TW201910639A - 真空泵以及真空泵的組裝方法 - Google Patents

Abstract

一種真空泵，係具備第一單元和第二單元。第一單元係具有轉子核芯、第一旋轉軸及泵外殼，前述第一旋轉軸係支撐轉子核芯且朝向單軸方向延伸，前述泵外殼係收容第一旋轉軸。第二單元係具有圓筒構件、定子核芯、馬達外殼、密封環及限制構件。圓筒構件係具有開口端部和閉塞端部且收容轉子核芯。定子核芯係配置於圓筒構件之周圍。馬達外殼係收容圓筒構件和定子核芯且結合於泵外殼。密封環係配置於圓筒構件與馬達外殼之間。限制構件係安裝於馬達外殼且與圓筒構件之開口端部對向於上述單軸方向。

Description

真空泵以及真空泵的組裝方法

本發明係關於一種具有密封馬達(canned motor)的真空泵。

作為正排量型(positive displacement type)的乾式真空泵(dry vacuum pump)，例如已知有一種雙軸型的螺旋泵(screw pump)。此種的螺旋泵係具備：外殼(housing)，係具有吸入口和吐出口，以及一對螺旋軸，係收容於外殼，且以藉由使此等一對螺旋軸旋轉來將氣體從吸入口往吐出口輸送的方式構成。

另一方面，在此種的真空泵中係已廣為使用密封馬達，作為使各個螺旋軸旋轉的驅動源。密封馬達係具有被插入至轉子核芯(rotor core)與定子核芯(stator core)間之間隙的圓筒狀之容器(can)。因轉子核芯係藉由容器所密封，故而能防止已侵入至轉子核芯內的氣體透過軸承部往大氣(外部空氣)側漏出。

例如在專利文獻1中已有揭示一種密封馬達，係以容器之開口部形成凸緣(flange)形狀，且藉由沿著前述凸緣形狀的開口部之周緣所配置的密封環(seal ring)來氣密地隔離轉子與定子核芯的方式所構成。

[先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本特開2014-39366號公報。

在具備有密封馬達的真空泵中，典型上是在容器透過密封環安裝於定子核芯側之後，使轉子核芯嵌入於容器之內部。此時，藉由轉子核芯與定子核芯之間的磁性相互作用，來使轉子核芯接觸於容器之內周面，且使定子核芯與容器之相對位置產生變化，藉此，有的情況會在密封環之安裝位置發生偏移，或使密封環脫落。

有鑑於如上之情形，本發明之目的係在於提供一種可以防止密封環之位置偏移並謀求組裝作業性之提高的真空泵。

為了達成上述目的，本發明之一形態的真空泵係具備第一單元及第二單元。

上述第一單元係具有轉子核芯、第一旋轉軸及泵外殼，前述第一旋轉軸係支撐上述轉子核芯且朝向單軸方向延伸，前述泵外殼係收容上述第一旋轉軸。

上述第二單元係具有圓筒構件、定子核芯、馬達外殼、密封環及限制構件。上述圓筒構件係具有開口端部和閉塞端部且收容上述轉子核芯。上述定子核芯係配置於上述圓筒構件之周圍。上述馬達外殼係收容上述圓筒構件和上述定子核芯且結合於上述泵外殼。上述密封環係配置於上述圓筒構件與上述馬達外殼之間。上述限制構件係安裝於上述馬達外殼且與上述圓筒構件之上述開口端部對向於上述單軸方向。

依據上述真空泵，藉由限制構件，就能抑制第二單元中的圓筒構件之位置偏移。藉此，可以在組裝第一單元及第二單元時，防止第二單元中的密封環之位置偏移或脫落，並謀求組裝作業性之提高。

上述馬達外殼亦可具有支撐上述密封環的安裝部；上述圓筒構件亦可更具有第一圓筒部、第二圓筒部及段差部。

上述第一圓筒部係包含上述開口端部，且與上述密封環接觸。上述第二圓筒部係包含上述閉塞端部，且具有比 上述第一圓筒部還小的外徑。上述段差部係設置於上述第一圓筒部與上述第二圓筒部之間，且外徑從上述第一圓筒部朝向上述第二圓筒部連續性地或階段性地縮小。

