TW202207348A - 加工裝置 - Google Patents

Abstract

[課題]容易地搬送與板狀工件的大小相對應之各式各樣的大小的卡匣。[解決手段]在加工裝置1中，於卡匣台40及存放台（stocker）50，卡匣41被載置於接裝板52上。然後，在使卡匣41移動時，藉由卡匣搬送機構的支撐機構70而支撐載置有卡匣41的接裝板52。然後，在存放台50與卡匣台40之間移動此支撐機構7。因此，與直接支撐卡匣41並使其移動的構成不同，即使卡匣41的大小改變，也無需調整支撐機構70。因此，在本實施方式中，能使用支撐機構70而容易地搬送與板狀工件2的大小相對應之各式各樣的大小的卡匣41。

Description

加工裝置

本發明係關於一種加工裝置。

在藉由研削磨石研削矩形之板狀工件的研削裝置中，例如，藉由卡盤台的保持面保持多個板狀工件，並以成為相同厚度之方式同時研削此等多個板狀工件。

多個板狀工件被容納於卡匣（箱盒支架）。各板狀工件被從卡匣取出，並被搬送且保持於保持面。

卡匣例如能收納20個板狀工件。卡盤台例如具有可保持六個板狀工件的保持面。因此，為了進行一次的研削加工，要將6個板狀工件搬送至保持面。

在上述的例子中，卡匣中因容納有20個板狀工件，故例如若藉由第三次的搬送而結束保持於保持面之板狀工件的研削加工，則結束18個板狀工件的研削加工。其結果，在卡匣中還殘留2個板狀工件。因此，在接下來的第四次的搬送時，要在將此2個板狀工件搬送至保持面後，將空的卡匣與容納有20個板狀工件的另一個卡匣進行交換，之後，再從此卡匣將4個板狀工件搬送至保持面。

如此，在將預定個數的板狀工件搬送至卡盤台的保持面的中途，有時會要交換卡匣。因此，要準備預先備好卡匣的存放區。再者，在專利文獻1所揭示的技術中，為了在存放區與卡匣台之間搬送卡匣，而使用了卡匣搬送機構。 [習知技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2008-130634號公報

[發明所欲解決的課題] 但是，矩形的板狀工件有各式各樣不同的尺寸。因此，對應於板狀工件的尺寸，卡匣的大小也不同。因此，若卡匣的大小不同，則搬送卡匣的搬送機構會有難以搬送卡匣的可能性。

因此，本發明之目的在於容易地搬送與板狀工件的大小相應之各式各樣大小的卡匣。

[解決課題的技術手段] 本發明的加工裝置（本加工裝置）具備：保持手段，其具有保持四角形之板狀工件的保持面；加工手段，其加工板狀工件；卡匣台，其載置卡匣，該卡匣具有能容納多個板狀工件的多個層；工件搬送機構，其將被容納於該卡匣之板狀工件搬送至該保持面，該卡匣載置於該卡匣台；存放台（stocker），其能載置多個該卡匣；以及卡匣搬送機構，其將載置於該存放台之該卡匣搬送至該卡匣台，並且，該存放台具備：工作台；接裝板，其介於該工作台與該卡匣之間；以及塊體，其配置於該接裝板，並將該卡匣進行定位，並且，該接裝板具備：載置部，其形成於下表面，且能進行該接裝板對於該工作台的定位；以及凹部，其形成於該下表面，且被該卡匣搬送機構所支撐，並且，該卡匣搬送機構具備：支撐機構，其支撐載置該卡匣的該接裝板的下表面；以及移動機構，其使該支撐機構在該存放台與該卡匣台之間移動，並且，該支撐機構具備：頂板，其連結於該移動機構；四根支柱，其等從該頂板垂下；支撐部，其從該支柱的下端往水平方向延伸，並支撐該接裝板的該凹部；以及支柱旋轉機構，其藉由使該支柱旋轉，而能將該支撐部定位於支撐該凹部的位置與比該接裝板的外周更外側的位置之任一位置。

並且，在本加工裝置中，該支柱旋轉機構也可具備：回旋板，其配置於四根各該支柱的上端，並往水平方向延伸；公轉軸，其在水平方向偏離該支柱的軸心而配置於該回旋板，並以該支柱的軸心為軸而公轉；連結板，其具有能進入該四個公轉軸的開口，且能公轉地連結該四個該公轉軸；以及水平驅動部，其使該連結板在水平方向移動。

