TW202213593A - 工件支承裝置、工件處理裝置、工件搬運裝置、工件支承方法及工件處理方法 - Google Patents

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Abstract

本發明的目的在於提供一種在使用伯努利吸盤支承工件時，能夠維持吸附力，並且能夠防止工件的表面的乾燥的工件支承裝置、工件處理裝置、工件搬運裝置、工件支承方法及工件處理方法。工件支承裝置（12）具備：通過噴射氣體而產生吸引力的伯努利吸盤（14）；配置為包圍伯努利吸盤（14），並在伯努利吸盤（14）的周圍噴放液體的液體噴吐部件（13）。

Description

工件支承裝置、工件處理裝置、工件搬運裝置、工件支承方法及工件處理方法
本發明涉及一種工件支承裝置及工件支承方法。
近年來，存儲器電路、邏輯電路、圖像傳感器（例如CMOS傳感器）等器件越來越高程度地聚集堆疊。在形成這些器件的工序中，微小顆粒、塵埃等異物可能附著於器件。附著於器件的異物會引起配線間的短路、不良的情況。因此，為了提高器件的可靠性，需要清洗形成有器件的晶圓，從而去除晶圓上的異物。
在晶圓的背面（非器件面）也可能像上述那樣附著微小顆粒、粉塵等異物。當這樣的異物附著於晶圓的背面時，晶圓會從曝光裝置的載物台基準面離開，或晶圓表面相對於載物台基準面傾斜，其結果是，會產生圖案形成的偏差、焦點距離的偏差。為了防止這樣的問題，需要去除附著於晶圓的背面的異物。 現有技術文獻 專利文獻
專利文獻1：日本特開2018-111146號公報 專利文獻2：日本特開2019-77003號公報 發明所要解決的技術問題
以往，作為支承晶圓等的工件的機構，使用了伯努利吸盤。伯努利吸盤是通過噴出流體並利用伯努利定理產生吸引力的吸盤，經由流體以非接觸狀態來支承工件。但是，通常，使用壓縮空氣作為流體，因此由伯努利吸盤支承的工件的表面乾燥，從而成為空氣中的異物、因研磨處理而產生的研磨屑等異物附著的原因。
為了防止工件的表面乾燥，可以考慮向伯努利吸盤供給純水來代替壓縮空氣。但是，存在伯努利吸盤的吸附力與供給壓縮空氣時相比變弱的問題。
本發明的目的在於，提供一種在使用伯努利吸盤支承工件時，能夠維持吸附力，並且能夠防止工件的表面的乾燥的工件支承裝置。 用於解決技術問題的技術手段
在一方式中，提供一種工件支承裝置，具備：伯努利吸盤，該伯努利吸盤通過噴射氣體而產生吸引力；以及液體噴吐部件，該液體噴吐部件配置為包圍所述伯努利吸盤，並在所述伯努利吸盤的周圍噴放液體。 在一方式中，所述液體噴吐部件具有複數個液體噴吐口，該複數個液體噴吐口排列於所述伯努利吸盤的周圍。 在一方式中，所述伯努利吸盤具備朝向該伯努利吸盤的半徑方向外側的複數個氣體噴出口，所述複數個氣體噴出口配置為放射狀地噴射氣體。 在一方式中，在從所述液體噴吐部件的上方看時，所述複數個液體噴吐口位於從所述伯努利吸盤的中心穿過所述複數個氣體噴出口而延伸的複數條直線上。
在一方式中，所述液體噴吐部件具備：包圍所述伯努利吸盤的側壁、與所述側壁連接的底部、以及朝向所述伯努利吸盤的外表面的液體噴吐口，所述液體噴吐口配置為：當噴放液體時，使所述液體從所述伯努利吸盤與所述液體噴吐部件的間隙沿著所述工件的表面向外側流動。 在一方式中，所述液體噴吐口位於所述底部。 在一方式中，所述液體噴吐口位於所述側壁的內表面。 在一方式中，所述氣體噴出口配置為：在從所述伯努利吸盤的上方看時，該氣體噴出口朝向相對於所述伯努利吸盤的半徑方向傾斜的方向，從而形成氣體的回旋流。
