TW201935637A - 圓弧型加熱帶及加熱帶包覆方法 - Google Patents
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Abstract
一種圓弧型加熱帶，係用來包覆管路並保持前述管路之溫度，其包含：圓弧型帶體；加熱絲，其係分布於前述圓弧型帶體中；及固定裝置，其係用來將前述圓弧型帶體固定至前述管路上。藉由上述特徵，當以該圓弧型加熱帶包覆管路時，能與管路緊密接觸，達到均勻的溫度分布，同時也能適用於管路彎曲處，增加其通用性。
Description
本發明係關於一種圓弧型加熱帶，特別是關於應用於半導體設備管路上之圓弧型加熱帶及加熱帶包覆方法。
在半導體鍍膜工藝過程中，有多種氣體透過管路通入腔室。為避免氣體冷凝，需要對氣體管路進行加熱以保持溫度。
現有的加熱帶，如以第一圖所示之習知纏繞式加熱帶，則會因為纏繞的方式不同，而無法有均勻的加熱效果。此外，以此方法纏繞時，纏繞式加熱帶11不能與管路12緊密接觸，在包覆管路12時會產生間隙，從而產生熱區13（Hot Spot）和冷區14（Cold Spot）的受熱不均現象，同時對於管路彎曲處更是無法妥善的包覆。而如以第二圖所示之習知加熱套21（Heater Jacket），則會需要按管路22的尺寸設計訂做，使得其泛用性較差，且也無法隨管路調整彎曲角度。
有鑑於此，本發明的目的在於提供一種圓弧型加熱帶，當其包覆管路時，能與管路緊密接觸，達到均勻的溫度分布，同時也能適用於管路彎曲處，增加其通用性。
本發明提供一種圓弧型加熱帶，係用來包覆管路並保持前述管路之溫度，其包含：圓弧型帶體；加熱絲，其係分布於前述圓弧型帶體中；及固定裝置，其係用來將前述圓弧型帶體固定至前述管路上。
較佳地，前述圓弧型帶體的前述長度方向係與前述管路的前述軸向平行。較佳地，其中前述加熱絲係以彼此並聯的方式電氣連接。較佳地，前述加熱絲係沿前述圓弧型帶體所環繞的周方向饒曲。較佳地，前述圓弧型加熱帶進一步包含溫度感測器，其係用來量測前述加熱帶的溫度資訊。
本發明另提供一種加熱帶包覆方法，其中包含：使用圓弧型加熱帶；將前述圓弧型帶體以其長度方向沿前述管路的軸向的方式，包覆前述管路；及用前述固定裝置將前述圓弧型帶體固定至前述管路。
較佳地，前述圓弧型帶體的前述長度方向係與前述管路的前述軸向平行。較佳地，其中前述加熱絲係以彼此並聯的方式電氣連接。較佳地，前述加熱絲係沿前述圓弧型帶體所環繞的周方向饒曲。較佳地，前述圓弧型加熱帶進一步包含溫度感測器，其係用來量測前述加熱帶的溫度資訊。
藉由上述發明，可使圓弧型加熱帶充分地包覆管路，使管路均勻地受熱。此外，藉由圓弧型的設計，於管路彎曲處更能隨之調整包覆方式，增加其泛用性。
為利於本發明之技術特徵、內容與優點及其所能達成之功效，茲將本發明配合附圖，並以實施例之表達形式詳細說明如下，而其中所使用之圖式，其主旨僅為示意及輔助說明書之用，不受限於圖式及樣式，未必為本發明實施後之真實比例與精準配置，故不應就所附之圖式的比例與配置關係解讀、侷限本發明於實際實施上的權利範圍，合先敘明。
本發明所述「圓弧型加熱帶」，係指其包覆於管路後，其截面呈現半圓形之加熱帶。所謂「半圓形」係指圓弧型加熱帶包覆管路時，其繞管路之圓周角為90°～270°，較佳為110°～120°，較佳為170°～180°。
本發明所述「圓弧型帶體」，係為具有一定饒曲性之帶狀物體，可以是自由狀態時截面即呈現圓弧型，亦可以是包覆狀態時截面呈現圓弧型。其材質可係選自矽膠及玻璃纖維材質或其任意組成，但不以此為限。
本發明所述「加熱絲」，具體可由電阻絲、鎳洛合金絲或其任意組成所構成，但不以此為限。本發明所述「熱電耦」，可依所需溫度精度的需求，採用市面上可用之任何型號即可，不限定為特定型號。
本發明所述「長度方向」，係指與半圓型帶體的截面垂直的方向。本發明所述「管路的軸向」，係指管路的中心軸延伸的方向。
