TW201531059A - 通訊裝置及通訊裝置之控制方法 - Google Patents

通訊裝置及通訊裝置之控制方法 Download PDF

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Abstract

通訊裝置(100)係具備有：通訊部(120)，其係透過網路進行通訊；IO埠(106、107、108、109)，其係用以與製造裝置相連接；封包監視部(104)，其係透過通訊部(120)來監視製造裝置透過網路進行通訊的封包資料；IO監視部(110)，其係監視IO埠(106、107、108、109)的狀態；及控制部(105)，其係將藉由封包監視部(104)及IO監視部(110)所被監視的監視資訊，透過通訊部(120)而傳送至用以搬運處理對象物的搬運裝置。

Description

通訊裝置及通訊裝置之控制方法
本發明係關於與製造裝置相連接的通訊裝置及通訊裝置之控制方法。
自以往以來，使用高架行走台車等搬運台車，俾以例如將收納有晶圓(wafer)的收納盒(FOUP：Front Opening Unified Pod(前開式晶圓收納盒)等)載置、及搬出至半導體製造裝置的載置埠(load port)。半導體製造裝置本體係藉由製造控制器(production controller)予以控制。另一方面，高架行走台車係藉由搬運控制器(conveyance controller)予以控制。此外，載置埠與高架行走台車之間係適用SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International，國際半導體設備材料產業協會)的E84通訊(參照例如專利文獻1、專利文獻2)。
在如上所示之系統(system)中，由製造控制器，對半導體製造裝置指示根據製造排程(production schedule)之對預定的收納盒(pod)的處理。此外，以對 應根據製造排程的處理的方式，以搬運控制器生成搬運排程，由搬運控制器對高架行走台車進行搬運指示。
〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕
〔專利文獻1〕日本特開2010-184760號公報
〔專利文獻2〕日本特開2011-018737號公報
但是，在如上所述之系統中，若由半導體製造裝置有變更製造排程的要求時，製造控制器係根據變更的要求來變更製造排程。接著，製造控制器係將該變更傳至搬運控制器。搬運控制器係根據製造排程的變更，以可進行收納盒的搬入的方式對高架行走台車發出指示。
亦即，搬運側的上位的控制器接受來自製造側的上位的控制器的指示來進行高架行走台車的控制。
如上所示，若在半導體製造裝置等有製造排程的變更時，暫時提高至上位的製造控制器，另外排程的變更由製造控制器被傳至搬運控制器，搬運指示由搬運控制器被發出至高架行走台車，因此耗費時間。因此，若高架行走台車已經開始行走時，會有無法效率佳地變更高架行走台車的搬運路徑的情形，會有搬運效率、甚至製造效率降低的問題。
因此，本發明係鑑於上述情形而研創者，目的在提供在包含高架行走台車等搬運台車的搬運裝置中，可效率佳地進行搬運路徑的變更的通訊裝置。
為達成上述目的，本發明之一態樣之通訊裝置係與製造裝置相連接的通訊裝置，其係具備有：通訊部，其係透過網路(network)進行通訊；至少一個IO埠(IO port)，其係用以與前述製造裝置相連接；封包監視部(packet monitor unit)，其係透過前述通訊部來監視前述製造裝置透過前述網路進行通訊的封包資料(packet data)；IO監視部，其係監視前述IO埠的狀態；及控制部，其係將藉由前述封包監視部及前述IO監視部所被監視的監視(monitoring)資訊，透過前述通訊部而傳送至用以將處理對象物搬運至前述製造裝置及/或用以由前述製造裝置搬運處理對象物的搬運裝置。
