TW201731750A - 搬運系統 - Google Patents

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Abstract

一種搬運系統，具備：軌道；複數高架搬運車；保管裝置；對應運用模式控制高架搬運車及局部台車的動作的搬運控制器。保管裝置，具有：保管部，及可在裝置埠與保管部之間移載FOUP的局部台車。搬運控制器可在以下的第1模式至第3模式之間切換運用模式，第1模式，禁止局部台車進行從裝置埠朝著保管部的移載動作；第2模式，禁止高架搬運車進行朝保管部的移載動作及藉局部台車進行從保管部朝著裝置埠的移載動作；第3模式，不限制局部台車進行移載動作。

Description

搬運系統
本發明是關於搬運系統。
例如，作為運用在半導體製造工廠的搬運系統，已知有具備：高架搬運車；高架搬運車之行走路的軌道；設置在軌道與半導體處理裝置的裝置埠之間的保管部(緩衝器)；及在裝置埠與保管部之間進行被搬運物交接的移載機構(局部台車)的搬運系統(參閱日本專利文獻1)。
上述專利文獻1記載的搬運系統中，高架搬運車及移載裝置構成為在裝置埠及保管部的雙方之間一起進行被搬運物的交接。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2013-153193號公報
如上述的搬運系統中，追求半導體處理裝置的運轉率的提升。又，如上述的搬運系統運用高架搬運車及移載機構雙方的系統中，對應搬運系統的狀況適當運用兩者，有提高半導體處理裝置的運轉率的可能性。
因此，本揭示之一形態的目的是提供一種搬運系統，可對應搬運系統的狀況提高裝置的運轉率。
本揭示之一形態相關的搬運系統，具備：保管裝置及控制器，該保管裝置，具有：軌道；沿著軌道行走，搬運被搬運物的複數搬運車；搬運車可進行被搬運物交接的保管部；及在搬運車可進行被搬運物交接的裝置埠與保管部之間可移載被搬運物的移載機構，該控制器，對應所設定的運用模式控制搬運車及移載機構的動作，控制器可在以下的第1模式至第3模式之間切換運用模式，第1模式，禁止移載機構進行從裝置埠朝保管部之被搬運物的移載動作；第2模式，禁止搬運車進行朝保管部之被搬運物的移載動作及移載機構進行從保管部朝裝置埠之被搬運物的移載動作；第3模式，容許移載機構進行從裝置埠朝保管部之被搬運物的移載動作及從保管部朝著裝置埠之被搬運物的移載動作的雙方。
上述搬運系統中，控制器是可在以下第1模式至第3模式之間切換運用模式以作為運用模式，該第1模式及第2模式是限制藉移載機構可進行移載動作(亦 即，從裝置埠朝保管部的移載動作，及從保管部朝裝置埠的移載動作)的一方，該第3模式為不限制移載機構的移載動作。將運用模式設定為第1模式，可優先進行對裝置埠之被搬運物的供應。將運用模式設定為第2模式，可優先回收來自裝置埠的被搬運物(退避至保管部)。將運用模式設定為第3模式，可良好均衡地執行被搬運物的供應及回收。因此，根據上述搬運系統，對應搬運系統的狀況切換控制器的運用模式，可適當切換被搬運物的供應及回收的優先度，可提高裝置的運轉率。
上述搬運系統中，保管部，包括：第1保管部，在搬運車的行走方向設置於裝置埠的上游側，及第2保管部，在搬運車的行走方向設置於裝置埠的下游側，控制器也可以禁止搬運車進行朝第2保管部之被搬運物的移載動作，並禁止移載裝置進行從裝置埠朝第1保管部之被搬運物的移載動作。藉此，第1~第3模式的任意其中之一，皆可實現在搬運車的行走方向從上游測朝下游側的一方向搬運被搬運物的構成。其結果，在各模式中可移載動作的範圍，藉一台搬運車，可對上游側的埠(第1保管部或裝置埠)供應被搬運物，並回收載放於下游側的埠(裝置埠或第2保管部)之處理後的被搬運物。因此，根據上述搬運系統，也可謀求搬運車之運用效率的提升。
上述搬運系統中，控制器也可以對各保管裝置切換運用模式。藉此，可對應各保管裝置的狀況，以保管裝置單位適當切換運用模式。
上述搬運系統中，控制器也可接收要求運用模式之切換的操作，對應該等操作可切換運用模式。因此，可藉操作員等的手動操作，適時切換運用模式。
上述搬運系統中，控制器也可以定期取得搬運系統之運轉狀況相關的運轉狀況資訊，根據運轉狀況資訊及預先決定的切換規則自動切換運用模式。藉此，可對應搬運系統的運轉狀況自動切換適當的運用模式。
上述搬運系統中，控制器也可以取得裝置埠對一個被搬運物的處理時間作為運轉狀況資訊，執行依據該處理時間與預先決定的臨界值的比較運算，並根據該比較運算的結果，切換對應於裝置埠之間可藉移載機構進行被搬運物之移載的保管裝置的運用模式。根據此構成，藉著比較裝置埠中對一個被搬運物的處理時間(或其平均值等)與預先決定之臨界值的簡易處理，可自動且適當切換各保管裝置的運用模式。
