TW201735502A - 同步線性馬達 - Google Patents

Abstract

本發明之同步線性馬達101係具備：定子3，係具有由磁性體所構成之複數個突極11；以及動子2，係隔著間隙g而相對向配置於突極11，動子2係具有由磁性體所構成之芯部14、複數個線圈6、以及沿著移動方向A而排列之複數個永久磁鐵5，芯部14係具備自芯背部8朝向突極11突出之複數個齒部7，線圈6係至少捲繞於移動方向A兩端側的齒部7，永久磁鐵5係沿著齒部7的突出方向配置於齒部7的中央部，永久磁鐵5的磁極所具有之極性和相鄰的永久磁鐵5中相對向的磁極所具有之極性相同，永久磁鐵5中不同之形狀的數量或永久磁鐵5中不同之磁氣特性的數量為二個以上。

Description

同步線性馬達

本發明係有關於具備定子以及相對向於該定子的動子之同步線性馬達之相關技術。

近年來，對於工作機械的平台推送裝置、半導體製造裝置等之搬送機器所使用的致動裝置，高速化及高精度定位等之要求高騰。因此，工作機械、半導體製造裝置等常見使用同步線性馬達之例。此外，同步線性馬達係不經由變速機而使用驅動裝置之直接驅動。因此，相較於將旋轉型伺服馬達和滾珠螺桿組合之旋轉機構變換成直線運動之驅動方式，更能實現不會有滾珠螺桿之齒隙造成的剛性降低之高響應性。因此，能達到同步線性馬達之高速度、高加速度、以及高精度定位等之功效。

習知之同步線性馬達係具備定子以及保持固定的間隙而相對向於該定子且對定子作相對移動之動子。動子係將線圈捲繞於由磁性體所構成之複數個分割芯部之各齒部而構成。定子係具有由磁性體所構成之芯部、以及朝間隙方向著磁之永久磁鐵。永久磁鐵係沿著動子的移動方向保持固定的距離而配置。此外，相鄰的永久磁鐵 的著磁方向係互相為不同。

具有前述的同步線性馬達之搬送機器係由於隨著動子的移動方向之變長而增加永久磁鐵的數量，故容易增加成本。為了抑制該成本的增加，習知技術中，本來配置於定子之永久磁鐵係改為配置於動子的分割芯部之齒部。此外，已知有一種同步線性馬達，係由：將線圈捲繞於分割芯部而構成之動子；以及具有突極的芯部之定子所構成(例如，參考專利文獻1、2)。

[先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：特開2009-195104號公報

專利文獻2：特開2009-195103號公報

專利文獻1、2所揭示之同步線性馬達中，係於動子的移動方向之兩端側配置不捲繞線圈但配置有永久磁鐵的補助分割芯部。此外，配置於補助分割芯部之永久磁鐵的形狀和配置於捲繞有線圈的分割芯部之永久磁鐵的形狀為不相同。此外，補助分割芯部和定子之間的間隙的長度以及捲繞線圈的分割芯部和定子之間的間隙的長度為不相同。藉由此等的構成減低永久磁鐵和動子的芯部之間產生的齒槽推力。

但，配置於動子的移動方向之兩端側之補 助分割芯部會造成代表動子的體積之動子的體型變大，而有移動方向之動子的可移動範圍的行程減少之課題。

此外，由於動子的質量增加了補助分割芯部的部分，使得以動子的質量除以同步線性馬達的推力之值的推力密度變低，故亦具有加速度降低之課題。

本發明係為了解決上述的課題而研創者，其目的在於獲得一種同步線性馬達，能抑制動子的體型變大造成之行程的減少以及動子的質量增加造成之推力密度的降低，並且能減低齒槽推力。

本發明之同步線性馬達係具備：定子，係具有：基部；以及自該基部突出且由磁性體所構成之複數個突極；以及動子，係隔著間隙相對向於複數個突極而配置，複數個突極係沿著動子的移動方向互相分離而配置，動子係具有：由磁性體所構成之芯部；複數個線圈；以及沿著移動方向排列之複數個永久磁鐵，芯部係具備：芯背部；以及自芯背部朝向突極突出且沿著移動方向排列之複數個齒部，複數個線圈係至少捲繞於移動方向兩端側的齒部，複數個永久磁鐵係分別沿著齒部的突出方向配置於齒部中央部，永久磁鐵的磁極所具有之極性和鄰接的永久磁鐵中相對向的磁極所具有之極性為相同，複數個永久磁鐵中不同之形狀的數量或複數個永久磁鐵中不同磁氣特性的數量，係具有二個以上。

如上述所構成之同步線性馬達，由於未配置補助分割芯部於動子的移動方向兩端側，故能抑制動子的體型的增加造成之行程的減少以及動子的質量增加造成之推力密度的降低。此外，由於複數個永久磁鐵中不同之形狀的數量或複數個永久磁鐵中不同之磁氣特性的數量為二個以上，故能改變芯部產生之齒槽推力的相位，而能減低動子產生之齒槽推力。