藉此，在圓筒構件裝配於定子核芯時，可以防止支撐於安裝部的密封環之位置偏移。

上述第一單元亦可更具有第二旋轉軸及定時齒輪(timing gear)，前述定時齒輪係安裝於上述第一旋轉軸且使上述第二旋轉軸旋轉；上述馬達外殼亦可具：收容上述定子核芯的馬達室；以及收容上述定時齒輪的齒輪室。

藉此，不需要用以形成齒輪室的另外殼體(casing)，且可以謀求組裝作業性之更進一步提高。

上述圓筒構件之閉塞端部亦可具有圓頂(dome)形狀。藉此，可以謀求圓筒構件之強度提高。

本發明之一形態的真空泵的組裝方法，係包含以下的步驟：準備將支撐轉子核芯的第一旋轉軸嵌入於泵外殼所得的第一單元。

準備將圓筒構件、定子核芯、密封環及限制構件嵌入於馬達外殼所得的第二單元，前述定子核芯係配置於圓筒構件之周圍，前述密封環係配置於上述圓筒構件的外周面與上述馬達外殼的內周部之間，前述限制構件係與上述圓筒構件之上述開口端部對向。

上述轉子核芯收容於上述圓筒構件，且上述泵外殼和上述馬達外殼係相互地結合。

如以上所述，依據本發明可以防止密封環之位置偏移並謀求組裝作業性之提高。

11、54‧‧‧泵外殼

13‧‧‧泵室

14‧‧‧吸氣口

15‧‧‧排氣口

21‧‧‧第一螺旋軸(第一旋轉軸)

21a‧‧‧前端部

21s、22s‧‧‧齒

22‧‧‧第二螺旋軸(第二旋轉軸)

23、24‧‧‧同步齒輪

31、51‧‧‧馬達外殼

32、52‧‧‧圓筒構件

33‧‧‧保護板

34‧‧‧限制構件

40‧‧‧馬達

41、61‧‧‧轉子核芯

42、62‧‧‧定子核芯

43‧‧‧線圈

71‧‧‧旋轉軸

72、B1、B2‧‧‧軸承

80、S3‧‧‧密封環

82、S1、S2‧‧‧密封構件

100‧‧‧真空泵

111‧‧‧第一外殼部

112‧‧‧第二外殼部

311‧‧‧馬達室

312‧‧‧齒輪室

313‧‧‧內部通路

314‧‧‧支撐壁部

314a‧‧‧開口面

321、521‧‧‧開口端部

322‧‧‧閉塞端部

323‧‧‧第一圓筒部

324‧‧‧第二圓筒部

325‧‧‧段差部

341‧‧‧開口部

500‧‧‧密封馬達

H‧‧‧貫通孔

N1‧‧‧螺桿

N2‧‧‧螺桿構件

P1、P2‧‧‧定位銷

U1‧‧‧第一單元

U2‧‧‧第二單元

圖1係本發明之一實施形態的真空泵之橫剖視圖。

圖2係顯示分離上述真空泵中的第一單元及第二單元的真空泵之橫剖視圖。

圖3係構成上述第二單元的圓筒構件之放大剖視圖。

圖4中之A至C係說明上述圓筒構件之作用的上述第二單元之主要部分的概略剖視圖。

圖5係顯示比較例的密封馬達之一構成例的概略剖視圖。

以下，一邊參照圖式一邊說明本發明之實施形態。

[真空泵之構成]

圖1係本發明之一實施形態的真空泵之橫剖視圖。

圖中，X軸、Y軸及Z軸係顯示相互地正交的三軸方向，而Z軸係相當於高度方向。

本實施形態之真空泵100係由螺旋泵所構成。真空泵100係具備第一單元U1及第二單元U2。圖2係顯示分離第一單元U1和第二單元U2的真空泵100之橫剖視圖。

(第一單元)

第一單元U1係構成真空泵100之泵本體。第一單元U1係具有泵外殼(pump housing)11、第一螺旋軸21及第二螺旋軸22(第一旋轉軸及第二旋轉軸)。

泵外殼11係具有第一外殼部111和第二外殼部112。第一外殼部111及第二外殼部112係由鋁合金、不鏽鋼等的金屬材料所構成，且透過定位銷P1及環狀之密封構件S1而相互地連結。定位銷P1係分別設置於密封構件S1之外周側的複數個位置。

