TW202045422A - 移載裝置及堆高式起重機 - Google Patents

移載裝置及堆高式起重機 Download PDF

Info

Publication number
TW202045422A
TW202045422A TW109105594A TW109105594A TW202045422A TW 202045422 A TW202045422 A TW 202045422A TW 109105594 A TW109105594 A TW 109105594A TW 109105594 A TW109105594 A TW 109105594A TW 202045422 A TW202045422 A TW 202045422A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
transfer device
hand member
cam
grip
storage container
Prior art date
Application number
TW109105594A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI828868B (zh
Inventor
崔昀
石川和広
Original Assignee
日商村田機械股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商村田機械股份有限公司 filed Critical 日商村田機械股份有限公司
Publication of TW202045422A publication Critical patent/TW202045422A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI828868B publication Critical patent/TWI828868B/zh

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0407—Storage devices mechanical using stacker cranes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0407—Storage devices mechanical using stacker cranes
    • B65G1/0435—Storage devices mechanical using stacker cranes with pulling or pushing means on either stacking crane or stacking area
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74—Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90—Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • B65G47/901—Devices for picking-up and depositing articles or materials provided with drive systems with rectilinear movements only
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G57/00—Stacking of articles
    • B65G57/02—Stacking of articles by adding to the top of the stack
    • B65G57/03—Stacking of articles by adding to the top of the stack from above
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67766—Mechanical parts of transfer devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0235—Containers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2207/00—Indexing codes relating to constructional details, configuration and additional features of a handling device, e.g. Conveyors
    • B65G2207/08—Adjustable and/or adaptable to the article size

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

本發明的課題係在於提供即使在以高速搬運搬運物的情況，也能夠使載置部上的搬運物在水平方向上的姿勢穩定的移載裝置及堆高式起重機。 用以解決問題之手段為，移載裝置(100)係使載置有貯藏容器(90)的手構件(110)進退而載置貯藏容器(90)。移載裝置(100)係具備握持部(130)，其係用來將載置於手構件(110)的貯藏容器(90)在作為水平方向之X方向上握持。