上述搬運系統中，控制器也可以取得包括保管裝置的預定範圍區域之搬運車的運轉台數作為運轉狀況資訊，執行依據該等運轉台數與預先決定的臨界值的比較運算，並根據該比較運算的結果，切換對應保管裝置的運用模式。根據此構成，藉著比較包括保管裝置的預定範圍區域之搬運車的運轉台數與預先決定之臨界值的簡易處理，可自動且適當切換各保管裝置的運用模式。
上述搬運系統中，控制器也可以取得保管裝置的保管部或從可在與該保管部之間進行移載機構之被搬運物 的移載的裝置埠回收處理後的被搬運物之搬運車的配車時間作為運轉狀況資訊，執行依據該等配車時間與預先決定的臨界值的比較運算，並根據該比較運算的結果，切換對應保管裝置的運用模式。根據此構成，藉著比較回收處理後的被搬運物之搬運車的配車時間(或其平均值等)與預先決定之臨界值的簡易處理，可自動且適當切換各保管裝置的運用模式。
根據本說明之一形態，可提供一種對應搬運系統的狀況提高裝置的運轉率的搬運系統。
1‧‧‧搬運系統
10‧‧‧軌道
20‧‧‧高架搬運車
30‧‧‧保管裝置
31‧‧‧保管部
31A‧‧‧第1保管部
31B‧‧‧第2保管部
32‧‧‧局部台車(移載機構)
41‧‧‧搬運控制器
90‧‧‧FOUP(被搬運物)
101‧‧‧裝置埠
第1圖是表示本揭示之一實施形態的搬運系統的主要部的圖。
第2圖為第1圖之保管裝置及半導體處理裝置的上視圖。
第3圖是表示搬運系統的控制構成的方塊圖。
第4圖是用於說明第1模式的模式圖。
第5圖是用於說明第2模式的模式圖。
第6圖是用於說明第3模式的模式圖。
以下，一邊參閱圖示並詳細說明本揭示的一 實施形態。並且，圖示的說明中對相同或同等的元件賦予相同的符號，省略重複的說明。
使用第1圖及第2圖，針對本實施形態的搬運系統1說明。搬運系統1是在具備複數半導體處理裝置100的半導體製造工廠內，搬運收容有複數半導體晶圓之FOUP(Front Opening Unified Pod)用的系統。如第1圖表示，搬運系統1，具備：軌道10；複數高架搬運車20；及對應各半導體處理裝置100而設置的保管裝置30。第1圖是圖示存在於半導體製造工廠內的複數半導體處理裝置100之中對應一個半導體處理裝置100的保管裝置30。
軌道10是鋪設在半導體製造工廠的頂棚附近。高架搬運車20為OHT(Overhead Hoist Transfer)。高架搬運車20是以垂吊狀態沿著軌道10朝一方向行走。以下，稱高架搬運車20的行走方向A的上游側及下游側為「上游側」及「下游側」。
高架搬運車20將收容有複數半導體晶圓的FOUP90搬運(供應)至各半導體處理裝置100的裝置埠101或後述的保管部31。作為本實施形態中的一例，兩個裝置埠101是沿著高架搬運車20的行走方向A並排設置於一個半導體處理裝置100。半導體處理裝置100是對收容在載放於裝置埠101的FOUP90的半導體晶圓等執行預定的加工處理。在以後的說明是指對收容於FOUP90之半導體晶圓等的處理，僅表現對FOUP90的處理。例如指對收容的半導體晶圓等執行加工處理後的FOUP90，表現處理 後的FOUP90等。處理後的FOUP90是以高架搬運車20回收，例如搬運至進行下一工程的處理之半導體處理裝置100的裝置埠等。處理後的FOUP90也有在裝置埠101以高架搬運車20回收，或暫時退避至保管部31後以搬運車20回收。
高架搬運車20，具有：可把持FOUP90的凸緣部91的把持機構21，及藉連接把持機構21的輸送帶22的送出可使把持機構21升降的升降機構23。高架行走車20以升降機構23使得把持機構21升降，可在後述的保管部31及裝置部101的各個之間，進行FOUP90的收送。
保管裝置30，具備：作為一例的兩個保管部31；局部台車(移載機構)32；及支撐保管部31與局部台車32的支撐構件33。支撐構件33，具有：將主面彼此在軌道10的延伸方向相對地豎立設置於地面的一對側壁部33a、33a，及在軌道10的下方沿著軌道10的延伸方向延伸的一對軌道構件33b、33b。一對軌道構件33b、33b彼此是在相同的高度位置在與軌道10的延伸方向正交的方向相對。各軌道構件33b的兩端部分別被支撐於一對側壁部33a、33a的上面端部。並且，一對軌道構件33b、33b彼此的間隔是形成藉高架搬運車20升降的FOUP90不與軌道構件33b干涉的尺寸。
保管部31是可載放FOUP90而朝水平方向延伸的板狀構件。兩個保管部31之中上游側的第1保管部 31A是以位在比兩個裝置埠101上游側的方式，固定於上游側的側壁部33a的下游側側面。另一方面，兩個保管部31之中下游側的第2保管部31B被固定在下游側的側壁部33a的上游側側面，以定位在兩個裝置埠101的下游側。
上游側的第1保管部31A在裝置埠101未空缺的場合(第1圖的例是在兩個裝置埠101載放FOUP90的場合)，具有作為等待處理的FOUP90待機之待機場所的功能。預先使得等待處理的FOUP90在第1保管部31A待機，在裝置埠101產生空缺的場合，等待處理的FOUP90可立即從第1保管部31A供應至該裝置埠101。
