TW202032103A - 扭力檢測感測器以及動力傳達裝置 - Google Patents

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Abstract

扭力檢測感測器包括第一電阻線路圖案及第二電阻線路圖案。第一電阻線路圖案是於圓周方向排列有多個相對於圓形體的半徑方向而向圓周方向一側傾斜的電阻線路的圓弧狀或圓環狀圖案。第二電阻線路圖案是於圓周方向排列有多個相對於圓形體的半徑方向而向圓周方向另一側傾斜的電阻線路的圓弧狀或圓環狀圖案。第一電阻線路、及第二電阻線路配置於相互不重疊的位置。因此,能夠以單層來構成該些電阻線路圖案。由此,能夠實現圓形體用的廉價且薄型的扭力檢測感測器。

Description

扭力檢測感測器以及動力傳達裝置
本發明是有關於一種扭力檢測感測器以及動力傳達裝置。
近年來,搭載於機器人關節等的減速器的需求急速上升。關於現有的減速器,例如記載於日本專利特開2000-131160號公報及日本專利特開2005-69401號公報。該些公報中,對以減速後的轉數來旋轉的齒輪貼附有應變計。藉此,能夠檢測對齒輪施加的扭力。 [專利文獻1]日本專利特開2000-131160號公報 [專利文獻2]日本專利特開2005-69401號公報
[發明所欲解決之課題]
然而,所述公報的結構中,於齒輪的圓周方向的數個部位,離散性地貼附有應變計。各應變計所檢測的扭力為齒輪的局部的一部分的扭力。此種結構中,難以高精度地檢測對齒輪的全周施加的扭力。
另外,現有的結構中,需要與多個應變計分開設置對源自應變計的輸出訊號進行處理的電路基板。另外,為了將應變計與電路基板連接,需要對應變計焊接導線。藉此,與扭力的檢測相關的部分的製造成本升高,並且難以將與扭力的檢測相關的部分作為整體而薄型化。
本發明的目的為提供一種齒輪等圓形體用的廉價且薄型的扭力檢測感測器。 [解決課題之手段]
本申請案的第一發明為一種檢測對圓形體施加的扭力的扭力檢測感測器,其包括第一電阻線路圖案及第二電阻線路圖案,所述第一電阻線路圖案是於圓周方向排列有多個相對於所述圓形體的半徑方向而向圓周方向一側傾斜的電阻線路的圓弧狀或圓環狀圖案,所述第二電阻線路圖案是於圓周方向排列有多個相對於所述圓形體的半徑方向而向圓周方向另一側傾斜的電阻線路的圓弧狀或圓環狀圖案,所述第一電阻線路與所述第二電阻線路配置於相互不重疊的位置。
本申請案的第二發明為一種檢測對圓形體施加的扭力的扭力檢測感測器,其包括:對所述圓形體的圓周方向的應變進行檢測的圓周方向應變檢測用電阻線路圖案、以及對所述圓形體的軸方向的應變進行檢測的推力應變檢測用電阻線路圖案,所述圓周方向應變檢測用電阻線路圖案是於圓周方向排列有多個相對於所述圓形體的半徑方向而向圓周方向傾斜的電阻線路的圖案,所述推力應變檢測用電阻線路圖案是於圓周方向排列有多個於所述圓形體的半徑方向延伸的電阻線路的圖案,所述圓周方向應變檢測用電阻線路圖案與推力應變檢測用電阻線路圖案配置於相互不重疊的位置。 [發明之效果]
根據本申請案的第一發明,能夠藉由源自包含第一電阻線路圖案及第二電阻線路圖案的橋接電路的輸出訊號,來檢測對圓形體施加的扭力。由於第一電阻線路圖案與第二電阻線路圖案相互不重疊,故而能夠以單層來構成該些電阻線路圖案。因此,能夠實現圓形體用的廉價且薄型的扭力檢測感測器。
根據本申請案的第二發明,能夠藉由源自包含圓周方向應變檢測用電阻線路圖案的橋接電路的輸出訊號,來檢測對圓形體施加的扭力。另外,根據基於推力應變檢測用電阻線路圖案的電阻值,對源自包含圓周方向應變檢測用電阻線路圖案的橋接電路的輸出訊號進行修正,能夠消除由圓形體的軸方向的變形所引起的成分。其結果為,能夠更高精度地檢測對圓形體施加的扭力。另外,由於圓周方向應變檢測用電阻線路圖案與推力應變檢測用電阻線路圖案相互不重疊,故而能夠以單層來構成該些電阻線路圖案。因此,能夠實現圓形體用的廉價且薄型的扭力檢測感測器。
以下,參照圖式,對本申請案的例示性實施方式進行說明。此外,本申請案中,將與動力傳達裝置的中心軸平行的方向稱為「軸方向」,將與動力傳達裝置的中心軸正交的方向稱為「半徑方向」,將沿著以動力傳達裝置的中心軸為中心的圓弧的方向稱為「圓周方向」。但,所述「平行的方向」亦包含大致平行的方向。另外,所述「正交的方向」亦包含大致正交的方向。
<1.第一實施方式> <1-1.動力傳達裝置的構成> 圖1是第一實施方式的動力傳達裝置1的縱剖面圖。圖2是自圖1的A-A位置來看的動力傳達裝置1的橫剖面圖。此動力傳達裝置1是將自馬達獲得的第一轉數的旋轉運動一面減速至低於第一轉數的第二轉數,一面向後段傳達的裝置。動力傳達裝置1例如與馬達一起併入機器人的關節而使用。但,本發明的動力傳達裝置亦可用於輔助服(assist suit)、無人搬運車等其他裝置。
如圖1及圖2所示,本實施方式的動力傳達裝置1包括:內齒輪(internal gear)10、柔性齒輪(flexible gear)20、波動發生器30、以及扭力檢測感測器40。
內齒輪10是於內周面包括多個內齒11的圓環狀齒輪。內齒輪10例如利用螺母來固定於動力傳達裝置1所搭載的裝置的框體。內齒輪10與中心軸9配置於同軸。另外,內齒輪10位於柔性齒輪20的後述筒狀部21的半徑方向外側。內齒輪10的剛性遠遠高於柔性齒輪20的筒狀部21的剛性。因此,內齒輪10實質上能夠視為剛體。內齒輪10具有圓筒狀的內周面。多個內齒11於此內周面,以規定的間距排列於圓周方向。各內齒11朝向半徑方向內側突出。
柔性齒輪20為具有可撓性的圓環狀齒輪。柔性齒輪20是以中心軸9為中心,以能旋轉的方式來支撐。柔性齒輪20為本發明中的「圓形體」的一例。
