TW202208535A - 橡膠組成物、含氟彈性體及密封材料 - Google Patents

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Abstract

一種橡膠組成物，其包含： (a)交聯反應性含氟橡膠； (b)下述式(b-1)所示的化合物；及
Figure 110117263-A0101-11-0001-1
(c)下述式(c-1)所示的化合物；

Description

橡膠組成物、含氟彈性體及密封材料
本發明關於機械特性優異，可降低壓縮永久變形，耐電漿性優異，能防止顆粒的發生之橡膠組成物、含氟彈性體及密封材料。
專利文獻1～4中揭示含氟彈性體。 先前技術文獻 專利文獻
專利文獻1：國際公開第95/002634號 專利文獻2：日本特開2000-34380號公報 專利文獻3：日本特開2006-342241號公報 專利文獻4：日本特開2019-052226號公報
例如用於半導體製造裝置(電漿裝置、蝕刻裝置、電漿化學氣相成長(CVD)裝置等)等之密封材料，從處理性或滑動時的扭曲防止之觀點來看，需要機械特性。又，從密封性之觀點來看，壓縮永久變形宜小。再者，亦要求優異的耐電漿性及防止顆粒發生。
以專利文獻1～4為首的習知技術，係藉由交聯時的放射線處理或填充材之使用，而賦予機械特性及小的壓縮永久變形。然而，於如此的手法中，難以兼顧上述耐電漿性或防止顆粒發生。具體而言，專利文獻1、2係為了賦予機械特性而摻合氟樹脂或碳黑，但可知若暴露於電漿中則氟樹脂或碳黑變成顆粒。又，專利文獻3、4中未摻合填充材，以放射線交聯來調整機械特性，但可知雖然不出現顆粒，但耐電漿性變差。
因此，本發明之目的在於提供機械特性優異，可降低壓縮永久變形，耐電漿性優異，能防止顆粒的發生之橡膠組成物、含氟彈性體及密封材料。
根據本發明，提供以下之橡膠組成物等。 1.一種橡膠組成物，其包含： (a)交聯反應性含氟橡膠； (b)下述式(b-1)所示的化合物；及
Figure 02_image001
(式(b-1)中，A為單鍵、-O-、-S-、含雜原子的基、直鏈或分支的伸烷基、伸環烷基或伸芳基，於此等之基中，氫原子未被氟原子取代，或者一部分或全部的氫原子被氟原子取代；R1 、R2 、R3 及R4 各自獨立為氫原子、氟原子、烷基、氟化烷基或取代或無取代的芳基；複數的R1 相同或相異；複數的R2 相同或相異；複數的R3 相同或相異；複數的R4 相同或相異；R1 、R2 及R3 的至少1個為氟原子或含氟原子的基；m為1～5之整數；n為1～5之整數)； (c)下述式(c-1)所示的化合物；
Figure 02_image003
(式(c-1)中，n、m各自為0或1；t為2以上之整數；Z為t價的連結基)。 2.如1記載之橡膠組成物，其進一步包含(d)有機過氧化物。 3.如1或2記載之橡膠組成物，其進一步包含(e)選自由具有全氟骨架或矽氧烷骨架的反應性化合物及氟寡聚物所成之群組的1種以上。 4.如1～3中任一項記載之橡膠組成物，其中相對於成分(a)100g，包含5～30mmol的成分(b)。 5.如1～4中任一項記載之橡膠組成物，其中相對於成分(a)100g，包含2～30mmol的成分(c)。 6.如1～5中任一項記載之橡膠組成物，其中相對於成分(a)100g，包含合計7～40mmol的成分(b)及成分(c)。 7.如1～6中任一項之橡膠組成物，其中成分(c)為三烯丙基異三聚氰酸酯或1,6-二乙烯基(十二氟己烷)。 8.一種含氟彈性體，其係將如1～7中任一項記載之橡膠組成物交聯而成。 9.一種密封材料，其包含如8記載之含氟彈性體。
