TW202017824A - 通訊方法、搬運系統及通訊元件 - Google Patents

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日商村田機械股份有限公司
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Abstract

本發明之通訊方法係搬運系統(1)的通訊方法，該搬運系統(1)具備：用以搬運搬運物的複數搬運台車(30)、及各個以一對一連接於載置搬運物的複數載置埠(20)的各個的複數通訊元件(10)，複數通訊元件(10)係預先可彼此進行通訊地相連接，通訊方法係包含：(a)特定的搬運台車(30)對複數通訊元件(10)傳送將特定的通訊元件(10)作為最終送訊目的端的第1訊號的步驟；及(b)特定的通訊元件(10)藉由透過其他通訊元件(10)的通訊路徑，由特定的搬運台車(30)接收第1訊號的步驟，第1訊號係為了特定的搬運台車(30)在與以一對一連接於特定的通訊元件(10)的特定的載置埠(20)之間移載搬運物所進行通訊的訊號。

Description

通訊方法、搬運系統及通訊元件
本發明係關於搬運系統的通訊方法、搬運系統及通訊元件。
已揭示一種具備：搬運半導體晶圓等的高架行走台車、及處理半導體晶圓等的半導體製造裝置的系統(參照例如專利文獻1、2)。高架行走台車係在被設在半導體製造裝置的載置埠的上方停止行走，且在與載置埠之間移載半導體晶圓等。在高架行走台車的停止位置的上方係設有與半導體製造裝置相連接的光通訊終端機。高架行走台車係若停止行走，與光通訊終端機執行用以移載半導體晶圓等的通訊(用以進行互鎖處理的通訊，所謂互鎖通訊)。藉此，例如，當由高架行走台車將半導體晶圓等移載至載置埠時，若特定的條件不成立，可不移至接下來的工程，可安全且確實地進行由高架行走台車對載置埠移載半導體晶圓等。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]國際公開第2011/155040號 [專利文獻2]日本專利第4471118號公報
(發明所欲解決之課題)
上述系統中的互鎖通訊係藉由光通訊來執行。在光通訊中，係必須在高架行走台車及光通訊終端機之間對合光軸。因此，有發生因光軸偏移所致之通訊不良的可能性。
因此，本發明人等係檢討利用Wi-Fi(註冊商標)等無線通訊來取代光通訊。具體而言，在半導體製造裝置設置通訊元件，高架行走台車藉由與通訊元件的無線通訊來執行互鎖通訊。藉由無線通訊，由於不需要對合光軸，因此解決因光軸偏移所致之通訊不良。
但是，在無線通訊中，有基於因周圍環境等所致之電波反射等而發生通訊障礙的可能性，必須將無線通訊冗餘化。
在本發明中，目的在提供可將搬運系統的互鎖通訊中的無線通訊冗餘化的通訊方法等。 (解決課題之手段)
為解決上述課題，本發明之一態樣之通訊方法係搬運系統的通訊方法，該搬運系統具備：用以搬運搬運物的複數搬運台車、及各個以一對一連接於載置前述搬運物的複數設備的各個的複數通訊元件，前述複數通訊元件係預先可彼此進行通訊地相連接，前述通訊方法係包含：(a)前述複數搬運台車之中的特定的搬運台車對前述複數通訊元件傳送將前述複數通訊元件之中的特定的通訊元件作為最終送訊目的端的第1訊號的步驟；及(b)前述特定的通訊元件藉由透過前述複數通訊元件之中的其他通訊元件的通訊路徑，由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號的步驟，前述第1訊號係為了前述特定的搬運台車在與以一對一連接於前述特定的通訊元件的特定的設備之間移載前述搬運物所進行通訊的訊號。
藉此，特定的通訊元件係即使因通訊障礙而無法由特定的搬運台車直接接收第1訊號，亦可藉由透過其他通訊元件的通訊路徑，間接接收第1訊號。因此，可將搬運系統的互鎖通訊中的無線通訊冗餘化。
此外，亦可前述複數通訊元件係彼此以有線纜線相連接。
藉此，可使複數通訊元件間的通訊比無線連接的情形更為穩定。
此外，亦可前述複數通訊元件係3台以上的通訊元件，前述第1訊號係包含特定供前述其他通訊元件的各個將前述第1訊號傳送至前述特定的通訊元件之用的時間的時間資訊，在前述(b)中，前述其他通訊元件的各個在藉由前述時間資訊所特定的時間，將前述第1訊號傳送至前述特定的通訊元件。
藉此，由於可抑制其他通訊元件的各個在相同的時序將第1訊號傳送至特定的通訊元件，因此可抑制碰撞發生。
此外，亦可在前述(b)中，前述其他通訊元件的各個將前述第1訊號傳送至前述特定的通訊元件，前述通訊方法係另外包含：(c)前述特定的通訊元件藉由透過前述其他通訊元件的通訊路徑，將對前述第1訊號的響應訊號亦即第2訊號傳送至前述特定的搬運台車的步驟。
藉此，特定的搬運台車係即使因通訊障礙而無法由特定的通訊元件直接接收第2訊號，亦可藉由透過其他通訊元件的通訊路徑，間接接收第2訊號。
此外，亦可前述複數通訊元件係3台以上的通訊元件，前述第1訊號係包含前述其他通訊元件的各個由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號時的電波強度，在前述(b)中，前述其他通訊元件的各個將包含前述電波強度的前述第1訊號傳送至前述特定的通訊元件，在前述(c)中，前述特定的通訊元件藉由透過由前述其他通訊元件之中的前述其他通訊元件的各個所被傳送出的前述第1訊號所包含的前述電波強度之中為最強的電波強度所對應的通訊元件的通訊路徑，將前述第2訊號傳送至前述特定的搬運台車。
藉此，在透過其他通訊元件的通訊路徑之中，由於藉由電波強度最強的通訊路徑傳送第2訊號，因此可提高特定的搬運台車與特定的通訊元件的通訊成功的可能性。
此外，本發明之一態樣之搬運系統係具備：用以搬運搬運物的複數搬運台車、及各個以一對一連接於載置前述搬運物的複數設備的各個的複數通訊元件，前述複數通訊元件係預先可彼此進行通訊地相連接，前述複數搬運台車之中的特定的搬運台車係對前述複數通訊元件傳送將前述複數通訊元件之中的特定的通訊元件作為最終送訊目的端的第1訊號，前述特定的通訊元件係藉由透過前述複數通訊元件之中的其他通訊元件的通訊路徑，由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號，前述第1訊號係為了前述特定的搬運台車在與以一對一連接於前述特定的通訊元件的特定的設備之間移載前述搬運物所進行通訊的訊號。
