TW202114025A - 具有雙模式移動基板載具的系統 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種處理系統，包括：真空封閉體，具有多數處理窗口和位於其中的連續軌道；多數處理室，附接至該真空封閉體的側壁，個別對應到一個處理窗口；裝載站，裝置在該真空封閉體的一端，其內具有一個裝載軌道；至少一個閘閥，用以將該裝載站與該真空封閉體分開；多數基板載具，構造成可在該連續軌道和該裝載軌道上移動；至少一個軌道轉換器，位於該真空封閉體內，該軌道轉換器可在第一位置和第二位置之間移動，其中，在該第一位置時可使該基板載具在連續軌道上連續移動，且在該第二位置時可使該基板載具在該連續軌道和該裝載軌道之間轉移。

Description

具有雙模式移動基板載具的系統
本發明一般涉及通常稱為基板處理的技術領域，例如在基板塗布薄膜的技術。
基板的真空處理在本領域中是眾所周知的技術，並且有時可稱為薄膜處理。通常，薄膜處理系統可以歸類為以下三種架構：批次處理，群集系統和在線系統。 這些架構各別的優點和缺點在本領域中也是眾所周知。
在一些系統架構中，尤其是用於製造微晶片的系統架構中，基板是分別運送到處理室中，且是放置在夾具或基座上運送。與此相反，在其他系統中，例如用於硬式磁碟機或太陽能電池製造的系統中，基板是放置在基板載具上運送並進行處理。
在本技術領域中亟需要有改進的系統架構，使單一系統可以應用於在不同類型的基板上形成薄膜。此外，在本技術領域中也需要提供改進的機器，能夠以高產量和商業上可接受的成本形成薄膜塗層。
以下對本發明的簡述，目的在於對本發明之數種面向和技術特徵作出基本的說明。發明的簡述並非對本發明的詳細表述，因此其目的不在特別列舉本發明的關鍵性或重要元件，也不是用來界定本發明的範圍。其唯一目的是以簡明的方式呈現本發明的數種概念，作為以下詳細說明的前言。
本發明的實施例提供一種系統，該系統專門設計用於以批量生產，並以商業可接受的成本形成改進的薄膜塗層。
在本發明的實施例中，真空封閉體具有附接到其上的多數處理室。在處理過程中，載具在真空封閉體內連續且一致地移動，並在處理室進行處理。該裝載站區段連接到真空封閉體，並且可以具有加載側和卸載側，兩者可以共享真空環境或具有獨立的真空環境。閘閥將裝載站區段與真空封閉體分開。軌道轉換器位於真空封閉體內。軌道轉換器可在第一位置和第二位置之間移動；當軌道轉換器在該第一位置時，載具可在真空封閉體內連續移動；當軌道轉換器在該第二位置時，該載具在真空封閉體與裝載站區段之間移動。
根據本發明的一般性面向，本發明提供一種處理系統，該系統包括：真空封閉體，具有多數處理窗口和位於該封閉體中的連續軌道；多數處理室，附接至該真空封閉體的側壁，每個處理室對應到一個處理窗口；裝載站，裝置在該真空封閉體的一端，其內具有一個裝載軌道；至少一個閘閥，用以將該裝載站與該真空封閉體分開；多數基板載具，構造成可在該連續軌道和該裝載軌道上移動；至少一個軌道轉換器，位於該真空封閉體內，該軌道轉換器可在第一位置和第二位置之間移動，其中，該軌道轉換器在該第一位置時，可使該基板載具在連續軌道上連續移動，且該軌道轉換器在該第二位置時，可使該基板載具在該連續軌道和該裝載軌道之間轉移。
在本發明進一步的面向中，提供一個基板處理系統，該系統包括： 裝載站區段，具有第一側和與第一側相對的第二側； 大氣區段，耦合到該裝載站區段的第一側； 真空區段，連接到裝載站區段的第二側，並具有連接到其上的多數處理室； 載具輸送機構，包括： i.                單軌軌道，形成為：第一單軌區段形狀為跑道形狀並位於該真空區段內，第二單軌區段具有兩組平行的直線單軌，位於該裝載站區段內並延伸至該大氣區段和該真空區段，以及第三單軌區段位於該大氣區段內，其形狀為曲線，其一端與該直線單軌之一的延伸相交，另一端與另一直線單軌的延伸相交， ii.                動力元件，位於該跑道中， iii.                多數動力輪，沿該第二單軌區段配置， iv.                兩個軌道轉換器，各位於該第一單軌區段的一端，每個軌道轉換器包括一個可移動的工作台，一個位於該工作台上的直線單軌區段，以及一個位於該工作台上的彎曲單軌區段，以及 多數載具，具有多數轉輪，該載具構造成可與該單軌接合，以使載具在該單軌上運行。