根據本發明，可提供機械特性優異，能降低壓縮永久變形，耐電漿性優異，能防止顆粒的發生之橡膠組成物、含氟彈性體及密封材料。
實施發明的形態
以下，詳述本發明之橡膠組成物、含氟彈性體及密封材料。 尚且，本說明書中，「x～y」表示「x以上、y以下」之數值範圍。關於數值範圍所記載之上限值及下限值係可任意地組合。 又，組合2個以上的以下記載的本發明之各個形態的形態亦還是本發明之形態。
本發明之一態樣的橡膠組成物包含： (a)交聯反應性含氟橡膠； (b)下述式(b-1)所示的化合物；及
Figure 02_image005
(式(b-1)中，A為單鍵、-O-、-S-、含雜原子的基、直鏈或分支的伸烷基、伸環烷基或伸芳基，於此等之基中，氫原子未被氟原子取代，或者一部分或全部的氫原子被氟原子取代；R1 、R2 、R3 及R4 各自獨立為氫原子、氟原子、烷基、氟化烷基或取代或無取代的芳基；複數的R1 相同或相異；複數的R2 相同或相異；複數的R3 相同或相異；複數的R4 相同或相異；R1 、R2 及R3 的至少1個為氟原子或含氟原子的基；m為1～5之整數；n為1～5之整數)； (c)下述式(c-1)所示的化合物；
Figure 02_image007
(式(c-1)中，n、m各自為0或1；t為2以上之整數；Z為t價的連結基)。
根據本態樣之橡膠組成物，得到機械特性優異，能降低壓縮永久變形，耐電漿性優異，能防止顆粒的發生之效果。特別地，可平衡良好地發揮機械特性優異的效果、能降低壓縮永久變形的效果、耐電漿性優異的效果及防止顆粒的發生之效果。
於本態樣中，藉由併用成分(b)與成分(c)作為共交聯劑，將橡膠組成物交聯而得的交聯體(含氟彈性體)之機械特性優異(例如硬度升高)，同時可降低壓縮永久變形。又，與單獨使用成分(c)作為共交聯劑之情況比較下，可提高加工性(混練性)。
於本態樣中，未必依靠放射線處理或填充材之使用，可達成機械特性及小的壓縮永久變形。因此，可減低或省略成為損害耐電漿性之原因或顆粒的發生原因的放射線處理或填充材之使用。
本態樣之橡膠組成物係藉由摻合例如有機過氧化物(成分(d))作為任意成分並交聯，而得到交聯體(含氟彈性體)。
本態樣之橡膠組成物可例如摻合反應性化合物或氟寡聚物(成分(e))或其他成分(成分(f))作為任意成分。
以下，詳細說明各成分。
(成分(a)：交聯反應性含氟橡膠) 成分(a)為交聯反應性含氟橡膠。
所謂「交聯反應性」含氟橡膠，就是意指藉由交聯反應能交聯的含氟橡膠。交聯反應性含氟橡膠例如可包含源自含氟單體的重複單元。交聯反應性含氟橡膠可包含1種或2種以上的源自含氟單體的重複單元。
作為含氟單體，例如可舉出下述式(a-1)所示的四氟乙烯(TFE)、下述式(a-2)所示的六氟丙烯(HFP)等。 CF2 =CF2 (a-1) CF2 =CFCF3 (a-2)
又，作為含氟單體，例如較佳可舉出在末端位具有乙烯型的1個不飽和鍵之全氟烯烴等。作為具體例，可舉出下述式(a-3)所示的全氟烷基乙烯基醚(PAVE)、下述式(a-4)所示的全氟氧基烷基乙烯基醚、下述式(a-5)所示的全氟乙烯基醚等。
CF2 =CFORf1 (a-3) (式(a-3)中，Rf1 為碳數1～6的全氟烷基，例如三氟甲基或五氟丙基)。
CF2 =CFORf2 (a-4) (式(a-4)中，Rf2 為含有1個以上的醚基之碳數1～12的全氟氧基烷基，例如全氟-2-丙氧基丙基)。
CF2 =CFOCF2 ORf3 (a-5) (式(a-5)中，Rf3 為碳數2～6的直鏈或分枝全氟烷基、碳數5～6的環狀全氟烷基、或含有氧原子1～3個之碳數2～6的直鏈或分枝全氟氧基烷基)。