藉此，特定的通訊元件係即使因通訊障礙而無法由特定的搬運台車直接接收第1訊號，亦可藉由透過其他通訊元件的通訊路徑，間接接收第1訊號。因此，可將搬運系統的互鎖通訊中的無線通訊冗餘化。
此外，亦可前述複數通訊元件係彼此以有線纜線相連接。
藉此，可使複數通訊元件間的通訊比無線連接的情形更為穩定。
此外，亦可前述複數通訊元件係3台以上的通訊元件，前述第1訊號係包含特定供前述其他通訊元件的各個將前述第1訊號傳送至前述特定的通訊元件之用的時間的時間資訊，前述其他通訊元件的各個在藉由前述時間資訊所特定的時間，將前述第1訊號傳送至前述特定的通訊元件，藉此，前述特定的通訊元件係藉由透過前述其他通訊元件的通訊路徑，由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號。
藉此，由於可抑制其他通訊元件的各個在相同的時序將第1訊號傳送至特定的通訊元件，因此可抑制碰撞發生。
此外，亦可前述其他通訊元件的各個將前述第1訊號傳送至前述特定的通訊元件，藉此，前述特定的通訊元件係藉由透過前述其他通訊元件的通訊路徑，由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號，前述特定的通訊元件係藉由透過前述其他通訊元件的通訊路徑，將對前述第1訊號的響應訊號亦即第2訊號傳送至前述特定的搬運台車。
藉此，特定的搬運台車係即使因通訊障礙而無法由特定的通訊元件直接接收第2訊號，亦可藉由透過其他通訊元件的通訊路徑，間接接收第2訊號。
此外，亦可前述複數通訊元件係3台以上的元件，前述第1訊號係包含前述其他通訊元件的各個由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號時的電波強度，前述其他通訊元件的各個將包含前述電波強度的前述第1訊號傳送至前述特定的通訊元件，藉此，前述特定的通訊元件係藉由透過前述其他通訊元件的通訊路徑，由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號，前述特定的通訊元件係藉由透過由前述其他通訊元件之中的前述其他通訊元件的各個所被傳送出的前述第1訊號所包含的前述電波強度之中為最強的電波強度所對應的通訊元件的通訊路徑，將前述第2訊號傳送至前述特定的搬運台車。
藉此，在透過其他通訊元件的通訊路徑之中，由於藉由電波強度最強的通訊路徑傳送第2訊號，因此可提高特定的搬運台車與特定的通訊元件的通訊成功的可能性。
此外，本發明之一態樣之通訊元件係搬運系統中的通訊元件，該搬運系統具備：用以搬運搬運物的複數搬運台車、及各個以一對一連接於載置前述搬運物的複數設備的各個的複數通訊元件，前述複數通訊元件係預先可彼此進行通訊地相連接，前述通訊元件係當前述複數搬運台車之中的特定的搬運台車，對前述複數通訊元件傳送將前述複數通訊元件之中的前述通訊元件作為最終送訊目的端的第1訊號時，藉由透過前述複數通訊元件之中的其他通訊元件的通訊路徑，由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號，前述第1訊號係為了前述特定的搬運台車在與以一對一連接於前述通訊元件的特定的設備之間移載前述搬運物所進行通訊的訊號。
藉此，通訊元件係即使因通訊障礙而無法由特定的搬運台車直接接收第1訊號，亦可藉由透過其他通訊元件的通訊路徑，間接接收第1訊號。因此，可將搬運系統的互鎖通訊中的無線通訊冗餘化。
此外，亦可前述複數通訊元件係彼此以有線纜線相連接。
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此外，亦可前述複數通訊元件係3台以上的通訊元件，前述第1訊號係包含特定供前述其他通訊元件的各個將前述第1訊號傳送至前述通訊元件之用的時間的時間資訊，前述其他通訊元件的各個在藉由前述時間資訊所特定的時間，將前述第1訊號傳送至前述通訊元件，藉此，前述通訊元件係藉由透過前述其他通訊元件的通訊路徑，由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號。
藉此，由於可抑制其他通訊元件的各個在相同的時序將第1訊號傳送至通訊元件，因此可抑制碰撞發生。
此外，亦可前述其他通訊元件的各個將前述第1訊號傳送至前述通訊元件，藉此，前述通訊元件係藉由透過前述其他通訊元件的通訊路徑，由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號，前述通訊元件係藉由透過前述其他通訊元件的通訊路徑，將對前述第1訊號的響應訊號亦即第2訊號傳送至前述特定的搬運台車。
藉此，特定的搬運台車係即使因通訊障礙而無法由通訊元件直接接收第2訊號，亦可藉由透過其他通訊元件的通訊路徑，間接接收第2訊號。
此外，亦可前述複數通訊元件係3台以上的元件，前述第1訊號係包含前述其他通訊元件的各個由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號時的電波強度，前述其他通訊元件的各個將包含前述電波強度的前述第1訊號傳送至前述通訊元件，藉此，前述通訊元件係藉由透過前述其他通訊元件的通訊路徑，由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號，前述通訊元件係藉由透過由前述其他通訊元件之中的前述其他通訊元件的各個所被傳送出的前述第1訊號所包含的前述電波強度之中為最強的電波強度所對應的通訊元件的通訊路徑，將前述第2訊號傳送至前述特定的搬運台車。
藉此，在透過其他通訊元件的通訊路徑之中，由於藉由電波強度最強的通訊路徑傳送第2訊號，因此可提高特定的搬運台車與通訊元件的通訊成功的可能性。
此外，亦可前述通訊元件係當前述複數搬運台車之中的特定的搬運台車，對前述複數通訊元件傳送將前述複數通訊元件之中不同於前述通訊元件的特定的通訊元件作為最終送訊目的端的前述第1訊號時，將由前述特定的搬運台車所接收到的前述第1訊號傳送至前述特定的通訊元件。
藉此，通訊元件係若由特定的搬運台車接收到非給自身的第1訊號時，將該第1訊號傳送(轉送)至特定的通訊元件。亦即，特定的通訊元件係即使因通訊障礙而無法由特定的搬運台車直接接收第1訊號，亦可藉由透過通訊元件的通訊路徑，間接接收第1訊號。因此，可將搬運系統的互鎖通訊中的無線通訊冗餘化。
