言，實施例中之晶片220可包括中央處理器晶片及圖形處理器晶片，但不限於此。
同時，複數個晶片可在電路板上按預定間隔彼此間隔開。舉例而言，複數個晶片之間的間隔可為150μm或更小。舉例而言，複數個晶片之間的間隔可為120μm或更小。舉例而言，複數個晶片之間的間隔可為100μm或更小。
較佳地，複數個晶片之間的間隔可具有60μm至150μm之範圍。較佳地，複數個晶片之間的間隔可具有70μm至120μm之範圍。較佳地，複數個晶片之間的間隔可具有80μm至110μm之範圍。當複數個晶片之間的間隔小於60μm時，由於複數個晶片之間的干擾，可出現操作可靠性方面的問題。當複數個晶片之間的間隔大於150μm時，隨著複數個晶片之間的距離增加，信號傳輸損失可增加。當複數個晶片之間的間距大於150μm時，半導體封裝之體積可增加。
半導體封裝可包括模製層230。模製層230可經安置成覆蓋晶片220。舉例而言，模製層230可為形成以保護所安裝晶片220之環氧樹脂模製化合物(EMC)，但不限於此。
在此狀況下，模製層230可具有低介電常數以便改良熱耗散特性。舉例而言，模製層230之介電常數Dk可為0.2至10。舉例而言，模製層230之介電常數Dk可為0.5至8。舉例而言，模製層230之介電常數Dk可為0.8至5。因此，實施例之模製層230具有低介電常數，使得可改良抵抗由晶片220產生之熱的熱耗散特性。
同時，半導體封裝可包括安置於電路板之最下側上的第二連接部分240。第二連接部分240可安置於經由第一保護層190曝露的第三圖案層160之底部表面上。
-製造方法-
下文中，將按製程次序描述根據一實施例製造圖2中所展示之電路板的方法。然而，第二實施例、第三實施例及第四實施例之電路板可基於以下描述製造。
圖11至圖24為按製程之次序展示圖2中所展示之電路板之製造方法的視圖。
參看圖11，在實施例中，可執行首先形成電路板之貫通電極120之一部分的製程。舉例而言，在實施例中，可執行首先形成貫通電極120之第三電極部分123的製程。
為此，在實施例中，可製備載體板CB，其中載體絕緣層CB1及金屬層CB2形成於載體絕緣層CB1之至少一個表面上。
在此情況下，金屬層CB2可安置於載體絕緣層CB1之第一表面及第二表面中之僅一者上，或替代地，其可安置於載體絕緣層CB1之兩個表面上。舉例而言，金屬層CB2安置於載體絕緣層CB1之僅一個表面上，且因此，僅可在一個表面上執行形成電路板之貫通電極120之第三電極部分123的製程。替代地，金屬層CB2可安置於載體絕緣層CB1之兩個表面上，且因此，可執行在載體板CB之兩側上形成待包括於複數個電路板中的複數個第三電極部分123之製程。在此狀況下，可同時製造待包括於兩個電路板中的兩個第三電極部分123。
金屬層CB2可藉由無電極電鍍形成於載體絕緣層CB1上。替代地，載體絕緣層CB1及金屬層CB2可為覆銅箔層壓板(CCL)。
接下來，參看圖12，在實施例中，第一遮罩M1形成於金屬層CB2上。並且，第一遮罩M1經曝露及顯影以形成開口OR，該開口曝露其中將形成第三電極部分123的區域。在此狀況下，儘管說明僅一個開口OR包括於一個第一遮罩M1中，但實施例不限於此。舉例而言，實施例之 絕緣層110可包括在長度方向或寬度方向上彼此間隔開的複數個貫通電極，且因此，複數個開口可形成於一個第一遮罩M1中以對應於該第一遮罩。
接下來，參看圖13，在實施例中，填充第一遮罩M1之開口OR的第三電極部分123係藉由對作為晶種層之金屬層(CB2)執行電解電鍍而形成。
接下來，參看圖14，在實施例中，可執行移除形成於金屬層CB2上之第一遮罩M1的製程。
