TW201720773A - 低硼無鋇鹼土鋁矽酸鹽玻璃及其應用 - Google Patents

低硼無鋇鹼土鋁矽酸鹽玻璃及其應用 Download PDF

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Abstract

一種具有低含量的B2O3、高含量的Al2O3以及控制比例的（B2O3+CaO+MgO+SrO）/Al2O3的低硼、無鋇、鹼土鋁矽酸鹽玻璃組成物。此玻璃組成物可適合用於在具有高玻璃應變點溫度的基板上的低溫多晶矽薄膜電晶體。

Description

低硼無鋇鹼土鋁矽酸鹽玻璃及其應用
本揭露內容與低硼、無鋇的鹼土鋁矽酸鹽玻璃以及其應用有關。這些玻璃可在低溫多晶矽薄膜電晶體的處理中找到應用。
平板顯示器在現今的商業電子裝置中十分常見。下一代的手持電子裝置將把漸增迫切的需求放在它們的顯示器上。能夠符合這些需求的顯示器將能夠有廣泛變化的商業應用。因此，尤其在薄膜電晶體液晶顯示器（TFT-LCD）技術的蓬勃發展下，用以製造平板顯示器的玻璃特性變成一個重要的設計考量。例如，例如，TFT-LCD顯示器技術需要具有少於0.1wt％的鹼離子含量的高品質玻璃基板，以避免污染具有鹼金屬離子的半導體薄膜材料。而且，TFT-LCD需要從大約29×10-7 /ºC至大約40×10-7 /ºC的熱膨脹係數，以降低在半導體處理期間當一起加熱玻璃基板以及非晶矽材料時產生的熱應力。
三種最常用的TFT（薄膜電晶體）技術是a-Si TFT（非晶矽TFT或α-Si TFT）、低溫多晶矽TFT（低溫多晶矽TFT或「LTPS-TFT」）以及高溫多晶矽TFT（高溫多晶矽TFT或「HTPS-TFT」）。目前，a-Si TFT技術是最普遍且最成熟的。然而，研究已顯示，多晶矽具有極佳的電子移動性，提供TFT產品快速的反應時間、高亮度、高顯析度以及低能耗。具有這些優勢，將發展多晶矽用於改進AM-LCD（主動矩陣液晶顯示器）以及OLED（有機發光二極體）顯示器。
在LTPS-TFT處理期間，多晶矽薄膜必須在大約400ºC至大約625ºC的處理範圍中在熱處理期間形成在玻璃基板上。因此，在TFT處理中用以作為基板的玻璃必須禁得起至少625ºC的溫度，同時維持好的剛性。應變點溫度以及軟化點溫度是常用以決定玻璃基板是否適用於在所需溫度下處理的玻璃特性，而楊氏模數是與玻璃基板的勁度有關且可限制薄膜厚度的特性。
玻璃的應變點溫度定義了特定的玻璃如果其將沒有缺陷地在大氣條件中冷卻時可被加熱到的最高溫度。軟化點溫度定義了材料在達到某預定柔軟度之前可被加熱到的最高溫度。加熱到其應變點溫度或其軟化點溫度之上的玻璃將經歷熱應力的結構鬆弛，導致玻璃結構緻密化以及不可逆的收縮。
如同上面所提及的，楊氏模數是與例如玻璃之類的固體材料的勁度有關的另一特性。楊氏模數越大，材料越不可能變形。當確定薄膜組成物以及厚度時，常考慮到楊氏模數。
一般而言，基板的收縮及/或變形導致薄膜非均勻性以及裝置缺陷，例如像素點距變形以及偏差。因此，在TFT處理中用以作為基板的玻璃必須具有大於625ºC的應變點以及軟化點溫度。然而，具有較高玻璃應變點溫度或較大楊氏模數的玻璃組成物是有利的，且允許較大的處理範圍。
在本文中提出了一種鹼土鋁矽酸鹽玻璃。如下參照表3以及4所描述的來測量本文中所提出的示範性實施方式的物理特性。
根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有包括以下述氧化物基礎的莫耳百分比（莫耳％）的組成物： 從大約64.0％至大約77.0％的SiO2 ， 從大約8.0％至大約18.0％的Al2 O3 ， 從大約0.0％至大約6.0％的B2 O3 ， 從大約0.0％至大約7.0％的MgO， 從大約5.0％至大約14.0％的CaO， 從大約0.5％至大約9.0％的SrO， 從大約0.0％至大約0.5％的SnO2 ，以及 從大約75.0％至大約87.0％的SiO2 +Al2 O3 ， 其中2.5＞（B2 O3 +CaO+MgO+SrO）/（Al2 O3 ），以及 其中0.7＞（MgO）/（CaO+SrO）。