本實施方式的柔性齒輪20包括筒狀部21及平板部22。筒狀部21於中心軸9的周圍,於軸方向以筒狀延伸。筒狀部21的軸方向的前端位於波動發生器30的半徑方向外側、且內齒輪10的半徑方向內側。筒狀部21由於具有可撓性,故而可於半徑方向變形。尤其是位於內齒輪10的半徑方向內側的筒狀部21的前端部由於為自由端,故而可較其他部分更大幅度地於半徑方向位移。
柔性齒輪20具有多個外齒23。多個外齒23於筒狀部21的軸方向的前端部附近的外周面,以規定的間距排列於圓周方向。各外齒23朝向半徑方向外側突出。所述內齒輪10所具有的內齒11的數量、與柔性齒輪20所具有的外齒23的數量略有不同。
平板部22包括隔膜部221及厚壁部222。隔膜部221自筒狀部21的軸方向的基端部,朝向半徑方向外側而擴展為平板狀,且,以中心軸9為中心而擴展為圓環狀。隔膜部221可於軸方向稍微撓曲變形。厚壁部222是位於隔膜部221的半徑方向外側的圓環狀部分。厚壁部222的軸方向的厚度厚於隔膜部221的軸方向的厚度。厚壁部222例如利用螺母來固定於動力傳達裝置1所搭載的裝置的成為驅動對象的組件。
波動發生器30是使柔性齒輪20的筒狀部21產生週期性撓曲變形的機構。波動發生器30包括凸輪31及可撓性軸承32。凸輪31是以中心軸9為中心而且以能旋轉的方式支撐。凸輪31於軸方向來看時具有橢圓形的外周面。可撓性軸承32介隔存在於凸輪31的外周面與柔性齒輪20的筒狀部21的內周面之間。因此,凸輪31與筒狀部21能夠以不同的轉數來旋轉。
可撓性軸承32的內輪與凸輪31的外周面接觸。可撓性軸承32的外輪與柔性齒輪20的內周面接觸。因此,柔性齒輪20的筒狀部21變形為沿著凸輪31的外周面的橢圓形狀。其結果為,於與此橢圓的與長軸的兩端相當的兩個部位,柔性齒輪20的外齒23、與內齒輪10的內齒11咬合。於圓周方向的其他位置,外齒23與內齒11不咬合。
凸輪31直接或者經由其他動力傳達機構而與馬達連接。若使馬達驅動,則凸輪31以中心軸9為中心且以第一轉數來旋轉。藉此,柔性齒輪20的所述橢圓的長軸亦以第一轉數來旋轉。如此一來,外齒23與內齒11的咬合位置亦於圓周方向以第一轉數來變化。另外,如上所述,內齒輪10的內齒11的數量、與柔性齒輪20的外齒23的數量略有不同。根據此齒數的差,於凸輪31的每一次旋轉,外齒23與內齒11的咬合位置於圓周方向略有變化。其結果為,相對於內齒輪10,柔性齒輪20以中心軸9為中心且以低於第一轉數的第二轉數來旋轉。因此,能夠自柔性齒輪20,取出經減速的第二轉數的旋轉運動。
<1-2.關於扭力檢測感測器> 扭力檢測感測器40是檢測對柔性齒輪20的圓周方向施加的扭力的感測器。如圖1所示,本實施方式中,於圓板狀的隔膜部221的圓形的表面,固定有扭力檢測感測器40。
圖3是於軸方向來看扭力檢測感測器40的俯視圖。如圖3所示,扭力檢測感測器40包括電路基板41。本實施方式的電路基板41是能柔軟地變形的可撓性印刷基板(可撓性印刷電路(flexible printed circuit,FPC))。電路基板41包括:以中心軸9為中心的圓環狀的本體部411、以及自本體部411朝向半徑方向外側而突出的翼板(flap)部412。於電路基板41,安裝有包含第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2的橋接電路42、以及訊號處理電路43。第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2配置於本體部411。訊號處理電路43配置於翼板部412。
第一電阻線路圖案R1是一根導體彎折為鋸齒狀且於圓周方向延伸的整體為圓弧狀或圓環狀的圖案。本實施方式中,於中心軸9的周圍的約360°的範圍內設置有第一電阻線路圖案R1。作為第一電阻線路圖案R1的材料,例如使用銅或包含銅的合金。於第一電阻線路圖案R1包括多個第一電阻線路r1。多個第一電阻線路r1是以相互大致平行的姿勢來排列於圓周方向。各第一電阻線路r1相對於柔性齒輪20的半徑方向而向圓周方向一側傾斜。第一電阻線路r1相對於半徑方向的傾斜角度例如設為45°。
第二電阻線路圖案R2是一根導體彎折鋸齒狀且於圓周方向延伸的整體為圓弧狀或圓環狀的圖案。本實施方式中,於中心軸9的周圍的約360°的範圍內,設置有第二電阻線路圖案R2。作為第二電阻線路圖案R2的材料,例如使用銅或包含銅的合金。第二電阻線路圖案R2較第一電阻線路圖案R1而言位於更靠半徑方向內側的位置。即,第一電阻線路圖案R1與第二電阻線路圖案R2配置於相互不重疊的位置。於第二電阻線路圖案R2包括多個第二電阻線路r2。多個第二電阻線路r2以相互大致平行的姿勢來排列於圓周方向。各第二電阻線路r2相對於柔性齒輪20的半徑方向而向圓周方向另一側傾斜。第二電阻線路r2相對於半徑方向的傾斜角度例如設為-45°。
圖4是包含第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2的橋接電路42的電路圖。如圖4所示,本實施方式的橋接電路42包括:第一電阻線路圖案R1、第二電阻線路圖案R2、第一固定電阻Ra及第二固定電阻Rb。第一電阻線路圖案R1與第二電阻線路圖案R2串聯連接。第一固定電阻Ra與第二固定電阻Rb串聯連接。而且,於電源電壓的+極與-極之間,兩個電阻線路圖案R1、R2的行、與兩個固定電阻Ra、Rb的行並聯連接。另外,第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2的中點M1、與第一固定電阻Ra及第二固定電阻Rb的中點M2連接於電壓計V。
第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2的各電阻值根據對柔性齒輪20施加的扭力而變化。例如,若對柔性齒輪20施加以中心軸9為中心而朝向圓周方向的一側的扭力,則第一電阻線路圖案R1的電阻值下降,第二電阻線路圖案R2的電阻值增加。另一方面,若對柔性齒輪20施加以中心軸9為中心而朝向圓周方向的另一側的扭力,則第一電阻線路圖案R1的電阻值增加,第二電阻線路圖案R2的電阻值下降。如上所述,第一電阻線路圖案R1與第二電阻線路圖案R2顯示出相對於扭力而相互為相反朝向的電阻值變化。
