TW201916428A - 有機發光二極體的製備裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種有機發光二極體的製備裝置，其包括：一蒸發裝置、一蒸鍍裝置、一導管和一真空泵；所述蒸發裝置包括一蒸發室和一第一加熱裝置；所述第一加熱裝置用於加熱所述蒸發室，使設置於該蒸發室內的蒸發源材料蒸發；所述蒸鍍裝置包括一蒸鍍室、一噴頭和一載物台；該蒸發室藉由該導管與一設置於該蒸鍍室內的噴頭連接；該噴頭包括一噴頭本體和一噴嘴，該噴頭本體具有相對的第一表面和第二表面，該第一表面設置一開口，該開口與該導管的排氣端連接，該第二表面為一開口結構，該噴嘴設置於該開口結構處，該噴嘴包括複數個間隔設置的通孔；該載物台設置於該蒸鍍室內；該真空泵與該蒸鍍室連接，用於維持製備裝置的真空度。

Description

有機發光二極體的製備裝置
本發明涉及一種有機發光二極體的製備裝置。
有機發光二極體（organic light emitting diode，OLED）是一種發光層由有機複合物構成的發光二極體。作為一種高效的發光源，其具有重量輕、厚度薄、多色彩、低製造成本等諸多特點。現有的OLED的製備方法包括蒸鍍法和溶液法。然而現有的OLED蒸鍍裝置中，採用蒸鍍法設置有機發光層時，由於氣態蒸鍍材料會向各個方向擴散，使得蒸鍍裝置的內壁上亦沉積部分有機發光層，造成材料浪費，成本上升。
有鑒於此，確有必要提供一種能夠使蒸發源得到充分利用的有機發光二極體的製備裝置。
一種有機發光二極體的製備裝置，其包括：一蒸發裝置、一蒸鍍裝置、一導管和一真空泵；所述蒸發裝置包括一蒸發室和一第一加熱裝置；所述第一加熱裝置用於加熱所述蒸發室，使設置於該蒸發室內的蒸發源材料蒸發；所述蒸鍍裝置包括一蒸鍍室、一噴頭和一載物台；所述蒸發室藉由所述導管與設置於所述蒸鍍室內的噴頭連接；所述噴頭包括一噴頭本體和一噴嘴，所述噴頭本體具有相對的第一表面和第二表面，第一表面設置一開口，該開口與所述導管的排氣端連接，所述第二表面為一開口結構，所述噴嘴設置於所述開口結構處，所述噴嘴包括複數個間隔設置的通孔；所述載物台設置於所述蒸鍍室內；所述真空泵與所述蒸鍍室連接，用於維持製備裝置的真空度。
相較於現有技術，本發明提供的有機發光二極體的製備方法中所使用的製備裝置將蒸發室和蒸鍍室分開設置，並藉由導管導通，由於導管和噴頭把所述有機發光層源材料產生的氣體直接引導至被沉積待鍍面，是以，一方面可以使得材料得到充分的利用，約了有機發光層源材料；另一方面，亦可以藉由控制在不同區域處氣體的流速和停留時間，使得不同區域形成的有機發光層厚度均勻。
以下將結合附圖對本發明的有機發光二極體的製備方法和製備裝置作進一步的詳細說明。
請參閱圖1和圖5，本發明第一實施例提供一種有機發光二極體100的製備裝置10，其包括：一蒸發裝置11、一蒸鍍裝置12、一導管13和一真空泵15；所述蒸發裝置11包括一蒸發室111和一第一加熱裝置114；所述第一加熱裝置114用於加熱所述蒸發室111，使設置於該蒸發室111內的有機發光層源材料116蒸發；所述蒸鍍裝置12包括一蒸鍍室121、一噴頭122和一載物台129；所述蒸發室111藉由所述導管13與所述蒸鍍室121導通；所述噴頭122設置於所述蒸鍍室121內，所述噴頭122包括一噴頭本體123和一噴嘴124，所述噴頭本體123具有相對的第一表面1231和第二表面1233，第一表面1231設置一開口1232，該開口1232與所述導管13的排氣端131連接，所述第二表面1233為一開口結構，所述噴嘴124設置於所述開口結構處，所述噴嘴124包括複數個間隔設置的通孔127；所述載物台129設置於所述蒸鍍室121內，並與所述通孔127相對且間隔設置；所述真空泵15與所述蒸鍍室121連接，用於維持製備裝置10的真空度。
所述蒸發裝置11用於向所述蒸鍍裝置12提供待鍍氣體。該蒸發裝置11包括一蒸發室111，該蒸發室111內設置有機發光層源材料116。可以理解，該蒸發室111內亦可以設置空穴傳輸層源材料、空穴注入層源材料、電子注入層源材料或電子傳輸層源材料。本發明第一實施例中，所述蒸發室111內僅設置一有機發光層源材料116。所述有機發光層源材料116可以為製備各種顏色的有機發光層160的有機發光層源材料116。