下游側的第2保管部31B具有使得半導體處理裝置100進行處理結束後的處理後的FOUP90從裝置埠101退避的退避場所的功能。處理後的FOUP90退避至第2保管部31B，不以高架搬運車20回收處理後的FOUP90而維持載放於裝置埠101上的狀態，可解決該裝置埠101不能利用的狀態。
局部台車32具備安裝有車輪W的台車部32a。又，局部台車32是與高架搬運車20同樣，具有：可把持FOUP90的凸緣部91的把持機構32b，及藉著連接把持機構32b的輸送帶32c的傳動可使把持機構32b升降的升降機構(未圖示)。局部台車32藉著台車部32a的車輪W在一對軌道構件33b、33b行走，沿著一對軌道構件33b、33b自由移動。又，局部台車32是以升降機構使得 把持機構32b升降，可在保管部31與裝置埠101之間，進行FOUP90的移載。
如第3圖表示，搬運系統1作為掌管控制系統控制的功能元件，具備：搬運控制器41；在複數高架搬運車20共同的高架搬運車控制器42；及設置在各保管裝置30的保管裝置控制器43。搬運控制器41、高架搬運車控制器42及保管裝置控制器43分別是例如構成為包括處理機、記憶體、儲存器及通訊裝置等的電腦裝置。各控制器中，處理器執行記憶體等所讀取預定的軟體(程式)，藉著記憶體及儲存器之數據的讀取及記入，並控制以通訊裝置在控制器間的通訊，實現後述之各控制器的功能。
搬運控制器41是對應設定於各保管裝置30(亦即，各半導體處理裝置100)的運用模式(詳細如後述)控制高架搬運車20及局部台車32的動作的控制器。控制高架搬運車20的動作的場合，搬運控制器41對高架搬運車控制器42輸出FOUP90的搬運指令。又，控制局部台車32的動作的場合，搬運控制器41對控制包括該局部台車32之保管裝置30的保管裝置控制器43，輸出FOUP90的搬運指令。
所謂搬運指令，即是指示將搬運對象的FOUP90從某出發地(原搬運地)搬運至某目的地(搬運目的地)為止的資訊。具體而言，搬運指令使得以下的資訊彼此關連，即：識別搬運對象的FOUP90的資訊(ID)；特定裝載搬運對象之FOUP90的地點(裝置埠及保管部等)的資 訊(From地點)；及特定卸下搬運對象之FOUP90的地點(裝置埠及保管部等)的資訊(To地點)。
搬運控制器41根據搬運指令的From地點與To地點的組合，朝適當的控制器輸出搬運指令。具體而言，From地點與To地點的組合藉著相同保管裝置30內的局部台車32形成可移載組合的場合，搬運控制器41朝對應該保管裝置30的保管裝置控制器43輸出搬運指令。另一方面，From地點與To地點的組合藉著相同保管裝置30內的局部台車32形成不可移載組合的場合(例如，在不同半導體處理裝置100間搬運的場合)，搬運控制器41朝高架搬運車控制器42輸出搬運指令。
藉搬運控制器41輸出的搬運指令是根據來自上位控制器40的搬運要求所生成。上位控制器40藉著監視半導體製造工廠整體的狀況，掌握各半導體處理裝置100的裝置埠101及保管部31的空缺狀況。又，上位控制器40也掌握各FOUP90的處理狀況。上位控制器40是與搬運控制器41、高架搬運車控制器42及保管裝置控制器43同樣，例如構成為包括處理機、記憶體、儲存器及通訊裝置等的電腦裝置。
上位控制器40，例如一旦檢測出半導體處理裝置100的裝置埠101或第1管部31A產生空缺時，對搬運控制器41輸出指示新的FOUP90之卸下(供應)的搬運要求。
又，上位控制器40例如一旦檢測在半導體處 理裝置100的裝置埠101上產生處理後的FOUP90(即，半導體處理裝置100對載放於裝置埠101上之FOUP90的處理結束後)時，對搬運控制器41輸出指示該處理後之FOUP90的裝載(回收)的搬運要求。
搬運控制器41一旦接收來自上述例示之上位控制器40的搬運要求時，根據該搬運要求，來決定將何FOUP90從任一處搬運至何處，生成上述搬運指令。例如，搬運控制器41是根據預設的程式規則，獲得從上位控制器40收訊之供應要求(要求供應的搬運要求)及回收要求(要求回收的搬運要求)的匹配，藉此生成指定From地點及To地點的搬運指令。搬運控制器41將如以上所生成的搬運指令輸出至高架搬運車控制器42或保管裝置控制器43。
高架搬運車控制器42為控制複數高架搬運車20的行走動作的單一控制器，一旦接收來自搬運控制器41的搬運指令(ID，From地點，To地點)時，將該等搬運指令編排至特定的高架搬運車20。具體而言，高架搬運車控制器42是根據預定的編排規則來決定執行搬運指令所指示之FOUP90的搬運處理的高架搬運車20。並且，高架搬運車控制器42對所決定的高架搬運車20送出控制訊號來執行FOUP90的搬運處理。例如，高架搬運車控制器42是朝現時間點未編排有搬運指令的高架搬運車20之中存在於最接近編排對象的搬運指令之From地點的位置的高架搬運車20編排該編排對象的搬運指令。又，高架搬 運車控制器42即使在其他搬運指令之執行中的高架搬運車20，仍可從編排對象的搬運指令的From地點以預定範圍內的地點為To地點對FOUP90搬運中的高架搬運車20，編排指示「在現在執行中的搬運指令之後執行編排對象的搬運指令」的搬運指令(搬運指令預約)。