並且，在本加工裝置中，該卡匣搬送機構也可進一步具備：重量檢測部，其在該支撐機構藉由四個該支撐部而支撐該接裝板時，檢測施加於該支撐機構的重量；以及判斷部，其根據該重量檢測部的檢測結果，判斷是否在該卡匣的所有該層容納有板狀工件。

[發明功效] 在本加工裝置中，在卡匣台及存放台中，將卡匣載置於接裝板上。然後，在使卡匣移動時，藉由卡匣搬送機構的支撐機構而支撐載置有卡匣的接裝板。然後，藉由卡匣搬送機構的移動機構而使此支撐機構在存放台與卡匣台之間移動。因此，與將卡匣直接支撐並使其移動的構成不同，即使卡匣的大小改變，也無需調整卡匣搬送機構。因此，在本加工裝置中，藉由卡匣搬送機構，而能容易地搬送與板狀工件的大小相應之各式各樣大小的卡匣。

如圖1所示，本實施方式之加工裝置1是藉由粗研削部10及精研削部30而研削加工四角形的板狀工件2之加工裝置。

加工裝置1具有第一裝置基座3與配置於第一裝置基座3的後方（＋Y方向側）之第二裝置基座5。在第一裝置基座3上，進行板狀工件2的搬出搬入等。在第二裝置基座5上，藉由粗研削部10或精研削部30而加工板狀工件2。

在第一裝置基座3的正面側（－Y方向側）設置有卡匣台40及存放台50。在卡匣台40載置容納有加工前的板狀工件2之卡匣41。存放台50能載置多個容納有加工前的板狀工件2之同樣的卡匣41。

卡匣41具備能容納多個板狀工件的多個層（層架），在各層各容納一個板狀工件2。

卡匣41具有朝向＋Y方向側的開口。在此開口的＋Y方向側配設有機器手臂155。機器手臂155將加工後的板狀工件2搬入（收納）至未圖示之容納加工完畢的工件用的卡匣。

並且，機器手臂155將加工前的板狀工件2從卡匣41取出，並載置於暫置手段152的暫置台154。

暫置台154係為了暫時放置從卡匣41取出的板狀工件2而使用。暫置台154被構成為可載置兩個板狀工件2。暫置手段152進一步具有用於使暫置台154在X軸方向移動的移動手段153。

在藉由機器手臂155將板狀工件2載置於暫置手段152的暫置台154時，暫置手段152藉由移動手段153而預先將暫置台154配置於＋X方向側的粗研削位置（圖1所示的暫置台154的位置）。

在暫置手段152的＋Y方向側中的第二裝置基座5上，配置有粗研削部10及精研削部30。

粗研削部10具備用於保持板狀工件2的第一卡盤台13。第一卡盤台13為用於保持板狀工件2的保持手段之一例，且具備吸引保持板狀工件2的第一保持面12。第一保持面12係與未圖示的吸引源連通，且能同時吸引保持兩個板狀工件2。 第一卡盤台13在已藉由第一保持面12吸引保持板狀工件2的狀態下，能以中心軸為中心而旋轉，所述中心軸係通過第一保持面12的中心並於Z軸方向延伸。

並且，在第二裝置基座5上的後方（＋Y方向側），直立設置有第一立柱14。而且，粗研削部10係在第一立柱14的前表面具備：粗研削手段15，其將板狀工件2進行粗研削；以及粗研削進給手段11，其將粗研削手段15進行研削進給。

粗研削手段15為加工板狀工件2的加工手段之一例，且具備具有粗研削磨石18的粗研削輪17。粗研削磨石18為加工用具的一例，且為含有較大磨粒的磨石。

再者，粗研削部10具備：第一高度規（height gauge）19，其用於測量被保持於第一卡盤台13的第一保持面12之板狀工件2的厚度。

在粗研削部10中，藉由因粗研削手段15的主軸16的旋轉而旋轉之粗研削磨石18，而對被保持於第一卡盤台13的第一保持面12之板狀工件2進行粗研削。

精研削部30具備用於保持板狀工件2的第二卡盤台33。第二卡盤台33為用於保持板狀工件2的保持手段之一例，且具備吸引保持板狀工件2的第二保持面32。第二保持面32係與未圖示的吸引源連通，並能同時吸引保持兩個板狀工件2。 第二卡盤台33係在已藉由第二保持面32吸引保持板狀工件2的狀態下，能以中心軸為中心而旋轉，所述中心軸係通過第二保持面32的中心並於Z軸方向延伸。

