TW202030972A - 溫度感測器配置中之閃爍雜訊減少 - Google Patents

溫度感測器配置中之閃爍雜訊減少 Download PDF

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Abstract

本發明涉及溫度感測器配置(10)。該溫度感測器配置(10)包括：‒能隙電壓產生器(12)，被配置以提供輸出電壓(Vbg )；‒至少一個用於溫度感測的半導體接面(14)，其被流過該半導體接面(14)的偏壓電流所偏壓；其中，該配置(10)還包括至少一個多晶矽電阻器(Rb3 )，其連接在該能隙電壓產生器(12)的輸出(23)和該半導體接面(14)之間，從而向該半導體接面(14)提供從該能隙電壓產生器(12)來的所述偏壓電流。

Description

溫度感測器配置中之閃爍雜訊減少
本發明涉及由電子感測器進行溫度感測的領域。更具體地，本發明涉及一種包括能隙電壓產生器的溫度感測器配置。
溫度感測器電路在某些應用中用於監視環境。在某些其他應用中，這種感測器電路可用於調整外部電路的參數，以補償溫度變化時其本身之非理想性。通常，這樣的感測器電路包括用於溫度感測的半導體接面，其被來自電流源的偏壓電流偏壓。用於溫度感測的半導體接面通常形成一個二極體，並且這種二極體所產生的電壓可以在類比數位轉換器(ADC)中進行數位化，其數位化之輸出用於不同的應用。已知的感測器電路1的這樣的組態在圖1中以例子示出。電流源Ib 用於偏壓雙極半導體接面2。雙極半導體接面2是，例如，二極體連接的基底pnp型電晶體。產生的電壓Vbe 具有與絕對溫度(CTAT)特性互補的特性。該電壓Vbe 由ADC 4數位化。參考電壓產生器6向ADC 4提供參考電壓Vref ，該參考電壓應具有可忽略的溫度依賴性。為了在25°C左右獲得零數位輸出並且/或者為了直接地驅動全差分ADC，希望在類比數位轉換期間從Vbe 減去補償電壓Voff 。為了避免對溫度感測施加額外的誤差，Voff 還必須具有可忽略的溫度依賴性。為此目的，Voff ，例如，經由分壓器網路部分從能隙電壓產生器8的輸出電壓Vbg 被導出。分壓器網路部分包括例如兩個電阻器R1、R2。
然而，應注意的是，由於發生在電子組件中之低頻閃爍雜訊，在這種溫度感測器配置中通常存在問題。電壓Vbe 、Voff 和Vref 中的這種低頻閃爍雜訊調節了溫度感測器的數位輸出，並限制了其長期穩定性。此外，這種閃爍雜訊損害了溫度測量結果的準確性。電壓Voff 和Vref 中的閃爍雜訊通常由已知的解決方案來處理，該解決方案包括具有斬波穩定的能隙參考電路作為能隙電壓產生器8。然而，減小Vbe 中的閃爍雜訊是被期望的，並且更精確地說是在偏壓電流Ib 中，因為半導體接面2通常表現出足夠低的閃爍雜訊。
對於這個問題的一些已知的解決方案是基於在產生Ib 的電流源的電晶體裝置之間使用斬波方法，並且/或者基於在這種電流源中實現斬波穩定的運算跨導放大器(operational transconductance amplifier, OTA)。但是，這種解決方案的實際實施是複雜的。此外，當基於斬波穩定的OTA時，此類解決方案會在電路尺寸、功耗和斬波之複雜度之間進行權衡。
本發明的目的是提供一種溫度感測器配置，其可以減少流過半導體接面的偏壓電流中的閃爍雜訊，並因此為感測器實現更高的精度，同時易於實現，佔用空間小並且具有低電流消耗。
根據本發明，提供了一種如請求項1所述的溫度感測器配置。