此外，本發明之一態樣之通訊方法係搬運系統的通訊方法，該搬運系統具備：用以搬運搬運物的複數搬運台車、及各個以一對一連接於載置前述搬運物的複數設備的各個的複數通訊元件，前述通訊方法係包含：(d)前述複數搬運台車之中的特定的搬運台車對前述複數通訊元件與前述複數搬運台車之中的其他搬運台車的至少任一者傳送將前述複數通訊元件之中的特定的通訊元件作為最終送訊目的端的第1訊號的步驟；及(e)前述特定的通訊元件藉由透過前述複數通訊元件之中的其他通訊元件的通訊路徑及透過前述其他搬運台車的通訊路徑之中的至少任一者，接收前述第1訊號的步驟，前述第1訊號係為了前述特定的搬運台車在與以一對一連接於前述特定的通訊元件的特定的設備之間移載前述搬運物所進行通訊的訊號。
藉此，特定的搬運台車係即使因通訊障礙而無法由特定的通訊元件直接接收第1訊號，亦可藉由透過其他通訊元件的通訊路徑及透過其他搬運台車的通訊路徑之中的至少任一者，間接接收第1訊號。因此，可將搬運系統的互鎖通訊中的無線通訊冗餘化。 (發明之效果)
藉由本發明之通訊方法等，可將搬運系統的互鎖通訊中的無線通訊冗餘化。
以下一邊參照圖示，一邊具體說明實施形態。
以下說明的實施形態均為顯示本發明之較佳一具體例者。以下實施形態所示之數值、形狀、材料、構成要素、構成要素的配置位置及連接形態、步驟、步驟的順序等係一例，並非為限定本發明的主旨。此外，在以下實施形態中的構成要素之中，關於表示本發明之最上位概念的獨立請求項所未記載的構成要素，係作為構成更佳形態的任意構成要素予以說明。其中，對相同構成要素係標註相同符號，且有省略說明的情形。
(實施形態1) 以下使用圖1至圖6，說明實施形態1。
圖1係顯示實施形態1之搬運系統1的概要的外觀圖。其中，圖1係模式圖，各構成的實際尺寸並非侷限於圖1所示者。
搬運系統1係用以移載搬運物的系統，具備：用以搬運搬運物的複數搬運台車；各個以一對一連接於載置搬運物的複數設備的各個的複數通訊元件；及供複數搬運台車行走之用的行走路線2。其中，在圖1中係顯示複數搬運台車之中的1個搬運台車30。此外，在圖1中亦顯示半導體製造裝置50。在本實施形態中，半導體製造裝置50並非為搬運系統1的構成要素，但是亦可包含為搬運系統1的構成要素。
在本實施形態中，設備係載置埠。在圖1中係顯示複數通訊元件10a～10d及複數載置埠20a～20d。通訊元件10a與載置埠20a係一對一連接，通訊元件10b與載置埠20b係一對一連接，通訊元件10c與載置埠20c係一對一連接，通訊元件10d與載置埠20d係一對一連接。其中，以下將複數通訊元件的各個亦稱為通訊元件10，將複數載置埠的各個亦稱為載置埠20。在本實施形態中，複數通訊元件10係3台以上的通訊元件10。
圖1所示之半導體製造裝置50係將半導體晶圓加工的裝置，具備用以搬入及搬出儲存有半導體晶圓的FOUP(Front Opening Unified Pod，前開式晶圓傳送盒)100的FOUP搬入搬出口51。其中，FOUP100係相當於藉由搬運系統1所被搬運的搬運物。
載置埠20係載置作為搬運物的FOUP100之埠，被配置在半導體製造裝置50的FOUP搬入搬出口51附近，在與半導體製造裝置50之間收授FOUP100。此外，載置埠20係在與搬運台車30之間移載FOUP100。例如，載置埠20係透過有線纜線，在與通訊元件10之間傳送接收訊號。在此，對1個半導體製造裝置50，例如設有4個載置埠20，各載置埠20係與1個通訊元件10一對一連接。因此，1個半導體製造裝置50與複數(在此為4個)通訊元件10透過複數(在此為4個)載置埠20而相連接。
搬運台車30係在與載置埠20之間移載FOUP100，且沿著行走路線2進行搬運的台車，在內部具備把持FOUP100的把持部31。把持部31係例如設為可昇降，當在與載置埠20之間移載FOUP100時，被降下至載置埠20附近。其中，把持部31亦可設為可朝水平方向移動。
通訊元件10係仲介為了移載載置埠20與搬運台車30之間的搬運物所進行通訊的訊號，具體而言為有關互鎖處理的訊號(第1訊號、及作為對第1訊號的響應訊號的第2訊號)的傳送接收的通訊裝置。第1訊號及第2訊號係例如封包。互鎖處理係指若特定的條件不成立，即無法進行其他動作的處理。藉由在搬運系統1中進行互鎖處理，當由搬運台車30將FOUP100移載至載置埠20時，若特定的條件不成立，可不移至接下來的工程。特定的條件係指例如特定的搬運台車30對欲進行FOUP100的移載的特定的載置埠20傳送包含使其確認是否處於現在可進行移載的狀態的指示(互鎖處理的執行指令)的第1訊號，且由特定的載置埠20接收到包含表示處於現在可進行移載的狀態的響應(對互鎖處理的執行指令的響應)的第2訊號等條件。藉此，可安全且確實地進行由特定的搬運台車30對特定的載置埠20移載FOUP100。通訊元件10係仲介搬運台車30與載置埠20之間的第1訊號及第2訊號的交換。例如通訊元件10係透過有線纜線，在與載置埠20之間傳送接收有關互鎖處理的第1訊號及第2訊號。其中，通訊元件10與載置埠20亦可以無線進行該訊號的傳送接收。例如，通訊元件10係設置在半導體製造裝置50的地板側。
此外，通訊元件10係在與搬運台車30之間，以無線傳送接收有關互鎖處理的第1訊號及第2訊號。其中，通訊元件10與搬運台車30的通訊亦可透過存取點等而間接地進行，亦可不透過存取點等而直接地進行。
此外，複數通訊元件10a～10d係預先可彼此進行通訊地相連接，在複數通訊元件10a～10d間，傳送接收有關互鎖處理的第1訊號及第2訊號。例如，複數通訊元件10a～10d係彼此以有線纜線相連接。例如，複數通訊元件10a～10d間係藉由有線LAN(Local Area Network，區域網路)、RS232C或USB(Universal Serial Bus，通用串列匯流排)等而相連接。藉此，可使複數通訊元件10a～10d間的通訊，與無線連接的情形相比更為穩定。其中，複數通訊元件10a～10d亦可彼此以無線相連接。
接著，說明本實施形態之搬運系統1及半導體製造裝置50的功能構成。
圖2係顯示實施形態1之搬運系統1及半導體製造裝置50的功能構成的區塊圖。
首先，說明圖2所示之搬運台車30的功能構成。如圖2所示，搬運台車30在功能上係包含：台車控制部32、及台車通訊部33。