Description

移載裝置及堆高式起重機
本發明係關於移載裝置及堆高式起重機。
例如在專利文獻1，記載有堆高式起重機，其係具備使載置搬運物進退的載置部而移載搬運物之移載裝置(機器人)。專利文獻1所記載的堆高式起重機，係為了防止搬運物從載置部掉落，具備從上方按壓載置於載置部的搬運物之按壓支承手段。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利第4826941號公報
[發明所欲解決之課題]
在前述的技術，若以高速搬運搬運物，則有載置部上的搬運物在水平方向上傾倒或振動變得不易維持在基準內的情況。因此，期望即使在例如需要將搬運速度下降至搬運物不會傾倒之速度，以高速搬運搬運物的情況，也能夠使載置部上的搬運物在水平方向上的姿勢穩定。
本發明的目的係在於提供即使在以高速搬運搬運物的情況，也能夠使載置部上的搬運物在水平方向上的姿勢穩定的移載裝置及堆高式起重機。 [解決課題之技術手段]
本發明之移載裝置，係使載置搬運物的載置部進退而移載搬運物之移載裝置，其具備握持部，該握持部是在水平方向上握持被載置於載置部的搬運物。
在此移載裝置，藉由握持部，在水平方向上握持被載置於載置部的搬運物。因此，即使在以高速搬運搬運物的情況，也能夠使載置部上的搬運物在水平方向上的姿勢穩定。又，藉由以預定值以上的摩擦力握持搬運物，不僅在水平方向，即使在垂直方向上，也能使搬運物的姿勢穩定，亦可防止搬運物從載置部掉落。
在本發明之移載裝置，亦可為握持部係在未握持搬運物的打開狀態與握持搬運物的關閉狀態之間可進行開閉，且還具備將載置部的進退與握持部的開閉連動的連動機構。在此結構，不會有握持部的開閉動作的時間成為閒置時間(idle time)的情事，能夠抑制該開閉動作在進行搬運物的移載所需要的時間(所謂的週期時間：cycle time)上造成的影響。
在本發明之移載裝置，亦可為連動機構包含：因應載置部的進退而進行旋轉之凸輪；接觸於凸輪，沿著水平方向從動之從動件；及將從動件連結於握持部的連結部。在此結構，能夠有效率地達到藉由連動機構之連動。
在本發明之移載裝置，亦可為凸輪係具有：在載置部前進一定距離以上的情況，握持部成為一定的打開寬度之凸輪形狀。在此結構，由於當載置部前進時，握持部不會較一定的打開寬度過度地打開，故，在移載目的地(例如貯藏庫的收納棚架等)亦可因應在搬運物的周圍餘隙少之情況。
在本發明之移載裝置，亦可為搬運物係包含在作為握持部的把持方向之水平方向上具有較最大寬度窄的寬度之寬度窄部，握持部係握持搬運物的寬度窄部。在此結構，能夠縮小握持搬運物的狀態之握持部的該握持方向的寬度。因此，在移載目的地亦可因應在搬運物的周圍餘隙少之情況。
本發明之移載裝置，亦可還具備複數個定位銷，其係立設於載置部上，用來支承搬運物。在具備這樣的複數個定位銷之情況，若例如從上方按壓已被載置於載置部的搬運物的話，則有產生搬運物浮起(搬運物以複數個定位銷中的任一個為支點而傾倒)的可能性。關於這一點，由於握持部是在水平方向上握持載置部上的搬運物，故，即使在具備複數個定位銷的情況，也能夠迴避產生搬運物浮起。
本發明之堆高式起重機，係具備：前述移載裝置；使移載裝置迴旋的迴旋部；及使移載裝置升降之升降部。
在此堆高式起重機，由於具備前述移載裝置，故，能夠達到前述效果，亦即，即使在以高速搬運搬運物(特別是迴旋)的情況，也能夠使載置部上的搬運物在水平方向上的姿勢穩定之效果。 [發明效果]
若依據本發明，即使在以高速搬運搬運物的情況，也能夠使載置部上的搬運物在水平方向上的姿勢穩定。
以下，參照圖面，詳細地說明關於本發明的理想一實施形態。再者，在圖式說明中，對相同要件賦予相同的符號，並省略重複之說明。
說明具備一實施形態之堆高式起重機的貯藏庫。如圖1所示，貯藏庫1係具有作為用來保管貯藏有半導體晶圓及玻璃基板等的被貯藏物的FOUP(Front Opening Unified Pod)等之貯藏容器(搬運物)90之作為保管庫的功能。貯藏庫1係例如設在清淨室。貯藏庫1主要具備：本體部3、支架4、堆高式起重機7、及控制器80。
本體部3係為區劃貯藏庫1的內部空間A之部分，藉由複數個隔板所形成。支架4係為載置貯藏容器90之部分，一般設置1~2列(在此為2列)。各支架4係延伸於X方向(寬度方向)，並以相鄰的2個支架4、4對向的方式配置成略平行。
