TW201829793A - 組成物、黏著劑、燒結體、接合體及接合體的製造方法 - Google Patents

組成物、黏著劑、燒結體、接合體及接合體的製造方法 Download PDF

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Abstract

本發明提供一種組成物，其含有：金屬粒子，其能夠進行暫態液相燒結；及，熱塑性樹脂，其使用熱重量測定裝置在氮氣氣流中測得的熱分解率為2.0質量％以下。

Description

組成物、黏著劑、燒結體、接合體及接合體的製造方法
本發明有關一種組成物、黏著劑、燒結體、接合體及接合體的製造方法。
在製造半導體裝置時，作為使半導體元件與支撐構件黏著的方法，可舉例如：使焊料粉作為填充劑分散在環氧樹脂等熱硬化性樹脂中並形成為糊漿狀後，作為導電性黏著劑使用的方法(例如參照專利文獻1)。 　　在此方法中，使用分配器、印刷機、壓印機等來將糊漿狀的導電性黏著劑塗佈於支撐構件的晶片座上之後，將半導體元件進行固晶(Die bonding)，並將導電性黏著劑加熱而使其硬化，來製作成半導體裝置。
近年來，隨著半導體元件的高速化、高積體化等進展，為了使半導體裝置在高溫運作，而正在對導電性黏著劑尋求在低溫的接合性及在高溫的連接可靠性。
為了謀求焊料膏的可靠性提高，而正在研究以丙烯酸系樹脂為代表的低彈性材料(例如參照專利文獻2)，該焊料膏是使焊料粉作為填充劑分散而成。
此外，已提出一種黏著劑組成物，其使用經實施特殊的表面處理後的微米尺寸以下的銀粒子，而能夠藉由在100℃～400℃加熱來使銀粒子彼此燒結(例如參照專利文獻3及專利文獻4)。專利文獻3和專利文獻4中所提出的銀粒子彼此燒結之黏著劑組成物，由於銀粒子會形成金屬鍵，因而認為在高溫的連接可靠性優異。
另一方面，作為使用銀以外的金屬粒子的例子，正在開發暫態液相燒結型金屬黏著劑(例如參照專利文獻5、非專利文獻1及非專利文獻2)。暫態液相燒結型金屬黏著劑是使用金屬粒子的組合(例如銅與錫)來作為金屬成分，該金屬粒子的接合界面會產生液相。將接合界面會產生液相的金屬粒子加以組合，便能夠藉由加熱來形成界面液相。然後，液相的熔點會因反應擴散進行而緩緩上升，最後，接合層的組成的熔點會高於接合溫度。 　　專利文獻5、非專利文獻1及非專利文獻2中所記載的暫態液相燒結型金屬黏著劑，因銅與銅錫合金會接合，因而認為已提高在高溫的連接可靠性。 [先前技術文獻] (專利文獻)
專利文獻1：日本特開2005-93996號公報 　　專利文獻2：國際公開第2009/104693號 　　專利文獻3：日本專利第4353380號公報 　　專利文獻4：日本特開2015-224263號公報 　　專利文獻5：日本特表2015-530705號公報
(非專利文獻) 　　非專利文獻1：菅沼克昭　監修，「次世代功率半導體構裝的要素技術與可靠性」，CMC出版，2016年5月31日，p.29-30 　　非專利文獻2：朗豐群、其它3人，第26次電子構裝學會春季演講大會演講論文集，一般社團法人電子構裝學會，2014年7月17日，p.295-296
[發明所欲解決的問題] 　　暫態液相燒結型金屬黏著劑中所使用的樹脂成分，是由下述所構成且未進行詳細研究：以環氧樹脂為代表的熱硬化性樹脂、及助熔劑(flux)等添加劑。 　　根據本發明人的研究，雖因樹脂成分的種類而異，但亦有時在燒結體中會產生空隙。此外，若使用環氧樹脂來作為樹脂成分，則有燒結體的彈性模數會提高的傾向。
本發明的一態樣是鑒於上述先前的情況而研創，其目的在於提供一種組成物及含有此組成物之黏著劑、以及使用此組成物而成的燒結體、接合體及其製造方法，該組成物能夠形成一種燒結體，其在25℃時的彈性模數低、彈性模數在250℃進行熱處理前後增加的情形會受到抑制。 [解決問題的技術手段]
解決前述所欲解決的問題的具體手段，是如下所述。 ＜1＞ 一種組成物，其含有：金屬粒子，其能夠進行暫態液相燒結；及，熱塑性樹脂，其使用熱重量測定裝置在氮氣氣流中測得的熱分解率為2.0質量％以下。 ＜2＞ 如＜1＞所述之組成物，其中，前述金屬粒子包含第1金屬粒子與第2金屬粒子，該第1金屬粒子包含銅，該第2金屬粒子包含錫。 ＜3＞ 如＜1＞或＜2＞所述之組成物，其中，前述金屬粒子在固體成分整體中所佔的質量基準的比例為80質量％以上。 ＜4＞ 如＜1＞至＜3＞中任一項所述之組成物，其中，前述熱塑性樹脂在25℃時的彈性模數為0.01 GPa～1.0 GPa。 ＜5＞ 如＜1＞至＜4＞中任一項所述之組成物，其中，前述熱塑性樹脂包含選自由醯胺鍵、醯亞胺鍵及胺酯(urethane)鍵所組成之群組中的至少1種。 ＜6＞ 如＜1＞至＜5＞中任一項所述之組成物，其中，前述熱塑性樹脂包含選自由聚醯胺樹脂、聚醯胺醯亞胺樹脂、聚醯亞胺樹脂及聚胺酯樹脂所組成之群組中的至少1種。 ＜7＞ 如＜1＞至＜6＞中任一項所述之組成物，其中，前述熱塑性樹脂包含聚環氧烷(polyalkylene oxide)結構及聚矽氧烷結構之中的至少一種。 ＜8＞ 如＜7＞所述之組成物，其中，前述聚環氧烷結構包含由下述通式(1)表示的結構。
通式(1)中，R1 表示伸烷基，m表示1～100的整數，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置。 ＜9＞ 如＜8＞所述之組成物，其中，由通式(1)表示的結構包含由下述通式(1A)表示的結構。
通式(1A)中，m表示1～100的整數，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置。 ＜10＞ 如＜7＞至＜9＞中任一項所述之組成物，其中，前述聚矽氧烷結構包含由下述通式(2)表示的結構。
通式(2)中，R2 和R3 各自獨立地表示2價有機基，R4 ～R7 各自獨立地表示碳數1～20的烷基或碳數6～18的芳基，n表示1～50的整數，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置。 ＜11＞ 如＜1＞至＜4＞中任一項所述之組成物，其中，前述熱塑性樹脂包含聚醯胺醯亞胺樹脂，該聚醯胺醯亞胺樹脂具有源自二醯亞胺羧酸或其衍生物的結構單元、及源自芳香族二異氰酸酯或芳香族二胺的結構單元， 　　由下述通式(3)表示的結構單元在前述源自二醯亞胺羧酸或其衍生物的結構單元中所佔的比例為30 mol％以上， 並且，由下述通式(4)表示的結構單元在前述源自二醯亞胺羧酸或其衍生物的結構單元中所佔的比例為25 mol％以上。
通式(3)中，R8 表示包含由下述通式(1)表示的結構之2價基，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置。
通式(1)中，R1 表示伸烷基，m表示1～100的整數，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置。