根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有包括以下述氧化物基礎的莫耳百分比（莫耳％）的組成物： 從大約66.0％至大約75.0％的SiO2 ， 從大約8.5％至大約16.0％的Al2 O3 ， 從大約1.5％至大約5.0％的B2 O3 ， 從大約0.5％至大約6.0％的MgO， 從大約6.0％至大約12.0％的CaO， 從大約1.8％至大約8.0％的SrO，以及 從大約0.0％至大約0.5％的SnO2 。
根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有包括以下述氧化物基礎的莫耳百分比（莫耳％）的組成物： 從大約68.0％至大約73.0％的SiO2 ， 從大約10.0％至大約14.0％的Al2 O3 ， 從大約1.5％至大約3.5％的B2 O3 ， 從大約1.0％至大約4.0％的MgO， 從大約8.0％至大約12.0％的CaO， 從大約1.8％至大約5.0％的SrO，以及 從大約0.0％至大約0.5％的SnO2 。
根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有包括以下述氧化物基礎的莫耳％的組成物： 從大約66.0％至大約75.0％的SiO2 ， 從大約8.0％至大約16.0％的Al2 O3 ， 從大約1.5％至大約5.0％的B2 O3 ， 從大約1.0％至大約4.0％的MgO， 從大約8.0％至大約14.0％的CaO， 從大約1.8％至大約9.0％的SrO，以及 從大約0.0％至大約0.5％的SnO2 。
根據幾個示範性實施方式，用於低溫多晶矽TFT的鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有包括以下述氧化物基礎的莫耳％的組成物： 從大約64.0％至大約77.0％的SiO2 ， 從大約10.0％至大約18.0％的Al2 O3 ， 從大約0.0％至大約5.0％的B2 O3 ， 從大約0.0％至大約7.0％的MgO， 從大約5.0％至大約14.0％的CaO， 從大約0.5％至大約9.0％的SrO， 從大約0.0％至大約0.5％的SnO2 ，以及 從大約75.0％至大約87.0％的SiO2 +Al2 O3 ，    其中2.1＞（B2 O3 +CaO+MgO+SrO）/（Al2 O3 ），以及    其中0.7＞（MgO）/（CaO+SrO）。
根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有包括以下述氧化物基礎的莫耳％的組成物： 從大約66.0％至大約75.0％的SiO2 ， 從大約8.5％至大約16.0％的Al2 O3 ， 從大約1.5％至大約5.0％的B2 O3 ， 從大約0.5％至大約4.0％的MgO， 從大約8.0％至大約12.0％的CaO， 從大約1.8％至大約8.0％的SrO， 從大約0.0％至大約0.5％的SnO2 ，以及 從大約78.0％至大約84.0％的SiO2 +Al2 O3 ， 其中2.1＞（B2 O3 +CaO+MgO+SrO）/（Al2 O3 ）＞1.2，以及 其中0.55＞（MgO）/（CaO+SrO），    其中玻璃組成物是藉由溢流下引法製備。
根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有下述特性： （a）大於或等於690°C的應變點溫度； （b）大於980°C的軟化點溫度； （c）在從大約50ºC至大約300ºC的溫度下從大約29×10-7 /ºC至大約40×10‑7 /ºC的熱膨脹係數（CTE）； （d）在從大約100ºC至大約1650ºC的溫度下316泊的黏性；以及 （e）從大約100ºC至大約1250°C的液相溫度。