並且，在第二裝置基座5上的後方，以與第一立柱14相鄰的方式直立設置有第二立柱34。然後，精研削部30係在第二立柱34的前表面具備：精研削手段35，其將板狀工件2進行精研削；以及精研削進給手段31，其將精研削手段35進行研削進給。

精研削手段35為加工板狀工件2的加工手段之一例，其具備具有精研削磨石38的精研削輪37。精研削磨石38為加工用具的一例，且為含有較小磨粒的磨石。

再者，精研削部30具備：第二高度規39，其用於測量被保持於第二卡盤台33的第二保持面32之板狀工件2的厚度。

在精研削部30中，藉由因精研削手段35的軸36的旋轉而旋轉之精研削磨石38，而對被保持於第二卡盤台33的第二保持面32之板狀工件2進行精研削。

並且，在第二裝置基座5上的粗研削部10與精研削部30之間的圖1中藉由虛線所示的搬送空間170中，具備有粗研削部10用及精研削部30用的兩個搬送手段171。 在本實施方式中，搬送手段171及機器手臂155構成工件搬送機構的一例，所述工件搬送機構係將容納於載置在卡匣台40之卡匣41的板狀工件2搬送至第一保持面12及第二保持面32。

在圖1中顯示了粗研削部10用的搬送手段171。粗研削部10用的搬送手段171具備：搬送墊175，其用於在於Y軸方向延伸的殼體板173中的＋X側之面保持板狀工件2；Z軸移動機構177，其用於使搬送墊175在Z軸方向移動；以及Y軸方向移動機構179，其用於使搬送墊175及Z軸移動機構177在Y軸方向移動。搬送墊175能同時保持兩個板狀工件2。

粗研削部10用的搬送手段171係將暫置於位在＋X方向側的粗研削位置之暫置台154的兩個板狀工件2，藉由搬送墊175同時保持，並搬入粗研削部10的第一卡盤台13，而載置於其第一保持面12。

並且，粗研削部10用的搬送手段171係在粗研削後，將第一卡盤台13中的第一保持面12上的兩個板狀工件2，藉由搬送墊175同時保持，並載置於暫置手段152的暫置台154。

此外，在將粗研削後的板狀工件2載置於暫置手段152的暫置台154後，暫置手段152藉由移動手段153而使暫置手段152從＋X方向側的粗研削位置移動至－X方向側的精研削位置。

並且，在搬送空間170中，在粗研削部10用的搬送手段171的－X側也配置有精研削部30用的搬送手段171。精研削部30用的搬送手段171被構成為在圖1所示的粗研削部10用的搬送手段171的構造中，在殼體板173的－X側之面具有搬送墊175、Z軸移動機構177及Y軸方向移動機構179。

精研削部30用的搬送手段171係將暫置於位在－X方向側的精研削位置之暫置台154的兩個板狀工件2，藉由搬送墊175同時保持，並搬入精研削部30的第二卡盤台33，而載置於其第二保持面32。

並且，精研削部30用的搬送手段171係在精研削後，將在第二卡盤台33中的第二保持面32上的兩個板狀工件2，藉由搬送墊175同時保持，並搬送至清洗手段156的旋轉台157。

清洗手段156是清洗板狀工件2的旋轉清洗單元。清洗手段156具備：旋轉台157，其保持板狀工件2；以及噴嘴158，其朝向旋轉台157噴射清洗水及乾燥空氣。旋轉台157被構成為可同時保持兩個板狀工件2。

在清洗手段156中，已保持板狀工件2的旋轉台157會旋轉，且朝向板狀工件2噴射清洗水，而旋轉清洗板狀工件2。其後，對板狀工件2吹附乾燥空氣，而乾燥板狀工件2。

已被清洗手段156清洗的板狀工件2係藉由機器手臂155而被搬入容納加工完畢的工件用的卡匣。

並且，如圖1所示，存放台50具備：長方體狀的工作台51；以及接裝板（adapter plate）52，其介於工作台51與卡匣41之間。並且，如圖2（a）所示，存放台50具備：塊體53，其被配置於接裝板52，且用於將卡匣41進行定位，並具有細長的長方體形狀。

亦即，圖2（a）所示的接裝板52的上表面521是載置卡匣41的面。在此上表面521形成有四個槽54。而且，塊體53以能沿著槽54移動的方式與各槽54嵌合。例如，操作者藉由配合卡匣41的底面的尺寸而調整塊體53的位置，可藉由四個塊體53將卡匣41進行定位。