所述第一加熱裝置114對所述蒸發室111內的有機發光層源材料116進行加熱。所述第一加熱裝置114與所述蒸發室111可以接觸設置，亦可以間隔設置。本發明第一實施例中，所述第一加熱裝置114與所述蒸發室111間隔設置。所述第一加熱裝置114可以為一電磁爐或電熱套等，所述蒸發室111設置於該電磁爐上或設置於該電熱套內。當對所述電磁爐或電熱套輸入電信號，所述電磁爐或電熱套可以加熱所述蒸發室111，使有機發光層源材料116蒸發。
所述導管13用於將所述蒸發室111內的有機發光層源材料116產生的氣體導入到所述蒸鍍裝置12內，藉由噴頭122沉積到待鍍第一電極140的表面。所述導管13的排氣端131進一步包括一閥門16，用於控制導管13內氣體的排放。此外，所述導管13靠近所述蒸發室111的一側的一導氣端130亦可以進一步包括一閥門16，便於控制蒸發室111內的氣體進入所述導管13。
所述噴頭本體123具有相對的第一表面1231和第二表面1233，所述第一表面1231設置一開口1232，該開口1232與所述導管13的排氣端131連接。具體地，參見圖2，所述開口1232處進一步包括一連接端口126，所述導管13的排氣端131延伸到所述連接端口126內或套在連接端口126上，該連接端口126將所述導管13的排氣端131卡緊。所述連接端口126與所述導管13的排氣端131可拆卸連接，方便更換導管13或噴頭122。所述導管13的排氣端131的端面133可以與所述噴頭122的第一表面1231在同一平面，亦可以延伸到噴頭122內。本發明第一實施例中，所述導管13的排氣端131的端面133與所述第一表面1231在同一平面。
所述噴頭本體123的第二表面1233為一開口結構，所述噴嘴124設置於所述開口結構處。所述噴嘴124包括複數個間隔設置的通孔127。參見圖3，所述複數個通孔127可以按照一定規律排列成相同或不同的圖案。由於有機發光層源材料116蒸發產生的氣體只能從所述圖案化的通孔127藉由，並到達該待蒸鍍第一電極140的表面，在該待蒸鍍第一電極的表面與該圖案化的通孔127對應的局部位置形成有機發光層160，從而使該有機發光層160圖案化。該圖案化的有機發光層160的圖案與該圖案化通孔127的圖案對應。
所述噴嘴124與所述噴頭本體123可以拆卸連接，方便更換噴嘴124，由於所述噴嘴124包括不同排列方式的通孔127，是以藉由更換噴嘴124可以製備不同圖案的有機發光層160。所述噴嘴124與所述噴頭本體123可以一體成型。本發明第一實施例中所述噴頭本體123與所述噴嘴124為一體結構。
所述載物台129用於支撐待鍍物體。所述載物台129可以在蒸鍍室121內移動。具體地，所述蒸鍍裝置12進一步包括一控制元件（圖未示），用於控制載物台129移動，進而使所述第一電極140及基底120在所述蒸鍍室121內移動。
所述真空泵15藉由一閥門16控制其開關，真空泵15能夠持續工作，維持一定的真空度。一方面可以避免製備裝置中存在O2 ，從而導致所述有機發光層源材料116產生的有機小分子氣體氧化；另一方面，由於蒸鍍室121內的壓力低，可以使所述蒸發室111內的有機小分子氣體自發的藉由所述導管13到達所述蒸鍍室121內。
請一併參見圖4-5，藉由本發明第一實施例提供的製備裝置10製備有機發光二極體100的方法包括以下步驟： S1，提供一基底120，在該基底120的表面形成一第一電極140； S2，將所述第一電極140及基底120設置於所述蒸鍍室121內的載物台129上，所述第一電極140遠離基底120的表面與所述噴嘴124相對且間隔設置； S3，打開真空泵15，對所述蒸鍍室121抽真空，並維持一定的真空度； S4，所述第一加熱裝置114加熱所述蒸發室111，使所述有機發光層源材料116蒸發；所述蒸發室111內的氣體被所述導管13引導至噴頭122，並藉由該噴頭122沉積到所述第一電極140上形成有機發光層160；以及 S5，在該有機發光層160上形成第二電極180。