由於該特徵，其中該配置包括至少一個多晶矽電阻器，該電阻器連接在能隙電壓產生器的輸出與半導體接面之間，從而提供從能隙電壓產生器到半導體接面的偏壓電流，低頻率閃爍雜訊在感測器中大大地降低，從而可以精確地測量溫度。而且，所提出的新解決方案的面積消耗比習用的偏壓電流源的面積消耗低得多，因為它僅需要至少一個多晶矽電阻器。另外，所提出的解決方案中的功耗遠低於習用的偏壓電流源，因為它僅需要汲取僅由半導體接面消耗的電流。最後，由於不需要為了降低閃爍雜訊而在偏壓電流產生器中進行斬波，因此感測器的線性度得到改善，而不需要額外的努力。這是由於所採用的多晶矽電阻器本身具有低閃爍雜訊的特性。
在所附的附屬請求項中敘述了本發明的其他方面。
根據溫度感測器配置的一個實施例，能隙電壓產生器包括斬波放大器。
有利地，能隙電壓產生器還包括連接到斬波放大器的輸出的源極隨耦器輸出級，該多晶矽電阻器或每個多晶矽電阻器連接到源極隨耦器輸出級的輸出。這樣的源極隨耦器輸出級允許增加能隙電壓產生器的穩定性。此外，它允許減小能隙電壓產生器的輸出電阻值，從而有利於本解決方案的實施。
根據溫度感測器配置的一個實施例，該配置還包括類比數位轉換器，該類比數位轉換器連接到該多晶矽電阻器和該半導體接面之間的節點，用於提供溫度測量的數位化輸出。以這種方式，可以獲得溫度感測器配置的數位化輸出，這對於不同的應用(像是使用微處理器的應用的例子)可以是有用的。
有利地，類比數位轉換器是差分類比數位轉換器，其具有連接到分壓器網路部分的節點的參考端子，該分壓器網路部分連接在能隙電壓產生器的輸出和差分類比數位轉換器的第一輸入之間，並向該轉換器提供參考電壓。這允許將能隙電壓產生器的輸出電壓用作為差分類比數位轉換器的參考電壓，從而實現某些組件的相互化以及面積和功耗的進一步增加。
在下面的描述中，將僅以簡化的方式描述本技術領域的本領域技術人士所熟知的溫度感測器配置的所有組件。
在圖2中示出了根據本發明的溫度感測器配置10的第一實施例。溫度感測器配置10可以用於不同的應用，包括(但不限於)外部電路的參數調整，以補償其在溫度變化時的非理想性。這樣的外部電路可以是，例如，微機電系統(microelectromechanical system, MEMS)，例如壓力感測器或濕度感測器，其需要具有非常低雜訊的高精度溫度感測器。溫度感測器配置10也可以在生產期間用於內部測試或校準。溫度感測器配置10包括能隙電壓產生器12、用於溫度感測的半導體接面14和多晶矽電阻器Rb3 。溫度感測器配置10還可以包括分壓器網路部分18、差分類比數位轉換器(ADC)20和參考電壓產生器22。
能隙電壓產生器12被配置為在其輸出23上提供輸出電壓Vbg 。輸出電壓Vbg 可以是能隙參考電壓，其值通常在約25°C時在1.16 V至1.25 V的範圍內。能隙電壓產生器12可以是斬波穩定的能隙電壓產生器。
如圖2所示，將多晶矽電阻器Rb3 連接在能隙電壓產生器12的輸出23和半導體接面14之間，從而向接面14提供流過接面14的偏壓電流。多晶矽電阻器Rb3 在節點19處連接到半導體接面14。多晶矽電阻器Rb3 ，例如，是植入的多晶矽電阻器。在後一種情況下，多晶矽電阻器的電阻值通常在20kΩ至25kΩ的範圍內。可替代地，多晶矽電阻器Rb3 可以是p+型植入的多晶矽電阻器，或者是擴散的多晶矽電阻器，或者是具有低閃爍雜訊的任何類型的多晶矽電阻器。