［第一實施例］
請參考第三圖。第三圖所示係本發明第一實施例之圓弧型加熱帶31之立體圖。圓弧型加熱帶31係由圓弧型帶體311、及固定裝置312所構成。如圖所示，圓弧型帶體311係為截面為半圓形的長片材，其內側圓弧的半徑係大致等於管路32的外徑，且圓弧型帶體311繞管路32的圓周角為180°。固定裝置312則為C形固定裝置，係由金屬所構成，其內側圓弧長係略小於圓弧型帶體311的外側弧長，藉此卡合圓弧型帶體311。使用時，係以圓弧型帶體311的長度方向A沿管路32的軸向B的方式，包覆於管路32上，再用固定裝置312從圓弧型帶體311的外側，卡合圓弧型帶體311使其固定於管路32上。
請參考第四圖。第四圖係本發明第一實施例之圓弧型帶體311的透視圖。圓弧型帶體311中，複數個加熱絲313係以彼此平行的方式，沿著圓弧型帶體311的長邊方向A上等間距的配置。隨著圓弧型帶體311的所環繞的弧度，加熱絲313係沿圓弧型帶體311所環繞的周方向饒曲。另外，導線314係沿圓弧型帶體的長度方向A設置，複數個加熱絲313的兩端分別電氣連接至導線314，使得複數個加熱絲313可以彼此並聯的方式電氣連接。
請參考第五A圖及第五B圖。第五A圖係本發明第一實施例之半圓型帶體311包覆於管路32後與長度方向A垂直的截面圖，第五B圖係本發明第一實施例之半圓型帶體311包覆於管路32後沿長度方向A的縱剖面圖。如圖所示，管路32上另外設有熱電耦33，其係配置在加熱絲313的附近，且外接到具有顯示和控制功能的溫度控制器上（圖未示），用來感測及控制管路32的溫度，防止溫度低於或高於設定溫度。使用時，將當將圓弧型加熱帶31固定至管路32後，外側再以保溫棉34包裹，增加保熱性。藉由導線314供電至加熱絲313使其產生熱能，並藉由管路32上的熱電偶33來監控管路32的溫度。當溫度低於所希望的溫度時，溫度控制器控制使電流流過加熱絲313而加熱。當溫度超過所希望的溫度時，溫度控制器控制使電流不再流過加熱絲313。
藉由本發明之圓弧型加熱帶，由於係以圓弧型帶體311包覆管路32，故對於管路32的加熱會更均勻，不會產生熱區或冷區。此外，由於複數個加熱絲313係以彼此平行的方式，電氣性地並聯設置，故圓弧型帶體311的長度可根據管路32的長短進行裁切，而不會影響到其使用的功能，可進一步方便應用於不同長度的管路。
請參考第六圖。第六圖所示係第一實施例之圓弧型帶體311包覆於彎折管路的立體圖。如圖所示，將本發明之圓弧型帶體311包至具彎折處612的管路61時，圓弧型帶體311繞過彎折處612時，可以其長度方向C相對於管路61的軸向D為傾斜的方式，包覆管路61。如此一來，即可克服彎折處612所造成的內外周長差，使圓弧型帶體311得以完整的包覆彎折處612，而能夠增加圓弧型帶體311的泛用性。
［第二實施例］
請參考第七圖。第七圖所示係本發明第二實施例之圓弧型加熱帶71之立體圖。與第一實施例相同，圓弧型加熱帶71係由圓弧型帶體711、及固定裝置712所構成。如圖所示，圓弧型帶體711係為截面為圓弧型的長片材，其內側圓弧的半徑係大致等於管路72的外徑，且圓弧型帶體711繞管路72的圓周角為120°。固定裝置712則為C形固定裝置，係由金屬所構成，其內側圓弧長係略小於圓弧型帶體711的外側弧長，藉此卡合圓弧型帶體711。使用時，係以圓弧型帶體711的長度方向A沿管路72的軸向B的方式，包覆於管路72上，再用固定裝置712從圓弧型帶體711的外側，卡合圓弧型帶體711使其固定於管路72上。其於關於第二實施例之內部結構，均與第一實施例相同，茲此不再贅述。
藉由本發明之圓弧型加熱帶，由於係以圓弧型帶體711包覆管路72，故對於管路72的加熱會更均勻，不會產生熱區或冷區。與第一實施例相比，其藉由3個圓弧型帶體711來共同包覆管路72，使得能更適合應用於不同的管路外徑與彎曲的狀況。此外，藉由分別控制3個圓弧形帶體711，可達到更分散式的加熱，而能夠使加熱變得更為均勻。
