JP2006117745A - フルオロエラストマー含有組成物からなるシール材料 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 式CF2=CF(O−(CF2)p)m−(O(CF2)q)n−ORf 1〔式中、Rf 1は、過フッ素化(C1〜C4)アルキル基であり、m=0〜6、n=0〜6、p=1〜4およびq=1〜2である。〕で表される1種以上の過フッ素化エーテルに由来する繰り返し単位と、フッ化ビニリデンに由来する繰り返し単位とを含み、しかも−20℃以下のガラス転移温度を有するフルオロカーボンポリマーであって、架橋構造を有するフルオロカーボンポリマーを含む、半導体製造装置のためのシール材料。
【選択図】 なし
Description
なお、以下において、上記フルオロカーボンポリマーを「低温フルオロカーボンポリマー」又は「低温フルオロカーボンエラストマー」とも呼ぶ。
実施例1
低温フルオロカーボンエラストマーとしてLTFE−6400(商品名)(Dyneoun社製)を用い、該フルオロカーボンエラストマー100重量部に対して、遊離基開始剤としてパーヘキサ25B−40(商品名)(60重量%の2,5−ジメチル−2,5−ビス(t−ブチルパーオキシ)ヘキサン+40重量%のSiO2)(日本油脂社製)1.5重量部、共硬化剤としてトリアリルイソシアヌレート(日本化成社製)2重量部を配合し、O−リングの形状に成形し、そして硬化させた。
低温フルオロカーボンエラストマーとしてLTFE−6400(商品名)(Dyneon社製)のうちの50重量%の量をパーフルオロメチルビニルエーテル(33.7モル%)/テトラフルオロエチレン(66.2モル%)系パーフルオロエラストマー(Dyneon社製)に置き換えた以外は実施例1と同様にO−リング状シール材料を製造した。
低温フルオロカーボンエラストマーとしてLTFE−6400(商品名)(Dyneon社製)のうちの75重量%の量をパーフルオロメチルビニルエーテル(33.7モル%)/テトラフルオロエチレン(66.2モル%)系パーフルオロエラストマー(Dyneon社製)に置き換えた以外は実施例1と同様にO−リング状シール材料を製造した。
低温フルオロカーボンエラストマーとしてLTFE−6400(商品名)(Dyneon社製)の全てをパーフルオロメチルビニルエーテル(33.7モル%)/テトラフルオロエチレン(66.2モル%)系パーフルオロエラストマー(Dyneon社製)に置き換えた以外は実施例1と同様にO−リング状シール材料を製造した。
低温フルオロカーボンエラストマーとしてLTFE−6400(商品名)(Dyneon社製)の全てをフッ化ビニリデン/ヘキサフルオロプロピレン系フルオロエラストマーであるFC−2260(Dyneon社製)に置き換えた以外は実施例1と同様にO−リング状シール材料を製造した。
1.重量損失測定による耐プラズマ性試験
チャンバーを密閉して、減圧するようになっている容器内において、プラズマ発生部を有するプラズマ発生装置を用いてプラズマ環境を作り、O−リング状シール材料の耐プラズマ性試験を行なった。
なお、プラズマ処理条件は以下のとおりであった。
電力=500W、
O2流=30sccm、
圧力=30〜40Pa
上記の条件で180分間放置したときのシール材料の初期重量に対する重量損失%を測定した。
O−リング状シール材料(P−26型:JIS B2401に規定されているとおり)を1回ねじり、八の字に固定することでストレス条件を作った。この状態で上記の1.重量損失による耐プラズマ性試験と同一のプラズマ処理条件に20分間付し、真空度の低下があるかどうかを調べた。明らかな圧力低下を生じた場合に、ストレスクラックを生じたものとした。
各シール材料のガラス転移温度(Tg)を、ASTM E1356−91(1995年再承認)を用いて示差走査熱量計(DSC)分析から得られる曲線上の中点として測定した。
Claims (8)
- 式CF2=CF(O−(CF2)p)m−(O(CF2)q)n−ORf 1〔式中、Rf 1は、過フッ素化(C1〜C4)アルキル基であり、m=0〜6、n=0〜6、p=1〜4およびq=1〜2である。〕で表される1種以上の過フッ素化エーテルに由来する繰り返し単位と、フッ化ビニリデンに由来する繰り返し単位とを含み、しかも−20℃以下のガラス転移温度を有するフルオロカーボンポリマーであって、架橋構造を有するフルオロカーボンポリマーを含む、半導体製造装置のためのシール材料。
- 前記フルオロカーボンポリマーは少なくとも0.2の対炭素酸素比を有する請求項1記載のシール材料。
- 前記フルオロカーボンポリマーは、二重結合された各炭素原子上に少なくとも1個のフッ素原子置換基を含有する少なくとも1種の末端不飽和フルオロモノオレフィンに由来する繰り返し単位をさらに含む、請求項1又は2記載のシール材料。
- 前記フルオロカーボンポリマーは、
式:a)CX2=CX(Z)〔式中、(i)Xは、HまたはFであり、かつ(ii)Zは、Br、I、またはRf 2U{式中、U=Br、I、またはCNであり、かつRf 2=場合によりO原子を含有する過フッ素化二価連結基である。}である。〕および
b)Y(CF2)qY〔式中、(i)Yは、BrまたはIであり、かつ(ii)q=1〜6である。〕で表される1種以上の化合物に由来する有効量の硬化部位部分で架橋を施したものである、請求項1〜3のいずれか1項記載のシール材料。 - 前記フルオロカーボンポリマーは、フッ化ビニリデンに由来する繰り返し単位50〜80モル%と、式CF2=CF(O−(CF2)p)m−(O(CF2)q)n−ORf 1〔式中、Rf 1は、過フッ素化(C1〜C4)アルキル基であり、m=0〜6、n=0〜6、p=1〜4およびq=1〜2である。〕で表される1種以上の過フッ素化エーテルに由来する繰り返し単位10〜50モル%と、二重結合された各炭素原子上に少なくとも1個のフッ素原子置換基を含有する少なくとも1種の末端不飽和フルオロモノオレフィンに由来する繰り返し単位0〜30モル%を含む、請求項1〜4のいずれか1項記載のシール材料。
- 前記フルオロモノオレフィンはテトラフルオロエチレンである、請求項5記載のシール材料。
- 硬化部位部分はCF2=CFBr、CF2=CHBr、CF2=CHCF2CF2Br、ICF2CF2CF2CF2I、BrCF2CF2Br、CF2=CFO(CF2)3−OCF2CF2Br、CF2=CFO(CF2)rOCF(CF3)CN〔式中、r=2〜5。〕から選ばれる、請求項4記載のシール材料。
- 前記フルオロカーボンポリマーを少なくとも20重量%含むフルオロカーボンエラストマーのブレンドである、請求項1〜7のいずれか1項記載のシール材料。
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