於一實施形態中，式(a-5)所示的全氟乙烯基醚係以下述式(a-6)或式(a-7)表示。尚且，有將式(a-6)所示的全氟乙烯基醚稱為「MOVE1」，將式(a-7)所示的全氟乙烯基醚稱為「MOVE2」之情況。 CF2 =CFOCF2 OCF2 CF3 (a-6) CF2 =CFOCF2 OCF2 CF2 OCF3 (a-7)
於一實施形態中，交聯反應性含氟橡膠可為包含源自選自由式(a-1)及式(a-2)所成之群組的1種以上之含氟單體的重複單元與源自選自由式(a-3)～式(a-5)所成之群組的1種以上之含氟單體(共聚單體)的重複單元之共聚物。
用於製造交聯反應性含氟橡膠的含氟單體之組成(莫耳比)係沒有特別的限定。
於一實施形態中，交聯反應性含氟橡膠可使用選自由式(a-1)及式(a-2)所成之群組的1種以上之含氟單體50～85莫耳%及選自由式(a-3)～式(a-5)所成之群組的1種以上之含氟單體15～50莫耳%來製造。
於一實施形態中，交聯反應性含氟橡膠可使用TFE 50～85莫耳%及PAVE 15～50莫耳%來製造。
於一實施形態中，交聯反應性含氟橡膠可使用TFE 50～85莫耳%及MOVE 15～50莫耳%來製造。此處，「MOVE」係選自由MOVE1及MOVE2所成之群組的1種以上。
於一實施形態中，交聯反應性含氟橡膠可包含或不含源自偏二氟乙烯的單元。
交聯反應性含氟橡膠例如可為偏二氟乙烯/六氟丙烯共聚物(二元系FKM)、偏二氟乙烯/六氟丙烯/四氟乙烯共聚物(三元系FKM)、偏二氟乙烯/六氟丙烯/全氟烷基乙烯基醚共聚物、四氟乙烯/丙烯共聚物、六氟丙烯/乙烯共聚物、四氟乙烯/乙烯/全氟烷基乙烯基醚共聚物、偏二氟乙烯/2,3,3,3-四氟丙烯等之氟橡膠(FKM)、四氟乙烯/全氟烷基乙烯基醚共聚物(FFKM)等之全氟橡膠等。
於一實施形態中，交聯反應性含氟橡膠可包含或不含源自含有碘及/或溴之碳數3～8的氟烯烴之單元。
交聯反應性含氟橡膠，係在作為交聯(硬化)時的自由基之攻擊部位，較佳包含碘及/或溴，更佳包含碘。藉由過氧化物能硬化的交聯反應性含氟橡膠，例如係記載於日本特開2006-9010等中。
交聯反應性含氟橡膠，一般而言相對於總聚合物質量，以0.001質量%～5質量%、較佳0.01質量%～2.5質量%含有碘。碘原子可沿著交聯反應性含氟橡膠之鏈及/或在末端位存。
(成分(b)：式(b-1)所示的化合物) 成分(b)為上述式(b-1)所示的化合物。
於一實施形態中，式(b-1)中的A之直鏈或分支的伸烷基之碳數為1～15，更佳為1～6。作為伸烷基，可例示亞甲基、伸乙基、伸丙基等。於直鏈或分支的伸烷基中，氫原子未被氟原子取代，或者一部分或全部的氫原子被氟原子取代。
於一實施形態中，A的伸環烷基之碳數為3～8，較佳為3～6。於伸環烷基中，氫原子未被氟原子取代，或者一部分或全部的氫原子被氟原子取代。
於一實施形態中，A的伸芳基之碳數為6～18，較佳為6～12。作為伸芳基，可例示伸苯基、伸萘基等。於伸芳基中，氫原子未被氟原子取代，或者一部分或全部的氫原子被氟原子取代。
於一實施形態中，R1 、R2 、R3 及R4 的烷基或氟化烷基的烷基為直鏈或分枝，碳數為1～15，較佳為1～6。於一實施形態中，氟化烷基係一部分或全部的氫原子經氟原子取代的烷基。於一實施形態中，氟化烷基係全部的氫原子經氟原子取代的烷基(全氟烷基)。