半導體接面14在其端子處具有電壓，該電壓的值取決於溫度。在圖2所示的特定實施例中，接面14例如是雙極接面電晶體裝置，通常是二極體連接的基底pnp型電晶體。在這種情況下，該電壓是電晶體裝置的基射極間電壓Vbe 。基射極間電壓Vbe 具有與絕對溫度(CTAT)特性互補的特性。因此，流過多晶矽電阻器Rb3 的偏壓電流本質上係與絕對溫度(PTAT)式樣成比例。與使用與溫度無關聯的偏壓電流的情況相比，這樣的PTAT偏壓電流受到半導體接面14的青睞，因為電壓Vbe 的轉移函數相對於溫度的非線性應較小。在約25°C時，Vbe 電壓值通常約為0.7 V。可替代地，接面14可以是形成二極體的雙極接面，例如，二極體被植入在與感測器配置10的其他組件所植入的相同或不同的晶片上。
半導體接面14被由多晶矽電阻器Rb3 提供的偏壓電流所偏壓。接面14的電極之一連接到供應端子24，該供應端子24，例如，係接地。
分壓器網路部分18連接在能隙電壓產生器12的輸出23和差分ADC 20的第一輸入25之間。更精確地說，分壓器網路部分18包括兩個電阻器R1 、R2 ，它們在節點26處串聯連接。差分ADC 20的第一輸入25(通常是ADC 20的非反相輸入)連接到節點26。節點26因此向差分ADC 20的第一輸入25提供補償電壓Voff 。第一電阻器R1 連接到能隙電壓產生器12的輸出23，第二電阻器R2 連接到供應端子27，該供應端子27，例如，係接地。
差分ADC 20連接到節點19、26，並提供溫度測量的數位化輸出Dout 。更準確地說，ADC 20的第二輸入28(通常是ADC 20的反相輸入)連接到多晶矽電阻器Rb3 與半導體接面14之間的節點19。
差分ADC 20是，例如，多通道感測器ADC，通常是高分辨率ADC，其輸出可以連接到用於不同應用的微處理器。ADC 20提供的數位化輸出Dout 可以是例如16位元或18位元的數位化輸出。
參考電壓產生器22連接到差分ADC 20的參考端子30。參考電壓產生器22被配置為向差分ADC 20提供參考電壓Vref ，然後後者被參考電壓Vref 偏壓。參考電壓產生器22可以是能隙電壓產生器。參考電壓Vref 是不受溫度影響的電壓。Vref 電壓值通常約為0.7V。
通過這種組態，ADC數位化輸出Dout 可以表示為：
Dout =(Vbe −(R2⁄(R1+R2))∙Vbg )∙2N /Vref ，其中N是ADC分辨率。
在圖3中示出了溫度感測器配置10的第二實施例。圖3中出現的並且與根據第一實施例的感測器配置的那些元件相同或相似的功能和結構元件被分配了相同的元件符號，並且在下文中將不會作進一步詳細的描述。
溫度感測器配置10包括兩個多晶矽電阻器R3 、R5 。具有不同電阻值的兩個電阻器R3 、R5 被配置成透過相應的開關32選擇性地連接至半導體接面14，並連接至能隙電壓產生器12的輸出23。較佳地，配置10可包括額外的開關34A、34B，每個所述的開關34A、34B連接在能隙電壓產生器12的輸出23與多晶矽電阻器R3 、R5 兩者中之一者之間。
在圖3所示的特定實施例中，半導體接面14是，例如，雙極接面電晶體裝置，通常是二極體連接的基底pnp型電晶體。
分壓器網路部分18包括串聯連接的三個電阻器R0 、R1 、R2 。電阻器R0 和R1 在第一節點36處串聯連接。電阻器R1 和R2 在第二節點38處串聯連接。差分ADC 20的第一輸入25(通常是ADC 20本身的非反相輸入)連接到第二節點38。