在步驟S1中，所述第一電極140為絕緣的硬質第一電極140或柔性第一電極140，所述第一電極140及第二電極180均為導電層。當該有機發光二極體100的出光面為該第一電極140的一側時，該基底120為透明基底120，如玻璃基底120、石英基底120或塑膠基底120。所述第一電極140為透明導電層或多孔網狀結構，如ITO層、FTO層或奈米碳管膜。所述第二電極180為透明或不透明的導電層或多孔網狀結構，如金屬薄膜、金屬網、ITO層、FTO層或奈米碳管膜。當該有機發光二極體100的出光面為所述第二電極180的一側時，所述第一電極140可以為不透明第一電極140。所述第二電極180為透明導電層或多孔網狀結構。所述第一電極140為透明或不透明的導電層或多孔網狀結構。該第一電極140及第二電極180均可藉由現有的蒸鍍、濺射、塗覆或鋪設等方法製備。
在步驟S2中，所述噴頭122的複數個通孔127與第一電極140的表面相對且間隔設置。該第一電極140的表面各處均與所述噴頭122的噴嘴124保持基本相等的間隔，即該噴頭122的噴嘴124基本平行於該第一電極140的表面。
在步驟S3中，對所述蒸鍍室121抽真空的步驟在有機發光層源材料116蒸發之前，且保持所述蒸鍍室121和蒸發室111連通進行，一方面可以避免製備裝置中存在O2 從而導致所述有機發光層源材料116產生的有機小分子氣體氧化；另一方面，由於蒸鍍室121內的壓力低，可以在後續步驟中使蒸發室111的有機小分子氣體會自發的藉由所述導管13到達所述蒸鍍裝置12內。
具體地，所述真空泵15藉由一閥門16控制其開關。抽真空時，打開所述真空泵的閥門16，抽走製備裝置10內的空氣，並維持一定的真空度。
在步驟S4中，加熱所述有機發光層源材料116前，先關閉導管13的排氣端131一側的閥門16，等所述導管13內的有機小分子氣體達到一定壓力時，再打開所述排氣端131一側的閥門16。
打開排氣端131的閥門16後，使噴出的有機小分子氣體保持固定的流速，並沉積固定的時間；然後關閉閥門16，移動所述載物台129，再打開閥門16，以相同的流速沉積相同的時間。如是可以使有機發光層160的厚度均勻。
所述有機發光層源材料116為該有機發光層160的材料或者用於形成該有機發光層160的前驅體，該前驅體在蒸鍍的過程中反應生成該有機發光層160的材料。
該有機發光層160為具有高量子效率、良好的半導體性、成膜性以及熱穩定性的高分子聚合物或小分子有機化合物。所述高分子聚合物通常是導電共軛聚合物或半導體共軛聚合物。所述小分子有機化合物主要為有機染料，其具有化學修飾性強、選擇範圍廣、易於提純以及量子效率高等特性。所述小分子有機化合物可以為的紅光材料、綠光材料和藍光材料中一種或多種。該有機發光層160的材料及該有機發光層源材料116不限於前述材料，只要是在相同條件下氣化溫度低於奈米碳管的氣化溫度，且在蒸鍍過程中不與碳反應的有機半導體發光材料即可。本發明第一實施例中，所述有機發光層源材料116為小分子有機化合物。
所述有機發光層源材料116設置於所述蒸發室111內，給所述第一加熱裝置114輸入電信號，所述有機發光層源材料116受熱蒸發產生的有機小分子氣體進入到所述導管13內，並到達所述噴頭122內，該噴頭122內的氣體沉積到所述第一電極140上，在該第一電極140上形成有機發光層160。具體地，所述有機發光層源材料116蒸發產生的有機小分子氣體進入所述導管13，並擴散至噴頭122內，沉積在該第一電極140的表面。由於導管13和噴頭122把所述有機發光層源材料116產生的有機小分子氣體直接引導至被沉積基底120第一電極140的表面，是以，一方面可以使得材料得到充分的利用，另一方面，亦可以藉由控制在不同區域處氣體的流速和停留時間，使得不同區域形成的有機發光層160厚度均勻。參見圖5，本發明第一實施例製備的有機發光二極體100。
所述有機發光二極體100的製備方法可進一步包括在該步驟S4之前在該第一電極140表面預先形成空穴注入層和/或空穴傳輸層的步驟。
所述有機發光二極體100的製備方法在該步驟S4之後及S5之前，可進一步包括在該有機發光層160表面形成電子傳輸層和/或電子注入層的步驟。
所述空穴注入層、空穴傳輸層、電子傳輸層及電子注入層為可選擇結構，即所述有機發光二極體100可以包括所述空穴注入層、空穴傳輸層、電子傳輸層和電子注入層的一種或幾種。
所述空穴注入層、空穴傳輸層、電子傳輸層和電子注入層亦可以採用所述製備裝置10和方法製備。可以理解，藉由改變所述蒸發源材料的種類，以及多次重複該步驟S4，可以在該第一電極140上形成其他需要的有機材料層。優選地，所述製備裝置10亦可以包括複數個蒸發裝置11和複數個噴頭122，分別用於形成不同的功能層。