通式(4)中，R9 表示包含由下述通式(2)表示的結構之2價基，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置；
通式(2)中，R2 和R3 各自獨立地表示2價有機基，R4 ～R7 各自獨立地表示碳數1～20的烷基或碳數6～18的芳基，n表示1～50的整數，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置。 ＜12＞ 一種黏著劑，其含有＜1＞至＜11＞中任一項所述之組成物。 ＜13＞ 一種燒結體，其是＜1＞至＜11＞中任一項所述之組成物的燒結體。 ＜14＞ 一種接合體，其是藉由＜13＞所述之燒結體將元件與支撐構件接合而成。 ＜15＞ 一種接合體的製造方法，其具有下述步驟： 　　形成組成物層的步驟，其將＜1＞至＜11＞中任一項所述之組成物供給至支撐構件中的要與元件接合的部位及前述元件中的要與前述支撐構件接合的部位之中的至少一方來來形成組成物層； 　　接觸步驟，其隔著前述組成物層來使前述支撐構件與前述元件接觸；及， 　　燒結步驟，其將前述組成物層加熱來進行燒結。 [功效]
根據本發明的一態樣，能夠提供一種組成物及含有此組成物之黏著劑、以及使用此組成物而成的燒結體、接合體及其製造方法，該組成物能夠形成一種燒結體，其在25℃時的彈性模數低、彈性模數在250℃進行熱處理前後增加的情形會受到抑制。
以下，詳細說明本發明的實施方式。但是，本發明並不受下述實施形態所限定。下述實施形態中，其構成要素(亦包含要素步驟等)除了有特別指明的情形以外其餘均非必要。數值及其範圍亦相同，並非用以限制本發明。 　　在本說明書中使用「～」來表示的數值範圍中，是包含「～」前後所記載的數值來分別作為最小值及最大值。 　　在本說明書中分階段記載的數值範圍中，一個數值範圍中記載的上限值或下限值可置換為其它分階段記載的數值範圍的上限值或下限值。此外，在本說明書中所記載的數值範圍中，該數值範圍的上限值或下限值可置換為實施例中所揭示的值。 　　本說明書中，當組成物中存在複數種相當於各成分的物質時，只要未特別說明，組成物中的各成分的含有率即是意指組成物中存在的該複數種物質的合計含有率。 　　本說明書中，當組成物中存在複數種相當於各成分的粒子時，只要未特別說明，組成物中的各成分的粒徑即是意指關於組成物中存在的該複數種粒子的混合物的值。 　　本說明書中，「層」的用語除了在觀察有該層存在的區域時形成於該區域的整體的情形以外，亦包含僅形成於該區域的一部分的情形。
＜組成物＞ 　　本發明的組成物含有：金屬粒子，其能夠進行暫態液相燒結；及，熱塑性樹脂，其使用熱重量測定裝置在氮氣氣流中測得的熱分解率為2.0質量％以下。 　　藉由使用本發明的組成物，即能夠形成一種燒結體，其在25℃時的彈性模數低、彈性模數在250℃進行熱處理前後增加的情形會受到抑制。雖然其理由尚不明確，我們推測是如下所述。 　　利用暫態液相燒結法的習知黏著劑(組成物)，一直廣泛使用熱硬化性樹脂亦即環氧樹脂來作為樹脂成分。然而，有時難以控制環氧樹脂等熱硬化性樹脂的硬化反應，雖因反應條件、組成物中的硬化性樹脂、硬化觸媒等的含有率等條件而異，但亦有時未反應的熱硬化性樹脂會殘留在燒結體中。若未反應的熱硬化性樹脂殘留在燒結體中，則有時會因在例如25℃～250℃的條件進行長時間可靠性測試而對燒結體提供熱履歷，導致未反應的熱硬化性樹脂的硬化反應緩緩進行，而使燒結體的彈性模數緩緩增加而改變燒結體的物性。 　　此外，當未反應的熱硬化性樹脂殘留在燒結體中、或使用熱分解率高的熱塑性樹脂來作為樹脂成分時，有時會對燒結體提供熱履歷，而使未反應的熱硬化性樹脂或熱分解率高的熱塑性樹脂熱分解緩緩進行後發生氣化或樹脂成分消失，因此，在燒結體中會產生空隙。若在燒結體中產生空隙，則有時會改變燒結體的物性。 　　本發明中因使用一種熱分解率在特定範圍內的熱塑性樹脂來作為樹脂成分，因此，我們推測：能夠抑制因提供熱履歷而使燒結體的彈性模數增加的情形。 　　並且，一般而言，熱塑性樹脂的彈性模數較熱硬化性樹脂的硬化物更低。因此，我們推測：使用熱塑性樹脂來作為組成物中的樹脂成分，即能夠降低燒結體在25℃時的彈性模數。
以下，詳細說明構成本發明的組成物的各成分。
(金屬粒子) 　　本發明的組成物含有金屬粒子，其能夠進行暫態液相燒結。 　　本發明中所謂「暫態液相燒結」，亦稱為Transient Liquid Phase Sintering(TLPS)，是指會因下述情形而進行的現象：在低熔點金屬的粒子界面發生的因加熱而轉移至液相、及反應擴散至高熔點金屬的液相。若藉由暫態液相燒結，則能夠使燒結體的熔點高於加熱溫度。
用以構成能夠進行暫態液相燒結的金屬粒子的能夠進行暫態液相燒結的金屬，其組合並無特別限定，可舉例如：金(Au)與銦(In)的組合、銅(Cu)與錫(Sn)的組合、Sn與銀(Ag)的組合、Sn與鈷(Co)的組合、及Sn與鎳(Ni)的組合。
本發明中，作為能夠進行暫態液相燒結的金屬粒子，以能夠進行暫態液相燒結的金屬的組合為Cu與Sn的組合的情形為例子時，可舉例如下述情形：使用包含Cu之第1金屬粒子、及包含Sn之第2金屬粒子的情形；使用一個金屬粒子中包含Cu和Sn之金屬粒子的情形；使用一個金屬粒子中包含Cu和Sn之金屬粒子、及包含Cu之第1金屬粒子或包含Sn之第2金屬粒子的情形等。 　　當使用包含Cu之第1金屬粒子及包含Sn之第2金屬粒子來作為金屬粒子時，第1金屬粒子與第2金屬粒子的質量基準的比例(第1金屬粒子/第2金屬粒子)雖亦因金屬粒子的粒徑而異，但以2.0～4.0為佳，以2.2～3.5較佳。 　　一個金屬粒子中包含2種金屬之金屬粒子，能夠以例如下述方式獲得：藉由鍍覆、蒸鍍等來於包含其中一種金屬的金屬粒子的表面形成包含另一種金屬的層。此外，亦能夠藉由下述方法來獲得一個金屬粒子中包含2種金屬之金屬粒子：在高速氣流中使用以衝擊力為主體的力量，以乾式來將包含另一種金屬的粒子供給至包含其中一種金屬的金屬粒子的表面並使兩者複合化。
本發明中，作為能夠進行暫態液相燒結的金屬的組合，以Cu與Sn的組合為佳。 　　再者，當應用Cu與Sn的組合時，Sn可為Sn單體或包含Sn之合金，以包含Sn的合金為佳。作為包含Sn之合金的例子，可舉例如Sn-3.0Ag-0.5Cu合金等。再者，合金中的標示是表示例如：當為Sn-AX-BY時，錫合金中含有：A質量％元素X、B質量％元素Y。 　　由於藉由燒結來生成銅-錫金屬化合物(Cu6 Sn5 )的反應是在250℃附近進行，故組合使用Cu與Sn，即能夠藉由回焊爐等一般的設備來燒結。
本發明中，所謂金屬粒子的液相轉移溫度，是指發生金屬粒子界面轉移至液相的溫度，例如：當使用錫合金之中的一種亦即Sn-3.0Ag-0.5Cu合金粒子及銅粒子時，液相轉移溫度為約217℃。 　　金屬粒子的液相轉移溫度能夠藉由示差掃描熱量測定(DSC)，使用鉑製平盤來下述條件下進行測定：在50 mL/分鐘的氮氣氣流中，以10℃/分鐘的升溫速度來從25℃加熱直到300℃為止。