藉此，例如若在製造裝置發生錯誤(error)時等，在由上位的控制器接收製造排程的變更通知之前，搬運裝置可得知製造裝置的狀態，可視狀態，效率佳地變更搬運路徑。
此外，亦可前述通訊部係具有：第1通訊埠(communication port)，其係連接前述製造裝置；第2通訊埠，其係連接外部裝置；第3通訊埠，其係連接前述搬運裝置；及中繼部，其係在前述第1通訊埠與前述第2 通訊埠之間中繼封包資料，前述封包監視部係監視藉由前述中繼部所被中繼的前述製造裝置與前述外部裝置之間的封包資料。
藉此，通訊裝置係對例如作為製造控制器的外部裝置與製造裝置之間的例如LAN連接等網路連接，構成作為中繼裝置，因此不需要為了通訊裝置而舖設新的例如LAN電纜(LAN cable)等。
此外，亦可前述IO埠係與用以搬出入前述製造裝置的前述處理對象物的載置埠相連接，前述IO監視部係監視前述載置埠的狀態。
藉此，可監視用以搬出入處理對象物的載置埠的狀態。
此外，亦可前述控制部係另外將藉由前述封包監視部所被監視的監視資訊所包含之前述製造裝置用以識別前述載置埠的第1識別資訊，轉換成前述搬運裝置用以識別前述載置埠的第2識別資訊，將包含經轉換的前述第2識別資訊的監視資訊傳送至前述搬運裝置。
藉此，即使製造控制器中的載置埠的識別資訊、與搬運裝置中的載置埠的識別資訊不同，亦可在搬運裝置側正確地辨識所監視的資訊。
此外，亦可前述控制部係另外判定在藉由前述封包監視部所被監視的監視資訊是否包含預定的指令，若包含預定的指令時，將前述監視資訊傳送至前述搬運裝置。
藉此，例如前述搬運裝置可按照表示已被變更為手動模式(manual mode)等裝置的狀態已改變的指令(command)、及表示已發生錯誤的指令等預定的指令進行對應。
此外，亦可前述搬運裝置係具備有：將前述處理對象物搬運至前述製造裝置的搬運台車、及控制複數前述搬運台車的搬運控制器，前述控制部係將前述監視資訊傳送至前述搬運台車及前述搬運控制器的至少1個。
藉此，前述控制部係可將監視資訊傳送至搬運台車及搬運控制器的至少1個。
此外，亦可藉由前述搬運控制器，由前述複數搬運台車之中被分配將前述處理對象物搬運至前述製造裝置的搬運台車，用以識別經分配的搬運台車的第3識別資訊被傳送至前述製造裝置，前述控制部係將前述監視資訊傳送至以前述第3識別資訊所被識別的搬運台車。
藉此，若被通知被分配至搬運的搬運台車的例如台車編號等第3識別資訊時，亦可將監視資訊傳送至搬運台車，可更加迅速對應。
其中，該等涵括性或具體性態樣係可以系統、方法、積體電路、電腦程式(computer program)或電腦可讀取CD-ROM(Compact Disc Read Only Memory)等記錄媒體予以實現，亦可將系統、方法、積體電路、電腦程式、及記錄媒體的任意組合來實現。
藉由本發明，即使在例如製造排程有變更的情形下等，亦可在包含高架行走台車等搬運台車的搬運裝置中，效率佳地變更搬運路徑。
10‧‧‧製造系統
21、22、23‧‧‧製造裝置
24‧‧‧LAN
25‧‧‧製造控制器
31‧‧‧搬運控制器
32、33‧‧‧無線存取點
34‧‧‧高架行走台車(搬運台車)
35‧‧‧LAN
36‧‧‧軌道
37‧‧‧收納盒
41‧‧‧集線器
42‧‧‧集線器
100‧‧‧通訊裝置
101‧‧‧第1通訊埠
102‧‧‧第2通訊埠
103‧‧‧中繼部
104‧‧‧封包監視部
105‧‧‧控制部
106、107、108、109‧‧‧IO埠
110‧‧‧IO監視部
111‧‧‧第3通訊埠
112‧‧‧轉換表
120‧‧‧通訊部
LP1、LP2、LP3、LP4‧‧‧載置埠
圖1係顯示使用本發明之通訊裝置之製造系統(production system)之概要之一例的概略圖。
圖2係顯示使用實施形態中之通訊裝置之製造系統中之連接之一例圖。