參見圖6，本發明第二實施例提供的有機發光二極體100的製備裝置20，其包括：一蒸發裝置11、一蒸鍍裝置12、一導管13和一真空泵15；所述蒸發裝置11包括一蒸發室111和一第一加熱裝置114；所述蒸發室111與所述第一加熱裝置114接觸設置，所述蒸發室111由一內襯112和一外殼113組成，所述第一加熱裝置114包括至少一電熱絲115，該電熱絲115纏繞於所述內襯112靠近外殼113的一側；所述蒸鍍裝置12包括一蒸鍍室121、一噴頭122和一載物台129；所述蒸發室111藉由所述導管13與所述蒸鍍室121導通；所述噴頭122設置於所述蒸鍍室121內，所述噴頭122包括一噴頭本體123和一噴嘴124，所述噴頭本體123具有相對的第一表面1231和第二表面1233，第一表面1231設置一開口1232，該開口1232與所述導管13的排氣端131連接，所述第二表面1233為一開口結構，所述噴嘴124設置於所述開口結構處，所述噴嘴124包括複數個間隔設置的通孔127；所述載物台129設置於所述蒸鍍室121內，並與所述噴嘴124相對且間隔設置；所述真空泵15與所述蒸鍍室121連接，用於維持製備裝置20的真空度。
本發明第二實施例所提供的有機發光二極體100的製備裝置20與本發明第一實施例所提供的有機發光二極體100的製備裝置10基本相同，其不同之處在於本發明第二實施例所述製備裝置20中所述第一加熱裝置114與所述蒸發室111接觸設置。具體地，所述蒸發室111由一內襯112和一外殼113組成，所述第一加熱裝置114包括至少一電熱絲115，該電熱絲115設置於所述內襯112和外殼113之間並纏繞於所述內襯112的外表面，向所述電熱絲115通入電信號，使所述有機發光層源材料116被加熱蒸發。所述外殼113可以與內襯112間隔設置，用於對所述內襯112進行保溫。這種加熱方式可以使有機發光層源材料116受熱均勻，而且藉由改變輸入的電信號可以調節加熱溫度。此外，這種加熱方式可以避免蒸發室111受熱不不均勻，導致部分氣體凝結到溫度較低的所述蒸發室111的內壁上，進而可以節約有機發光層源材料116。所述電熱絲115的材料可以為金屬絲，如鉻鎳合金絲、銅絲、鉬絲或鎢絲等，亦可以為奈米碳管結構或石墨烯等。
藉由本發明第二實施例提供的製備裝置20製備有機發光二極體100的方法與本發明第一實施例所提供的有機發光二極體100的製備方法基本相同，其不同之處在於，加熱方式不同。本發明第二實施例提供的有機發光二極體100的製備方法的加熱方式可以使有機發光層源材料116受熱均勻，而且藉由改變輸入的電信號可以調節加熱溫度。
參見圖7，本發明第三實施例提供一種有機發光二極體100的製備裝置30，其包括：一蒸發裝置11、一蒸鍍裝置12、一導管13、一真空泵15和一第二加熱裝置117；所述蒸發裝置11包括一蒸發室111和一第一加熱裝置114；所述第一加熱裝置114用於加熱所述蒸發室111，使設置於該蒸發室111內的有機發光層源材料116蒸發；所述蒸鍍裝置12包括一蒸鍍室121、一噴頭122和一載物台129；所述蒸發室111藉由所述導管13與所述蒸鍍室121導通；所述噴頭122設置於所述蒸鍍室121內，所述噴頭122包括一噴頭本體123和一噴嘴124，所述噴頭本體123具有相對的第一表面1231和第二表面1233，第一表面1231設置一開口1232，該開口1232與所述導管13的排氣端131連接，所述第二表面1233為一開口結構，所述噴嘴124設置於所述開口結構處，所述噴嘴124包括複數個間隔設置的通孔127；所述載物台129設置於所述蒸鍍室121內，並與所述噴嘴124相對且間隔設置；所述真空泵15與所述蒸鍍室121連接，用於維持製備裝置30的真空度；所述第二加熱裝置117用於加熱所述導管13。
本發明第三實施例所提供的發光二極體的製備裝置30與本發明第一實施所提供的發光二極體的製備裝置10基本相同，其區別在於本發明第三實施例所述製備裝置30中進一步包括一第二加熱裝置117，所述第二加熱裝置117用於對所述導管13內的氣體進行加熱，防止氣體進入所述導管13內部分冷卻凝固道導管13內或由於溫度降低而壓強變小，流速變慢。所述第二加熱裝置117可以與所述導管13間隔設置，亦可以與所述導管13接觸設置。本發明第三實施例中所述第二加熱裝置117包括至少一電熱絲115，所述至少一電熱絲115纏繞於所述導管13的外表面。