而且,若第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2的各電阻值變化,則第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2的中點M1、與第一固定電阻Ra及第二固定電阻Rb的中點M2之間的電位差變化,由此電壓計V的測量值變化。因此,能夠基於此電壓計V的測量值,來檢測對柔性齒輪20施加的扭力的朝向及大小。
訊號處理電路43是用以基於利用電壓計V來測量的中點M1、中點M2之間的電位差訊號(橋接電路的輸出訊號),來檢測對柔性齒輪20施加的扭力的電路。包括第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2的橋接電路42與訊號處理電路43電性連接。於訊號處理電路43,例如包括:將中點M1、中點M2之間的電位差放大的放大器;或用以基於放大後的電訊號來算出扭力的朝向及大小的電路。檢測出的扭力藉由有線或者無線而輸出至與訊號處理電路43連接的外部的裝置。
圖5是隔膜部221及扭力檢測感測器40的部分剖面圖。如圖5所示,扭力檢測感測器40利用兩面黏著帶44來固定於柔性齒輪20的隔膜部221。具體而言,隔膜部221的表面、及電路基板41的背面經由兩面黏著帶44而固定。兩面黏著帶44是由具有黏著力的材料成形為帶狀,且硬化至能夠維持形狀的程度而成。若使用此種兩面黏著帶44,則較使用具有流動性的黏著劑的情況而言,扭力檢測感測器40對於隔膜部221的固定作業變得容易。另外,能夠減少由作業者進行的固定作業的不均。
此外,為了將隔膜部221的變形高精度地傳達至扭力檢測感測器40,兩面黏著帶44較佳為不包括基礎膜,而僅由黏著材料構成。
如以上所述,本實施方式的動力傳達裝置1中,能夠利用扭力檢測感測器40,來檢測對柔性齒輪20施加的扭力。因此,能夠將檢測出的扭力用於動力傳達裝置1所搭載的裝置的控制、或故障檢測。尤其於本實施方式中,扭力檢測感測器40固定於動力傳達裝置1的構成組件中最輸出側的組件即柔性齒輪20。如此一來,能夠利用扭力檢測感測器40來高精度地檢測自輸出側對柔性齒輪20施加的外力。因此,例如能夠以高響應性來進行於檢測外力時使裝置緊急停止般的控制。
尤其於本實施方式的扭力檢測感測器40中,並非僅於柔性齒輪20的圓周方向的一部分安裝應變計,而是遍及柔性齒輪20的圓周方向的大致全周來設置第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2。藉此,能夠更高精度地檢測對柔性齒輪20施加的扭力。
另外,本實施方式的扭力檢測感測器40中,第一電阻線路圖案R1與第二電阻線路圖案R2配置於相互不重疊的位置。因此,於電路基板41上,能夠將該些電阻線路圖案R1、R2形成為單一的層。藉此,能將電路基板41設為簡單的結構。其結果為,能夠實現廉價且薄型的扭力檢測感測器40。
尤其於本實施方式的扭力檢測感測器40中,橋接電路42及訊號處理電路43安裝於一塊電路基板41。如此一來,不需要與搭載有橋接電路42的電路基板41分開準備搭載有訊號處理電路43的電路基板。因此,能夠實現更廉價且薄型的扭力檢測感測器40。另外,藉由將第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2安裝於柔軟的可撓性印刷基板,能夠進一步提高對柔性齒輪20施加的扭力的檢測精度。
作為各電阻線路圖案R1、R2的材料,使用銅或包含銅的合金。若使用銅或包含銅的合金,則較使用康銅等高價材料的情況而言,能夠抑制材料費。另外,藉由使用一般的銅或包含銅的合金來作為電路基板的配線,能夠以與通常的印刷配線基板同樣的製造步驟來製造扭力檢測感測器40。因此,能夠進一步抑制扭力檢測感測器40的製造成本。
<2.第二實施方式> 繼而,對第二實施方式的扭力檢測感測器40加以說明。圖6是第二實施方式的扭力檢測感測器40的俯視圖。此扭力檢測感測器40與第一實施方式的不同之處在於,包括溫度檢測用電阻線路圖案Rh。關於其他部分,由於與第一實施方式相同,故而省略重複說明。
如上所述,若作為第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2的材料,使用銅或包含銅的合金,則能夠抑制扭力檢測感測器40的材料費。但,與康銅等高價材料相比,銅的電阻值容易因環境溫度而變化。因此,第二實施方式的扭力檢測感測器40為了修正溫度的影響,而於扭力檢測感測器40設置有溫度檢測用電阻線路圖案Rh。
溫度檢測用電阻線路圖案Rh與第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2同樣,安裝於電路基板41上。另外,溫度檢測用電阻線路圖案Rh與訊號處理電路43電性連接。作為溫度檢測用電阻線路圖案Rh的材料,例如只要使用與第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2相同的銅或包含銅的合金即可。
溫度檢測用電阻線路圖案Rh是沿著柔性齒輪20的圓周方向而以圓弧狀或圓環狀延伸的圖案。因此,由圓周方向的扭力所引起的溫度檢測用電阻線路圖案Rh的電阻值的變化極小。因此,溫度檢測用電阻線路圖案Rh的電阻值主要因溫度而變化。由此,若測定溫度檢測用電阻線路圖案Rh的電阻值,則能夠取得反映柔性齒輪20的溫度或者環境溫度的訊號。