台車通訊部33係透過網路而與通訊元件10進行通訊的通訊介面。台車控制部32係將為了在與以一對一連接於通訊元件10的設備(載置埠20)之間移載搬運物所進行通訊的訊號，藉由台車通訊部33而傳送至通訊元件10。具體而言，台車控制部32係將包含用以在載置埠20與搬運台車30之間移載搬運物的互鎖處理的執行指令的第1訊號，藉由台車通訊部33而傳送至通訊元件10。台車通訊部33係對複數通訊元件10a～10d，例如藉由廣播而傳送第1訊號。其中，台車通訊部33亦可對複數通訊元件10a～10d的各個，藉由單播而傳送第1訊號。此外，台車控制部32係藉由台車通訊部33接收上述處理的執行結果，亦即作為對第1訊號的響應訊號的第2訊號。
台車控制部32係控制台車通訊部33，並且藉由透過台車通訊部33而與外部(通訊元件)進行通訊來控制搬運台車30的處理部。具體而言，台車控制部32係將第1訊號傳送至台車通訊部33，接著，由台車通訊部33接收第2訊號(亦即，確認特定的載置埠20是否處於現在可進行移載的狀態)，來控制搬運台車30的動作。
接著，說明圖2所示之載置埠20的功能構成。如圖2所示，載置埠20在功能上係包含：埠控制部22、及介面21。
埠控制部22係由介面21接收第1訊號，來確認載置埠20是否處於現在可進行移載的狀態。此外，埠控制部22係將表示載置埠20是否處於現在可進行移載的狀態的第2訊號傳送至介面21。
介面21係輸出入訊號的輸出入部，包含例如用以連接平行纜線所具備的連接器(Dsub-25pin等)的插座。例如，介面21係具有根據SEMI E84規格的構成。介面21所輸出入的訊號係適於例如Centronics、IEEE1284通訊規格等方式者。
接著，說明圖2所示之通訊元件10的功能構成。如圖2所示，通訊元件10在功能上係包含：介面11、第1通訊部12、控制部13、及第2通訊部14。
介面11係在與載置埠20之間進行通訊的介面，例如，包含單向8bit(雙向合計16bit)的IO埠，連接平行纜線。介面11的通訊規格係使用與介面21相同者。例如，若著重在通訊元件10a，通訊元件10a的介面11與載置埠20a的介面21相連接，通訊元件10a係仲介搬運台車30與載置埠20a之間的第1訊號及第2訊號的交換。關於通訊元件10b～10d亦同。如上所示，複數通訊元件10a～10d係分別以一對一連接於複數載置埠20a～20d的各個。
第1通訊部12係透過網路而與搬運台車30進行通訊的通訊介面。第1通訊部12係包含天線及無線訊號的收送訊電路等。第1通訊部12係例如透過無線通訊(例如依據IEEE802.11a、b、g、n的無線LAN)的無線網路，由搬運台車30接收第1訊號，對搬運台車傳送第2訊號。例如，第1通訊部12係具有根據SEMI E84規格的構成。
第2通訊部14係與其他通訊元件10進行通訊的通訊介面。第2通訊部14與其他通訊元件10的第2通訊部14預先連接，藉此，複數通訊元件10a～10d係預先可彼此進行通訊地相連接。此外，例如，如上所述，複數通訊元件10a～10d係彼此以有線纜線相連接，第2通訊部14係包含連接該有線纜線的連接器及訊號的收送訊電路等。例如，圖2所示之通訊元件10係通訊元件10a，通訊元件10a的第2通訊部14係連接在通訊元件10b的第2通訊部14。第2通訊部14係在與其他通訊元件10的第2通訊部14之間傳送接收第1訊號及第2訊號。例如，將由其他通訊元件10之中的一通訊元件10(通訊元件10b等)所接收到的第1訊號及第2訊號轉送至其他通訊元件10之中的其他通訊元件10(通訊元件10c等)。例如，第2通訊部14係具有根據SEMI E84規格的構成。
控制部13係控制介面11、第1通訊部12、及第2通訊部14的處理部。控制部13係進行用以執行用以在載置埠20與搬運台車30之間移載FOUP100的互鎖處理的處理。
在第1訊號係包含有表示來自特定的搬運台車30的互鎖處理的執行指令的最終送訊目的端亦即特定的通訊元件10的收訊端(例如MAC(Media Access Control，媒體存取控制)位址或邏輯位址等位址資訊)。控制部13係確認第1通訊部12由特定的搬運台車30所接收到的第1訊號所包含的收訊端是否為給自身。此外，控制部13係測定第1通訊部12由特定的搬運台車30接收第1訊號時的電波強度(例如RSSI(Received Signal Strength Indication(接收訊號強度指示)))。此外，控制部13係將第2通訊部14由其他通訊元件10所接收到的第1訊號所包含的電波強度作比較。
其中，控制部13亦可藉由處理器執行預定的程式來實現，亦可藉由專用的硬體來實現。
接著，使用圖3及圖4說明因藉由無線通訊進行有關互鎖處理的訊號所發生的問題及其解決方法。
圖3係顯示實施形態1之搬運系統之適用例的圖。其中，圖3係模式圖，各構成的實際尺寸並非侷限於圖3所示者。
在半導體製造工廠等係例如設置複數半導體製造裝置50。例如，在圖3中係顯示半導體製造裝置50a～50c。圖3所示之半導體製造裝置50a對應圖1所示之半導體製造裝置50。此外，顯示搬運台車30a及30b作為複數搬運台車30。半導體製造裝置50a係與載置埠20a～20d的各個進行FOUP100的收授，半導體製造裝置50b係與載置埠20e～20h的各個進行FOUP100的收授，半導體製造裝置50c係與載置埠20i～20m的各個進行FOUP100的收授。複數通訊元件10a～10m的各個以一對一連接於載置埠20a～20m的各個。
在半導體製造工廠等中，若藉由無線通訊進行有關互鎖處理的訊號，有發生基於因周圍環境等所致之電波的反射、來自包含複數半導體製造裝置50的各種裝置的電波的放射、及因電波疊合所致之通訊死點的發生等而發生通訊障礙的可能性，必須將互鎖通訊中的無線通訊冗餘化。因此，在本發明中，以該冗餘化之一手段例而言，將複數通訊元件10以群組單位預先可彼此進行通訊地相連接。例如，如圖3所示，複數通訊元件10a～10d預先可彼此進行通訊地相連接而構成群組A，且複數通訊元件10e～10h預先可彼此進行通訊地相連接而構成群組B，且複數通訊元件10i～10m預先可彼此進行通訊地相連接而構成群組C。如上所示，藉由將複數通訊元件10群組化，可將互鎖通訊中的無線通訊冗餘化。關於此，使用圖4，一邊顯示搬運系統1的全體處理的具體例，一邊說明之。
圖4係顯示實施形態1之搬運系統1的通訊方法的第1例的序列圖。在此，將進行互鎖處理的特定的搬運台車30設為搬運台車30a。此外，將特定的搬運台車30a進行FOUP100的移載的載置埠20設為載置埠20d。亦即，第1訊號所包含的收訊端亦即特定的通訊元件10係成為與載置埠20d一對一連接的通訊元件10d。以下係將複數通訊元件10a～10d之中除了特定的通訊元件10d之外的通訊元件10亦稱為其他通訊元件10a～10c。