圖3係顯示實施形態中之通訊裝置的功能構成的區塊圖(block diagram)。
圖4A係顯示實施形態中之通訊裝置的控制部所具有之轉換表(look-up table)之一例圖。
圖4B係顯示實施形態中之通訊裝置的控制部所具有之轉換表之一例圖。
圖5係顯示實施形態中之通訊裝置的動作流程的流程圖(flow chart)。
圖6係顯示使用實施形態之通訊裝置之製造系統中之連接之其他一例圖。
圖7係顯示實施形態中之通訊裝置的控制部所具有之轉換表之其他一例圖。
以下一邊參照圖示，一邊具體說明實施形態。
其中，以下說明的實施形態均為顯示涵括性或具體性之例者。以下實施形態中所示之數值、形狀、材料、構成要素、構成要素的配置位置及連接形態、工程、工程順序等均為一例，主旨並非為限定本發明。此外，在以下實施形態的構成要素之中，關於表示最上位概念的獨立請求項所未記載的構成要素，係被說明作為任意構成要素。
(實施形態)
圖1係顯示使用本發明之通訊裝置之製造系統之概要之一例的概略圖。
製造系統10係例如用以製造半導體等製品的系統，以製造系統而言，如圖1所示，具備有：製造裝置21、22、23、...、LAN(Local Area Network，區域網路)24、及製造控制器25。此外，以搬運系統而言，具備有：搬運控制器31、無線存取點(wireless access point)32、33、複數台高架行走台車(搬運台車)34、LAN35、及軌道(rail)36。其中，在半導體等製造系統中，一般而言具備有複數製造裝置，惟在圖1中為方便起見而圖示3台製造裝置。此外，高架行走台車(搬運台車)34一般係具備有複數台(例如數十~數百台)，但 在圖1中為方便起見而僅圖示1台。此外，LAN24及LAN35係可分別為獨立的LAN，亦可透過例如閘道(gateway)等而相連接。
製造裝置21、22、23係例如製造半導體等製品的製造裝置，具備有1個以上例如用以搬出入收納有晶圓等處理對象物的收納盒37的載置埠。在圖1所示之例中，製造裝置21係具備有4個載置埠。此外，製造裝置22、23係分別具備有2個載置埠。
LAN24係用以連接各製造裝置21、22、23及製造控制器25的網路。
製造控制器25係生成製造排程，根據所生成的製造排程，對透過LAN24而相連接的各製造裝置21、22、23，指示對預定收納盒37(實際上係被收納在收納盒的處理對象物)的處理。此外，製造控制器25係對搬運控制器31，要求進行處理的預定收納盒37的搬運。
搬運控制器31係藉由來自製造控制器25的要求，生成搬運排程。搬運控制器31係根據所生成的搬運排程，對各高架行走台車34，指示預定的收納盒37的搬運。
無線存取點32、33係與LAN35相連接，用以藉由無線LAN而與高架行走台車(搬運台車)34進行通訊的無線LAN存取點。
高架行走台車34係以被懸掛在軌道36的形式進行安裝，沿著軌道36行走，將收納盒37搬運至製造 裝置21、22、23等。此外，各高架行走台車34係具備有控制部、及通訊部(未圖示)，與搬運控制器31及各製造裝置21、22、23進行通訊，控制對製造裝置21、22、23的載置埠搬出入收納盒37。
LAN35係用以將各高架行走台車34、及搬運控制器31及各製造裝置21、22、23相連接的網路。
通訊裝置100係與製造系統(production system)、及搬運系統(conveyance system)相連接。
圖2係顯示使用本實施形態中之通訊裝置100的製造系統中之連接之一例圖。在此係顯示對具備有4個載置埠的製造裝置21連接有通訊裝置100之例。此外，與圖1同樣地，在圖面上，LAN24及LAN35雖未相連接，但是可為獨立的LAN，亦可透過例如閘道等而相連接。