訊號處理電路43利用溫度檢測用電阻線路圖案Rh的電阻值,對源自包括第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2的橋接電路42的輸出訊號進行修正。具體而言,使源自橋接電路42的輸出訊號的值向消除由溫度引起的變化的方向增加或者減少。而且,基於修正後的輸出訊號來檢測扭力。如此一來,能夠使用廉價的銅或銅合金,並抑制溫度變化的影響,從而高精度地檢測對柔性齒輪20施加的扭力。
尤其於本實施方式中,於第一電阻線路圖案R1與第二電阻線路圖案R2之間的半徑方向的間隙,配置有溫度檢測用電阻線路圖案Rh。如此一來,在與第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2中的任一者均接近的位置,能夠配置溫度檢測用電阻線路圖案Rh。因此,能夠基於溫度檢測用電阻線路圖案Rh的電阻值,來更準確地算出對於橋接電路42的輸出訊號的修正值。
另外,藉由設置溫度檢測用電阻線路圖案Rh,能夠推定包含柔性齒輪20的動力傳達裝置1的溫度。因此,亦能夠監視動力傳達裝置1的溫度是否過度升高。
<3.第三實施方式> 繼而,對第三實施方式的扭力檢測感測器40加以說明。圖7是第三實施方式的扭力檢測感測器40的俯視圖。此扭力檢測感測器40與第一實施方式的不同之處在於第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2的形狀。關於其他部分,由於與第一實施方式相同,故而省略重複說明。
如圖7所示,第一電阻線路圖案R1是一根導體彎折為鋸齒狀且於圓周方向延伸的整體為圓弧狀的圖案。本實施方式中,於中心軸9的周圍的約180°的範圍內,第一電阻線路圖案R1設置為半圓狀。第一電阻線路圖案R1包括多個第一電阻線路r1。多個第一電阻線路r1以相互大致平行的姿勢來排列於圓周方向。各第一電阻線路r1相對於柔性齒輪20的半徑方向而向圓周方向一側傾斜。第一電阻線路r1相對於半徑方向的傾斜角度例如設為45°。
第二電阻線路圖案R2是一根導體彎折為鋸齒狀且於圓周方向延伸的整體為圓弧狀的圖案。本實施方式中,於中心軸9的周圍的約180°的範圍內,第二電阻線路圖案R2設置為半圓狀。第二電阻線路圖案R2包括多個第二電阻線路r2。多個第二電阻線路r2以相互大致平行的姿勢來排列於圓周方向。各第二電阻線路r2相對於柔性齒輪20的半徑方向而向圓周方向另一側傾斜。第二電阻線路r2相對於半徑方向的傾斜角度例如設為-45°。
第一電阻線路圖案R1與第二電阻線路圖案R2配置為同心且線對稱。具體而言,當於軸方向來看時,相對於通過中心軸9的假想直線L,於一側配置有第一電阻線路圖案R1,且於另一側配置有第二電阻線路圖案R2。即,第一電阻線路圖案R1與第二電阻線路圖案R2配置於相互不重疊的位置。另外,第一電阻線路圖案R1與第二電阻線路圖案R2的相對於中心軸9的直徑相同。
此第三實施方式的結構中,第一電阻線路圖案R1與第二電阻線路圖案R2顯示出相對於扭力而相互為相反朝向的電阻值變化。因此,能夠基於源自包括第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2的橋接電路42的輸出訊號,來檢測對柔性齒輪20施加的扭力。
另外,第一電阻線路圖案R1與第二電阻線路圖案R2配置於相互不重疊的位置。因此,於電路基板41上,能夠將該些電阻線路圖案R1、R2形成為單一的層。藉此,能夠將電路基板41設為簡單的結構。其結果為,能夠實現廉價且薄型的扭力檢測感測器40。
於動力傳達裝置1的驅動時,柔性齒輪20的隔膜部221於軸方向略微位移。此軸方向的位移量根據隔膜部221的半徑方向的位置而不同。而且,隔膜部221的軸方向的位移亦對第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2的電阻值造成影響。然而,本實施方式中,第一電阻線路圖案R1與第二電阻線路圖案R2相對於中心軸9而配置於相同直徑的位置。因此,藉由隔膜部221的軸方向的位移,第一電阻線路圖案R1的電阻值、與第二電阻線路圖案R2的電阻值以相同的方式變化。因此,橋接電路42的電壓計V的檢測值不易受影響。因此,能夠抑制隔膜部221的軸方向的位移的影響,從而高精度地檢測對柔性齒輪20施加的圓周方向的扭力。
<4.第四實施方式> 繼而,對第四實施方式的扭力檢測感測器40加以說明。圖8是第四實施方式的扭力檢測感測器40的俯視圖。此扭力檢測感測器40與第一實施方式的不同之處在於,包括第一電阻線路圖案R1、第二電阻線路圖案R2、第三電阻線路圖案R3及第四電阻線路圖案R4,以及包括溫度檢測用電阻線路圖案Rh。關於其他部分,由於與第一實施方式相同,故而省略重複說明。
如圖8所示,於本實施方式的電路基板41,安裝有包括第一電阻線路圖案R1、第二電阻線路圖案R2、第三電阻線路圖案R3及第四電阻線路圖案R4的橋接電路42以及溫度檢測用電阻線路圖案Rh。橋接電路42以及溫度檢測用電阻線路圖案Rh分別與訊號處理電路43電性連接。作為各電阻線路圖案R1、R2、R3、R4、Rh的材料,例如使用銅或包含銅的合金。
第一電阻線路圖案R1是一根導體彎折為鋸齒狀且於圓周方向延伸的整體為圓弧狀的圖案。本實施方式中,於中心軸9的周圍的約180°的範圍內,第一電阻線路圖案R1設置為半圓狀。第一電阻線路圖案R1包括多個第一電阻線路r1。多個第一電阻線路r1以相互大致平行的姿勢來排列於圓周方向。各第一電阻線路r1相對於柔性齒輪20的半徑方向而向圓周方向一側傾斜。第一電阻線路r1相對於半徑方向的傾斜角度例如設為45°。
第二電阻線路圖案R2是一根導體彎折為鋸齒狀且於圓周方向延伸的整體為圓弧狀的圖案。本實施方式中,於中心軸9的周圍的約180°的範圍內,第二電阻線路圖案R2設置為半圓狀。第二電阻線路圖案R2包括多個第二電阻線路r2。多個第二電阻線路r2以相互大致平行的姿勢來排列於圓周方向。各第二電阻線路r2相對於柔性齒輪20的半徑方向而向圓周方向另一側傾斜。第二電阻線路r2相對於半徑方向的傾斜角度例如設為-45°。