並且，在沿著接裝板52的長邊方向（Y軸方向）延伸之兩個側面的各個側面，各形成有兩個切口部55。

並且，如圖2（b）所示，在接裝板52的下表面522形成有作為圓錐凹部的三個載置部56，所述載置部56能進行接裝板52對於工作台51的定位。

關於此點，如圖1所示，在工作台51上設置有對應於各接裝板52之作為圓錐凸部的三個板支撐部511。接裝板52的三個載置部56係以能與此等三個板支撐部511嵌合的方式被配置於接裝板52的下表面522。 藉由將接裝板52的載置部56與工作台51的板支撐部511嵌合，而可對於工作台51，將接裝板52良好地進行定位。 此外，在卡匣台40上也設置有與板支撐部511同樣的板支撐部411（參照圖6）。

此外，在本實施方式中，藉由將接裝板52的載置部56與工作台51的板支撐部511嵌合，而接裝板52會以在接裝板52與工作台51之間形成間隙的方式被載置於工作台51上。

再者，如圖2（b）所示，在接裝板52的下表面522，於與四個切口部55對應的位置形成有細長之槽形狀的凹部57。各凹部57係從切口部55且與接裝板52的側面垂直地延伸。此凹部57是在接裝板52中的被卡匣搬送機構60（參照圖3）所支撐的部分。

並且，如圖1所示，加工裝置1在機器手臂155的上部設置有藉由虛線所表示的卡匣搬送空間180。在此卡匣搬送空間180中具備圖3所示的卡匣搬送機構60，所述卡匣搬送機構60係用於將載置於存放台50之卡匣41搬送至卡匣台40。

卡匣搬送機構60具備：支撐機構70，其支撐已載置卡匣41之接裝板52的下表面522；以及移動機構100，其使支撐機構70在存放台50與卡匣台40之間移動。

移動機構100被設置於卡匣搬送機構60的於X軸方向延伸的殼體板61的前表面（－Y側之面）。 移動機構100具備：X軸移動機構120，其使支撐機構70在X軸方向移動；以及Z軸移動機構130，其使支撐機構70在Z軸方向移動。

X軸移動機構120包含：一對導軌123，其於X軸方向延伸；X軸工作台124，其載置於導軌123；滾珠螺桿125，其與導軌123平行地延伸；以及驅動馬達126，其使滾珠螺桿125旋轉。

一對導軌123係與X軸方向平行地配置於殼體板61的前表面。X軸工作台124係沿著一對導軌123而能滑動地設置於此等導軌123上。在X軸工作台124上安裝有Z軸移動機構130及支撐機構70。

滾珠螺桿125係與設置於X軸工作台124之螺帽部（未圖示）螺合。驅動馬達126係連結於滾珠螺桿125的一端部，並旋轉驅動滾珠螺桿125。藉由旋轉驅動滾珠螺桿125，而X軸工作台124、Z軸移動機構130及支撐機構70會沿著導軌123而在X軸方向移動。

Z軸移動機構130具備：一對導軌131，其等於Z軸方向延伸；Z軸工作台132，其載置於導軌131上；滾珠螺桿133，其與導軌131平行地延伸；驅動馬達135，其使滾珠螺桿133旋轉；編碼器136，其用於檢測驅動馬達135的旋轉速度及位置；以及支臂137，其支撐支撐機構70。

一對導軌131係與Z軸方向平行地配置於X軸工作台124的側面。Z軸工作台132係沿著一對導軌131而能滑動地設置於此等導軌131上。在Z軸工作台132上安裝有支臂137。

滾珠螺桿133係與設置於Z軸工作台132的背面側之螺帽部（未圖示）螺合。驅動馬達135係連結於滾珠螺桿133的一端部，並旋轉驅動滾珠螺桿133。藉由旋轉驅動滾珠螺桿133，而Z軸工作台132、支臂137及被支臂137所支撐的支撐機構70會沿著導軌131而在Z軸方向移動。並且，此時，編碼器136測量支撐機構70在Z軸方向的移動距離。

支臂137具備：第一臂部138，其安裝於Z軸工作台132並沿著Y軸方向延伸；以及第二臂部139，其從第一臂部138的前端向下方延伸。支撐機構70被第二臂部139的前端（下端）所保持。