在一方式中，提供一種工件處理裝置，具備：用於處理工件的處理頭；以及用於支承所述工件的上述支承裝置。 在一方式中，提供一種工件搬運裝置，具備：用於支承工件的上述支承裝置；以及使所述工件支承裝置移動的移動裝置。
在一方式中，提供一種工件支承方法，一邊通過從伯努利吸盤噴射氣體而產生的吸引力來吸引工件，一邊通過所述氣體的流動支承所述工件，從包圍所述伯努利吸盤的液體噴吐部件在所述伯努利吸盤的周圍噴放液體。 在一方式中，所述液體從排列於所述伯努利吸盤的周圍的複數個液體噴吐口沿著所述工件的表面向外側流動。 在一方式中，所述氣體從設置於所述伯努利吸盤的複數個氣體噴出口朝向外側放射狀地噴射。 在一方式中，在從所述液體噴吐部件的上方看時，所述複數個液體噴吐口位於從所述伯努利吸盤的中心穿過所述複數個氣體噴出口而延伸的複數條直線上。 在一方式中，所述液體從所述伯努利吸盤與所述液體噴吐部件的間隙沿著所述工件的表面向外側流動。 在一方式中，從所述伯努利吸盤的氣體噴出口噴射所述氣體而形成回旋流。
在一方式中，提供一種工件處理方法，一邊通過從伯努利吸盤噴射氣體而產生的吸引力來吸引工件，一邊通過所述氣體的流動支承所述工件，從包圍所述伯努利吸盤的液體噴吐部件在所述伯努利吸盤的周圍噴放液體，一邊向所述工件的處理點供給所述液體，一邊利用處理頭處理所述工件的所述處理點。 發明的效果
根據本發明，能夠維持伯努利吸盤對工件的吸附力，並且向工件的表面供給液體，從而能夠防止工件的乾燥。
以下，參照附圖，對本發明的實施方式進行說明。圖1是表示研磨裝置1的一實施方式的意圖。圖1所示的研磨裝置1具有：工件保持部10，該工件保持部10保持作為工件的一例的晶圓W，並使晶圓W以其軸心為中心旋轉；研磨頭20，該研磨頭20使作為研磨器具的研磨帶3與保持於工件保持部10的晶圓W的第一面2a接觸，從而研磨晶圓W的第一面2a；以及研磨帶供給機構30，該研磨帶供給機構30向研磨頭20供給研磨帶3。研磨頭20是處理晶圓W的表面的處理頭的一例。
工件保持部10具備：能夠與晶圓W的周緣部接觸的複數個輥11；以及用流體支承晶圓W的第一面（下表面）2a的複數個工件支承裝置12。工件保持部10具備用於使各輥11以其軸心為中心旋轉的輥旋轉機構（未圖示）。關於工件支承裝置12，將在之後詳細敘述。
在本實施方式中，晶圓W的第一面2a是未形成有器件，或沒有形成器件的計劃的晶圓W的背面，即非器件面。第一面2a的相反側的晶圓W的第二面2b是形成有器件，或有形成器件的計劃的面，即器件面。在本實施方式中，晶圓W在該第一面2a朝向下方的狀態下被工件保持部10支承為水平。
研磨頭20配置在由工件保持部10保持的晶圓W的下側。研磨頭20具備：將研磨帶3按壓於晶圓W的第一面2a的按壓部件21；以及將按壓部件21向上方推舉起的加壓機構22。加壓機構22將按壓部件21向上方推舉起，從而按壓部件21從研磨帶3的背側將研磨帶3按壓於晶圓W的第一面2a，由此研磨晶圓W的第一面2a。
研磨帶供給機構30具備：與研磨帶3的一端連接的帶抽出捲筒31；與研磨帶3的另一端連接的帶捲入捲筒32；沿著研磨帶3的長邊方向輸送研磨帶3的帶輸送裝置40；以及引導研磨帶3的行進方向的複數個引導輥33。帶輸送裝置40具備：與帶輸送電動機（未圖示）連結的帶輸送輥41；以及將研磨帶3按壓於帶輸送輥41的夾持輥42。研磨帶3夾在帶輸送輥41與夾持輥42之間。當帶輸送電動機使帶輸送輥41旋轉時，研磨帶3沿其長邊方向行進。更具體而言，研磨帶3從帶抽出捲筒31經由研磨頭20而向帶捲入捲筒32行進。複數個引導輥33以研磨帶3向與晶圓W的第一面2a平行的方向行進的方式引導研磨帶3。
