TW202200357A - 超純水用配管材、及超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物 - Google Patents

超純水用配管材、及超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物 Download PDF

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吉清哲也
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Abstract

管(10)具備以聚乙烯系樹脂組合物為主成分之聚乙烯系樹脂層(21)。聚乙烯系樹脂層(21)形成配管材內表面(10a)。聚乙烯系樹脂組合物之鈣濃度為10 ppm以上60 ppm以下。

Description

超純水用配管材、及超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物
本發明係關於一種超純水用配管材、及超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物。更具體而言，本發明係關於一種作為超純水用配管材使用之聚乙烯系樹脂管/接頭/閥等、及超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物。
先前，製造半導體裝置或液晶顯示裝置等精密裝置時，於洗淨等濕式步驟中使用精製至極高純度之超純水。若金屬離子等以特定濃度以上之濃度存在於之水中，則金屬會吸附於晶圓表面等，導致對精密裝置之品質產生不良影響，因此需嚴格限制超純水中之雜質。
雜質混入超純水之情況亦會於構成超純水之輸送管線之配管中產生。作為配管之材質，雖亦有時使用阻氣性優異之不鏽鋼等金屬，但考慮到來自配管之金屬溶出之影響，認為使用樹脂為佳。
關於超純水用配管材之材料中使用之樹脂，一直使用化學性質為惰性、具有阻氣性且於超純水中之溶出性極小之氟樹脂。例如，作為用於半導體製造裝置、液晶製造裝置等之配管，可例舉積層有兩層氟樹脂之氟樹脂雙層管。作為氟樹脂雙層管，可例舉如下配管，其內側層管包含耐蝕性、耐化學品性優異之氟樹脂(例如四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物(FEP)、或四氟乙烯-乙烯共聚物(ETFE))，外側層管包含可抑制氣體透過之氟樹脂(例如聚偏二氟乙烯(PVDF))。
又，專利文獻1中揭示有一種多層管，其特徵在於：其係超純水配管用之多層管，且具備：包含氟樹脂且與超純水接觸之第1樹脂層、及包含非透氣性樹脂且設置於上述第1樹脂層之外周面之第2樹脂層。專利文獻1中還揭示，進而於第2樹脂層之外周面設置有保護上述第2樹脂層之第3樹脂層，且使用聚乙烯作為該第3樹脂層。
超純水用配管材之材料中使用之樹脂中，聚偏二氟乙烯(PVDF)於半導體領域中，其被用於作為超純水製造裝置內之配管、及將超純水自超純水製造裝置輸送至使用點之超純水輸送用配管得到實際應用之所有配管，且成為超純水用配管材之技術標準。
目前，隨著半導體晶片之積體度提高，電路圖案越來越微細化，亦更容易受低水準之雜質影響。因此，對超純水所要求之水質不斷嚴格化。例如，關於半導體製造中使用之超純水之品質等之標準，公佈有SEMI F75，每兩年更新一次。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2010-234576號公報
相較於其他普通配管而言，PVDF等氟樹脂製配管於施工性及成本性方面有缺點。然而，在對超純水所要求之水質越來越嚴格之背景下，氟樹脂製配管係滿足要求水質之配管之實際唯一的選擇。
本發明者有意著眼於代替超純水用配管材之材料。例如，作為普通之配管材料，使用施工性及成本性優異之聚乙烯系樹脂。然而，作為配管材料廣泛使用之聚乙烯系樹脂係藉由使用齊格勒觸媒等氯系觸媒之聚合而得以合成，聚合後為了中和觸媒殘渣而需要混合硬脂酸鈣等中和劑。進而，中和劑中，硬脂酸鈣等脂肪酸金屬皂除表現出中和氯之效果外，還對模具表現出潤滑劑之效果，故通常不論聚乙烯之聚合觸媒之種類為何，均將其作為配管材表面之平滑性改良劑混合至配管材料中。因此，普通聚乙烯系樹脂管中，源自中和劑之鈣會大量溶出至所輸送之水中，故遠未達到對超純水所要求之水質。
本發明之目的在於提供一種減少鈣溶出量、且具備作為壓力管路系統之充足之機械特性的超純水用配管材及超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物。 (解決問題之技術手段)
本發明人等進行了銳意研究，結果發現：關於聚乙烯系樹脂配管材，以與配管材之內壁側之超純水接觸之聚乙烯樹脂的鈣濃度成為特定範圍之方式進行控制，進而添加酚系抗氧化劑，於此情形時，將其構造限制為特定種類，藉此可大幅抑制鈣溶出量，並且可表現出長期強度；從而完成本發明。
即，本發明提供如下所述之形態之發明。
第1形態之超純水用配管材具備以聚乙烯系樹脂為主成分之層，且層形成配管材內表面，層中之鈣濃度為10 ppm以上60 ppm以下。 第2形態之超純水用配管材係第1形態之超純水用配管材，其中聚乙烯系樹脂係藉由齊格勒觸媒進行聚合所得之聚乙烯系樹脂。
第3形態之超純水用配管材係第1或第2形態之超純水用配管材，其中層含有抗氧化劑。
第4形態之超純水用配管材係第3形態之超純水用配管材，其中抗氧化劑包含不具有源自酚基以外之氧之酚系抗氧化劑。
第5形態之超純水用配管材係第4形態之超純水用配管材，其中抗氧化劑包含具有源自酚基以外之氧之酚系抗氧化劑，且層中之鈣濃度為50 ppm以下。
第6形態之超純水用配管材係第1至5中任一形態之超純水用配管材，其中層實質上不含光穩定劑。
第7形態之超純水用配管材係第1至6中任一形態之超純水用配管材，其中層於210℃時之氧化誘導時間為20分鐘以上。 第8形態之超純水用配管材係第1至7中任一形態之超純水用配管材，其中自層溶出之總有機碳量為30000 μg/m2 以下。
第9形態之超純水用配管材係第1至8中任一形態之超純水用配管材，其中層之厚度為0.3 mm以上。
第10形態之超純水用配管材係第1至9中任一形態之超純水用配管材，其中層之厚度為2.0 mm以下。
第11形態之超純水用配管材係第1至10中任一形態之超純水用配管材，其中於使超純水用配管材以80℃負載5.0 MPa之圓周應力之狀態下會持續3,000小時以上不產生破壞。
第12形態之超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物係包含聚乙烯系樹脂，並且滿足以下特性(1)～(5)者。 特性(1)：溫度190℃、負載21.6 kg時之熔體流動速率(MFR21.6 )為6 g/10分鐘以上25 g/10分鐘以下。 特性(2)：MFR21.6 與負載5 kg時之熔體流動速率(MFR5 )之比即FR(MFR21.6 /MFR5 )為25以上60以下。 特性(3)：包含高分子量成分(A)及低分子量成分(B)，高分子量成分(A)之MFR21.6 為0.05 g/10分鐘以上1.0 g/10分鐘以下，並且，乙烯以外之α-烯烴含量為0.8 mol%以上2.0 mol%以下，進而相對於樹脂整體之含有比率為35重量%以上50重量%以下，低分子量成分(B)於溫度190℃、負載2.16 kg時之熔體流動速率(MFR2 )為20 g/10分鐘以上500 g/10分鐘以下。 特性(4)：密度為0.946 g/cm3 以上0.960 g/cm3 以下。 特性(5)：鈣濃度為10 ppm以上60 ppm以下。
