TW201911401A - 高度測定用治具 - Google Patents

Abstract

[課題] 安定地實施工作台面的高度之測定。 [解決手段]一種高度測定用治具，是在加工裝置中測定高度之時使用，該加工裝置具備可旋轉的工作台座、及將輪座固定於前端的主軸，該工作台座可以將以保持面保持板狀的被加工物之工作夾台以支撐面來支撐，該輪座可以裝設加工工具，該高度測定用治具是使固定於該輪座之接觸式量器沿著該加工工具的旋轉軌道掃描來測定該保持面或該支撐面的高度，並具備形成有複數個開口部的板件、及從該板件突出之複數個定位部，該定位部具有將該板件定位於相對於該工作夾台或該工作台座之規定位置的功能，該開口部是沿該旋轉軌道形成為在該板件已被定位於該規定位置時讓該保持面或該支撐面之測定對象區域露出。

Description

高度測定用治具

發明領域 本發明是有關於一種在工作台面之規定位置測定該工作台面之高度時所使用的治具。

發明背景 在從由矽或砷化鎵、藍寶石、玻璃等所構成之板狀的被加工物形成包含元件之元件晶片的步驟中，可使用磨削該被加工物的磨削裝置或研磨該被加工物的研磨裝置等各種的加工裝置。該加工裝置具備保持被加工物的工作夾台、及對該被加工物進行加工的加工單元，且是以該加工單元對已保持於該工作夾台上之該被加工物進行加工。

該工作夾台是被工作台座所支撐。該工作台座之上表面是形成為平坦的支撐面，且可在該支撐面上固定工作夾台。被加工物是以已保持於被固定在該工作台座之支撐面上的工作夾台之上的狀態被該加工單元所加工。

該加工單元具備大致平行於該鉛直方向的主軸、配置於該主軸的下端的輪座、及裝設於該輪座之下表面的加工工具。該加工工具可為例如在下表面具備磨削磨石的磨削輪或在下表面具備研磨墊的研磨輪等。

在被加工物的加工時是使該主軸旋轉而使該加工工具旋轉，並且使該工作夾台旋轉，且使該加工單元朝鉛直方向下方移動。當裝設於該加工工具之該磨削磨石或研磨墊接觸於該被加工物時，該被加工物即被加工。

為了實現被加工物之更適當的加工，已對工作台座、工作夾台以及加工單元採取各式各樣的改善。例如，在磨削裝置中，為了將該被加工物磨削成均一的厚度，所使用的有將具有極小的梯度之側面的圓錐的該側面之形狀設為保持面之形狀的工作夾台(參照專利文獻1)。

又，在開始進行加工時，只要工作台座、工作夾台及加工單元未形成為規定的位置關係，就會有在加工上產生偏差的情況。因此，在加工裝置中，會事先將工作台座、工作夾台以及加工單元的位置或傾斜等調整成能夠適當地加工被加工物。

在該調整中，是例如在工作台座之支撐面的複數處測定高度來確認該支撐面的傾斜。又，將工作夾台固定於工作台座之支撐面上，而在該工作夾台之保持面的複數處測定高度來確認該保持面的傾斜。

該支撐面或該保持面等的工作台面的高度的測定是使用裝設於該加工單元之輪座的接觸式量器來實施。例如，藉由在裝設加工工具之前的輪座上裝設該接觸式量器，並旋轉該主軸以使該接觸式量器之下端的測量頭接觸於成為測定對象之該工作台面的規定之處。如此一來，可以使該測量頭沿著加工中的加工工具的旋轉軌道來接觸於該工作台面以測定該工作台面的高度(參照專利文獻2)。 先前技術文獻 專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2007-222986號公報 專利文獻2：日本專利特開2013-141725號公報

發明概要 發明欲解決之課題 藉由裝設於輪座之接觸式量器所進行之工作台面的高度的測定是在例如該工作台面之中央部、及通過該中央部之該加工工具的旋轉軌道上的該工作台面之2處端部，共計3點上實施。該測定是在具備該加工單元之加工裝置的使用開始時或維護時、工作夾台的更換時等實施。為了在開始進行加工裝置的使用後且於該工作台面之傾斜已變化的情況下，可正確地檢測產生變化之情形，較理想的是無論測定時間點為何時，都總是在相同的3點上實施測定。