根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有下述特性： （a）大於或等於710°C的應變點溫度； （b）大於或等於1000°C的軟化點溫度； （c）在從大約50ºC至大約300ºC的溫度下從大約31×10-7 /ºC至大約38×10‑7 /ºC的熱膨脹係數（CTE）； （d）在從大約100ºC至大約1640ºC的溫度下316泊的黏性；以及 （e）從大約100ºC至大約1220ºC的液相溫度。
根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有下述特徵： （a）BaO的含量是從大約0 ppm至大約2000 ppm； （b）玻璃的密度低於2.65 g/cm3 ；以及 （c）玻璃的楊氏模數大於或等於75 GPa。
根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有至少一個下述特徵： （a）玻璃沒有鋇； （b）玻璃的密度低於2.62 g/cm3 ；以及 （c）玻璃的楊氏模數大於或等於78 GPa。
當用以描述單一數字時，用語「大約」意指包括±5％的範圍。當應用至範圍時，除非下限是0，用語「大約」意指此範圍包括-5％的數值下限以及+5％的數值上限。例如，從大約100ºC至大約200ºC的範圍包括從95ºC至210ºC的範圍。然而，當用語「大約」修飾百分比時，則此用語意指±1％的數字或數值邊界，除非下界是0%。因此，5-10％的範圍包括4-11％。0-5％的範圍包括0-6％。
根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃意指具有「無鋇」或「沒有BaO」的組成物，其意指低於2000 ppm的BaO濃度。
根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃是「無鹼金屬玻璃」，意指具有包括低於1000 ppm濃度的鹼金屬氧化物組成物的玻璃。
用語「鹼土鋁矽酸鹽玻璃」意指含有至少一種鹼土金屬氧化物的鋁矽酸鹽玻璃，鹼土金屬包括Ba、Mg、Ca、Sr、Ra以及Be。
片語「氧化物基礎的莫耳百分比」或「氧化物基礎的莫耳％」意指相對於玻璃中總莫耳數的氧化物莫耳百分比。要了解的是，玻璃中莫耳百分比的總數永遠總計為且永不超過100％。
根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有包括SiO2 以及Al2 O3 作為玻璃形成物的組成物，其幾乎只以[SiO4 ]以及[AlO4 ]存在。SiO2 +Al2 O3 在玻璃組成物中的濃度大於75.0莫耳％，以在橫跨從大約50ºC至大約300ºC範圍的溫度提供高於高於690ºC的應變點溫度以及低於40×10-7 /ºC的熱膨脹係數。另一方面，SiO2 +Al2 O3 在玻璃組成物中的濃度低於87.0莫耳％，以避免產生像是氣泡以及條紋的永久瑕疵。根據幾個示範性實施方式，SiO2 +Al2 O3 在玻璃組成物中的濃度是從大約78.0莫耳％至大約84.0莫耳％。
根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有包括從大約64.0莫耳％至大約77.0莫耳％的SiO2 的組成物。如果在玻璃組成物中SiO2 的濃度低於64.0莫耳％，可能難以達到高應變點、低密度、好的機械強度以及好的化學抗性。然而，如果在玻璃組成物中SiO2 的濃度大於77.0莫耳％，則玻璃的熔化溫度增加，其可造成容易失玻化。根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有包括從大約66.0莫耳％至大約75.0莫耳％或從大約68.0莫耳％至大約73.0莫耳％的SiO2 濃度的組成物。