於一實施形態中，R1 、R2 、R3 及R4 的芳基之碳數為6～18，較佳為6～12。作為芳基，可舉出苯基、萘基等。芳基之取代基為氟原子、直鏈或分枝的烷基、環烷基或芳基等，於此等之基中，氫原子未被氟原子取代，或者一部分或全部的氫原子被氟原子取代。直鏈或分枝的烷基之碳數較佳為1～15(更佳為碳數1～6)。環烷基之碳數較佳為3～8(更佳為碳數3～6)。芳基之碳數較佳為6～18(更佳為碳數6～12)。
作為R1 、R2 及R3 之「含氟原子的基」，例如可舉出氟化烷基或經氟原子或氟化烷基取代的芳基。
作為式(b-1)的「-CR1 =CR2 R3 」，可例示以下的基。複數的-CR1 =CR2 R3 可相同或相異。
Figure 02_image009
於一實施形態中，式(b-1)的m為1、2、3、4或5，較佳為1。
於一實施形態中，式(b-1)的n為1、2、3、4或5，較佳為1。
於一實施形態中，式(b-1)的n與m為相同或相異。
式(b-1)的m為1時，對應於m的「-CR1 =CR2 R3 」與A可在苯環上的鄰位、間位或對位之任一者，但較佳為對位。
式(b-1)的n為1時，對應於n的「-CR1 =CR2 R3 」與A可在苯環上的鄰位、間位或對位之任一者，但較佳為對位。
作為式(b-1)所示的化合物之具體例，可舉出下述式(b-2)～(b-4)所示的化合物。
Figure 02_image011
式(b-2)～(b-4)中，R1 、R2 及R3 係如式(b-1)所定義；t較佳為1～15(更佳為2～8，尤佳為3～6)。
作為式(b-1)所示的化合物之更具體者，可舉出如以下的化合物。尚且，該化合物例如可參照WO2014/167797或WO2016/017187進行合成。
Figure 02_image013
Figure 02_image015
(成分(c)：式(c-1)所示的化合物) 成分(c)為上述式(c-1)所示的化合物。
於一實施形態中，式(c-1)中的t為2或3。
t為2時，例如可舉出下述式所示的化合物。
CH2 =CH-(O)n -Z-(O)n -CH=CH2 CH2 =CH-(CH2 )m -Z-(CH2 )m -CH=CH2 CH2 =CH-Z-CH=CH2 (上述式中，Z、m及n係如式(c-1)所定義)。
於一實施形態中，Z為碳數1～18之直鏈或分枝鏈狀的伸烷基或伸環烷基。Z可包含或不含氧原子。Z為伸烷基或伸環烷基時，於此等之基中，氫原子未被氟原子取代，或者一部分或全部的氫原子被氟原子取代。Z例如為(全)氟聚氧伸烷基。
於一實施形態中，Z為碳數4～12，較佳為碳數4～8的全氟伸烷基。
於一實施形態中，Z包含由以下選出的1個以上之基。 -CF2 CF2 O- -CF2 CF(CF3 )O- -CF2 O- -CF(CF3 )O- -CF2 CF2 CF2 O- -CF2 -CH2 CH2 O- -C3 F6 O-
於一實施形態中，Z為下述式所示的基。 -(Q)P -CF2 O-(CF2 CF2 O)m (CF2 O)n -CF2 -(Q)p - (式中，Q為碳數1～10的伸烷基或氧伸烷基，p為0或1，m/n比為0.2～5)。
於一實施形態中，Q係由以下選出。 -CH2 OCH2 - -CH2 O(CH2 CH2 O)s CH2 -(式中，s為1～3之整數)。
又，t為3時，Z較佳為對應於三嗪-2,4,6-(1H,3H,5H)-三酮的3價殘基。
作為式(c-1)所示的化合物之具體例，可例示以下者。 CH2 =CH-(CF2 )x -CH=CH2 CH2 =CH-CH2 -(CF2 )x -CH2 -CH=CH2 CF2 =CH-(CF2 )x -CH=CF2 (式中，x為2～24)。
Figure 02_image017