在本發明一個實施例中，該系統由下列元件組成：裝載站區段，具有第一側和與該第一側相對的第二側；大氣區段，連接到該裝載站區段的第一側；真空區段，連接到該裝載站區段的第二側，並具有多數處理室，連接到該真空區段；載具輸送機構，包括： i.                單軌軌道，形成為：第一單軌區段形狀為跑道形狀並位於該真空區段內，第二單軌區段具有兩組平行的直線單軌，位於該裝載站區段內並延伸至該大氣區段和該真空區段，以及第三單軌區段位於該大氣區段內，其形狀為曲線，其一端與該直線單軌之一的延伸相交，另一端與另一直線單軌的延伸相交， ii.                環形輸送帶，位於該跑道上並配置多數驅動叉， iii.                驅動輪，位於該大氣區段並配置多數驅動叉， iv.                多數動力輪，沿該第二單軌區段配置， v.                兩個軌道轉換器，各位於該第一單軌區段的一端，每個軌道轉換器包括一個可移動的工作台，一個位於該工作台上的直線單軌區段，以及一個位於該工作台上的彎曲單軌區段，以及 多數載具，每個載具具有基座，多數轉輪，附接至該基座並構造成可接合該單軌，以使載具自由在單軌上運行，驅動桿，附接至該基座，該驅動桿構造成可接合多數動力輪，以在該載具在第二單軌區段上運行時使載具移動，以及驅動銷，附接至該基座，並構造成可與該驅動叉接合，以在該載具在第一或第三單軌區段中時使載具移動；且其中，當該軌道轉換器位於第一位置時，該彎曲單軌區段與第一單軌區段對準，使該載具被沿該第一單軌區段配置的驅動叉連續移動，且當該軌道轉換器位於第二位置時，該直線單軌區段將第一單軌區段連接到第二單軌區段，使載具在該裝載站區段和該真空區段之間進行交換。
以下將參照附圖說明本發明用於製造薄膜塗層及其雙模式載具的系統的實施例。不同的實施例或其組合可以提供在不同的應用中或實現不同的優點。根據所要實現的結果，可以將本說明書所公開的不同技術特徵全部或部分利用，也可以單獨使用或與其他技術特徵結合使用，從而在需求與限制之間，求得平衡的優點。因此，參考不同的實施例可能會突顯特定的優點，但本發明並不限於所公開的實施例。也就是說，本說明書公開的技術特徵並不限於應用在所描述的實施例，而是可以與其他技術特徵「組合和配合」，並結合在其他實施例中。
本發明的實施例提供一種系統架構，該系統架構能夠使載具在第一模式的載具移動下，在真空室內對基板進行連續處理，以及一種機構，可在第二模式的載具移動下，將載具從真空室中移出。在任一載具移動模式中，載具可自由在軌道上運行，但是在每種載具移動模式中，施加到載具上以使其在軌道上運行的動力不同。當在真空室內時，所有載具都一致地移動，但是當離開真空室時，載具可以獨立地移動。
現在將結合圖2A和2B，並參照圖1描述本發明第一實施例。圖1顯示本發明系統的俯視示意圖，而圖2A顯示載具，圖2B顯示用來替換圖2A載具的基板支架。
在圖1中，系統100由一個大氣區段105，一個裝載站區段110和一個真空區段115組成。在大氣區段105中裝載和卸載載具，載具在大氣區段105和真空區段115之間傳送。經由裝載站區段110的真空區段115。基板是在真空區段115內部處理。在本實施例中顯示四個處理室120A-120D，但是應用上可以提供任何數量的處理室，詳情將在下面進一步說明。每個處理室120A-120D都可以是蝕刻腔室，濺射腔室，離子注入腔室等。如圖所示，在該實施例中，處理室連接到共同的真空環境，各處理室之間沒有閥門。