在這個第二實施例中，溫度感測器配置10不包括任何參考電壓產生器。相反地，差分ADC 20的參考端子30連接到分壓器網路部分18的第一節點36。分壓器網路部分18由此向差分ADC 20提供參考電壓Vref ，所述參考電壓Vref 為輸出電壓Vbg 的一小部分。在未在圖式上示出的替代實施例中，參考電壓Vref 可以是輸出電壓Vbg 。
溫度感測器配置10的所述第二實施例允許克服半導體接面14的可變性。
在圖4中示出了溫度感測器配置10的第三實施例。圖4中出現的並且與根據第一和第二實施例的感測器配置的那些元件相同或相似的功能和結構元件被分配了相同的元件符號，並且在下文中將不會作進一步詳細的描述。
溫度感測器配置10包括兩個半導體接面14A、14B，兩個對應的多晶矽電阻器R3 、R4 以及用於在每個半導體接面14A、14B與能隙電壓產生器12之間透過多晶矽電阻器R3 、R4 之一的連接和不連接之間選擇性地切換的設備34A、34B。切換設備34A、34B包括，例如，兩個開關34A、34B，每個開關34A、34B連接在能隙電壓產生器12的輸出23和多晶矽電阻器R3 、R4 之一之間。每個多晶矽電阻器R3 、R4 連接在開關34A、34B中的相應的一個與半導體接面14A、14B之一之間。
開關32允許將ADC 20的反相輸入28選擇性地連接到包括第一半導體接面14A和第一多晶矽電阻器R4 的第一電路分支的節點19A，或者連接到包括第二半導體接面14B和第二多晶矽電阻器R3 的第二電路分支的節點19B。
在圖4所示的特定實施例中，能隙電壓產生器12包括斬波放大器40和連接到斬波放大器40的輸出的源極隨耦器輸出級42。如圖4所示，源極隨耦器輸出級42為：例如，電晶體裝置，通常是金屬氧化物半導體場效應電晶體(MOSFET)，其對分壓器網路部分18的電阻器R0 、R1 、R2 和多晶矽電阻器R3 、R4 偏壓。多晶矽電阻器R3 、R4 分別經由開關34A、34B連接至源極隨耦器輸出級42的輸出23。在未在圖式中示出的替代實施例中，多晶矽電阻器R3 、R4 分別經由開關34A、34B連接至斬波放大器40的輸出。
第一半導體接面14A是，例如，雙極接面電晶體裝置，通常是二極體連接的基底pnp型電晶體。第二半導體接面14B是，例如，二極體。較佳地，溫度感測器配置10包括晶片，以及能隙電壓產生器12，多晶矽電阻器R3 、R4 兩者、切換設備32、34A、34B以及雙極接面電晶體裝置14A均被植入在晶片上。二極體14B被植入到另一個單獨的晶片上。此另一個單獨的晶片可以是要進行溫度補償的MEMS感測器的晶片，例如壓力感測器或濕度感測器。在溫度感測器配置10的這個第三實施例中，多晶矽電阻器R3 、R4 用於偏壓靠近要進行溫度補償的MEMS感測器的二極體14B，或者偏壓用於測試或其他溫度感測應用的雙極接面電晶體裝置14A。選擇要完成偏壓的半導體接面14A、14B的決定可以是，例如，出於暫存器位元。
圖5是比較圖1的現有技術之溫度感測器配置1中的輸出閃爍雜訊(當Ib中的閃爍雜訊沒有被有意地降低時)和圖2的溫度感測器配置10中的輸出閃爍雜訊的簡圖。第一曲線44示出了現有技術之溫度感測器配置1中的閃爍雜訊的強度的變化，以作為頻率的函數。第二曲線46示出了根據本發明的溫度感測器配置10中的閃爍雜訊的強度的變化，以作為頻率的函數。顯然，由於根據本發明的溫度感測器配置10，顯著地降低了閃爍雜訊。例如，在1mHz的頻率下，在現有技術的溫度感測器配置1中，閃爍雜訊的強度為58μV/sqrt(Hz)，而在根據本發明的溫度感測器配置10中僅為1μV/sqrt(Hz)。