帶抽出捲筒31和帶捲入捲筒32分別與未圖示電動機的連結。這些電動機對帶抽出捲筒31和帶捲入捲筒32施加向反方向旋轉的轉矩，由此對研磨帶3施加張力。
在一實施方式中，研磨帶供給機構30不限於上述的結構，也可以不具備帶輸送裝置40，而具備帶抽出捲筒31、帶捲入捲筒32、複數個引導輥33。也可以是，例如，當帶捲入捲筒32通過未圖示的電動機而旋轉時，研磨帶3從帶抽出捲筒31經由研磨頭20而向帶捲入捲筒32行進。複數個引導輥33以研磨帶3向與晶圓W的第一面2a平行的方向行進的方式引導研磨帶3。帶抽出捲筒31與帶捲入捲筒32的位置也可以反過來配置。
研磨裝置1的動作由動作控制部50控制。動作控制部50與工件保持部10、研磨頭20、研磨帶供給機構30電連接。工件保持部10的輥11、工件支承裝置12、研磨頭20、研磨帶供給機構30的動作由動作控制部50控制。動作控制部50由至少一個電腦構成。
圖2是表示由工件保持部10保持晶圓W的樣子的俯視圖。在圖2中，晶圓W的周緣部被四個輥11保持，晶圓W的第一面2a被六個工件支承裝置12支承。四個輥11排列於工件保持部10的基準中心點O的周圍。輥旋轉機構（未圖示）構成為使四個輥11向相同的方向以相同的速度旋轉。在晶圓W的第一面2a的研磨過程中，晶圓W的周緣部被輥11握持。晶圓W被保持為水平，晶圓W通過輥11的旋轉而以其軸心為中心旋轉。在晶圓W的第一面2a的研磨過程中，四個輥11以各自的軸心為中心旋轉，但輥11自身的位置是固定的。在本實施方式中有四個輥11，但輥的數量不限於本實施方式。也可以設置五個以上的輥。在一實施方式中，也可以是，晶圓W以相對於水平方向傾斜的方式被複數個輥11保持。
晶圓W還被複數個工件支承裝置12支承。這些工件支承裝置12排列於研磨帶3和按壓部件21的兩側。配置在由按壓部件21支承的研磨帶3的一方側的三個工件支承裝置12沿著研磨帶3排列。同樣地，配置在由按壓部件21支承的研磨帶3的另一方側的三個工件支承裝置12沿著研磨帶3排列。雖然六個工件支承裝置12分別從研磨帶3和按壓部件21離開，但與研磨帶3和按壓部件21接近。在本實施方式中有六個工件支承裝置12，但工件支承裝置12的數量和位置不限於本實施方式。也可以僅設置一個工件支承裝置12。
工件支承裝置12具備液體噴吐部件13和伯努利吸盤14。伯努利吸盤14通過氣體的流動來吸引晶圓W的第一面2a，且非接觸地支承該晶圓W。在本說明書中，伯努利吸盤14被定義為通過噴出氣體而利用伯努利定理來產生吸引力的吸盤。
接著，對工件支承裝置12的詳細進行說明。圖3的（a）是表示工件支承裝置12的一實施方式的俯視圖，圖3的（b）是圖3（a）的A-A線剖視圖。工件支承裝置12具備液體噴吐部件13和伯努利吸盤14。液體噴吐部件13配置為包圍伯努利吸盤14。液體噴吐部件13具有：複數個液體噴吐口13a、複數個液體流路13b、包圍伯努利吸盤14的側壁13c、以及與側壁13c連接的底部13d。側壁13c的內徑比伯努利吸盤14的外徑大，伯努利吸盤14配置於液體噴吐部件13內。