在三個區段105、110和115中提供單軌區段125，以使基板載具能夠行經所有三個區段。單軌區段在真空區段的內部形成一個跑道單軌127，在裝載站區段形成直線軌道128A和128B，穿過該裝載站區段，部分延伸進入大氣區段且部分延伸進入真空區段，並形成彎曲的月牙狀，而在該大氣區段則形成旋轉軌道129在。環形輸送帶130設置在真空區段115內部的旋轉鼓131A和131B上，環形輸送帶130具有多數驅動叉132，附接至該環形輸送帶130。在直線軌道的附近設有多數動力輪135，在大氣區段設有旋轉輪137，其上也附有驅動叉132。
在真空區段的內部提供兩個軌道轉換器140，其放大圖提供在圖1的放大圖中。軌道轉換器包括工作台141，在其上提供兩個軌道段，彎曲的軌道區段142和直線軌道區段144。如圖1中的雙頭箭頭所示，軌道轉換器可移動到兩個位置之一。軌道轉換器位在一個位置時，彎曲的軌道段對準跑道127，使得真空區段內的載具沿著跑道連續移動，以在腔室120A-120D中連續處理基板。當基板完成真空室中的處理後，該軌道轉換器移動到第二位置。在該位置，該軌道轉換器上的直線軌道將直線軌道128和128B和跑道127的直線區段互相連接，使得真空室中的載具退出真空室，進入裝載站，而裝載站內的載具則進入該真空區段。
在圖2A中顯示基板載具150的實施例。在該實施例中，載具150具有基座152和基板支架154。基板支架154可從基座上拆卸下來，從而能夠用來處理不同形狀和數量的基板。例如，圖2A所示的支架154可以用來保持形成三階層的正方形或矩形基板，而圖2B所示的支架154’則可用來保持圓形的基板。
如圖2A所示，基座152還包括滾輪裝置153，用來接合單軌125，並在其上運行。該滾輪裝置未動力化，並且可以包括多數自由旋轉的轉輪，使得基座可以自由在單軌上運行。動力來自與驅動桿156接合的動力輪135，或與驅動銷158接合的驅動叉132。
以下說明在系統100中執行基板處理的示例。空的載具被傳送到裝載站160，在此將基板裝載到載具上，同時該滾輪裝置153接合直線軌道1A，且動力輪135接合驅動桿156。將未經處理的基板裝載到基板支架154上。同時，可以從位於卸載站161處的另一個載具移除處理過的基板。一旦完成加載和卸載，則打開裝載區段中的裝載站160的入口閘閥EN。可選的步驟是打開卸載區段的裝載站（卸載站161）的出口閘閥EX。加載用裝載站的出口閘閥EX保持關閉狀態。同樣，如果卸載部分的出口閘閥打開，則其入口閘閥也須關閉。在本發明一些實施例中，兩個裝載站互相獨立，如虛線顯示的隔板170所例示，使得每個裝載站可彼此獨立地保持真空。在這種情況下，當將未經處理的基板裝載到加載用裝載站中時，可以將處理過的載具從真空區段裝載到卸載用裝載站161中。請注意，入口和出口閘閥是相對於載具行進方向進行標識的，儘管入口和出口閘閥的結構相同。換言之，如果行進方向翻轉，則入口閥和出口閥的名稱也將彼此對調。
在上述狀態下將動力輪135通電，以使裝載站中的基板載具移動到相應的裝載站，同時另一個裝載站內的基板載具可以移動到大氣區段105和/或經過處理的基板載具可以移入卸載用裝載站。但是請注意，這些操作並非必須同時執行。替代的方式包括可以在時間上分開進行裝載，因此只須打開帶有未經處理的基板的載具的入口閥，以將其移動到裝載站中，而在卸載區段中的動力輪並不通電。換言之，直線軌道區段中的動力輪可以個別或成組通電，使得只有一部分動力輪具有動力。而且，如果各裝載站是獨立運作，亦即具有獨立的專用泵浦裝置時，則各個閘閥也可以獨立通電，使得加載和卸載不需要同步。當然，為了提高操作效率，同步操作是較好的做法。