如圖3所示，支撐機構70具備：頂板71，其連結於移動機構100中的支臂137的第二臂部139；以及四根支柱72，其等貫穿頂板71而從頂板71垂下。四根支柱72被配置於能同時嵌合圖2（a）等所示的接裝板52的四個切口部55之位置。

再者，支撐機構70具備從支柱72的下端往水平方向延伸的支撐部73。支撐部73被構成為能支撐設置於接裝板52的下表面522之凹部57（參照圖2（b））（亦即，與凹部57嵌合）。

並且，支撐機構70具備旋轉式氣缸75作為支柱旋轉機構之一例，所述旋轉式氣缸75係以對應於各支柱72的方式位在頂板71的上表面。旋轉式氣缸75安裝於貫穿頂板71而突出於上方的支柱72的上端，且為使支柱72旋轉的氣缸。旋轉式氣缸75藉由使支柱72旋轉，而能將設置於支柱72的前端之支撐部73定位於支撐接裝板52的凹部57之位置與比接裝板52的外周更外側之位置的任一位置。

並且，如圖3所示，卡匣搬送機構60具備：重量檢測部62，其檢測施加於支撐機構70的重量；以及控制部63，其用於控制卡匣搬送機構60的動作。

此處，針對由卡匣搬送機構60所進行之卡匣41的搬送動作進行說明。以下，說明將配置於存放台50的工作台51上之卡匣41載置於卡匣台40的動作。

首先，控制部63控制圖3所示的移動機構100，如圖4所示，將支撐機構70配置於載置在工作台51上的接裝板52之卡匣41的正上方。此時，控制部63藉由控制旋轉式氣缸75並旋轉支柱72，而使支撐部73的延伸方向與接裝板52中的設置有切口部55的長邊方向的側面平行。藉此，支撐部73被配置於比接裝板52的外周更外側的位置。在此狀態下，控制部63控制移動機構100，如圖4中藉由箭頭301所示，使支撐機構70下降。

藉此，如圖5所示，將支撐機構70的支柱72與載置有卡匣41之接裝板52的切口部55嵌合。並且，支柱72的前端的支撐部73被配置於比隔開間隙而載置於工作台51上之接裝板52的下表面522（參照圖2（b））更下方。

在此狀態下，如圖5所示，控制部63控制旋轉式氣缸75，如藉由箭頭302所示，使支柱72旋轉大致90度。藉此，設置於支柱72的前端之支撐部73被配置於接裝板52的凹部57的正下方，亦即支撐接裝板52的凹部57的位置。

其後，控制部63控制移動機構100，如圖6中藉由箭頭303所示，使支撐機構70上升。藉此，支撐部73與接裝板52的凹部57嵌合，並支撐凹部57。如此進行，支撐機構70藉由四個支撐部73而與接裝板52一起支撐卡匣41。

並且，在支撐機構70藉由四個支撐部73支撐接裝板52時，重量檢測部62檢測施加於支撐機構70的重量，亦即檢測接裝板52及卡匣41的合計重量。然後，控制部63的判斷部64根據重量檢測部62的檢測結果，判斷在卡匣41的所有層是否都容納有板狀工件2。 此外，重量檢測部62也可使壓電元件（未圖示）介於支臂137的第一臂部138與第二臂部139之間，藉由施加於壓電元件的壓力而檢測重量。 並且，重量檢測部62也可利用藉由驅動馬達135使支撐機構70上升時施加於馬達的負載電流值而檢測重量。

判斷部64判斷未在卡匣41的所有層容納有板狀工件2之情形，控制部63使用設置於加工裝置1之未圖示的觸控面板等顯示部，將其要旨通知操作者。再者，判斷部64將接裝板52退回到工作台51上，並結束處理。

另一方面，判斷部64判斷在卡匣41的所有層都容納有板狀工件2之情形，控制部63控制移動機構100，如藉由箭頭304及305所示般使支撐機構70移動，將已支撐卡匣41及接裝板52之狀態的支撐機構70載置在卡匣台40上。此時，接裝板52的載置部56與卡匣台40的板支撐部411嵌合。

其次，控制部63控制旋轉式氣缸75，藉由使支柱72旋轉大致90度，而使支撐部73的延伸方向與接裝板52中的設置有切口部55的側面平行。藉此，支撐部73被配置於比接裝板52的外周更外側的位置，而解除由支撐機構70所進行之接裝板52的支撐。其後，控制部63控制移動機構100，使支撐機構70離開卡匣台40，並配置於預定的位置。