第一電阻線路圖案R1與第二電阻線路圖案R2配置為同心且線對稱。具體而言,當於軸方向來看時,相對於通過中心軸9的假想直線L,於一側配置有第一電阻線路圖案R1,且於另一側配置有第二電阻線路圖案R2。另外,第一電阻線路圖案R1與第二電阻線路圖案R2的相對於中心軸9的直徑相同。
第三電阻線路圖案R3是一根導體彎折為鋸齒狀且於圓周方向延伸的整體為圓弧狀的圖案。本實施方式中,於中心軸9的周圍的約180°的範圍內,第三電阻線路圖案R3設置為半圓狀。第三電阻線路圖案R3包括多個第三電阻線路r3。多個第三電阻線路r3以相互大致平行的姿勢來排列於圓周方向。各第三電阻線路r3相對於柔性齒輪20的半徑方向而向圓周方向另一側傾斜。第三電阻線路r3相對於半徑方向的傾斜角度例如設為45°。
第四電阻線路圖案R4是一根導體彎折為鋸齒狀且於圓周方向延伸的整體為圓弧狀的圖案。本實施方式中,於中心軸9的周圍的約180°的範圍內,第四電阻線路圖案R4設置為半圓狀。第四電阻線路圖案R4包括多個第四電阻線路r4。多個第四電阻線路r4以相互大致平行的姿勢來排列於圓周方向。各第四電阻線路r4相對於柔性齒輪20的半徑方向而向圓周方向一側傾斜。第四電阻線路r4相對於半徑方向的傾斜角度例如設為-45°。
第三電阻線路圖案R3及第四電阻線路圖案R4較第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2而言位於更靠半徑方向內側的位置。另外,第三電阻線路圖案R3與第四電阻線路圖案R4配置為同心且線對稱。具體而言,當於軸方向來看時,相對於通過中心軸9的假想直線L,於一側配置有第三電阻線路圖案R3,且於另一側配置有第四電阻線路圖案R4。另外,第三電阻線路圖案R3與第四電阻線路圖案R4的相對於中心軸9的直徑相同。
如上所述,第一電阻線路圖案R1、第二電阻線路圖案R2、第三電阻線路圖案R3及第四電阻線路圖案R4均配置於相互不重疊的位置。
圖9是包括第一電阻線路圖案R1、第二電阻線路圖案R2、第三電阻線路圖案R3及第四電阻線路圖案R4的橋接電路42的電路圖。如圖9所示,第一電阻線路圖案R1與第二電阻線路圖案R2串聯連接。第三電阻線路圖案R3與第四電阻線路圖案R4串聯連接。而且,於電源電壓的+極與-極之間,第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2的行、與第三電阻線路圖案R3及第四電阻線路圖案R4的行並聯連接。另外,第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2的中點M1、與第三電阻線路圖案R3及第四電阻線路圖案R4的中點M2連接於電壓計V。
第一電阻線路圖案R1、第二電阻線路圖案R2、第三電阻線路圖案R3、及第四電阻線路圖案R4的各電阻值根據對柔性齒輪20施加的扭力而變化。例如,若對柔性齒輪20施加以中心軸9為中心而朝向圓周方向的一側的扭力,則第一電阻線路圖案R1及第四電阻線路圖案R4的電阻值下降,第二電阻線路圖案R2及第三電阻線路圖案R3的電阻值增加。另一方面,若對柔性齒輪20施加以中心軸9為中心而朝向圓周方向的另一側的扭力,則第一電阻線路圖案R1及第四電阻線路圖案R4的電阻值增加,第二電阻線路圖案R2及第三電阻線路圖案R3的電阻值下降。如上所述,第一電阻線路圖案R1及第四電阻線路圖案R4、與第二電阻線路圖案R2及第三電阻線路圖案R3顯示出相對於扭力而相互為相反朝向的電阻值變化。
如上所述,若第一電阻線路圖案R1、第二電阻線路圖案R2、第三電阻線路圖案R3及第四電阻線路圖案R4的各電阻值變化,則第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2的中點M1、與第三電阻線路圖案R3及第四電阻線路圖案R4的中點M2之間的電位差變化,因此電壓計V的測量值變化。因此,能夠基於此電壓計V的測量值,來檢測對柔性齒輪20施加的扭力的朝向及大小。
另外,第一電阻線路圖案R1、第二電阻線路圖案R2、第三電阻線路圖案R3、及第四電阻線路圖案R4配置於相互不重疊的位置。因此,於電路基板41上,能夠將該些電阻線路圖案R1、R2、R3、R4形成為單一的層。藉此,能夠將電路基板41設為簡單的結構。其結果為,能夠實現廉價且薄型的扭力檢測感測器40。
於動力傳達裝置1的驅動時,柔性齒輪20的隔膜部221於軸方向略微位移。此軸方向的位移量根據隔膜部221的半徑方向的位置而不同。而且,隔膜部221的軸方向的位移亦對各電阻線路圖案R1、R2、R3、R4的電阻值造成影響。然而,本實施方式中,第一電阻線路圖案R1與第二電阻線路圖案R2相對於中心軸9而配置於相同直徑的位置。另外,第三電阻線路圖案R3與第四電阻線路圖案R4相對於中心軸9而配置於相同直徑的位置。因此,藉由隔膜部221的軸方向的位移,第一電阻線路圖案R1的電阻值與第二電阻線路圖案R2的電阻值以相同的方式變化,第三電阻線路圖案R3的電阻值與第四電阻線路圖案R4的電阻值以相同的方式變化。因此,橋接電路42的電壓計V的檢測值不易受影響。因此,能夠抑制隔膜部221的軸方向的位移的影響,從而高精度地檢測對柔性齒輪20施加的圓周方向的扭力。
溫度檢測用電阻線路圖案Rh是沿著柔性齒輪20的圓周方向而以圓弧狀或圓環狀延伸的圖案。因此,由圓周方向的扭力所引起的溫度檢測用電阻線路圖案Rh的電阻值的變化極小。因此,溫度檢測用電阻線路圖案Rh的電阻值主要因溫度而變化。由此,若測定溫度檢測用電阻線路圖案Rh的電阻值,則能夠取得反映柔性齒輪20的溫度或環境溫度的訊號。
訊號處理電路43利用溫度檢測用電阻線路圖案Rh的電阻值,來對源自橋接電路42的輸出訊號進行修正。而且,基於修正後的輸出訊號來檢測扭力。如此一來,能夠使用廉價的銅或銅合金,並抑制溫度變化的影響,從而高精度地檢測對柔性齒輪20施加的扭力。