各支架4係具有載置貯藏容器90並進行保管之收納棚架50。收納棚架50係沿著X方向及Z方向(垂直方向)排列。再者，在以下的說明，當自堆高式起重機7觀看時，將配置有收納棚架50之側作為前側、將其相反側作為後側、朝前側的移動作為前進、朝後側的移動作為退出進行說明。
堆高式起重機7係將貯藏容器90對收納棚架50進行取出或置入，並且在收納棚架50間移動之機構。堆高式起重機7係配置在介於對向的支架4、4間的區域。堆高式起重機7係藉由沿著支架4的延伸方向(X方向)在配置於地面的軌道(未圖示)行進，能夠沿著支架4朝X方向移動。
堆高式起重機7具備：行走部71、升降部74、迴旋部75及移載裝置100。行走部71係設置成藉由馬達等的行走驅動部，可在軌道朝X方向行走。升降部74係使移載裝置100升降。升降部74係包含支承柱72和載物台73。支承柱72係為設在行走部71的上部，朝垂直方向延伸的構件。在載物台73，經由迴旋部75搭載有移載裝置100。載物台73係設置成藉由馬達等的升降驅動部，可沿著支承柱72升降。
迴旋部75係使移載裝置100迴旋。在迴旋部75搭載有移載裝置100。迴旋部75係使該移載裝置100朝沿著Z方向之繞軸旋轉方向旋轉。再者，關於行走部71、升降部74及迴旋部75之結構、機構以及配置，未特別限定。作為行走部71、升降部74及迴旋部75，能夠採用習知的各種機構及裝置。
控制器80(參照圖1)係控制堆高式起重機7之各部。控制器80係配置於例如本體部3的內部。控制器80係具有CPU(Central Processing Unit)、RAM(Random Access Memory)及ROM(Read Only Memory)等。在控制器80，藉由CPU、RAM及ROM等的硬體與程式等的軟體互相合作，執行各種控制。
其次，詳細地說明關於移載裝置100。
如圖2及圖3所示，移載裝置100具備：手構件(載置部)110、臂部120、握持部130、及連動機構140。移載裝置100係使手構件110進退(前進及退出)而移載貯藏容器90。
貯藏容器90係具有容器本體91及當藉由使用者搬運時使用之手柄92。手柄92係在容器本體91，分別設於在X方向上對向的側面91a。手柄92係構成朝X方向突出之凸部。在這樣的貯藏容器90，包含一方及另一方的手柄92之寬度為X方向的最大寬度L2，容器本體91所具有的X方向之寬度L1係較該最大寬度窄。亦即，容器本體91對應於寬度窄部。寬度L1係相當於從一方的側面91a到另一方的側面91a之距離。
手構件110係載置有貯藏容器90的構件。手構件110為對Y方向呈長條狀且以Z方向作為厚度方向之板狀構件。手構件110具有複數個定位銷P。定位銷P係立設於手構件110上，用來支承貯藏容器90。在圖示的例子，定位銷P係在手構件110的上表面，設為3個。3個定位銷P係設成不排列於一直線上。
如圖3及圖4所示，臂部120為使手構件110進退之臂式驅動裝置。臂部120具有：臂基座121、第1臂122、第2臂123、迴旋馬達124及伸縮馬達125。第1臂122的一端部係對臂基座121，可繞著沿著Z方向之軸自由迴旋地(自由擺動地)被連結。第2臂123的一端部係對第1臂122的另一端部，可繞著沿著Z方向之軸自由迴旋地被連結。手構件110的後端部係對第2臂123的另一端部，可繞著沿著Z方向之軸自由迴旋地被連結。
在臂部120，滑輪P1固定於軸S1，軸S1緊固於第1臂122。利用藉由迴旋馬達124，經由皮帶B1對滑輪P1施加驅動力，能夠進行第1臂122的迴旋動作。又，在臂部120，滑輪P2固定於軸S2，在軸S2固定有滑輪P3。滑輪P3經由皮帶B2連結於滑輪P4，將滑輪P4固定於軸S4而軸S4緊固於第2臂123。滑輪P5固定於軸S5，軸S5緊固於第1臂122。滑輪P5經由皮帶B3連結於滑輪P6，將滑輪P6固定於軸S6而軸S6緊固於手構件110。利用藉由伸縮馬達125，經由滑輪P0及皮帶B4對滑輪P2施加驅動力，能夠進行第2臂123及手構件110的迴旋動作。
在這樣的柄部120，藉由使迴旋馬達124及伸縮馬達125互相合作，能夠使手構件110朝Y方向呈直線地進行動作，亦即，使手構件110進退。再者，迴旋馬達124及伸縮馬達125亦可進一步包含減速機及滑輪。作為迴旋馬達124及伸縮馬達125，未特別限定，可採用各種習知的伸縮馬達及迴旋馬達。
