TW201802007A - 具有清洗埠的基板收納盒 - Google Patents

Abstract

一種柔性介面安裝至一基板載具之清洗埠，以達成與一工具埠之耦合。在各種實施例中，該柔性介面包含一護孔環，該護孔環呈現出一平面安裝表面或一下凹安裝表面以耦合至該工具埠。在一個實施例中，該護孔環係為一「不可撓性柔性」構造，其中該安裝表面無需實質上改變形狀便適形於該工具埠之口部。在其他實施例中，該護孔環係為一「可撓柔性」構造，其中該護孔環在嚙合工具埠時改變形狀。該護孔環可被配置成使沿朝向工具埠之方向施加之力（壓力-面積乘積）大於沿遠離工具埠之方向施加之力，藉此增強護孔環與工具埠間之密封。

Description

具有清洗埠的基板收納盒

本發明概言之係關於用於搬運晶圓或基板之載具，且更具體而言，係關於用於進氣及排氣之清洗埠。

各種基板收納盒（例如晶圓載具）利用清洗埠進行排氣及進氣。某些基板收納盒必須介接具有一來源埠及/或真空埠之工具，該來源埠及/或真空埠分別用於向晶圓收納盒充入氣體以及自晶圓收納盒排出氣體。 對使現有工具埠與基板收納盒清洗埠進行配合之可靠方式進行進一步開發將會受到歡迎。

本發明之各種實施例利用具有一介面之清洗埠，該介面係由柔性材料製成且順應工具埠之介面，以提供基板收納盒與工具埠間之一密封。在某些實施例中，清洗埠介面之一柔性構件之構造係為一「不可撓性柔性」構造，其中該柔性構件在負載作用下實質上保持其整體形狀，但其局部發生變形（即，「凹陷」）以適應工具埠之形狀。在其他實施例中，柔性構件係為一「可撓柔性」構件，其中該柔性構件之整體形狀在接觸工具埠期間會實質上改變以達成密封。本發明之各種實施例適以減小柔性構件施加於工具埠之力，以達成基板載具之動態耦合（kinematic coupling），進而正常地嚙合。 在結構上，各種所揭露之實施例包含一種基板收納盒，該基板收納盒界定一內部腔室，該基板收納盒包含用於供一清洗氣體進入或離開該內部腔室之一埠。一呼吸器總成（breather assembly）設置於該埠中，該呼吸器總成包含一本體及設置於該本體中之一護孔環（grommet）。在一個實施例中，該護孔環包含一管狀部及一環形盤狀部，該管狀部在一遠端具有一內徑，該環形盤狀部自該管狀部之該遠端沿徑向向內延伸，以界定具有一內徑之一中心孔。該孔之該內徑小於該管狀部之該遠端之該內徑，該環形盤狀部呈現該護孔環之一遠端表面。該護孔環之該遠端表面呈現出一平面幾何形狀與一下凹幾何形狀其中之一，該遠端表面適以接觸一工具埠，該工具埠所具有之一內徑大於該孔之該內徑並小於該管狀部之該遠端之該內徑。該護孔環之該環形盤狀部係為一種柔性材料以在該工具埠與該護孔環之該遠端表面之間形成一密封。 在其他實施例中，揭露一種基板收納盒，該基板收納盒界定一內部腔室，該基板收納盒包含用於供一清洗氣體進入或離開該內部腔室之一埠。一呼吸器總成設置於該埠中，該呼吸器總成包含一本體及設置於該本體中之一護孔環。在一個實施例中，該護孔環包含一管狀部及一環形盤狀部，該管狀部在一遠端具有一內徑，該環形盤狀部自該管狀部之該遠端沿徑向向內延伸，以界定具有一內徑之一中心孔，該中心孔之該內徑小於該管狀部之該遠端之該內徑，該護孔環包含一孔口結構，該孔口結構環繞該中心孔並自該環形盤狀部懸垂，該孔口結構具有一近端及一遠端，該孔口結構之該近端係與該環形盤狀部形成一體，該護孔環包含一第二環形盤，該第二環形盤自該孔口結構之該遠端沿徑向向外延伸，該第二環形盤狀部呈現該護孔環之一遠端表面。該護孔環之該遠端表面界定一平面幾何形狀與一下凹幾何形狀其中之一，該遠端表面適以接觸一工具埠，該工具埠所具有之一內徑大於該中心孔之該內徑並小於該管狀部之該遠端之該內徑。該護孔環之該環形盤狀部係為一種柔性材料以在該工具埠與該護孔環之該遠端表面之間形成一密封。 該本體可包含一內表面及一在該內表面上界定一底切（undercut）之結構。該護孔環可包含一肋與一唇緣（lip）其中之一，該肋與該唇緣之尺寸及位置適以在該護孔環設置於該本體中時與該底切相配合。在一個實施例中，該護孔環之該管狀部包含一波紋管（bellows）。 本發明之某些實施例更包含：一止回閥及一止回閥殼體，設置於該護孔環中；以及一內凸緣部，位於該護孔環上，用於使該止回閥對準，以使該止回閥自該環形盤狀部分離。在一個實施例中，該止回閥殼體直接耦合至該呼吸器總成之該本體。 各種實施例揭露一種柔性密封介面，該柔性密封介面包含一支撐結構，適於插入至一基板收納盒之一清洗埠中，該支撐結構界定一內徑。一環形盤鄰近該內徑而與該支撐結構相耦合，該環形盤包含一近端表面及一遠端表面且包含一界定一中心孔之結構，該中心孔具有一直徑。該環形盤之該遠端表面呈現出一平面幾何形狀與一下凹幾何形狀其中之一，該遠端表面適以接觸一工具埠，該工具埠所具有之一內徑大於該孔之該直徑並小於該支撐結構之該內徑。該環形盤可包含一柔性材料以在該工具埠與該護孔環之該遠端表面之間形成一密封。在一個實施例中，該環形盤係為一包覆成型（overmolded）組件；在其他實施例中，該支撐結構與該環形盤係為一一體成型組件。