第13形態之超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物係第12形態之超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物，其中聚乙烯系樹脂係藉由齊格勒觸媒進行聚合所得之聚乙烯系樹脂。 第14形態之超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物係第12或第13形態之超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物，其含有抗氧化劑。
第15形態之超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物係第14形態之超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物，其中抗氧化劑包含不具有源自酚基以外之氧之酚系抗氧化劑。
第16形態之超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物係第14形態之超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物，其中抗氧化劑包含具有源自酚基以外之氧之酚系抗氧化劑，且鈣濃度為50 ppm以下。
第17形態之超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物係第12至16中任一形態之超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物，其實質上不含光穩定劑。
第18形態之超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物係第12至17中任一形態之超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物，其於210℃時之氧化誘導時間為20分鐘以上。 (發明之效果)
根據本發明，能夠提供一種減少鈣溶出量、且具備機械特性之超純水用配管材、及超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物。
以下對本發明之實施方式之超純水用配管材進行說明。其中，超純水用配管材係指構成超純水用配管之構件之總稱，可例舉管、接頭、閥等。
[管構成] 以下，對本實施方式之管進行說明。
本實施方式之管具備聚乙烯系樹脂層，其形成管之內表面，且以聚乙烯系樹脂為主成分。亦可視需要，於聚乙烯系樹脂層之外側設置被覆樹脂層。
圖1係表示本實施方式之管之一例的模式剖視圖。圖2係表示本實施方式之管之另一例的模式剖視圖。
圖1所示之管10(超純水用配管材之一例)具備聚乙烯系樹脂層21(層之一例)。圖2所示之管11(超純水用配管材之一例)具有構成最內層之聚乙烯系樹脂層21及配置於其外側之被覆樹脂層22。
圖1所示之管10由聚乙烯系樹脂層21形成。聚乙烯系樹脂層21形成管10之內表面10a(配管材內表面之一例)。又，圖1所示之管10之外表面10b亦由聚乙烯系樹脂層21形成。聚乙烯系樹脂層21以構成管10之方式形成為筒狀。
又，圖2所示之管11中，聚乙烯系樹脂層21形成管11之內表面11a(配管材內表面之一例)。圖2所示之管11中，外表面11b由被覆樹脂層22形成。聚乙烯系樹脂層21以構成管11之最內層之方式形成為筒狀。被覆樹脂層22以覆蓋聚乙烯系樹脂層21之方式形成為筒狀。
又，圖2所示之管11中，於聚乙烯系樹脂層21之外側僅設置有一層被覆樹脂層22，但被覆樹脂層22之層數並無特別限定，可為一層，亦可為兩層以上。
內表面10a、11a面向管10、11之內部流路10c、11c，亦可認為是有可能與超純水接觸之面。
[接頭構成] 以下，對本實施方式之接頭進行說明。
本發明之形態之接頭並無特別限定，可例舉：插口、彎頭、T形接頭、凸緣等。
圖3A～圖3E係表示本實施方式之接頭之例的圖。
圖3A所示之接頭31為插口，自兩端插入管，將2個管之間呈直線地連接。接頭31例如為電熔合接頭。
圖3B所示之接頭32為彎頭，例如以直角之方式連接管。
圖3C所示之接頭33為T形接頭。接頭33以90度間隔連接3個管。
圖3D所示之接頭34為凸緣。接頭34具有軸環部34d，並與閥等連接。
圖3E所示之接頭35為異徑管接頭。接頭35將直徑不同之2個管呈直線地連接。
圖3A～圖3E所示之接頭31～35之構成可應用上述管構成，剖面形狀與上述管構成(參照圖1及圖2)相同。即，接頭31～35均具有形成面向流路之內表面31a～35a之聚乙烯系樹脂層21。亦可於聚乙烯系樹脂層21之外側設置被覆樹脂層22。
[閥構成] 以下，對本實施方式之閥進行說明。
本實施方式之閥並無特別限定，可例舉：隔膜閥、球閥、蝶形閥、截止閥、閘閥、止回閥(check valve)等。
圖4係表示作為閥之一例之蝶形閥之圖。圖4所示之蝶形閥40具備閥籠41、閥座環42、閥桿(未圖示)、閥體43、及把手44。閥籠41配置於流體流通之管構件之間。於閥籠41形成有貫通孔。閥座環42安裝於閥籠41之貫通孔之內周面。閥體43固定於閥桿，隨著閥桿之旋轉一同旋轉，並壓縮閥座環42，藉此堵塞形成於閥座環42之內側之流路41a。再者，閥桿藉由使把手44旋轉而進行旋轉。
上述閥座環42之構成可應用上述管構成，剖面形狀與上述管構成(參照圖1及圖2)相同。即，閥座環42具有形成面向流路41a之內表面42a之聚乙烯系樹脂層21。亦可於聚乙烯系樹脂層21之外側設置被覆樹脂層22。
[聚乙烯系樹脂層] 聚乙烯系樹脂層21(層之一例)包含聚乙烯系樹脂作為主成分。主成分係指以質量計含量最多之成分。主成分係指含有率至少為50%之成分。聚乙烯系樹脂層中之聚乙烯系樹脂之含量之下限較佳為50質量%，更佳為70質量%，進而較佳為80質量%，有時進而較佳為90質量%，有時進而較佳為95質量%。
亦可視需要使聚乙烯系樹脂與α-烯烴進行共聚。作為與聚乙烯系樹脂進行共聚之α-烯烴，可例舉：丙烯、1-丁烯、1-戊烯、1-己烯、4-甲基-1-戊烯、1-辛烯、1-丁烯-1-己烯、1-丁烯-4-甲基-1-戊烯、1-丁烯-1-辛烯等。
聚乙烯系樹脂係使用包含1種或1種以上之過渡金屬衍生物之觸媒而得以聚合。要想保證長期耐久性，本實施方式中使用齊格勒觸媒進行聚合。於使用齊格勒觸媒使聚乙烯系樹脂聚合時，以業者適當決定之量使用氯系觸媒，進行多段聚合，之後，加入用以中和氯系觸媒之中和劑，較佳為亦一同加入抗氧化劑。
本發明中所使用之齊格勒觸媒為眾所周知之觸媒，例如使用日本專利特開昭53-78287號、日本專利特開昭54-21483號、日本專利特開昭55-71707號、日本專利特開昭58-225105號等各公開公報中記載之觸媒系。
具體而言，可例舉包括固體觸媒成分及有機鋁化合物之觸媒系，該固體觸媒成分藉由下述方式獲得，即，藉由將三鹵化鋁、具有Si-O鍵之有機矽化合物及鎂醇化物進行共粉碎而獲得共粉碎生成物，並使四價鈦化合物與該共粉碎生成物接觸，從而獲得該固體觸媒成分。
較佳為固體觸媒成分中包含1～15重量%之鈦原子者。作為有機矽化合物，較佳為例如：二苯基二甲氧基矽烷、苯基三甲氧基矽烷、苯基三乙氧基矽烷、三苯基乙氧基矽烷、三苯基甲氧基矽烷等具有苯基、芳烷基之有機矽化合物。
製造共粉碎生成物時，相對於1莫耳鎂醇化物，三鹵化鋁及有機矽化合物之使用比率通常均為0.02～1.0莫耳，尤佳為0.05～0.20莫耳。又，三鹵化鋁之鋁原子相對於有機矽化合物之矽原子之比率宜為0.5～2.0莫耳比。