如以上，在本實施方式的加工裝置1中，在卡匣台40及存放台50中，將卡匣41載置於接裝板52上。然後，在使卡匣41移動時，藉由卡匣搬送機構60的支撐機構70支撐載置有卡匣41的接裝板52。然後，此支撐機構70藉由卡匣搬送機構60的移動機構100而在存放台50與卡匣台40之間移動。因此，與直接支撐卡匣41並使其移動的構成不同，即使卡匣41的大小改變，也無需調整卡匣搬送機構60。因此，在本實施方式中，藉由卡匣搬送機構60，能容易地搬送與板狀工件2的大小相應之各式各樣大小的卡匣41。

並且，在本實施方式中，根據卡匣搬送機構60的重量檢測部62的檢測結果，判斷部64判斷在藉由支撐機構70所支撐的卡匣41的所有層是否都容納有板狀工件2。然後，在判斷未在所有層都容納有板狀工件2之情形中，使所述卡匣41退回到存放台50的工作台51。藉此，可抑制將空的卡匣41搬送至卡匣台40等故障問題。 此外，判斷部64也可構成為根據重量檢測部62的檢測結果而判斷卡匣41內的板狀工件2的數量。此情形，在卡匣41內容納有預定數量以上的板狀工件2時，控制部63也可繼續執行將卡匣41及接裝板52載置在卡匣台40上的處理。

此外，在本實施方式中，如圖3所示，支撐機構70具備：旋轉式氣缸75，其在頂板71的上表面，以對應於各支柱72的方式，使安裝於頂板71的下表面之支柱72旋轉。

卡匣搬送機構60也可具備如圖7所示的支撐機構77，以取代此支撐機構70。此支撐機構77在上述的支撐機構70的構成中，具有具備連結機構80作為支柱旋轉機構的構成，以取代旋轉式氣缸75。此連結機構80是使用一個驅動源使四根支柱72同時旋轉的機構。

如圖7所示，連結機構80具備與各支柱72對應之大致圓板狀的回旋板81。回旋板81係配置於貫通頂板71而突出於上方的四根支柱72的上端，並於水平方向延伸。

並且，連結機構80具備配置於回旋板81的公轉軸82。公轉軸82係在水平方向偏離支柱72的軸心而配置於回旋板81。公轉軸82能伴隨回旋板81及支柱72的旋轉而以支柱72的軸心為軸進行公轉。

再者，連結機構80具備連結板83。連結板83具有能使四個公轉軸82進入的開口，並能公轉地與四個公轉軸82連結。

亦即，連結板83具備：一對第一連結構件84；以及第二連結構件85，其連結於此等第一連結構件84。

第一連結構件84係沿著頂板71的長邊方向（Y軸方向）延伸，如圖8的放大圖所示，在其兩端具備能使公轉軸82進入的開口841。亦即，在本實施方式中，在各第一連結構件84中之兩端的開口841係與回旋板81的公轉軸82卡合，所述回旋板81係設置於沿著頂板71的長邊方向（Y軸方向）排列的一對支柱72。 第二連結構件85係沿著頂板71的短邊方向（X軸方向）延伸，並固定於一對第一連結構件84。

並且，連結機構80具備：直動式氣缸90，其作為使連結板83在水平方向移動的水平驅動部。

如圖9所示，直動式氣缸90係透過第一回旋軸92，在可在XY平面上回旋的狀態下，以沿著大致Y軸方向之方式被安裝於頂板71。並且，直動式氣缸90具備沿著大致Y軸方向而伸縮的桿體91。桿體91的前端係以能相對於第二旋轉軸851旋轉之方式卡合於設置在第二連結構件85的前端之此第二旋轉軸851。

在此構成中，控制部63控制圖3所示的移動機構100，並將支撐機構77配置於載置在工作台51上的接裝板52之卡匣41的正上方（參照圖4）。

此時，如圖10所示，控制部63控制直動式氣缸90，成為已收縮桿體91的狀態。藉此，設置於支柱72的前端之支撐部73的延伸方向成為與頂板71的長邊方向的側面平行，亦即與接裝板52的長邊方向的側面平行。藉此，支撐部73被配置於比接裝板52的外周更外側的位置。

在此狀態下，控制部63控制移動機構100，使支撐機構77下降。藉此，將支撐機構77的支柱72與接裝板52的切口部55（參照圖2（a））嵌合。並且，將支柱72的前端的支撐部73配置於比隔開間隙而載置於工作台51上之接裝板52的下表面522（參照圖2（b））更下方。 此外，在圖10～圖12中，為了避免圖式的複雜化，方便起見省略了載置於接裝板52之卡匣41以及形成於接裝板52的側面之切口部55的描繪。