組成物中的金屬粒子的含有率並無特別限定。例如：金屬粒子在本發明的組成物的固體成分整體中所佔的質量基準的比例，以80質量％以上為佳，以85質量％以上較佳，以88質量％以上更佳。此外，金屬粒子的質量基準的比例可為98質量％以下。若金屬粒子的質量基準的比例為98質量％以下，則當以糊漿的形式來使用本發明的組成物時，有印刷性不容易受損的傾向。
金屬粒子的平均粒徑並無特別限定。例如：金屬粒子的平均粒徑以0.5 μm～80 μm為佳，以1 μm～50 μm較佳，以1 μm～30 μm更佳。 　　金屬粒子的平均粒徑，是指使用雷射繞射式粒度分布計(例如貝克曼庫爾特股份有限公司製，LS 13 320型雷射散射繞射法粒度分布測定裝置)來測得的體積平均粒徑。具體而言，在溶劑(松油醇(terpineol))125 g中在0.01質量％～0.3質量％的範圍內添加金屬粒子，而調製分散液。將此分散液的約100 mL左右注入至光析管中，並在25℃進行測定。粒度分布是將溶劑的折射率設為1.48來進行測定。
(熱塑性樹脂) 　　本發明的組成物含有熱塑性樹脂，其使用熱重量測定裝置在氮氣氣流中測得的熱分解率為2.0質量％以下。若熱塑性樹脂的使用熱重量測定裝置在氮氣氣流中測得的熱分解率超過2.0質量％，則難以抑制因提供熱履歷而改變燒結體的彈性模數的情形。 　　熱塑性樹脂的熱分解率以1.5質量％以下為佳，以1.0質量％以下較佳。
本發明中，熱塑性樹脂的熱分解率，是指藉由下述方法來測得的值。 　　將下述重量減少率設為熱分解率：使用熱重量測定裝置，在50 mL/分鐘的氮氣氣流中，將配置於鉑製平盤中的樹脂10 mg，在10℃/分鐘的升溫速度的條件下，從25℃加熱直到400℃為止時，在200℃～300℃之間的重量減少率。
從確保連接可靠性的觀點來看，熱塑性樹脂在25℃時的彈性模數以0.01 GPa～1.0 GPa為佳，以0.01 GPa～0.5 GPa較佳，以0.01 GPa～0.3 GPa更佳。 　　熱塑性樹脂在25℃時的彈性模數，是指藉由JIS K 7161-1：2014的方法來測得的值。
從熱塑性樹脂的分散性的觀點來看，熱塑性樹脂較佳是具有：容易與金屬粒子的表面形成氫鍵的官能基或結構。作為容易與金屬粒子的表面形成氫鍵的官能基，可舉例如：胺基、羧基等。此外，作為容易與金屬粒子的表面形成氫鍵的結構，可舉例如：醯胺鍵、醯亞胺鍵、胺酯鍵等。 　　作為熱塑性樹脂，較佳是包含選自由醯胺鍵、醯亞胺鍵及胺酯鍵所組成之群組中的至少1種。 　　作為這樣的熱塑性樹脂，可舉例如：選自由聚醯胺樹脂、聚醯胺醯亞胺樹脂、聚醯亞胺樹脂及聚胺酯樹脂所組成之群組中的至少1種。熱塑性樹脂，以聚醯胺醯亞胺樹脂為佳。
從藉由熱塑性樹脂變形來使應力鬆弛的觀點來看，熱塑性樹脂較佳是具有會顯示柔軟性的分子結構。作為會顯示柔軟性的分子結構，可舉例如：聚環氧烷結構及聚矽氧烷結構之中的至少一種。
當熱塑性樹脂具有聚環氧烷結構時，聚環氧烷結構無特別限定。聚環氧烷結構較佳是包含例如由下述通式(1)表示的結構。
通式(1)中，R1 表示伸烷基，m表示1～100的整數，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置。當聚環氧烷結構為複數種的集合體時，m表示平均值亦即有理數。
通式(1)中，作為R1 所示的伸烷基，以碳數1～10的伸烷基為佳，以碳數1～4的伸烷基較佳。伸烷基可為直鏈狀，亦可為支鏈狀，亦可為環狀。作為R1 所示的伸烷基，可舉例如：亞甲基、伸乙基、伸丙基、伸丁基、伸己基、伸辛基、伸癸基等。R1 所示的伸烷基，可為單獨1種、或併用種類不同的2種以上伸烷基。
通式(1)中，m以20～60為佳，以30～40較佳。
由通式(1)表示的結構，較佳是包含由下述通式(1A)表示的結構。
通式(1A)中，m表示1～100的整數，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置。m的較佳範圍是與通式(1)的情形相同。
當熱塑性樹脂具有聚環氧烷結構時，由通式(1)表示的聚環氧烷結構在全部聚環氧烷結構中所佔的比例，以75質量％～100質量％為佳，以85質量％～100質量％較佳，以90質量％～100質量％更佳。 　　熱塑性樹脂具有由通式(1)表示的聚環氧烷結構時，由通式(1A)表示的聚環氧烷結構在由通式(1)表示的全部聚環氧烷結構中所佔的比例，以50質量％～100質量％為佳，以75質量％～100質量％較佳，以90質量％～100質量％更佳。
當熱塑性樹脂具有聚矽氧烷結構時，聚矽氧烷結構無特別限定。聚矽氧烷結構較佳是包含例如由下述通式(2)表示的結構。
通式(2)中，R2 和R3 各自獨立地表示2價有機基，R4 ～R7 各自獨立地表示碳數1～20的烷基或碳數6～18的芳基，n表示1～50的整數，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置。當聚矽氧烷結構為複數種的集合體時，n表示平均值亦即有理數。 　　再者，烷基或芳基的碳數中不包含取代基中所含的碳原子的數目。
通式(2)中，作為R2 和R3 所示的2價有機基，可舉例如：2價飽和烴基、2價脂肪族醚基、2價脂肪族酯基等。 　　當R2 和R3 為2價飽和烴基時，2價飽和烴基可為直鏈狀，亦可為支鏈狀，亦可為環狀。此外，2價飽和烴基可具有氟原子、氯原子等鹵素原子等取代基。 　　作為R2 和R3 所示的2價飽和烴基，可舉例如：亞甲基、伸乙基、伸丙基、伸丁基、伸戊基、伸環丙基、伸環丁基、伸環戊基等。R2 和R3 所示的2價飽和烴基能夠單獨使用1種或組合使用2種以上。 　　作為R2 和R3 ，以伸丙基為佳。
通式(2)中，作為R4 ～R7 所示的碳數1～20的烷基，可舉例如：甲基、乙基、正丙基、異丙基、正丁基、三級丁基、正辛基、2-乙基己基、正十二烷基等。此等之中，以甲基為佳。 　　通式(2)中，R4 ～R7 所示的碳數6～18的芳基可未經取代或經取代基所取代。當芳基具有取代基時，作為取代基，可舉例如：鹵素原子、烷氧基、羥基等。 　　作為碳數6～18的芳基，可舉例如：苯基、萘基、苯甲基等。此等之中，以苯基為佳。 　　R4 ～R7 所示的碳數1～20的烷基或碳數6～18的芳基，可單獨使用1種或組合使用2種以上。
通式(2)中，n以5～25為佳，以10～25較佳。
作為熱塑性樹脂，較佳為一種聚醯胺醯亞胺樹脂，其為主鏈中具有醯胺鍵及醯亞胺鍵的聚合物。作為聚醯胺醯亞胺樹脂，較佳是具有源自二醯亞胺羧酸或其衍生物的結構單元、及源自芳香族二異氰酸酯或芳香族二胺的結構單元。