為了製造共粉碎生成物，使用製造此種固體觸媒成分時通常使用之旋轉球磨機、振動球磨機及膠體磨機等粉碎機，應用通常實施之方法即可。所獲得之共粉碎生成物之平均粒徑通常為50～200 μm，比表面積為20～200 m2 /g。
使以上述方式獲得之共粉碎生成物與四價之鈦化合物以液相接觸，藉此獲得固體觸媒成分。與固體觸媒成分組合使用之有機鋁化合物較佳為三烷基鋁化合物，例如可例舉：三乙基鋁、三正丙基鋁、三正丁基鋁、三異丁基鋁等。
作為中和劑，例如可例舉以硬脂酸鈣、硬脂酸鋅、硬脂酸鎂為代表之脂肪酸金屬鹽及水滑石類。
然而，於以硬脂酸鎂或水滑石作為中和劑進行聚乙烯系樹脂之聚合之情形時，若將所獲得之樹脂成形為配管材，則大量鋁或鎂會溶出至水中，因此作為本實施方式並不理想。
與此相對，於以硬脂酸鈣作為中和劑進行聚乙烯系樹脂之聚合之情形時，不會引起上述鋁或鎂之金屬溶出，可獲得良好之低溶出性，故硬脂酸鈣為本實施方式中較佳之中和劑。
作為聚乙烯系樹脂組合物，要想獲得對送水時之水壓足夠之耐壓性能，且亦能夠進一步減小配管壁厚，較佳為高密度聚乙烯(HDPE)。其中，要想確保超純水用配管材之長期耐久性，更佳為於ISO9080、ISO1167、ISO12162中被分類為PE100以上之耐壓級別之HDPE。進而，於被分類為PE100以上之耐壓級別之HDPE中，為了進一步實現管路系統安全性之提高，較佳為流動性高之HDPE，以實現對低速龜裂成長性之耐性(低速龜裂成長耐性)較高，且使配管內面平滑性變得更好。再者，低速龜裂成長係指，因配管材之損傷或應力集中於管與接頭之接合部等而產生之破損形態。
作為滿足PE100以上之耐壓級別，且流動性良好之聚乙烯系樹脂組合物之指數，具體而言，較佳為聚乙烯系樹脂組合物於溫度190℃、負載21.6 kg時之熔體流動速率(MFR21.6 )為6 g/10分鐘以上25 g/10分鐘以下，溫度190℃、負載5 kg時之熔體流動速率(MFR5 )與MFR21.6 之比即FR(MFR21.6 /MFR5 )為25以上60以下，且密度為0.946 g/cm3 以上0.960 g/cm3 以下。
於聚乙烯系樹脂組合物之MFR21.6 未達6 g/10分鐘之情形時，樹脂材料之流動性較低，模具轉印性下降，配管內面之平滑性變得不足。另一方面，於MFR21.6 超過25 g/10分鐘之情形時，難以實現滿足PE100之樹脂設計。又，於FR未達25之情形時，由於聚乙烯系樹脂組合物之分子量分佈變窄，故難以兼顧目標MFR21.6 與低速龜裂耐性。另一方面，於FR超過60之情形時，有聚乙烯系樹脂組合物之耐衝擊性降低，配管材之安全性受損之虞。關於密度，於未達0.946 g/cm3 之情形時，耐壓性能降低，難以達到PE100。另一方面，於密度超過0.960 g/cm3 之情形時，由於配管材之低速龜裂成長耐性降低，故長期使用時管路系統之安全性降低。
進而，作為用以達成上述聚乙烯系樹脂組合物之樹脂組成，具體而言，較佳為由高分子量成分(A)、低分子量成分(B)之多種成分構成。
高分子量成分(A)之MFR21.6 為0.05 g/10分鐘以上1.0 g/10分鐘以下，較佳為0.1 g/10分鐘以上0.5 g/10分鐘以下，乙烯以外之α-烯烴含量為0.8 mol%以上2.0 mol%以下，較佳為0.9 mol%以上1.6 mol%以下，高分子量成分(A)相對於樹脂整體組合物之含有比率為35重量%以上50重量%以下，較佳為37重量%以上43重量%以下。另一方面，低分子量成分(B)於溫度190℃、負載2.16 kg時之熔體流動速率(MFR2 )為20 g/10分鐘以上500 g/10分鐘以下，較佳為50 g/10分鐘以上300 g/10分鐘以下。
於構成聚乙烯系樹脂組合物之高分子量成分(A)之MFR21.6 未達0.05 g/10分鐘之情形時，為了達成目標MFR21.6 ，需要提高低分子量成分之MFR，但於此情形時，高分量成分與低分子量成分熔融時之黏度差變大，相溶性降低，結果，因包括低速龜裂耐性在內之各種機械物性之降低或流動不穩定導致配管內面變粗糙。另一方面，於MFR21.6 超過1.0 g/10分鐘之情形時，各種機械物性降低，尤其低速龜裂成長耐性大幅降低。關於α-烯烴含量，於未達0.8 mol%之情形時，低速龜裂成長耐性降低，於超過2.0 mol%之情形時，聚乙烯系樹脂組合物之剛性降低，因此難以實現達到PE100之樹脂設計。關於高分子量成分(A)之含有比率，於未達35重量%之情形時，配管之耐久性降低，於超過50重量%之情形時，聚乙烯系樹脂組合物之剛性降低，因此難以實現達到PE100之樹脂設計。
於構成聚乙烯系樹脂組合物之低分子量成分(B)之MFR2 未達20 g/10分鐘之情形時，聚乙烯系樹脂組合物之流動性變低，故模具轉印性降低，配管內面之平滑性變得不足。另一方面，於MFR2 超過500 g/10分鐘之情形時，各種機械物性降低，尤其耐衝擊性大幅降低。
再者，此處所謂α-烯烴含量，不僅包括聚合時供給至反應器並進行共聚之α-烯烴，亦包括副產生之短支鏈(例如乙基支鏈、甲基支鏈)。α-烯烴含量係藉由13C-NMR(nuclear magnetic resonance，核磁共振)進行測定。α-烯烴含量可藉由增減與乙烯進行共聚之α-烯烴量之供給量而增減。
聚乙烯系樹脂層21之鈣濃度為60 ppm以下，較佳為55 ppm以下，進而較佳為50 ppm以下。若該鈣濃度超過60 ppm，則鈣於超純水中之溶出量變得過量，而無法滿足超純水之要求品質。
要想進一步抑制鈣於超純水中之溶出量，聚乙烯系樹脂層21之鈣濃度宜儘可能小，但自良好地獲得聚乙烯系樹脂組合物之熱穩定性及長期強度之方面考慮，難免混入微量之鈣。
即，於中和劑向使用齊格勒觸媒進行聚合所得之聚乙烯系樹脂中添加之添加量不足之情形時，有觸媒殘渣仍以活性狀態存在於樹脂中，聚乙烯系樹脂組合物之熱穩定性或長期強度降低之虞。
因此，於本實施方式中，必須添加用以中和觸媒殘渣所需之最低量之中和劑。考慮到上述內容，聚乙烯系樹脂層21之鈣濃度為10 ppm以上，較佳為13 ppm以上，更佳為15 ppm以上，進而較佳為20 ppm以上。
就確保熱穩定性之觀點而言，聚乙烯系樹脂層21於210℃時之氧化誘導時間(OIT)較佳為20分鐘以上。於210℃時之氧化誘導時間未達20分鐘之情形時，有對聚乙烯系樹脂進行熱加工時樹脂劣化，長期強度降低或源自劣化物之粒子增加之虞，作為本實施方式並不理想。
作為使用聚乙烯系樹脂作為配管材時之長期強度之評估方法，廣泛使用熱內壓蠕變試驗。要想充分確保超純水用配管材之長期強度，關於將聚乙烯系樹脂層21成形為配管材時之熱內壓蠕變性能，較佳為以80℃使上述配管材負載5.0 MPa之圓周應力時，上述配管材會持續3,000小時以上不發生破壞。
聚乙烯系樹脂組合物之材料特性更佳為具有ISO9080、ISO1167、ISO12162標準中所記載之「PE100」以上之耐壓性能。再者，「PE100」係指如下聚乙烯：於熱內壓蠕變試驗中，在最高溫度與最低溫度相差50℃以上之不同之3個水準之溫度下，分別進行至少9,000小時之應力-破壞時間曲線之測定，藉由複相關平均以外插方式推定以20℃維持50年後之最小保證應力值，所得值之LPL(lower prediction limit，預測下限)值於ISO12162中規定之分類表中為10 MPa以上11.19 MPa以下。
聚乙烯系樹脂層21可包含抗氧化劑，亦可不含抗氧化劑。再者，作為抗氧化劑，可例舉酚系抗氧化劑、磷系抗氧化劑、硫系抗氧化劑、芳香族胺系抗氧化劑及內酯系抗氧化劑等。