其後，如圖11所示，控制部63控制直動式氣缸90，將桿體91如箭頭400所示般繼續朝向大致＋Y方向延伸。藉此，透過第二旋轉軸851而連接於桿體91之連結板83的第二連結構件85以及連結於第二連結構件85之一對第一連結構件84會受到沿著大致＋Y方向之力。

藉此，連結板83會沿著大致＋Y方向水平地移動。亦即，一對第一連結構件84會一邊使連結於其兩端的回旋板81的公轉軸82以支柱72的軸心為軸而公轉，一邊在大致＋Y方向水平移動。如圖11所示，藉由使公轉軸82公轉，而使回旋板81、支柱72以及設置於支柱72的前端之支撐部73往逆時針方向旋轉。

然後，控制部63控制直動式氣缸90，將桿體91如箭頭400所示般進一步朝向大致＋Y方向延伸。藉此，使公轉軸82再進行公轉，而使回旋板81、支柱72及支撐部73再往逆時針方向旋轉。其結果，如圖12所示，使支柱72旋轉大致90度，而將支撐部73配置於接裝板52的凹部57的正下方，亦即配置於支撐接裝板52的凹部57的位置。

其後，控制部63控制移動機構100（參照圖3），使支撐機構77上升。藉此，支撐部73與接裝板52的凹部57嵌合，並支撐凹部57。如此進行，支撐機構77藉由四個支撐部73而與接裝板52一起支撐卡匣41。

其後，控制部63控制移動機構100而使支撐機構77移動，在將接裝板52載置於卡匣台40上後，控制直動式氣缸90，收縮桿體91。藉此，使公轉軸82在反方向公轉，支柱72的支撐部73成為與接裝板52的長邊方向的側面平行。藉此，支撐部73被配置於比接裝板52的外周更外側的位置，而解除由支撐機構77所進行之接裝板52的支撐。

如此，即使是卡匣搬送機構60具備支撐機構77之情形，也能藉由支撐機構77而支撐載置有卡匣41的接裝板52，並藉由卡匣搬送機構60的移動機構100而使此支撐機構77在存放台50與卡匣台40之間移動。因此，即使卡匣41的大小改變，也無需調整卡匣搬送機構60，而能容易地搬送卡匣41。

此外，即使是使用支撐機構77之情形，因應根據重量檢測部62的檢測結果之判斷部64的判斷，控制部63也可判斷是否繼續執行將卡匣41及接裝板52載置在卡匣台40上的處理。

並且，在支撐機構77中，使用直動式氣缸90使一對第一連結構件84移動，藉此使各公轉軸82公轉，改變支撐部73的方向。關於此點，如圖13所示，支撐機構77的連結機構80也可具備設置於一根支柱72的上端之旋轉式氣缸95，以取代直動式氣缸90。

在此構成中，藉由使旋轉式氣缸95旋轉，而具備有旋轉式氣缸95之支柱72的上端的回旋板81例如往逆時針方向旋轉。藉此，一端連結於此回旋板81的公轉軸82之一側的第一連結構件84、連結於此第一連結構件84之第二連結構件85及另一側的第一連結構件84會如箭頭405所示，受到沿著大致＋Y方向之力。

藉此，與使用圖7～圖12所示的構造同樣地，一邊使與一側的第一連結構件84的另一端及另一側的第一連結構件84的兩端連結的回旋板81的公轉軸82以支柱72的軸心為軸而公轉，一邊使連結板83整體往大致＋Y方向移動。藉由使公轉軸82公轉，而如圖13所示，使回旋板81、支柱72及設置於支柱72的前端之支撐部73往逆時針方向旋轉。