[ 相關申請案 ] 本申請案主張於2012年11月20日提出申請之美國臨時專利申請案第61/728,644號以及於2012年12月6日提出申請之美國臨時專利申請案第61/734,066號之權利，該等專利申請案之揭露內容以引用方式全文倂入本文中。 參照第1圖，其繪示根據本發明一實施例之一基板收納盒20（例如，一晶圓載具），基板收納盒20具有一前埠22及一後埠24。基板收納盒20包含一底板結構（floor structure）26、側部28、及一頂部32，此等結構全部沿朝向一後壁34之一方向以及朝向一門框（door frame）36之一相反方向延伸，其中門框36界定一開口38。前埠22及後埠24係根據其相對於基板收納盒20之開口38之位置而命名，其中前埠22距開口38最近，而後埠24距開口38最遠。 參照第2圖及第3圖，其詳細繪示根據本發明一實施例之前埠22及後埠24。在所示實施例中，底板結構26在後埠24處之厚度大於其在前埠22處之厚度，使得後埠24之一軸向尺寸42大於前埠22之一軸向尺寸44。在所示實施例中，前埠22及後埠24分別與出口呼吸器總成46及入口呼吸器總成48相配合。後埠24被配置成一入口埠54，其中呼吸器總成48被設置成能夠使氣體自基板收納盒20之內部向外流出。相應地，在所示實施例中，前埠22用作一出口部52，且後埠24用作一入口埠54。前埠22與後埠24分別用作一入口埠還是一出口埠並不受限制。換言之，前埠22可被配置成一入口埠及/或後埠24被配置成一出口埠。 參照第4圖及第5圖，其分別例示根據本發明實施例之一入口呼吸器總成48a及一出口呼吸器總成46a之實例。呼吸器總成46a及48a皆可包含一本體62a、一「不可撓性柔性」護孔環或密封構件64a、一過濾器總成66、及一止回閥68，該等組件全部圍繞一中心軸線70同心。本體62a可包含：一實質上圓柱形或截頭圓錐形側壁72、位於一近（頂）端76處之一帽部74、以及一開口遠（底）端78。在一個實施例中，近端76附近界定有一O形環凹槽82，且遠端78附近界定有一凸緣部84。帽部74可界定一中心孔86，中心孔86具有減小之直徑。可鄰近遠端78界定一底切（undercut）88。本體62a可由一彈性材料製成。在一個實施例中，可在本體62a之一內表面94上形成一徑向內嵌部（inset）92。 在本發明中，一「近端」方向（由第2圖中之箭頭96標識）被定義為朝向基板收納盒20內部之一方向，且一「遠端」方向（由第2圖中之箭頭98標識）被定義為遠離基板收納盒20內部之一方向。 不可撓性柔性護孔環64a可包含一管狀部102，管狀部102係為大致圓柱形或截頭圓錐形且包含一頂端或近端104及一底端或遠端106。近端104可界定一開口108。在一個實施例中，一環形盤狀部112自遠端106沿徑向向內延伸，且環形盤狀部112包含一內表面或近端表面114及一外表面或遠端表面116，外表面或遠端表面116亦被稱為一安裝表面。管狀部102可在環形盤狀部112處在遠端106附近界定一內徑D1（第5圖）。環形盤狀部112界定一中心孔118，中心孔118可為圓形的，且其所具有之一直徑D2（第5圖）小於直徑D1。不可撓性柔性護孔環64a可包含一肋122，以用於與呼吸器總成46a或48a之本體62a之底切88相配合。在某些實施例中，不可撓性柔性護孔環64a之管狀部102在近端104附近包含一肩部124，肩部124與呼吸器總成46a、48a之本體62a之徑向內嵌部92互補。 在組裝時，將止回閥68經由開口108而插入至不可撓性柔性護孔環64a中，以形成一子總成132。接著，將子總成132插入至本體62a之開口遠端78中。過濾器總成66可設置於本體62a之帽部74與不可撓性柔性護孔環64a之近端104之間。將不可撓性柔性護孔環64a插入至本體62a中，直至不可撓性柔性護孔環64a之肋122嚙合本體62a之底切88為止。藉此，可將不可撓性柔性護孔環64a固定至本體62a。在一個實施例中，將護孔環64a之肩部124貼靠本體62a之徑向內嵌部92安放，以為本體62a與護孔環64a間之耦合提供額外支撐。過濾器總成66可牢固地配合至本體62a之帽部74。 呼吸器總成係為一入口呼吸器總成48a還是一出口呼吸器總成46a僅取決於止回閥68之定向。若止回閥68被定向成能夠使得流入基板收納盒20（即，在第4圖及第5圖中向上），則呼吸器總成係為一入口呼吸器總成48a；若止回閥68被定向成能夠使得自基板收納盒20中流出（即，在第4圖及第5圖中向下），則呼吸器總成係為一出口呼吸器總成46a。 參照第6圖，其繪示根據本發明一實施例之一入口呼吸器總成48b。入口呼吸器總成48b具有許多與呼吸器總成46a相同之組件及態樣，該等相同之組件及態樣由相同之參考編號表示。