第一外殼部111係具有：泵室13，係能夠旋轉地收容第一螺旋軸21及第二螺旋軸22，以及吸氣口14，係連接於未圖示的真空腔室之排氣配管。第二外殼部112係具有：一對貫通孔H，係可供第一螺旋軸21及第二螺旋軸22貫通，以及排氣口15，係連通至泵室13。在排氣口15，例如亦可連接有消音器或廢氣(exhaust gas)之無害化裝置。

第一螺旋軸21及第二螺旋軸22係分別具有平行於Y 軸方向的軸心，且在X軸方向相互地鄰接而配置於泵室13。第一螺旋軸21係具有螺旋狀之齒21s，第二螺旋軸22係具有與齒21s嚙合的螺旋狀之齒22s。第一螺旋軸21及第二螺旋軸22皆是由一根螺桿所構成。

齒21s、22s係除了扭轉方向互為相反方向以外，其餘分別具有大致相同的形狀。齒21s、22s係以一方之齒位於另一方之齒之間(槽)的方式隔出些微的間隙而相互地嚙合。齒21s之外周面係與泵室13之內壁面及第二螺旋軸22的軸部之外周面(齒22s間之槽的底部)隔出些微之間隔地對向。另一方面，齒22s之外周面係與泵室13之內壁面及第一螺旋軸21的軸部之外周面(齒21s間之槽的底部)隔出些微之間隔地對向。

吸氣口14及排氣口15係透過泵室13而相互地連通。吸氣口14係設置於第一螺旋軸21及第二螺旋軸22之吸入端側，排氣口15係設置於其等第一螺旋軸21及第二螺旋軸22之排出端側。第一螺旋軸21及第二螺旋軸22係透過設置於第一螺旋軸21及第二螺旋軸22之吸入端側及排出端側的軸承B1、B2而旋轉自如地配置於泵室13內。

吸氣口14及排氣口15之位置係未被限於上述之例，而是能夠進行適當變更。例如，排氣口15亦可設置於第一外殼部111。泵外殼11亦未被限於組合第一外殼部111及 第二外殼部112所構成的情況，而是既可由單一的外殼零件所構成，又可組合三個以上的外殼零件所構成。在泵外殼11是組合三個以上的外殼零件所構成的情況下，吸氣口14，例如是設置於位在最靠吸氣側的外殼部。

第一螺旋軸21係與作為真空泵100之驅動源的馬達40連接。在第一螺旋軸21係安裝有與同步齒輪24嚙合的同步齒輪23，前述同步齒輪24係安裝於第二螺旋軸22之排出端側軸部，而藉由馬達40所致之往第一螺旋軸21旋轉的旋轉驅動力則透過同步齒輪23、24而傳遞至第二螺旋軸22。馬達40係使第一螺旋軸21及第二螺旋軸22旋轉，以將從吸氣口14所吸入的上述真空腔室內之氣體朝向排氣口15輸送。

第一單元U1係更具有作為馬達40之一構成要素的轉子核芯41。轉子核芯41係被支撐(壓入)於第一螺旋軸21之前端部(排出端側軸部之前端部)21a。馬達40，既可為DC馬達，又可為AC馬達。在本實施形態中，雖然轉子核芯41係由圓周方向上交替地排列有N極和S極的圓筒形狀之永久磁鐵材料所構成，但是亦可由電磁鐵所構成。

(第二單元)

接著，就第二單元U2加以說明。

第二單元U2係構成作為驅動泵本體的馬達單元。第二單元U2係具有馬達外殼(motor housing)31、圓筒構件32、作為馬達40之一構成要素的定子核芯42、配置於馬達外殼31與圓筒構件32之間的密封環S3、以及限制構件34。

馬達外殼31係由鋁合金、不鏽鋼等的金屬材料所構成，且透過定位銷P2及環狀之密封構件S2而連結於泵外殼11(第二外殼部112)。定位銷P2係分別設置於密封構件S2之外周側的複數個位置。在馬達外殼31係設置有可供冷卻水等之冷卻媒體循環的內部通路313。