返回圖2進行說明，握持部130係在X方向(水平方向)上握持載置於手構件110的貯藏容器90。具體而言，握持部130係握持載置於手構件110的貯藏容器90之容器本體91。握持部130構成為可在未握持貯藏容器90的打開狀態與握持貯藏容器90的關閉狀態之間進行開閉。
握持部130係設在手構件110。握持部130具有一對夾具131及一彈簧(彈性構件)132。一對夾具131為夾持貯藏容器90之構件。夾具131係當從上方觀看時，呈前端部折彎之L字形的板狀。在夾具131的前端部，設有抵接於貯藏容器90的容器本體91之側面91a的抵接部131a。夾具131係對手構件110上的支持框架112，可朝X方向移動地支承。一對夾具131係以各自的抵接部131a對向的方位進行配置。
一對彈簧132分別對一對夾具131，朝夾持貯藏容器90的方向施加一定的彈力。彈簧132的一端連結於支持框架112。彈簧132的另一端連結於夾具131的基端側。彈簧132係在例如已被壓縮的狀態下配置，將夾具131朝X方向彈推。
如圖2及圖5所示，連動機構140係使手構件110的進退與握持部130的開閉進行連動之機構。連動機構140包含：凸輪141、從動件142、連結部143、大齒輪144及小齒輪145。
凸輪141係在手構件110上，可繞著沿著Z方向的中心軸旋轉地被支承。凸輪141係可因應手構件110的進退而進行旋轉。在此的凸輪141係藉由大齒輪144及小齒輪145，伴隨手構件110與第2臂123之間的角度α(以下僅稱為「角度α」；參照圖6)的變化，進行旋轉(詳細內容如後述)。角度α係當從Z方向觀看時，手構件110的長度方向(中心線)與第2臂123的長度方向(中心線)所成之角度。換言之，角度α係為沿著手構件110對第2臂123之Z方向的軸周圍之相對的角度。
從動件142係接觸於凸輪141而沿著X方向從動。從動件142係為可繞著沿著Z方向的中心軸旋轉的滾子。從動件142係在X方向上夾著凸輪141的方式配置成一對。從動件142係接觸於凸輪141之作為側面的凸輪面141a，伴隨凸輪141的旋轉而朝X方向從動。連結部143係 將一對從動件142分別連結於一對夾具131。在圖示的例子，連結部143係將從動件142連結於夾具131的基端部。若依據這樣的結構，夾具131與從動件142的X方向之從動同步而朝X方向移動，握持部130進行開閉。
大齒輪144固定於第2臂123。大齒輪144係以與將手構件110對第2臂123可自由迴旋地連結的軸同軸的方式，經由托架148支承於第2臂123。小齒輪145係嚙合於大齒輪144而旋轉。小齒輪145係在手構件110，以與凸輪141的中心軸同軸的方式連結於該凸輪141。小齒輪145係可與凸輪141一體地繞著中心軸旋轉地被支承。若依據這樣的結構，若隨著手構件110進退，使角度α變化，則嚙合於大齒輪144的小齒輪145旋轉，伴隨此，凸輪141旋轉。
如圖5所示，凸輪141係具有：在手構件110前進一定距離以上的情況，握持部130成為一定的打開期間之打開寬度(一定的打開寬度)之凸輪形狀。具體而言，凸輪141的凸輪面141a係具有：當從Z方向觀看時，直徑為第1徑的第1圓形區域；當從Z方向觀看時，直徑為較第1徑大的第2徑之第2圓形區域；及當從Z方向觀看時，以將第1圓形區域與第2圓形區域連結的方式，平滑地連續於該等圓形區域之連續區域。
第1圓形區域係為例如在手構件110朝較第2原點更後側退出之情況，與從動件142接觸的區域，且將握持部130作成為關閉狀態，將握持部130作成一定的關閉期間之打開寬度的區域。第2圓形區域係為例如在手構件110前進一定距離以上(在此，前進至第2原點的前側且較移載點的後側之位置更前方)之情況，與從動件142接觸的區域，且將握持部130作成為打開狀態，將握持部130作成一定的打開期間之打開寬度的區域。連續區域係為將握持部130開閉，使握持部130的打開寬度在關閉期間之打開寬度與打開期間之打開寬度之間改變的區域。
第2原點係為當貯藏容器90未被載置於手構件110時之手構件110的基準位置。移載點係為從手構件110朝收納棚架50放下貯藏容器90，或從收納棚架50朝手構件110堆積貯藏容器90時之手構件110的基準位置。後述的第1原點係為當貯藏容器90被載置於手構件110時之手構件110的基準位置。