液體噴吐口13a是形成於液體噴吐部件13的上表面的複數個孔，在從液體噴吐部件13的上方看時，這些液體噴吐口13a在同一圓周上位於等間隔的位置。液體噴吐口13a形成於側壁13c的上表面，並配置為包圍伯努利吸盤14。
液體流路13b從液體噴吐口13a在側壁13c內朝向底部13d而向下方延伸，進而在底部13d內延伸並在底部13d的中央部分合流。液體流路13b與向液體噴吐部件13供給液體的液體供給管線15連通。在液體供給管線15安裝有液體供給閥17，液體供給閥17與動作控制部50電連接。液體供給閥17的動作由動作控制部50控制。作為液體供給閥17的例，能夠列舉出電動閥、電磁閥等致動器型驅動閥。
伯努利吸盤14具有朝向上方的吸引面14a，吸引面14a與晶圓W的第一面（下表面）2a相對。伯努利吸盤14具有：位於吸引面14a的周圍的複數個氣體噴出口14b；以及與這些氣體噴出口14b連通的氣體流路14c。
氣體噴出口14b形成於伯努利吸盤14的從吸引面14a向下方延伸的壁面14d。這些複數個氣體噴出口14b朝向半徑方向外側。如圖3的（a）所示，在從伯努利吸盤14的上方看時，氣體噴出口14b在同一圓周上位於等間隔的位置。在從液體噴吐部件13的上方看時，液體噴吐部件13的液體噴吐口13a位於從伯努利吸盤14的中心Q穿過氣體噴出口14b延伸的複數條直線上。
氣體流路14c具有從氣體噴出口14b向伯努利吸盤14的半徑方向內側延伸的複數個分支流路，這些分支流路在伯努利吸盤14的中央部分合流。氣體流路14c與向伯努利吸盤14供給氣體（例如，乾燥的空氣、非活性氣體等）的氣體供給管線16連通。在氣體供給管線16安裝有氣體供給閥18，氣體供給閥18與動作控制部50電連接。氣體供給閥18的動作由動作控制部50控制。作為氣體供給閥18的例，能夠列舉出電動閥、電磁閥等致動器型驅動閥。
當動作控制部50打開液體供給閥17和氣體供給閥18時，液體被向液體噴吐部件13供給，氣體被向伯努利吸盤14供給。供給至液體噴吐部件13的液體通過液體流路13b而從複數個液體噴吐口13a朝向液體噴吐部件13的外側噴放。供給至伯努利吸盤14的氣體通過氣體流路14c而從複數個氣體噴出口14b朝向伯努利吸盤14的外側放射狀地噴射。在圖3的（a）和圖3的（b）中，由實線表示的箭頭表示液體的流動，由虛線表示的箭頭表示氣體的流動。
在本實施方式中，設置有六個液體噴吐口13a和十二個氣體噴出口14b。但是，圖3的（a）和圖3的（b）所示的液體噴吐口13a和氣體噴出口14b的數量和位置是一例，沒有特別的限定。
本實施方式的液體噴吐部件13具有包圍伯努利吸盤14的側壁13c，但只要是能夠在伯努利吸盤14的周圍噴放液體的結構，液體噴吐部件13不限於該實施方式。例如，也可以是，液體噴吐部件13不具有側壁13c，取而代之，具備在伯努利吸盤14的周圍噴放液體的複數個液體噴嘴。
圖4是表示圖3的（a）和圖3的（b）所示的工件支承裝置12支承晶圓的下表的樣子的示意圖。工件支承裝置12配置於晶圓W的下方。當動作控制部50打開氣體供給閥18時，氣體流過氣體供給管線16而向伯努利吸盤14供給，並從伯努利吸盤14向外側噴吐。從吸引面14a向外側擴展的氣體的流動在吸引面14a的中心部與晶圓W的第一面2a之間的空間形成負壓。由此，伯努利吸盤14在吸引面14a的中心部產生吸引力而吸引晶圓W。在伯努利吸盤14的外周部與晶圓W的第一面2a之間的空間形成有氣體流，通過該氣體流支承晶圓W的第一面2a。這樣，伯努利吸盤14能夠吸引晶圓W，並且非接觸地支承晶圓W。因此，能夠一邊由伯努利吸盤14支承晶圓W，一邊由工件保持部10的輥11使晶圓W旋轉。