在本發明一種實施例中，該裝載站維持共同的真空環境並且以共同的泵浦抽真空。亦即，移除該隔板170，使閘閥以同步操作。例如，加載用裝載站的EN閘閥就與卸載用裝載站的EX閘閥一起操作，而加載用裝載站的EX閘閥則與卸載用裝載站的EN閘閥一起操作。
當載具進入裝載站時，關閉入口閘閥並抽真空。如果是已處理的載具從出口裝載站中移出，則也將被抽至真空狀態。當達到適當的真空程度時，打開加載用裝載站的出口閘閥EX，並對適當的動力輪通電，以將載具移動到真空區段115中。這時，軌道轉換器140移動到使直線軌道區段144與跑道單軌127的直線區段對準的位置。因此，當動力輪通電，將載具移動到真空區段時，載具進入跑道迴圈中，驅動叉當中的一個會與驅動銷158接合。然後，將軌道轉換器140移動到一個位置，在該位置使彎曲的軌道區段142與跑道單軌127的直線區段對準。在此位置上，載具是以環形輸送帶130傳動，而不是動力輪135。此外，在這種情況下，隨著環形輸送帶的旋轉，載具將根據需要沿著跑道行進盡可能多次的迴圈，直到可以退出基板處理區段為止。因此，可以根據需要在腔室120A-120D中的每個腔室對載具上的基板重複進行多次處理。
當基板處理完成時，卸載區段的軌道轉換器140移至使直線軌道區段144與跑道單軌127的直線區段對準的位置。隨著環形輸送帶繼續旋轉，載具移動到軌道轉換器140上並從原驅動叉上脫離，同時驅動桿156會接合動力輪135。然後可以對動力輪通電，以將載具移出跑道。
可以看出，在所描述的實施例中，載具具有兩種模式的移動，即接合在直線軌道上的動力輪的模式，以及接合在跑道將和大氣返回迴圈ARC中的驅動叉的模式。當位在跑道中時，驅動叉附在環形輸送帶上，而當位在大氣返回迴圈中時，驅動叉則是附在驅動輪上。此外，軌道轉換器是用於將載具引入跑道或從跑道中移出。軌道轉換器位在第一位置時，可使載具能夠無端點地圍繞跑道移動，而軌道轉換器位在第二位置時，則可以將載具引入跑道或從跑道中移出。
如前所述，本發明的系統適於包括盡可能多的所需數量的處理室。在圖1A中顯示一種實例。圖1A中所示的實例與圖1中所示的實例相似，且相似的元件是以相同的元件符號。兩者的主要區別在於圖1A的系統包括六個處理室120A-120F，其餘的所有元件都可能與圖1相同。圖1A是用來說明本發明體系結構的多功能性。
圖1B提供一個具有六個處理室的實施例的外觀視圖，在該視圖中可見處理室120A-120C。與前述相同，該系統是由三個區段組成：大氣區段105，裝載站110和真空區段115，該真空區段115包括真空封閉體163和附於其上的處理室。在圖式中，維修通道窗口166、167和168顯示為打開狀態，以實現真空封閉體內部的可視化。例如，可以分別從維修通道窗口166和168看到旋轉鼓131A和131B。通過維修通道窗口167可以看到跑道單軌127和環形輸送帶130的一部分。
在該示例中，處理室120B顯示成處於打開狀態，從而易於通過處理窗口172進出處理室和真空封閉體內部其他處所。具體而言，在該示例中，處理室120A-120C經由可旋轉的鉸鏈171（從圖1B的視圖中無法看到，但顯示在圖1A中）附接到真空封閉體163。當腔室120B以其鉸鏈為軸旋轉後，會從該腔室的位置暴露真空封閉體163的內部，圖中顯示具有四個基板的載具150。