作為酚系抗氧化劑，可例舉：四[3-(3,5-二第三丁基-4-羥基苯基)丙酸]季戊四醇酯、硫代二伸乙基雙[3-(3,5-二第三丁基-4-羥基苯基)丙酸酯]、3-(3,5-二-第三丁基-4-羥基苯基)丙酸十八烷基酯、N,N'-己烷-1,6-二基雙[3-(3,5-二第三丁基-4-羥基苯基)丙醯胺]、苯丙酸3,5-雙(1,1-二甲基乙基)-4-羥基-C7-C9側鏈烷基酯、3,3',3'',5,5',5''-六第三丁基-a,a',a''-(均三甲苯-2,4,6-三基)三對甲酚、4,6-雙(十二烷基硫甲基)鄰甲酚、4,6-雙(辛硫基甲基)鄰甲酚、伸乙基雙(氧伸乙基)雙[3-(5-第三丁基-4-羥基-間甲苯基)丙酸酯]、六亞甲基雙[3-(3,5-二第三丁基-4-羥基苯基)丙酸酯]、1,3,5-三(3,5-二第三丁基-4-羥基苄基)-1,3,5-三𠯤-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、1,3,5-三[(4-第三丁基-3-羥基-2,6-二甲苯基)甲基]-1,3,5-三𠯤-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、2,6-二第三丁基-4-[4,6-二(辛硫基)-1,3,5-三𠯤2-基胺基]苯酚、及[{3,5-雙(1,1-二甲基乙基)-4-羥基苯基}甲基]磷酸二乙酯等。
使用酚系抗氧化劑時，可僅使用1種，亦可併用2種以上，就防止鈣溶出之觀點而言，較佳為不具有源自酚基以外之氧，例如可例舉：3,3',3'',5,5',5''-六第三丁基-a,a',a''-(均三甲苯-2,4,6-三基)三對甲酚、2,6-二-第三丁基-4-[4,6-二(辛硫基)-1,3,5-三𠯤2-基胺基]苯酚、4,4',4''-(1-甲基丙烷-3-亞基)三(6-第三丁基-間甲酚)、及6,6'-二-第三丁基-4,4'-亞丁基雙間甲酚等。又，於使用具有源自酚基以外之氧之酚系抗氧化劑作為抗氧化劑之情形時，聚乙烯系樹脂中之鈣濃度較佳為50 ppm以下。再者，作為具有源自酚基以外之氧之官能基，可例舉：酯基、羰基、羧基、醚基、硝基、亞硝基、醯胺基、氧偶氮基、磺基等。
作為磷系抗氧化劑，可例舉：三(2,4-二第三丁基苯基)亞磷酸酯、三[2-[[2,4,8,10-四第三丁基二苯并[d,f][1,3,2]二氧膦-6-基]氧基]乙基]胺、雙(2,4-二第三丁基苯基)季戊四醇二亞磷酸酯、亞磷酸雙[2,4-雙(1,1-二甲基乙基)-6-甲基苯基]乙酯、及四(2,4-二第三丁基苯基)(1,1-聯苯)-4,4'-二基雙亞磷酸酯等。
作為硫系抗氧化劑，可例舉：硫代二丙酸二月桂酯、硫代二丙酸二肉豆蔻酯、硫代二丙酸二硬脂酯、季戊四醇四(3-月桂基硫代丙酸酯)等。
作為芳香族胺系抗氧化劑，例如可例舉：二苯胺系化合物、喹啉系化合物、萘胺系化合物等單胺化合物、或苯二胺系化合物、苯并咪唑系化合物等二胺化合物。 作為二苯胺系化合物，可例舉：對(對甲苯磺醯胺)-二苯胺、4,4'-(α,α-二甲基苄基)二苯胺、4,4'-二辛基二苯胺衍生物等。
作為喹啉系化合物，可例舉2,2,4-三甲基-1,2-二氫喹啉聚合物等。 作為萘胺系化合物，可例舉：苯基-α-萘胺、N,N'-二(2-萘基)對苯二胺等。
作為苯二胺系化合物，可例舉：N-N'-二苯基對苯二胺、N-異丙基-N'-苯基對苯二胺、N-苯基-N'-(3-甲基丙烯醯氧基-2-羥丙基)-對苯二胺、N-苯基-N'-(1,3-二甲基丁基)-對苯二胺、N-N'-二苯基對苯二胺之混合物、二芳基對苯二胺衍生物或其混合物等。
作為苯并咪唑系化合物，可例舉：2-巰基苯并咪唑、2-巰基甲基苯并咪唑、2-巰基苯并咪唑之鋅鹽、2-巰基甲基苯并咪唑之鋅鹽等。
作為內酯系抗氧化劑，可例舉3-羥基-5,7-二第三丁基呋喃-2-酮與鄰二甲苯之反應生成物等。
作為聚乙烯系樹脂層21中之抗氧化劑之含量，就抑制氧之影響而確保較佳之強度之觀點而言，例如可例舉0.01重量%以上，較佳為0.03重量%以上，更佳為0.05重量%以上，作為抗氧化劑之含量之上限，例如可例舉5重量%以下，較佳為1重量%以下，更佳為0.5重量%以下。
聚乙烯系樹脂層21可包含光穩定劑，亦可不含光穩定劑，就防止總有機碳(TOC)溶出之觀點而言，較佳為不含光穩定劑。再者，作為光穩定劑，例如可例舉受阻胺系光穩定劑(HALS)等。又，本實施方式之聚乙烯系樹脂層21較佳為實質上不含光穩定劑。此處，所謂實質上不含，係指不主動添加光穩定劑，允許其作為雜質不可避免地混入。作為雜質不可避免地混入之光穩定劑之濃度越低越好，例如為600 ppm以下。該600 ppm之值係根據下述(表3)所示之實施例及比較例估算出相當於作為TOC溶出量之容許量的30000 μg/m2 (如下所示)之HALS值。具體而言，將(表3)實施例1、3、4中之HALS添加量為0 ppm時之TOC溶出量之平均值6500 μg/m2 與比較例1中之HALS添加量為1000 ppm時之TOC溶出量值46000 μg/m2 之關係用直線連接，估算相當於TOC溶出量30000 μg/m2 之HALS添加量，藉此求得600 ppm。
作為受阻胺系光穩定劑，可例舉：N-H型受阻胺化合物、N-R型受阻胺化合物及N-OR型受阻胺化合物。
作為N-H型受阻胺化合物，可例舉：Tinuvin 770DF、Chimassorb 2020FDL、Chimassorb 944FDL(均為商品名、巴斯夫公司製造)、Adekastab LA-68、Adekastab LA-57(均為商品名、ADEKA公司製造)、Cyasorb UV-3346、Cyasorb UV-3853(均為商品名、Sun Chemical公司製造)等。
作為N-R型受阻胺化合物，可例舉：Tinuvin 622SF、Tinuvin 765、Tinuvin PA144、Chimassorb 119、Tinuvin 111(均為商品名、巴斯夫公司製造)、Sabostab UV119(商品名、SABO公司製造)、Adekastab LA-63P、Adekastab LA-52(均為商品名、ADEKA公司製造)等。
作為N-OR型受阻胺化合物，可例舉：Tinuvin 123、Tinuvin 5100、Tinuvin NOR371FF、Flamestab NOR116FF(均為商品名、巴斯夫公司製造)等。
聚乙烯系樹脂層21可包含紫外線吸收劑(UVA)，亦可不含紫外線吸收劑。再者，作為紫外線吸收劑，例如可例舉：二苯甲酮系紫外線吸收劑、水楊酸酯系紫外線吸收劑、苯甲酸酯系紫外線吸收劑、苯并三唑系紫外線吸收劑、氰基丙烯酸酯系紫外線吸收劑、淬滅劑等。作為紫外線吸收劑，對於聚乙烯或聚丙烯而言，特佳為二苯甲酮系紫外線吸收劑、苯并三唑系紫外線吸收劑。
作為二苯甲酮系紫外線吸收劑，可例舉2-羥基-4-甲氧基二苯甲酮等。 作為苯并三唑系紫外線吸收劑，可例舉：2-(2-羥基-5-甲基苯基)苯并三唑(Sumisorb200、Sumika Chemtex(股)製造)、2-(2-羥基-5-第三丁基-5-甲基苯基)-5-氯苯并三唑(Tinuvin326、巴斯夫公司製造)、2-(2-羥基-3,5-二第三丁基苯基)-5-氯苯并三唑(Tinuvin327、巴斯夫公司製造)、2-(2-羥基-3,5-二第三戊基苯基)苯并三唑(Tinuvin328、巴斯夫公司製造)等。
就良好地獲得聚乙烯系樹脂組合物之剛性之觀點而言，聚乙烯系樹脂層21之聚乙烯系樹脂組合物之密度可例舉：較佳為0.946 g/cm3 以上，更佳為0.947 g/cm3 以上，進而較佳為0.948 g/cm3 以上。又，就良好地獲得聚乙烯系樹脂組合物之長期耐久性及柔軟性之觀點而言，上述密度可例舉：較佳為0.960 g/cm3 以下，更佳為0.957 g/cm3 以下，進而較佳為0.953 g/cm3 。密度係依據JIS K6922-2：1997制定之值。