編排有搬運指令的高架搬運車20開始行走動作進行根據該搬運指令的搬運處理。但是，編排有上述搬運指令預約的高架搬運車20在根據現在執行中之搬運指令的搬運處理結束之後，開始行走動作進行根據該搬運指令預約的搬運處理。具體而言，高架搬運車20朝From地點開始行走，到達From地點時，裝載藉搬運指令之ID所特定的FOUP90。之後，高架搬運車20朝著顯示To地點的位置開始行走，到達顯示To地點的位置時，卸下裝載的FOUP90。藉由如上述之一系列的動作，將搬運指令之ID所特定的FOUP90從From地點搬運至To地點。
保管裝置控制器43一旦接收來自搬運控制器41的搬運指令(ID，From地點，To地點)時，對控制對象之保管裝置30的局部台車32送出控制訊號來執行根據搬運指令的搬運處理。藉此，局部台車32與編排有上述搬運指令的高架搬運車20同樣，開始行走動作進行根據搬運指令的搬運處理。具體而言，局部台車32朝向From地點開始行走，到達To地點時，裝載搬運指令的ID所特定的FOUP90。之後，局部台車32朝向顯示To地點的位置開始行走，到達顯示To地點的位置時，卸下裝載的 FOUP90。
並且，保管裝置控制器43藉著未圖示的感測器等監視控制對象的保管裝置30的保管部31的空缺狀況，將監視結果依序送訊至搬運控制器41。藉此，搬運控制器41可掌握各保管裝置30之保管部31的空缺狀況。
接著，針對對應在各保管裝置30設定有搬運控制器41的運用模式輸出搬運指令的構成說明。設定於各保管裝置30的運用模式是記憶在可參照搬運控制器41的設定模式記憶部41a。準備第1模式~第3模式的三個模式作為可設定於各保管裝置30的運用模式。以下，首先，在本實施形態中針對各模式共同的控制說明之後，使用第4圖~第6圖，針對各模式說明。
(全模式共同的控制)
搬運控制器41，針對對應各半導體處理裝置100所設置的裝置埠101、第1保管部31A及第2保管部31B，禁止高架搬運車20進行對第2保管部31B之FOUP90的移載動作，並禁止局部台車32進行從裝置埠101朝第1保管部31A之FOUP90的移載動作。亦即，搬運控制器41對高架搬運車控制器42及保管裝置控制器43不輸出指示FOUP90從下游側朝上游側逆流的方向移載(及進行從如此下游側向上游測之FOUP90的移載所需產生的移載動作)的搬運指令。
藉此，可實現FOUP90從上游側向下游側之一方向移載的構成。其結果，在後述的各模式中可移載的範圍，藉著一台高架搬運車20，朝上游側的埠(第1保管部31A或裝置埠101)供應FOUP90，並可回收載放於下游側的埠(裝置埠101或第2保管部31B)之處理後的FOUP90。因此，搬運控制器41如上述限制搬運指令的輸出，也可謀求高架搬運車20之運用效率的提升。
(第1模式)
如第4圖表示，第1模式是在藉局部台車32進行可移載動作(亦即，從裝置埠101至保管部31的移載動作，及從保管部31至裝置埠101的移載動作)之中，禁止從裝置埠101至保管部31之FOUP90的移載動作的模式。具體而言，搬運控制器41是對控制設定第1模式作為運用模式之保管裝置30的保管裝置控制器43，不輸出指示FOUP90從裝置埠101朝著第2保管部31B移載的搬運指令(亦即，From地點為裝置埠101，To地點為第2保管部31B的搬運指令)。更具體而言，搬運控制器41例如即使從上位控制器40接收到載放於裝置埠101之處理後的FOUP90的回收要求，及對第2保管部31B之FOUP90的供應要求，也不會對保管裝置控制器43輸出指示載放於裝置埠101之處理後的FOUP90朝著第2保管部31B移載的搬運指令。
根據第1模式，局部台車32專執行從第1保 管部31A朝裝置埠101之FOUP90的供應。藉此，與局部台車32合併從裝置埠101朝第2保管部31B的移載動作執行的場合比較，可提高FOUP90朝著成為空缺埠之裝置埠101的供應效率。因此，例如在裝置埠101的處理時間短且處理後的FOUP90的回收效率佳的場合等，設定第1模式，可藉此順利進行朝裝置埠101之FOUP90的供應，提高半導體處理裝置100的運轉率。