2‧‧‧動子

3‧‧‧定子

4‧‧‧分割芯部

4-1‧‧‧半分割芯部

5‧‧‧永久磁鐵

6‧‧‧線圈

7‧‧‧齒部

8‧‧‧芯背部

9‧‧‧著磁方向

10‧‧‧基部

11‧‧‧突極

14‧‧‧芯部

101、102、102-2、102-3、103、104‧‧‧同步線性馬達

201‧‧‧第1比較例

202‧‧‧第2比較例

A‧‧‧移動方向

B‧‧‧積層方向

g‧‧‧間隙

hm1至hm3‧‧‧厚度

Wm、Wm 1至Wm3、Wm3’‧‧‧寬幅

第1圖係表示本發明之實施形態1的同步線性馬達之立體圖。

第2圖係本發明之實施形態1的同步線性馬達之垂直於電磁鋼板的積層方向之剖面圖。

第3圖係本發明之實施形態1的同步線性馬達之鄰接的分割芯部之半分割芯部彼此形成一體的構成之垂直於電磁鋼板的積層方向之剖面圖。

第4圖係本發明之實施形態1的同步線性馬達之一個的分割芯部之半分割芯部彼此在芯背部形成一體的構成之垂直於電磁鋼板的積層方向之剖面圖。

第5圖係本發明之實施形態1的同步線性馬達之鄰接的分割芯部之半分割芯部彼此在齒部前端部形成一體的構成之垂直於電磁鋼板的積層方向之剖面圖。

第6圖係對照本發明之實施形態1的同步線性馬達之第1比較例的同步線性馬達之動子之垂直於電磁鋼板的積 層方向之剖面圖。

第7圖係對照本發明之實施形態1的同步線性馬達之第2比較例的同步線性馬達所產生的齒槽推力波形圖。

第8圖係對照本發明之實施形態1的同步線性馬達之第1比較例所產生的齒槽推力波形圖。

第9圖係對照本發明之實施形態1的同步線性馬達之第1比較例和第2比較例的齒槽推力之比較圖。

第10圖係對照本發明之實施形態1的同步線性馬達之第2比較例的各分割芯部所產生的一次之齒槽推力向量之相量圖。

第11圖係對照本發明之實施形態1的同步線性馬達之第1比較例的各分割芯部所產生的一次之齒槽推力向量之相量圖。

第12圖係對照本發明之實施形態1的同步線性馬達之第1比較例和第2比較例的各分割芯部的間隙面所產生的磁通密度之比較圖。

第13圖係本發明之實施形態1的同步線性馬達之各分割芯部所產生的一次之齒槽推力向量之相量圖。

第14圖係本發明之實施形態1的同步線性馬達及第1比較例的一次之齒槽推力之比較圖。

第15圖係本發明之實施形態1的同步線性馬達之第1變形例之動子的垂直於電磁鋼板的積層方向之剖面圖。

第16圖係本發明之實施形態1的同步線性馬達之第2變形例之動子的垂直於電磁鋼板的積層方向之剖面圖。

第17圖係對照本發明之實施形態1的同步線性馬達之第1比較例和本發明之第1變形例及第2變形例的一次之齒槽推力之比較圖。

第18圖係本發明之實施形態1的同步線性馬達之第3變形例之動子的垂直於電磁鋼板的積層方向之剖面圖。

第19圖係本發明之實施形態1的同步線性馬達之第1變形例之沿行進方向分割永久磁鐵之動子的垂直於積層方向之剖面圖。

第20圖係本發明之實施形態2的同步線性馬達之動子的與電磁鋼板的積層方向及移動方向平行之剖面圖，且為自定子側觀測之圖。

第21圖係本發明之實施形態2的同步線性馬達的比較例之動子的與電磁鋼板的積層方向及移動方向平行之剖面圖，且為自定子側觀測之圖。

第22圖係本發明之實施形態2的同步線性馬達的第4變形例之動子的與電磁鋼板的積層方向及移動方向平行之剖面圖，且為自定子側觀測之圖。

第23圖係本發明之實施形態2的同步線性馬達之第20圖所示之永久磁鐵較電磁鋼板更長時之一例之剖面圖。

第24圖係本發明之實施形態2的同步線性馬達之第20圖所示之沿積層方向分割永久磁鐵時之一例之剖面圖。

第25圖係本發明之實施形態2的同步線性馬達之第20圖所示之沿積層方向分割永久磁鐵時之其他例子之剖面圖。

第26圖係對照本發明之實施形態1、2的永久磁鐵的突出方向的長度不相同之同步線性馬達之一例的垂直於積層方向之剖面圖。

第27圖係對照本發明之實施形態1、2的永久磁鐵的突出方向的長度不相同之同步線性馬達之其他例子的垂直於積層方向之剖面圖。

以下，使用圖式說明本發明之同步線性馬達之較佳實施形態。

實施形態1.

第1圖係表示實施本發明之實施形態1的同步線性馬達之立體圖。第1圖中，同步線性馬達101係具備動子2以及定子3。同步線性馬達101之動子2係藉由未圖示之滑動器等所支持。因此，動子2係能對定子3沿著移動方向A而相對移動。第1圖中，積層方向B係垂直於動子2的移動方向A及齒部7的突出方向之方向。

動子2係具有：六個分割芯部4，係由磁性體所構成，該磁性體係電磁鋼板沿著積層方向B積層且構成為積層芯部；六個永久磁鐵5，係分別配置於六個分割芯部4；以及六個線圈6，係分別捲繞於六個分割芯部4。六個永久磁鐵5係沿著移動方向A排列。此外，六個分割芯部4係沿著移動方向A排列，構成由磁性體所構成之芯部14。

亦即，動子2係具有由磁性體所構成之芯部14、複數 個線圈6、以及沿著移動方向A排列之複數個永久磁鐵5。此外，芯部14係由沿著移動方向A排列之複數個分割芯部4所構成。

第2圖係本實施形態的同步線性馬達之垂直於電磁鋼板的積層方向之剖面圖。亦即，第2圖係垂直於第1圖之積層方向B的沿著移動方向A之縱方向的剖面圖，以下亦相同。第2圖中，同步線性馬達101係具備：定子3，係具有基部10以及自該基部10突出且由磁性體所構成之複數個突極11；以及動子2，係隔著空隙之間隙g而相對向配置於複數個突極11。在此，間隙g係表示動子2和定子3的最短距離，且沿著移動方向A為固定狀態。

同步線性馬達101係於動子2配置繞線之線圈6以及永久磁鐵5之繞線磁鐵動子型同步線性馬達。

定子3中，複數個突極11係沿著動子2的移動方向A互相隔開預定的間隔而配置。

動子2中，六個分割芯部4係分別具備：芯背部8；以及齒部7，係自芯背部8朝向定子3的突極11突出。亦即，芯部14係具備：芯背部8；以複數個齒部7，係自芯背部8朝向突極11突出且沿著移動方向A排列。此外，芯部14係在相鄰的齒部7彼此的芯背部8中被分割。

第2圖中，分割芯部4係自移動方向A的左側起適當地依序編號(1)至(6)。此外，分割芯部4係具有在齒部7及芯背部8的中央部進一步分割為二個之半分割芯部4-1。其結果，六個分割芯部4係由12個半分割芯部4-1所構成。 並且，半分割芯部4-1係由在移動方向A的寬幅的中央部區分為左右之一半的芯背部8及一半的齒部7所構成。芯背部8係相鄰的分割芯部4的芯背部8以垂直於移動方向A之面相接觸，以溶接等方式而互相固定。六個齒部7係分別隔著未圖示之絕緣體等之絕緣構件而集中地各捲繞1個線圈6而形成六個線圈。亦即，複數個線圈6係至少捲繞於移動方向A之兩端側的齒部7。

又，如第3圖所示，分割芯部4之一方的半分割芯部4-1之芯背部8與相鄰的分割芯部4之另一方的半分割芯部4-1之芯背部8，亦可連結成為一體。亦即，芯部14係在齒部7中被分割。該情形時，分割芯部4之一方的半分割芯部4-1以及相鄰的分割芯部4之另一方的半分割芯部4-1係形成新的分割芯部之單位。

藉由該構成，由於能連結相鄰的分割芯部4之半分割芯部4-1彼此，故能提升相鄰的半分割芯部4-1的齒部7之垂直於移動方向A及積層方向B的方向之定位精度，且能提升間隙g的尺寸精度而能抑制同步線性馬達101的推力不均之現象。