當聚醯胺醯亞胺樹脂為具有源自二醯亞胺羧酸或其衍生物的結構單元及源自芳香族二異氰酸酯或芳香族二胺的結構單元之樹脂時，較佳是由下述通式(3)表示的結構單元在源自二醯亞胺羧酸或其衍生物的結構單元中所佔的比例為30 mol％以上且由下述通式(4)表示的結構單元在源自二醯亞胺羧酸或其衍生物的結構單元中所佔的比例為25 mol％以上，更佳是由下述通式(3)表示的結構單元的比例與由下述通式(4)表示的結構單元的比例合計為60 mol％以上，進一步更佳是由下述通式(3)表示的結構單元的比例與由下述通式(4)表示的結構單元的比例合計為70 mol％以上，特佳是由下述通式(3)表示的結構單元的比例與由下述通式(4)表示的結構單元的比例合計為85 mol％以上。 　　由下述通式(3)表示的結構單元在源自二醯亞胺羧酸或其衍生物的結構單元中所佔的比例，可為60 mol％以下。 　　由下述通式(4)表示的結構單元在源自二醯亞胺羧酸或其衍生物的結構單元中所佔的比例，可為60 mol％以下。 　　由下述通式(3)表示的結構單元與由下述通式(4)表示的結構單元在源自二醯亞胺羧酸或其衍生物的結構單元中所佔的比例合計，可為100 mol％。
通式(3)中，R8 表示包含由下述通式(1)表示的結構之2價基，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置。
通式(1)中，R1 表示伸烷基，m表示1～100的整數，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置。R1 的具體例、m的較佳範圍等是如上所述。
通式(3)表示的結構單元，較佳是由下述通式(3A)表示的結構單元，更佳是由下述通式(3B)表示的結構單元。
通式(3A)中，R1 表示伸烷基，m表示1～100的整數，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置。R1 的具體例、m的較佳範圍等是與通式(1)的情形相同。
通式(3B)中，m表示1～100的整數，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置。m的較佳範圍等是與通式(1)相同。
通式(4)中，R9 表示包含由下述通式(2)表示的結構之2價基，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置。
通式(2)中，R2 和R3 各自獨立地表示2價有機基，R4 ～R7 各自獨立地表示碳數1～20的烷基或碳數6～18的芳基，n表示1～50的整數，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置。R2 ～R7 的具體例、n的較佳範圍等是如上所述。
通式(4)表示的結構單元，較佳是由下述通式(4A)表示的結構單元。
通式(4A)中，R2 和R3 各自獨立地表示2價有機基，R4 ～R7 各自獨立地表示碳數1～20的烷基或碳數6～18的芳基，n表示1～50的整數，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置。R2 ～R7 的具體例、n的較佳範圍等是與通式(2)的情形相同。
聚醯胺醯亞胺樹脂的製造方法並無特別限定，可舉例如：異氰酸酯法及醯氯法。 　　異氰酸酯法中，是使用二醯亞胺羧酸及芳香族二異氰酸酯來合成聚醯胺醯亞胺樹脂。醯氯法中，是使用二醯亞胺羧醯氯及芳香族二胺來合成聚醯胺醯亞胺樹脂。從二醯亞胺羧酸及芳香族二異氰酸酯合成的異氰酸酯法容易謀求聚醯胺醯亞胺樹脂的結構的最佳化，而較佳。
以下，詳細說明藉由異氰酸酯法來合成聚醯胺醯亞胺樹脂的方法。 　　異氰酸酯法中所使用的二醯亞胺羧酸是使用例如偏苯三甲酸酐及二胺來合成。合成二醯亞胺羧酸時所使用的二胺較佳為：矽氧烷改質二胺、脂環式二胺、脂肪族二胺等。
作為矽氧烷改質二胺，可舉例如具有下述結構式的化合物。
通式(5)中，R2 和R3 各自獨立地表示2價有機基，R4 ～R7 各自獨立地表示碳數1～20的烷基或碳數6～18的芳基，n表示1～50的整數。R2 ～R7 的具體例、n的較佳範圍等是與通式(2)的情形相同。
作為市售的矽氧烷改質二胺，可舉例如：KF-8010、KF-8012、X-22-161A、X-22-161B、X-22-9409(以上為信越化學工業股份有限公司製)等。
作為脂環式二胺，可舉例如：2,2-雙[4-(4-胺基環己氧基)環己基]丙烷、雙[4-(3-胺基環己氧基)環己基]碸、雙[4-(4-胺基環己氧基)環己基]碸、2,2-雙[4-(4-胺基環己氧基)環己基]六氟丙烷、雙[4-(4-胺基環己氧基)環己基]甲烷、4,4’-雙(4-胺基環己氧基)二環己基、雙[4-(4-胺基環己氧基)環己基]醚、雙[4-(4-胺基環己氧基)環己基]酮、1,3-雙(4-胺基環己氧基)苯、1,4-雙(4-胺基環己氧基)苯、2,2’-二甲基聯環己烷-4,4’-二胺、2,2’-雙(三氟甲基)二環己基-4,4’-二胺、2,6,2’,6’-四甲基二環己基-4,4’-二胺、5,5’-二甲基-2,2’-磺醯基-二環己基-4,4’-二胺、3,3’-二羥基二環己基-4,4’-二胺、4,4’-二胺基二環己基醚、4,4’-二胺基二環己基碸、4,4’-二胺基二環己基酮、4,4’-二胺基二環己基甲烷、4,4’-二胺基二環己基醚、3,3’-二胺基二環己基醚、2,2-雙(4-胺基環己基)丙烷等，能夠單獨使用1種或組合使用2種以上。 　　此等之中，較佳是選自由2,2-雙[4-(4-胺基環己氧基)環己基]丙烷、雙[4-(3-胺基環己氧基)環己基]碸、雙[4-(4-胺基環己氧基)環己基]碸、2,2-雙[4-(4-胺基環己氧基)環己基]六氟丙烷、雙[4-(4-胺基環己氧基)環己基]甲烷、4,4’-雙(4-胺基環己氧基)二環己基、雙[4-(4-胺基環己氧基)環己基]醚、雙[4-(4-胺基環己氧基)環己基]酮及4,4’-二胺基二環己基甲烷所組成之群組中的至少1種脂環式二胺。
作為脂肪族二胺，以氧伸丙基二胺為佳。作為市售的氧伸丙基二胺，可舉例如：JEFFAMINE D-230(三井精密化學股份有限公司(Mitsui Fine Chemicals,Inc)股份有限公司製，胺當量：115，商品名)、JEFFAMINE D-400(三井精密化學股份有限公司股份有限公司製，胺當量：200，商品名)、JEFFAMINE D-2000(三井精密化學股份有限公司股份有限公司製，胺當量：1,000，商品名)、JEFFAMINE D-4000(三井精密化學股份有限公司股份有限公司製，胺當量：2,000，商品名)等。
上述二胺可單獨使用1種或組合使用2種以上。較佳為一種聚醯胺醯亞胺樹脂，其是使用相對於二胺總量為60 mol％～100 mol％的上述二胺來合成，其中，為了同時達成耐熱性及低彈性模數，更佳為一種矽氧烷改質聚醯胺醯亞胺樹脂，其是包含矽氧烷改質二胺來合成。