然而，因為根據測定的時間點會使實施測定之作業人員並不一定是同一人，又，於工作台面上並未形成有表示該3點之標記等，所以測定並不一定每次都可在同一處實施。

又，在該工作台座之該支撐面上設有成為用於對工作夾台之保持面傳達負壓的路徑之溝。因此，會有下述情況：使該接觸式量器移動時該測量頭落入該溝而使高度的變化變大，導致接觸式量器之測定資料的安定性惡化。此外，於該支撐面上有除了該溝以外還有螺孔等之設有凹凸形狀的情況，而有該測量頭碰撞到該凹凸形狀而使該測量頭受到損傷的疑慮。

本發明是有鑒於所述問題點而作成的發明，其目的在於提供一種測定用治具，該測定用治具是使接觸式量器之測量頭定位於成為測定對象之工作台面的規定位置，而可以安定地實施對該工作台面之高度的測定。 用以解決課題之手段

根據本發明的一態樣，可提供一種高度測定用治具，其是在加工裝置中測定高度之時使用，該加工裝置具備可旋轉的工作台座、及將輪座固定於前端的主軸，該工作台座可以將以保持面保持板狀的被加工物之工作夾台以支撐面來支撐，該輪座可以裝設磨削或研磨被加工物的加工工具，測定高度之時是使固定於該輪座之接觸式量器沿著該加工工具的旋轉軌道掃描來測定該保持面或該支撐面的高度，該高度測定用治具之特徵在於具備： 覆蓋該保持面或該支撐面且形成有複數個開口部的板件；及 從該板件突出之凸狀的複數個定位部， 該定位部具有將該板件定位在相對於該工作夾台或該工作台座之規定位置的功能， 該開口部是沿該旋轉軌道形成為在該板件定位於相對於該工作夾台或該工作台座之該規定位置時，讓該保持面或該支撐面的一部分露出， 該開口部是能夠讓該接觸式量器通過該開口部來接觸於該保持面或該支撐面的該一部分的大小。

再者，本發明的一個態樣的高度測定用治具，是在測定具有同心圓狀地形成有複數個環狀凹部的該支撐面的該工作台座之該支撐面的高度時使用，也是本發明的一態樣的高度測定用治具之特徵在於：該板件具有藉由覆蓋該環狀凹部來防止該測定器的接觸式量器落下至該環狀凹部的功能。

又，在本發明的一態樣中，亦可為：該複數個定位部包含形成於該板件的一面的複數個第1定位部、及形成於該板件的另一面的複數個第2定位部，該複數個第1定位部分別具有下述功能：當該板件定位在相對於該工作夾台之規定位置而使該板件的該一面接觸於該保持面時，是接觸於該工作夾台的側面來抑制該板件相對於該工作夾台之位置關係的變化，該複數個第2定位部分別具有下述功能：當該板件定位在相對於該工作台座之規定位置而使該板件的該另一面接觸於該支撐面時，插入形成於該支撐面之凹部來抑制該板件相對於該工作台座之位置關係的變化。 發明效果

本發明的一態樣之高度測定用治具具備覆蓋該工作台面之板件、及從該板件突出之凸狀的複數個定位部，且是載置於該工作台面上的規定位置而使用。該高度測定用治具是以形成有該定位部之面朝向下方的狀態來載置於該工作台面上。

複數個該定位部在該板件未定位於該工作台面上之適當的位置的情況下，是將任一個該定位部配設於抵接於該工作台面之位置。因此，可藉由將該板件定位於該定位部未抵接於該工作台面之位置，而將該板件定位於規定位置。也就是說，複數個該定位部具備將該板件定位於相對於該工作夾台或該工作台座之規定位置的功能。

在該板件上形成有複數個開口部，當將該板件定位於工作夾台或工作台座上之規定位置時，可將該工作台面之特定的一部分藉由該開口部而露出。在測定該工作台面之高度時，是讓接觸式量器之測量頭接觸於藉由該開口部而露出的該一部分，以測定該一部分的高度。