接下來，參看圖15，在實施例中，可執行在金屬層CB2上形成覆蓋第三電極部分123之絕緣層110之第三絕緣部分113的製程。在此狀況下，第三絕緣部分113可具有與第三電極部分123相同的厚度。舉例而言，第三絕緣部分113之頂部表面可定位於與第三電極部分123之頂部表面同一個平面上。為此，在實施例中，可執行一製程，使得藉由將覆蓋第三電極部分123之頂部表面的絕緣層層壓於金屬層CB2上且接著執行拋光製程而將第三絕緣部分113及第三電極部分123之頂部表面定位於同一平面上。因此，在實施例中，第三絕緣部分113及第三電極部分123之厚度可匹配至相同厚度。
接下來，參看圖16，在實施例中，可執行將第二絕緣部分112層壓於第三絕緣部分113上的製程。在此狀況下，銅箔層(未圖示)可形成於第二絕緣部分112之表面上以匹配第二絕緣部分112之層壓平坦度。
接下來，參看圖17，在實施例中，可執行分離用以形成第三電極部分123之載體絕緣層CB1之製程。在此狀況下，載體板CB可進一步包括載體絕緣層CB1與金屬層CB2之間的離型薄膜(未圖示)以易於分離載體絕緣層CB1與金屬層CB2。
接下來，參看圖18，在實施例中，可執行蝕刻及移除保留在第三絕緣部分113之底部表面上的載體板CB之金屬層CB2的製程。因此，可曝露第三絕緣部分113之底部表面及第三電極部分123之底部表面。
接下來，參看圖19，在實施例中，可執行將第一絕緣部分111層壓於第三絕緣部分113之底部表面上的製程。
接下來，參看圖20，在實施例中，可藉由加工第一絕緣部分111來執行形成穿過第一絕緣部分111之通孔TH之第一孔部分TH1的製程。又，在一實施例中，可藉由加工第二絕緣部分112來執行形成穿過第二絕緣部分112之通孔TH之第二孔部分TH2的製程。
接下來，參看圖21，可執行在第一絕緣部分111之底部表面及第一孔部分TH1之內壁上形成第一晶種層121-1的製程，及在第二絕緣部分112之頂部表面及第二孔部分TH2之內壁上形成第二晶種層122-1的製程。
接下來，參看圖22，在實施例中，可執行在第一晶種層121-1之底部表面上形成第二遮罩M2的製程以及在第二晶種層122-1之頂部表面上形成第三遮罩M3的製程。在此狀況下，第二遮罩M2可包括一開口，該開口曝露在第一晶種層121-1之底部表面當中將安置有第一圖案層130的區域及將安置有第一電極部分121的區域。另外，第三遮罩M3可包括一開口，該開口曝露在第二晶種層122-1之頂部表面當中將安置有第二圖案層140的區域及將安置有第二電極部分122的區域。
接下來，參看圖23，在實施例中，可藉由使用第一晶種層121-1執行電鍍來執行形成第一電極部分121及第一圖案層130的製程。另外，在一實施例中，可藉由使用第二晶種層122-1執行電解電鍍來執行形成第二電極部分122及第二圖案層140的製程。
接下來，參看圖24，在實施例中，可執行移除第二遮罩M2及第三遮罩M3之製程。另外，在一實施例中，可執行移除第一晶種層121-1及第二晶種層122-1之製程。因此，在實施例中，第一電極部分121及第二電極部分122可具有不同於第三電極部分123之層結構的層結構。舉例而言，第三電極部分123可僅包括電解電鍍層，此係因為晶種層在執行電鍍製程之後被完全移除。替代地，第一電極部分121及第二電極部分122可具有其中保留晶種層之一部分的結構，且因此可具有包括晶種層及電解電鍍層之雙層結構。
當在作為具有某一厚度或更大(例如300μm或更大)之核 心層的絕緣層中形成貫通電極時，實施例將絕緣層劃分成複數個絕緣部分(例如第一至第三絕緣部分)，且因此，形成穿過該等絕緣部分中之各者之電極部分(例如第一至第三電極部分)。另外，在首先經由電鍍後製程形成構成貫通電極之第三電極部分之後，藉由分別在第三電極部分之下部部分及上部部分上形成第一電極部分及第二電極部分而形成實施例之最終貫通電極。亦即，首先藉由應用電鍍後方法來形成對應於實施例中之貫通電極之中心的第三電極部分，且接著分別在第三電極部分下方及上方形成第一電極部分及第二電極部分。因此，實施例可防止產生未填充於貫通電極之電極部分中之空的空間。因此，實施例防止在貫通電極中出現諸如空隙或凹坑的問題，藉此改良貫通電極之物理可靠性及電可靠性。