應注意，第二呼吸器總成48b之本體62b長於呼吸器總成46a之本體62，以適應所示基板收納盒20（第3圖）之底板結構26在後埠24附近增大之厚度。不可撓性柔性護孔環64a、止回閥68、及過濾器總成66可具有與在呼吸器總成46a中相同之構造。在所示實施例中，一間隔件（spacer）142被插入於不可撓性柔性護孔環64a之近端104與過濾器總成66之間，以彌補護孔環64a之近端104與過濾器總成66間之一內部高度差144。藉由使用間隔件142，能夠在較長之本體62b中實施與本體62a中相同之子總成132，且亦提供進一步之安全性，俾使子總成132不會因施加於子總成132之一過大向上力而離開原位。 參照第7圖，其繪示一所揭露實施例中一工具埠150與不可撓性柔性護孔環64a間之耦合操作。工具埠150包含與不可撓性柔性護孔環64a接觸之一內徑D3。該接觸可使一凹陷152暫時形成於不可撓性柔性護孔環64a之遠端表面116上。換言之，不可撓性柔性構造局部地順應（例如，變形或縮進）以助於在工具埠150與呼吸器總成46a、48a間實現一密封。在一個實施例中，護孔環64a之尺寸被設定成使工具埠150之內徑D3大於環形盤狀部112之中心孔118之內徑D2並小於管狀部102之遠端106之內徑D1。 根據本發明之實施例，描繪各種呼吸器總成（被統稱為呼吸器總成46及48）之動力學。應注意，對於呼吸器總成46及28，工具埠150之一內徑D3小於護孔環64a之管狀部102之遠端106之內徑D1。此外，當止回閥68開啟時，無論呼吸器總成46、48係為一排氣配置還是一進氣配置，工具埠150與呼吸器總成46或48中之壓力P皆實質上相等且大於環境壓力。相應地，因管狀部102之遠端106之內徑D1大於工具埠內部之內徑D3，且因在此等直徑內所施加之壓力實質上相等，故施加於撓性環形盤狀部112之近端表面114之力（壓力-面積乘積）大於施加於環形盤狀部112之遠端表面116之力。因此，施加於環形盤狀部112之淨力向量係沿工具埠150之方向（即，在第4圖至第6圖之圖示中向下）。淨力可使不可撓性柔性護孔環64a略向下偏置且更有效地貼靠工具埠150安放，藉此增強不可撓性柔性護孔環64a之遠端表面116與工具埠150間之一密封。 不可撓性柔性護孔環64a之環形盤狀部112之材料硬度與厚度之組合使得形成凹陷152。所謂之「不可撓性柔性」護孔環64a係由一柔性材料製成，但其厚度在操作之接觸負載作用下保持環形盤狀部112及/或管狀部102之整體形狀。 參照第8圖，其繪示根據本發明一實施例之一呼吸器總成46c。呼吸器總成46c包含許多與呼吸器總成48a相同之態樣，該等相同之態樣由相同之參考編號表示。呼吸器總成46c之不同於呼吸器總成48a之某些態樣由相同之數字前綴加上後綴「c」來標識。 本體62c與本體62a之不同之處在於，底切88c位於本體62c之近端76附近而非遠端78附近。在一個實施例中，止回閥68c被容置於一止回閥殼體160中。止回閥68c可包含外部搭鎖（snap）162，外部搭鎖162卡扣至止回閥殼體160之一內表面166上所形成之一內部凹槽164中。止回閥殼體160亦可包含一環形凸緣168，一旦外部搭鎖162與止回閥殼體160之內部凹槽164嚙合，環形凸緣168便保持止回閥68c處於定位上。止回閥殼體160亦可包含形成於外表面上之外部凹槽172。 參照第8A圖及第8B圖，其繪示根據本發明一實施例之呼吸器總成46c之一護孔環64c。護孔環64c之環形盤狀部112c係為一「撓性柔性」構造，而非呼吸器總成48a之「不可撓性柔性」構造。一「撓性柔性」構造與先前所述「不可撓性柔性」構造之差異在於：一撓性柔性器件在負載作用下不會保持其整體形狀。更確切而言，撓性柔性構造具有大致較薄之壁厚度，此使得器件在負載作用下能夠變形並呈現出一顯著不同之形狀。 因此，當撓性柔性護孔環64c之撓性環形盤狀部112c以撓曲方式接觸負載埠150時，撓性環形盤狀部112c之中心孔118會相對於護孔環64c之管狀部102之遠端106沿近端方向96產生一軸向變形量d，軸向變形量d與負載埠150使撓性環形盤狀部112c移位之程度成正比。 撓性柔性護孔環64c亦可包含鄰近管狀部102之遠端106之一內凸緣部176、以及位於或鄰近護孔環64c之近端104處且用於配合底切88c之一外部唇緣部178。撓性環形盤狀部112c之遠端表面116可實質上為處於一非撓曲狀態之平面。 在本發明中，若在與埠150之接觸負載作用下，環形盤狀部112之遠端表面116上之凹陷152之軸向深度大於環形盤狀部112之中心孔118之軸向變形量d，則將護孔環64a視為「不可撓性柔性」。相反，若在與埠150之接觸負載作用下，凹陷152之軸向深度小於或等於環形盤狀部112之中心孔118之軸向變形量d，則將護孔環64c視為「撓性柔性」。 對於環形盤112，藉由以下方程式大致描述軸向變形量d：