當使用該高度測定用治具時，在進行該工作台面的高度的測定時，每次都可藉由該開口部將相同的該特定的一部分露出。因此，無論測定時間點或測定人員，都可以安定地對工作台面之相同部分進行測定。

從而，根據本發明的一態樣，可提供一種測定用治具，該測定用治具是將接觸式量器之測量頭定位於成為測定對象之工作台面的規定位置，而可以安定地實施對該工作台面之高度的測定。

用以實施發明之形態 參照附圖，說明本發明的一個態樣的實施形態。本實施形態之高度測定用治具是在磨削裝置或研磨裝置等的加工裝置中，於對該加工裝置所具備之工作夾台的保持面或該加工裝置所具備之工作台座的支撐面等的工作台面的高度進行測定時使用。圖1是作為使用本實施形態之高度測定用治具之加工裝置之一例而示意地顯示磨削裝置的立體圖。

在磨削裝置2之裝置基台4的上表面設有開口4a。於該開口4a內具備有X軸移動工作台8，該X軸移動工作台8在上表面載置有吸引保持被加工物的工作夾台6、及支撐該工作夾台6的工作台座6b。該X軸移動工作台8是藉由圖未示之X軸方向移動機構而可朝X軸方向移動。該X軸移動工作台8可藉由X軸方向移動機構而定位於裝卸被加工物的搬出入區域10、及磨削加工該被加工物的加工區域12。

該工作台座6b之上表面是成為載置該工作夾台8之支撐面6c(參照圖5(C))。於該工作台座6b之支撐面6c上形成有例如配置排列成同心圓狀之複數個溝(環狀凹部)6d(參照圖3及圖5(C))。該工作台座6b在內部具備吸引路6f(參照圖3)，該吸引路6f是將一端通到該溝6d，並將另一端連接於吸引源36(參照圖3)。

於該工作台座6b之上載置有工作夾台6。該工作夾台6之上表面是成為載置被加工物的保持面6a。在工作夾台6之上部配設有多孔質構件。於該工作夾台6之該多孔質構件的下方形成有通到該工作夾台6之底面的通氣口。當在該工作台座6b上載置工作夾台6時，該通氣口是通過該工作台座6b之該溝6d及吸引路6f而連通至該吸引源36。

當使該吸引源36作動時，會使負壓作用於已載置於該保持面6a上之被加工物，該被加工物即被吸引保持於工作夾台6。又，載置該工作夾台6之該工作台座6b能夠以繞著垂直於該保持面6a之軸的方式旋轉。

於該加工區域12的上方配設有磨削加工該被加工物的磨削單元(加工單元)14。於裝置基台4的後方側豎立設置有支撐部16，該磨削單元14是藉由該支撐部16所支撐。於支撐部16之前表面設有朝Z軸方向伸長之一對Z軸導軌18，且在各個Z軸導軌18上可滑動地安裝有Z軸移動板20。

在Z軸移動板20的背面側(後表面側)設置有螺帽部(圖未示)，且在該螺帽部螺合有平行於Z軸導軌18之Z軸滾珠螺桿22。在Z軸滾珠滾珠螺桿22的一端部連結有Z軸脈衝馬達24。只要以Z軸脈衝馬達24使Z軸滾珠螺桿22旋轉，Z軸移動板20即沿著Z軸導軌18在Z軸方向上移動。

於Z軸移動板20的前表面側下部固定有實施被加工物的磨削加工的磨削單元14。只要使Z軸移動板20在Z軸方向上移動，磨削單元14即可以在Z軸方向(加工進給方向)上移動。

磨削單元14具有藉由連結於基端側之馬達而旋轉的主軸28。該馬達是設置於主軸殼體26內。於該主軸28之前端側配設有輪座28a，於該輪座28a之下表面可裝設隨著該主軸28之旋轉而旋轉的磨削輪(加工工具)30。於該磨削輪30之下表面設置有磨削磨石32。

針對磨削單元14進一步詳述。圖2是示意地顯示由磨削單元14進行之被加工物的磨削加工的立體圖。如圖2所示，在磨削加工被吸引保持於工作夾台6之保持面6a上的被加工物7時，使載置該工作夾台6之該工作台座6b旋轉，並且一邊使該磨削輪30旋轉一邊使磨削輪30下降。如此一來，可將該磨削磨石32抵接於被加工物1之被磨削面，而將該被加工物7磨削加工。