作為二胺，亦能夠因應需要來併用芳香族二胺。作為芳香族二胺的具體例，可舉例如：對苯二胺、間苯二胺、鄰苯二胺、2,4-二胺基甲苯、2,5-二胺基甲苯、2,4-二胺基二甲苯、二胺基四甲苯、1,5-二胺基萘、2,6-二胺基萘、聯苯胺、4,4’-二胺基聯三苯、4,4’’’-二胺基聯四苯、4,4’-二胺基二苯基甲烷、1,2-雙(苯胺基)乙烷、4,4’-二胺基二苯基醚、二胺基二苯基碸、2,2-雙(對胺基苯基)丙烷、2,2-雙(對胺基苯基)六氟丙烷、3,3’-二甲基聯苯胺、3,3’-二甲基-4,4’-二胺基二苯基醚、3,3’-二甲基-4,4’-二胺基二苯基甲烷、二胺基三氟甲苯、1,4-雙(對胺基苯氧基)苯、4,4’-雙(對胺基苯氧基)聯苯、2,2’-雙{4-(對胺基苯氧基)苯基}丙烷、二胺基蒽醌、4,4’-雙(3-胺基苯氧基苯基)二苯基碸、1,3-雙(苯胺基)六氟丙烷、1,4-雙(苯胺基)八氟丁烷、1,5-雙(苯胺基)十氟戊烷、1,7-雙(苯胺基)十四氟庚烷、2,2-雙{4-(對胺基苯氧基)苯基}六氟丙烷、2,2-雙{4-(3-胺基苯氧基)苯基}六氟丙烷、2,2-雙{4-(2-胺基苯氧基)苯基}六氟丙烷、2,2-雙{4-(4-胺基苯氧基)-3,5-二甲基苯基}六氟丙烷、2,2-雙{4-(4-胺基苯氧基)-3,5-二(三氟甲基)苯基}六氟丙烷、對雙(4-胺基-2-三氟甲基苯氧基)苯、4,4’-雙(4-胺基-2-三氟甲基苯氧基)聯苯、4,4’-雙(4-胺基-3-三氟甲基苯氧基)聯苯、4,4’-雙(4-胺基-2-三氟甲基苯氧基)二苯基碸、4,4’-雙(3-胺基-5-三氟甲基苯氧基)二苯基碸、2,2-雙{4-(4-胺基-3-三氟甲基苯氧基)苯基}六氟丙烷、2,2-雙[4-(4-胺基苯氧基)苯基]丙烷等。芳香族二胺能夠在相對於二胺總量為0 mol％～40 mol％的範圍內任意使用。
作為芳香族二異氰酸酯，可舉例如：藉由芳香族二胺與光氣等進行反應來獲得的二異氰酸酯。作為芳香族二異氰酸酯的具體例，可舉例如：甲苯二異氰酸酯、4,4’-二苯基甲烷二異氰酸酯、萘二異氰酸酯、二苯基醚二異氰酸酯、苯-1,3-二異氰酸酯等芳香族二異氰酸酯。此等之中，以4,4’-二苯基甲烷二異氰酸酯、二苯基醚二異氰酸酯等為佳。
藉由異氰酸酯法來進行的聚醯胺醯亞胺樹脂的聚合反應，通常是在下述溶劑中進行：N-甲基-2-吡咯啶酮(NMP)、N,N-二甲基甲醯胺(DMF)、N,N-二甲基乙醯胺(DMAC)、二甲基亞碸(DMSO)、硫酸二甲酯、環丁碸、γ-丁內酯、甲酚、鹵苯酚、環己烷、二噁烷(dioxane)等。反應溫度以0℃～200℃為佳，以100℃～180℃較佳，以130℃～160℃更佳。 　　藉由異氰酸酯法來進行的聚醯胺醯亞胺樹脂的聚合反應中，二醯亞胺羧酸與芳香族二異氰酸酯的莫耳(mol)基準的調配比(二醯亞胺羧酸/芳香族二異氰酸酯)以1.0～1.5為佳，以1.05～1.3較佳，以1.1～1.2更佳。
(溶劑) 　　從當以糊漿的形式來使用本發明的組成物時印刷性提高的觀點來看，本發明的組成物可含有溶劑。 　　從使熱塑性樹脂溶解的觀點來看，溶劑以極性溶劑為佳，從防止在供給組成物的步驟中的組成物乾燥的觀點來看，以具有200℃以上沸點的溶劑為佳，為了抑制燒結時產生孔洞，以具有300℃以下沸點的溶劑較佳。
作為這樣的溶劑的例子，可舉例如：松油醇、硬脂醇、三丙二醇甲基醚、二乙二醇、二乙二醇單乙基醚(乙氧基乙氧基乙醇)、二乙二醇單己基醚、二乙二醇單甲基醚、二丙二醇正丙基醚、二丙二醇正丁基醚、三丙二醇正丁基醚、1,3-丁二醇、1,4-丁二醇、丙二醇苯基醚等醇類；檸檬酸三丁酯、4-甲基-1,3-二氧雜環戊-2-酮(4-methyl-1,3-dioxolan-2-one)、γ-丁內酯、環丁碸、2-(2-丁氧基乙氧基)乙醇、二乙二醇單乙基醚乙酸酯、二丙二醇甲基醚乙酸酯、二乙二醇單丁基醚乙酸酯、甘油三乙酸酯等酯類；異佛酮等酮類；N-甲基-2-吡咯啶酮等內醯胺類；苯乙腈等腈類等。溶劑可單獨使用1種或組合使用2種以上。
當本發明的組成物含有溶劑時，溶劑的含有率並無特別限定，溶劑在本發明的組成物整體中所佔的質量基準的比例，以0.1質量％～10質量％為佳，以2質量％～7質量％較佳，以3質量％～5質量％更佳。
(其它成分) 　　本發明的組成物可因應需要來含有松香、活性劑、觸變劑等其它成分。 　　作為本發明的組成物中可使用的松香，可舉例如：去氫樅酸(dehydroabietic acid)、二氫樅酸、新樅酸、二氫海松脂酸(dihydropimaric acid)、海松脂酸、異海松脂酸、四氫樅酸、長葉松酸(palustric acid)等。 　　作為本發明的組成物中可使用的活性劑，可舉例如：胺基癸酸、戊烷-1,5-二甲酸、三乙醇胺、二苯基乙酸、癸二酸、鄰苯二甲酸、苯甲酸、二溴柳酸、甲氧基苯甲酸、碘柳酸、吡啶甲酸等。 　　作為本發明的組成物中可使用的觸變劑，可舉例如：12-羥基硬脂酸、甘油三(12-羥基硬脂酸酯)、伸乙基雙硬脂醯胺、六亞甲基雙油醯胺、N,N’-二硬脂基己二醯胺等。
本發明的組成物中，熱塑性樹脂在除了金屬粒子以外的固體成分中所佔的比例，以5質量％～30質量％為佳，以6質量％～28質量％較佳，以8質量％～25質量％更佳。若熱塑性樹脂在除了金屬粒子以外的固體成分中所佔的比例為5質量％以上，則本發明的組成物容易成為糊漿的狀態。若熱塑性樹脂在除了金屬粒子以外的固體成分中所佔的比例為30質量％以下，則不容易阻礙金屬粒子燒結。
本發明的組成物可因應需要來含有熱硬化性樹脂。作為本發明中能夠使用的熱硬化性樹脂，可舉例如：環氧樹脂、噁嗪(oxazine)樹脂、雙馬來醯亞胺樹脂、酚樹脂、不飽和聚酯樹脂、及矽氧樹脂。
作為環氧樹脂的具體例，可舉例如：雙酚A型環氧樹脂、雙酚F型環氧樹脂、雙酚S型環氧樹脂、苯酚酚醛清漆型環氧樹脂、甲酚酚醛清漆型環氧樹脂、萘型環氧樹脂、聯苯酚型環氧樹脂、聯苯酚醛清漆型環氧樹脂及環式脂肪族環氧樹脂。
(組成物的製造方法) 　　本發明的組成物的製造方法並無特別限定。能夠藉由下述方式來獲得：將用以構成本發明的組成物的金屬粒子、熱塑性樹脂、因應需要來使用的溶劑其它成分混合，並進一步進行攪拌、熔融、分散等處理。用以進行此等混合、攪拌、分散等的裝置並無特別限定，能夠使用：三輥研磨機、周轉式混合機(planetary mixer)、行星式混合機、自轉公轉型攪拌裝置、擂潰機、雙軸揉合機、薄層剪切分散機等。此外，此等裝置可適當組合使用。進行上述處理時，可因應需要來加熱。 　　進行處理後，可藉由過濾來調整組成物的最大粒徑。過濾能夠使用過濾裝置來進行。作為過濾用的過濾器，可舉例如：金屬篩、金屬過濾器、及奈米篩。
＜黏著劑＞ 　　本發明的黏著劑含有本發明的組成物。本發明的組成物能夠直接作為黏著劑使用，且亦可因應需要來使其含有其它成分後再製作成黏著劑。本發明的黏著劑的較佳態樣是與上述本發明的組成物的情形相同。
＜燒結體＞ 　　本發明的燒結體是將本發明的組成物燒結而成。將本發明的組成物燒結的方法並無特別限定。 　　燒結體的電阻率以1×10－ 4 Ω・cm以下為佳。