方程式（1） 其中E係為環形盤狀部之材料之彈性模量，P係為負載力，R係為環形盤狀部之半徑，t係為環形盤狀部之軸向厚度，且1/m係為環形盤狀部之材料之泊松比（Poisson’s ratio）。方程式（1）表明，對於具有給定之E及m之一材料，增大之半徑R及減小之厚度t會使產生一給定d所需之力減小。因此，對於撓性柔性護孔環（例如護孔環64c），藉由增大內徑D1及減小環形盤112之軸向厚度t而改良與埠150之形狀順應性以及減小埠150上之力負載。 不可撓性柔性護孔環及撓性柔性護孔環之另一考慮參數係為環形盤112之硬度。已發現，介於40至70蕭氏A硬度（包括二者）範圍之一材料硬度適合於一不可撓性柔性構造。達成「不可撓性柔性」構造之一材料實例係為一熱塑性聚酯彈性體（例如HYTREL 3078或ARNITEL EM400）。亦發現，介於20至40蕭氏D硬度（包括二者）範圍之一材料硬度適合於撓性柔性構造。應理解，上述硬度值及材料係為代表性的而非限制性的。 參照第9圖，其繪示根據本發明一實施例之一撓性柔性護孔環64d。撓性柔性護孔環64d包含許多與其他護孔環64相同之態樣，該等相同之態樣由相同之參考編號表示。撓性柔性護孔環64d所特有之態樣由一後綴「d」表示。 一個此種特有之態樣係為：一環形盤狀部112d包含界定一下凹幾何形狀之一遠端表面116d。更具體而言，環形盤狀部112d向上（即，沿近端方向96）朝護孔環64d之中心軸線70傾斜，藉此在護孔環64d處於一非撓曲狀態時提供相對於工具埠150下凹之表面。 參照第10圖，其繪示根據本發明一實施例組裝之呼吸器總成46c。在組裝時，使止回閥68c滑動至止回閥殼體160中，直至外部搭鎖162與止回閥殼體160之內表面166上之內部凹槽164嚙合為止，以形成止回閥/止回閥殼體子總成180。接著，使止回閥/止回閥殼體子總成180滑動至撓性柔性護孔環64c之開口（近）端104中，直至其在護孔環64c之內凸緣部176上對準為止。接著，將其中設置有止回閥/止回閥殼體子總成180之撓性柔性護孔環64c插入至本體62c中，直至撓性柔性護孔環64c之外部唇緣部178嚙合本體之底切88c為止。接著將呼吸器總成46c設置於基板收納盒20之一埠（例如，埠22）中，且例如藉由與本體62c之凸緣部84嚙合之一螺紋固定件182而將呼吸器總成46c保持於該埠中。 撓性柔性護孔環64c之外部唇緣部178之尺寸可被設定成當與底切88c嚙合時，護孔環64c之近端104沿徑向略向內變形至止回閥殼體160之外部凹槽172中，當止回閥殼體160在護孔環64c之內凸緣部176上對準時，外部凹槽172被定位成與撓性柔性護孔環64c之近端104對齊。沿徑向向內變形至外部凹槽172中可有助於保持止回閥/止回閥殼體子總成180。 可利用撓性柔性護孔環64d取代撓性柔性護孔環64c來執行相同之組裝程序。 在操作中，使工具埠150與撓性柔性護孔環64c（或64d）接觸。撓性柔性護孔環64c、64d之撓性環形盤狀部112c（或112d）藉由變形而順應以適形於埠150之口部，進而使撓性環形盤狀部112c、112d之中心孔118沿近端方向96撓曲。凸緣部176保持止回閥/止回閥殼體子總成180與環形盤狀部112d間之一間隔，進而使環形盤狀部112d能夠沿近端方向96屈曲。 壓力-面積乘積之動力學使環形盤狀部112c、112d作用於工具埠150之口部，如上文中結合第7圖所闡釋，藉此有助於實現工具埠150與撓性柔性護孔環64c、64d間之一密封。環形盤狀部112c、112d之撓曲能力可增強環形盤狀部112c、112d對工具埠150之口部的適應性，以達成一增強之密封效果。 在功能上，對於撓性柔性護孔環64c、64d，利用平面遠端表面116或下凹遠端表面116d皆能進一步有利於護孔環64c、64d與工具埠150間之密封作用。環形盤狀部112c、112d沿近端方向96之變形量d可使環形盤狀部112c、112d相對於一中性位置（neutral position）或無應力位置伸展。該伸展可導致圍繞工具埠150之口部的收縮，藉此增強其間之密封。 參照第11圖，其繪示根據本發明一實施例之一呼吸器總成48e。呼吸器總成48e包含具有一撓性柔性構造之一波紋管護孔環184。波紋管護孔環184包含具有一開口近端188之一波紋管部186以及位於一遠端194處之一環形盤狀部192。在波紋管護孔環184中鄰近近端188處設置有止回閥68。波紋管部186可被構造成使靠近近端188之複數個肋196所具有之外徑大於靠近波紋管遠端194之複數個肋198之外徑。較大外徑肋196之內徑及止回閥68之尺寸適以在其間提供一干涉配合（interference fit）。 在組裝時，將止回閥68壓入配合至開口近端188中，使波紋管196與止回閥68之間形成一摩擦配合。如在其他呼吸器總成閥中，止回閥之取向決定呼吸器總成是有利於排氣還是進氣。接著，將波紋管/止回閥總成壓入配合至基板收納盒20之清洗埠22、24中。靠近開口近端188之較大直徑肋196以摩擦方式嚙合清洗埠22、24之內壁，以將波紋管/止回閥總成固定於清洗埠22、24中。同時，較小直徑肋198與清洗埠22、24之內壁之間存在間隙199，俾使波紋管198之壓縮沿軸向壓縮而不受清洗埠22、24干擾。 在操作中，使工具埠接觸波紋管護孔環184。波紋管護孔環184之撓性環形盤狀部192藉由使波紋管部186沿軸向變形而順應。波紋管部186之壓縮可施加一偏置力，該偏置力有利於在波紋管護孔環184之撓性環形盤狀部192與工具埠150之間形成一密封。在一個實施例中，一彈簧（圖未示出）可耦合至波紋管196以增強偏置力。此外，對於波紋管護孔環184，撓性環形盤狀部192亦可相對於埠150之內徑D3具有更大之面積、以及存在由此達成之所得輔助密封力（上文中結合第8圖所述）。 參照第12圖，其繪示根據本發明一實施例之一呼吸器總成48f。