圖3是示意地顯示由磨削單元進行之被加工物的磨削加工的局部截面圖。於圖3中所顯示的是，輪座28a及磨削輪30的一部分的截面、與工作台座6b及工作夾台6之截面。如圖3所示，於輪座28a上形成有插通孔34a, 該插通孔34a是供用於將該磨削輪(加工工具)30裝設於該輪座28a而使用之固定具34插通。

例如，於該固定具34之前端形成有螺牙，於該磨削輪30之上表面在對應該插通孔34a的位置上形成有於內壁具備螺紋槽之複數個孔30a。藉由將插通於該插通孔34a的該固定具34鎖緊於該磨削輪30的該孔30a，以將該磨削輪30裝設於該輪座28a。

例如，可在將該磨削輪30裝設於該輪座28a的期間，事先調整工作台座6b、工作夾台6及磨削單元14之位置或傾斜等，以使該工作夾台6的該保持面6a相對於該磨削磨石32的磨削面成為平行。

在該調整中，是例如在該工作台座6b的該支撐面6c的複數處測定高度來確認該支撐面6c的傾斜。又，將該工作夾台6固定於該工作台座6b的該支撐面6c上，並在該工作夾台6的該保持面6a的複數處測定高度來確認該保持面6a的傾斜。使用已裝設於該磨削單元14之輪座28a的接觸式量器來實施對該支撐面6c或該保持面6a等的工作台面的高度的測定。

圖4(A)是示意地顯示裝設有接觸式量器38之輪座28a的局部截面圖。如圖4(A)所示，該接觸式量器38之上部是形成為可插入該輪座28a之插通孔34a的大小。例如，在該插通孔34a之內壁形成有螺紋槽的情況下，在該接觸式量器38的該上部形成螺牙時，可以藉由將該上部鎖緊於該插通孔34a而將該接觸式量器38裝設於該輪座28a。

於該接觸式量器38的下端配設有接觸於成為高度測定對象之該工作台面的測量頭38a，當使該測量頭38a接觸於該工作台面時即可以測定該工作台面的高度。於該接觸式量器38上設有指示部38b，測定結果是藉由該指示部38b而顯示。

該接觸式量器38是例如裝設於磨削輪30被裝設前的輪座28a上，並藉由使該主軸28旋轉，而使該測量頭38a接觸於成為測定對象之該工作台面的規定之處。當使該主軸28旋轉時，可以使該測量頭38a沿著加工中的磨削磨石32之軌道接觸於該工作台面並進行測定。

由該接觸式量器38所進行之工作台面的高度的測定，是在例如該工作台面之中央部、及通過該中央部之該磨削磨石32的旋轉軌道上的該工作台面之2處端部，共計3點上實施。該測定是在該磨削裝置2之開始使用時或維護時、工作夾台6的更換時等實施。為了在開始進行該磨削裝置2的使用後且於該工作台面之傾斜已變化的情況下，可正確地檢測產生該變化之情形，較理想的是無論測定時間點為何時，都總是在相同的3點上實施測定。

然而，根據測定的時間點，並不一定是同一人實施測定，又，於工作台面上並未形成有表示該3點之標記等，所以測定並不一定每次都能夠在同一處實施。

又，在該工作台座6b之該支撐面6c上設有溝6d。因此，會有下述情形：使該接觸式量器38移動時該測量頭38a落入該溝6d而導致高度大幅變化，且使測定資料的安定性惡化。

此外，於該支撐面6c上除了該溝6d以外，還設有例如將工作台座6b固定於X軸移動工作台8上之螺絲用螺孔、或將工作夾台6固定於工作台座6b之螺絲用的螺孔等凹凸形狀。當該支撐面6c上設有凹凸形狀時，會有該測量頭38a碰撞到該凹凸形狀而使該測量頭38a受到損傷的疑慮。於是，在該測定時使用本實施形態之高度測定用治具。

接著，針對本實施形態之高度測定用治具作説明。圖4(B)是示意地顯示高度測定用治具1之第1面1a側的立體圖，圖4(C)是示意地顯示高度測定用治具1之第2面1b側的立體圖。該高度測定用治具1具有覆蓋工作台座6b之支撐面6c、或工作夾台6之保持面6a的大小之大致圓板狀的板件5c。該板件5c形成有複數個開口部3。