以上所述的本發明架構提供一種基板處理系統，該系統具有大氣區段105；裝載站區段110與真空區段115，真空區段115具有多數連接到其上的處理室120。載具輸送機構包括：單軌，形成為：第一單軌區段127形狀為跑道形狀，並配置於該真空區段內；第二單軌區段具有兩條平行的直線單軌128A和128B，配置於該裝載站區段內，並且延伸到該大氣區段與該真空區段；以及第三彎曲單軌區段，呈月牙形旋轉軌道129形狀，配置在該大氣區段中，其一端與直線單軌之一的延伸相交，另一端與另一直線單軌的延伸相交；環形輸送帶130，設置在該跑道上並有多數驅動叉132連接其上；驅動輪137，配置在該大氣區段，並有多數驅動叉132連接其上；多數動力輪135，沿該第二單軌區段配置；以及兩個軌道轉換器140，位於該第一單軌的一端，每個軌道轉換器140具有可動工作台141，一個直線單軌區段144位在該工作台上，以及一個彎曲單軌區段142，也位在該工作台上。
多數載具支撐待處理的基板，每個載具具有基座152；多數自由旋轉的轉輪153，該自由旋轉輪153附接至該基座並構造成可接合單軌，以使載具自由在該單軌上運行；驅動桿156，附接至該基座的驅動桿，並構造成可與多數動力輪135接合，以便在位於該第二單軌區段上時可移動載具；以及驅動銷158，附接至該基座並構造成可與該驅動叉132接合，以在位於該第一或第三單軌區段時，可移動該載具。
當軌道轉換器處於該第一位置時，彎曲單軌區段與第一單軌區段對齊，從而使得驅動叉可使載具沿第一單軌區段連續移動。且當軌道轉換器處於該第二位置時，其上的直線單軌區段可將第一單軌區段連接到第二單軌區段，從而使載具在裝載站區段和真空區段之間進行交換。
在本發明的處理系統中用於處理基板的方法可以包括以下步驟：將基板裝載到載具上；通過輸送軌道將載具傳輸到裝載站中；在裝載站內抽真空；在輸送軌道上將載具傳輸到具有多數處理室的處理封閉體中；操作軌道轉換器使其處於第一位置，從而在輸送軌道和處理軌道之間形成連接，接著使軌道轉換器上的載具移動並藉此移動到處理封閉體內部的處理軌道上；操作軌道轉換器使其處於第二位置，從而將處理軌道與輸送軌道分開；在對處理室通電的同時，使載具在處理軌道上連續移動；並且，當完成基板處理時，操作該軌道轉換器使其位在第一位置，將處理軌道上的載具傳送到傳輸軌道。其中，連續移動載具的步驟可以包括例如通過將多數載具連接至環形輸送帶，而使多數載具一致地連續移動。
應當理解的是，本說明書所描述的程序和技術並非必然與任何特定裝置相關，並且可以通過各種元件的任何合適的組合來實現。此外，可以根據本說明書的教導，使用各種類型的通用設備達成本發明。本發明已經根據具體的實施例描述如上，但說明內容無論如何都只是在說明，而不是用來限制本發明。本領域技術人員都可理解，許多不同的組合方式都可適用於實施本發明。
此外，只要閱讀本件專利說明書並實踐說明書所記載的發明，本發明的其他實施方式對於此行業人士即屬顯而易見，而能推知。所述的實施例中的各種面向及/或元件可以單獨使用，也可以任何組合方式使用。因此，本專利說明書及其實施例的說明，目的僅是示例，不得用以限制本發明之範圍。本發明的真實範圍應由以下的申請專利範圍所規範。
EN:入口閘閥 EX:出口閘閥 120A-120F:處理室 100:系統 105:大氣區段 110:裝載站區段 115:真空區段 125:單軌區段 127:跑道單軌 128A、128B:直線軌道 129:旋轉軌道 130:環形輸送帶 131A、131B:旋轉鼓 132:驅動叉 135:動力輪 137:旋轉輪 140:軌道轉換器 141:工作台 142:彎曲單軌區段 144:直線單軌區段 150:基板載具 152:基座 153:滾輪裝置 154:基板支架 154’:支架 156:驅動桿 158:驅動銷 160:裝載站 161:卸載站 163:真空封閉體 166、167、168:維修通道窗口 170:隔板 171:鉸鏈 172:處理窗口
本發明的其他技術特徵和面向可由以下詳細說明，並參考所附圖式更形清楚。應該理解的是，詳細說明和附圖都是在提供由所附申請專利範圍所限定的本發明各種實施例的各種非限制性示例。