此外，如第4圖所示，分割芯部4之一方的半分割芯部4-1之芯背部8和同一分割芯部4之另一方的半分割芯部4-1之芯背部8，亦可在永久磁鐵5的漏磁通不變大的程度下連結成一體。此外，如第5圖所示，分割芯部4之一方的半分割芯部4-1之齒部7和同一分割芯部4之另一方的半分割芯部4-1之齒部7，亦可在永久磁鐵5 的漏磁通不變大的程度下，以芯背部8側的相反側的前端部等連結成一體。

藉由該構成，由於能連結同一分割芯部4之半分割芯部4-1彼此，故能提升半分割芯部4-1的齒部7之垂直於移動方向A及積層方向B的方向之定位精度，且能提升間隙g的尺寸精度並抑制同步線性馬達101的推力不均之現象。此外，自半分割芯部4-1作用於永久磁鐵5之移動方向A的力係分散於半分割芯部4-1彼此連結的部分而被減低。

六個永久磁鐵5係沿著齒部7之突出方向而分別配置於齒部7的中央部。配置於分割芯部4之永久磁鐵5的著磁方向9係沿著移動方向A。並且，配置於相鄰的分割芯部4之永久磁鐵5的相對向的磁極彼此的極性係以能形成相同的極性之方式而著磁。亦即，永久磁鐵5的磁極所具有的極性和相鄰的永久磁鐵5中相對向的磁極所具有的極性為相同。在此，永久磁鐵5的磁極係永久磁鐵5的著磁方向9的兩端面，著磁方向9的箭頭所指的方向之一端面的磁極係具有N極的極性，相反側的另一端面的磁極係具有S極的極性。

將配置於位在移動方向A的兩端側之分割芯部4之永久磁鐵5的厚度設為hm1，將配置於自移動方向A的兩端側起第二個分割芯部4之永久磁鐵5的厚度設為hm2，以及將配置於自移動方向A的兩端側起第三個分割芯部4之永久磁鐵5的厚度設為hm3時，則hm1≠hm2。 此外，hm1=hm3。亦即，複數個永久磁鐵5中，不同形狀的數量係二個。又，由於為了於第2圖中視覺性的明示hm1和hm2的差異，故較第1圖更強調表示hm1和hm2的差異。

並且，厚度為hm1之二個永久磁鐵5係分別配置於分割芯部4(1)及(6)的齒部7，該分割芯部4(1)及(6)係分別位於以動子2之移動方向A的寬幅中央成為對稱的位置。此外，厚度為hm2之二個永久磁鐵5係分別配置於分割芯部4(2)及(5)的齒部7，該分割芯部4(2)及(5)係分別位於以動子2之移動方向A的寬幅中央成為對稱的位置。此外，厚度為hm3之二個永久磁鐵5係分別配置於分割芯部4(3)及(4)的齒部7，該分割芯部4(3)及(4)分別位於以動子2之移動方向A的寬幅中央成為對稱的位置。亦即，同樣形狀之複數個永久磁鐵5係配置於以動子2之移動方向A的寬幅中央成為對稱的位置之分割芯部4的齒部7。

因此，不需要於動子2的兩端側設置未捲繞用以減低齒槽推力的線圈之補助芯部，而能縮小代表動子2的體積之同步線性馬達101之動子2的體型，而能抑制動子2的行程之減少。此外，同步線性馬達101係由於沒有補助芯部而未增加該部分的質量，故不會減低以動子2的質量除以同步線性馬達的推力之值的推力密度，而不會降低加減速度。

在此係使用電磁場解析的解析結果說明本發明的功效之齒槽推力的減低。

第6圖係對照本實施形態的同步線性馬達之第1比較例的同步線性馬達之動子之垂直於電磁鋼板的積層方向之剖面圖。第6圖中，和本實施形態的同步線性馬達101的構成相同的構成係標記相同的符號。此外，第6圖中，同步線性馬達之第1比較例201和本實施形態的同步線性馬達101的不同點係如下述。在同步線性馬達之第1比較例201中，六個永久磁鐵5之沿移動方向A的厚度係完全相同，且六個永久磁鐵5的形狀、以及磁氣特性相同。亦即，hm1=hm2=hm3。

第7圖係對照本實施形態的同步線性馬達之第2比較例的同步線性馬達所產生的齒槽推力波形圖。第7圖之橫軸係以電氣角度表示沿著移動方向A之動子2的移動距離。第7圖之縱軸係表示齒槽推力[N]。

同步線性馬達之第2比較例202係在同步線性馬達之第1比較例201中，動子2及定子3的移動方向A之兩端側未存在分界之端緣，即動子2及定子3係假定為無限連續之同步線性馬達。第7圖係表示將同步線性馬達之第2比較例202的齒槽推力進行電磁場解析的結果。

第8圖係對照本實施形態的同步線性馬達之第1比較例所產生的齒槽推力波形圖。第8圖之橫軸係以電氣角度表示沿著移動方向A之動子2的移動距離。第8圖之縱軸係表示齒槽推力[N]。

同步線性馬達之第1比較例201中，配置於分割芯部4之全部的永久磁鐵5之形狀及磁氣特性相同，且動子2 的沿移動方向A之寬幅係形成有限狀態，亦即，動子2在移動方向A具有兩端。第8圖係表示將同步線性馬達之第1比較例201的齒槽推力進行電磁場解析的結果。

第9圖係對照本實施形態的同步線性馬達之第1比較例和第2比較例的齒槽推力之比較圖。第9圖的左側係表示動子2未存在端緣之第2比較例202之情形，右側係表示動子2具有兩端之第1比較例201之情形。第9圖之縱軸係表示將動子2未存在端緣之第2比較例202的齒槽推力之最大值至最小值的差(pp：Peak-to-Peak)之值設為「1」時，將齒槽推力的振幅之pp之值規格化之值[p.u.]。第9圖中，動子2未存在端緣之第2比較例202的齒槽推力波形之pp之值係對應於第7圖的齒槽推力波形之pp之值，動子2具有兩端之第1比較例201的齒槽推力波形之pp之值係對應於第8圖的齒槽推力波形之pp之值。

根據第9圖，可瞭解第1比較例201係由於在移動方向A之兩端側具有端緣，故齒槽推力增加。此係如第8圖所示，對電氣角度一週期的360⁰產生和驅動頻率相同的頻率之一次之齒槽推力之故。

第10圖係對照本實施形態的同步線性馬達之第2比較例的各分割芯部所產生的一次之齒槽推力向量之相量圖。第10圖之橫軸係表示一次之齒槽推力向量的cos成分，第10圖之縱軸係表示一次之齒槽推力向量的sin成分。