＜接合體及其製造方法＞ 　　本發明的接合體是藉由本發明的燒結體將元件與支撐構件接合而成。 　　作為支撐構件並無特別限定，能夠使用要與元件接合的部位的材質為金屬的構件。作為要與元件接合的部位的材質亦即金屬，可舉例如：金、銀、銅、鎳等。此外，可在基材上將上述金屬中的複數種金屬圖案化而構成支撐構件。 　　作為支撐構件的具體例，可舉例如：導線架、經佈線的帶載體(tape carrier)、剛性線路板、可撓性線路板、經佈線的玻璃基板、經佈線的矽晶圓、晶圓級CSP(Wafer Level Chip Size Package，晶圓級晶片尺寸封裝)中所採用的重新佈線層等。 　　作為元件並無特別限定，可舉例如：半導體晶片、電晶體、二極體、發光二極體(LED)、閘流體等主動元件；電容器、電阻體、電阻陣列、線圈、開關等被動元件等。 　　此外，作為本發明的接合體，可舉例如：半導體裝置、電子零件等。作為半導體裝置的具體例，可舉例如電力模組、發信機、增幅器、LED模組等，其具備：二極體、整流器、閘流體、金屬氧化物半導體(MOS)閘極驅動器、電源開關、電力金屬氧化物半導體場效電晶體(power MOSFET)、絕緣閘極雙極電晶體(IGBT)、肖特基(Schottky)二極體、快速回復二極體等。
本發明的接合體的製造方法具有下述步驟： 形成組成物層的步驟，其將本發明的組成物供給至支撐構件中的要與元件接合的部位及前述元件中的要與前述支撐構件接合的部位之中的至少一方來形成組成物層；接觸步驟，其隔著前述組成物層來使前述支撐構件與前述元件接觸；及，燒結步驟，其將前述組成物層加熱來進行燒結。 　　在供給組成物來形成組成物層的步驟中，可包括下述步驟：將所供給的組成物進行乾燥的步驟。
將本發明的組成物供給至支撐構件中的要與元件接合的部位及元件中的要與支撐構件接合的部位之中的至少一方來形成組成物層。 　　作為組成物的供給方法，可舉例如：塗佈法及印刷法。 　　作為塗佈組成物的塗佈方法，能夠使用例如：浸漬法、噴霧塗佈法、棒塗佈法、模具塗佈法、缺角輪塗佈法、狹縫塗佈法、及藉由撒佈器來實行的塗佈。印刷組成物的印刷方法能夠使用例如：分配器法、模板印刷法、凹版印刷法、網版印刷法、針型分配器法、及噴射分配器法。
從抑制在加熱時組成物流動及產生孔洞的觀點來看，藉由供給組成物來形成的組成物層，較佳是進行乾燥。 　　組成物層的乾燥方法能夠使用：在常溫(例如25℃)放置來乾燥、加熱乾燥或減壓乾燥。加熱乾燥或減壓乾燥能夠使用：加熱板、溫風乾燥機、溫風加熱爐、氮氣乾燥機、紅外線乾燥機、紅外線加熱爐、遠紅外線加熱爐、微波加熱裝置、雷射加熱裝置、電磁加熱裝置、加熱器加熱裝置、蒸氣加熱爐、加熱板加壓裝置等。 　　用以乾燥的溫度及時間，能夠配合所使用的溶劑的種類及量來適當調整，較佳是例如：在50℃～180℃使其乾燥1分鐘～120分鐘。 　　形成組成物層後，使元件與支撐構件接觸，而隔著組成物層來將元件與支撐構件貼合。將所供給的組成物進行乾燥的步驟，可在使支撐構件與元件接觸的步驟之前及後之中的任一階段中進行。
然後，藉由將組成物層加熱來形成燒結體。組成物層的燒結可以加熱處理來進行，且亦可以加熱加壓處理來進行。 　　加熱處理能夠使用：加熱板、溫風乾燥機、溫風加熱爐、氮氣乾燥機、紅外線乾燥機、紅外線加熱爐、遠紅外線加熱爐、微波加熱裝置、雷射加熱裝置、電磁加熱裝置、加熱器加熱裝置、蒸氣加熱爐等。 　　此外，加熱加壓處理亦可使用加熱板加壓裝置等，且亦可一面加壓一面進行上述加熱處理。 　　將組成物層燒結時，加熱溫度雖亦因金屬粒子的種類而異，但以180℃以上為佳，以190℃以上較佳，以220℃以上更佳。該加熱溫度的上限無特別限制，例如為300℃以下。 　　將組成物層燒結時，加熱時間雖亦因金屬粒子的種類而異，但以5秒～10秒為佳，以1分鐘～30分鐘較佳，以3分鐘～10分鐘更佳。 　　本發明的接合體的製造方法中，組成物的燒結較佳是在低氧氣濃度的環境中進行。所謂低氧氣濃度的環境，是指氧氣濃度為1000 ppm以下的狀態，以500 ppm以下為佳。 [實施例]
以下，藉由實施例來更具體說明本發明，但本發明並不受下述實施例所限定。
各實施例及比較例中，各特性的測定是以下述方式實施。
(1)晶片抗剪強度(die shear strength) 　　使用前端尖銳的鑷子，來將以後述方法來調製的組成物塗佈於銅製的導線架上，而形成組成物層。將被黏著面經鍍金2 mm×2 mm尺寸之Si晶片置於組成物層上，並使用鑷子來輕輕按壓，而製作成組成物的燒結前樣品。在加熱板上在100℃將燒結前樣品乾燥30分鐘後，設置於氮氣回流裝置(TAMURA製作所股份有限公司製：1區50 cm，7區構成，氮氣氣流中)的輸送帶上，並在氧氣濃度200 ppm以下以0.3 m/分鐘的速度來運送。此時，在250℃以上加熱1分鐘以上，而製作成組成物的經燒結樣品。組成物的經燒結樣品的黏著強度是藉由晶片抗剪強度來進行評估。 　　使用安裝有1 kN的荷重元的萬能型黏合強度測試機(4000系列，DAGE公司製)，以測定速度500 μm/s、測定高度100 μm來將Si晶片朝向水平方向按壓，而測定組成物的經燒結樣品的晶片抗剪強度。將9次測定結果的平均值設為晶片抗剪強度。再者，若晶片抗剪切強度未達20 MPa，則可謂黏著不良。
(2)剖面SEM觀察 　　與「(1)晶片抗剪強度」同樣地進行，而製作組成物的經燒結樣品。以樣品夾(Samplklip I，Buehler公司製)來將組成物的經燒結樣品固定在杯子內，並在其周圍使環氧注模樹脂(EPOMOUNT，Refine Tec股份有限公司製)流入直到將樣品整體埋住為止後，在真空乾燥器內靜置，並減壓30秒來消泡。然後，在室溫(25℃)放置8小時以上來使環氧注模樹脂硬化。使用安裝有耐水研磨紙(CARBOMARK PAPER，Refine Tec股份有限公司製)的研磨裝置(Refine Polisher HV，Refine Tec股份有限公司製)來刨削直到接合部為止，而使剖面露出。然後，使用設置有經使拋光研磨劑滲入的拋光研磨布的研磨裝置來將剖面精加工成平滑。使用掃描型電子顯微鏡(SEM)裝置(TM-1000，日立製作所股份有限公司製)，以施加電壓15 kV來觀察此SEM用樣品的燒結體的剖面。
(3)電阻率的測定 　　與「(1)晶片抗剪強度」同樣地進行，而製作組成物的經燒結樣品。使用低電阻測定裝置(3541 RESISTANCE HITESTER，日置電機股份有限公司製)，來對組成物的經燒結樣品測定電阻率。以探針間隔50 mm寬來進行。
(4)彈性模數測試 　　使用印刷模具，在經以環氧樹脂來進行脫模處理的鋁箔(東洋鋁股份有限公司製，商品名Sepanium 50B2C-ET)上，將組成物印刷成縱10 mm×橫100 mm×厚度250 μm的尺寸。將印刷物配置於加熱板上並在100℃乾燥30分鐘後，使用氮氣烘箱裝置(YASHIMA-KOUGYOU股份有限公司製，P-P50-3AO2)，在250℃氮氣流量30 L/min的條件下加熱30分鐘來燒結，而獲得經燒結樣品片。將此經燒結樣品片設為樣品片(常態)。此外，在275℃烘箱中在大氣環境中對經燒結樣品片進行加熱處理4小時，而製作成樣品片(加熱處理後)。使用抗張測試機(AUTOGRAPH AGS-X，島津製作所股份有限公司製)來測定此等樣品片的彈性模數，而確認彈性模數的變化。測定是使用1 kN荷重元，以50 mm/分鐘的抗張速度來進行。