在申請專利範圍中，詞語“包括”不排除其他元件或步驟。在互不相同的附屬請求項中或在不同的實施例中記載了不同特徵的單純事實並不表示不能有利地使用這些特徵的組合。申請專利範圍中的任何元件符號都不應被解釋為限制本發明的範圍。
1:已知的感測器電路 Ib:電流源 2:雙極半導體接面 4:ADC 6:參考電壓產生器 8:能隙電壓產生器 Voff:補償電壓 Vref:參考電壓 Vbe:產生的電壓 Vbg:輸出電壓 R0,R1,R2:電阻器 10:溫度感測器配置 12:能隙電壓產生器 14,14A,14B:半導體接面 18:分壓器網路部分 19,26:節點 20:差分ADC 22:參考電壓產生器 23:輸出 24,27:供應端子 25:第一輸入 28:第二輸入 30:參考端子 Rb3,R3,R4,R5:多晶矽電阻 Dout:數位化輸出 32:開關 34A,34B:切換設備 36:第一節點 38:第二節點 19A:第一電路分支的節點 19B:第二電路分支的節點 40:斬波放大器 42:源極隨耦器輸出級 44:第一曲線 46:第二曲線
參照所附圖式，在以下非限制性實施例的描述中，溫度感測器配置的其他特徵和優點將變得更加清楚，其中：
-[圖1]示意性地示出了根據現有技術的溫度感測器配置；
-[圖2]示意性地示出了根據本發明的溫度感測器配置的第一實施例；
-[圖3]示意性地示出了根據本發明的溫度感測器配置的第二實施例；
-[圖4]示意性地示出了根據本發明的溫度感測器配置的第三實施例；以及
-[圖5]是比較圖1的現有技術之溫度感測器配置中的輸出閃爍雜訊和圖2的溫度感測器配置中的輸出閃爍雜訊的簡圖。
10:溫度感測器配置
12:能隙電壓產生器
14:半導體接面
18:分壓器網路部分
19,26:節點
20:差分ADC
22:參考電壓產生器
23:輸出
24,27:供應端子
25:第一輸入
28:第二輸入
30:參考端子
Dout:數位化輸出
R1,R2:電阻器
Rb3:多晶矽電阻
Vbe:產生的電壓
Vbg:輸出電壓
Voff:補償電壓
Vref:參考電壓

Claims (17)

  1. 一種溫度感測器配置(10)包括： －能隙電壓產生器(12)，被配置以提供輸出電壓(Vbg )； －至少一個用於溫度感測的半導體接面(14；14A，14B)，其被流過該半導體接面(14；14A，14B)的偏壓電流所偏壓； 其中，該溫度感測器配置(10)還包括至少一個多晶矽電阻器(Rb3 ；R3 ，R5 ；R4 )，其連接在該能隙電壓產生器(12)的輸出(23)和該半導體接面(14；14A，14B)之間，從而向該半導體接面(14；14A，14B)提供從該能隙電壓產生器(12)來的該偏壓電流。
  2. 如請求項1之溫度感測器配置(10)，其中，該半導體接面(14；14A)或其中之至少一者為雙極接面電晶體裝置。
  3. 如請求項1之溫度感測器配置(10)，其中，該半導體接面(14；14B)或其中之至少一者為形成二極體的雙極接面。
  4. 如請求項1之溫度感測器配置(10)，其中，該多晶矽電阻器(Rb3 ；R3 ，R5 ；R4 )或其中之至少一者為植入的多晶矽電阻器。
  5. 如請求項4之溫度感測器配置(10)，其中，該多晶矽電阻器(Rb3 ；R3 ，R5 ；R4 )具有電阻值從20kΩ至25kΩ的範圍內。
  6. 如請求項1之溫度感測器配置(10)，其中，該多晶矽電阻器(Rb3 ；R3 ，R5 ；R4 )或其中之至少一者為p+型植入的多晶矽電阻器。