第10圖係在動子2為無限續接之未存在端緣之第2 比較例202中，動子2的各分割芯部所產生的一次之齒槽推力向量之相量圖。在此，第10圖之(1)至(6)係分別表示自第2圖所示之移動方向A的左側起依序對應(1)至(6)的分割芯部4所產生的一次之齒槽推力向量。

如第10圖所示，第2比較例202的各分割芯部4所產生的一次之齒槽推力向量係以60⁰等間隔而分散於各象限。因此，如第2比較例202之未存在端緣的同步線性馬達中，各分割芯部4所產生的一次之齒槽推力向量為相抵消而不產生一次之齒槽推力。

第11圖係對照本實施形態的同步線性馬達之第1比較例的各分割芯部所產生的一次之齒槽推力向量之相量圖。第11圖之橫軸係表示一次之齒槽推力向量的cos成分，第11圖之縱軸係表示一次之齒槽推力向量的sin成分。

由第11圖可知，和第10圖相異地，一次之齒槽推力向量並不成為等間隔，使得一次之齒槽推力向量為不相抵消。

根據第10圖及第11圖，本案發明人等對於一次之齒槽推力向量不成為等間隔的要因分析的結果，發現了主要原因在於：在相對向於各分割芯部4之定子3的間隙面所產生的磁通密度不相同。

第12圖係對照本實施形態的同步線性馬達之第1比較例和第2比較例的各分割芯部的間隙面所產生的磁通密度之比較圖。第12圖之橫軸係表示第2圖所示之 自移動方向A的左側起依序對應(1)至(6)的分割芯部4。第12圖之縱軸係表示將動子2未存在端緣之第2比較例202的各分割芯部4的間隙面所產生的磁通密度之值設為「1」時，將各分割芯部4的間隙面所產生的磁通密度規格化之值[p.u.]。第12圖中係一併記錄動子2未存在端緣之第2比較例202以及動子2具有兩端之第1比較例201。

依第12圖所示，動子2未存在端緣之第2比較例202中，和各分割芯部4相對向之定子3的間隙面所產生的磁通密度相等。另一方面，動子2具有兩端之第1比較例201中，和各分割芯部4相對向之定子3的間隙面所產生的磁通密度之值不相同。

根據上述情形可知，由於動子2具有兩端，會使得和各分割芯部4相對向之定子3的間隙面所產生的磁通密度產生差異。據此，如第11圖所示，發現了一次之齒槽推力向量的相位產生變化之情形。

因此，本案發明人等係發現藉由使和各分割芯部4相對向之定子3的間隙面所產生的磁通密度變化，可操作一次之齒槽推力向量的相位而能減低一次之齒槽推力。

第13圖係本實施形態的同步線性馬達之各分割芯部所產生的一次之齒槽推力向量之相量圖。第13圖之橫軸係表示一次之齒槽推力向量的cos成分，第13圖之縱軸係表示一次之齒槽推力向量的sin成分。

為了使和各分割芯部4相對向之定子3的間 隙面所產生的磁通密度之值變化，以使各分割芯部4所產生的一次之齒槽推力向量之相位變化，本案發明人等係如第2圖所示，將配置於移動方向A的兩端側之分割芯部4之永久磁鐵5的厚度hm1、以及自移動方向A的兩端側起配置於第二個分割芯部4之永久磁鐵5的厚度hm2的形狀，變更成hm1<hm2，並以電磁場解析求得齒槽推力。其結果，對照於第1比較例201之一次之齒槽推力之相量圖的第11圖，一次之齒槽推力之相量圖係變化為第13圖。因此，自各分割芯部4(1)至(6)所產生的一次之齒槽推力向量成為互相抑制之配置。

第14圖係本實施形態的同步線性馬達及第1比較例的一次之齒槽推力之比較圖。第14圖之橫軸係表示動子2具有兩端之第1比較例201及本實施形態的同步線性馬達101。第14圖之縱軸係表示將第1比較例201的一次之齒槽推力的振幅之值設為「1」時，將一次之齒槽推力的振幅規格化之值[p.u.]。第14圖中，第1比較例201係對應於hm1=hm2之情形，本實施形態的同步線性馬達101係對應於hm1<hm2之情形。

如第14圖所示，本實施形態的同步線性馬達101係對照第1比較例201的一次之齒槽推力，其一次之齒槽推力為減低至40%以下。

第15圖係本實施形態的同步線性馬達之第1變形例之動子的垂直於電磁鋼板的積層方向之剖面圖。第15圖中，同步線性馬達之第1變形例102和本實施形態 的同步線性馬達101的不同點係如下述。在同步線性馬達之第1變形例102中，配置於位在移動方向A的兩端側之分割芯部4之永久磁鐵5的厚度hm1係大於配置於自移動方向A的兩端側起第二個分割芯部4之永久磁鐵5的厚度hm2，亦即，成為hm1>hm2。

如第15圖所示，藉由設為hm1>hm2，而能使一次之齒槽推力向量之相位改變為和自hm1=hm2變化成hm1<hm2之情形時的相位變化的方向相反的方向。因此，能變更分割芯部4的間隙面所產生的磁通密度之值。

根據此構成，亦可例如第13圖所示，能使一次之齒槽推力向量之相位變化為互相抑制自各分割芯部4(1)至(6)所產生的一次之齒槽推力向量之配置。因此，如第14圖所示，能減低一次之齒槽推力。

此外，根據和上述相同的理由，即使設為hm1<hm3、hm1>hm3、hm2<hm3、hm2>hm3、或hm1<hm3及hm2>hm3等之組合，亦能變更分割芯部4的間隙面所產生的磁通密度之值。亦即，若複數個永久磁鐵5中不同形狀的數量為二以上，則例如第13圖所示，能使一次之齒槽推力向量之相位變化為互相抑制自各分割芯部4(1)至(6)所產生的一次之齒槽推力向量之配置。因此，如第14圖所示，能減低一次之齒槽推力。

第16圖係本實施形態的同步線性馬達之第2變形例之動子的垂直於電磁鋼板的積層方向之剖面圖。第16圖中，同步線性馬達之第2變形例102-2和本實施形 態的同步線性馬達101的不同點係如下述。在同步線性馬達之第2變形例102-2中，配置於位在移動方向A的兩端側之分割芯部4之永久磁鐵5的厚度hm1和配置於自移動方向A的兩端側起第二個分割芯部4之永久磁鐵5的厚度hm2、以及配置於自移動方向A的兩端側起第三個分割芯部4之永久磁鐵5的厚度hm3係互為不相同。亦即，形成hm1≠hm2≠hm3。

第17圖係對照本實施形態的同步線性馬達之第1比較例和本發明之第1變形例及第2變形例的一次之齒槽推力之比較圖。第17圖之橫軸係表示動子2具有兩端之第1比較例201、本實施形態的同步線性馬達之第1變形例102、以及本實施形態的同步線性馬達之第2變形例102-2。第17圖之縱軸係表示將本實施形態的同步線性馬達之第1變形例102的一次之齒槽推力的振幅之值設為「1」時，將一次之齒槽推力的振幅規格化之值[p.u.]。