(5)熱分解率測定 　　使用熱重量測定裝置(TGA8120，Rigaku股份有限公司製)，在上述測定條件下測定樹脂的熱分解率。 　　再者，環氧樹脂的熱分解率是對環氧樹脂的硬化物進行測定。環氧樹脂的硬化物是藉由下述方法來製作。 　　使環氧樹脂10.0 g溶於甲基乙基酮(MEK)10 g中，並加入作為觸媒的1-氰乙基-2-乙基-4-甲基咪唑(2E4MZ-CN)0.1 g後，藉由攪拌翼來攪拌。將所獲得的混合物量取至2.0 g鋁盤中，並在烘箱中在100℃加熱30分鐘而使MEK揮發後，進一步在160℃加熱2小時，而獲得硬化物。
(6)SEM觀察 　　與「(1)晶片抗剪強度」同樣地進行，而製作組成物的經燒結樣品。使用氮氣烘箱裝置(YASHIMA-KOUGYOU股份有限公司製，P-P50-3AO2)，在250℃氮氣流量30 L/min的條件下將所獲得的樣品片加熱30分鐘，而製作樣品片(加熱處理後)。使用所獲得的樣品片(加熱處理後)，藉由與「(2)剖面SEM觀察」相同的方法來觀察燒結體的剖面。從所獲得的SEM影像判斷燒結體中有無空隙。
(7)印刷性 　　將不鏽鋼製的金屬遮罩(30 cm×30 cm，線寬1.0 mm，線間隔0.2 mm，線數5條)置於基板上，並以黏著帶來固定於基板上使其不偏移。將組成物取出20 g，並均勻塗佈於金屬遮罩的上部後，使用聚丙烯製的刮漿板來將組成物填充在金屬遮罩的溝中。然後，將金屬遮罩卸下，而製作成印刷物。在不將金屬遮罩洗淨的情形下將上述步驟重複進行5次後，以肉眼來確認各印刷物的線間未連接、線的角未倒塌。然後，確認在大氣中在200℃將印刷物加熱1分鐘後線間未連接。當線間未連接時評估為「OK」。
[實施例1～2、比較例1～2] (熱塑性樹脂的合成) －合成例1－ 　　在安裝有熱電偶、攪拌機及氮氣噴吹口之300 mL分離式燒瓶中，一面以約250 mL/分鐘來使氮氣流入，一面加入下述並攪拌使其溶解：矽氧烷改質二胺(X-22-161A，信越化學工業股份有限公司製，商品名，通式(5)中的R2 和R3 為乙烯基(－CH2 CH2 －)、R4 ～R7 均為甲基、n為約20的二胺)32.0 g、4,4’-二胺基二環己基甲烷(WONDAMINE HM(WHM)，新日本理化股份有限公司製，商品名)0.935 g、氧伸丙基二胺(JEFFAMINE D-2000(三井精密化學股份有限公司股份有限公司製，商品名，(－OCH2 CH(CH3 )－)的重複數m為約33的二胺)40.0 g、偏苯三甲酸酐17.9 g、及N-甲基-2-吡咯啶酮100 g。在此溶液中加入甲苯50 g，並藉由在150℃以上溫度脫水回流6小時來進行醯亞胺環閉環反應後，將甲苯餾除，並冷卻後，加入4,4’-二苯基甲烷二異氰酸酯(MDI)13.4 g，並在150℃使其進行反應2小時，而合成聚醯胺醯亞胺樹脂1。固體成分為50質量％。
－合成例2－ 　　在安裝有熱電偶、攪拌機及氮氣噴吹口之300 mL分離式燒瓶中，一面以約250 mL/分鐘來使氮氣流入，一面加入下述並攪拌使其溶解：矽氧烷改質二胺(X-22-161A，信越化學工業股份有限公司製，商品名)15.0 g、2,2-雙[4-(4-胺基苯氧基)苯基]丙烷(BAPP，和光純藥工業股份有限公司製)5.73 g、氧伸丙基二胺(JEFFAMINE D-2000(三井精密化學股份有限公司股份有限公司製，商品名)23.6 g、偏苯三甲酸酐13.4 g、及N-甲基-2-吡咯啶酮150 g。在此溶液中加入甲苯50 g，並藉由在150℃以上溫度脫水回流6小時來進行醯亞胺環閉環反應後，將甲苯餾除，並冷卻後，加入4,4’-二苯基甲烷二異氰酸酯(MDI)8.8 g，並在150℃使其進行反應2小時，而合成聚醯胺醯亞胺樹脂2。固體成分為30質量％。
(組成物的調製) 　　秤量0.82 g聚醯胺醯亞胺樹脂1(以樹脂溶液計為1.64 g)及12-羥基硬脂酸(和光純藥工業股份有限公司製)0.31 g、去氫樅酸(和光純藥工業股份有限公司製)1.85 g、胺基癸酸(和光純藥工業股份有限公司製)0.30 g及乙氧基乙氧基乙醇(和光純藥工業股份有限公司製)4.10 g至100 mL的聚乙烯瓶中，並塞緊後，使用轉子攪拌機來攪拌混合30分鐘。秤量銅粒子(三井金屬鑛業股份有限公司製，球狀，平均粒徑：10 μm)65.8 g、錫合金粒子(SAC305，Sn-3.0Ag-0.5Cu，三井金屬鑛業股份有限公司製，球狀，平均粒徑：3.0 μm)26.0 g至此混合物中並混合後，以抹刀來攪拌混合直到乾燥粉消失為止，並塞緊後，使用自轉公轉型攪拌裝置(Planetary Vacuum Mixer ARV-310，THINKY股份有限公司製)，以2000轉/分鐘來攪拌1分鐘，而製作成組成物A。
使用聚醯胺醯亞胺樹脂2(以樹脂溶液計為2.7 g)取代聚醯胺醯亞胺樹脂1，而製作成組成物B。 　　使用環氧樹脂(jER828，三菱化學股份有限公司製)取代聚醯胺醯亞胺樹脂1，而製作成組成物C。 　　使用環氧樹脂(NC3000H，日本化藥股份有限公司製)取代聚醯胺醯亞胺樹脂1，而製作成組成物D。
使用上述組成物來測定上述各特性。結果是如表1所示。表1中，「－」是意指未含有符合的成分。 　　表1中，羥基硬脂酸是意指12-羥基硬脂酸。 　　表1中，樹脂結構中，通式(3)的欄是意指由下述通式(3)表示的結構單元在源自二醯亞胺羧酸的結構單元中所佔的比例，通式(4)的欄是意指由下述通式(4)表示的結構單元在源自二醯亞胺羧酸的結構單元中所佔的比例。
[表1]
實施例及比較例的組成物的印刷性均良好。 　　使用環氧樹脂的比較例1在熱處理測試後彈性模數大幅增加。此外，相較於實施例，使用熱分解率較小的環氧樹脂的比較例2的常態下的彈性模數更高。 　　另一方面，相較於使用環氧樹脂的比較例，實施例1及實施例2的常態下的彈性模數更低。此外，相較於使用環氧樹脂的比較例，實施例1及實施例2的加熱處理後的彈性模數從常態上升的上升率更小。
本說明書中所記載的全部文獻、專利申請案及技術規格是藉由參照來將各個文獻、專利申請案及技術規格具體地且與分別記載的情形相同程度地援用於本說明書中。
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Claims (15)

  1. 一種組成物，其含有：金屬粒子，其能夠進行暫態液相燒結；及，熱塑性樹脂，其使用熱重量測定裝置在氮氣氣流中測得的熱分解率為2.0質量％以下。
  2. 如請求項1所述之組成物，其中，前述金屬粒子包含第1金屬粒子與第2金屬粒子，該第1金屬粒子包含銅，該第2金屬粒子包含錫。
  3. 如請求項1或2所述之組成物，其中，前述金屬粒子在固體成分整體中所佔的質量基準的比例為80質量％以上。
  4. 如請求項1至3中任一項所述之組成物，其中，前述熱塑性樹脂在25℃時的彈性模數為0.01 GPa～1.0 GPa。