於該高度測定用治具1之第1面1a側形成有從該板件5c突出之凸狀的複數個第1定位部5a。又，於該高度測定用治具1之第2面1b側形成有從該板件5c突出之凸狀的複數個第2定位部5b。

在測定該工作夾台6之保持面6a的高度時，如圖5(A)及圖5(B)所示，是將該第2面1b側朝向下方來將該高度測定用治具1載置於該保持面6a之上。圖5(A)是示意地顯示工作夾台及高度測定用治具的立體圖，圖5(B)是示意地顯示已定位於工作夾台上之高度測定用治具的立體圖。

形成於該第2面1b側之複數個該第2定位部5b是配設成在比該保持面6a之外徑稍大之外徑的圓(圖未示)的圓周上排列。特別是，該複數個該第2定位部5b分別是配設在可以從外周側包圍工作夾台6之保持面6a的位置。如此一來，在未將板件5c定位於該保持面6a上之適當的位置的情況下，會使任一個該第2定位部5b抵接於該保持面6a。

當將該高度測定用治具1載置於該保持面6a上時，是載置成不使該複數個第2定位部5b抵接於該保持面6a而將該板件5c定位於該第2面1b接觸於該保持面6a之位置。如此一來，該高度測定用治具1即被定位於該保持面6a上的規定位置。也就是說，複數個該第2定位部5b具備將該板件5c定位於相對於該工作夾台6的規定位置的功能。

又，就算想讓像這樣載置於該保持面6a上的該高度測定用治具1朝平行於該保持面6a之面內的任一方向移動，也會因該第2定位部5b接觸於該工作夾台6而使移動受到阻礙。也就是說，第2定位部5b具備抑制該板件5相對於該工作夾台6的位置關係的變化的功能。

複數個該開口部3是形成為例如沿該磨削輪(加工工具)30的旋轉軌道排列在該板件5c之中央部、及該板件5c之外周部的2處之共計3處上。因此，當將裝設有接觸式量器38之輪座28a定位於該高度測定用治具1的上方，且使主軸28旋轉而使該輪座28a沿著軌道38c(參照圖6)旋轉時，可以將測量頭38a插入該開口部3。

如圖5(B)所示，當將高度測定用治具1定位於該保持面6a上之規定位置時，藉由該開口部3而使該保持面6a之規定之處露出。在測定該保持面6a的高度時，當將該高度測定用治具1定位於該保持面6a上的規定位置時，即可以藉由該開口部3來界定高度的測定處。因此，當使用該高度測定用治具1時，可以每次都在相同處實施該保持面6a之測定，而可以安定地實施高度的測定。

又，在測定該工作台座6b之支撐面6c的高度時，如圖5(C)及圖5(D)所示，是將該第1面1a側朝向下方來將該高度測定用治具1載置於該支撐面6c之上。圖5(C)是示意地顯示工作台座6b及高度測定用治具1的立體圖，圖5(D)是示意地顯示已定位於工作台座6b上之高度測定用治具1的立體圖。

形成於該第1面1a側之複數個該第1定位部5a是對準形成於該支撐面6c之溝(環狀凹部)6d或凹部6e的位置而配設。當使該複數個第1定位部5a插入該溝6d或凹部6e而將該高度測定用治具1於該支撐面6c上載置成使該第1面1a接觸於該支撐面6c時，可將該高度測定用治具1定位於該支撐面6c上之規定位置。從而，該複數個該第1定位部5a具備將該板件5c定位於規定位置之功能。

又，就算想讓該高度測定用治具1朝平行於該支撐面6c之面內的任一方向移動，也會因該第1定位部5a接觸於該溝6d或該凹部6e的壁面而使移動受到阻礙。也就是說，該複數個第1定位部5a具備有抑制該板件5c相對於該工作台座6b的位置關係的變化的功能。