11‧‧‧纏繞式加熱帶
12‧‧‧管路
13‧‧‧熱區
14‧‧‧冷區
21‧‧‧加熱套
22‧‧‧管路
31‧‧‧圓弧型加熱帶
311‧‧‧圓弧型帶體
312‧‧‧固定裝置
313‧‧‧加熱絲
314‧‧‧導線
32‧‧‧管路
33‧‧‧熱電耦
34‧‧‧保溫棉
61‧‧‧管路
612‧‧‧彎折處
71‧‧‧圓弧型加熱帶
711‧‧‧圓弧型帶體
712‧‧‧固定裝置
714‧‧‧導線
72‧‧‧管路
A‧‧‧長度方向
B‧‧‧軸向
C‧‧‧長度方向
D‧‧‧軸向
第一圖所示為習知纏繞式加熱帶之立體圖。
第二圖所示為習知加熱套之立體圖。
第三圖所示為本發明第一實施例之圓弧型加熱帶立體圖。
第四圖所示為本發明第一實施例之圓弧型帶體透視圖。
第五A圖所示為本發明第一實施例之半圓型帶體包覆於管路後與長度方向垂直的截面圖。
第五B圖所示為本發明第一實施例之半圓型帶體包覆於管路後沿長度方向的縱頗面圖。
第六圖所示為本發明第一實施例之圓弧型帶體包覆於彎折管路的立體圖。
第七圖所示為本發明第二實施例之圓弧型加熱帶立體圖。
Claims (10)
- 一種圓弧型加熱帶，係用來包覆管路並保持前述管路之溫度，其包含： 圓弧型帶體； 加熱絲，其係分布於前述圓弧型帶體中；及 固定裝置，其係用來將前述圓弧型帶體固定至前述管路上。
- 如申請專利範圍第1項所述之圓弧型加熱帶，其中前述圓弧型帶體的截面為半圓形。
- 如申請專利範圍第1項所述之圓弧型加熱帶，其中前述加熱絲係以彼此並聯的方式電氣連接。
- 如申請專利範圍第1項所述之圓弧型加熱帶，其中前述加熱絲係沿前述圓弧型帶體所環繞的周方向饒曲。
- 如申請專利範圍第1項所述之圓弧型加熱帶，其中進一步包含熱電偶，其係用來檢測前述管路的溫度。
- 一種加熱帶包覆方法，其中包含： 使用如申請專利範圍第1項之圓弧型加熱帶； 將前述圓弧型帶體以其長度方向沿前述管路的軸向的方式，包覆前述管路；及 用前述固定裝置將前述圓弧型帶體固定至前述管路。
- 如申請專利範圍第6項所述之加熱帶包覆方法，其中前述圓弧型帶體的前述長度方向係與前述管路的前述軸向平行。
- 如申請專利範圍第6項所述之加熱帶包覆方法，其中前述加熱絲係以彼此並聯的方式電氣連接。
- 如申請專利範圍第8項所述之加熱帶包覆方法，其中前述加熱絲係沿前述圓弧型帶體所環繞的周方向饒曲。
- 如申請專利範圍第6項所述之加熱帶包覆方法，其中進一步包含溫度感測器，其係用來量測前述加熱帶的溫度資訊。
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| CN103453272B (zh) * | 2013-09-12 | 2015-07-15 | 扬中市金元化工电力设备厂 | 一种管道用加热装置 |
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| CN205007391U (zh) * | 2015-09-25 | 2016-02-03 | 深圳沃麦德科技有限公司 | 一种用于输液管末端加热的加热器 |
| CN106367732B (zh) * | 2016-09-22 | 2018-11-06 | 四川大学 | 一种中温金属有机化学气相沉积TiO2-Al2O3复合涂层装置及涂覆方法 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI793475B (zh) * | 2019-12-04 | 2023-02-21 | 大陸商拓荊科技股份有限公司 | 具有加熱裝置的溫度控制噴淋元件 |
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