藉由本發明第三實施例提供的製備裝置30製備有機發光二極體100的方法與本發明第一實施例製備有機發光二極體100的方法基本相同，其區別在於本發明第三實施例的製備方法中在有機發光層源材料116蒸發前，即步驟S4之前，對所述導管13進行加熱，防止進入導管13內的氣體冷卻凝固。
參見圖8，本發明第四實施例提供一種有機發光二極體100的製備裝置40，其包括：一蒸發裝置11、一蒸鍍裝置12、一導管13和一真空泵15；所述蒸發裝置11包括一蒸發室111和一第一加熱裝置114；所述第一加熱裝置114用於加熱所述蒸發室111，使設置於該蒸發室111內的有機發光層源材料116蒸發；所述蒸鍍裝置12包括一蒸鍍室121、一噴頭122和一載物台129；所述蒸發室111藉由所述導管13與所述蒸鍍室121導通；所述噴頭122設置於所述蒸鍍室121內，所述噴頭122包括一噴頭本體123和一噴嘴124，所述噴頭本體123具有相對的第一表面1231和第二表面1233，第一表面1231設置一開口1232，該開口1232與所述導管13的排氣端131連接，所述第二表面1233為一開口結構，所述噴嘴124設置於所述開口結構處，所述噴嘴124包括複數個間隔設置的通孔127；所述導管13的排氣端131延伸到噴頭122內部；所述排氣端131的側壁132和端面133包括複數個間隔設置的通孔127；所述載物台129設置於所述蒸鍍室121內，並與所述噴嘴124相對且間隔設置；所述真空泵15與所述蒸鍍室121連接，用於維持製備裝置40的真空度。
本發明第四實施例所提供的發光二極體的製備裝置40與本發明第一實施所提供的發光二極體的製備裝置10基本相同，其區別在於本發明第四實施例所述製備裝置40中，所述導管13的排氣端131延伸到噴頭122內部。所述排氣端131的側壁132和端面133均包括複數個間隔設置的通孔127。
對於排氣端131的側壁132沒有通孔127的導管13而言，從導管13的排氣端131的端面133排出的氣體藉由所述噴頭122的通孔127沉積到待鍍面時，由於氣體向四周擴散的速度小於向下的速度，是以導致在噴頭122的中間位置處的氣體多於周圍位置處的氣體，進而使從中間位置的通孔127噴出的蒸汽的流速和密度較大，從周圍位置的通孔127噴出的蒸汽的流速和密度小。本發明第四實施例中，所述排氣端131的側壁132和端面133均包括複數個間隔設置的通孔127，所述側壁132的通孔127可以使排氣端131的氣體快速分散到噴頭122的兩側，以使噴頭122內的氣體能夠均勻分佈在所述噴嘴124，防止排氣端131的氣體集中到所述端面133的中間部分，從而使得藉由所述噴嘴124噴出的氣體壓力均勻。優選地，側壁132上通孔127的數量大於等於端面133上通孔127的數量，所述側壁132通孔127的直徑大於等於端面133上通孔127的直徑，如是可以使得噴頭122內的氣體更均勻分佈在所述噴嘴124。
參見圖9，本發明第五實施例提供一種有機發光二極體100的製備裝置50，其包括：一蒸發裝置11、一蒸鍍裝置12、一導管13和一真空泵15；所述蒸發裝置11包括一蒸發室111和一第一加熱裝置114；所述第一加熱裝置114用於加熱所述蒸發室111，使設置於該蒸發室111內的有機發光層源材料116蒸發；所述蒸鍍裝置12包括一蒸鍍室121、一噴頭122和一載物台129；所述蒸發室111藉由所述導管13與所述蒸鍍室121導通；所述噴頭122設置於所述蒸鍍室121內，所述噴頭122包括一噴頭本體123和一噴嘴124，所述噴頭本體123具有相對的第一表面1231和第二表面1233，第一表面1231設置一開口1232，該開口1232與所述導管13的排氣端131連接，所述第二表面1233為一開口結構，所述噴嘴124設置於所述開口結構處，所述噴嘴124包括複數個間隔設置的通孔127；所述噴頭122內進一步包括複數個擴散板128，所述複數個擴散板128間隔設置於所述噴頭本體123的第一表面1231和第二表面1233之間，並與該第一表面1231和第二表面1233平行，所述擴散板128為多孔網狀結構；所述載物台129設置於所述蒸鍍室121內，並與所述噴嘴124相對且間隔設置；所述真空泵15與所述蒸鍍室121連接，用於維持製備裝置50的真空度。