(成分(d)：有機過氧化物) 橡膠組成物係在作為成分(d)，可包含有機過氧化物或不含。 於一實施形態中，橡膠組成物包含成分(d)，藉此可適宜地進行橡膠組成物之交聯。
成分(d)係沒有特別的限定，可使用氟系彈性體交聯用之眾所周知者，例如可舉出過氧化二異丙苯、二第三丁基過氧二異丙基苯、2,5-二甲基-2,5-二(第三丁基過氧)己烷等。
(成分(e)：反應性化合物或氟寡聚物) 橡膠組成物係在作為成分(e)，可包含選自由具有全氟骨架或矽氧烷骨架的反應性化合物(以下，亦僅稱「反應性化合物」)及氟寡聚物所成之群組的1種以上或不含。 於一實施形態中，橡膠組成物包含成分(e)，藉此得到橡膠的耐電漿性變良好之效果。
所謂「反應性」化合物，就是意指於橡膠組成物之交聯(硬化)時，反應性化合物彼此能反應者。於此反應中，反應性化合物彼此可鍵結。又，反應性化合物亦可與成分(a)反應。藉由該反應，反應性化合物可鍵結於成分(a)。反應性化合物較佳為包含烯基作為賦予如此之反應性的基(反應性基)。
作為烯基，例如可舉出乙烯基、烯丙基、丁烯基、戊烯基、己烯基、庚烯基等。烯基較佳為此等之中的乙烯基。
反應性化合物較佳為在分子內具有2個上的烯基。2個以上的烯基可相同，又也可相異。
於一實施形態中，反應性化合物為具有烯基的全氟骨架之化合物。在分子內具有烯基的全氟骨架之化合物，例如可具有2價全氟聚醚構造或2價全氟伸烷基構造。
於一實施形態中，反應性化合物具有2價全氟聚醚構造或2價全氟伸烷基構造，在末端或側鏈具有2個以上的烯基。 如此的反應性化合物例如可使用與日本特開2003-183402號公報的[0016]～[0022]中記載之氟系彈性體、日本特開平11-116684號公報或日本特開平11-116685號公報[0006]～[0014]中記載之全氟化合物等同樣者。
於一實施形態中，反應性化合物係以下述式(e-1)表示。 CH2 =CH-(X)p -(Rf -Q)a -Rf -(X)p -CH=CH2 (e-1) 式(e-1)中，2個X各自獨立為-CH2 -、-CH2 O-、CH2 OCH2 -、-Y-NR1 SO2 -或-Y-NR1 -CO-(惟，Y為-CH2 -或-Si(CH3 )2 -Ph- (Ph：伸苯基))。 R1 為氫原子或取代或無取代的1價烴基。 Rf 為2價全氟伸烷基或2價全氟聚醚基。 2個p各自獨立為0或1。 a為0以上之整數。 又，Q為下述式(e-2)～(e-4)中任一者所示的2價基。
Figure 02_image019
式(e-2)～(e-4)中，X、p、R1 係如式(e-1)所定義。 R3 為取代或無取代的2價烴基。 R4 為在鍵途中可使氧原子、氮原子、矽原子及硫原子的1種或2種以上介於其間存在的取代或無取代的2價烴基，或下述式(e-5)或(e-6)所示的官能基。
Figure 02_image021
式(e-5)及(e-6)中，R5 為取代或無取代的1個烴基，R6 為在主鏈構造中含有碳原子、氧原子、氮原子、矽原子及硫原子的1種或2種以上之基。
於一實施形態中，式(e-1)中a=0。此時，式(e-1)係以下述式(e-7)表示。 CH2 =CH-(X)p -Rf -(X)p -CH=CH2 (e-7) 式(e-7)中，X、p、Rf 係如式(e-1)所定義。
作為Rf 的具體例，可舉出下述的基。 -Cm F2n -(m、n：1以上之整數) -[CF(CF3 )OCF2 ]p -(CF2 )r -[CF2 OCF(CF3 )]q - -CF2 CF2 -[OCF2 CF2 CF2 ]w -OCF2 CF2 -