另外，根據實施例，安置於構成貫通電極之複數個電極部分之中心處的第三電極部分係經由電鍍後製程而形成，且因此頂部表面與底部表面的寬度實質上相同。因此，相比於比較實例中之具有沙漏形狀之貫通電極，該實施例可增加貫通電極之面積，且因此，根據貫通電極之功能的效應可最大化。舉例而言，當貫通電極具有信號屏蔽功能時，可進一步改良信號屏蔽效應。舉例而言，當貫通電極具有熱耗散功能時，可進一步改良熱耗散特性。
此外，藉由在絕緣層之中心區域中包括玻璃纖維之密集區域而使玻璃纖維部分地曝露於實施例之通孔之中心區域中。另外，在覆蓋經由通孔曝露之玻璃纖維的同時，可形成實施例之貫通電極。在此狀況下，經曝露之玻璃纖維起到增加通孔內壁之粗糙度的作用，且因此，當形成貫通電極時可改良絕緣層與貫通電極之間的接合力。因此，在實施例中，有可能解決由於電路板之各種使用環境中出現的翹曲而使貫通電極與絕緣層分離的問題，且因此可改良電路板之物理可靠性及電可靠性。
上述實施例中所描述之特性、結構及效應包括在至少一個實施例但不限於一個實施例。此外，一般熟習實施例所屬之此項技術者甚至可相對於其他實施例組合或修改實施例中之各者中所說明的特性、結構及效應及其類似者。因此，應認為與此組合及此修改相關之內容包括在實施例之 範疇中。
以上描述已集中於實施例，但其僅為說明性的且不限制實施例。熟習實施例涉及之技術者可瞭解，在不脫離實施例之基本特徵之情況下，上文未說明之各種修改及應用係可能的。舉例而言，可修改及實施在實施例中特定表示之各組件。另外，應理解，與此類改變及應用相關之差異包括於隨附申請專利範圍中所界定之實施例的範疇中。
110:絕緣層/第一絕緣層
111:第一絕緣部分
112:第二絕緣部分
113:第三絕緣部分
120:貫通電極
121:第一電極部分
122:第二電極部分
123:第三電極部分
130:第一圖案層
140:第二圖案層
BS:底部表面
T:厚度
T1:第一厚度
T2:第二厚度
T3:第三厚度
TH:通孔
TH1:第一孔部分
TH2:第二孔部分
TH3:第三孔部分
TS:頂部表面

Claims (17)

  1. 一種電路板，其包含：
    一絕緣層，其包括一頂部表面及一底部表面；及
    一貫通電極，其穿過該絕緣層之該上部表面及該底部表面，
    其中該貫通電極包括：
    一第一電極部分，其鄰近於該絕緣層之該底部表面而安置且具有一第一傾角使得一寬度朝向該絕緣層之該頂部表面減小；
    一第二電極部分，其安置於該第一電極部分上且具有一第二傾角使得一寬度朝向該絕緣層之該頂部表面增加；及
    一第三電極部分，其安置於該第一電極部分與該第二電極部分之間且具有不同於該第一傾角及該第二傾角的一第三傾角；
    其中該第一電極部分之最接近該第三電極部分的一部分之一寬度小於或等於該第三電極部分之一寬度，且
    其中該第二電極部分之最接近該第三電極部分的一部分之一寬度小於或等於該第三電極部分之一寬度。
  2. 一種電路板，其包含：
    一絕緣層，其包括一頂部表面及一底部表面；及穿過該頂部表面及該底部表面之一通孔，
    其中該通孔包括：
    一第一孔部分，其鄰近於該絕緣層之該底部表面而安置且具有一第一傾角以朝向該絕緣層之該頂部表面減小寬度；
    一第二孔部分，其安置於該第一孔部分上且具有一第二傾角以朝向該頂部表面增加寬度；及
    一第三孔部分，其安置於該第一孔部分與該第二孔部分之間且具有不同於該第一傾角及該第二傾角的一第三傾角；
    其中該第一孔部分之最接近該第三孔部分的一部分之一寬度小於或等於該第三孔部分之一寬度，且
    其中該第二孔部分之最接近該第三孔部分的一部分之一寬度小於或等 於該第三孔部分之一寬度。
  3. 如請求項2之電路板，其進一步包含：
    一貫通電極，其穿過該絕緣層且對應於該通孔；
    其中該貫通電極包括：