其次，說明關於握持部130的開閉動作。在下述的說明中，例示當將手構件110上的貯藏容器90朝收納棚架50移載時，使手構件110從第1原點的位置通過第2原點的位置而前進到移載點的位置之情況。
如圖6(a)所示，在手構件110位於第1原點的位置之情況，從動件142與凸輪面141a的第1圓形區域接觸，從動件142位於最靠近凸輪141側的位置(下死點)。一對夾具131係處於在X方向上互相最接近的位置關係，握持部130為關閉狀態，握持部130的打開寬度為關閉期間之打開寬度H0。貯藏容器90係藉由一對夾具131夾持於X方向上。
如圖6(b)所示，若手構件110前進預定距離，則角度α變大，伴隨此，凸輪141旋轉。雖凸輪141進行旋轉，但從動件142持續接觸於凸輪面141a的第1圓形區域，從動件142不移動而持續位於下死點。握持部130維持關閉狀態，接著，握持部130的打開寬度為關閉期間之打開寬度H0。貯藏容器90持續藉由一對夾具131夾持於X方向上。
如圖7(a)所示，若手構件110進一步前進到第2原點的位置，則角度α變得更大，伴隨此，凸輪141進一步旋轉。從動件142形成為接觸於凸輪面141a的連續區域，從動件142朝從凸輪141分離之側移動。一對夾具131移動朝X方向互相分離，握持部130從關閉狀態朝打開狀態遷移。握持部130的打開寬度成為較關閉期間之打開寬度H0更大的第1遷移期間之打開寬度H1。
如圖7(b)所示，若手構件110進一步前進預定距離，則角度α變得更大，伴隨此，凸輪141進一步旋轉。從動件142持續接觸於凸輪面141a的連續區域，從動件142持續朝從凸輪141分離之側移動。一對夾具131持續移動成朝X方向互相分離。握持部130的打開寬度成為較第1遷移期間之打開寬度H1更大的第2遷移期間之打開寬度H2。
如圖8(a)所示，若手構件110進一步前進預定距離，則角度α變得更大，伴隨此，凸輪141更進一步旋轉。從動件142形成為接觸於凸輪面141a的第2圓形區域，從動件142位於從凸輪141分離最遠之側的位置(上死點)。一對夾具131係處於在X方向上互相分離最遠的位置關係，握持部130成為打開狀態，握持部130的打開寬度成為打開期間之打開寬度H3。貯藏容器90未被一對夾具131夾持於X方向上，在貯藏容器90與夾具131的抵接部131a之間形成有間隙。
如圖8(b)及圖9所示，若手構件110進一步前進到移載點的位置，則角度α變得更大，伴隨此，凸輪141更進一步旋轉。雖凸輪141進一步旋轉，但從動件142持續接觸於凸輪面141a的第2圓形區域，從動件142不移動而持續位於上死點。一對夾具131係在X方向上不會再進一步分離，握持部130維持打開狀態，握持部130的打開寬度成為打開期間之打開寬度H3。以上，說明了使手構件110前進之前進動作，但，使手構件110從移載點的位置退出至第1原點的位置之情況的退出動作，是以與該前進動作相反的方式進行。
以上所述，在移載裝置100，係藉由握持部130，將載置於手構件110的貯藏容器90在X方向上握持。因此，即使在以高速搬運貯藏容器90的情況，也能夠使手構件110上的貯藏容器90在X方向上的姿勢穩定。又，能夠防止在手構件110上的貯藏容器90傾倒。且，能夠將在手構件110上的貯藏容器90的振動維持在基準內。又，藉由以預定值以上的摩擦力握持貯藏容器90，不僅在X方向，即使在Z方向上，也能使貯藏容器90的姿勢穩定，亦可防止貯藏容器90從手構件110掉落。
再者，被要求進行貯藏容器90的移載所需要的時間(所謂的週期時間)之短縮，在此情況，由於移載裝置100進而到手構件110的速度及加減速度會伴隨週期時間的短縮而增加，故，手構件110上的貯藏容器90容易變得不穩定。因此，在此情況，可使手構件110上的貯藏容器90之姿勢穩定的移載裝置100尤其有效。
在移載裝置100，握持部130構成為可在打開狀態與關閉狀態之間進行開閉。移載裝置100係具備連動機構140，其係使手構件110的進退與握持部130的開閉進行連動。在此結構，不會有握持部130的開閉動作的時間成為閒置時間的情事，能夠抑制該開閉動作對週期時間上造成的影響。比起藉由另外的馬達驅動握持部130的情況，不會產生多餘的動作時間，能夠抑制週期時間變長。
在移載裝置100，連動機構140包含：因應手構件110的進退而進行旋轉之凸輪141；接觸於凸輪141，沿著X方向從動之從動件142；及將從動件142連結於握持部130的連結部143。在此結構，能夠有效率地達到藉由連動機構140之手構件110的進退與握持部130的開閉之連動。