於一實施形態中，反應性化合物為具有烯基的矽氧烷骨架之化合物。 作為在分子內具有烯基的矽氧烷骨架之化合物，例如可舉出甲基乙烯基矽氧烷的聚合物、二甲基矽氧烷的聚合物、二甲基矽氧烷與甲基乙烯基矽氧烷的共聚物、二甲基矽氧烷與甲基乙烯基矽氧烷與甲基苯基矽氧烷的共聚物等。另外，可舉出在加成聚合的液狀矽氧橡膠之分子中含有烯基的有機聚矽氧烷。
反應性化合物亦可作為市售品取得，例如可舉出信越化學工業股份有限公司製「SIFEL」(註冊商標)等。
成分(e)的氟寡聚物為由C、F、O的元素所構成之寡聚物，例如可舉出包含以下的基本骨架之氟寡聚物。
Figure 02_image023
Figure 02_image025
上述式(e-8)～(e-15)所示的氟寡聚物係取決於n、m之數而分子量不同，分子量愈大，一般而言黏度及沸點愈高。含有上述基本骨架的氟寡聚物係可使用合成者，也可使用作為氟系溶劑(油、潤滑脂)所市售者。已知市售的氟寡聚物係取決於n、m之數而黏性等特性為不同的各式各樣等級之製品。例如，可舉出杜邦公司製的Krytox(註冊商標)系列；SOLVAY公司的Fomblin(註冊商標)系列、Galden(註冊商標)系列；DAIKIN公司製的Demnum系列等。尚且，上述製品及骨架只不過是例示，只要不含氫，則亦可為其他骨架、製品。又，如上述式(e-8)～(e-15)所示，氟寡聚物係在基本骨架中含有醚鍵，又於橡膠組成物之交聯(硬化)時，氟寡聚物彼此不鍵結(交聯)。
作為成分(e)，可單獨使用以上說明的1種或併用2種以上。
(成分(f)：其他成分) 橡膠組成物係在作為成分(f)，可包含1種以的上述成分(a)～(e)以外之其他成分或不含。
作為成分(f)，例如可舉出填充材、增黏劑、顏料、偶合劑、抗氧化劑、安定劑等。
作為填充材，例如可舉出氟樹脂、碳黑、二氧化矽等。 於一實施形態中，橡膠組成物不含填充材，或者相對於成分(a)100質量份，包含20質量份以下、15質量份以下、10質量份以下、5質量份以下、3質量份以下、2質量份以下、1質量份以下或0.5質量份以下的填充材。
(摻合量) 於一實施形態中，橡膠組成物係相對於成分(a)100g，可包含1mmol以上、2mmol以上、3mmol以上、4mmol以上或5mmol以上的成分(b)，又可包含60mmol以下、50mmol以下、40mmol以下或30mmol以下的成分(b)。 橡膠組成物係相對於成分(a)100g，較佳為包含5～30 mmol的成分(b)。
於一實施形態中，橡膠組成物係相對於成分(a)100g，可包含0.5mmol以上、1mmol以上、1.5mmol以上或2mmol以上的成分(b)，又可包含60mmol以下、50mmol以下、40mmol以下或30mmol以下的成分(c)。 橡膠組成物係相對於成分(a)100g，較佳為包含2～30mmol的成分(c)。
於一實施形態中，橡膠組成物係相對於成分(a)100g，可包含合計1mmol以上、2mmol以上、3mmol以上、4mmol以上、5mmol以上、6mmol以上或7mmol以上的成分(b)及成分(c)，又可包含合計80mmol以下、70mmol以下、60mmol以下、50mmol以下或40mmol以下的成分(b)及成分(c)。 橡膠組成物係相對於成分(a)100g，較佳為包含合計7～40mmol的成分(b)及成分(c)。
於一實施形態中，橡膠組成物係相對於成分(a)100質量份，可包含0.1～5質量份的成分(d)。
於一實施形態中，橡膠組成物係相對於成分(a)100質量份，可包含1～20質量份的成分(e)。