聚乙烯系樹脂層21之聚乙烯系樹脂組合物於溫度190℃、負載21.6 kg時之熔體流動速率(MFR21.6 )可例舉6 g/10分鐘以上25 g/10分鐘以下。就良好地獲得聚乙烯系樹脂組合物之加工性之觀點而言，該MFR21.6 可例舉較佳為8 g/10分鐘以上，更佳為12 g/10分鐘以上，進而較佳為15 g/分以上。又，就良好地獲得樹脂之長期耐久性之觀點而言，該MFR21.6 可例舉較佳為22 g/10分鐘以下，更佳為20 g/10分鐘以下。MFR21.6 係依據JIS K6922-2：1997制定之值。
聚乙烯系樹脂層21之內面平滑性(算術平均粗糙度Ra)並無特別限定，例如可例舉0.50 μm以下。要想良好地獲得配管之低溶出性，聚乙烯系樹脂層21之內面平滑性可例舉較佳為0.40 μm以下，更佳為0.35 μm以下。
於形成超純水用配管材之內表面11a、31a～35a、42a(配管材內表面之一例)之最內層聚乙烯系樹脂層21之外側設置被覆樹脂層22之情形時，作為最內層之聚乙烯系樹脂層21的厚度，考慮到超純水用配管材之整體強度及被覆樹脂層22中所包含之鈣濃度等，較佳為0.3 mm以上，更佳為0.4 mm以上。厚度之上限較佳為2.0 mm以下，更佳為1.5 mm以下。
於超純水用配管材之內表面10a、31a～35a、42a(配管材內表面之一例)之聚乙烯系樹脂層21之外側不設置被覆樹脂層22之情形時，聚乙烯系樹脂層21之厚度並無特別限定，作為厚度之下限，例如可例舉0.3 mm以上。
[被覆樹脂層] 被覆樹脂層22之種類並無特別限定，可為包含聚乙烯系樹脂之聚乙烯系樹脂層，可為包含阻氣系樹脂之阻氣系樹脂層，亦可為其等之組合。
於設置聚乙烯系樹脂層作為被覆樹脂層22之情形時，作為聚乙烯系樹脂，可自作為上述最內層之聚乙烯系樹脂層21之主成分之聚乙烯系樹脂組合物中適當選擇。
其中，自抑制低分子量成分之溶出及/或藉由藥劑洗淨配管時之耐久性之方面考慮，較佳為高密度聚乙烯(HDPE)。
作為被覆樹脂層22之聚乙烯系樹脂層之主成分的聚乙烯系樹脂可與作為最內層之聚乙烯系樹脂層21之主成分的聚乙烯系樹脂組合物種類相同，亦可不同，當兩層相互接觸而積層時，要想提高兩層之密接性使其表現出較佳之強度，更佳為相同種類之聚乙烯系樹脂。
被覆樹脂層22中之聚乙烯系樹脂層較佳為包含抗氧化劑。作為抗氧化劑，可例舉：酚系抗氧化劑、磷系抗氧化劑、硫系抗氧化劑、芳香族胺系抗氧化劑及內酯系抗氧化劑等。作為被覆樹脂層22中之聚乙烯系樹脂層中之抗氧化劑之含量，就抑制氧之影響而確保較佳之強度之觀點而言，例如可例舉0.01重量%以上，較佳為0.1重量%以上，作為抗氧化劑之含量之上限，例如可例舉5重量%以下，較佳為1重量%以下，更佳為0.5重量%以下。
於設置阻氣層作為被覆樹脂層22之情形時，阻氣層積層於最內層之聚乙烯系樹脂層21之外側即可。阻氣層可構成超純水用配管材(例如管11)之最外層，亦可於阻氣層之更外側設置其他層。
藉由設置阻氣層，可良好地抑制氣體於超純水中之溶解，故較佳為設置阻氣層。又，阻氣層由於防止來自超純水用配管材(例如管11)之外表面11b之氧滲透至最內層之聚乙烯系樹脂層21，或滲透至視需要設置之外層之聚乙烯系樹脂層之內部，故亦可提高超純水用配管材(例如管11)之長期強度。 藉由設置阻氣層，防止來自超純水用配管材(例如管11)之外表面11b之氧滲透至最內層之聚乙烯系樹脂層21，或滲透至視需要設置之外層之聚乙烯系樹脂層之內部，故可提高超純水用配管材(例如管11)之強度。又，設置阻氣層就良好地抑制氣體於超純水中之溶解之方面而言亦較佳。
作為阻氣層之材料，例如可例舉：聚乙烯醇(PVA)、乙烯-乙烯醇共聚物(EVOH)、聚偏二氯乙烯樹脂(PVDC)、及聚丙烯腈(PAN)等，較佳為例舉聚乙烯醇(PVA)及乙烯-乙烯醇共聚物(EVOH)。
阻氣層之厚度只要是至少能夠確保聚乙烯系樹脂之阻氣性之厚度即可，並無特別限定，例如可例舉30～300 μm，較佳為50～250 μm，更佳為70～250 μm。
[超純水用配管材之用途] 本發明之實施方式之超純水用配管材係用於輸送超純水。具體而言，本發明之實施方式之超純水用配管材可作為超純水製造裝置內之配管、將超純水自超純水製造裝置輸送至使用點之配管、及將超純水自使用點運回用之配管等使用。再者，本發明中之超純水係被定義為25℃時之比電阻為10 MΩ・cm以上，更嚴格地定義為25℃時之比電阻為15 MΩ・cm以上，尤其嚴格地定義為25℃時之比電阻為18 MΩ・cm以上。
本發明之實施方式之超純水用配管材較佳為對超純水之要求水質特別嚴格之核能發電用水配管，或者較佳為於醫藥品之製造步驟中使用之超純水輸送配管，半導體元件或液晶、更佳為半導體元件之製造步驟中之洗淨等濕式處理步驟中使用之超純水輸送配管。作為該半導體元件，較佳為具有更高積體度者，具體而言，更佳為於最小線寬65 nm以下之半導體元件之製造步驟中使用。作為半導體製造中使用之超純水之品質等之相關標準，例如可例舉SEMI F75。
又，由於本發明之實施方式之超純水用配管材具有聚乙烯系樹脂層，故施工性優異。例如，能夠容易地以相對較低之溫度進行對頭(對接)熔合接合或EF(電熔合)接合等熔合施工。
[超純水用配管材之製造] 本發明之實施方式超純水用配管材可藉由如下方式製造：準備作為形成配管材之內表面10a、11a、31a～35a、42a之聚乙烯系樹脂層21之主成分的聚乙烯系樹脂，並視需要準備構成外側之被覆樹脂層22之被覆樹脂，以各層之厚度成為特定厚度之方式進行共擠壓成形。由於本發明之實施方式之超純水用配管材係由聚乙烯系樹脂製造，故能夠以較低之價格製造。 [實施例]
以下，例舉實施例對本發明進一步詳細地進行說明，但本發明並不受該等實施例限定。 [實施例1～4][比較例1～2] 準備以下材料，進行以下評估。 (抗氧化劑) Irganox1010(巴斯夫日本公司製造) Irganox1330(巴斯夫日本公司製造) 圖5係表示Irganox1010之結構式之圖。圖6係表示Irganox1330之結構式之圖。 (1)聚乙烯系樹脂之聚合 (固體觸媒成分之製備) 於氮氣氛圍下，向裝有約700個直徑10 mm之磁珠之內容積1 L之罐(粉碎用容器)中，加入市售之乙醇鎂(平均粒徑860 μm)20 g、粒狀三氯化鋁1.66 g及二苯基二乙氧基矽烷2.72 g。使用振動球磨機，於振幅6 mm及振動數30 Hz之條件下對其等進行3小時共粉碎。共粉碎後，於氮氣氛圍下將內容物與磁珠分離。
將以上述方式獲得之共粉碎生成物5 g及20 ml正庚烷加入至200 ml之三口燒瓶中。一面攪拌一面於室溫下滴加10.4 ml四氯化鈦，並升溫至90℃，持續攪拌90分鐘。繼而，將反應系統冷卻後，抽出上清液，並加入正己烷。重複3次該操作。於50℃、減壓下將所獲得之淡黃色固體乾燥6小時，獲得固體觸媒成分。 (聚乙烯樹脂組合物之製造) 向內容積100 L之第1聚合液體填充環型反應器中，以63 L/hr之速度連續地供給經脫水精製之異丁烷，以20 g/hr之速度連續地供給三異丁基鋁，以3.6 g/hr之速度連續地供給上述固體觸媒，進而以7 kg/hr之速度連續地供給乙烯，進而以成為目標MFR21.6 、共聚單體含量之方式，加入氫氣(控制MFR)及作為共聚單體之1-己烯(控制α-烯烴量)，於85℃、聚合壓力4.3 MPa、平均滯留時間0.9 hr之條件下使乙烯與1-己烯進行共聚。採集一部分聚合反應生成物，測定其物性，結果MFR21.6 為0.2 g/10分鐘，α-烯烴含量為1.2 mol%。
繼而，將包含第一步驟聚合生成物之異丁烷漿料直接全部導入至內容積200 L之第二步驟反應器中，不追加觸媒，以40 L/hr供給異丁烷，以7 kg/hr供給乙烯，於85℃、聚合壓力4.2 MPa、平均滯留時間0.9 hr之條件下進行第二步驟之聚合。於該第二步驟中，以製造與第一步驟實質上相同之聚合物之方式供給氫氣及1-己烯。採集一部分第二步驟後之聚合反應生成物，測定其物性，結果MFR21.6 為0.2 g/10分鐘，α-烯烴含量為1.2 mol%。