尤其於本實施方式中,於第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2、與第三電阻線路圖案R3及第四電阻線路圖案R4之間的半徑方向的間隙,配置有溫度檢測用電阻線路圖案Rh。如此一來,能夠在與第一電阻線路圖案R1、第二電阻線路圖案R2、第三電阻線路圖案R3及第四電阻線路圖案R4中的任一者均接近的位置,配置溫度檢測用電阻線路圖案Rh。因此,能夠基於溫度檢測用電阻線路圖案Rh的電阻值,來更準確地算出對於橋接電路42的輸出訊號的修正值。
另外,藉由設置溫度檢測用電阻線路圖案Rh,能夠推定包括柔性齒輪20的動力傳達裝置1的溫度。因此,亦能夠監視動力傳達裝置1的溫度是否過度升高。
<5.第五實施方式> 繼而,對第五實施方式的扭力檢測感測器40加以說明。圖10是第五實施方式的扭力檢測感測器40的俯視圖。此扭力檢測感測器40與第四實施方式的不同之處在於第三電阻線路圖案R3及第四電阻線路圖案R4的位置。關於其他部分,由於與第四實施方式相同,故而省略重複說明。
如圖10所示,當於軸方向來看時,第一電阻線路圖案R1與第二電阻線路圖案R2相對於通過中心軸9的假想直線L1而配置為線對稱。與此相對,當於軸方向來看時,第三電阻線路圖案R3與第四電阻線路圖案R4相對於通過中心軸9且與所述假想直線L1正交的假想直線L2而配置為線對稱。即,第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2的邊界線即假想直線L1、與第三電阻線路圖案R3及第四電阻線路圖案R4的邊界線即假想直線L2正交。
如此一來,第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2的邊界部的圓周方向的位置、與第三電阻線路圖案R3及第四電阻線路圖案R4的邊界部的圓周方向的位置不重疊。即,電阻線路圖案的邊界部的圓周方向的位置分散。因此,能夠減少由電阻線路圖案的邊界部所引起的輸出訊號的週期性漣波(ripple)。其結果為,能夠更高精度地檢測對柔性齒輪20施加的扭力。
此外,假想直線L1與假想直線L2亦可未必正交。假想直線L1與假想直線L2只要於中心軸9的位置相互交叉即可。假想直線L2相對於假想直線L1的角度於圖10的例子中為90°,但除此以外,亦可將假想直線L2相對於假想直線L1的角度設為60°或45°。
<6.第六實施方式> 繼而,對第六實施方式的扭力檢測感測器40加以說明。圖11是第六實施方式的扭力檢測感測器40的俯視圖。此扭力檢測感測器40的第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2的形狀與第三實施方式相同。但,與第三實施方式的不同之處在於包括推力應變檢測用電阻線路圖案Rt。關於其他部分,由於與第三實施方式相同,故而省略重複說明。
如圖11所示,於本實施方式的電路基板41,安裝有推力應變檢測用電阻線路圖案Rt。推力應變檢測用電阻線路圖案Rt與訊號處理電路43延期地連接。作為推力應變檢測用電阻線路圖案Rt的材料,例如使用銅或包含銅的合金。
圖11的扭力檢測感測器40包括外側電阻線路圖案Ro、及內側電阻線路圖案Ri這兩個電阻線路圖案來作為推力應變檢測用電阻線路圖案Rt。
外側電阻線路圖案Ro是一根導體彎折為鋸齒狀且於圓周方向延伸的整體為圓弧狀或圓環狀圖案。本實施方式中,於中心軸9的周圍的約360°的範圍內,設置有外側電阻線路圖案Ro。外側電阻線路圖案Ro較第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2而言位於更靠半徑方向外側的位置。即,外側電阻線路圖案Ro配置於與第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2不重疊的位置。外側電阻線路圖案Ro包括多個外側電阻線路ro。多個外側電阻線路ro以相互大致平行的姿勢來排列於圓周方向。各外側電阻線路ro於柔性齒輪20的半徑方向延伸。
內側電阻線路圖案Ri是一根導體彎折為鋸齒狀且於圓周方向延伸的整體為圓弧狀或圓環狀的圖案。本實施方式中,於中心軸9的周圍的約360°的範圍內,設置有內側電阻線路圖案Ri。內側電阻線路圖案Ri較第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2而言位於更靠半徑方向內側的位置。即,內側電阻線路圖案Ri配置於與第一電阻線路圖案R1、第二電阻線路圖案R2及外側電阻線路圖案Ro不重疊的位置。內側電阻線路圖案Ri包括多個內側電阻線路ri。多個內側電阻線路ri以相互大致平行的姿勢來排列於圓周方向。各內側電阻線路ri於柔性齒輪20的半徑方向延伸。
如上所述,外側電阻線路圖案Ro所包含的多個外側電阻線路ro、與內側電阻線路圖案Ri所包含的多個內側電阻線路ri均於半徑方向延伸。因此,由圓周方向的扭力所引起的外側電阻線路圖案Ro及內側電阻線路圖案Ri的電阻值的變化極小。但,若柔性齒輪20的隔膜部221於軸方向位移,則外側電阻線路圖案Ro及內側電阻線路圖案Ri的電阻值大幅度變化。因此,若測定外側電阻線路圖案Ro及內側電阻線路圖案Ri的各電阻值,則能夠取得反映隔膜部221的軸方向的位移量的訊號。
訊號處理電路43利用外側電阻線路圖案Ro及內側電阻線路圖案Ri的各電阻值,對源自包括第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2的橋接電路42的輸出訊號進行修正。具體而言,使源自橋接電路42的輸出訊號的值,向消除隔膜部221的軸方向的位移的影響的方向增加或減少。而且,基於修正後的輸出訊號來檢測扭力。如此一來,能夠抑制隔膜部221的軸方向的位移的影響,從而高精度地檢測對柔性齒輪20施加的扭力。