通訊裝置100係透過集線器(HUB)41而與LAN24相連接。此外，通訊裝置100係透過集線器42而與LAN35相連接。通訊裝置100係透過LAN而與製造裝置21相連接。此外，通訊裝置100的各IO埠106~109係與製造裝置21的各載置埠(LP1、LP2、LP3、LP4)相連接。其中，在圖2中，通訊裝置100及製造控制器25係與相同的集線器41相連接，但是製造控制器25亦可直接或透過其他集線器而與LAN24相連接。此外，通訊裝置100及搬運控制器31係與相同的集線器42相連接，但是搬運控制器31亦可直接或透過其他集線器而與LAN35 相連接。
圖3係顯示本實施形態中之通訊裝置100的功能構成的區塊圖。
通訊裝置100係與製造裝置21、22、23相連接的裝置，如圖3所示，具備有：第1通訊埠101、第2通訊埠102、中繼部103、封包監視部104、控制部105、IO埠106、107、108、109、IO監視部110、及第3通訊埠111。此外，藉由第1通訊埠101、第2通訊埠102、第3通訊埠111、及中繼部103，構成通訊部120。
第1通訊埠101、第2通訊埠102、及第3通訊埠111係透過LAN來進行通訊的埠。
中繼部103係在第1通訊埠101與第2通訊埠102之間中繼封包資料。亦即，在與第1通訊埠101相連接的製造裝置21、及與第2通訊埠102相連接的製造控制器25之間中繼封包資料。
封包監視部104係監視藉由中繼部103所被中繼的第1通訊埠101與第2通訊埠102之間的封包資料。亦即，監視在與第1通訊埠101相連接的製造裝置21、及與第2通訊埠102相連接的製造控制器25之間被進行通訊的封包資料。
IO埠106、107、108、109係藉由例如有線的平行通訊線(parallel communication cable)而與製造裝置21的各載置埠(LP1、LP2、LP3、LP4)相連接，進行訊號輸出入的單側8位元(bit)、雙向為16位元的平行 埠(parallel port)。在此，所被輸出入的訊號係根據例如E84通訊協定(communication protocol)之有關收納盒37的搬出入的訊號。
IO監視部110係藉由監視在各IO埠106、107、108、109所被輸出入的訊號，來監視各IO埠106、107、108、109的狀態。在此，各IO埠106、107、108、109的狀態係指由各IO埠106、107、108、109所接收到的分別為例如8位元等資料的資料型樣(data pattern)。
控制部105係將藉由封包監視部104及IO監視部110所被監視的監視資訊，透過第3通訊埠111而傳送至搬運控制器31及高架行走台車34。此外，控制部105係將透過第3通訊埠111而由高架行走台車34所接收到的資料輸出至各IO埠106、107、108、109。藉此，可在製造裝置21的各載置埠(LP1、LP2、LP3、LP4)與高架行走台車34之間交換關於收納盒37的搬出入的訊號。
此外，控制部105係具有轉換表112，使用該轉換表112，將藉由封包監視部104所被監視的監視資訊所包含之製造裝置21用以識別載置埠的第1識別資訊，轉換成搬運控制器31及高架行走台車34用以識別載置埠的第2識別資訊。在此，第1識別資訊係製造裝置21用以識別載置埠的資訊，在製造裝置21內被單義界定的區域(local)性ID(例如1~4等埠編號)。此外，第2識別資訊係搬運控制器31及高架行走台車34用以識別載置 埠的資訊，在製造系統10內被單義界定的全域(grobal)性ID(全域ID)。
圖4A及圖4B係顯示控制部105所具有之轉換表112之一例圖。
轉換表112係如圖4A及圖4B所示，將與通訊裝置100相連接之製造裝置21的例如IP位址(Internet Protocol address)等裝置位址、載置埠的埠編號、載置埠的全域ID、及載置埠所被分配的高架行走台車34的台車編號產生對應來進行管理。
製造控制器25係使用製造裝置21的裝置位址及載置埠的埠編號，在製造系統10內識別載置埠。此外，搬運控制器31及高架行走台車34係如上所述使用全域ID來識別製造系統10內的載置埠。