  5. 如請求項1至4中任一項所述之組成物，其中，前述熱塑性樹脂包含選自由醯胺鍵、醯亞胺鍵及胺酯鍵所組成之群組中的至少1種。
  6. 如請求項1至5中任一項所述之組成物，其中，前述熱塑性樹脂包含選自由聚醯胺樹脂、聚醯胺醯亞胺樹脂、聚醯亞胺樹脂及聚胺酯樹脂所組成之群組中的至少1種。
  7. 如請求項1至6中任一項所述之組成物，其中，前述熱塑性樹脂包含聚環氧烷結構及聚矽氧烷結構之中的至少一種。
  8. 如請求項7所述之組成物，其中，前述聚環氧烷結構包含由下述通式(1)表示的結構：通式(1)中，R1 表示伸烷基，m表示1～100的整數，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置。
  9. 如請求項8所述之組成物，其中，由通式(1)表示的結構包含由下述通式(1A)表示的結構：通式(1A)中，m表示1～100的整數，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置。
  10. 如請求項7至9中任一項所述之組成物，其中，前述聚矽氧烷結構包含由下述通式(2)表示的結構：通式(2)中，R2 和R3 各自獨立地表示2價有機基，R4 ～R7 各自獨立地表示碳數1～20的烷基或碳數6～18的芳基，n表示1～50的整數，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置。
  11. 如請求項1至4中任一項所述之組成物，其中，前述熱塑性樹脂包含聚醯胺醯亞胺樹脂，該聚醯胺醯亞胺樹脂具有源自二醯亞胺羧酸或其衍生物的結構單元、及源自芳香族二異氰酸酯或芳香族二胺的結構單元， 　　由下述通式(3)表示的結構單元在前述源自二醯亞胺羧酸或其衍生物的結構單元中所佔的比例為30 mol％以上， 　　並且，由下述通式(4)表示的結構單元在前述源自二醯亞胺羧酸或其衍生物的結構單元中所佔的比例為25 mol％以上：通式(3)中，R8 表示包含由下述通式(1)表示的結構之2價基，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置；通式(1)中，R1 表示伸烷基，m表示1～100的整數，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置；通式(4)中，R9 表示包含由下述通式(2)表示的結構之2價基，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置；通式(2)中，R2 和R3 各自獨立地表示2價有機基，R4 ～R7 各自獨立地表示碳數1～20的烷基或碳數6～18的芳基，n表示1～50的整數，「＊」表示與鄰接的原子鍵結的位置。
  12. 一種黏著劑，其含有請求項1至11中任一項所述之組成物。
  13. 一種燒結體，其是請求項1至11中任一項所述之組成物的燒結體。
  14. 一種接合體，其是藉由請求項13所述之燒結體將元件與支撐構件接合而成。
  15. 一種接合體的製造方法，其具有下述步驟： 　　形成組成物層的步驟，其將請求項1至11中任一項所述之組成物供給至支撐構件中的要與元件接合的部位及前述元件中的要與前述支撐構件接合的部位之中的至少一方來形成組成物層； 　　接觸步驟，其隔著前述組成物層來使前述支撐構件與前述元件接觸；及， 　　燒結步驟，其將前述組成物層加熱來進行燒結。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020017048A1 (ja) * 2018-07-20 2020-01-23 日立化成株式会社 組成物、接合材料、焼結体、接合体及び接合体の製造方法
JP6609073B1 (ja) * 2019-01-15 2019-11-20 株式会社日本マイクロニクス プローブ基板及び電気的接続装置
JP2023087152A (ja) * 2021-12-13 2023-06-23 日本化薬株式会社 ポリイミド樹脂、該ポリイミド樹脂含有する樹脂組成物及びその硬化物

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA2196024A1 (en) * 1996-02-28 1997-08-28 Craig N. Ernsberger Multilayer electronic assembly utilizing a sinterable composition and related method of forming
CN1273249C (zh) * 2000-10-02 2006-09-06 旭化成电子材料元件株式会社 基本不含铅的金属合金颗粒及其生产方法和用途
WO2007015545A1 (ja) * 2005-08-04 2007-02-08 Kaneka Corporation 金属被覆ポリイミドフィルム
CN101506906A (zh) * 2006-08-28 2009-08-12 株式会社村田制作所 导电性接合材料及电子装置
JPWO2008133293A1 (ja) * 2007-04-25 2010-07-29 日立化成工業株式会社 接着シート
KR101148853B1 (ko) * 2007-05-21 2012-05-29 히다치 가세고교 가부시끼가이샤 접착제 조성물 및 이것을 사용한 접착 필름
CN101828434A (zh) * 2007-10-18 2010-09-08 日立化成工业株式会社 粘接剂组合物和使用其的电路连接材料、以及电路部件的连接方法和电路连接体
US8564140B2 (en) * 2008-09-26 2013-10-22 Alpha Metals, Inc. Mono-acid hybrid conductive composition and method
US8221518B2 (en) * 2009-04-02 2012-07-17 Ormet Circuits, Inc. Conductive compositions containing blended alloy fillers
JP6203493B2 (ja) * 2009-11-05 2017-09-27 オーメット サーキッツ インク 冶金ネットワーク組成物の調製およびその使用方法
JP5894147B2 (ja) * 2011-04-18 2016-03-23 株式会社ブリヂストン 粘接着剤組成物及びそれを用いた接着方法、並びに積層体及びタイヤ
WO2014042071A1 (ja) * 2012-09-14 2014-03-20 三菱エンジニアリングプラスチックス株式会社 熱可塑性樹脂組成物、樹脂成形品、及びメッキ層付樹脂成形品の製造方法

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