在將研磨帶3向晶圓W的第一面2a按壓而研磨晶圓W的第一面2a時，對晶圓W向上方向施加研磨負荷。在本實施方式中，晶圓W通過伯努利吸盤14而受到下方向的吸引力。像這樣的下方向的吸引力與施加於晶圓W的上方向的研磨負荷抵消。因此，研磨頭20能夠一邊抑制使晶圓W向上方彎曲，一邊對晶圓W的第一面2a施加研磨負荷。而且，晶圓W被伯努利吸盤14的吸引面14a非接觸地吸引，因此能夠將晶圓W的第一面2a保持為潔淨。
伯努利吸盤14非接觸地吸引晶圓W的第一面2a，同時液體從液體噴吐部件13噴放。通過來自伯努利吸盤14的氣體向外側的流動，從而液體從伯努利吸盤14的周圍沿著晶圓W的第一面2a向外側流動。由於晶圓W在旋轉，因此與氣體流接觸的晶圓W的一部分立即與液體接觸，從而防止該部分的乾燥。進一步地，如圖4所示，通過將工件支承裝置12配置於按壓部件21的附近，能夠將從液體噴吐部件13噴放的液體向晶圓W的處理點（研磨點）供給。作為結果，能夠有效地去除因研磨處理而產生的研磨屑。
圖5的（a）是表示工件支承裝置12的其他實施方式的俯視圖，圖5的（b）是圖5的（a）的B-B線剖視圖。沒有特別地說明的本實施方式的結構與參照圖3的（a）和圖3的（b）說明過的上述實施方式相同，因此省略其重複的說明。
液體噴吐部件13配置為包圍伯努利吸盤14。液體噴吐部件13的內徑比伯努利吸盤14的外徑大，在液體噴吐部件13的側壁13c與伯努利吸盤14的外壁之間形成有間隙13e。在液體噴吐部件13內配置了伯努利吸盤14時的液體噴吐部件13的上表面的高度可以比伯努利吸盤14的上表面的高度低，也可以相同。
液體噴吐口13a朝向伯努利吸盤14的外表面。更具體而言，液體噴吐口13a朝向伯努利吸盤14的底部的外表面。在液體噴吐部件13的底部13d形成有複數個液體流路13b，該複數個液體流路13b從液體噴吐部件13的中央部分朝向半徑方向外側延伸。液體流路13b與向液體噴吐部件13供給液體的液體供給管線15連通。液體噴吐口13a是沿著底部13d的外周的環狀。環狀的液體噴吐口13a在底部13d與液體流路13b連通，並位於液體流路13b的半徑方向外側。但是，液體噴吐口13a的形狀不限於本實施方式。例如，也可以設置分別與複數個液體流路13b連接的複數個液體噴吐口13a。
伯努利吸盤14的結構與圖3的（a）和圖3的（b）所示的實施方式相同。當動作控制部50打開液體供給閥17和氣體供給閥18時，液體被向液體噴吐部件13供給，氣體被向伯努利吸盤14供給。供給至液體噴吐部件13的液體通過液體流路13b而從液體噴吐口13a噴放，並向上方流過間隙13e。之後，液體從間隙13e噴放，並沿著晶圓W的第一面2a朝向液體噴吐部件13的外側流動。供給至伯努利吸盤14的氣體通過氣體流路14c而從複數個氣體噴出口14b朝向伯努利吸盤14的外側放射狀地噴射。在圖5的（a）和圖5的（b）中，由實線表示的箭頭表示液體的流動，由虛線表示的箭頭表示氣體的流動。圖5的（a）和圖5的（b）所示的液體噴吐口13a和氣體噴出口14b的數量和位置是一例，沒有特別的限定。