呼吸器總成48f包含許多與呼吸器總成48a相同之態樣，該等相同之態樣由相同之參考編號表示。呼吸器總成48f所特有之某些態樣由相同之數字前綴加上後綴「f」標識。 呼吸器總成48f可包含具有二底切88f及89f之一本體62，其中底切88f靠近遠端78，且底切89f靠近本體62f之帽部74。 呼吸器總成48f包含一撓性柔性護孔環64f。撓性柔性護孔環64f之特徵可在於：具有一環形盤狀部112f及一孔口結構202，孔口結構202自環形盤狀部112f懸垂且環繞中心孔118。孔口結構202之特徵可在於：具有一近端204及一遠端206，近端204係與環形盤狀部112f形成一體。在一個實施例中，一第二環形盤狀部208自孔口結構202之遠端206沿徑向向外延伸。撓性柔性護孔環64f亦可包含一肋部122f及一唇緣部178f，肋部122f及唇緣部178f分別與本體62f之底切89f及88f相配合，以將撓性柔性護孔環64f保持於本體62f中。第二環形盤狀部之遠端表面116可係為實質上平面的（如圖所示）或界定一下凹輪廓。 在組裝時，將止回閥68按壓至撓性柔性護孔環64f中並可藉由摩擦將止回閥68保持於護孔環64f中。將護孔環64f直接插入於本體62f中，直至肋部122f及唇緣部178f分別嚙合底切89f及88f為止。 在操作中，使工具埠150接觸撓性柔性護孔環64f。撓性柔性護孔環64f之下部環形盤狀部202藉由變形而順應，以適形於工具埠150之口部。 參照第13圖及第13A圖，其繪示根據本發明一實施例之一呼吸器總成48g。呼吸器總成48g包含許多與呼吸器總成48a及46c相同之態樣，該等相同之態樣由相同之參考編號表示。呼吸器總成48g所特有之某些態樣由相同之數字前綴加上後綴「g」標識。 呼吸器總成48g包含設置於一護孔環64g中之一止回閥殼體160，止回閥160與護孔環64g皆被容置於一本體62g中。在所示實施例中，止回閥殼體160之特徵在於：所具有之一軸向長度212大於護孔環64g之一軸向長度214。本體62g在遠端78附近包含一第一底切88g，第一底切88g與護孔環64g之唇緣部178g相配合，以將護孔環64g固定於本體62g中。一第二底切89g相對於底切88g位於近端處。止回閥殼體160g在近端處或近端附近包含一環形凸緣168g，環形凸緣168g之位置及尺寸適以與第二底切89g相配合。在一個實施例中，複數個角狀突起216自本體62g之內表面94延伸，以確保環形凸緣168保持被捕獲於第二底切89g中。 在功能上，止回閥殼體160g直接與本體62g相配合，以使止回閥68c及止回閥殼體160g自一環形盤112g分離。護孔環64g無需包含一內凸緣部（例如，呼吸器總成46c之項176）來達成分離。如此一來，環形盤112g相對於護孔環64g之管狀部102之錨定點沿徑向向外移動，藉此使環形盤112g之半徑R相對於環形盤112c之半徑（第8圖）有效增大。對於撓性柔性設計，R之增大亦使環形盤112g之撓性增大，如上文中結合方程式（1）所述。 參照第14圖，其繪示根據本發明一實施例之一環形盤220之剖視圖。環形盤包含許多與上述各種環形盤狀部112相同之態樣，例如近端表面114、遠端表面116、及中心孔118。上述各種實施例將環形盤狀部112繪示為一較大護孔環或密封構件之一一體成型部。應理解，亦涵蓋不與一較大護孔環形成為一體之一環形盤220。一般而言，環形盤220可被安裝於一支撐結構222中，支撐結構222適以插入於例如基板載具20之清洗埠22及24中。支撐結構可由任何適宜之材料（例如一彈性聚合物或一金屬）製成。可藉由熟習此項技術者可用之各種機制（包括狹槽安裝、螺紋組件間之捕獲、黏合、及包覆成型）將環形盤20耦合至支撐結構。 除非本文明確指出，否則所提及之相對性用語（例如，「上部」及「下部」、「頂部」及「底部」、「前部」及「後部」、「左側」及「右側」、「水平」等）係旨在方便說明，而不應被視為係將本發明或其組件限制為任一位置或特定取向。圖式中所示所有尺寸皆可在不背離本發明範圍之條件下隨一可能之設計及一特定實施例之擬定用途而改變。 本文所揭露之每一附加圖式及方法可單獨使用或結合其他特徵及方法使用，以提供改良之容器以及用於製造及使用該容器之方法。因此，所揭露之特徵與方法之組合可能並非係在最廣意義上實踐本發明所必需的，而是，揭露該等特徵及方法之組合係僅為了具體描述本發明之代表性及較佳實施例。 在閱讀本揭露內容之後，本發明各實施例之各種潤飾可對熟習此項技術者顯而易見。舉例而言，此項技術中之通常知識者將知，在本發明之精神範圍內，可單獨地或以不同組合形式將針對本發明不同實施例所述之各種特徵與其他特徵適宜地組合、拆分、及重組。同樣，上述各種特徵應全部被視為實例性實施例，而非對本發明範圍或精神之限制。因此，上述並非旨在限制本發明之範圍。 此項技術中之通常知識者將知，本發明可包含較上述任一各別實施例中所述者少之特徵。本文所述各實施例並非旨在詳盡地呈現可用以對本發明各種特徵進行組合之方式。因此，如此項技術中之通常知識者所理解，該等實施例並非相互排斥之特徵組合；而是，可利用選自不同各別實施例之不同各別特徵之一組合。 在以引用方式倂入上文所述任一文獻時，皆被限制為不倂入與本文之明確揭露內容相悖之主題。在以引用方式倂入上文所述任一文獻時更被限制為：該等文獻中之申請專利範圍不以引用方式倂入本文。在以引用方式倂入上文所述任一文獻時亦被限制為：除非本文明確指出，否則該等文獻中所提供之任何定義皆不以引用方式倂入本文。 在本文中提及之「實施例」、「本發明之實施例」、及「所揭露之實施例」涉及本專利申請案的不被視為先前技術之說明書（文本，包括申請專利範圍及附圖）。 為解釋本發明實施例之申請專利範圍，明確指出，除非相應之請求項中引用特定用語「用於…之手段（means for）」或「用於…之步驟（step for）」，否則不援引35 U.S.C.第112部分第六段之規定。