首先，複數搬運台車30之中的特定的搬運台車30a對複數通訊元件10a～10d傳送將複數通訊元件10a～10d之中的特定的通訊元件10d作為最終送訊目的端的第1訊號(步驟S11)。在此，特定的搬運台車30a係藉由廣播，將第1訊號傳送至複數通訊元件10a～10d。如圖4所示，其他通訊元件10a～10c係可由特定的搬運台車30a接收第1訊號，但是作為最終送訊目的端的通訊元件10d因通訊障礙而無法由特定的搬運台車30a接收第1訊號。
其中，複數通訊元件10e～10m亦可接收由特定的搬運台車30a藉由廣播等所被傳送出的第1訊號，但是複數通訊元件10e～10m係確認第1訊號所包含的收訊端(通訊元件10d)為非屬於自身所屬的群組B或C的通訊元件10，而將所接收到的第1訊號廢除(忽略)。
接著，接收到第1訊號的其他通訊元件10a～10c的各控制部13係確認第1通訊部12由特定的搬運台車30a所接收到的第1訊號所包含的收訊端是否為給自身(步驟S12a、步驟S12b、步驟S12c)。在此，該收訊端係通訊元件10d，因此各控制部13係確認該收訊端並非為給自身，而是給通訊元件10d。藉此，複數搬運台車30之中的特定的搬運台車30a對複數通訊元件10a～10d傳送出將與複數通訊元件10a～10d之中的其他通訊元件10a～10c為不同的特定的通訊元件10d作為最終送訊目的端的第1訊號時，其他通訊元件10a～10c係在後述之步驟S14中，分別藉由透過其他通訊元件10a～10c的通訊路徑，將由特定的搬運台車30a所接收到的第1訊號傳送至特定的通訊元件10d。
此外，其他通訊元件10a～10c的各控制部13係確認第1通訊部12由特定的搬運台車30a接收第1訊號時的電波強度(步驟S13a、步驟S13b、步驟S13c)。例如，通訊元件10a係當接收第1訊號時作為電波強度R1進行測定，通訊元件10b係當接收第1訊號時作為電波強度R2進行測定，通訊元件10c係當接收第1訊號時作為電波強度R3進行測定。接著，其他通訊元件10a～10c的各控制部13係以將所測定到的電波強度包含在第1訊號的方式，處理第1通訊部12所接收到的第1訊號。藉此，其他通訊元件10a～10c的各個在後述之步驟S14中所傳送的第1訊號係包含該收訊時的電波強度。
接著，通訊元件10a係朝向屬於自身所屬之群組A的最終送訊目的端亦即通訊元件10d，傳送包含電波強度R1的第1訊號。相同地，通訊元件10b係朝向通訊元件10d，傳送包含電波強度R2的第1訊號。相同地，通訊元件10c係朝向通訊元件10d傳送包含電波強度R3的第1訊號。
其中，特定的搬運台車30a朝向複數通訊元件10a～10d所傳送的第1訊號係除了作為最終送訊目的端的特定的通訊元件10d的位址資訊之外，包含特定當屬於與特定的通訊元件10d相同的群組A的其他通訊元件10a～10c的各個接收到第1訊號時用以將第1訊號傳送至特定的通訊元件10d的時間的時間資訊。
例如，在搬運系統1中，各搬運台車30及各通訊元件10的系統時脈係同步。例如，特定的搬運台車30a朝向複數通訊元件10a～10d所傳送的第1訊號係包含表示由現在時刻起為幾秒後，將第1訊號傳送至特定的通訊元件10d的資訊，作為時間資訊。具體而言，該第1訊號係包含：通訊元件10a係由現在時刻起為1.0ms後、通訊元件10b係由現在時刻起為1.5ms後、通訊元件10c係由現在時刻起為2.0ms後，使第1訊號傳送至特定的通訊元件10d等指令。
藉此，可抑制其他通訊元件10a～10c的各個在相同時序將第1訊號傳送至特定的通訊元件10d，因此可抑制碰撞發生。
如上所示，其他通訊元件10a～10c的各個將第1訊號傳送至特定的通訊元件10d，藉此，具體而言，在藉由上述時間資訊所被特定的時間，將第1訊號傳送至特定的通訊元件10d，藉此，特定的通訊元件10d係由其他通訊元件10a～10c的各個接收第1訊號。亦即，特定的通訊元件10d係藉由透過其他通訊元件10a～10c的通訊路徑，由特定的搬運台車30a接收第1訊號(步驟S14)。透過其他通訊元件10a～10c的通訊路徑係指由特定的搬運台車30a與其他通訊元件10a～10c進行通訊的路徑、及其他通訊元件10a～10c與特定的通訊元件10d進行通訊的路徑所成的通訊路徑。亦即，透過其他通訊元件10a～10c的通訊路徑並非為特定的通訊元件10d未透過其他通訊元件10a～10c而直接與特定的搬運台車30a進行通訊的路徑。
藉此，特定的通訊元件10d即使因通訊障礙而無法由特定的搬運台車30a直接接收第1訊號，亦可藉由透過其他通訊元件10a～10c的通訊路徑，間接接收第1訊號。因此，可將搬運系統1的互鎖通訊中的無線通訊冗餘化。
特定的通訊元件10d係將第1訊號傳送至一對一連接的特定的載置埠20d。接收到第1訊號的載置埠20d係確認載置埠20d是否處於現在可進行移載的狀態。接著，載置埠20d係對特定的通訊元件10d回覆表示載置埠20d是否處於現在可進行移載的狀態的第2訊號。
在互鎖處理中，由於必須對特定的搬運台車30a回覆對互鎖處理的執行指令(亦即第1訊號)的響應(亦即第2訊號)，因此特定的通訊元件10d係朝向特定的搬運台車30a傳送對由載置埠20d所接收到的第1訊號的響應訊號亦即第2訊號。此時，特定的通訊元件10d的控制部13係將由其他通訊元件10a～10c分別被傳送出的第1訊號所包含的電波強度R1～R3作比較。例如，特定的通訊元件10d的控制部13係判定電波強度R1～R3之中電波強度R2為最強。
特定的通訊元件10d係藉由其他通訊元件10a～10c之中透過由其他通訊元件10a～10c的各個被傳送出的第1訊號所包含的電波強度R1～R3之中最強的電波強度R2所對應的通訊元件10b的通訊路徑，將第2訊號傳送至特定的搬運台車30a。亦即，特定的通訊元件10d係對通訊元件10b傳送第2訊號(步驟S16)，通訊元件10b係將由特定的通訊元件10d被傳送出的第2訊號傳送至特定的搬運台車30a(步驟S17)。
藉此，在透過其他通訊元件10a～10c的通訊路徑之中，藉由電波強度最強的通訊路徑被傳送第2訊號，因此可提高特定的搬運台車30a與特定的通訊元件10d的通訊成功的可能性。
在搬運系統1的通訊方法的第1例中，係說明特定的通訊元件10d無法由特定的搬運台車30a直接接收第1訊號時的搬運系統1的通訊方法。以下使用圖5，說明在步驟S11中，特定的通訊元件10d可由特定的搬運台車30a接收到第1訊號的情形。