尤其是本實施方式的扭力檢測感測器40包括外側電阻線路圖案Ro及內側電阻線路圖案Ri這兩個電阻線路圖案,來作為推力應變檢測用電阻線路圖案Rt。如此一來,能夠構成包括外側電阻線路圖案Ro及內側電阻線路圖案Ri的橋接電路。因此,能夠基於源自此橋接電路的輸出訊號,而更高精度地檢測隔膜部221的軸方向的位移量。因此,能夠更準確地算出對於包括第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2的橋接電路42的輸出訊號的修正值。
此外,推力應變檢測用電阻線路圖案Rt能夠追加於所述任意實施方式的扭力檢測感測器40。例如,亦可於第一實施方式的扭力檢測感測器40追加與本實施方式相同的推力應變檢測用電阻線路圖案Rt。
<7.第七實施方式> 繼而,對第七實施方式的扭力檢測感測器40加以說明。圖12是第七實施方式的扭力檢測感測器40的俯視圖。此扭力檢測感測器40與第六實施方式的不同之處在於包括溫度檢測用電阻線路圖案Rh。關於其他部分,由於與第六實施方式相同,故而省略重複說明。
關於溫度檢測用電阻線路圖案Rh的形狀及作用,與所述第二實施方式及第四實施方式相同。本實施方式中,於第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2、與內側電阻線路圖案Ri之間的間隙,配置有溫度檢測用電阻線路圖案Rh。但,溫度檢測用電阻線路圖案Rh的位置亦可為第一電阻線路圖案R1及第二電阻線路圖案R2、與外側電阻線路圖案Ro之間。
<8.變形例> 以上,已對本發明的第一實施方式~第七實施方式進行說明,但本發明並不限定於所述實施方式。
<8-1.第一變形例> 圖13是第一變形例的扭力檢測感測器40的俯視圖。圖13的例子中,扭力檢測感測器40的電路基板41包括三個定位部413。各定位部413自電路基板41的本體部411的外周部朝向半徑方向外側突出。於製造動力傳達裝置1時,當於柔性齒輪20固定扭力檢測感測器40時,使三個定位部413、與柔性齒輪20的厚壁部222的內周面於半徑方向接觸。藉此,相對於柔性齒輪20而將電路基板41的本體部411定位於同軸的作業變得容易。另外,能夠提高本體部411對於柔性齒輪20的定位精度。
此外,亦可於柔性齒輪20的厚壁部222的內周面,設置向半徑方向內側突出的多個定位部。而且,亦可藉由使此定位部、與本體部411的外周部於半徑方向接觸,來進行電路基板41對於柔性齒輪20的定位。另外,亦可對柔性齒輪20及電路基板41這兩者設置定位部。即,定位部只要設置於柔性齒輪20及電路基板41中的至少任一者即可。
<8-2.第二變形例> 圖14是第二變形例的扭力檢測感測器40及隔膜部221的部分剖面圖。圖14的例子中,電路基板41是以安裝有電阻線路圖案R1、電阻線路圖案R2的面朝向隔膜部221的表面的狀態,來固定於隔膜部221。如此一來,隔膜部221的表面與電阻線路圖案R1、電阻線路圖案R2接近。藉此,能夠更高精度地檢測對隔膜部221施加的扭力。
電路基板41與隔膜部221並非經由具有流動性的黏著劑,而是經由兩面黏著帶44來固定。因此,於電路基板41與隔膜部221的表面之間,能夠確保規定的間隔。因此,於金屬製的隔膜部221與電阻線路圖案R1、電阻線路圖案R2之間能夠確保絕緣。
<8-3.其他變形例> 所述實施方式中,橋接電路42及訊號處理電路43這兩者安裝於電路基板41。然而,訊號處理電路43亦可設置於電路基板41的外部。
另外,所述實施方式中,作為各電阻線路圖案的材料,使用銅或包含銅的合金。然而,亦可使用康銅、不鏽鋼(Steel Use Stainless,SUS)、鋁等其他金屬來作為電阻線路圖案的材料。另外,亦可使用陶瓷或樹脂等非金屬材料來作為電阻線路圖案的材料。另外,亦可使用導電性油墨來作為電阻線路圖案的材料。於使用導電性油墨的情況下,只要於電路基板41的表面,利用導電性油墨來印刷各電阻線路圖案即可。
另外,所述實施方式的柔性齒輪20中,隔膜部221自筒狀部21的基端部朝向半徑方向外側擴展。然而,隔膜部221亦可自筒狀部21的基端部朝向半徑方向內側擴展。
另外,所述實施方式中,扭力檢測的對象物為柔性齒輪20。然而,亦可將具有與所述實施方式相同的結構的扭力檢測感測器40用於檢測對柔性齒輪20以外的圓形體施加的扭力。
所述實施方式的第一電阻線路圖案R1、第二電阻線路圖案R2、第三電阻線路圖案R3、及第四電阻線路圖案R4全部是對圓形體的圓周方向的應變進行檢測的圓周方向應變檢測用電阻線路圖案。該些電阻線路圖案的數量或位置可適當地設計變更。除此以外,關於扭力檢測感測器及動力傳達裝置的細節部分的構成,亦可於不脫離本發明的主旨的範圍內適當地變更。另外,亦可於不產生矛盾的範圍內,將所述各實施方式及各變形例中出現的元件適當地加以組合。 [產業上之可利用性]
本申請案能夠用於扭力檢測感測器及動力傳達裝置。
1:動力傳達裝置 9:中心軸 10:內齒輪 11:內齒 20:柔性齒輪 21:筒狀部 22:平板部 23:外齒 30:波動發生器 31:凸輪 32:可撓性軸承 40:扭力檢測感測器 41:電路基板 42:橋接電路 43:訊號處理電路 44:兩面黏著帶 221:隔膜部 222:厚壁部 411:本體部 412:翼板部 413:定位部 L、L1、L2:假想直線 M1、M2:中點 R1:第一電阻線路圖案 R2:第二電阻線路圖案 R3:第三電阻線路圖案 R4:第四電阻線路圖案 Ra:第一固定電阻 Rb:第二固定電阻 Rh:溫度檢測用電阻線路圖案 Rt:推力應變檢測用電阻線路圖案 Ro:外側電阻線路圖案 Ri:內側電阻線路圖案 V:電壓計 r1:第一電阻線路 r2:第二電阻線路 r3:第三電阻線路 r4:第四電阻線路 ro:外側電阻線路 ri:內側電阻線路