接著，說明如上所述所構成的製造系統10及通訊裝置100的動作。
在製造系統10中，製造控制器25係生成製造排程，且根據所生成的製造排程，對透過LAN24而相連接的各製造裝置21、22、23，指示對預定的收納盒37的處理。此外，製造控制器25係對搬運控制器31要求進行處理的預定的收納盒37的搬運。
搬運控制器31係藉由來自製造控制器25的要求，生成搬運排程。搬運控制器31係根據所生成的搬運排程，對各高架行走台車34指示預定的收納盒37的搬運。亦即，將進行處理的預定的收納盒37的搬運，從複 數高架行走台車34之中分配1台高架行走台車34，對所分配的高架行走台車34指示對象的收納盒37的搬運。此時，搬運控制器31係將用以識別所分配的高架行走台車34的第3識別資訊，傳送至作為搬運目的端的製造裝置。在此，第3識別資訊係製造裝置用以識別高架行走台車34的資訊，在製造系統10內，單義界定高架行走台車34的台車編號。
若搬運對象的收納盒37的高架行走台車34到達進行處理的製造裝置(例如製造裝置21)時，在高架行走台車34與成為製造裝置21的對象的載置埠(例如LP1)之間，交換有關收納盒37的搬出入的訊號，且控制收納盒37的搬出入(移載)。具體而言，控制部105係將藉由IO監視部110所被監視的監視資訊，亦即各載置埠(LP1、LP2、LP3、LP4)的狀態傳送至高架行走台車34。此外，控制部105係將由高架行走台車34所接收到的資料輸出至各IO埠106、107、108、109。藉此，可在製造裝置21的各載置埠(LP1、LP2、LP3、LP4)與高架行走台車34之間，交換有關收納盒37的搬出入的訊號。
接著，若在製造裝置21的載置埠(LP1)被載置收納盒37時，被收納在收納盒37的處理對象物即在製造裝置21中被處理。
如上所示，在製造系統10中進行一連串處理，例如進行半導體等製品的製造。
但是，製造裝置21係若在各載置埠(LP1、 LP2、LP3、LP4)單位，例如被變更為手動模式的裝置的狀態改變時、或發生錯誤時等，係將預定的指令傳送至製造控制器25。藉此，製造控制器25係可知例如製造裝置21的哪一個載置埠變得無法使用等製造裝置21的各載置埠的狀態。接著，若例如製造裝置21的載置埠變得無法使用時，製造控制器25係進行製造排程的變更。
說明如上所示之情形下之通訊裝置100的動作。
圖5係顯示本實施形態中之通訊裝置100的動作流程的流程圖。
封包監視部104係監視在與第1通訊埠101相連接的製造裝置21及與第2通訊埠102相連接的製造控制器25之間所被通訊的封包資料(工程S101)。接著，封包監視部104係對控制部105通知所監視到的封包資料。
控制部105係將封包資料所包含之成為指令對象的載置埠的埠編號，使用轉換表112而轉換成在製造系統10內被單義界定的全域ID(工程S102)。例如，若使用圖4A所示之轉換表112時，控制部105係若埠編號為例如「2」，即轉換成「102」作為全域ID。在此，指令係指由製造裝置21被傳送至製造控制器25之例如表示已被變更為手動模式的裝置的狀態已改變的指令、表示已發生錯誤的指令、及表示對製造裝置的載置埠中的處理對象物的處理已完成的指令等。
接著，控制部105係判定是否已被通知被分配在對封包資料所包含之成為指令對象的載置埠的收納盒37的搬運的高架行走台車34的台車編號(工程S103)。在此，高架行走台車34的台車編號係如上所述，在搬運控制器31中被分配高架行走台車34，由搬運控制器31被傳送。例如，若在對全域ID為「102」的載置埠進行搬運，被通知台車編號為「511」的高架行走台車34，控制部105係如圖4B所示更新轉換表112。使用該轉換表112，控制部105係判定是否已被通知高架行走台車34的台車編號。