圖5係顯示實施形態1之搬運系統1的通訊方法的第2例的序列圖。第2例係在步驟S11中特定的通訊元件10d可由特定的搬運台車30a接收第1訊號、及伴隨此的特定的通訊元件10d的動作與第1例不同。因此，關於相同內容，係適當省略說明，且以不同之處為中心來進行說明。
特定的通訊元件10d的控制部13係與其他通訊元件10a～10c相同地，確認第1通訊部12由特定的搬運台車30所接收到的第1訊號所包含的收訊端是否為給自身(步驟S12d)。在此，該收訊端係通訊元件10d，因此特定的通訊元件10d的控制部13係確認該收訊端為給自身。
此外，特定的通訊元件10d的控制部13係與其他通訊元件10a～10c相同地，確認第1通訊部12由特定的搬運台車30a接收第1訊號時的電波強度(步驟S13d)。例如，特定的通訊元件10d係在接收第1訊號時作為電波強度R4來進行測定。
在此，特定的通訊元件10d的控制部13係判定所測定到的電波強度R4是否為特定的通訊元件10d與特定的搬運台車30a進行通訊時不會發生通訊障礙的程度的預定的電波強度臨限值以上。
例如，若電波強度R4未達預定的電波強度臨限值，若特定的通訊元件10d與特定的搬運台車30a進行直接通訊，有因通訊障礙而第1訊號及第2訊號的傳送接收失敗之虞。因此，特定的通訊元件10d的控制部13係若電波強度R4為未達預定的電波強度臨限值，以預定時間等待由其他通訊元件10a～10c轉送來第1訊號。預定時間亦可為例如根據第1訊號所包含的時間資訊所決定的時間，亦可預先決定。之後係與第1例相同地進行處理。例如，若電波強度R1～R4之中電波強度R4為最強，特定的通訊元件10d係藉由未透過其他通訊元件10a～10c的通訊路徑，亦即，由特定的通訊元件10d直接將第2訊號傳送至特定的搬運台車30a(步驟S18)。
例如，若電波強度R4為預定的電波強度臨限值以上，即使特定的通訊元件10d與特定的搬運台車30a進行直接通訊，因通訊障礙而第1訊號及第2訊號的傳送接收失敗的可能性亦低。因此，特定的通訊元件10d的控制部13係若電波強度R4為預定的電波強度臨限值以上，未等待由其他通訊元件10a～10c轉送來第1訊號。亦即，亦可不進行在圖5所示之步驟S14及步驟S15的處理。之後，特定的通訊元件10d係由特定的通訊元件10d直接將第2訊號傳送至特定的搬運台車30a(步驟S18)。
其中，在使用圖4及圖5所說明的搬運系統1的通訊方法中，特定的通訊元件10d係藉由透過屬於相同群組A的其他通訊元件10a～10c的通訊路徑，由特定的搬運台車30a接收到第1訊號，但是亦可透過與透過其他通訊元件10a～10c的通訊路徑不同的其他通訊路徑來接收第1訊號。關於此，使用圖3及圖6說明之。
圖6係顯示實施形態1之搬運系統1的通訊方法的第3例的序列圖。在此，將進行互鎖處理的特定的搬運台車30設為搬運台車30a。此外，特定的搬運台車30a將進行FOUP100的移載的載置埠20設為圖3所示之載置埠20m。亦即，第1訊號所包含的收訊端亦即特定的通訊元件10係成為與載置埠20m一對一連接的通訊元件10m。以下係將圖3所示之複數通訊元件10i～10m之中除了特定的通訊元件10m之外的通訊元件10亦稱為其他通訊元件10i～10k。此外，將複數搬運台車30之中除了特定的搬運台車30a之外的搬運台車30亦稱為其他搬運台車30b。例如，其他搬運台車30b係設為在與特定的通訊元件10m的通訊中，位於比特定的搬運台車30a更不易發生通訊障礙的位置。複數搬運台車30係預先可彼此進行通訊地相連接。例如，在此，搬運台車30a及30b設為屬於1個群組。
在第3例中，台車控制部32係具有將包含互鎖處理的執行指令的第1訊號，藉由台車通訊部33而傳送至其他搬運台車30b的功能。此外，台車控制部32係具有若藉由台車通訊部33接收到由特定的搬運台車30a所被傳送出的第1訊號時，將該第1訊號傳送至特定的通訊元件10m的功能。在第1訊號係如上所述，包含有最終送訊目的端的位址資訊，因此其他搬運台車30b係可將第1訊號傳送至特定的通訊元件10。
首先，複數搬運台車30之中的特定的搬運台車30a係對複數通訊元件10i～10m與其他搬運台車30b之中的至少任一者傳送將複數通訊元件10i～10m之中的特定的通訊元件10m作為最終送訊目的端的第1訊號(步驟S21)。在此，特定的搬運台車30a係藉由廣播，對複數通訊元件10i～10m與其他搬運台車30b之雙方傳送第1訊號。例如，其他通訊元件10i的第1通訊部12係可由特定的搬運台車30a接收第1訊號。但是，作為最終送訊目的端的通訊元件10m係因通訊障礙而無法由特定的搬運台車30a接收第1訊號。此外，其他搬運台車30b係可由特定的搬運台車30a接收第1訊號。
接著，接收到第1訊號的其他搬運台車30b的台車控制部32係確認台車通訊部33由特定的搬運台車30a所接收到的第1訊號所包含的收訊端(步驟S22a)，其他通訊元件10i的控制部13係確認第1通訊部12由特定的搬運台車30a所接收到的第1訊號所包含的收訊端是否為給自身(步驟S22b)。在此，由於該收訊端為通訊元件10m，因此台車控制部32係確認該收訊端為給通訊元件10m，控制部13係確認該收訊端非為給自身，而是給通訊元件10m。藉此，其他搬運台車30b及其他通訊元件10i係在後述之步驟S24中，藉由分別透過其他搬運台車30b及其他通訊元件10i的通訊路徑，將由特定的搬運台車30a所接收到的第1訊號傳送至特定的通訊元件10m。
此外，其他搬運台車30b的台車控制部32係確認台車通訊部33由特定的搬運台車30a接收第1訊號時的電波強度(步驟S23a)，其他通訊元件10i的控制部13係確認第1通訊部12由特定的搬運台車30a接收第1訊號時的電波強度(步驟S23b)。例如，其他搬運台車30b係當接收第1訊號時作為電波強度R5進行測定，其他通訊元件10i係當接收第1訊號時作為電波強度R6進行測定。接著，其他搬運台車30b的台車控制部32係以在第1訊號包含所測定到的電波強度R5的方式，處理台車通訊部33所接收到的第1訊號。此外，其他通訊元件10i的控制部13係以在第1訊號包含所測定到的電波強度R6的方式，處理第1通訊部12所接收到的第1訊號。藉此，其他搬運台車30b及其他通訊元件10i的各個在後述之步驟S24中所傳送的第1訊號係包含該收訊時的電波強度。
接著，其他搬運台車30b係朝向作為最終送訊目的端的通訊元件10m，傳送包含電波強度R5的第1訊號。此外，通訊元件10i係朝向屬於自身所屬之群組C的最終送訊目的端亦即通訊元件10m，傳送包含電波強度R6的第1訊號。