馬達外殼31係具有：保持定子核芯42的馬達室311，以及收容同步齒輪23、24的齒輪室312。

馬達室311係由概略圓筒狀之空間部所形成。馬達室311之與齒輪室312為相反側的開口端部係藉由透過複數個螺桿N1而安裝於馬達外殼31之前端部的保護板33所被覆。保護板33，例如是由具有如柵格板(grid plate)或衝孔金屬(punching metal)之開口的板材所構成，且透過前述開口來使馬達室311與外部空氣(大氣)連通。藉此，能提高馬達室的散熱功效。

齒輪室312係劃分於馬達外殼31與泵外殼11(第二外 殼部112)之間，且構成能夠貯存潤滑同步齒輪23、24及軸承B2的潤滑油(省略圖示)。齒輪室312係透過軸承B2及泵外殼11之貫通孔H而構成能夠與泵室13連通。在貫通孔H，亦可設置有分隔泵室13和齒輪室312的接觸式或非接觸式之密封。

馬達外殼31係更具有形成於馬達室311與齒輪室312之間的環狀之支撐壁部314(參照圖2)。支撐壁部314係比馬達室311更往直徑內方側突出，且在其內周端部形成有可供與圓筒構件32之外周面相接觸的密封環S3安裝的安裝槽。支撐壁部314係構成作為支撐密封環S3的安裝部。

定子核芯42係收容於馬達室311。定子核芯42係由形成環狀的複數個磁性鋼板之積層體所構成，且配置於圓筒構件32之周圍。在定子核芯42係捲繞有連接於電源(省略圖示)的U、V及W各相之複數個線圈43。

定子核芯42之外周面係被固定於馬達室311之內周面。固定方法係未被特別限定，在本實施形態中係藉由熱套配合來使定子核芯42之外周面固定於馬達室311。定子核芯42之內周面係透過圓筒構件32而對向於轉子核芯41之外周面。

圓筒構件32係配置於轉子核芯41與定子核芯42之 間，且在內部收容轉子核芯41。圓筒構件32係具有與第一螺旋軸21同心的軸心，且其軸向之長度(圓筒構件32之高度)係大致一致於支撐壁部314之厚度與馬達室311之軸向長度的總和。

圖3係圓筒構件32之放大剖視圖。

圓筒構件32係由具有開口端部321與閉塞端部322的PPS(polyphenylenesulfide；聚苯硫)等之合成樹脂材料的射出成形體所構成。藉由圓筒構件32是由非磁性、非導電性之合成樹脂材料所構成，就不會阻礙轉子核芯41與定子核芯42之間的電磁相互作用，而可以確保所期望的馬達特性。

圓筒構件32係由附有段差之形狀的圓筒體所構成，且具有第一圓筒部323、第二圓筒部324及段差部325。

第一圓筒部323係包含開口端部321，且具有與密封環S3接觸的外周面。第二圓筒部324係包含閉塞端部322，且具有比第一圓筒部323更小的外徑。第二圓筒部324，例如是具有與定子核芯42之內徑同等的外徑。段差部325之外徑係從第一圓筒部323朝向第二圓筒部324連續性地或階段性地縮小。段差部325，典型上是包含錐形面。不限於此，段差部325，亦可以直徑離散地縮小成階梯狀的 方式所構成。

第一圓筒部323及第二圓筒部324皆是具有同一內徑。亦即，第一圓筒部323係形成比第二圓筒部324更厚壁，可謀求開口端部321側之強度的提高。閉塞端部322亦藉由形成比第二圓筒部324之其他區域更厚壁，可謀求閉塞端部322之強度的提高。而且，因閉塞端部322是形成為圓頂狀，故而可以分散伴隨圓筒構件32之內壓變動所致的應力。在閉塞端部322之外面，亦可設置有提高強度用的肋條(rib)。

更且，藉由圓筒構件32具有段差部325，則在往馬達室311裝配圓筒構件32時，可以防止密封環S3從支撐壁部314(安裝部)脫落。然後，藉由第二圓筒部324形成為薄壁，就可以縮小轉子核芯41與定子核芯42之間的磁隙。

例如，如圖4中之A至圖4中之C所示，圓筒構件32係從齒輪室312側往馬達室311插入。此時，安裝於支撐壁部314的密封環S3係透過圓筒構件32之段差部325而滑接於第一圓筒部323之外周面。因段差部325是如上述地由錐形面所構成，故而密封環S3不會從支撐壁部314之安裝槽脫落而可以越過段差部325，且到達第一圓筒部323。