20‧‧‧基板收納盒
22‧‧‧前埠
24‧‧‧後埠
26‧‧‧底板結構
28‧‧‧側部
32‧‧‧頂部
34‧‧‧後壁
36‧‧‧門框
38‧‧‧開口
42‧‧‧軸向尺寸
44‧‧‧軸向尺寸
46‧‧‧出口呼吸器總成
46c‧‧‧呼吸器總成
46a‧‧‧呼吸器總成
48‧‧‧入口呼吸器總成
48a‧‧‧呼吸器總成
48b‧‧‧入口呼吸器總成
48e‧‧‧呼吸器總成
48f‧‧‧呼吸器總成
48g‧‧‧呼吸器總成
52‧‧‧出口埠
54‧‧‧入口埠
62a‧‧‧本體
62b‧‧‧本體
62c‧‧‧本體
62g‧‧‧本體
64a‧‧‧不可撓性柔性護孔環或密封構件
64c‧‧‧護孔環
64d‧‧‧撓性柔性護孔環
64f‧‧‧撓性柔性護孔環
64g‧‧‧護孔環
66‧‧‧過濾器總成
68‧‧‧止回閥
68c‧‧‧止回閥
70‧‧‧中心軸線
72‧‧‧側壁
74‧‧‧帽部
76‧‧‧近端
78‧‧‧遠端
82‧‧‧O形環凹槽
84‧‧‧凸緣部
86‧‧‧中心孔
88‧‧‧底切
88c‧‧‧底切
88f‧‧‧底切
88g‧‧‧第一底切
89f‧‧‧底切
89g‧‧‧第二底切
92‧‧‧徑向內嵌部
94‧‧‧內表面
96‧‧‧箭頭
98‧‧‧箭頭
102‧‧‧管狀部
104‧‧‧頂端或近端
106‧‧‧遠端
108‧‧‧開口
112‧‧‧環形盤狀部
112c‧‧‧撓性環形盤狀部
112d‧‧‧環形盤狀部
112f‧‧‧環形盤狀部
114‧‧‧內表面或近端表面
116‧‧‧外表面或遠端表面
116d‧‧‧遠端表面
118‧‧‧中心孔
122‧‧‧肋
122f‧‧‧肋部
124‧‧‧肩部
132‧‧‧子總成
142‧‧‧間隔件
144‧‧‧內部高度差
150‧‧‧工具埠/負載埠
152‧‧‧凹陷
160‧‧‧止回閥殼體
160g‧‧‧止回閥殼體
162‧‧‧外部搭鎖
164‧‧‧內部凹槽
166‧‧‧內表面
168‧‧‧環形凸緣
168g‧‧‧環形凸緣
172‧‧‧外部凹槽
176‧‧‧內凸緣部
178‧‧‧外部唇緣部
178f‧‧‧唇緣部
178g‧‧‧唇緣部
180‧‧‧止回閥/止回閥殼體子總成
182‧‧‧螺紋固定件
184‧‧‧波紋管護孔環
186‧‧‧波紋管部
188‧‧‧開口近端
192‧‧‧環形盤狀部
194‧‧‧遠端
196‧‧‧肋
198‧‧‧肋
199‧‧‧間隙
202‧‧‧孔口結構
204‧‧‧近端
206‧‧‧遠端
208‧‧‧第二環形盤狀部
212‧‧‧軸向長度
214‧‧‧軸向長度
216‧‧‧角狀突起
220‧‧‧環形盤
222‧‧‧支撐結構
D1‧‧‧內徑
D2‧‧‧直徑
D3‧‧‧內徑
P‧‧‧壓力
d‧‧‧軸向變形量