如第16圖所示，在同步線性馬達之第2變形例102-2中，將永久磁鐵5的厚度hm1、hm2、hm3設為hm1≠hm2≠hm3，藉此，如第17圖所示，和第2、15圖所示之本實施形態的hm2>hm1=hm3之同步線性馬達101及hm1>hm2=hm3之第1變形例102作比較，能減低約70%的一次之齒槽推力。

又，第16圖中，永久磁鐵5的厚度hm1、hm2、hm3的關係雖設為hm1<hm2<hm3，但若永久磁鐵5的厚度為三個以上不相同，則該組合以外的關係亦沒有問題。

第18圖係本實施形態的同步線性馬達之第3變形例之動子的垂直於電磁鋼板的積層方向之剖面圖。第18圖中，同步線性馬達之第3變形例102-3和本實施形態的同步線性馬達101的不同點係如下述。在同步線性馬達之第3變形例102-3中，配置於位在移動方向A的兩端側之分割芯部4之永久磁鐵5的厚度hm1和配置於自移動方向A的兩端側起第二個分割芯部4之永久磁鐵5的厚度hm2為相同。然而，配置於自移動方向A的兩端側起第三個分割芯部4之永久磁鐵5的厚度hm3和hm1及hm2則不相同。亦即，形成hm1=hm2≠hm3。

根據如此之同步線性馬達之第3變形例102-3的構成，亦能使一次之齒槽推力向量之相位變化為抑制自各分割芯部4(1)至(6)所產生的一次之齒槽推力向量之配置。因此，能減低一次之齒槽推力。

此外，由於變更永久磁鐵5之沿移動方向A的厚度hm，故能進行動子2的行程之微調整。

又，本實施形態的第2圖、第15圖、第16圖、第18圖中，永久磁鐵5的厚度hm1、hm2、hm3係以未分割之永久磁鐵5之全部的厚度表示，但，即使厚度hm為如第19圖所示之重疊複數個永久磁鐵5的厚度，亦沒有問題。

又，在本實施形態的同步線性馬達101、102、102-2、102-3中，如第13圖所示，為了平衡一次之齒槽推力向量而減低一次之齒槽推力，相同形狀之複數個 永久磁鐵5係以配置於對動子2之移動方向A的寬幅中央對稱的位置之分割芯部4為佳。

但，即使相同形狀之複數個永久磁鐵5並非配置於對動子2之移動方向A的寬幅中央對稱的位置之分割芯部4，亦如上述，亦能使一次之齒槽推力向量之相位變化為抑制一次之齒槽推力向量之配置。因此，能減低一次之齒槽推力。

又，本實施形態的同步線性馬達101、102、102-2、102-3中，分割芯部4及永久磁鐵5的數量係六個，和動子2相對向配置的定子3之突極11的數量係五個。亦即，六個分割芯部4之沿移動方向A的寬幅之動子2之沿移動方向A的寬幅，等於突極11的沿移動方向A的一端面和相鄰之突極11的沿移動方向A的一端面之移動方向A的間隔的5倍。如第13圖所示，為了平衡一次之齒槽推力向量而減低一次之齒槽推力，相對向於動子2之移動方向A之複數個突極11的數量以整數為佳。亦即，動子2之沿移動方向A的寬幅係以突極11的沿移動方向A的一端面和相鄰之突極11的沿移動方向A的一端面之移動方向A的間隔的整數倍為佳。

但，即使分割芯部4、永久磁鐵5、以及和動子2相對向配置的定子3之突極11的數量係上述以外的組合，亦能使一次之齒槽推力向量之相位變化為抑制一次之齒槽推力向量之配置。因此，能減低一次之齒槽推力。上述以外之數量的組合係例如永久磁鐵5未配置於自移動方向A的兩 端側起第二個分割芯部4等，永久磁鐵5的數量少於分割芯部4的數量之情形、或相對向於動子2之複數個突極11的數量並非整數之情形等。

又，本實施形態的同步線性馬達中，亦可為齒部7的突出方向之永久磁鐵5的長度不相同，以取代永久磁鐵5的沿移動方向A的厚度hm不相同。根據該構成，亦能使一次之齒槽推力向量之相位變化為抑制自各分割芯部4所產生的一次之齒槽推力向量之配置。因此，能減低一次之齒槽推力。

但，齒部7的突出方向之永久磁鐵5的長度不相同之情形時，在第2圖之包含流通磁通之剖面之移動方向A及齒部7的突出方向之剖面內，由於相對向於齒部7的永久磁鐵5的長度係依分割芯部4而有所不同，故相對向於齒部7的永久磁鐵5的長度較大的一方，永久磁鐵5的磁通造成之磁氣飽和的影響較大，且永久磁鐵5的磁通相對地較容易流通於磁阻較小的定子3側的間隙面。因此，從交鏈於捲繞在磁氣飽和的影響較大之齒部7的線圈6之磁通而求得之電感，係大於捲繞在磁氣飽和的影響較小之齒部7的線圈6之電感。因此，同步線性馬達之驅動控制用的各相之電感係成為不平衡狀態，同步線性馬達之驅動時的推力脈動變大，控制性降低。

因此，以永久磁鐵5之沿移動方向A的厚度hm不相同者為佳。此係因為在包含移動方向A及齒部7的突出方向之剖面內，相對向齒部7的永久磁鐵5的長 度不會依分割芯部4不同而為相同之故。根據此等之構成，在本實施形態的同步線性馬達中，能抑制捲繞於分割芯部4之齒部7的線圈6之電感的不平衡狀態。因此，能縮小同步線性馬達之驅動時的推力脈動，提升控制性。

特別是，捲繞於移動方向A的兩端側之分割芯部4(1)及(6)之齒部7的線圈6之電感，因端側的影響而容易小於捲繞於移動方向A的兩端側之分割芯部4以外的(2)至(5)之齒部7的線圈6之電感，進而各相之電感亦容易成為不平衡狀態。本實施形態的同步線性馬達由於相對向於齒部7的永久磁鐵5的長度不會依分割芯部4而不同，故即便線圈6至少捲繞於移動方向A的兩端側之齒部7，亦能抑制該不平衡狀態。

此外，齒部7的突出方向之永久磁鐵5的長度為不相同時，由於線圈6捲繞於全部的分割芯部4的齒部7，故相對向於齒部7的永久磁鐵5的長度若依分割芯部4而不同時，在捲繞線圈6之際，因施於齒部之纏繞力的不同而使作用於永久磁鐵5的面壓有所不同。因此，根據該面壓而有永久磁鐵5破裂的可能性。

因此，以永久磁鐵5之沿移動方向A的厚度hm不相同者為佳。根據此等之構成，在本實施形態的同步線性馬達中，能防止永久磁鐵5破裂之情形。

實施形態2.