於一實施形態中，橡膠組成物的50質量%以上、60質量%以上、70質量%以上、80質量%以上、90質量%以上、95質量%以上、98質量%以上、99質量%以上、99.5質量%以上、99.8質量%以上或實質上100質量%為： 成分(a)～(c)或， 成分(a)～(d)或， 成分(a)～(e)或， 成分(a)～(c)及(f)或， 成分(a)～(d)及(f)或， 成分(a)～(e)及(f)。 尚且，「實質上100質量%」時，可包含不可避免的雜質。
2.含氟彈性體 本發明之一態樣的含氟彈性體係將本發明之一態樣橡膠組成物交聯而成。
將橡膠組成物交聯時的條件(交聯條件)係沒有特別的限定，例如較佳為將橡膠組成物在100～250℃下加熱10分鐘～5小時。通常，作為一次交聯，在模具內置入原料(橡膠組成物)，邊加壓加工邊進行交聯。1次交聯例如是在150～200℃下加熱5～60分鐘。然後，從模具取出，在空氣中或惰性氣體環境中，進行2次交聯。2次交聯例如可在150～300℃下加熱1～100小時。交聯係可使用電爐等進行。藉由2次交聯給予熱歷程，可防止使用中的變形等。 於交聯時不一定要放射線處理，較佳為省略放射線處理。
於一實施形態中，含氟彈性體之硬度為62以上或63以上。上限係沒有特別的限定，例如為90以下。尚且，硬度係藉由實施例中記載之方法所測定的值。
於一實施形態中，含氟彈性體的壓縮永久變形(150℃×72小時)為27%以下、25%以下、23%以下或21%以下。下限係沒有特別的限定，例如為5%以上。尚且，壓縮永久變形(150℃×72小時)係藉由實施例中記載之方法所測定的值。
3.密封材料 本發明之一態樣的密封材料包含本發明之一態樣的含氟彈性體。
密封材料之形態係沒有特別的限定，例如可為墊圈或密封環等之成形體。
密封材料之用途係沒有特別的限定，可廣泛適用於各種裝置，例如適合作為半導體製造裝置用的密封材料。作為半導體製造裝置，例如可舉出電漿裝置、蝕刻裝置、電漿CVD裝置等。
實施例 以下說明本發明之實施例，惟本發明不受如此的實施例所限定。
實施例及比較例中使用的成分係如下述。 成分(a)：FKM、Daiel G912、DAIKIN工業股份有限公司製 成分(b)：下述(b-5)所示的化合物
Figure 02_image027
成分(c)：下述(c-2)所示的化合物、TAIC(三烯丙基異三聚氰酸酯)、三菱化學股份有限公司製
Figure 02_image029
成分(c)：下述(c-3)所示的化合物、1,6-二乙烯基(十二氟己烷)、東曹精密化學股份有限公司製 CH2 =CH-(CF2 )6 -CH=CH2 (c-3) 成分(d)：2,5-二甲基-2,5-二(第三丁基過氧)己烷、Perhexa 25B、日油股份有限公司製 成分(e)：全氟聚醚(反應性化合物)、SIFEL8370A、信越化學股份有限公司製 成分(e)：全氟聚醚(反應性化合物)、SIFEL8370B、信越化學股份有限公司製 成分(e)：全氟聚醚(氟寡聚物)、Krytox VPF16256、杜邦公司製 成分(f)：填充材(碳黑)、Thermax N990、CANCARB公司製
(實施例1～7、比較例1～6) 以開放輥將表1中示的組成之橡膠組成物混練後，置入模具內，在大氣中於170℃之溫度下熱處理15分鐘，邊加壓成形邊進行1次交聯。接著，從模具取出，在空氣中於200℃下進行10小時2次交聯。如此地，得到含氟彈性體的成形體。成形體的形狀為O環(AS568-214；內徑24.99 mm，粗細3.53mm)。
對於所得之含氟彈性體，進行以下之評價。 (1)硬度 將成形體(O環)設置於BAREISS製微橡膠硬度計(型式：HPEII shore AM/M)，測定硬度。