本發明第五實施例所提供的發光二極體的製備裝置50與本發明第一實施所提供的發光二極體的製備裝置10基本相同，其區別在於本發明第五實施例所述製備裝置50中，所述噴頭122進一步包括複數個擴散板128，所述複數個擴散板128間隔設置於所述噴頭本體123內，並與所述噴頭本體123的第一表面1231和第二表面1233平行。所述擴散板128為多孔網狀結構。所述擴散板128能夠使排氣端131排除的氣體減速，進而使噴頭122內有機小分子氣體的壓力分佈均勻，進而使得有機小分子氣體能夠均勻到達所述第一電極140的表面。
參見圖10，本發明第六實施例提供的有機發光二極體100的製備裝置60，其包括：一蒸發裝置11、一蒸鍍裝置12、一導管13、一真空泵15和一氣體供給裝置14；所述蒸發裝置11包括一蒸發室111和一第一加熱裝置114；所述第一加熱裝置114用於加熱所述蒸發室111，使設置於該蒸發室111內的有機發光層源材料116蒸發；所述蒸鍍裝置12包括一蒸鍍室121、一噴頭122和一載物台129；所述蒸發室111藉由所述導管13與所述蒸鍍室121導通；所述導管13與所述蒸發室111連接的一端形成一分叉結構134，所述氣體供給裝置14藉由該分叉結構134連接至所述導管13，該氣體供給裝置14用於向所述導管13通入惰性氣體或N2 ，使得蒸發室111內產生的有機小分子氣體藉由所述導管13隨著所述惰性氣體或N2 一起進入噴頭122內；所述噴頭122設置於所述蒸鍍室121內，所述噴頭122包括一噴頭本體123和一噴嘴124，所述噴頭本體123具有相對的第一表面1231和第二表面1233，第一表面1231設置一開口1232，該開口1232與所述導管13的排氣端131連接，所述第二表面1233為一開口結構，所述噴嘴124設置於所述開口結構處，所述噴嘴124包括複數個間隔設置的通孔127；所述載物台129設置於所述蒸鍍室121內，並與所述噴嘴124相對且間隔設置；所述真空泵15與所述蒸鍍室121連接，用於維持製備裝置60的真空度。
本發明第六實施例所提供的有機發光二極體100的製備裝置60與本發明第一實施例所提供的有機發光二極體100的製備裝置10基本相同，其不同之處在於本發明第六實施例所述製備裝置60進一步包括一氣體供給裝置14。所述氣體供給裝置14用於向所述導管13通入惰性氣體或N2 ，一方面可以在通入有機小分子氣體前藉由惰性氣體或N2 對導管13內進行“清洗”，避免有機發光層源材料116產生的有機小分子氣體被導管13內的空氣中的O2 氧化；另一方面，由於氣體供給裝置14提供的惰性氣體或N2 有一定的氣體流速，可以推動有機小分子氣體到達蒸鍍裝置12內，而且可以藉由控制惰性氣體或N2 的流速來控制有機小分子氣體的流速。所述氣體供給裝置14進一步包括一閥門16，用於控制惰性氣體或N2 的供應。
藉由本發明第六實施例提供的製備裝置60製備有機發光二極體100的方法與本發明第一實施例製備有機發光二極體100的方法基本相同，其區別在於在步驟S3之後以及在步驟S4之前，打開所述氣體供給裝置14。所述氣體供給裝置14開關藉由一閥門16控制。此外，亦可以在對所述蒸發室111加熱之前先關閉所述導氣端130的閥門16，給所述導管13通入一段時間之後再打開所述導氣端130的閥門16。
參見圖11，本發明第七實施例提供的有機發光二極體100的製備裝置70，其包括：一蒸發裝置11、一蒸鍍裝置12、一導管13、一真空泵15和一第三加熱裝置118；所述蒸發裝置11包括一蒸發室111和一第一加熱裝置114；所述第一加熱裝置114用於加熱所述蒸發室111，使設置於該蒸發室111內的有機發光層源材料116蒸發；所述蒸鍍裝置12包括一蒸鍍室121、一噴頭122和一載物台129；所述蒸發室111藉由所述導管13與所述蒸鍍室121導通；所述導管13與所述蒸發室111連接的一端形成一分叉結構134，所述氣體供給裝置14藉由該分叉結構134連接至所述導管13，該氣體供給裝置14用於向所述導管13通入惰性氣體或N2 ，使得蒸發室111內產生的有機小分子氣體，藉由所述導管13隨著所述惰性氣體或N2 一起進入噴頭122內；所述第三加熱裝置118用於加熱所述導管13的分叉結構134，使分叉結構134內的惰性氣體或N2 預熱後進入導管13；所述噴頭122設置於所述蒸鍍室121內，所述噴頭122包括一噴頭本體123和一噴嘴124，所述噴頭本體123具有相對的第一表面1231和第二表面1233，第一表面1231設置一開口1232，該開口1232與所述導管13的排氣端131連接，所述第二表面1233為一開口結構，所述噴嘴124設置於所述開口結構處，所述噴嘴124包括複數個間隔設置的通孔127；所述載物台129設置於所述蒸鍍室121內，並與所述噴嘴124相對且間隔設置；所述真空泵15與所述蒸鍍室121連接，用於維持製備裝置70的真空度。