在移載裝置100，凸輪141係具有：在手構件110前進一定距離以上的情況，握持部130成為一定的打開期間之打開寬度H3之凸輪形狀。在此結構，由於當手構件110前進時，握持部130不會較打開期間之打開寬度H3過度地打開，故，在收納棚架50，亦可因應在貯藏容器90的周圍餘隙少之情況。
在移載裝置100，貯藏容器90包含容器本體91，其係在X方向上具有較最大寬度L2窄之寬度L1。握持部130握持貯藏容器90的容器本體91。在此結構，在以握持部130握持貯藏容器90的狀態，能夠縮小握持部130之作為握持方向的X方向的寬度。因此，在收納棚架50，亦可因應在貯藏容器90的周圍餘隙少之情況。
移載裝置100還具備立設於手構件110上之定位銷P。在具備複數個定位銷P的情況，例如從上方按壓已被載置於手構件110的貯藏容器90，則可能產生貯藏容器90的浮起(貯藏容器90以複數個定位銷P中的其中一個作為支點而傾倒)。關於這一點，由於握持部130是在X方向上握持手構件110上的貯藏容器90，故，即使在具備複數個定位銷P的情況，也能夠迴避產生貯藏容器90浮起。又，藉由定位銷P，能夠將貯藏容器90定位。
堆高式起重機7具備：移載裝置100、升降部74及迴旋部75。在此堆高式起重機7，由於具備移載裝置100，故，能夠達到前述效果，亦即，即使在以高速搬運貯藏容器90(特別是迴旋)的情況，也能夠使手構件110上的貯藏容器90在X方向上的姿勢穩定之效果。又，即使在藉由迴旋部75之迴旋時、藉由升降部74之升降時，也能使貯藏容器90的姿勢穩定。
在移載裝置100，設有彈簧132，在夾持貯藏容器90的方向上，一定的彈力作用於夾具131。藉此，能以彈簧132管理貯藏容器90的保持力，始終藉由一定以上的力保持貯藏容器90。
以上，說明了關於一實施形態，但本發明係不限於前述實施形態者，在不超出本發明的技術思想範圍可進行各種變更。
在前述實施形態，亦可將移載裝置100適用於與上述堆高式起重機7不同結構的堆高式起重機。移載裝置100亦可適用於可僅朝水平方向或上下方向中的其中一方向移動之搬送裝置；或者，可沿著非鋪設於地面上而是鋪設於天花板上的軌道朝水平方向移動之搬送裝置等。
在前述實施形態，作為搬運物的例子，以FOUP這樣的貯藏容器90為例進行了說明，但，亦可為用來貯藏光柵之光柵收納盒。又，亦可為紙箱、回收箱等的搬運物。
7:堆高式起重機 75:迴旋部 74:升降部 90:貯藏容器(搬運物) 91:容器本體(寬度窄部) 100:移載裝置 110:手構件(載置部) 130:握持部 140:連動機構 141:凸輪 142:從動件 143:連結部 P:定位銷
[圖1]係顯示具備一實施形態之堆高式起重機的貯藏庫之斷面圖。 [圖2]係顯示在圖1的移載裝置中，握持部為關閉狀態的情況之斜視圖。 [圖3]係顯示圖1的移載裝置的手構件及臂部之平面圖。 [圖4]係顯示圖1的移載裝置的手構件及臂部之正面圖。 [圖5]係放大顯示圖1的移載裝置的連動機構之平面圖。 [圖6(a)]係顯示在圖1的移載裝置中，手構件位於原點的情況之手構件及握持部的平面圖。[圖6(b)]係顯示在圖1的移載裝置中，手構件從圖6(a)的位置前進預定距離的情況之手構件及握持部的平面圖。 [圖7(a)]係顯示在圖1的移載裝置中，手構件位於第2原點的情況之手構件及握持部的平面圖。[圖7(b)]係顯示在圖1的移載裝置中，手構件從圖7(a)的位置前進預定距離的情況之手構件及握持部的平面圖。 [圖8(a)]係顯示在圖1的移載裝置中，手構件從圖8(b)的位置前進預定距離的情況之手構件及握持部的平面圖。[圖8(b)]係顯示在圖1的移載裝置中，手構件位於移載點的情況之手構件及握持部的平面圖。 [圖9]係顯示在圖1的移載裝置中，握持部為打開狀態的情況之斜視圖。
L1:小寬度
L2:大寬度
P:定位銷
90:貯藏容器(搬運物)
91:容器本體(寬度窄部)
91a:側面
92:手柄
100:移載裝置
110:手構件(載置部)
112:支持框架
120:臂部
121:臂基座
122:第1臂
123:第2臂
130:握持部
131:夾具
131a:抵接部
132:彈簧(彈性構件)
140:連動機構
141:凸輪
142:從動件
143:連結部
144:大齒輪
145:小齒輪
148:托架