在此，處理後之FOUP90的回收效率佳的場合是例如半導體處理裝置100存在於高架搬運車20之運轉台數多的區域，可以比較短的時間進行FOUP90回收用之高架搬運車20配車的場合。進行FOUP90回收之高架搬運車20的配車是例如藉以下進行。亦即，首先上位控制器40朝搬運控制器41輸出指示處理後之FOUP90回收的回收要求。接著，搬運控制器41將根據該回收要求生成的搬運指令輸出至高架搬運車42。接著，高架搬運車控制器42將該搬運指令編排至一個高架搬運車20。此時，在現時間點未編排搬運指令的高架搬運車20不存在的場合，高架搬運車控制器42是例如結束根據現時間點所編排之搬運指令的搬運處理待機至空出的高架搬運車20出現為止。或者，高架搬運車控制器42對其他搬運指令執行中的高架搬運車20，預約編排對象的搬運指令以作為下一搬運指令。如以上的場合，到處理後的FOUP90回收為止會有耗時的場合。另一方面，例如高架搬運車20的運轉台數多的場合，容易發現有未編排搬運指令的 高架搬運車20，對如此的高架搬運車20編排搬運指令，可期待以比較短的時間進行處理後之FOUP90的回收。
(第2模式)
如第5圖表示，第2模式是與第1模式相反，在以局部台車32進行可移載動作之中，禁止保管部31朝裝置埠101之FOUP90的移載動作。具體而言，搬運控制器41是對控制設定第2模式作為運用模式的保管裝置30的保管裝置控制器43，不輸出指示從第1保管部31A朝裝置埠101之FOUP90移載的搬運指令(亦即，From地點為第1保管部31A，To地點為裝置埠101的搬運指令)。並且，根據上述局部台車32移載動作的限制，載放於第1保管部31A的FOUP90不被局部台車32所移載。因此，搬運控制器41也不輸出指示高架搬運車20進行朝第1保管部31A之FOUP90移載的搬運指令(亦即，To地點為第1保管部31A的搬運指令)。亦即，搬運控制器41即使例如從上位控制器40接收對第1保管部31A之FOUP90的供應要求，也不對高架搬運車控制器42輸出根據該供應要求的搬運指令(To地點為第1保管部31A的搬運指令)。
根據第2模式，局部台車32專執行從裝置埠101朝第2保管部31B之FOUP90的退避(從裝置埠101之FOUP90的回收)。藉此，與局部台車32合併從第1保管部31A朝裝置埠101的移載動作執行的場合比較，可提高從裝置埠101的處理後之FOUP90的回收效率。因此，例 如在處理後的FOUP90之回收效率不良的場合等，設定第2模式，可藉此順利進行從裝置埠101之FOUP90的回收。藉此，可將未處理的FOUP90移載至成為空缺埠的裝置埠101，可提高半導體處理裝置100的運轉率。並且，處理後的FOUP90之回收效率不良場合的例，可舉例如半導體處理裝置100存在於高架搬運車20之運轉台數少的區域，不能短時間進行FOUP90回收用之高架搬運車20配車的場合等。
(第3模式)
如第6圖表示，第3模式是如第1模式或第2模式不限制局部台車32可進行移載動作的模式。亦即，第3模式為許可藉局部台車32進行從裝置埠101朝第2保管部31B之FOUP90的移載動作及從第1保管部31A朝裝置埠101之FOUP90的移載動作的雙方的模式。具體而言，搬運控制器41是可對控制設定第3模式作為運用模式的保管裝置30的保管裝置控制器43，輸出指示從第1保管部31A朝裝置埠101之移載的搬運指令，並輸出指示從裝置埠101朝第2保管部31B之移載的搬運指令。亦即，第3模式中，局部台車32可執行從第1保管部31A朝裝置埠101之FOUP90的供應及從裝置埠101朝著第2保管部31B之FOUP90回收的雙方。因此，第3模式無須優先進行FOUP90的供應及FOUP90回收的其中任一方，為可適合良好均衡地執行兩者的狀況的模式。
搬運控制器41接收運用模式的切換要求的操作，可對應該操作切換運用模式。例如，如第3圖表示透過與搬運控制器41可通訊連接的管理終端機T，可進行各保管裝置30之運用模式的手動切換(例如從第1模式朝第2模式的設定變更)。具體而言，操作員一邊看顯示於管理終端機T上的運用模式的設定畫面，並進行使用鍵盤等的輸入裝置的輸入操作，可藉此變更各保管裝置30的運用模式的設定。進行如上述之操作員操作時，在設定於記憶在設定模式記憶部41a的各保管裝置30的運用模式之中，將切換對象的保管裝置30的運用模式變更為操作員操作所指定的模式(上述的第1~第3模式的其中之一)。其結果，搬運控制器41是對切換成運用模式的保管裝置30，根據變更後的運用模式輸出搬運指令。
例如，操作員針對某半導體處理裝置100，感覺到處理後的FOUP90長時間放置在裝置埠101上的傾向變強的場合，將對應該半導體處理裝置100的保管裝置30的運用模式設定為第2模式，可有效提高從裝置埠101之FOUP90的回收效率。另一方面，操作員針對某半導體處理裝置100，感覺到裝置埠101成空缺狀態的時間變長的場合，將對應該半導體處理裝置100的保管裝置30的運用模式設定為第1模式，可提高對裝置埠101之FOUP90的供應效率。