本發明第七實施例所提供的有機發光二極體100的製備裝置70與本發明第六實施例提供的有機發光二極體100的製備裝置60相同，其不同之處在於本發明第七實施例中，所述製備裝置70進一步包括一第三加熱裝置118，用於加熱導管13的分叉結構134。本實施例中所述第三加熱裝置118為纏繞在所述導管13的分叉結構134的外表面的至少一電熱絲115，所述電熱絲115可以使分叉結構134內的惰性氣體或N2 預熱後再進入導管13，如是避免導管13內的有機小分子遇到溫度低的惰性氣體或N2 凝固。
藉由本發明第七實施例提供的製備裝置70製備有機發光二極體100的方法與本發明第六實施例製備有機發光二極體100的方法基本相同，其區別在於本發明第七實施例中，在通入惰性氣體或N2 之前給所述第三加熱裝置進行加熱。
參見圖12，本發明第八實施例提供的有機發光二極體100的製備裝置80，包括：複數個蒸發裝置11、一蒸鍍裝置12、複數個導管13和一真空泵15；所述蒸發裝置11包括一蒸發室111和一第一加熱裝置114；所述第一加熱裝置114用於加熱所述蒸發室111，使設置於該蒸發室111內的有機發光層源材料116蒸發；所述蒸鍍裝置12包括一蒸鍍室121、複數個噴頭122和一載物台129；每一所述蒸發室111分別藉由一所述導管13與所述蒸鍍室121導通，每一導管13與一所述蒸發室111連接；所述噴頭122設置於所述蒸鍍室121內，每一噴頭122包括一噴頭本體123和一噴嘴124，所述噴頭本體123具有相對的第一表面1231和第二表面1233，第一表面1231設置一開口1232，該開口1232與所述導管13的排氣端131連接，所述第二表面1233為一開口結構，所述噴嘴124設置於所述開口結構處，所述噴嘴124包括複數個間隔設置的通孔127；所述載物台129設置於所述蒸鍍室121內，並與所述噴嘴124相對且間隔設置；所述真空泵15與所述蒸鍍室121連接，用於維持製備裝置10的真空度。
本發明第八實施例所提供的有機發光二極體100的製備裝置80與本發明第一實施例所提供的有機發光二極體100的製備裝置10基本相同，其不同之處在於，本發明第八實施例所述製備裝置80包括複數個蒸發裝置11，複數個導管13以及複數個噴頭122。該複數個蒸發裝置11用於向所述蒸鍍裝置12內提供不同的有機發光層源材料116，從而可以製備不同顏色（RGB）的有機發光層160。所述蒸發室內亦可以設置其他蒸發源材料，如空穴注入層源材料、空穴傳輸層源材料、電子傳輸層源材料及電子注入層源材料等，以形成不同的功能層。所述蒸發室111、導管13與噴頭122一一對應且複數個噴頭122間隔設置，避免氣體混合產生污染。
藉由本發明第八實施例提供的製備裝置80製備有機發光二極體100的方法與本發明第一實施例製備有機發光二極體100的方法基本相同，其區別在於本發明第八實施例中，所述步驟S4為複數個第一加熱裝置114加熱不同的蒸發室111，使有機發光層源材料116蒸發，每一蒸發的氣體被所述導管13和噴頭122引導至待鍍第一電極140的表面；所述蒸發的氣體沉積到所述第一電極140上形成有機發光層160在所述第一電極140上蒸鍍形成不同顏色的有機發光層160。
本發明將蒸發裝置和蒸鍍裝置分開並藉由導管導通，所述導管先將蒸發室內的氣體收集起來，再導入到所述蒸鍍室內，在待蒸鍍面上形成有機發光層，是以，一方面可以使有機發光層源材料得到有效利用，節約了有機發光層源材料；另一方面，可以使待鍍面上各局部位置的形成的有機發光層厚度均勻。
綜上所述，本發明確已符合發明專利之要件，遂依法提出專利申請。惟，以上所述者僅為本發明之較佳實施例，自不能以此限制本案之申請專利範圍。舉凡習知本案技藝之人士援依本發明之精神所作之等效修飾或變化，皆應涵蓋於以下申請專利範圍內。
10，20，30，40，50，60，70，80‧‧‧製備裝置
11‧‧‧蒸發裝置