該判定的結果，若已被通知高架行走台車34的台車編號時(工程S103中為Yes)，控制部105係將藉由封包監視部104所被監視的監視資訊，傳送至以所被通知的台車編號所被界定的高架行走台車34、及搬運控制器31(工程S104)。具體而言，傳送封包資料所包含的指令、及成為指令對象的載置埠的全域ID。接受此，高架行走台車34係按照指令的內容，來變更對成為對象的載置埠的移動。例如，若為表示被變更為手動模式等裝置的狀態已改變的指令、及表示已發生錯誤的指令等表示變得無法使用載置埠的指令時，高架行走台車34係中止在成為對象的載置埠的收納盒的移載。此外，搬運控制器31係按照指令的內容及成為指令對象的載置埠，重新生成、變更搬運排程，例如，若在該行走台車34的進行路徑上有其他可移載的載置埠，即使其進行在該載置埠的收 納盒的移載。
另一方面，若未被通知高架行走台車34的台車編號時(工程S103中為No)，控制部105係將藉由封包監視部104所被監視的監視資訊傳送至搬運控制器31(工程S105)。接受此，搬運控制器31係按照監視資訊，亦即指令的內容及成為指令對象的載置埠，重新生成搬運排程。
接著，說明通訊裝置100與製造裝置之連接的其他例。
圖6係顯示使用本實施形態中之通訊裝置100之製造系統中之連接的其他一例圖。在此係顯示對具備有2個載置埠的製造裝置22、23連接通訊裝置100之例。圖7係顯示控制部105所具有之轉換表112之一例圖。
通訊裝置100係透過集線器41而與LAN24相連接。此外，通訊裝置100係透過集線器42而與LAN35相連接。通訊裝置100係透過LAN及集線器43而與製造裝置22、23相連接。此外，通訊裝置100的各IO埠106~109係與製造裝置22的各載置埠(LP1、LP2)、及製造裝置23的各載置埠(LP1、LP2)相連接。
如上所示被連接時，控制部105所具有的轉換表112係如圖7所示，將與通訊裝置100相連接的製造裝置22、23的裝置位址、載置埠的埠編號、載置埠的全域ID、及載置埠所分配的高架行走台車34的台車編號產 生對應來進行管理。在圖7之例中，製造裝置22的裝置位址為「IP2」、製造裝置23的裝置位址為「IP3」。
如以上所示，在本實施形態中，監視在製造裝置21(22、23、...)與製造控制器25之間所被通訊的封包資料，將所監視的監視資訊傳送至高架行走台車34及搬運控制器31的至少1個。藉此，在由製造控制器25接受製造排程的變更通知之前，可得知製造裝置的狀態，且可視狀態來變更搬運排程，因此可效率佳地進行搬運路徑的變更。此外，若被通知被分配在搬運的高架行走台車34的台車編號時，亦將監視資訊傳送至高架行走台車34，因此可更加迅速對應。
其中，在本實施形態中，控制部105係監視在製造裝置21與製造控制器25之間被進行通訊的封包資料，將全部監視資訊傳送至高架行走台車34及搬運控制器31、或搬運控制器31，但是並非侷限於此。例如，控制部105亦可判定在在製造裝置21與製造控制器25之間被進行通訊的封包資料是否包含有預定的指令，僅在包含預定的指令的情形下，將監視資訊傳送至高架行走台車34及搬運控制器31的至少1個。
在此，預定的指令係可形成為：表示由製造裝置21被傳送至製造控制器25之例如被變更為手動模式等裝置的狀態已改變的指令、及表示已發生錯誤的指令等表示變得無法使用載置埠的指令。此時，控制部105係藉由將監視資訊傳送至高架行走台車34及搬運控制器31的 至少1個，藉此，高架行走台車34可中止移載至成為對象的載置埠。此外，例如，亦可為表示對製造裝置的載置埠中的處理對象物的處理已完成的指令等。此時，控制部105係藉由將監視資訊傳送至搬運控制器31，可在例如對處理對象物的處理已完成的載置埠的附近，事前配置高架行走台車34。
此外，在本實施形態中，係使用高架行走車作為搬運台車，惟並非侷限於此，亦可為例如在地上行走的行走台車等。