其中，與圖4中所說明的第1例相同地，特定的搬運台車30a朝向複數通訊元件10i～10m及其他搬運台車30b所傳送的第1訊號係除了作為最終送訊目的端的特定的通訊元件10m的位址資訊之外，亦可包含特定當屬於與特定的通訊元件10m為相同群組C的其他通訊元件10i～10k及屬於與特定的搬運台車30a為相同群組的其他搬運台車30b的各個接收到第1訊號時用以將第1訊號傳送至特定的通訊元件10m的時間的時間資訊。
藉此，由於可抑制其他通訊元件10i～10k及其他搬運台車30b的各個在相同時序將第1訊號傳送至特定的通訊元件10m，因此可抑制碰撞發生。
如上所示，其他通訊元件10i及其他搬運台車30b的各個將第1訊號傳送至特定的通訊元件10m，藉此，特定的通訊元件10m係由其他通訊元件10i及其他搬運台車30b的各個接收第1訊號。亦即，特定的通訊元件10m係藉由透過其他通訊元件30i的通訊路徑、與透過其他搬運台車30b的通訊路徑之中的至少任一者(在此為雙方)，接收第1訊號(步驟S24)。透過其他搬運台車30b的通訊路徑係指由特定的搬運台車30a與其他搬運台車30b進行通訊的路徑、及其他搬運台車30b與特定的通訊元件10m進行通訊的路徑所成的通訊路徑，與特定的通訊元件10m與特定的搬運台車30a直接進行通訊的路徑為其他路徑。
藉此，特定的通訊元件10m即使因通訊障礙而無法由特定的搬運台車30a直接接收第1訊號，亦可藉由透過其他通訊元件10i的通訊路徑及透過其他搬運台車30b的通訊路徑之中的至少任一者，間接接收第1訊號。因此，可將搬運系統1的互鎖通訊中的無線通訊冗餘化。
特定的通訊元件10m係對一對一連接的特定的載置埠20m傳送第1訊號。接收到第1訊號的載置埠20m係確認載置埠20m是否處於現在可進行移載的狀態。接著，載置埠20m係對特定的通訊元件10m回覆表示載置埠20m是否處於現在可進行移載的狀態的第2訊號。
特定的通訊元件10m係朝向特定的搬運台車30a傳送對由載置埠20m所接收到的第1訊號的響應訊號亦即第2訊號。此時，特定的通訊元件10m的控制部13係將由其他通訊元件10i及其他搬運台車30b分別被傳送出的第1訊號所包含的電波強度R5及R6進行比較(步驟S25)。接著，例如，特定的通訊元件10m的控制部13係判定電波強度R5及R6之中電波強度R5為最強。
特定的通訊元件10m係藉由透過電波強度R5及R6之中最強的電波強度R5所對應的其他搬運台車30b的通訊路徑，將第2訊號傳送至特定的搬運台車30a。亦即，特定的通訊元件10m係將第2訊號傳送至其他搬運台車30b(步驟S26)，其他搬運台車30b係將由特定的通訊元件10m被傳送出的第2訊號傳送至特定的搬運台車30a(步驟S27)。
藉此，在透過其他通訊元件10i及其他搬運台車30b的通訊路徑之中，藉由電波強度最強的通訊路徑傳送第2訊號，因此可提高特定的搬運台車30a與特定的通訊元件10m的通訊成功的可能性。
(實施形態2) 說明本發明之實施形態2。在本實施形態中，具備2個通訊元件10，作為預先可彼此進行通訊地相連接的複數通訊元件。如上所示，複數通訊元件亦可非為如實施形態1中所作說明般為3個以上，亦可如本實施形態所示為2個。此時，1個通訊元件10成為特定的通訊元件10，剩餘的其他通訊元件10係成為1個。因此，其他通訊元件10將第1訊號傳送至特定的通訊元件10時無發生碰撞之虞，因此第1訊號亦可未包含時間資訊。此外，若其他通訊元件10為1個，由於亦無法進行在2個以上的其他通訊元件10間的電波強度比較，因此第1訊號亦可未包含電波強度。
(其他實施形態) 以上根據實施形態，說明本發明之通訊方法、搬運系統1及通訊元件10，惟本發明並非為限定於上述實施形態者。只要未脫離本發明之要旨，在本實施形態施行該領域熟習該項技術者所想到的各種變形者、及將不同的實施形態中的構成要素組合所建構的形態亦包含在本發明之範圍內。
例如，在上述實施形態中，通訊元件10係設置在半導體製造裝置50的地板側，但是亦可設置在頂棚側。此時，在半導體製造工廠等中設在頂棚側的行走路線2行走的搬運台車30與通訊元件10的通訊中，搬運台車30與通訊元件10的距離變近，來自周圍環境等的影響減少，因此可加強電波強度。但是，藉由本發明，即使通訊元件10與搬運台車30之間的電波強度弱(亦即，即使為可能發生通訊障礙的狀態下)，亦可將搬運系統1的互鎖通訊中的無線通訊冗餘化。因此，藉由本發明，可在通訊元件10的設置位置未設制約，因此可提高設置的自由度，而且，有關通訊障礙的問題亦可解決。
此外，例如，在上述實施形態中，如圖1及圖3所示，通訊元件10係設置在載置埠20的近傍，但是若與載置埠20一對一連接，亦可不設置在近傍。
此外，例如，在上述實施形態中，一對一連接於通訊元件10的設備為載置埠20，但是並非侷限於此。例如，設備亦可為半導體製造裝置50。亦即，複數通訊元件10的各個亦可與複數半導體製造裝置50的各個一對一連接，一台通訊元件10擔任複數載置埠20。此時，在第1訊號，係不僅作為最終送訊目的端的特定的通訊元件10的位址資訊，亦包含特定的半導體製造裝置50中的複數載置埠20之中進行移載的載置埠20的位址資訊等。
此外，例如，設備亦可為將複數半導體製造裝置50的集合作為1個單位的半導體製造裝置50群。亦即，複數通訊元件10的各個亦可與複數半導體製造裝置50群的各個一對一連接，一台通訊元件10擔任複數半導體製造裝置50。此時，在第1訊號，係不僅作為最終送訊目的端的特定的通訊元件10的位址資訊，亦包含特定的半導體製造裝置50群中設有進行移載的載置埠20的半導體製造裝置50的位址資訊、及該載置埠20的位址資訊等。
此外，例如，設備亦可為將複數載置埠20的集合作為1個單位的載置埠20群。亦即，複數通訊元件10的各個亦可與複數載置埠20群的各個一對一連接。換言之，1個通訊元件10亦可與複數載置埠20的集合一對一連接。
此外，例如，設備亦可非為關於半導體製造的載置埠20或半導體製造裝置50等。例如，設備亦可為與半導體製造無關者，亦可為置放台等。
此外，例如，在上述實施形態中，第1訊號係包含特定供其他通訊元件10的各個將第1訊號傳送至特定的通訊元件10之用的時間的時間資訊，但是亦可未包含。