根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有包括從大約8.0莫耳％至大約18.0莫耳％的Al2 O3 的組成物。Al2 O3 大大地增加了玻璃的黏性，且如果在玻璃組成物中Al2 O3 的濃度低於8.0莫耳％，其難以達到具有大於690°C的應變點溫度的玻璃。然而，如果Al2 O3 的濃度大於18.0莫耳％，這可能會造成玻璃容易遭受失玻化以及較低的機械強度。此外，在大於18.0莫耳％的Al2 O3 濃度下，玻璃的黏性增加，使得熔化的玻璃變得非常難處理。根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有包括從大約8.0莫耳％至大約16.0莫耳％、從大約8.5莫耳％至大約16.0莫耳％、從大約10.0莫耳％至大約14.0莫耳％、或從大約10.0莫耳％至大約18.0莫耳％的A12 O3 濃度的組成物。
根據幾個示範性實施方式，B2 O3 作為玻璃形成物、並幾乎只以[BO3 ]以及[BO4 ]存在，其可增加玻璃結構可形成性、並降低玻璃的熱膨脹係數。同樣地，[BO4 ]作為玻璃網路形成物、並與[SiO4 ]一起形成玻璃網路結構。在同時，B2 O3 可降低玻璃黏性以及熔化溫度、加速玻璃澄清。然而，太多的B2 O3 可降低玻璃的應變點溫度。因此，根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有包括從大約0至大約6.0莫耳％的B2 O3 的組成物。如果在玻璃組成物中B2 O3 的濃度超過大約6.0莫耳％，則玻璃的應變點溫度大於690°C。同樣地，如果在玻璃組成物中B2 O3 的濃度超過大約6.0莫耳％，其將降低玻璃的化學耐久性。根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有包括從大約0莫耳％至大約5.0莫耳％、從大約1.5莫耳％至大約5.0莫耳％或從大約1.5莫耳％至大約3.5莫耳％的B2 O3 濃度的組成物。
根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有包括CaO、MgO以及SrO的組成物。這些氧化物可對玻璃澄清化有利，但也可摧毀玻璃結構、並降低玻璃熔化溫度。此外，這些氧化物可增加玻璃的熱膨脹係數並降低玻璃的應變點溫度，導致玻璃化學耐久性的惡化。因此，如果存在的話，這些氧化物的量是受限的，以降低玻璃的熱膨脹係數以及增加玻璃應變點溫度。
根據幾個示範性實施方式，在鹼土鋁矽酸鹽玻璃的組成物中CaO的高濃度可降低玻璃的液相溫度。然而，CaO是常用的玻璃組成物成分，因為相較於其他的金屬氧化物，它不昂貴且是立即商業可得的。根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有包括從大約5.0莫耳％至大約14.0莫耳％的CaO的組成物。如果在玻璃組成物中CaO的濃度超過14.0莫耳％，則熱膨脹係數將太高，導致玻璃失玻化。如果在玻璃組成物中CaO的濃度低於5.0莫耳％，則其難以增加玻璃的化學穩定性以及機械強度。根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有包括從大約6.0莫耳％至大約12.0莫耳％、從大約8.0莫耳％至大約14.0莫耳％，或從大約8.0莫耳％至大約12.0莫耳％的CaO濃度的組成物。
根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有包括從大約0莫耳％至大約7.0莫耳％的MgO的組成物。如果在玻璃組成物中的MgO濃度大於7.0莫耳％，玻璃密度特性將會降低，且將失去玻璃的失玻化特性。此外，多於7.0莫耳％的MgO濃度將降低玻璃的化學耐久性，並增加玻璃的液相溫度，其對於溢流下引處理是不利的。根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有包括從大約0.5莫耳％至大約6.0莫耳％、從大約0.5莫耳％至大約4.0莫耳％或從大約1.0莫耳％至大約4.0莫耳％的MgO濃度的組成物。