又，搬運控制器41也可以構成定期取得搬運系統1之運轉狀況相關的運轉狀況資訊，根據運轉狀況及 預先決定的切換規則自動切換運轉模式。作為運轉狀況資訊，可舉例如對應各保管裝置30的半導體處理裝置100之對一個FOUP90的平均處理時間(循環時間)、各半導體處理裝置100的周邊區域之高架搬運車20的運轉台數及各半導體處理裝置100中回收裝置埠101上的處理後的FOUP90之高架搬運車20配車為止的平均配車時間等。搬運控制器41取得如此運轉狀況資訊的方法雖不加以限定，但搬運控制器41例如可藉著與上位控制器40或高架搬運車控制器42等之間的通訊取得運轉狀況資訊。以下，針對運轉狀況資訊與切換規則的具體例(第1例~第3例)說明。
(第1例)
半導體處理裝置100對一個FOUP90的處理時間(亦即，半導體處理裝置100的裝置埠101對一個FOUP90的處理時間)短的場合，在裝置埠101上產生處理後的FOUP90的頻率變高。為此，優先從裝置埠101回收處理後的FOUP90較對於裝置埠101供應未處理的FOUP90更有提高半導體處理裝置100之運轉率的可能性。因此，以上的場合，運用模式以設定第2模式為佳。為此，搬運控制器41在各半導體處理裝置100，定期取得半導體處理裝置100對各FOUP90的處理時間，該處理時間的平均(平均處理時間)小於預先決定的臨界值d1的場合，將對應該半導體處理裝置100的保管裝置30的運用模式切換 成第2模式。
另一方面，半導體處理裝置100的處理時間長的場合，在裝置埠101上處理後之FOUP90的產生頻率變低的一方，雖在空缺埠產生時立即對半導體處理裝置100供應未處理的FOUP90，但為了提高半導體處理裝置100的運轉率尤其變得重要。亦即，優先對裝置埠101供應未處理的FOUP90比從裝置埠101回收處理後的FOUP90更有提高半導體處理裝置100之運轉率的可能性。因此，以上的場合，運用模式以設定第1模式為佳。為此，搬運控制器41在半導體處理裝置100的平均處理時間比預先決定的臨界值d2(d2>d1)大的場合，將對應該半導體處理裝置100的保管裝置30的運用模式切換成第1模式。
又，搬運控制器41在半導體處理裝置100的平均處理時間納於上述的臨界值d1與臨界值d2之間的場合，將可均衡良好進行FOUP90的供應及回收之對應該半導體處理裝置100的保管裝置30的運用模式切換成第3模式。
以上說明的第1例中，半導體處理裝置100的平均處理時間相當於運轉狀況資訊，使得根據該平均處理時間與臨界值d1、d2的比較運算的結果所設定第1~第3模式其中之一的上述規則相當於切換規則。再者，上述的第1例中，也可以使用對任意選擇一個FOUP90的處理時間來取代平均處理時間。並且，也可以使用平均處理時 間以外的代表值(例如處理時間的中央值等)。
(第2例)
半導體處理裝置100對一個FOUP90的處理時間(亦即，包括對應半導體處理裝置100所設置之保管裝置30的預定範圍的區域)之高架搬運車20的運轉台數夠多的場合，依據上述的理由，在短時間回收裝置埠101上的處理後之FOUP90的高架搬運車20配車的可能性變高。如以上的場合，優先對裝置埠101供應未處理的FOUP90比從裝置埠101回收處理後的FOUP90更有提高半導體處理裝置100之運轉率的可能性。因此，以上的場合，運用模式以設定第1模式為佳。為此，搬運控制器41在各半導體處理裝置100，定期取得半導體處理裝置100的周邊區域之高架搬運車20的運轉台數，該運轉台數大於預先決定的臨界值d3的場合，將對應該半導體處理裝置100的保管裝置30的運用模式切換成第1模式。
另一方面，半導體處理裝置100的周邊區域之高架搬運車20的運轉台數少的場合，會產生裝置埠101上之處理後的FOUP90不易回收的狀況。如以上的場合，優先從裝置埠101回收處理後的FOUP90較對於裝置埠101供應未處理的FOUP90更有提高半導體處理裝置100之運轉率的可能性。因此，以上的場合，運用模式以設定第2模式為佳。為此，搬運控制器41在半導體處理裝置100的周邊區域的高架搬運車20的運轉台數少於預 先決定的臨界值d4(d4<d3)的場合，將對應該半導體處理裝置100的保管裝置30的運用模式切換成第2模式。
又，搬運控制器41在半導體處理裝置100的周邊區域的高架搬運車20的運轉台數納於上述的臨界值d3與臨界值d4之間的場合，將可均衡良好進行FOUP90的供應及回收之對應該半導體處理裝置100的保管裝置30的運用模式切換成第3模式。
以上說明的第2例中，半導體處理裝置100的周邊區域的高架搬運車20的運轉台數相當於運轉狀況資訊，使得根據該運轉台數與臨界值d3、d4的比較運算的結果所設定第1~第3模式其中之一的上述規則相當於切換規則。
(第3例)