(2)壓縮永久變形(CS)[%] 使成形體(O環)壓縮25%，以150℃×72小時進行處理後，開放並在室溫下放置30分鐘。依據JIS K 6262，測定試驗前後的厚度，用下式算出壓縮永久變形。 壓縮永久變形[%]=100×[(試驗前的厚度)-(試驗後的厚度)]/[(試驗前的厚度)-(間隔物的厚度)]
(3)耐電漿性 (3-1)重量減少率[%] 於下述條件下使成形體(O環)暴露於電漿中，算出暴露前後的成形體之重量減少率。 ・裝置：神港精機製表面波電漿蝕刻裝置 ・氣體：O2 (425sccm)+CF4 (425sccm) ・處理壓力：40Pa ・輸出：3kW ・暴露時間：2小時 ・重量減少率[%]=[(電漿暴露前的重量-電漿暴露後立即的重量)/(電漿暴露前的重量)]×100 (3-2)顆粒 目視觀察有無伴隨上述電漿暴露的顆粒發生。
(4)拉伸特性 使用桌上形精密萬能試驗機(股份有限公司島津製作所製，型式Autograph AGS-500NX)，在室溫25±2℃、拉伸速度300mm/min之條件下，測定成形體(O環)的拉伸強度[MPa]、斷裂時伸長率[%]及M100[MPa]。
表1中顯示以上之結果。
Figure 02_image031
上述中詳細說明幾個本發明之實施形態及/或實施例，但本業者係在實質上不脫離本發明之新穎教示及效果下，容易對於此等例示的實施形態及/或實施例加以許多的變更。因此，此等之許多的變更係被包含於本發明之範圍中。 此說明書中記載之文獻及本案根據巴黎公約的優先權之基礎的申請案之內容被全部援用。

Claims (9)

  1. 一種橡膠組成物，其包含： (a)交聯反應性含氟橡膠； (b)下述式(b-1)所示的化合物；及
    Figure 03_image001
    (式(b-1)中，A為單鍵、-O-、-S-、含雜原子的基、直鏈或分支的伸烷基、伸環烷基或伸芳基，於此等之基中，氫原子未被氟原子取代，或者一部分或全部的氫原子被氟原子取代；R1 、R2 、R3 及R4 各自獨立為氫原子、氟原子、烷基、氟化烷基或取代或無取代的芳基；複數的R1 為相同或相異；複數的R2 為相同或相異；複數的R3 為相同或相異；複數的R4 為相同或相異；R1 、R2 及R3 的至少1個為氟原子或含氟原子的基；m為1～5之整數；n為1～5之整數)； (c)下述式(c-1)所示的化合物；
    Figure 03_image003
    (式(c-1)中，n、m各自為0或1；t為2以上之整數；Z為t價的連結基)。
  2. 如請求項1之橡膠組成物，其係進一步包含(d)有機過氧化物。
  3. 如請求項1或2之橡膠組成物，其係進一步包含(e)選自由具有全氟骨架或矽氧烷骨架的反應性化合物及氟寡聚物所成之群組的1種以上。
  4. 如請求項1或2之橡膠組成物，其中相對於成分(a)100g，包含5～30mmol的成分(b)。
  5. 如請求項1或2之橡膠組成物，其中相對於成分(a)100g，包含2～30mmol的成分(c)。
  6. 如請求項1或2之橡膠組成物，其中相對於成分(a)100g，包含合計7～40mmol的成分(b)及成分(c)。
  7. 如請求項1或2之橡膠組成物，其中成分(c)為三烯丙基異三聚氰酸酯或1,6-二乙烯基(十二氟己烷)。
  8. 一種含氟彈性體，其係將如請求項1～7中任一項之橡膠組成物交聯而成。
  9. 一種密封材料，其係包含如請求項8之含氟彈性體。
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