Claims (7)

  1. 一種移載裝置，係使載置搬運物的載置部進退而移載搬運物之移載裝置，其特徵為具備： 握持部，其係在水平方向上握持被載置於前述載置部的前述搬運物。
  2. 如請求項1所記載之移載裝置，其中，前述握持部構成為可在未握持前述搬運物的打開狀態與握持前述搬運物的關閉狀態之間進行開閉， 還具備：使前述載置部的進退與前述握持部的開閉連動之連動機構。
  3. 如請求項2所記載之移載裝置，其中，前述連動機構包含：因應前述載置部的進退而進行旋轉之凸輪；接觸於前述凸輪，沿著水平方向從動之從動件；及將前述從動件連結於前述握持部的連結部。
  4. 如請求項3所記載之移載裝置，其中，前述凸輪具有：在前述載置部前進一定距離以上的情況，前述握持部成為一定的打開寬度之凸輪形狀。
  5. 如請求項1所記載之移載裝置，其中，前述搬運物係包含在作為握持部的把持方向之水平方向上具有較最大寬度窄的寬度之寬度窄部， 前述握持部係握持前述搬運物的前述寬度窄部。
  6. 如請求項1所記載之移載裝置，其中，還具備複數個定位銷，其係立設於前述載置部上，用來支承前述搬運物。
  7. 一種堆高式起重機，係具備：如請求項1至6中任一項所記載之移載裝置； 迴旋部，其係使前述移載裝置迴旋；及 升降部，其係使前述移載裝置升降。
TW109105594A 2019-02-22 2020-02-21 移載裝置及堆高式起重機 TWI828868B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019-030681 2019-02-22
JP2019030681A JP7003945B2 (ja) 2019-02-22 2019-02-22 移載装置及びスタッカクレーン