圓筒構件32係往馬達室311插入直至段差部325與定子核芯42之內周端部相接觸的位置為止。此時，圓筒構件32之開口端部321係位於與支撐壁部314之靠齒輪室312側的開口面314a(參照圖3)整齊排列的位置，或是位於比開口面314a更靠馬達室311側。圓筒構件32之閉塞端部322，既可與保護板33相接觸，又可隔出預定之間隙地與保護板33相對向。

限制構件34係用以防止圓筒構件32從馬達室311脫離。限制構件34係透過複數個螺桿構件N2而安裝於支撐壁部314，且與圓筒構件32之開口端部321對向於Y軸方向。限制構件34係與圓筒構件32之開口端部321接觸，且限制圓筒構件32相對於定子核芯42之往軸向的移動。

限制構件34係由具有開口部341的板狀零件所構成。開口部341之大小係比轉子核芯41之外徑更大，且形成為比圓筒構件32的開口端部321之外徑更小的任意大小。在本實施形態中，開口部341係具有與圓筒構件32的開口端部321之內徑同等大小的開口直徑。

限制構件34，雖然典型上是由金屬板所構成，但是亦可由PPS等之合成樹脂材料所構成。限制構件34之厚度係未被特別限定，亦可由能夠彈性變形的厚度所構成。

[真空泵之動作]

接著，針對如以上所構成之本實施形態的真空泵100之動作加以說明。

藉由馬達40之驅動，第一螺旋軸21及第二螺旋軸22會相對旋轉。藉由第一螺旋軸21及第二螺旋軸22之旋轉，能使連接於吸氣口14的真空腔室內之氣體輸送至排氣口15。藉此，上述真空腔室之內部會被排氣。

轉子核芯41係藉由圓筒構件32所密封。因此，能阻止從泵室13透過軸承B2而侵入至齒輪室312及轉子核芯41的氣體往泵外部(大氣)漏出。更且，因圓筒構件32之外側係朝向大氣開放，故而能提高定子核芯42之散熱性，且亦與藉由循環於馬達外殼31之內部通路313的冷卻媒體所致的冷卻效果相輔，而能抑制高負載時等的馬達40之特性劣化。

更且，因圓筒構件32之閉塞端部322具有圓頂形狀，故而可以有效地分散起因於圓筒構件32之內外壓力差而作用於閉塞端部322的應力。藉此，可以提高圓筒構件32之強度。

再者，圓筒構件32，亦可構成藉由上述壓力差而在馬達室311內朝向軸向僅移動預定量(例如相當於限制構件 34之彈性變形量的位移)。即便藉由如此的構造仍可以謀求作用於圓筒構件32的壓力之緩和。

[真空泵之組裝方法]

接著，針對本實施形態的真空泵100之組裝方法加以說明。

本實施形態的真空泵100之組裝方法係具有：準備第一單元U1的步驟、準備第二單元U2的步驟以及相互地結合第一單元U1及第二單元U2的步驟。

如圖2所示，第一單元U1係藉由將支撐轉子核芯41的第一螺旋軸21、和第二螺旋軸22嵌入於泵外殼11所製作。

在本實施形態中係在第一螺旋軸21及第二螺旋軸22嵌入於第一外殼部111之後，第二外殼部112透過複數個定位銷P1及密封構件S1而結合於第一外殼部111。在第一外殼部111及第二外殼部112之結合中係使用未圖示的複數個螺栓(bolt)。

第二單元U2係藉由將圓筒構件32、定子核芯42、密封環S3及限制構件34嵌入於馬達外殼31所製作，前述定子核芯42係配置於圓筒構件32之周圍，前述密封環S3係 配置於圓筒構件32的外周面與馬達外殼31的內周部之間，前述限制構件34係與圓筒構件32之開口端部321相對向。

在本實施形態中係在馬達外殼31之馬達室311固定有定子核芯42及保護板33，且在支撐壁部314之安裝槽安裝有密封環S3之後，使圓筒構件32裝配於馬達室311內。因圓筒構件32係具有段差部325，故而不會使密封環S3從支撐壁部314脫落，而可以將圓筒構件32穩定地裝配於馬達室311(圖4中之A至圖4中之C)。