繼而，將包含第二步驟聚合生成物之異丁烷漿料直接全部導入至400 L之第三步驟反應器中，不追加觸媒及1-己烯，以87 L/hr之速度連續地供給異丁烷，以18 kg/hr之速度連續地供給乙烯，進而以成為目標MFR21.6 之方式供給氫氣，於90℃、聚合壓力4.1 MPa、平均滯留時間1.5 hr之條件下進行第三步驟之聚合。將自第三步驟反應器排出之聚乙烯系聚合物加以乾燥，向所獲得之聚合粉末中加入特定添加劑，並進行熔融混練，獲得聚乙烯系樹脂組合物，對該聚乙烯系樹脂組合物進行測定，結果MFR21.6 為18 g/10分鐘，密度為0.951 g/cm3 ，α-烯烴含量為0.5 mol%。再者，第一步驟及第二步驟中製造之聚合物(高分子量成分(A))之比率均為20重量%。
另一方面，第三步驟中製造之低分子量成分(B)之聚乙烯系聚合物之MFR藉由在第三步驟之聚合條件下另外進行聚合而求出，MFR為130 g/10分鐘。又，第三步驟中製造之低分子量成分之聚乙烯系聚合物之α-烯烴含量係藉由使第三步驟後之α-烯烴含量與第二步驟後之α-烯烴含量之間關於重量%之加成性成立而求出，為0.1 mol%。將結果示於(表1)。
將第一步驟及第二步驟中製造之聚合物統設為高分子量成分(A)，將第三步驟中製造之聚合物設為低分子量成分(B)。
[表1]
      單位 聚乙烯系樹脂組合物
高分子量成分(A) MFR21.6 g/10分鐘 0.2
α-烯烴含量 mol% 1.2
調配比率 重量% 40
低分子量成分(B) MFR2 g/10分鐘 130
α-烯烴含量 mol% 0.1
調配比率 重量% 60
整體 MFR5 g/10分鐘 0.4
MFR21.6 g/10分鐘 18
FR - 45
密度 g/cm3 0.951
α-烯烴含量 mol% 0.5
(2)聚乙烯系樹脂組合物片材之製作 於本實施例中，以片狀而非以管形狀實施各種評估。 依據以下(表2)所示之組成，以200℃對聚乙烯系樹脂顆粒進行3分鐘熱壓，成形為180 mm＊180 mm＊1 mm之片狀，獲得試驗樣品。 (3)鈣濃度評估 將上述片材切斷而準備重量0.1g之試片後，與6 mL硝酸一同供於微波分解系統(CEM公司製造之MARS6)中，藉由微波將試片分解。分解後，添加1 mL過氧化氫，進而加入超純水，定容至25 mL。藉由ICP(Inductive Coupling Plasma，感應耦合電漿)裝置(SII Technology公司製造之SPS5100)測定溶液之鈣濃度，算出聚乙烯系樹脂組合物片材之鈣濃度。 (4)鈣溶出量評估 準備3片將上述片材切割為30 mm＊50 mm之樣品，藉由基於SEMI F40標準之方法對樣品進行超純水洗淨，之後，將其與100 mL超純水一同封入PFA容器中。之後，於85℃±5℃之條件下將PFA容器靜置7天，進行溶出，之後，使用ICP-MS(Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry，感應耦合電漿質譜)裝置(安捷倫科技公司製造、型號Agirent 7500cs)測定鈣溶出量。再者，將鈣溶出量所應滿足之基準值設為15 μg/m2 以下。將結果示於(表2)。 (5)氧化誘導時間(OIT)評估 使用示差掃描熱量計(DSC)測定上述片材之氧化誘導時間(OIT)。測定係使用精工電子股份有限公司製造之DSC7020。向裝置之爐內放入5 mg片材後，蓋上中蓋後，再一面以50 mL/分鐘之速度使氮氣流向爐內，一面以20℃/分鐘之升溫速度升溫至210℃，之後，維持該狀態靜置5分鐘。靜置後將氮氣置換為氧氣，而使樣品氧化。藉由計算自將氮氣置換為氧氣之時間起至放熱峰因氧化而上升之這段時間，來測定氧化誘導時間。再者，將氧化誘導時間所應滿足之基準值設為20分鐘以上。
氧化誘導時間與樣品之熱穩定性或長期強度密切相關，氧化誘導時間越長，則熱穩定性或長期強度越優異。將結果示於(表2)。
[表2]
   實施例 比較例
1 2 3 4 1 2
樣品形狀 平板 平板 平板 平板 平板 平板
組成 鈣濃度(ppm) 40.1 30.2 44.1 32.4 75.3 3.8
酚系 抗氧化劑 種類 Irganox 1010 Irganox 1010 Irganox 1330 Irganox 1330 Irganox 1010 Irganox 1010
添加份數(ppm) 1000 1000 1000 1000 1000 1000
性能 鈣溶出量(μg/m2 ) 10.5 5.8 6.3 3.9 19.0 1.8
210℃時之氧化誘導時間(分鐘) 39.1 29.1 37.8 25.3 39.4 0.2
如上述表所示，於聚乙烯系樹脂組合物片材之鈣濃度為10 ppm以上60 ppm以下之情形(實施例1-4)時，鈣溶出量低於15 μg/m2 ，可有效地抑制鈣溶出，並且亦表現出熱穩定性。
另一方面，於聚乙烯系樹脂組合物片材之鈣濃度為60 ppm以上之情形(比較例1)時，鈣溶出量超過15 μg/m2 。
又，比較實施例1與實施例3，並比較實施例2與實施例4可知，儘管聚乙烯系樹脂中之鈣濃度為同等程度，添加Irganox1330作為酚系抗氧化劑之情形卻較添加Irganox1010之情形更能抑制鈣溶出量。其原因推測為以下內容。
即，Irganox1010由於分子中具有源自酚基以外之氧，故分子極性較高，容易溶出至聚乙烯系樹脂外。進而，Irganox1010由於其較高之極性導致於其與鈣成分之間分子間力容易產生作用，例如有Irganox1010溶出時亦引起鈣成分溶出之可能性。即，認為添加Irganox1010會使鈣成分亦變得容易溶出。
另一方面，Irganox1330係不具有源自酚基以外之氧之低極性分子，推測其不參與鈣成分之溶出。
根據以上結果，添加酚系抗氧化劑時，要想減少鈣溶出量，較佳為抗氧化劑不具有源自酚基以外之氧。
又，可知於使用具有源自酚基以外之氧之酚系抗氧化劑作為抗氧化劑之情形時，聚乙烯系樹脂中之鈣濃度較佳為50 ppm以下。
如比較例2所示，於藉由齊格勒觸媒所合成之聚乙烯系樹脂組合物之鈣濃度低於10 ppm之情形時，雖然鈣溶出量得到抑制，但氧化誘導時間低於20分鐘，熱穩定性不足。認為其原因在於，聚乙烯系樹脂之聚合後殘存於樹脂中之齊格勒觸媒未能充分中和，活性觸媒殘渣殘存於樹脂中，導致熱穩定性降低。因此，於將藉由齊格勒觸媒所合成之聚乙烯系樹脂用於超純水用配管材之情形時，要想表現出熱穩定性，鈣濃度必須為10 ppm以上。 (6)TOC溶出量 準備3片將上述片材切割為30 mm＊50 mm之樣品，藉由基於SEMI F40標準之方法對樣品進行超純水洗淨，之後，將其與100 mL超純水一同封入PFA容器中。之後，於85℃±5℃之條件下將PFA容器靜置7天，進行溶出，之後，使用總有機碳分析儀(島津製作所公司製造、型號TOC-5000)測定TOC溶出量。再者，將TOC溶出量所應滿足之基準值設為SEMI F57標準中記載之TOC溶出量之要求條件(60000 μg/m2 以下)一半之值，即30000 μg/m2 以下。將結果示於(表3)。 (表3)中，使用未添加HALS之(表2)所示之實施例1、3、4中之片狀試驗樣品、及以(表3)之組成添加有HALS之比較例1之片狀試驗樣品。 [表3]
   實施例 比較例
1 3 4 1
樣品形狀 平板 平板 平板 平板
組成 鈣濃度(ppm) 40.1 30.2 44.1 75.3
酚系 抗氧化劑 種類 Irganox 1010 Irganox 1330 Irganox 1330 Irganox 1010
添加份數(ppm) 1000 1000 1000 1000