根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有包括可降低玻璃熔化溫度、玻璃失玻化以及玻璃的液相溫度的SrO的組成物。然而，當鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有包括太多SrO的組成物時，這可導致不想要的玻璃密度降低。考慮玻璃密度以及應變點溫度需求，在玻璃組成物中的SrO濃度是從大約0.5莫耳％至大約9.0莫耳％。如果SrO濃度在9.0莫耳％以上，則玻璃密度以及熱膨脹係數將會太高。根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃組成物包括從大約1.8莫耳％至大約9.0莫耳％、從大約1.8莫耳％至大約8.0莫耳％或從大約1.8莫耳％至大約5.0莫耳％的SrO濃度。
根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有包括B2 O3 +CaO+MgO+SrO比上Al2 O3 的濃度比低於大約2.5的組成物，以達到高應變點溫度。根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有包括從大約1.2至大約2.1的B2 O3 +CaO+MgO+SrO比上Al2 O3 的濃度比的組成物。
根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃具有包括MgO比上（CaO+SrO）的濃度比低於大約0.7的組成物，其將玻璃組成物的液相溫度降低至低於1250ºC。根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃組成物具有包括MgO比上（CaO+SrO）的濃度比低於大約0.55的組成物。
根據幾個示範性實施方式，鹼土鋁矽酸鹽玻璃組成物具有包括0至大約0.5莫耳％的SnO2 濃度的組成物，其作為精製劑。
根據幾個示範性實施方式，提供了一種方法用於製造鹼土鋁矽酸鹽玻璃。根據幾個示範性實施方式，此方法包括： 混合以及熔化成分以形成均質的玻璃熔化物； 使用下沉法、漂浮法或其組合來塑形玻璃；以及 退火玻璃。
根據幾個示範性實施方式，可使用傳統的下沉法來進行鹼土鋁矽酸鹽玻璃的製造，下沉法為本領域具一般技藝的人員所熟知，且習慣上包括直接或間接加熱的貴重金屬系統，其由均質化裝置、利用精製（精製劑）以降低氣泡含量的裝置、用於冷卻以及熱均質化的裝置、分配裝置以及其他裝置構成。漂浮法包括將熔化的玻璃漂浮在熔化金屬床上，典型為錫，導致出非常平坦且具有一致厚度的玻璃。
根據用於製造上述鹼土鋁矽酸鹽玻璃的方法的幾個示範性實施方式，玻璃組成物在大約1650°C被熔化達大約12小時。根據用於製造上述鹼土鋁矽酸鹽玻璃的方法的幾個示範性實施方式，玻璃組成物在大約1650°C被熔化達大約6小時。根據用於製造上述鹼土鋁矽酸鹽玻璃的方法的幾個示範性實施方式，玻璃組成物在大約1650°C被熔化達大約4小時。
根據用於製造上述鹼土鋁矽酸鹽玻璃的方法的幾個示範性實施方式，玻璃組成物在780°C的溫度下被退火大約2小時，然後以大約1.0°C/小時的速率冷卻直到玻璃達到690°C，之後允許玻璃組成物冷卻至室溫（或大約21°C）。
根據上述鹼土鋁矽酸鹽玻璃的幾個示範性實施方式，玻璃可用以作為a-Si TFT、LTPS-TFT以及HTPS-TFT的基板。根據上述鹼土鋁矽酸鹽玻璃的幾個示範性實施方式，玻璃可用以製造電視、電腦、感測器、行動電子裝置以及需要非晶矽的其他電子裝置。
下述範例為上述組成物以及方法的示例。範例：
測試樣本的製備
如下製備包括下面表1中所示的成分的鹼土鋁矽酸鹽玻璃組成物： 表1
在加至2公升的塑膠容器之前，將如表2中所示的批次材料稱重並混合。所使用的批次材料具有化學試劑等級品質。 表2
沙的顆粒大小在0.045以及0.25 mm之間。使用滾動機用於混合原始材料以製造出均質的批次以及用以瓦解軟凝塊。將混合的批次從塑膠容器轉移至800 ml的鉑-銠合金坩鍋中用於熔化玻璃。將鉑-銠合金坩鍋放置在氧化鋁支持物中，並裝載於在1000°C的溫度下操作、配備有MoSi加熱元件的高溫熔爐中。將熔爐的溫度逐漸地增加至1650°C，並將具有其支持物的鉑-銠合金坩鍋維持在此溫度達大約3-8小時。然後藉由將熔化的批次材料從鉑-銠合金坩鍋倒至不銹鋼板上以形成玻璃餅來形成玻璃樣本。當玻璃餅仍是熱的時候，將其轉移至退火裝置、並維持在780°C的溫度達2小時，然後以1°C/min的速度冷卻至690°C。在那之後，將樣本自然地冷卻至室溫（21°C）。