圖6的（a）是表示工件支承裝置12的另一實施方式的俯視圖，圖6的（b）是圖6（a）的C-C線剖視圖。圖6的（a）和圖6的（b）所示的實施方式中，液體噴吐口13a的位置與參照圖5的（a）和圖5的（b）說明過的實施方式不同。即，液體噴吐口13a位於側壁13c的內表面。本實施方式的液體噴吐口13a也是環狀，但液體噴吐口13a的形狀不限於環狀。例如，也可以是複數個液體噴吐口13a以包圍伯努利吸盤14的方式形成於側壁13c的內表面。圖6的（a）和圖6的（b）所示的實施方式的液體噴吐部件13以外的結構和動作與參照圖5的（a）和圖5的（b）說明過的實施方式相同，因此省略說明。
圖7的（a）是表示工件支承裝置12的另一實施方式的俯視圖，圖7的（b）是圖7的（a）的D-D線剖視圖。沒有特別地說明的本實施方式的結構與參照圖3的（a）和圖3的（b）說明過的上述實施方式相同，因此省略其重複的說明。
液體噴吐部件13的結構與參照圖3的（a）和圖3的（b）說明過的實施方式相同。伯努利吸盤14具有複數個氣體噴出口14b和氣體流路14c。複數個氣體噴出口14b形成於伯努利吸盤14的側壁14e的內周面，並沿著側壁14e的內周面等間隔地排列。在從伯努利吸盤14的上方看時，各氣體噴出口14b朝向相對於伯努利吸盤14的半徑方向傾斜的方向。各氣體噴出口14b與氣體流路14c連通。氣體流路14c與向伯努利吸盤14供給氣體的氣體供給管線16連通。在氣體供給管線16安裝有氣體供給閥18，氣體供給閥18與動作控制部50電連接。氣體供給閥18的動作由動作控制部50控制。
當動作控制部50打開液體供給閥17和氣體供給閥18時，液體被向液體噴吐部件13供給，氣體被向伯努利吸盤14供給。供給至液體噴吐部件13的液體通過液體流路13b而從複數個液體噴吐口13a朝向液體噴吐部件13的外側噴放。供給至伯努利吸盤14的氣體通過氣體流路14c而從複數個氣體噴出口14b噴射，從而形成沿著側壁14e的內周面的氣體的回旋流。進一步地，形成回旋流的氣體向伯努利吸盤14的外側流動。在圖7的（a）和圖7的（b）中，由實線表示的箭頭表示液體的流動，由虛線表示的箭頭表示氣體的流動。圖7的（a）和圖7的（b）所示的液體噴吐口13a和氣體噴出口14b的數量和位置是一例，沒有特別的限定。
圖8的（a）是表示工件支承裝置12的另一實施方式的俯視圖，圖8的（b）是圖8的（a）的E-E線剖視圖。沒有特別的說明的本實施方式的結構與參照圖5的（a）和圖5的（b）說明過的上述實施方式相同，因此省略其重複的說明。在本實施方式中，液體噴吐部件13的結構與參照圖5的（a）和圖5的（b）說明過的實施方式相同，伯努利吸盤14的結構與參照圖7的（a）和圖7的（b）說明過的實施方式相同。
當動作控制部50打開液體供給閥17和氣體供給閥18時，液體被向液體噴吐部件13供給，氣體被向伯努利吸盤14供給。供給至液體噴吐部件13的液體通過液體流路13b而從液體噴吐口13a噴放，並向上方流過間隙13e。之後，液體從間隙13e噴放，並沿著晶圓W的第一面2a朝向液體噴吐部件13的外側流動。供給至伯努利吸盤14的氣體通過氣體流路14c而從複數個氣體噴出口14b噴射，從而形成沿著側壁14e的內周面的氣體的回旋流。進一步地，形成回旋流的氣體向伯努利吸盤14的外側流動。在圖8的（a）的圖8的（b）中，由實線表示的箭頭表示液體的流動，由虛線表示的箭頭表示氣體的流動。圖8的（a）和圖8的（b）所示的液體噴吐口13a和氣體噴出口14b的數量和位置是一例，沒有特別的限定。液體噴吐部件13的結構可以與參照圖6的（a）和圖6的（b）說明過的實施方式相同。