    對應於該第一孔部分之一第一電極部分；
    對應於該第二孔部分之一第二電極部分；及
    對應於該第三孔部分之一第三電極部分。
  4. 如請求項1或3之電路板，其進一步包含：
    一第一襯墊，其安置於該絕緣層之該底部表面上且連接至該第一電極部分；及
    一第二襯墊，其安置於該絕緣層之該頂部表面上且連接至該第二電極部分。
  5. 如請求項4之電路板，其中該第一電極部分之最接近該第一襯墊的一部分之一寬度小於該第一襯墊之一寬度；且
    其中該第二電極部分之最接近該第二襯墊的一部分之一寬度小於該第二襯墊之一寬度。
  6. 如請求項1或3之電路板，其中該第三電極部分之一頂部表面之一寬度滿足該第三電極部分之一底部表面之一寬度的95%至105%之一範圍。
  7. 如請求項1或3之電路板，其中該第三傾角垂直於該絕緣層之該頂部表面或該底部表面。
  8. 如請求項1或3之電路板，其中該第一電極部分及該第二電極部分相對於該第三電極部分具有一相互對稱形狀。
  9. 如請求項1或3之電路板，其中該第一傾角及該第二傾角在不同方向上傾斜。
  10. 如請求項1或3之電路板，其中該絕緣層之一厚度為300μm或更大。
  11. 如請求項1或3之電路板，其中該絕緣層包括：
    一第一絕緣部分，其中安置有該第一電極部分；
    一第二絕緣部分，其中安置有該第二電極部分；及
    一第三絕緣部分，其中安置有該第三電極部分。
  12. 如請求項11之電路板，其中該第三絕緣部分中的一玻璃纖維之一密度大於該第一絕緣部分及該第二絕緣部分中之各者的一玻璃纖維之一密度。
  13. 如請求項11之電路板，其中該第一絕緣部分至該第三絕緣部分包括彼此相同的絕緣材料。
  14. 如請求項13之電路板，其中該絕緣材料包括一預浸料。
  15. 如請求項11之電路板，其中該第一絕緣部分及該第二絕緣部分中之各者的一厚度具有在該第三絕緣部分之一厚度之35%與65%之間的一範圍。
  16. 如請求項1或3之電路板，其中該第一電極部分具有一梯形形狀，其中該第一電極部分之一底部表面的一寬度大於該第一電極部分之一頂部表面的一寬度，
    其中該第二電極部分具有一梯形形狀，其中該第二電極部分之一底部表面的一寬度小於該第二電極部分之一頂部表面的一寬度，且
    其中該第三電極部分具有一矩形形狀，其中該第三電極部分之一底部表面的一寬度與該第三電極部分之一頂部表面的一寬度相同。
  17. 一種半導體封裝，其包含：
    一電路板，其包括一安裝襯墊；
    一連接部分，其安置於該電路板之該安裝襯墊上；
    一晶片，其安置於該連接部分上；及
    一模製層，其用於模製該晶片；
    其中該電路襯墊包括：
    一絕緣層，其包括一頂部表面及一底部表面；及
    一貫通電極，其穿過該絕緣層之該上部表面及該底部表面，
    其中該貫通電極包括：
    一第一電極部分，其鄰近於該絕緣層之該底部表面而安置且具有一第一傾角使得一寬度朝向該絕緣層之該頂部表面減小；
    一第二電極部分，其安置於該第一電極部分上且具有一第二傾角使得一寬度朝向該絕緣層之該頂部表面增加；及
    一第三電極部分，其安置於該第一電極部分與該第二電極部分之間且具有不同於該第一傾角及該第二傾角的一第三傾角；
    其中該第一電極部分之最接近該第三電極部分的一部分之一寬度小於或等於該第三電極部分之一寬度，
    其中該第二電極部分之最接近該第三電極部分的一部分之一寬度小於或等於該第三電極部分之一寬度，
    其中該晶片包括安置為在一寬度方向上彼此間隔開的一第一晶片及一第二晶片，
    其中該第一晶片對應於一中央處理器(CPU)，且
    其中該第二晶片對應於一圖形處理器(GPU)。
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