HALS(ppm) 0 0 0 1000
性能 TOC溶出量(μg/m2 ) 7100 5600 7000 46000
如(表3)所示，根據實施例1及比較例1可知，於包含光穩定劑之情形時，TOC溶出量會超過基準值。又，根據實施例1、3、4可知，於不含光穩定劑之情形時，不論酚系抗氧化劑之種類為何，TOC溶出量均維持在基準值以內。 [實施例5～8] 使用(表1)之聚乙烯系樹脂組合物，使配管材(彎頭、管)成形，並進行以下評估。以下，對本試驗詳細地進行說明，但本發明並不受該等實施例限定。 (1)彎頭評估 (1-1)彎頭之成形 依據(表4)所示之組成，以射出成形之方式使口徑25A之彎頭(參照圖3B)成形。彎頭係藉由常用之成形方法成形。 (1-2)鈣濃度評估 將上述彎頭切斷而準備重量0.1g之試片後，與6 mL硝酸一同供於微波分解系統(CEM公司製造之MARS6)中，藉由微波將試片分解。分解後，添加1 mL過氧化氫，進而加入超純水，定容至25 mL。藉由ICP裝置(SII Technology公司製造之SPS5100)測定溶液之鈣濃度，而算出聚乙烯系樹脂彎頭之鈣濃度。 (1-3)鈣溶出量評估 藉由基於SEMI F40標準之方法對上述彎頭樣品進行超純水洗淨後，向彎頭中加入80 mL超純水，並將端部加以密封。之後，於85℃±5℃之條件下將彎頭靜置7天，進行溶出，之後，使用ICP-MS裝置(安捷倫科技公司製造、型號Agirent7500cs)測定鈣溶出量。 (1-4)氧化誘導時間(OIT)評估 使用示差掃描熱量計(DSC)測定上述彎頭之氧化誘導時間(OIT)。測定係使用精工電子股份有限公司製造之DSC7020。向裝置之爐內放入15 mg彎頭之切削片後，蓋上中蓋後，再一面以50 mL/分鐘之速度使氮氣流向爐內，一面以20℃/分鐘之升溫速度升溫至210℃，之後，於該狀態下靜置5分鐘。靜置後將氮氣置換為氧氣，而使樣品氧化。藉由計算自將氮氣置換為氧氣之時間起至放熱峰因氧化而上升之這段時間，來測定氧化誘導時間。再者，將氧化誘導時間所應滿足之基準值設為20分鐘以上。 (1-5)熱內壓蠕變試驗 依據配水用聚乙烯管路系統協會標準(PTC K 03：2010「自來水配水用聚乙烯管」)進行試驗。向上述彎頭中注滿水，利用密封治具固定端部後浸漬於80℃之溫水槽中，並加載5.0 MPa之圓周應力，靜置於溫水槽內。
[表4]
   實施例
5 6
樣品形狀 彎頭 彎頭
組成 鈣濃度(ppm) 37.4 27.6
酚系 抗氧化劑 種類 Irganox 1330 Irganox 1330
添加份數(ppm) 1000 1000
性能 鈣溶出量(μg/m2 ) 1.0 1.1
210℃時之氧化誘導時間(分鐘) 34.8 31.1
80℃、5.0 MPa下之熱內壓蠕變 3,000 h 無破壞 3,000 h 無破壞
如上述表所示，於使用鈣濃度為10 ppm以上60 ppm以下之聚乙烯系樹脂組合物使配管材成形之情形時，鈣溶出量低於15 μg/m2 ，可有效地抑制鈣溶出，並且亦表現出熱穩定性。 又，該配管材於80℃、5.0 MPa下之熱內壓蠕變性能為持續3,000小時無破壞。認為聚乙烯系樹脂組合物之聚合後殘存於樹脂組合物中之齊格勒觸媒得到充分中和，表現出長期強度。 (2)管評估 (2-1)管之成形 依據(表5)所示之組成，以擠出成形之方式使外徑32 mm-壁厚3 mm之管成形。管係藉由常用之成形方法所成形。 (2-2)鈣濃度評估 將上述管切斷而準備重量0.1 g之試片後，與6 mL硝酸一同供於微波分解系統(CEM公司製造之MARS6)中，藉由微波將試片分解。分解後，添加1 mL過氧化氫，進而加入超純水，定容至25 mL。藉由ICP裝置(SII Technology公司製造之SPS5100)測定溶液之鈣濃度，而算出聚乙烯系樹脂管之鈣濃度。 (2-3)鈣溶出量評估 藉由基於SEMI F40標準之方法，對上述管樣品進行超純水洗淨後，向管中加入90 mL超純水，並將端部加以密封。之後，於85℃±5℃之條件下將管靜置7天，進行溶出，之後，使用ICP-MS裝置(安捷倫科技公司製造、型號Agirent7500cs)測定鈣溶出量。 (2-4)氧化誘導時間(OIT)評估 使用示差掃描熱量計(DSC)測定上述管之氧化誘導時間(OIT)。測定係使用精工電子股份有限公司製造之DSC7020。向裝置之爐內加入15 mg管內層之切削片後，蓋上中蓋後，再一面以50 mL/分鐘之速度使氮氣流向爐內，一面以20℃/分鐘之升溫速度升溫至210℃後，於該狀態下靜置5分鐘。靜置後將氮氣置換為氧氣，而使樣品氧化。藉由計算自將氮氣置換為氧氣之時間起至放熱峰因氧化而上升之這段時間，來測定氧化誘導時間。再者，將氧化誘導時間所應滿足之基準值設為20分鐘以上。 (2-5)熱內壓蠕變試驗 依據配水用聚乙烯管路系統協會標準(PTC K 03：2010「自來水配水用聚乙烯管」)進行試驗。向上述管中注滿水，利用密封治具固定端部後浸漬於80℃之溫水槽中，並加載5.0 MPa之圓周應力，靜置於溫水槽內。
[表5]
   實施例
7 8
樣品形狀 管 (單層) 管 (雙層)
組成 最內層 鈣濃度(ppm) 37.3 40.7
酚系 抗氧化劑 種類 Irganox 1330 Irganox 1330
添加份數(ppm) 1000 1000
外層 鈣濃度(ppm) - 68.4
酚系 抗氧化劑 種類 - Irganox 1010
添加份數(ppm) - 1000
層之厚度 最內層(mm) 3.0 0.5
外層(mm) - 2.5
性能 鈣溶出量(μg/m2 ) 1.2 2.8
210℃時之氧化誘導時間(分鐘) 36.5 29.6
80℃、5.0 MPa下之熱內壓蠕變 3,000 h 無破壞 3,000 h 無破壞
如上述表所示，於使用鈣濃度為10 ppm以上60 ppm以下之聚乙烯系樹脂組合物使配管材成形之情形時，鈣溶出量低於15 μg/m2 ，可有效抑制鈣溶出，並且亦表現出熱穩定性。又，該配管材於80℃、5.0 MPa下之熱內壓蠕變性能為持續3,000小時無破壞。認為聚乙烯系樹脂組合物之聚合後殘存於樹脂組合物中之齊格勒觸媒得到充分中和，表現出長期強度。 [實施例9～13][比較例3～8] 依照實施例1，準備(表6)及(表7)之聚乙烯系樹脂組合物，並進行以下評估。 (4)管之成形 依據(表6)及(表7)所示之聚乙烯系樹脂組成，使外徑110 mm-壁厚10 mm之管成形。管係藉由常用之成形方法所成形。
再者，實施例10～13、比較例3～8係使用與實施例9(表1同樣)相同之觸媒、相同之聚合過程、相同之α-烯烴、及實施例3之添加劑，以僅樹脂組成成為(表6)及(表7)之方式調整氫氣量、α-烯烴量、各成分比率而製造。 (5)低速龜裂成長性評估 依據ISO13479，於試驗溫度80℃、試驗壓力9.2 bar之條件下實施缺口管試驗。將試驗結果示於(表6)及(表7)。 (6)管內面平滑性評估 將成形之管切成兩半，觀察內面狀態。將目視確認到明顯凹凸且無光澤感之狀態評估為「×」，將具有一定程度光澤感之狀態評估為「〇」，將光澤感良好之狀態評估為「◎」。將試驗結果示於(表6)及(表7)。 (7)管之判定 將低速龜裂成長性評估之缺口管試驗結果為「＞500小時」，且管內面平滑性評估為「◎～〇」者判定為「適合」，將除此以外之情況判定為「不適合」。
[表6]
   實施例
      單位 9 10 11 12 13
高分子量成分(A) MFR21.6 g/10分鐘 0.2 0.1 0.2 0.4 0.2
α-烯烴含量 mol% 1.2 1.5 1.1 1.5 1.1
調配比率 重量% 40 35 45 48 45
低分子量成分(B) MFR2 g/10分鐘 130 100 100 80 150