第20圖係平行於用以實施本發明之實施形態2的同步 線性馬達之動子的電磁鋼板的積層方向及移動方向之剖面圖，且為自定子側觀測之圖。更詳細而言，第20圖及後述之第21圖、第22圖為例如沿著第2圖的著磁方向9之箭頭位置之移動方向A的橫剖面圖，以下相同。又，第20至22圖中，線圈6係未圖示。

第20圖中，本實施形態的同步線性馬達103和實施形態1的同步線性馬達101的不同點係如下述。

將配置於位在移動方向A的兩端側之分割芯部4之永久磁鐵5的積層方向B之寬幅設為Wm1，將配置於自移動方向A的兩端側起第二個分割芯部4之永久磁鐵5的積層方向B之寬幅設為Wm2，以及將配置於自移動方向A的兩端側起第三個分割芯部4之永久磁鐵5的積層方向B之寬幅設為Wm3時，成為Wm1≠Wm2。並且，成為Wm2=Wm3。亦即，複數個永久磁鐵5中不同形狀的數量，亦即不同形狀之種類的數量係成為二個。

此外，寬幅為Wm1的二個永久磁鐵5係分別配置於以動子2之移動方向A的寬幅中央成為對稱的位置之分割芯部4(1)及(6)的齒部7。此外，寬幅為Wm2的二個永久磁鐵5係分別配置於以動子2之移動方向A的寬幅中央成為對稱的位置之分割芯部4(2)及(5)的齒部7。此外，寬幅為Wm3的二個永久磁鐵5係分別配置於以動子2之移動方向A的寬幅中央成為對稱的位置之分割芯部4(3)及(4)的齒部7。亦即，同樣形狀之複數個永久磁鐵5係配置於以動子2之移動方向A的寬幅中央成為對稱的位置之 分割芯部4的齒部7。

第21圖係平行於對照本實施形態的同步線性馬達的比較例之動子的電磁鋼板的積層方向及移動方向之剖面圖，且為自定子側觀測之圖。第21圖中，同步線性馬達之比較例201和本實施形態的同步線性馬達103的不同點係如下述。第21圖之同步線性馬達之第1比較例201係自不同的剖面觀測和實施形態1的第6圖之同步線性馬達之第1比較例201相同的構成之圖。第21圖之比較例201係成為Wm=Wm1=Wm2=Wm3。又，第21圖係未圖示線圈6。

繼而說明實施形態2的功效。

第20圖及第21圖之永久磁鐵5之移動方向A的厚度hm係完全相同。此外，第21圖所示之同步線性馬達之比較例201之情形，由於永久磁鐵5的形狀及磁氣特性完全相同，故如實施形態1之第8圖及第11圖所示，一次之齒槽推力係變大。

此外，如實施形態1的說明，藉由變更分割芯部4的間隙面產生之磁通密度之值，即能使各分割芯部4產生之一次之齒槽推力向量的相位產生變化。

為了變更分割芯部4的間隙面所產生之磁通密度之值，除了變更實施形態1的第2圖所說明之永久磁鐵5的厚度hm以外，亦能變更第20圖所示之永久磁鐵5的積層方向B之寬幅Wm。

因此，如第20圖所示，藉由設為Wm1≠ Wm2，即能變更分割芯部4的間隙面所產生之磁通密度之值，使各分割芯部4所產生之一次之齒槽推力向量的相位產生變化。據此，如實施形態1的第13圖所示，能抑制各分割芯部4所產生之一次之齒槽推力。因此，如實施形態1的第14圖所示，能減低一次之齒槽推力。

此外，必需將一次之齒槽推力的相位變更為相反方向時，藉由設為Wm1>Wm2，即能在和Wm1<Wm2時之相反方向，使一次之齒槽推力向量的相位產生變化。因此，和實施形態1的第14圖相同地，能抑制之一次之齒槽推力向量，而能減低一次之齒槽推力。

此外，根據和上述相同的理由，設為Wm1<Wm3、Wm1>Wm3、Wm2<Wm3、Wm2>Wm3、或Wm1<Wm3、及Wm2>Wm3等之組合，亦能變更分割芯部4的間隙面產生之磁通密度之值。此外，設為Wm1=Wm2≠Wm3之組合亦相同。亦即，複數個永久磁鐵5中不同形狀的數量若形成二個以上時，例如實施形態1的第13圖所示，能使一次之齒槽推力向量之相位變化為抑制各分割芯部4(1)至(6)所產生的一次之齒槽推力向量之配置。

因此，如實施形態1的第14圖所示，能減低一次的齒槽推力。

第22圖係平行於本實施形態2的同步線性馬達的第4變形例之動子的電磁鋼板的積層方向及移動方向之剖面圖，且為自定子側觀測之圖。第22圖中，同步線性馬達之第4變形例104和本實施形態的同步線性馬達103 的不同點係如下述。第22圖之同步線性馬達之第4變形例104係在本實施形態的同步線性馬達103中，配置於位在移動方向A的兩端側之分割芯部4之永久磁鐵5的積層方向B之寬幅Wm1、配置於自移動方向A的兩端側起第二個分割芯部4之永久磁鐵5的積層方向B之寬幅Wm2、以及配置於自移動方向A的兩端側起第三個分割芯部4之永久磁鐵5的積層方向B之寬幅Wm3為互不相同。亦即，成為Wm1≠Wm2≠Wm3。又，第22圖係未圖示線圈6。

如第22圖所示，在同步線性馬達之第4變形例104中，藉由將永久磁鐵5的積層方向B之寬幅Wm1、Wm2、以及Wm3設為Wm1≠Wm2≠Wm3而使三個以上的永久磁鐵5的積層方向B之寬幅不相同，則能使一次之齒槽推力向量之相位變化為抑制各分割芯部4(1)至(6)所產生的一次之齒槽推力向量之配置。

又，第22圖係設為Wm1<Wm2<Wm3，但，永久磁鐵5的積層方向B之寬幅若為三個以上不相同，則該組合以外的關係亦沒有問題。

此外，由於變更永久磁鐵5的積層方向B之寬幅Wm，故能不變更動子2之行程而減低齒槽推力。

又，第20圖中，圖示了永久磁鐵5的積層方向B之寬幅短於分割芯部4的積層方向B之寬幅，但，如第23圖所示，較分割芯部4的積層方向B之寬幅更長亦沒有問題。此外，如第24圖、25所示，亦可將永久磁鐵5分割成複數個而配置於積層方向B。