為了更有效地發揮伯努利吸盤14對晶圓W的吸附力，如圖3的（a）和圖3的（b）所示，在從液體噴吐部件13的上方看時，液體噴吐口13a可以位於從伯努利吸盤14的中心Q穿過複數個氣體噴出口14b延伸的複數條直線上。通過實驗確認了，當像這樣配置時，伯努利吸盤14對晶圓W的吸附力變高。
在上述的實施方式中，對研磨晶圓W的研磨裝置1的工件支承裝置12進行了說明，但本發明不限於此。本發明能夠應用於全部工件處理裝置。作為工件處理裝置的其他例，能夠列舉出清洗晶圓等工件的清洗裝置。作為清洗裝置的處理頭的具體例，能夠列舉出輥形海綿、筆型海綿等清洗器具。
圖9是表示工件搬運裝置60的一實施方式的示意圖。本發明也能夠應用於圖9所示的工件搬運裝置60。工件搬運裝置60具備：握持部(hand)62、移動裝置61、以及工件支承裝置12。工件支承裝置12固定於握持部62。握持部62支承作為工件的一例的晶圓W的周緣部，進而通過與參照圖3、圖5～圖8說明過的實施方式中的任一個相同的工件支承裝置12以非接觸狀態支承晶圓W的一方的面。工件搬運裝置60能夠通過由移動裝置61使握持部62和工件支承裝置12移動來搬運晶圓W。
在上述的實施方式中，作為工件的一例說明了晶圓W，但本發明不限於此。作為工件的其他例，能夠列舉出方型基板、液晶面板。
上述的實施方式是以本發明所屬的技術領域中具有通常的知識的人能夠實施本發明為目的而記載的。上述實施方式的各種變形例只要是本領域技術人員就當然能夠實現，本發明的技術思想也能夠適用於其他實施方式。因此，本發明不限於所記載的實施方式，而是解釋為按照本發明的申請專利範圍所定義的技術思想的最大的範圍。
1:研磨裝置 2a:第一面 2b:第二面 3:研磨帶 10:工件保持部 11:輥 12:工件支承裝置 13:液體噴吐部件 13a:液體噴吐口 13b:液體流路 13c:側壁 13d:底部 13e:間隙 14:伯努利吸盤 14a:吸引面 14b:氣體噴出口 14c:氣體流路 14d:壁面 14e:側壁 15:液體供給管線 16:氣體供給管線 17:液體供給閥 18:氣體供給閥 20:研磨頭（處理頭） 21:按壓部件 22:加壓機構 30:研磨帶供給機構 31:帶抽出捲筒 32:帶捲入捲筒 33:引導輥 40:帶輸送裝置 41:帶輸送輥 42:夾持輥 50:動作控制部 60:工件搬運裝置 61:移動裝置 62:握持部 W:晶圓
圖1是表示研磨裝置的一實施方式的示意圖。 圖2是表示由工件保持部支承晶圓的樣子的俯視圖。 圖3中的（a）是表示工件支承裝置的一實施方式的俯視圖，圖3的（b）是圖3的（a）的A-A線剖視圖。 圖4是表示圖3的（a）和圖3的（b）表示的工件支承裝置支承晶圓的下表面的樣子的示意圖。 圖5的（a）是表示工件支承裝置的其他實施方式的俯視圖，圖5的（b）是圖5的（a）的B-B線剖視圖。 圖6的（a）是表示工件支承裝置的另一實施方式的俯視圖，圖6的（b）是圖6的（a）的C-C線剖視圖。 圖7的（a）是表示工件支承裝置的另一實施方式的俯視圖，圖7的（b）是圖7的（a）的D-D線剖視圖。 圖8的（a）是表示工件支承裝置的另一實施方式的俯視圖，圖8的（b）是圖8的（a）的E-E線剖視圖。 圖9是表示工件搬運裝置的一實施方式的示意圖。
12:工件支承裝置
13:液體噴吐部件
13a:液體噴吐口
13b:液體流路
13c:側壁
13d:底部
14:伯努利吸盤
14a:吸引面
14b:氣體噴出口
14c:氣體流路
14d:壁面
15:液體供給管線
16:氣體供給管線
17:液體供給閥
18:氣體供給閥