α-烯烴含量 mol% 0.1 0.1 0.1 0.1 0.3
調配比率 重量% 60 65 55 52 55
整體 MFR5 g/10分鐘 0.4 0.4 0.2 0.3 0.2
MFR21.6 g/10分鐘 18 16 8 10 9
FR - 45 40 40 33 45
密度 g/cm3 0.951 0.947 0.950 0.946 0.946
α-烯烴含量 mol% 0.5 0.6 0.5 0.7 0.7
缺口管試驗 小時 ＞1000 ＞1000 ＞1000 ＞1000 ＞1000
管內面平滑性評估 - ◎ ◎ 〇 〇 〇
管之判定 - 適合 適合 適合 適合 適合
[表7]
   比較例
      單位 3 4 5 6 7 8
高分子量成分(A) MFR21.6 g/10分鐘 0.2 1.2 0.1 0.1 0.2 3
α-烯烴含量 mol% 0.5 1.4 1.5 1.5 1.1 1.1
調配比率 重量% 40 50 30 45 45 50
低分子量成分(B) MFR2 g/10分鐘 130 100 100 600 15 4
α-烯烴含量 mol% 0.2 0.1 0.1 ＜0.1 0.1 0.1
調配比率 重量% 60 50 70 55 55 50
整體 MFR5 g/10分鐘 0.4 0.7 0.7 0.3 0.1 1.0
MFR21.6 g/10分鐘 18 24 25 17 4 20
FR - 45 34 36 57 40 20
密度 g/cm3 0.950 0.947 0.950 0.948 0.948 0.946
α-烯烴含量 mol% 0.5 0.6 0.5 0.6 0.5 0.6
缺口管試驗 小時 ＜200 ＜200 ＜200 ＜100 ＞1000 ＜100
管內面平滑性評估 - ◎ ◎ ◎ × × ◎
管之判定 - 不適合 不適合 不適合 不適合 不適合 不適合
如上述表所示，使用本發明之聚乙烯系樹脂組合物所成形之管同時滿足低速龜裂耐性及內面平滑性，與此相對，使用本發明以外之聚乙烯系樹脂組合物之管難以兼顧低速龜裂耐性與內面平滑性。又，使用實施例9～13之聚乙烯系樹脂組合物，以實施例1或3之配方調配抗氧化劑，並對性能進行評估，結果鈣溶出量及210℃時之氧化誘導時間發揮與實施例1或3相同之性能，可製造良好且優異之超純水用配管材。
10,11:管 10a,11a:內表面 10b,11b:外表面 10c,11c:管之內部流路 21:聚乙烯系樹脂層(層之一例) 22:被覆樹脂層 31:接頭(插口) 31a:內表面 32:接頭(彎頭) 32a:內表面 33:接頭(T形接頭) 33a:內表面 34:接頭(凸緣) 34a:內表面 34d:軸環部 35:接頭(異徑管接頭) 35a:內表面 40:蝶形閥 41:閥籠 41a:流路 42:閥座環 42a:內表面 43:閥體 44:把手
圖1係表示本發明之實施方式之超純水用配管材之一例的管之模式性剖視圖。 圖2係表示本發明之實施方式之超純水用配管材之另一例的管之模式性剖視圖。 圖3A係表示本發明之實施方式之超純水用配管材之一例的接頭之圖。 圖3B係表示本發明之實施方式之超純水用配管材之一例的接頭之圖。 圖3C係表示本發明之實施方式之超純水用配管材之一例的接頭之圖。 圖3D係表示本發明之實施方式之超純水用配管材之一例的接頭之圖。 圖3E係表示本發明之實施方式之超純水用配管材之一例的接頭之圖。 圖4係表示本發明之實施方式之超純水用配管材之一例的閥之圖。 圖5係Irganox1010之結構式。 圖6係Irganox1330之結構式。
10:管
10a:內表面
10b:外表面
10c:管之內部流路
21:聚乙烯系樹脂層(層之一例)

Claims (18)

  1. 一種超純水用配管材，其具備以聚乙烯系樹脂為主成分之層，且 上述層形成配管材內表面， 上述層中之鈣濃度為10 ppm以上60 ppm以下。
  2. 如請求項1之超純水用配管材，其中上述聚乙烯系樹脂係藉由齊格勒觸媒進行聚合所得之聚乙烯系樹脂。
  3. 如請求項1或2之超純水用配管材，其中上述層含有抗氧化劑。
  4. 如請求項3之超純水用配管材，其中上述抗氧化劑包含不具有源自酚基以外之氧之酚系抗氧化劑。
  5. 如請求項3之超純水用配管材，其中 上述抗氧化劑包含具有源自酚基以外之氧之酚系抗氧化劑， 上述層中之鈣濃度為50 ppm以下。
  6. 如請求項1至5中任一項之超純水用配管材，其中上述層實質上不含光穩定劑。
  7. 如請求項1至6中任一項之超純水用配管材，其中上述層於210℃時之氧化誘導時間為20分鐘以上。
  8. 如請求項1至7中任一項之超純水用配管材，其中自上述層溶出之總有機碳量為30000 μg/m2 以下。
  9. 如請求項1至8中任一項之超純水用配管材，其中上述層之厚度為0.3 mm以上。
  10. 如請求項1至9中任一項之超純水用配管材，其中上述層之厚度為2.0 mm以下。
  11. 如請求項1至10中任一項之超純水用配管材，其中於使上述超純水用配管材以80℃負載5.0 MPa之圓周應力之狀態下會持續3,000小時以上不產生破壞。
  12. 一種超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物，其包含聚乙烯系樹脂，並且滿足以下特性(1)～(5)： 特性(1)：溫度190℃，負載21.6 kg時之熔體流動速率(MFR21.6 )為6 g/10分鐘以上25 g/10分鐘以下； 特性(2)：MFR21.6 與負載5 kg時之熔體流動速率(MFR5 )之比即FR(MFR21.6 /MFR5 )為25以上60以下； 特性(3)：包含高分子量成分(A)及低分子量成分(B)，高分子量成分(A)之MFR21.6 為0.05 g/10分鐘以上1.0 g/10分鐘以下，並且，乙烯以外之α-烯烴含量為0.8 mol%以上2.0 mol%以下，進而相對於樹脂整體之含有比率為35重量%以上50重量%以下，低分子量成分(B)於溫度190℃、負載2.16 kg時之熔體流動速率(MFR2 )為20 g/10分鐘以上500 g/10分鐘以下； 特性(4)：密度為0.946 g/cm3 以上0.960 g/cm3 以下； 特性(5)：鈣濃度為10 ppm以上60 ppm以下。
  13. 如請求項12之超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物，其中上述聚乙烯系樹脂係藉由齊格勒觸媒進行聚合所得之聚乙烯系樹脂。
  14. 如請求項12或13之超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物，其含有抗氧化劑。
  15. 如請求項14之超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物，其中上述抗氧化劑包含不具有源自酚基以外之氧之酚系抗氧化劑。
  16. 如請求項14之超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物，其中 上述抗氧化劑包含具有源自酚基以外之氧之酚系抗氧化劑， 鈣濃度為50 ppm以下。
  17. 如請求項12至16中任一項之超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物，其實質上不含光穩定劑。
  18. 如請求項12至17中任一項之超純水用配管材用之聚乙烯系樹脂組合物，其於210℃時之氧化誘導時間為20分鐘以上。
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