第1圖係為根據本發明一實施例之一晶圓載具之立體圖，該晶圓載具具有前清洗埠及後清洗埠； 第2圖及第3圖係為根據本發明實施例，第1圖所示晶圓載具之一前清洗埠及一後清洗埠之剖視圖； 第4圖及第5圖係為根據本發明實施例之一呼吸器總成與一工具埠利用一不可撓性柔性構造之剖視圖，該呼吸器總成分別用於一前排氣閥及一前進氣閥； 第6圖係為根據本發明一實施例之一呼吸器總成與一工具埠之剖視圖，其中一後進氣閥利用一不可撓性柔性構造； 第7圖係為根據本發明一實施例之一獨立之不可撓性柔性密封構件與一工具埠相嚙合之剖視圖； 第8圖係為根據本發明一實施例之一呼吸器總成與一工具埠之剖視圖，其中利用一可撓柔性密封構件； 第8A圖係為第8圖所示可撓柔性密封構件之獨立立體剖視圖； 第8B圖係為獨立之可撓柔性密封構件與第8圖之工具埠相嚙合之剖視圖； 第9圖係為根據本發明一實施例之一撓性柔性密封構件之剖視圖； 第10圖係為根據本發明之一實施例，第8圖之呼吸器總成位於一基板載具埠中之剖視圖； 第11圖係為根據本發明一實施例之一呼吸器總成之剖視圖，該呼吸器總成具有一波紋管護孔環，該波紋管護孔環具有撓性柔性構造； 第12圖係為根據本發明一實施例之一呼吸器總成之剖視圖，該呼吸器總成具有一撓性柔性密封構件； 第13圖係為根據本發明一實施例之一呼吸器總成之立體剖視圖，該呼吸器總成具有直接嚙合至本體之一止回閥殼體； 第13A圖係為第13圖所示呼吸器總成之一剖視圖；以及 第14圖係為根據本發明一實施例之一環形盤之示意圖。