Claims (17)

  1. 一種工件支承裝置，其具備： 伯努利吸盤，該伯努利吸盤通過噴射氣體而產生吸引力；以及 液體噴吐部件，該液體噴吐部件配置為包圍所述伯努利吸盤，並在所述伯努利吸盤的周圍噴放液體。
  2. 根據請求項1所述的工件支承裝置，其中，所述液體噴吐部件具有複數個液體噴吐口，該複數個液體噴吐口排列於所述伯努利吸盤的周圍。
  3. 根據請求項2所述的工件支承裝置，其中，所述伯努利吸盤具備朝向該伯努利吸盤的半徑方向外側的複數個氣體噴出口，所述複數個氣體噴出口配置為放射狀地噴射氣體。
  4. 根據請求項3所述的工件支承裝置，其中，在從所述液體噴吐部件的上方看時，所述複數個液體噴吐口位於從所述伯努利吸盤的中心穿過所述複數個氣體噴出口而延伸的複數條直線上。
  5. 根據請求項1所述的工件支承裝置，其中，所述液體噴吐部件具備：包圍所述伯努利吸盤的側壁、與所述側壁連接的底部、以及朝向所述伯努利吸盤的外表面的液體噴吐口，所述液體噴吐口配置為：當噴放液體時，使所述液體從所述伯努利吸盤與所述液體噴吐部件的間隙沿著所述工件的表面向外側流動。
  6. 根據請求項5所述的工件支承裝置，其中，所述液體噴吐口位於所述底部。
  7. 根據請求項5所述的工件支承裝置，其中，所述液體噴吐口位於所述側壁的內表面。
  8. 根據請求項1、2、5、6及7中的任一項所述的工件支承裝置，其中， 所述伯努利吸盤具備氣體噴出口，該氣體噴出口噴出所述氣體， 所述氣體噴出口配置為：在從所述伯努利吸盤的上方看時，該氣體噴出口朝向相對於所述伯努利吸盤的半徑方向傾斜的方向，從而形成氣體的回旋流。
  9. 一種工件處理裝置，其具備： 用於處理工件的處理頭；以及 用於支承所述工件的請求項1～8中任一項所述的工件支承裝置。
  10. 一種工件搬運裝置，其具備： 用於支承所述工件的請求項1～8中任一項所述的工件支承裝置；以及 使所述工件支承裝置移動的移動裝置。
  11. 一種工件支承方法，其一邊通過從伯努利吸盤噴射氣體而產生的吸引力來吸引工件，一邊通過所述氣體的流動支承所述工件， 從包圍所述伯努利吸盤的液體噴吐部件在所述伯努利吸盤的周圍噴放液體。
  12. 根據請求項11所述的工件支承方法，其中，所述液體從排列於所述伯努利吸盤的周圍的複數個液體噴吐口沿著所述工件的表面向外側流動。
  13. 根據請求項12所述的工件支承方法，其中，所述氣體從設置於所述伯努利吸盤的複數個氣體噴出口朝向外側放射狀地噴射。
  14. 根據請求項13所述的工件支承方法，其中，在從所述液體噴吐部件的上方看時，所述複數個液體噴吐口位於從所述伯努利吸盤的中心穿過所述複數個氣體噴出口而延伸的複數條直線上。
  15. 根據請求項11所述的工件支承方法，其中，所述液體從所述伯努利吸盤與所述液體噴吐部件的間隙沿著所述工件的表面向外側流動。
  16. 根據請求項11、12及15中的任一項所述的工件支承方法，其中，從所述伯努利吸盤的氣體噴出口噴射所述氣體而形成回旋流。
  17. 一種工件處理方法，其一邊通過從伯努利吸盤噴射氣體而產生的吸引力來吸引工件，一邊通過所述氣體的流動支承所述工件， 從包圍所述伯努利吸盤的液體噴吐部件在所述伯努利吸盤的周圍噴放液體， 一邊向所述工件的處理點供給所述液體，一邊利用處理頭處理所述工件的所述處理點。
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