如圖5(D)所示，當將高度測定用治具1定位於該支撐面6c上之規定位置時，藉由該開口部3而使該支撐面6c之規定之處露出。在測定該支撐面6c的高度時，當將該高度測定用治具1定位於該支撐面6c上的規定位置時，即可以藉由該開口部3來界定高度的測定處。因此，當使用該高度測定用治具1時，可以每次都在相同處實施該支撐面6c之測定，而可以安定地實施該高度的測定。

此外，形成於該工作台座6b的該支撐面6c之溝6d或凹部6e等會被板件5c所覆蓋。因此，使主軸28旋轉來使裝設於輪座28a之該接觸式量器38移動時，測量頭38a不會落入溝6d或凹部6e等而是在該板件5c上移動。從而，因為測量頭38a之高度的變化較小，所以可以安定地實施由該接觸式量器38進行的測定。再者，該板件5c之厚度是例如比該溝6d或凹部6e之深度更小。

在此，利用圖6來說明使用本實施形態之高度測定用治具1，而在該工作夾台6之保持面6a之規定位置實施的高度的測定。圖6是示意地顯示藉由接觸式量器38測定已定位有高度測定用治具1之工作夾台6的保持面6a的高度之情形的立體圖。

首先，如圖6所示，將接觸式量器38裝設於磨削裝置2之磨削單元14的輪座28a之插通孔34a。又，將該高度測定用治具1之第2面1b側朝向下方，並將該高度測定用治具1在該保持面6a載置成使第2定位部5b不抵接於該保持面6a。如此一來，可將該高度測定用治具1定位於工作夾台6的保持面6a上之規定位置，而將保持面6a之規定的被測定處藉由開口部3露出。

接著，當使主軸28旋轉而使測量頭38a插入最初的開口部3並接觸於該保持面6a時，即可測定該保持面6a之高度且將測定結果顯示於該指示部38b。

於讀取並記錄顯示於指示部38b之測定結果後，使該主軸28旋轉來使該測量頭38a沿著軌道38c一個一個地插入開口部3，並同樣地讀取並記錄顯示於指示部38b之測定結果。當在保持面6a當中藉由開口部3而露出的全部之處都測定高度時，即可以從該測定結果計算出該保持面6a的傾斜。

在工作台座6b之支撐面6c的規定之處實施高度的測定時，是將該高度測定用治具1之第1面1b朝向下方，來將該高度測定用治具1定位於該支撐面6c上的規定位置，且同樣地在藉由開口3而露出之處實施測定。

再者，高度的測定之結果為檢測出該保持面6a或該支撐面6c為已從規定的方向傾斜時，是例如將工作夾台6或工作台座6b的傾斜調整成使該保持面6a或該支撐面6c朝向規定的方向。或者，以形成朝向規定的方向的該保持面6a或該支撐面6c的方式實施該保持面6a或該支撐面6c的磨削加工或研磨加工。

如以上說明，因為當使用本實施形態之高度測定用治具1時，會將接觸式量器38之測量頭38a定位於成為測定對象之工作台面的規定位置，所以可以安定地實施該工作台面的高度的測定。

再者，本發明並不限定於上述實施形態之記載，可作各種變更而實施。例如，在上述實施形態之高度測定用治具1中，雖然已針對在第1面1a側配設複數個第1定位部5a並且在第2面1b側配設複數個第2定位部5b的情況進行說明，但本發明之一態樣並不限定於此。

上述實施形態之高度測定用治具1雖然可以在工作台座6b之支撐面6c的高度的測定、及工作夾台6的保持面6a的高度的測定之任一種測定中使用，但本發明之一態樣並不限定於此。

亦可例如，一方面在第1面1a側配設複數個第1定位部5a，另一方面卻不在第2面1b側配設第2定位部5b。又，亦可一方面在第2面1b側配設複數個第2定位部5b，另一方面卻不在第1面1a側配設第1定位部5a。在這些情況下，成為僅能夠在工作台座6b之支撐面6c的高度的測定、及工作夾台6之保持面6a的高度的測定之任一種測定中使用的高度測定用治具1。