20‧‧‧基板收納盒

22‧‧‧前埠

24‧‧‧後埠

26‧‧‧底板結構

28‧‧‧側部

32‧‧‧頂部

34‧‧‧後壁

36‧‧‧門框

38‧‧‧開口

52‧‧‧出口埠

54‧‧‧入口埠

Claims (11)

1. 一種用於一基板收納盒之呼吸器總成，包含： 一支撐結構，適於插入至一基板收納盒之一清洗埠中，該支撐結構界定一內徑；以及 一環形盤，鄰近該內徑而與該支撐結構相耦合，該環形盤包含一近端表面及一遠端表面且包含一界定一中心孔之結構，該中心孔具有一直徑， 其中該環形盤之該遠端表面呈現出一平面幾何形狀與一下凹幾何形狀其中之一，該遠端表面適以接觸一工具埠，該工具埠所具有之一內徑大於該中心孔之該直徑，並且小於該支撐結構之該內徑，該環形盤包含一柔性材料以在該工具埠與該環形盤之該遠端表面之間形成一密封。
2. 如請求項1所述之呼吸器總成，其中該支撐結構與該環形盤係為一一體成型組件。
3. 如請求項1所述之呼吸器總成，其中該環形盤係為一固態實心柔性結構。
4. 如請求項1所述之呼吸器總成，其中該環形盤係為一包覆成型（overmolded）組件。
5. 如請求項1之所述之呼吸器總成，其中該支撐結構包含一管狀部，該管狀部在一遠端具有一內徑，該環形盤向內徑向延伸且鄰近該管狀部之該遠端，該管狀部之該遠端之該內徑大於該中心孔之該直徑。
6. 如請求項5之所述之呼吸器總成，其中該管狀部包含鄰近該管狀部之該遠端的一內凸緣部。
7. 如請求項5或6之所述之呼吸器總成，其中該管狀部包含一彈性材料。
8. 如請求項5或6之所述之呼吸器總成，進一步包含一配置於該支撐結構之該管狀部中的一止回閥。
9. 如請求項8之所述之呼吸器總成，其中該止回閥配置於一止回閥殼體中，該止回閥殼體配置於該支撐結構之該管狀部中。
10. 如請求項8之所述之呼吸器總成，進一步包含一環繞該止回閥、該止回閥殼體及該支撐結構之本體，該本體適於耦接至該基板收納盒之該清洗埠。
11. 如請求項10之所述之呼吸器總成，其中該止回閥殼體直接與該本體耦接。