111‧‧‧蒸發室
112‧‧‧內襯
113‧‧‧外殼
114‧‧‧加熱裝置
115‧‧‧電熱絲
116‧‧‧有機發光層源材料
117‧‧‧第二加熱裝置
118‧‧‧第三加熱裝置
12‧‧‧蒸鍍裝置
121‧‧‧蒸鍍室
122‧‧‧噴頭
123‧‧‧噴頭本體
1231‧‧‧第一表面
1232‧‧‧開口
1233‧‧‧第二表面
124‧‧‧噴嘴
126‧‧‧連接端口
127‧‧‧通孔
128‧‧‧擴散板
129‧‧‧載物台
13‧‧‧導管
130‧‧‧導氣端
131‧‧‧排氣端
132‧‧‧側壁
133‧‧‧端面
134‧‧‧分叉結構
14‧‧‧氣體供給裝置
15‧‧‧真空泵
16‧‧‧閥門
100‧‧‧有機發光二極體
120‧‧‧基底
140‧‧‧第一電極
160‧‧‧有機發光層
180‧‧‧第二電極
圖1為本發明第一實施例提供的有機發光二極體製備裝置的結構示意圖。
圖2為本發明圖1的製備裝置中導管的排氣端與噴頭的連接示意圖。
圖3為本發明圖1的製備裝置中噴頭噴嘴的結構示意圖。
圖4為本發明第一實施例提供的製備有機發光二極體的流程圖。
圖5為本發明第一實施例製備的有機發光二極體的結構示意圖。
圖6為本發明第二實施例提供的有機發光二極體製備裝置的結構示意圖。
圖7為本發明第三實施例提供的有機發光二極體製備裝置的結構示意圖。
圖8為本發明第四實施例提供的有機發光二極體製備裝置的結構示意圖。
圖9為本發明第五實施例提供的有機發光二極體製備裝置的結構示意圖。
圖10為本發明第六實施例提供的有機發光二極體製備裝置的結構示意圖。
圖11為本發明第七實施例提供的有機發光二極體製備裝置的結構示意圖。
圖12為本發明第八實施例提供的有機發光二極體製備裝置的結構示意圖。
無

Claims (10)

  1. 一種有機發光二極體的製備裝置，其改良在於，其包括：一蒸發裝置、一蒸鍍裝置、一導管和一真空泵；所述蒸發裝置包括一蒸發室和一第一加熱裝置；所述第一加熱裝置用於加熱所述蒸發室，使設置於該蒸發室內的蒸發源材料蒸發；所述蒸鍍裝置包括一蒸鍍室、一噴頭和一載物台；所述蒸發室藉由所述導管與設置於所述蒸鍍室內的噴頭連接；所述噴頭包括一噴頭本體和一噴嘴，所述噴頭本體具有相對的第一表面和第二表面，第一表面設置一開口，該開口與所述導管的排氣端連接，所述第二表面為一開口結構，所述噴嘴設置於所述開口結構處，所述噴嘴包括複數個間隔設置的通孔；所述載物台設置於所述蒸鍍室內；所述真空泵與所述蒸鍍室連接，用於維持製備裝置的真空度。
  2. 如請求項1所述的有機發光二極體的製備裝置，其中，所述蒸發室與所述第一加熱裝置間隔設置。
  3. 如請求項1所述的有機發光二極體的製備裝置，其中，所述蒸發室由一內襯和一外殼組成，所述第一加熱裝置包括至少一電熱絲，該電熱絲纏繞於所述內襯的外表面。
  4. 如請求項1所述的有機發光二極體的製備裝置，其中，進一步包括一設置於導管周圍的第二加熱裝置，用於對該導管內的氣體進行加熱。
  5. 如請求項1所述的有機發光二極體的製備裝置，其中，進一步包括一氣體供給裝置，所述導管與所述蒸發室連接的一端形成一分叉結構，所述氣體供給裝置藉由該分叉結構連接至所述導管，該氣體供給裝置用於向所述導管通入惰性氣體或N2 。
  6. 如請求項5所述的有機發光二極體的製備裝置，其中，進一步包括一設置於所述分叉結構周圍的第三加熱裝置，用於對通入所述分叉結構的惰性氣體或N2 進行預熱處理。
  7. 如請求項1所述的有機發光二極體的製備裝置，其中，所述噴頭進一步包括複數個擴散板，所述複數個擴散板間隔設置於所述噴頭內。
  8. 如請求項1所述的有機發光二極體的製備裝置，其中，所述導管的排氣端延伸到所述噴頭內，所述排氣端的側壁和端面均包括複數個間隔設置的通孔，所述排氣端的側壁上通孔的數量大於等於端面上通孔的數量，所述排氣端側壁上通孔的直徑大於等於端面上通孔的直徑。
  9. 如請求項8所述的有機發光二極體的製備裝置，其中，所述噴嘴與所述噴頭本體拆卸連接。
  10. 如請求項1所述的有機發光二極體的製備裝置，其中，進一步包括複數個蒸發裝置、複數個導管以及複數個噴頭，所述複數個蒸發裝置、複數個導管和複數個噴頭一一對應，用於向所述蒸鍍室內提供不同的蒸發源。
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