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW202045422A true TW202045422A (zh) 2020-12-16
TWI828868B TWI828868B (zh) 2024-01-11

Family

ID=72142735

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW109105594A TWI828868B (zh) 2019-02-22 2020-02-21 移載裝置及堆高式起重機

Country Status (4)

Country Link
US (1) US11027918B2 (zh)
JP (1) JP7003945B2 (zh)
CN (1) CN111605936A (zh)
TW (1) TWI828868B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102583574B1 (ko) * 2020-10-30 2023-10-05 세메스 주식회사 캐리지 로봇 및 이를 포함하는 타워 리프트

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5546467Y2 (zh) * 1976-04-26 1980-10-30
JPH06156628A (ja) * 1992-11-17 1994-06-03 Toyota Autom Loom Works Ltd スタッカクレーン
JP3729010B2 (ja) * 2000-02-10 2005-12-21 株式会社ダイフク 荷出し入れ装置
JP2003128209A (ja) * 2001-10-30 2003-05-08 Murata Mach Ltd 搬送装置
WO2004001582A1 (en) * 2002-06-19 2003-12-31 Brooks Automation, Inc. Automated material handling system for semiconductor manufacturing based on a combination of vertical carousels and overhead hoists
JP2004315191A (ja) * 2003-04-18 2004-11-11 Daifuku Co Ltd 物品保管設備の落下防止装置
JP2006150538A (ja) * 2004-11-30 2006-06-15 Rorze Corp 把持型搬送装置並びにこれを用いるロボット、円盤状物加工設備及び円盤状物搬送方法。
EP1902465A2 (en) * 2005-07-08 2008-03-26 Asyst Technologies, Inc. Workpiece support structures and apparatus for accessing same
JP4826941B2 (ja) * 2005-08-22 2011-11-30 ムラテックオートメーション株式会社 スタッカクレーン
US8376428B2 (en) * 2006-11-15 2013-02-19 Dynamic Micro System Semiconductor Equipment GmbH Integrated gripper for workpiece transfer
JP5823742B2 (ja) * 2010-07-02 2015-11-25 芝浦メカトロニクス株式会社 把持装置、搬送装置、処理装置、および電子デバイスの製造方法
US9184078B2 (en) * 2011-05-07 2015-11-10 Brooks Automation, Inc. Narrow width loadport mechanism for cleanroom material transfer systems
KR20130022025A (ko) * 2011-08-24 2013-03-06 삼성전자주식회사 기판수납용기 로더
TWM435718U (en) * 2012-04-02 2012-08-11 Gudeng Prec Ind Co Ltd The wafer cassette conveyance apparatus
CN104669240A (zh) * 2013-11-30 2015-06-03 深圳富泰宏精密工业有限公司 装夹机构
JP6435795B2 (ja) * 2014-11-12 2018-12-12 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP6486757B2 (ja) * 2015-04-23 2019-03-20 株式会社荏原製作所 基板処理装置
CN204819485U (zh) * 2015-08-17 2015-12-02 苏州速腾电子科技有限公司 一种便携式分拣夹具
JP6693356B2 (ja) * 2016-09-09 2020-05-13 株式会社ダイフク 物品搬送装置
US10784142B2 (en) * 2018-01-09 2020-09-22 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Lift pin system for wafer handling
CN207952718U (zh) * 2018-02-06 2018-10-12 嵊州市福成机电有限公司 一种用于水泵泵口钻孔的专用夹具

Also Published As

Publication number Publication date
US11027918B2 (en) 2021-06-08
JP2020132397A (ja) 2020-08-31
TWI828868B (zh) 2024-01-11
US20200270058A1 (en) 2020-08-27
JP7003945B2 (ja) 2022-02-10
CN111605936A (zh) 2020-09-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9073691B2 (en) Article transport facility
TWI408089B (zh) 移載裝置
CN110234582B (zh) 空中搬送车
KR20110005867A (ko) 천정반송차
TW201425189A (zh) 可同時移送並加工基板的系統，架構與方法
TW200900345A (en) Overhead traveling vehicle
KR20170077813A (ko) 수평 다관절 로봇 및 제조 시스템
JP2010021292A (ja) 基板昇降移送装置及び基板処理移送システム
TW202045422A (zh) 移載裝置及堆高式起重機
TW202112631A (zh) 物品搬送裝置
TWI836195B (zh) 夾持裝置、搬運車及搬運方法
KR20170077812A (ko) 제조 시스템
WO2021100337A1 (ja) スタッカクレーン
JP2020021794A (ja) 搬送システム
JPH05178413A (ja) ストッカ
JP2003128209A (ja) 搬送装置
EP2090531A1 (en) Chain-type conveyor having direction-changing roller
JP7342841B2 (ja) 搬送車
JP7268667B2 (ja) 搬送車
WO2024214513A1 (ja) 搬送車
TW202120278A (zh) 產業用機器人
KR20110056933A (ko) 천정 주행차 시스템
JP2017186115A (ja) 装置前自動倉庫
KR20160126151A (ko) 멀티 암 반송 로봇
JP2001232536A (ja) 移載装置