因此，即使是此構成，藉由使支撐部73與接裝板52的凹部57嵌合，支撐機構77也能與接裝板52一起支撐卡匣41。

1:加工裝置 2:板狀工件 3:第一裝置基座 5:第二裝置基座 10:粗研削部 12:第一保持面 13:第一卡盤台 11:粗研削進給手段 15:粗研削手段 17:粗研削輪 18:粗研削磨石 30:精研削部 32:第二保持面 33:第二卡盤台 31:精研削進給手段 35:精研削手段 37:精研削輪 38:精研削磨石 40:卡匣台 41:卡匣 50:存放台 51:工作台 52:接裝板 521:上表面 522:下表面 53:塊體 54:槽 55:切口部 56:載置部 57:凹部 180:卡匣搬送空間 60:卡匣搬送機構 61:殼體板 62:重量檢測部 63:控制部 64:判斷部 70:支撐機構 71:頂板 72:支柱 73:支撐部 75:旋轉式氣缸 77:支撐機構 80:連結機構 81:回旋板 82:公轉軸 83:連結板 84:第一連結構件 841:開口 85:第二連結構件 851:第二回旋軸 90:直動式氣缸 91:桿體 92:第一回旋軸 95:旋轉式氣缸 100:移動機構 120:X軸移動機構 130:Z軸移動機構 170:搬送空間 171:搬送手段 173:殼體板 175:搬送墊 177:Z軸移動機構 179:Y軸方向移動機構

圖1為顯示加工裝置的構成的立體圖。 圖2（a）為從上表面側顯示接裝板的構成的立體圖，圖2（b）為從下表面側顯示接裝板的構成的立體圖。 圖3為顯示卡匣搬送機構的構成的立體圖。 圖4為顯示使用卡匣搬送機構的支撐機構之卡匣的搬送動作的立體圖。 圖5為顯示使用卡匣搬送機構的支撐機構之卡匣的搬送動作的立體圖。 圖6為顯示使用卡匣搬送機構的支撐機構之卡匣的搬送動作的立體圖。 圖7為顯示其他構成的支撐機構的立體圖。 圖8為放大顯示圖7所示的支撐機構之局部的立體圖。 圖9為圖7所示的支撐機構的俯視圖。 圖10為顯示使用圖7所示的支撐機構之接裝板的支撐動作的立體圖。 圖11為顯示使用圖7所示的支撐機構之接裝板的支撐動作的立體圖。 圖12為顯示使用圖7所示的支撐機構之接裝板的支撐動作的立體圖。 圖13為進一步顯示其他構成的支撐機構的立體圖。

40:卡匣台

50:存放台

51:工作台

52:接裝板

55:切口部

57:凹部

71:頂板

72:支柱

73:支撐部

75:旋轉式氣缸

139:第二臂部

302:箭頭

Claims (3)

1. 一種加工裝置，其具備： 保持手段，其具有保持四角形之板狀工件的保持面；加工手段，其加工板狀工件；卡匣台，其載置卡匣，該卡匣具有能容納多個板狀工件的多個層；工件搬送機構，其將被容納於該卡匣之板狀工件搬送至該保持面，該卡匣載置於該卡匣台； 存放台，其能載置多個該卡匣；以及卡匣搬送機構，其將載置於該存放台之該卡匣搬送至該卡匣台， 該存放台具備：工作台；接裝板，其介於該工作台與該卡匣之間；以及塊體，其配置於該接裝板，並將該卡匣進行定位， 該接裝板具備： 載置部，其形成於下表面，且能進行該接裝板對於該工作台的定位；以及 凹部，其形成於該下表面，且被該卡匣搬送機構所支撐， 該卡匣搬送機構具備： 支撐機構，其支撐載置該卡匣的該接裝板的下表面；以及 移動機構，其使該支撐機構在該存放台與該卡匣台之間移動， 該支撐機構具備： 頂板，其連結於該移動機構； 四根支柱，其等從該頂板垂下； 支撐部，其從該支柱的下端往水平方向延伸，並支撐該接裝板的該凹部；以及 支柱旋轉機構，其藉由使該支柱旋轉，而能將該支撐部定位於支撐該凹部的位置與比該接裝板的外周更外側的位置之任一位置。
2. 如請求項1之加工裝置，其中， 該支柱旋轉機構具備： 回旋板，其配置於四根各該支柱的上端，並往水平方向延伸； 公轉軸，其在水平方向偏離該支柱的軸心而配置於該回旋板，並以該支柱的軸心為軸而公轉； 連結板，其具有能進入該四個公轉軸的開口，且能公轉地連結該四個該公轉軸；以及 水平驅動部，其使該連結板在水平方向移動。
3. 如請求項1之加工裝置，其中， 該卡匣搬送機構進一步具備： 重量檢測部，其在該支撐機構藉由四個該支撐部而支撐該接裝板時，檢測施加於該支撐機構的重量；以及 判斷部，其根據該重量檢測部的檢測結果，判斷是否在該卡匣的所有該層容納有板狀工件。

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