上面表1中所示的組成物的結果示於表3中，並被指定為「範例1」。以如上述用於指定為範例1的組成物類似的方式來製備示於表3以及4中，並被指定為「範例2」至「範例18」的其他組成物。 表3 表4 符號以及物理特性測量的定義
玻璃樣本的物理特性被測量並列於表3以及4中。表3以及4中使用的每個符號的定義示出於下：A. d ：密度（g/ml），其以阿基米德法（ASTM C-693）測量，環境溫度是22+/-0.5ºC；B. a ：熱膨脹係數（CTE），其是如藉由ASTM E-228膨脹計測量、從50ºC至300ºC的線性尺寸改變量；C. Tm ：如藉由ASTM C-965高溫圓筒黏度計測量、在316泊的黏性下的溫度；D. Tw ：由ASTM C-965高溫圓筒黏度計所測量、在104 泊的黏性下的玻璃工作溫度；E. Tliq ：在梯度溫度熔爐（ASTM C829-81）內、在船中觀察到第一個結晶的液相溫度。一般而言對於結晶化過程的此測試是24小時。F. Tsoft ：如藉由ASTM C-338纖維伸長法所測量、在107.6 泊的黏性下的玻璃軟化溫度；G. Ta ：如藉由ASTM C-336纖維伸長法所測量、在1013 泊的黏性下的玻璃退火溫度；H. Ts ：如藉由ASTM C-336纖維伸長法所測量、在1014.5 泊的黏性下的玻璃應變點溫度；I. E：藉由ASTM E1876共振法測量的楊氏模數（MPa）；J. G：藉由ASTM E1876共振法測量的剪切模數（MPa）；K. µ：藉由ASTM E1876共振法測量的帕松比。
雖然已就某些實施方式方面描述了本發明，本領域具一般技藝的技術人員將承認可在所附申請專利範圍的精神以及範圍內以修飾來實施本發明。
任何空間的提及，例如，「上」、「下」、「之上」、「之下」、「之間」、「底部」、「垂直」、「水平」、「角度」、「朝上」、「朝下」、「邊至邊」、「左至右」、「左」、「右」、「右至左」、「頂部至底部」、「底部至頂部」、「頂部」、「底部」、「由下往上」、「由上往下」，等等，僅為了示例的目的，且不限制上述結構的特定方向或位置。
已關於某些實施方式描述了本揭露內容。只在閱讀此揭露內容之後對於本領域具一般技藝的技術人員變得顯而易見的改進或修飾被視為在本申請案的精神以及範圍內。所了解的是，幾個修飾、改變以及取代意欲在前述揭露內容中，且在一些例子中，將使用本發明的一些特徵而不相應地使用其他特徵。因此，廣義地並以與本發明範圍一致的方式來理解所附的申請專利範圍是適當的。

Claims (10)

  1. 一種鹼土鋁矽酸鹽玻璃，其具有包括下述一氧化物基礎的莫耳％的一組成物： 從大約64.0％至大約77.0％的SiO2 ； 從大約8.0％至大約18.0％的Al2 O3 ； 從大約0.0％至大約6.0％的B2 O3 ； 從大約0.0％至大約7.0％的MgO； 從大約5.0％至大約14.0％的CaO； 從大約0.5％至大約9.0％的SrO； 從大約0.0％至大約0.5％的SnO2 ； 從大約75.0％至大約87.0％的SiO2 +Al2 O3 ； 其中2.5＞（B2 O3 +CaO+MgO+SrO）/（Al2 O3 ）；以及 其中0.7＞（MgO）/（CaO+SrO）。
  2. 如申請專利範圍第1項所述的鹼土鋁矽酸鹽玻璃，其中該玻璃具有包括下述一氧化物基礎的莫耳％的一組成物： 從大約66.0％至大約75.0％的SiO2 ； 從大約8.5％至大約16.0％的Al2 O3 ； 從大約1.5％至大約5.0％的B2 O3 ； 從大約0.5％至大約6.0％的MgO； 從大約6.0％至大約12.0％的CaO； 從大約1.8％至大約8.0％的SrO；以及 從大約0.0％至大約0.5％的SnO2 。