又，在本實施形態的同步線性馬達中，亦可如第26圖、27所示，以齒部7的突出方向之永久磁鐵5的長度不相同，取代永久磁鐵5之積層方向B的寬幅Wm不相同。根據該構成，亦能使一次之齒槽推力向量之相位化為抑制自各分割芯部4所產生的一次之齒槽推力向量之配置，而能減低一次之齒槽推力。

但，齒部7的突出方向之永久磁鐵5的長度若為不相同時，則如實施形態1所敘述，同步線性馬達之驅動控制用之各相之電感係容易形成不平衡狀態，同步線性馬達之驅動時的推力脈動變大，控制性降低。

因此，以永久磁鐵5之沿積層方向B的寬幅Wm不相同者為佳。此係因為在包含移動方向A及齒部7的突出方向之剖面內，相對向於齒部7的永久磁鐵5的長度不會依分割芯部4不同而為相同之故。根據此等之構成，在本實施形態的同步線性馬達中，和實施形態1相同地，即使線圈6至少捲繞於移動方向A的兩端側之齒部7，亦能抑制捲繞於分割芯部4之齒部7的線圈6之電感的不平衡狀態。因此，能縮小同步線性馬達之驅動時的推力脈動，提升控制性。

實施形態3.

用以實施本發明之實施形態3的同步線性馬達和實施形態1的第2圖之同步線性馬達101的不同點係如下述。

本實施形態之同步線性馬達，和對照實施形態1的同 步線性馬達之第6圖之第1比較例201相比雖外觀為相同形狀，但為第1比較例201的構造當中僅永久磁鐵5的磁氣特性之殘留磁通密度不同之同步線性馬達。具體而言，將配置於位在移動方向A的兩端側之分割芯部4之永久磁鐵5的殘留磁通密度設為Br1，將配置於自移動方向A的兩端側起第二個分割芯部4之永久磁鐵5的殘留磁通密度設為Br2，以及將配置於自移動方向A的兩端側起第三個分割芯部4之永久磁鐵5的殘留磁通密度設為Br3時，成為Br1≠Br2。並且，成為Br2=Br3。亦即，複數個永久磁鐵5中不同的磁氣特性的數量係形成二個。

此外，殘留磁通密度為Br1之二個永久磁鐵5係分別配置於以動子2之移動方向A的寬幅中央成為對稱的位置之分割芯部4(1)及(6)的齒部7。此外，殘留磁通密度為Br2之二個永久磁鐵5係分別配置於以動子2之移動方向A的寬幅中央成為對稱的位置之分割芯部4(2)及(5)的齒部7。此外，殘留磁通密度為Br3之二個永久磁鐵5係分別配置於以動子2之移動方向A的寬幅中央成為對稱的位置之分割芯部4(3)及(4)的齒部7。亦即，相同的磁氣特性之複數個永久磁鐵5係配置於以動子2之移動方向A的寬幅中央成為對稱的位置之分割芯部4的齒部7。

此外，本實施形態之同步線性馬達之永久磁鐵5的形狀係完全相同。

繼而說明實施形態3的功效。

如實施形態1所說明，藉由變更分割芯部4的間隙面 產生之磁通密度之值，即能使各分割芯部4產生之一次之齒槽推力向量的相位產生變化。

除了實施形態1的第2圖所說明之變更永久磁鐵5的厚度hm，實施形態2的第20圖所說明之變更永久磁鐵5的寬幅Wm以外，變更實施形態1的第2圖所示之永久磁鐵5之殘磁通密度Br，亦能變更分割芯部4的間隙面所產生之磁通密度之值。

因此，藉由設為Br1≠Br2，即能變更分割芯部4的間隙面產生之磁通密度之值，使各分割芯部4產生之一次之齒槽推力向量之相位產生變化。據此，如實施形態1的第13圖所示，能抑制各分割芯部4所產生之一次之齒槽推力。因此，如實施形態1的第14圖所示，能減低一次之齒槽推力。

此外，必需將一次之齒槽推力向量的相位變更為相反方向時，藉由設為Br1<Br2，即能在和Br1>Br2時之相反方向而使一次之齒槽推力向量的相位產生變化。因此，和實施形態1的第14圖相同的，能抑制一次之齒槽推力向量，而能減低一次之齒槽推力。

此外，設為Br1<Br3、Br1>Br3、Br2<Br3、Br2>Br3、或Br1<Br3、已及Br2>Br3等之組合，亦能變更分割芯部4的間隙面產生之磁通密度之值。此外，設為Br1=Br2≠Br3之組合亦相同。亦即，複數個永久磁鐵5中不同的磁氣特性的數量為二個以上時，則例如實施形態1的第13圖所示，能使一次之齒槽推力向量之相位變化為抑制各 分割芯部4(1)至(6)所產生的一次之齒槽推力向量之配置。因此，如實施形態1的第14圖所示，能減低一次之齒槽推力。

此外，藉由設為Br1≠Br2≠Br3(例如Br1<Br2<Br3)，將永久磁鐵5的磁氣特性設為三個以上不相同時，則能使一次之齒槽推力向量之相位變化為抑制各分割芯部4(1)至(6)所產生的一次之齒槽推力向量之配置。

此外，由於變更永久磁鐵5之磁通密度，故能不變更動子2的行程而減低齒槽推力。

此外，為了變更永久磁鐵5之殘留磁通密度Br，可為稱作永久磁鐵5之等級之材料的變更、永久磁鐵5之製造批次的變更、或永久磁鐵5之著磁率的變更等，永久磁鐵5的磁氣特性若不相同即可，而不論其手段。

在此，永久磁鐵5之著磁率係表示將永久磁鐵5著磁之著磁工程中藉由外部磁場而著磁時，以飽和狀態的磁化除以去除外部磁場之後而殘留的磁化之值。因此，能藉由著磁工程調整永久磁鐵5的磁化，將永久磁鐵作成單一種類而能抑制零件數量的增加。

又，亦可將實施形態1至實施形態3所敘述之複數個永久磁鐵5中不同的形狀的數量為二個以上之情形以及複數個永久磁鐵5中不同的磁氣特性的數量為二個以上之情形予以組合而構成同步線性馬達。

亦即，除了上述各實施形態所限定者之外，亦可包含全部此等之組合。

(產業上利用之可能性)

本發明之同步線性馬達係能使用於各種領域的同步線性馬達。

2‧‧‧動子

3‧‧‧定子

4‧‧‧分割芯部

4-1‧‧‧半分割芯部

5‧‧‧永久磁鐵

6‧‧‧線圈

7‧‧‧齒部

8‧‧‧芯背部

9‧‧‧著磁方向

10‧‧‧基部

11‧‧‧突極

14‧‧‧芯部

A‧‧‧移動方向

g‧‧‧間隙

hm1至hm3‧‧‧厚度

Claims (19)