另外，上述實施形態之構造、方法等，只要在不脫離本發明的目的之範圍內，均可適當變更而實施。

1‧‧‧高度測定用治具

1a‧‧‧第1面

1b‧‧‧第2面

2‧‧‧磨削裝置

3‧‧‧開口部

4‧‧‧裝置基台

4a‧‧‧開口

5a‧‧‧第1定位部

5b‧‧‧第2定位部

5c‧‧‧板件

6‧‧‧工作夾台

6a‧‧‧保持面

6b‧‧‧工作台座

6c‧‧‧支撐面

6d‧‧‧溝(環狀凹部)

6e‧‧‧凹部

6f‧‧‧吸引路

7‧‧‧被加工物

8‧‧‧X軸移動工作台

10‧‧‧搬出入區域

12‧‧‧加工區域

14‧‧‧磨削單元(加工單元)

16‧‧‧支撐部

18‧‧‧Z軸導軌

20‧‧‧Z軸移動板

22‧‧‧滾珠螺桿

24‧‧‧Z軸脈衝馬達

26‧‧‧主軸殼體

28‧‧‧主軸

28a‧‧‧輪座

30‧‧‧磨削輪(加工工具)

30a‧‧‧孔

32‧‧‧磨削磨石

34‧‧‧固定具

34a‧‧‧插通孔

36‧‧‧吸引源

38‧‧‧接觸式量器

38a‧‧‧測量頭

38b‧‧‧指示部

38c‧‧‧軌道

X、Y、Z‧‧‧方向

圖1是示意地顯示磨削裝置的立體圖。 圖2是示意地顯示由磨削單元進行之被加工物的磨削加工的立體圖。 圖3是示意地顯示由磨削單元進行之被加工物的磨削加工的局部截面圖。 圖4(A)是示意地顯示裝設有接觸式量器之輪座的局部截面圖，圖4(B)是示意地顯示高度測定用治具之第1面側的立體圖，圖4(C)是示意地顯示高度測定用治具之第2面側的立體圖。 圖5(A)是示意地顯示工作夾台及高度測定用治具的立體圖，圖5(B)是示意地顯示已定位於工作夾台上之高度測定用治具的立體圖，圖5(C)是示意地顯示工作台座及高度測定用治具的立體圖，圖5(D)是示意地顯示已定位於工作台座上之高度測定用治具的立體圖。 圖6是示意地顯示藉由接觸式量器測定已定位有高度測定用治具之工作夾台的保持面的高度之情形的立體圖。

Claims (3)

1. 一種高度測定用治具，是在加工裝置中測定高度之時使用，該加工裝置具備可旋轉的工作台座、及將輪座固定於前端的主軸，該工作台座可以將以保持面保持板狀的被加工物之工作夾台以支撐面來支撐，該輪座可以裝設磨削或研磨被加工物的加工工具，測定高度之時是使固定於該輪座之接觸式量器沿著該加工工具的旋轉軌道掃描來測定該保持面或該支撐面的高度，該高度測定用治具之特徵在於具備： 覆蓋該保持面或該支撐面且形成有複數個開口部的板件；及 從該板件突出之凸狀的複數個定位部， 該定位部具有將該板件定位在相對於該工作夾台或該工作台座之規定位置的功能， 該開口部是沿該旋轉軌道形成為在該板件定位在相對於該工作夾台或該工作台座之該規定位置時，讓該保持面或該支撐面的測定對象區域露出， 該開口部是能夠讓該接觸式量器通過該開口部來接觸於該測定區域的大小。
2. 如請求項1之高度測定用治具，是在測定具有同心圓狀地形成有複數個環狀凹部的該支撐面的該工作台座之該支撐面的高度時使用， 該板件具有藉由覆蓋該環狀凹部來防止該測定器的接觸式量器落下至該環狀凹部的功能。
3. 如請求項1或2之高度測定用治具，其中該複數個定位部包含形成於該板件的一面的複數個第1定位部、及形成於該板件的另一面的複數個第2定位部， 該複數個第1定位部分別具有下述功能：當該板件定位在相對於該工作夾台之規定位置而使該板件的該一面接觸於該保持面時，接觸該工作夾台的側面來抑制該板件相對於該工作夾台之位置關係的變化， 該複數個第2定位部分別具有下述功能：當該板件定位在相對於該工作台座之規定位置而使該板件的該另一面接觸於該支撐面時，插入形成於該支撐面之凹部來抑制該板件相對於該工作台座之位置關係的變化。