  3. 如申請專利範圍第1項所述的鹼土鋁矽酸鹽玻璃，其中該玻璃具有包括下述一氧化物基礎的莫耳％的一組成物： 從大約68.0％至大約73.0％的SiO2 ； 從大約10.0％至大約14.0％的Al2 O3 ； 從大約1.5％至大約3.5％的B2 O3 ； 從大約1.0％至大約4.0％的MgO； 從大約8.0％至大約12.0％的CaO； 從大約1.8％至大約5.0％的SrO；以及 從大約0.0％至大約0.5％的SnO2 。
  4. 如申請專利範圍第1項所述的鹼土鋁矽酸鹽玻璃，其中該玻璃具有包括下述一氧化物基礎的莫耳％的一組成物： 從大約66.0％至大約75.0％的SiO2 ； 從大約8.0％至大約16.0％的Al2 O3 ； 從大約1.5％至大約5.0％的B2 O3 ； 從大約1.0％至大約4.0％的MgO； 從大約8.0％至大約14.0％的CaO； 從大約1.8％至大約9.0％的SrO；以及 從大約0.0％至大約0.5％的SnO2 。
  5. 一種適合用於低溫多晶矽TFT的鹼土鋁矽酸鹽玻璃，其中該玻璃具有包括下述一氧化物基礎的莫耳％的一組成物： 從大約64.0％至大約77.0％的SiO2 ； 從大約10.0％至大約18.0％的Al2 O3 ； 從大約0.0％至大約5.0％的B2 O3 ； 從大約0.0％至大約7.0％的MgO； 從大約5.0％至大約14.0％的CaO； 從大約0.5％至大約9.0％的SrO； 從大約0.0％至大約0.5％的SnO2 ；以及 從大約75.0％至大約87.0％的SiO2 +Al2 O3 ； 其中2.1＞（B2 O3 +CaO+MgO+SrO）/（Al2 O3 ）； 其中0.7＞（MgO）/（CaO+SrO）；以及 其中該玻璃組成物包括低於大約1000 ppm的鹼金屬氧化物。
  6. 一種藉由一溢流下引法製備的鹼土鋁矽酸鹽玻璃，其具有包括下述一氧化物基礎的莫耳％的一組成物： 從大約66.0％至大約75.0％的SiO2 ； 從大約8.5％至大約16.0％的Al2 O3 ； 從大約1.5％至大約5.0％的B2 O3 ； 從大約0.5％至大約4.0％的MgO； 從大約8.0％至大約12.0％的CaO； 從大約1.8％至大約8.0％的SrO； 從大約0.0％至大約0.5％的SnO2 ； 從大約78.0％至大約84.0％的SiO2 +Al2 O3 ； 其中2.1＞（B2 O3 +CaO+MgO+SrO）/（Al2 O3 ）＞1.2；以及 其中0.55＞（MgO）/（CaO+SrO）。
  7. 如申請專利範圍第1項、第5項以及第6項所述的鹼土鋁矽酸鹽玻璃，其中該玻璃具有選自下述群組所組成的至少一個特性： （a）大於或等於690°C的一應變點溫度； （b）大於980°C的一軟化點溫度； （c）在從大約50ºC至大約300ºC的一溫度下、從大約29 х 10-7 /ºC至大約40 х 10-7 /ºC的一熱膨脹係數（CTE）； （d）從大約100ºC至大約1650°C、在316泊的一黏性；以及 （e）從大約100ºC至大約1250ºC的一液相溫度。
  8. 如申請專利範圍第7項所述的鹼土鋁矽酸鹽玻璃，其中該玻璃具有選自下述群組所組成的至少一個特性： （a）大於或等於710ºC的一應變點溫度； （b）大於或等於1000°C的一軟化點溫度； （c）在從大約50ºC至大約300ºC的一溫度下、從大約31 х 10-7 /ºC至大約38 х 10-7 /ºC的一熱膨脹係數（CTE）； （d）從大約100ºC至大約1640°C、在316泊的一黏性；以及 （e）從大約100ºC至大約1220ºC的一液相溫度。
  9. 如申請專利範圍第1項、第5項以及第6項所述的鹼土鋁矽酸鹽玻璃，其中： （a）該玻璃組成物包括從大約0 ppm至大約2000 ppm的BaO； （b）該玻璃具有低於2.65 g/cm3 的一密度；以及 （c）該玻璃具有大於或等於75 GPa的一楊氏模數。
  10. 如申請專利範圍第9項所述的鹼土鋁矽酸鹽玻璃，其中該玻璃具有選自下述群組所組成的至少一個特徵： （a）該玻璃沒有鋇； （b）該玻璃具有低於2.62 g/cm3 的一密度；以及 （c）該玻璃具有大於或等於78 GPa的一楊氏模數。
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