上述第2例推定是否可以短時間進行從半導體處理裝置100的周邊區域之高架搬運車20的運轉台數回收FOUP90的高架搬運車20，根據其推定結果進行模式的切換。相對於此，第3例是測量回收載放於裝置埠101或第2保管部31B之處理後的高架搬運車20的實際配車時間，根據其平均(平均配車時間)進行模式的切換。並且，回收FOUP90的高架搬運車20的配車時間是在接收指示FOUP90之回收的搬運指令的高架搬運車控制器42對高架搬運車20進行搬運指令的編排之後，編排該搬運指令的高架搬運車20回收FOUP90而到達回收地點(From地點) 為止的時間。例如，搬運控制器41取得以高架搬運車控制器42所測量的配車時間，可算出各半導體處理裝置100之平均配車時間。
如上述第2例的說明，在平均配車時間短的場合，優先對裝置埠101供應未處理的FOUP90比從裝置埠101回收處理後的FOUP90更有提高半導體處理裝置100之運轉率的可能性。另一方面，在平均配車時間長的場合，優先從裝置埠101回收處理後的FOUP90比對裝置埠101供應未處理的FOUP90更有提高半導體處理裝置100的可能性。因此，搬運控制器41算出對各半導體處理裝置100之半導體處理裝置100的平均配車時間，該平均配車時間小於預先決定的臨界值d5的場合，將對應該半導體處理裝置100的保管裝置30的運用模式切換成第1模式。另一方面，搬運控制器41在半導體處理裝置100的平均配車時間比預先決定的臨界值d6(d6>d5)大的場合，將對應該半導體處理裝置100的保管裝置30的運用模式切換成第2模式。又，搬運控制器41在半導體處理裝置100的平均配車時間納於上述的臨界值d5與臨界值d6之間的場合，將可均衡良好進行FOUP90的供應及回收之對應該半導體處理裝置100的保管裝置30的運用模式切換成第3模式。
以上說明的第3例中，半導體處理裝置100的平均配車時間相當於運轉狀況資訊，使得根據該平均配車時間與臨界值d5、d6的比較運算的結果所設定第1~第 3模式其中之一的上述規則相當於切換規則。再者，上述的第3例中，也可以使用對任意選擇處理後的FOUP90的配車時間來取代平均配車時間。並且，也可以使用平均配車時間以外的代表值(例如配車時間的中央值等)。
如上述第1~第3例表示，搬運控制器41只要是可根據運轉況資訊及預先決定的切換規則自動切換運用模式的構成，即可對應搬運系統1的運轉狀況自動切換適當的運用模式。並可藉著比較運轉狀況資訊與預先決定的臨界值的簡易的處理，即可自動且適當切換各保管裝置30的運用模式。再者，第1~第3例為一例，搬運控制器41也可以根據上述例示以外的運轉狀況資訊及切換規則切換運用模式。
如以上說明，搬運系統1中，搬運控制器41是可在以下第1模式及第2模式與第3模式之間切換運用模式以作為運用模式，該第1模式及第2模式是限制藉局部台車32可進行移載動作(亦即，從裝置埠101朝保管部31的移載動作，及從保管部31朝裝置埠101的移載動作)的一方，該第3模式為不限制局部台車32的移載動作。搬運系統1是將運用模式設定為第1模式，可優先進行對裝置埠101之FOUP90的供應。並將運用模式設定為第2模式，可優先回收來自裝置埠101的FOUP90(退避至第2保管部31B)。並將運用模式設定為第3模式，可良好均衡地執行FOUP90的供應及回收。因此，根據搬運系統1，對應搬運系統1的狀況切換搬運控制器41的運用模 式，可適當切換FOUP90的供應及回收的優先度，可提高半導體處理裝置100的運轉率。
搬運系統1中，保管部31，包括：在高架搬運車20的行走方向A中設置在比裝置埠101上游側的第1保管部31A，及在高架搬運車20的行走方向A中設置在比裝置埠101下游側的第2保管部31B。又，搬運控制器41禁止高架搬運車20進行朝第2保管部31B之FOUP90的移載動作，並禁止局部台車32進行從裝置埠101朝第1保管部31A之FOUP90的移載動作。藉此，第1~第3模式的任意其中之一，皆可實現在高架搬運車20的行走方向從上游測朝下游側的一方向搬運FOUP90的構成。其結果，在各模式中可移載動作的範圍，藉一台高架搬運車20，可對上游側的埠(第1保管部31A或裝置埠101)供應FOUP90，並回收載放於下游側的埠(裝置埠101或第2保管部31B)之處理後的FOUP90。因此，根據上述搬運系統1，也可謀求高架搬運車20之運用效率的提升。
搬運系統1中，搬運控制器41是可各保管裝置30切換運用模式。藉此，對應各保管裝置30(亦即，各半導體處理裝置100)的狀況，可以保管裝置30單位適當地切換運用模式。
搬運系統1中，搬運控制器41是透過管理終端機T接受操作員進行要求運用模式的切換的操作，可對應該操作切換運用模式。藉此，可藉著操作員等的手動操 作，適時地切換運用模式。
上述搬運系統1中，搬運控制器41也可構成定期取得搬運系統1之運轉狀況相關的運轉狀況資訊，根據運轉狀況資訊及預先決定的切換規則自動切換運用模式。藉此，可對應搬運系統1的運轉狀況自動切換適當的運用模式。