在裝配圓筒構件32之後，與圓筒構件32之開口端部321相對向的限制構件34被裝配於馬達外殼31(支撐壁部314)。開口端部321，既可與限制構件34相接觸，又可隔出預定之間隔地與限制構件34相對向。

在第一單元U1及第二單元U2之結合步驟中係在使第一單元U1及第二單元U2排列整齊於Y軸方向的狀態下，使泵外殼11和馬達外殼31透過複數個定位銷P2及密封構件S2而相互地結合。在泵外殼11及馬達外殼31之結合中係可使用未圖示的複數個螺栓。

在結合第一單元U1及第二單元U2時，轉子核芯41會進入至圓筒構件32之內部，直至泵外殼11及馬達外殼 31相互地接觸的位置為止。因圓筒構件32係透過密封環S3而固定於馬達外殼31，故而收容於馬達室311內的轉子核芯41係能藉由圓筒構件32所密封。藉此就能構成密封馬達。

在此，在轉子核芯41朝向馬達室311嵌入時，有的情況能藉由與定子核芯42之間的磁性相互作用(磁力)，而接觸於圓筒構件32之內周面。在本實施形態中，圓筒構件32係在包夾於定子核芯42與限制構件34之間的狀態下保持於馬達外殼31之內部。因此，即便圓筒構件32已藉由轉子核芯41而承受往徑向之接觸壓力，仍能阻止馬達室311中的相對位置之變化，並且不會在密封環S3之安裝位置產生變動，而可以將轉子核芯41穩定地嵌入至與定子核芯42對向於圓周方向的位置為止。

例如，圖5係顯示比較例的密封馬達500之構成。在同圖中，收容轉子核芯61的圓筒構件52係具有凸緣形狀之開口端部521，且透過沿著開口端部521之周緣所配置的密封環80而安裝於馬達外殼51。支撐轉子核芯61的旋轉軸71係透過軸承72而連結於泵外殼54。泵外殼54係透過環狀之密封構件82，而結合於收容定子核芯62的馬達外殼51。

此時，當藉由轉子核芯61與定子核芯62之磁性相互 作用，使轉子核芯61傾斜於Y軸方向地與圓筒構件52之內周面接觸時，就恐有使圓筒構件52之姿勢變化，或起因於圓筒構件52之姿勢變化而在密封環80之安裝位置發生偏移，或是使密封環80脫離之虞。

更且，因密封環80被配置於圓筒構件52的凸緣狀之開口端部521之周圍，故而在往馬達外殼51安裝圓筒構件52時，有時密封環80不越過開口端部521而是往定子核芯62側被推開，或使安裝位置部分偏移。因如此的密封環80之狀態並無法在安裝圓筒構件52之後確認，故而恐有圓筒構件52之密封不良未被發現就組裝密封馬達500之虞。

相對於此，依據本實施形態的真空泵100，則如圖2所示，因圓筒構件32是在被包夾於定子核芯42與限制構件34之間的狀態下保持於馬達外殼31之內部，故而能限制馬達室311中的圓筒構件32之相對位置的變動。藉此，即便已藉由轉子核芯41而承受往徑向之接觸壓力，仍能防止圓筒構件32或密封環S3之安裝位置的變動，且容易進行組裝作業。

因比較例之密封馬達500的圓筒構件52之開口端部521是具有凸緣形狀，故而容易依圓筒構件52之內部的壓力變化而在凸緣部與圓筒部之境界部重複發生應力集中， 且有因此原因而容易使圓筒構件52破損的問題。

相對於此，在本實施形態中，因圓筒構件32是形成為在其開口端部321不具有凸緣部的直筒形狀，故而可以用圓筒構件之內壁面整體來承受伴隨圓筒構件32之內部的壓力變化所致的應力。藉此，即便在圓筒構件32是由合成樹脂等之比較低強度的材料所構成的情況下，仍可以確實地防止藉由上述壓力變化所致的圓筒構件32之破損，並可以提高真空泵100之耐久性。