所附的圖式納入本專利說明書中，並成為其一部份，是用來例示本發明的實施例，並與本案的說明內容共同用來說明及展示本發明的原理。圖式的目的旨在以圖型方式例示本發明實施例的主要特徵。圖式並不是用來顯示實際上的範例的全部特徵，也不是用來表示其中各個元件之相對尺寸，或其比例。
圖1，圖1A和圖1B顯示本發明使用雙模式移動載具形成薄膜塗層的模組化系統的實施例。
圖2A顯示本發明雙模式移動基板載具的一個實施例，而圖2B顯示用於圓形基板的基板支架。
EN:入口閘閥
EX:出口閘閥
120A-120D:處理室
100:系統
105:大氣區段
110:裝載站區段
115:真空區段
125:單軌區段
127:跑道單軌
128A、128B:直線軌道
129:旋轉軌道
130:環形輸送帶
131A、131B:旋轉鼓
132:驅動叉
135:動力輪
137:旋轉輪
140:軌道轉換器
141:工作台
142:彎曲單軌區段
144:直線單軌區段
160:裝載站
161:卸載站
170:隔板

Claims (23)

  1. 一種基板處理系統，包括： 真空封閉體，具有多數處理窗口和位於該封閉體中的連續軌道； 多數處理室，附接至該真空封閉體的側壁，每個處理室對應到一個處理窗口； 裝載站，裝置在該真空封閉體的一端，其內具有一個裝載軌道； 至少一個閘閥，用以將該裝載站與該真空封閉體分開； 多數基板載具，構造成可在該連續軌道和該裝載軌道上移動； 至少一個軌道轉換器，位於該真空封閉體內，該軌道轉換器可在第一位置和第二位置之間移動，其中，該軌道轉換器位在該第一位置時，可使該基板載具在該連續軌道上連續移動，且該軌道轉換器位在該第二位置時，可使該基板載具在該連續軌道和該裝載軌道之間轉移。
  2. 根據請求項1的系統，另包括： 環形輸送帶，配置在該真空封閉體內； 多數動力輪，位於該裝載站內； 其中，該基板載具在該連續軌道上運行時，基板載具與該環形輸送帶接合，而該基板載具在該裝載軌道上運行時，基板載具與該動力輪接合。
  3. 根據請求項2的系統，其中，該環形輸送帶包括多數驅動叉，且各該基板載具包括： 多數自由旋轉的轉輪，構造成可與該連續軌道和該裝載軌道接合； 驅動桿，構造成可與該動力輪接合；和， 驅動銷，構造成可與該驅動叉接合。
  4. 根據請求項3的系統，其特徵在於，該系統還包括大氣區段，附接到該裝載站與該真空封閉體相對的一側，該大氣區段包括： 返回軌道；和， 驅動輪，其上連接有多數驅動叉。
  5. 根據請求項1的系統，其中，該連續軌道包括跑道形狀的單軌，且該裝載軌道包括直線單軌。
  6. 根據請求項5的系統，其中，該軌道轉換器包括基座，位於該基座上的彎曲單軌區段和位於該基座上的直線單軌區段。
  7. 根據請求項1的系統，其中，每個處理室通過旋轉鉸鏈附接到該真空封閉體。
  8. 根據請求項1的系統，其中，該多數處理室中的至少一個包括具有擋板的濺射源。
  9. 一種基板處理系統，包括： 裝載站區段，具有第一側和與第一側相對的第二側； 大氣區段，耦合到該裝載站區段的第一側； 真空區段，連接到該裝載站區段的第二側，並具有連接到其上的多數處理室； 載具輸送機構，包括： i.                單軌軌道，形成為：第一單軌區段形狀為跑道形狀並位於該真空區段內，第二單軌區段具有兩組平行的直線單軌，位於該裝載站區段內並延伸至該大氣區段和該真空區段，以及第三單軌區段位於該大氣區段內，其形狀為曲線，其一端與該直線單軌之一的延伸相交，另一端與另一直線單軌的延伸相交， ii.                動力元件，位於該跑道中， iii.                多數動力輪，沿該第二單軌區段配置， iv.                兩個軌道轉換器，位於該第一單軌區段的一端，每個軌道轉換器包括一個可移動的工作台，一個位於該工作台上的直線單軌區段，以及一個位於該工作台上的彎曲單軌區段，以及 多數載具，具有多數轉輪，該載具構造成可與該單軌接合，以使載具在該單軌上運行。