此外，在本實施形態中，控制部105係使用轉換表112而將製造裝置的埠編號轉換成全域ID，惟並非侷限於此。例如，若製造控制器25中的載置埠的識別資訊、與搬運控制器31中的載置埠的識別資訊相同，即不需要轉換識別資訊。
以上根據實施形態，說明有關一個或複數態樣之通訊裝置，惟本發明並非限定於該實施形態者。只要未脫離本發明之主旨，對本實施形態施行所屬領域熟習該項技術者所思及的各種變形者、或將不同的實施形態中的構成要素組合所構建的形態亦包含在一個或複數態樣的範圍內。
〔產業上可利用性〕
本發明係可在包含高架行走台車等搬運台車的搬運裝置中效率佳地進行搬運路徑的變更，且可利用在 用以製造例如半導體等製品的製造系統。
100‧‧‧通訊裝置
101‧‧‧第1通訊埠
102‧‧‧第2通訊埠
103‧‧‧中繼部
104‧‧‧封包監視部
105‧‧‧控制部
106、107、108、109‧‧‧IO埠
110‧‧‧IO監視部
111‧‧‧第3通訊埠
120‧‧‧通訊部

Claims (8)

  1. 一種通訊裝置，其係與製造裝置相連接的通訊裝置，其係具備有：通訊部，其係透過網路進行通訊；至少一個IO埠，其係用以與前述製造裝置相連接；封包監視部，其係透過前述通訊部來監視前述製造裝置透過前述網路進行通訊的封包資料；IO監視部，其係監視前述IO埠的狀態；及控制部，其係將藉由前述封包監視部及前述IO監視部所被監視的監視資訊，透過前述通訊部而傳送至用以將處理對象物搬運至前述製造裝置及/或用以由前述製造裝置搬運處理對象物的搬運裝置。
  2. 如申請專利範圍第1項之通訊裝置，其中，前述通訊部係具有：第1通訊埠，其係連接前述製造裝置；第2通訊埠，其係連接外部裝置；第3通訊埠，其係連接前述搬運裝置；及中繼部，其係在前述第1通訊埠與前述第2通訊埠之間中繼封包資料，前述封包監視部係監視藉由前述中繼部所被中繼的前述製造裝置與前述外部裝置之間的封包資料。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項之通訊裝置，其中，前述IO埠係與用以搬出入前述製造裝置的前述處理 對象物的載置埠相連接，前述IO監視部係監視前述載置埠的狀態。
  4. 如申請專利範圍第3項之通訊裝置，其中，前述控制部係另外將藉由前述封包監視部所被監視的監視資訊所包含之前述製造裝置用以識別前述載置埠的第1識別資訊，轉換成前述搬運裝置用以識別前述載置埠的第2識別資訊，將包含經轉換的前述第2識別資訊的監視資訊傳送至前述搬運裝置。
  5. 如申請專利範圍第1項或第2項之通訊裝置，其中，前述控制部係另外判定在藉由前述封包監視部所被監視的監視資訊是否包含預定的指令，若包含預定的指令時，將前述監視資訊傳送至前述搬運裝置。
  6. 如申請專利範圍第1項或第2項之通訊裝置，其中，前述搬運裝置係具備有：將前述處理對象物搬運至前述製造裝置的搬運台車、及控制複數前述搬運台車的搬運控制器，前述控制部係將前述監視資訊傳送至前述搬運台車及前述搬運控制器的至少1個。
  7. 如申請專利範圍第6項之通訊裝置，其中，藉由前述搬運控制器，由前述複數搬運台車之中被分配將前述處理對象物搬運至前述製造裝置的搬運台車，用以識別經分配的搬運台車的第3識別資訊被傳送至前述製造裝置，前述控制部係將前述監視資訊傳送至以前述第3識別資訊所被識別的搬運台車。
  8. 一種通訊裝置之控制方法，其係具備有：透過網路來進行通訊的通訊部、及用以與製造裝置相連接的至少一個IO埠的通訊裝置之控制方法，其係包含：封包監視工程，其係透過前述通訊部來監視前述製造裝置透過前述網路進行通訊的封包資料；IO監視工程，其係監視前述IO埠的狀態；及控制工程，其係將在前述封包監視步驟及前述IO監視工程中所被監視的監視資訊，透過前述通訊部而傳送至用以將處理對象物搬運至前述製造裝置及/或用以由前述製造裝置搬運處理對象物的搬運裝置。
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