以上，針對本揭示之一形態已作說明，但本揭示不限於上述形態。例如，第1圖及第2圖表示之保管裝置30的的構成為僅其一例，保管部31及局部台車32的配置及構成為可任意的設計。又，設置在一個半導體處理裝置100的裝置埠101的個數在上述實施形態僅限於例示的兩個，但也可以是一個的場合或三個以上的場合。又，設置在一個保管裝置30的保管部31的各數也不限於兩個，也可以是一個的場合或三個以上的場合。
又，第3圖表示的控制構成為一例，各控制器的控制系統並非必然與第3圖表示的階層構造一致。例如，各保管裝置30的保管裝置控制器43也可對複數保管裝置30構成共同的單一控制器。同樣地，搬運控制器41、高架搬運車控制器42及保管裝置控制器43也可以構成為單一控制器。
並且，本揭示之一形態相關的搬運系統搬運的被搬運物不限於收容複數半導體晶圓的FOUP，也可以是收容玻璃晶圓、光罩等的其他容器。又，本揭示之一形態相關的搬運系統不限於半導體製造工廠，也可適用於其 他的設施。
1‧‧‧搬運系統
10‧‧‧軌道
20‧‧‧高架搬運車
21‧‧‧把持機構
22‧‧‧輸送帶
23‧‧‧升降機構
30‧‧‧保管裝置
31‧‧‧保管部
31A‧‧‧第1保管部
31B‧‧‧第2保管部
32‧‧‧局部台車(移載機構)
32a‧‧‧台車部
32b‧‧‧把持機構
32c‧‧‧輸送帶
33‧‧‧支撐構件
33a‧‧‧側壁部
33b‧‧‧軌道構件
90‧‧‧FOUP(被搬運物)
91‧‧‧凸緣部
100‧‧‧半導體處理裝置
101‧‧‧裝置埠
W‧‧‧車輪

Claims (8)

  1. 一種搬運系統，具備：軌道；複數搬運車，沿著上述軌道行走，搬運被搬運物；保管裝置，具有：上述搬運車可進行上述被搬運物交接的保管部，及在上述搬運車可進行上述被搬運物交接的裝置埠與上述保管部之間可移載上述被搬運物的移載機構；及控制器，對應所設定的運用模式控制上述搬運車及上述移載機構的動作，上述控制器可在以下的第1模式至第3模式之間切換上述運用模式，第1模式，禁止上述移載機構進行從上述裝置埠朝上述保管部之上述被搬運物的移載動作；第2模式，禁止上述搬運車進行朝上述保管部之上述被搬運物的移載動作及上述移載機構進行從上述保管部朝上述裝置埠之上述被搬運物的移載動作；及第3模式，容許上述移載機構進行從上述裝置埠朝上述保管部之上述被搬運物的移載動作及從上述保管部朝著上述裝置埠之上述被搬運物的移載動作的雙方。
  2. 如申請專利範圍第1項記載的搬運系統，其中，上述保管部，包括：第1保管部，在上述搬運車的行走方向設置於上述裝置埠的上游側，及第2保管部，在上述搬運車的行走方向設置於上述裝置埠的下游側，上述控制器禁止上述搬運車進行朝上述第2保管部之 上述被搬運物的移載動作，並禁止上述移載機構進行從上述裝置埠朝上述第1保管部之上述被搬運物的移載動作。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項記載的搬運系統，其中，上述控制器是可對上述各保管裝置切換上述運用模式。
  4. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項記載的搬運系統，其中，上述控制器接收要求上述運用模式之切換的操作，對應該等操作可切換上述運用模式。
  5. 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項記載的搬運系統，其中，上述控制器定期取得上述搬運系統之運轉狀況相關的運轉狀況資訊，根據上述運轉狀況資訊及預先決定的切換規則自動切換上述運用模式。
  6. 如申請專利範圍第5項記載的搬運系統，其中，上述控制器取得上述裝置埠對一個上述被搬運物的處理時間作為上述運轉狀況資訊，執行依據該處理時間與預先決定的臨界值的比較運算，並根據該比較運算的結果，切換對應於在與上述裝置埠之間上述移載機構可進行上述被搬運物之移載的上述保管裝置的上述運用模式。
  7. 如申請專利範圍第5項或第6項記載的搬運系統，其中，上述控制器取得包括上述保管裝置的預定範圍區域之上述搬運車的運轉台數作為上述運轉狀況資訊，執行依據該等運轉台數與預先決定的臨界值的比較運算，並根據該比較運算的結果，切換對應上述保管裝置的上述運用模式。
  8. 如申請專利範圍第5項至第7項中任一項記載的搬運系統，其中，上述控制器取得上述保管裝置的上述保管部或從可在與該保管部之間進行上述移載機構之上述被搬運物的移載的上述裝置埠回收處理後的上述被搬運物之上述搬運車的配車時間作為上述運轉狀況資訊，執行依據該配車時間與預先決定的臨界值的比較運算，並根據該比較運算的結果，切換對應上述保管裝置的上述運用模式。
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