更且，依據本實施形態之真空泵100，因在馬達室311中具備定位圓筒構件32的限制構件34，故而與在圓筒構件32設置螺桿緊固部並直接固定於馬達室的情況等相較，還可以防止藉由上述壓力變化所致的圓筒構件32之局處變形。而且，因透過密封環S3而安裝於支撐壁部314的圓筒構件32之開口端部321是形成為圓筒形狀，故而可以將伴隨上述壓力變化所產生的應力均一地分散至開口端部321之圓周方向，以確保圓筒構件32所期望的耐壓特性。

另一方面，依據本實施形態，因是在圓筒構件32之周面部設置有錐形狀之段差部325，故而在往馬達外殼31安裝圓筒構件32時，密封環S3並不會在其安裝位置發生變動，而能夠穩定地載置於第一圓筒部323側。藉此，可以阻止由於圓筒構件32之安裝所致的密封環S3之不意圖的 位置偏移，以確保泵組裝時的密封環S3之可靠度，並且可以謀求組裝作業性之提高。

更且，依據本實施形態，因馬達外殼31不僅具有馬達室311還具有齒輪室312，故而不需要用以形成齒輪室312的另外殼體，且可以謀求組裝作業性之更進一步的提高。

以上，雖然已針對本發明之實施形態加以說明，但是本發明並非被僅限於上述之實施形態而是當然能施加各種變更。

例如，在以上的實施形態中，雖然已舉例說明螺旋泵作為真空泵100，但是未被限於此，本發明亦能夠應用於魯氏泵(Roots pump)或機械升壓泵(mechanical booster pump)等。

又，本發明亦能夠應用於具有單一旋轉軸的旋轉式泵(rotary pump)或渦捲式泵(scroll pump)。

更且，圓筒構件32，亦可不具有段差部325，而是構成直線(straight)。在此情況下，例如能在維修時，從可供保護板33安裝的馬達外殼31之前端側拔出圓筒構件。

Claims (7)

1. 一種真空泵，係具備：第一單元，係具有轉子核芯、第一旋轉軸及泵外殼，前述第一旋轉軸係支撐前述轉子核芯且朝向單軸方向延伸，前述泵外殼係收容前述第一旋轉軸；以及第二單元，係具有圓筒構件、定子核芯、馬達外殼、密封環及限制構件，前述圓筒構件係具有開口端部和閉塞端部且收容前述轉子核芯，前述定子核芯係配置於前述圓筒構件之周圍，前述馬達外殼係收容前述圓筒構件和前述定子核芯且結合於前述泵外殼，前述密封環係配置於前述圓筒構件與前述馬達外殼之間，前述限制構件係安裝於前述馬達外殼且與前述圓筒構件之前述開口端部對向於前述單軸方向。
2. 如請求項1所記載之真空泵，其中前述馬達外殼係具有支撐前述密封環的安裝部；前述圓筒構件係更具有：第一圓筒部，係包含前述開口端部，且與前述密封環接觸；第二圓筒部，係包含前述閉塞端部，且具有比前述第一圓筒部還小的外徑；以及段差部，係設置於前述第一圓筒部與前述第二圓筒部之間，且外徑從前述第一圓筒部朝向前述第二圓筒部連續性地或階段性地縮小。
3. 如請求項1或2所記載之真空泵，其中前述第一單元係更具有第二旋轉軸及同步齒輪，前述同步齒輪係安裝於前述第一旋轉軸且使前述第二旋轉軸旋轉；前述馬達外殼係具有：收容前述定子核芯的馬達室；以及收容前述同步齒輪的齒輪室。
4. 如請求項3所記載之真空泵，其中前述第一旋轉軸及前述第二旋轉軸為一對螺旋軸。
5. 如請求項1或2所記載之真空泵，其中前述圓筒構件係由合成樹脂材料所構成。
6. 如請求項1或2所記載之真空泵，其中前述閉塞端部係具有圓頂形狀。
7. 一種真空泵的組裝方法，係包含以下的步驟：準備將支撐轉子核芯的第一旋轉軸嵌入於泵外殼所得的第一單元；準備將圓筒構件、定子核芯、密封環及限制構件嵌入於馬達外殼所得的第二單元，前述定子核芯係配置於圓筒構件之周圍，前述密封環係配置於前述圓筒構件的外周面與前述馬達外殼的內周部之間，前述限制構件係與前述圓筒構件之前述開口端部對向；以及將前述轉子核芯收容於前述圓筒構件，且相互地結合前述泵外殼和前述馬達外殼。