1. 一種同步線性馬達，具備：定子，係具有：基部；以及自該基部突出且由磁性體所構成之複數個突極；以及動子，係隔著間隙相對向於前述複數個突極而配置，前述複數個突極係沿著前述動子的移動方向互相分離而配置，前述動子係具有：由磁性體構成之芯部；複數個線圈；以及沿著前述移動方向排列之複數個永久磁鐵，前述芯部係具備：芯背部；以及自前述芯背部朝向前述突極突出且沿著前述移動方向排列之複數個齒部，前述複數個線圈係至少捲繞於前述移動方向兩端側的前述齒部，前述複數個永久磁鐵係分別沿著前述齒部的突出方向配置於前述齒部的中央部，前述永久磁鐵的磁極所具有之極性係和相鄰的前述永久磁鐵中相對向的磁極所具有之極性相同，前述複數個永久磁鐵中不同之形狀的數量、或前述複數個永久磁鐵中不同之磁氣特性的數量，係二個以上。
2. 如申請專利範圍第1項所述之同步線性馬達，其中，前述複數個永久磁鐵中不同之形狀的數量為二個 以上時，前述複數個永久磁鐵之前述移動方向的厚度、或前述複數個永久磁鐵之垂直於前述移動方向及前述齒部的突出方向之方向的寬幅為不相同。
3. 如申請專利範圍第1項所述之同步線性馬達，其中，相同形狀或相同磁氣特性之前述複數個永久磁鐵係配置於以前述動子之前述移動方向的寬幅中央成為對稱的位置之前述齒部。
4. 如申請專利範圍第3項所述之同步線性馬達，其中，前述複數個永久磁鐵中不同之形狀的數量為二個以上時，配置於前述動子之前述移動方向兩端側之前述永久磁鐵之前述移動方向的厚度、以及配置為自前述動子之前述移動方向兩端側起第二個之前述永久磁鐵之前述移動方向的厚度為不相同。
5. 如申請專利範圍第3項所述之同步線性馬達，其中，前述複數個永久磁鐵中不同之形狀的數量為二個以上時，配置於前述動子之前述移動方向兩端側之前述永久磁鐵之垂直於前述移動方向及前述齒部的突出方向之方向的寬幅、以及配置為自前述動子之前述移動方向兩端側起第二個之前述永久磁鐵之垂直於前述移動方向及前述齒部的突出方向之方向的寬幅為不相同。
6. 如申請專利範圍第3項所述之同步線性馬達，其中， 前述複數個永久磁鐵中不同之磁氣特性的數量為二個以上時，配置於前述動子之前述移動方向兩端側之前述永久磁鐵的殘留磁通密度、以及配置為自前述動子之前述移動方向兩端側起第二個之前述永久磁鐵的殘留磁通密度為不同。
7. 如申請專利範圍第3項所述之同步線性馬達，其中，前述複數個永久磁鐵中不同之磁氣特性的數量為二個以上時，配置於前述動子之前述移動方向兩端側之前述永久磁鐵的著磁率、以及配置為自前述動子之前述移動方向兩端側起第二個之前述永久磁鐵的著磁率為不同。
8. 如申請專利範圍第3項所述之同步線性馬達，其中，配置於前述動子之前述移動方向兩端側之前述永久磁鐵的形狀、及配置為自前述動子之前述移動方向兩端側起第二個之前述永久磁鐵的形狀為相同，或者，配置於前述動子之前述移動方向兩端側之前述永久磁鐵的磁氣特性、及配置為自前述動子之前述移動方向兩端側起第二個之前述永久磁鐵的磁氣特性為相同。
9. 如申請專利範圍第3項所述之同步線性馬達，其中，前述複數個永久磁鐵中不同之形狀的數量為三個以上時， 配置於前述動子之前述移動方向兩端側之前述永久磁鐵之前述移動方向的厚度、配置為自前述動子之前述移動方向兩端側起第二個之前述永久磁鐵之前述移動方向的厚度、以及配置為自前述動子之前述移動方向兩端側起第三個之前述永久磁鐵之前述移動方向的厚度，係分別為不相同。
10. 如申請專利範圍第3項所述之同步線性馬達，其中，前述複數個永久磁鐵中不同之形狀的數量為三個以上時，配置於前述動子之前述移動方向兩端側之前述永久磁鐵之與前述移動方向垂直之方向的寬幅、配置為自前述動子之前述移動方向兩端側起第二個之前述永久磁鐵之與前述移動方向垂直之方向的寬幅、以及配置為自前述動子之前述移動方向兩端側起第三個之前述永久磁鐵之與前述移動方向垂直之方向的寬幅，係分別為不相同。
11. 如申請專利範圍第3項所述之同步線性馬達，其中，前述複數個永久磁鐵中不同之磁氣特性的數量為三個以上時，配置於前述動子之前述移動方向兩端側之前述永久磁鐵之殘留磁通密度、配置為自前述動子之前述移動方向兩端側起第二個之前述永久磁鐵的殘留磁通密度、以及配置為自前述動子之前述移動方向兩端側起第三個之前述永久磁鐵的殘留磁通密度，係分別為不 相同。
12. 如申請專利範圍第3項所述之同步線性馬達，其中，前述複數個永久磁鐵中不同之磁氣特性的數量為三個以上時，配置於前述動子之前述移動方向兩端側之前述永久磁鐵的著磁率、配置為自前述動子之前述移動方向兩端側起第二個之前述永久磁鐵的著磁率、以及配置為自前述動子之前述移動方向兩端側起第三個之前述永久磁鐵的著磁率，係分別為不同。
13. 如申請專利範圍第1項至第12項中任一項所述之同步線性馬達，其中，相對向於前述動子之前述複數個突極的數量為整數。
14. 如申請專利範圍第1項至第12項中任一項所述之同步線性馬達，其中，前述芯部係由沿著前述移動方向排列之複數個分割芯部所構成，前述複數個分割芯部係分別具備前述芯背部以及前述齒部。
15. 如申請專利範圍第13項所述之同步線性馬達，其中，前述芯部係由沿著前述移動方向排列之複數個分割芯部所構成，前述複數個分割芯部係分別具備前述芯背部以及前述齒部。
16. 如申請專利範圍第14項所述之同步線性馬達，其中，前述芯部係在相鄰的前述齒部彼此之間的前述芯背部中被分割。
17. 如申請專利範圍第15項所述之同步線性馬達，其中，前述芯部係在相鄰的前述齒部彼此之間的前述芯背部中被分割。
18. 如申請專利範圍第14項所述之同步線性馬達，其中，前述芯部係在前述齒部中被分割。
19. 如申請專利範圍第15項所述之同步線性馬達，其中，前述芯部係在前述齒部中被分割。