圖1是第一實施方式的動力傳達裝置的縱剖面圖。 圖2是第一實施方式的動力傳達裝置的橫剖面圖。 圖3是第一實施方式的扭力檢測感測器的俯視圖。 圖4是第一實施方式的橋接電路的電路圖。 圖5是第一實施方式的扭力檢測感測器及隔膜部的部分剖面圖。 圖6是第二實施方式的扭力檢測感測器的俯視圖。 圖7是第三實施方式的扭力檢測感測器的俯視圖。 圖8是第四實施方式的扭力檢測感測器的俯視圖。 圖9是第四實施方式的橋接電路的電路圖。 圖10是第五實施方式的扭力檢測感測器的俯視圖。 圖11是第六實施方式的扭力檢測感測器的俯視圖。 圖12是第七實施方式的扭力檢測感測器的俯視圖。 圖13是第一變形例的扭力檢測感測器的俯視圖。 圖14是第二變形例的扭力檢測感測器及隔膜部的部分剖面圖。
9:中心軸
40:扭力檢測感測器
41:電路基板
42:橋接電路
43:訊號處理電路
411:本體部
412:翼板部
R1:第一電阻線路圖案
R2:第二電阻線路圖案
r1:第一電阻線路
r2:第二電阻線路

Claims (20)

  1. 一種扭力檢測感測器,檢測對圓形體施加的扭力,包括: 第一電阻線路圖案及第二電阻線路圖案, 所述第一電阻線路圖案是於圓周方向排列有多個相對於所述圓形體的半徑方向而向圓周方向一側傾斜的電阻線路的圓弧狀或圓環狀圖案, 所述第二電阻線路圖案是於圓周方向排列有多個相對於所述圓形體的半徑方向而向圓周方向另一側傾斜的電阻線路的圓弧狀或圓環狀圖案,並且 所述第一電阻線路圖案與所述第二電阻線路圖案配置於相互不重疊的位置。
  2. 如請求項1所述的扭力檢測感測器,其中 所述第二電阻線路圖案較所述第一電阻線路圖案而言位於更靠半徑方向內側的位置。
  3. 如請求項1所述的扭力檢測感測器,更包括: 第三電阻線路圖案及第四電阻線路圖案, 所述第一電阻線路圖案是圓弧狀圖案, 所述第二電阻線路圖案是與所述第一電阻線路圖案配置為同心且線對稱的圓弧狀圖案, 所述第三電阻線路圖案是較所述第一電阻線路圖案及所述第二電阻線路圖案而言位於更靠半徑方向內側的位置,且於圓周方向排列有多個相對於所述圓形體的半徑方向而向圓周方向一側傾斜的電阻線路的圓弧狀圖案,並且 所述第四電阻線路圖案是與所述第三電阻線路圖案配置為同心且線對稱,且於圓周方向排列有多個相對於所述圓形體的半徑方向而向圓周方向另一側傾斜的電阻線路的圓弧狀圖案。
  4. 如請求項3所述的扭力檢測感測器,其中 所述第一電阻線路圖案及所述第二電阻線路圖案的邊界線與 所述第三電阻線路圖案及所述第四電阻線路圖案的邊界線 相互交叉。
  5. 如請求項1所述的扭力檢測感測器,更包括: 推力應變檢測用電阻線路圖案,配置在與所述第一電阻線路圖案及所述第二電阻線路圖案不重疊的位置,且於圓周方向排列有多個於所述圓形體的半徑方向延伸的電阻線路。
  6. 如請求項5所述的扭力檢測感測器,其中 所述第一電阻線路圖案是圓弧狀圖案, 所述第二電阻線路圖案是與所述第一電阻線路圖案配置為同心的圓弧狀圖案,並且 所述推力應變檢測用電阻線路圖案包括: 外側電阻線路圖案,較所述第一電阻線路圖案及所述第二電阻線路圖案而言位於更靠半徑方向外側的位置;以及 內側電阻線路圖案,較所述第一電阻線路圖案及所述第二電阻線路圖案而言位於更靠半徑方向內側的位置。
  7. 如請求項6所述的扭力檢測感測器,其中 所述第一電阻線路圖案與所述第二電阻線路圖案配置為線對稱。
  8. 如請求項1至請求項7中任一項所述的扭力檢測感測器,更包括: 沿著所述圓形體的圓周方向而延伸的溫度檢測用電阻線路圖案。
  9. 如請求項1至請求項8中任一項所述的扭力檢測感測器,包括至少包含所述第一電阻線路圖案及所述第二電阻線路圖案的橋接電路。
  10. 如請求項9所述的扭力檢測感測器,更包括: 基於所述橋接電路的輸出訊號來檢測扭力的訊號處理電路。
  11. 如請求項10所述的扭力檢測感測器,包括安裝有所述橋接電路及所述訊號處理電路中的至少一者的電路基板。
  12. 如請求項11所述的扭力檢測感測器,其中 所述電路基板為可撓性印刷基板。
  13. 如請求項11或請求項12所述的扭力檢測感測器,其中 所述電阻線路圖案的材料為銅或包含銅的合金。
  14. 如請求項11或請求項12所述的扭力檢測感測器,其中 所述電阻線路圖案的材料為導電性油墨。
  15. 一種動力傳達裝置,包括: 如請求項11至請求項14中任一項所述的扭力檢測感測器、以及 所述圓形體。
  16. 如請求項15所述的動力傳達裝置,其中 所述圓形體及所述電路基板中的任一者包括與所述圓形體及所述電路基板中的另一者於半徑方向接觸的定位部。
  17. 如請求項15或請求項16所述的動力傳達裝置,更包括: 將所述電路基板固定於所述圓形體的兩面黏著帶。
  18. 如請求項15至請求項17中任一項所述的動力傳達裝置,其中 所述電路基板是以使安裝有所述電阻線路圖案的面朝向所述圓形體的表面的狀態,來固定於所述圓形體。
  19. 如請求項15至請求項18中任一項所述的動力傳達裝置,其中 所述圓形體包括: 可撓性的筒狀部,於軸方向以筒狀延伸; 多個外齒,設置於所述筒狀部的外周面;以及 平板狀的隔膜部,自所述筒狀部的軸方向的一端朝向半徑方向外側或半徑方向內側擴展,其中 所述電路基板固定於所述隔膜部。
  20. 一種扭力檢測感測器,檢測對圓形體施加的扭力,包括: 圓周方向應變檢測用電阻線路圖案,對所述圓形體的圓周方向的應變進行檢測;以及 推力應變檢測用電阻線路圖案,對所述圓形體的軸方向的應變進行檢測,其中 所述圓周方向應變檢測用電阻線路圖案是於圓周方向排列有多個相對於所述圓形體的半徑方向而向圓周方向傾斜的電阻線路的圖案, 所述推力應變檢測用電阻線路圖案是於圓周方向排列有多個於所述圓形體的半徑方向延伸的電阻線路的圖案,且 所述圓周方向應變檢測用電阻線路圖案與所述推力應變檢測用電阻線路圖案配置於相互不重疊的位置。
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