  10. 根據請求項9的系統，其中，該多數載具中的每一個包括附接到基座的驅動桿，該驅動桿構造成可與該多數動力輪接合，從而在該第二單軌區段上運行時可移動該載具。
  11. 根據請求項10的系統，其中，該多數載具中的每一個還包括附接到該基座的接合機構，且該接合機構構造成可接合該動力元件，以在該第一單軌區段上移動該載具。
  12. 根據請求項11的系統，其中，當該軌道轉換器位於第一位置時，該彎曲單軌區段與該第一單軌區段對準，從而使該載具沿該第一單軌區段連續移動；且當該軌道轉換器位於第二位置時，該直線單軌區段將第一單軌區段連接到第二單軌區段，從而使載具在裝載站區段和真空區段之間進行交換。
  13. 根據請求項11的系統，其中，該大氣區段包括卸載區段和裝載區段，並且還包括交換裝置，以將載具從該卸載區段轉移到該裝載區段。
  14. 根據請求項13的系統，其中，該交換器包括驅動輪。
  15. 根據請求項9的系統，其中，該動力元件包括環形輸送帶，該環形輸送帶位於該跑道上並且具有附接到其上的多數驅動叉。
  16. 一基板處理系統，包括： 裝載站區段，具有第一側和與該第一側相對的第二側； 大氣區段，連接到該裝載站區段的第一側； 真空區段，連接到該裝載站區段的第二側，並具有多數處理室連接到該真空區段； 載具輸送機構，包括： i.                單軌軌道，形成為：第一單軌區段形狀為跑道形狀並位於該真空區段內，第二單軌區段具有兩組平行的直線單軌，位於該裝載站區段內並延伸至該大氣區段和該真空區段，以及第三單軌區段位於該大氣區段內，其形狀為曲線，其一端與該線性單軌之一的延伸相交，另一端與另一線性單軌的延伸相交， ii.                環形輸送帶，位於該跑道上並配置多數驅動叉， iii.                驅動輪，位於該大氣區段並配置多數驅動叉， iv.                多數動力輪，沿該第二單軌區段配置， v.                兩個軌道轉換器，位於該第一單軌區段的一端，每個軌道轉換器包括一個可移動的工作台，一個位於該工作台上的直線單軌區段，以及一個位於該工作台上的彎曲單軌區段，以及 多數載具，每個載具具有基座，多數轉輪，附接至該基座並構造成可接合該單軌，以使載具自由在單軌上運行，驅動桿，附接至該基座，該驅動桿構造成可接合多數動力輪，以在該載具在第二單軌區段上運行時使載具移動，以及驅動銷，附接至該基座，並構造成可與該驅動叉接合，以在該載具在第一或第三單軌區段中時使載具移動； 其中，當該軌道轉換器位於第一位置時，該彎曲單軌區段與第一單軌區段對準，使該載具被沿該第一單軌區段配置的驅動叉連續移動，且當該軌道轉換器位於第二位置時，該直線單軌區段將第一單軌區段連接到第二單軌區段，使載具在該裝載站區段和該真空區段之間進行交換。
  17. 根據請求項16的系統，其中，每個基板載具還包括可移除地附接到該基座的基板支架。
  18. 根據請求項16的系統，其中該多數處理室的每一個包括一個擋板。
  19. 根據請求項16的系統，其中，該裝載站區段包括具有彼此獨立的真空環境的加載用裝載站和卸載用裝載站。
  20. 根據請求項16的系統，其中，該多數處理室中的至少一個包括具有擋板的濺射源。
  21. 根據請求項16的系統，該多數處理室連接到共同的真空環境，而在處理室之間沒有閥門。
  22. 根據請求項16的系統，其中，該大氣區段包括加載區段和卸載區段。
  23. 根據請求項16的系統，其中，該裝載站區段包括：加載用裝載站和卸載用裝載站，該加載用裝載站和卸載用裝載站保持共同的真空環境，且具有同步操作的閘閥。
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