  7. 如請求項1之溫度感測器配置(10)，其中，該能隙電壓產生器(12)包括斬波放大器(40)。
  8. 如請求項7之溫度感測器配置(10)，其中，該多晶矽電阻器(Rb3 ；R3 ，R5 ；R4 )或其之各者連接至該斬波放大器(40)的輸出。
  9. 根據請求項7之溫度感測器配置(10)，其中，該能隙電壓產生器(12)還包括連接到該斬波放大器(40)的輸出的源極隨耦器輸出級(42)，該多晶矽電阻器(Rb3 ；R3 ，R5 ；R4 )或其之各者係連接於該源極隨耦器輸出級(42)的輸出(23)。
  10. 如請求項1之溫度感測器配置(10)，其中，該溫度感測器配置(10)還包括類比數位轉換器(20)，其連接至介於該多晶矽電阻器(Rb3 ；R3 ，R5 ；R4 )和該半導體接面(14；14A，14B)之間的節點(19；19A，19B)， 以用於提供溫度測量的數位化輸出(Dout )。
  11. 如請求項10之溫度感測器配置(10)，其中，該類比數位轉換器(20)為差分類比數位轉換器，該類比數位轉換器(20)的第一輸入(25)係透過至少一個中間元件(18)連接至該能隙電壓產生器(12)的輸出(23)，該類比數位轉換器(20)的第二輸入(28)係連接至該節點(19；19A，19B)。
  12. 如請求項11之溫度感測器配置(10)，其中，該溫度感測器配置(10)還包括分壓器網路部分(18)，該分壓器網路部分(18)連接在該能隙電壓產生器(12)的輸出(23)和該差分類比數位轉換器(20)的該第一輸入(25)之間。
  13. 如請求項11之溫度感測器配置(10)，其中，該溫度感測器配置(10)還包括參考電壓產生器(22)，其連接到該差分類比數位轉換器(20)的參考端子(30)，並且該參考電壓產生器(22)被配置為向該差分類比數位轉換器(20)提供參考電壓(Vref )。
  14. 如請求項12之溫度感測器配置(10)，其中，該差分類比數位轉換器(20)具有連接到該分壓器網路部分(18)的節點(36)的參考端子(30)，該分壓器網路部分(18)從而向該差分類比數位轉換器(20)提供參考電壓(Vref )。
  15. 如請求項1之溫度感測器配置(10)，其中，該溫度感測器配置(10)包括兩個半導體接面(14A、14B)、兩個對應的多晶矽電阻器(R3 、R4 )以及用於在每個該半導體接面(14A、14B)與該能隙電壓產生器(12)之間透過該多晶矽電阻器(R3 、R4 )之一者在連接和不連接之間選擇性地切換的設備(34A、34B)，該半導體接面的第一個(14A)為雙極接面電晶體裝置，該半導體接面的第二個(14B)為二極體。
  16. 如請求項15之溫度感測器配置(10)，其中，該溫度感測器配置(10)還包括晶片，該能隙電壓產生器(12)、該多晶矽電阻器(R3 、R4 )兩者、該切換設備(34A、34B)以及該雙極接面電晶體裝置(14A)被植入在該晶片上，該二極體(14B)被植入到另一個單獨的晶片上。
  17. 如請求項1之溫度感測器配置(10)，其中，該溫度感測器配置(10)包括兩個多晶矽電阻器(R3 、R5 )，其透過相應的開關(32、34A、34B)選擇性地連接至該半導體接面(14)，並連接至該能隙電壓產生器(12)的輸出(23)。
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