此外，例如，在上述實施形態中，第1訊號係包含其他通訊元件10的各個由特定的搬運台車30接收第1訊號時的電波強度，但是亦可未包含。此時，例如，特定的通訊元件10亦可藉由透過將第1訊號傳送至特定的通訊元件10的其他通訊元件10的各個的通訊路徑，將第2訊號傳送至特定的搬運台車30。亦即，特定的通訊元件10亦可無關於電波強度，藉由與特定的搬運台車30直接通訊成功的全部通訊元件10的各個的通訊路徑，將第2訊號傳送至特定的搬運台車30。此時，第2訊號亦可包含特定供其他通訊元件10的各個將第2訊號傳送至特定的搬運台車30之用的時間的時間資訊，其他通訊元件10的各個在藉由該時間資訊所被特定的時間，將第2訊號傳送至特定的搬運台車30。藉此，可抑制其他通訊元件10的各個在相同時序將第2訊號傳送至特定的搬運台車30，因此可抑制碰撞發生。
此外，例如，在上述實施形態中的第3例中，特定的搬運台車30係將第1訊號傳送至複數通訊元件10及其他搬運台車30之雙方，但是亦可未送訊至複數通訊元件10，而僅送訊至其他搬運台車30。
此外，例如，在上述實施形態中的第3例中，其他搬運台車30係僅為1個搬運台車30b，但是亦可為複數。此時，接收到第1訊號的複數其他搬運台車30的台車控制部32係確認台車通訊部33由特定的搬運台車30a所接收到的第1訊號所包含的收訊端，複數其他搬運台車30的台車控制部32係確認台車通訊部33由特定的搬運台車30a接收第1訊號時的電波強度，特定的通訊元件10m係藉由透過其他通訊元件30i的通訊路徑與透過複數其他搬運台車30的通訊路徑之中的至少任一者來接收第1訊號。
此外，例如，搬運系統1的通訊方法中的步驟亦可藉由電腦(電腦系統)來執行。接著，本發明係可將該等方法所包含的步驟，作為用以使電腦執行的程式來實現。此外，本發明係可作為記錄有該程式的CD-ROM等亦即非暫時性電腦可讀取記錄媒體來實現。
例如，若本發明以程式(軟體)來實現，利用電腦的CPU、記憶體及輸出入電路等硬體資源來執行程式，藉此執行各步驟。亦即，CPU由記憶體或輸出入電路等取得資料來進行運算、或將運算結果輸出至記憶體或輸出入電路等，藉此執行各步驟。
此外，上述實施形態之搬運系統1所包含的複數構成要素亦可分別作為專用或通用的電路來實現。該等構成要素亦可作為1個電路來實現，亦可作為複數電路來實現。
此外，上述實施形態之搬運系統1所包含的複數構成要素亦可作為屬於積體電路(IC：Integrated Circuit)的LSI(Large Scale Integration，大型積體電路)來實現。該等構成要素亦可個別被1晶片化，亦可以包含一部分或全部的方式而被1晶片化。LSI係依積體度的不同，有被稱為系統LSI、超級(super)LSI、或特大(ultra)LSI的情形。
此外，積體電路並非侷限於LSI，亦可以專用電路或通用處理器來實現。如上所述，亦可利用可程式的FPGA、或LSI內部的電路單元的連接及設定可再構成的可重組態處理器。
此外，若藉由半導體技術的進步或衍生的其他技術而置換成LSI的積體電路化的技術登場，當然亦可使用該技術，進行搬運系統1所包含的各構成要素的積體電路化。
其他對實施形態施行該領域熟習該項技術者所思及的各種變形而得的形態、或藉由在未脫離本發明之主旨的範圍內任意組合各實施形態中的構成要素及功能所實現的形態亦包含在本發明中。 [產業上可利用性]
本發明係可利用在藉由無線通訊進行互鎖處理的搬運系統等。
1:搬運系統 2:行走路線 10、10a～10m:通訊元件 11、21:介面 12:第1通訊部 13:控制部 14:第2通訊部 20、20a～20m:載置埠(設備) 22:埠控制部 30、30a、30b:搬運台車 31:把持部 32:台車控制部 33:台車通訊部 50、50a～50c:半導體製造裝置 51:FOUP搬入搬出口 100:FOUP
圖1係顯示實施形態1之搬運系統的概要的外觀圖。 圖2係顯示實施形態1之搬運系統及半導體製造裝置的功能構成的區塊圖。 圖3係顯示實施形態1之搬運系統的適用例的圖。 圖4係顯示實施形態1之搬運系統的通訊方法的第1例的序列圖。 圖5係顯示實施形態1之搬運系統的通訊方法的第2例的序列圖。 圖6係顯示實施形態1之搬運系統的通訊方法的第3例的序列圖。
1:搬運系統
2:行走路線
10a~10d:通訊元件
20a~20d:載置埠(設備)
30:搬運台車
31:把持部
50:半導體製造裝置
51:FOUP搬入搬出口
100:FOUP

Claims (17)

  1. 一種通訊方法，其係搬運系統的通訊方法，該搬運系統具備：用以搬運搬運物的複數搬運台車、及各個以一對一連接於載置前述搬運物的複數設備的各個的複數通訊元件， 前述複數通訊元件係預先可彼此進行通訊地相連接， 前述通訊方法係包含： (a)前述複數搬運台車之中的特定的搬運台車對前述複數通訊元件傳送將前述複數通訊元件之中的特定的通訊元件作為最終送訊目的端的第1訊號的步驟；及 (b)前述特定的通訊元件藉由透過前述複數通訊元件之中的其他通訊元件的通訊路徑，由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號的步驟， 前述第1訊號係為了前述特定的搬運台車在與以一對一連接於前述特定的通訊元件的特定的設備之間移載前述搬運物所進行通訊的訊號。
  2. 如申請專利範圍第1項之通訊方法，其中，前述複數通訊元件係彼此以有線纜線相連接。
  3. 如申請專利範圍第1項或第2項之通訊方法，其中，前述複數通訊元件係3台以上的通訊元件， 前述第1訊號係包含特定供前述其他通訊元件的各個將前述第1訊號傳送至前述特定的通訊元件之用的時間的時間資訊， 在前述(b)中，前述其他通訊元件的各個在藉由前述時間資訊所特定的時間，將前述第1訊號傳送至前述特定的通訊元件。
  4. 如申請專利範圍第1項或第2項之通訊方法，其中，在前述(b)中，前述其他通訊元件的各個將前述第1訊號傳送至前述特定的通訊元件， 前述通訊方法係另外包含：(c)前述特定的通訊元件藉由透過前述其他通訊元件的通訊路徑，將對前述第1訊號的響應訊號亦即第2訊號傳送至前述特定的搬運台車的步驟。
  5. 如申請專利範圍第4項之通訊方法，其中，前述複數通訊元件係3台以上的通訊元件， 前述第1訊號係包含前述其他通訊元件的各個由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號時的電波強度， 在前述(b)中，前述其他通訊元件的各個將包含前述電波強度的前述第1訊號傳送至前述特定的通訊元件， 在前述(c)中，前述特定的通訊元件藉由透過由前述其他通訊元件之中的前述其他通訊元件的各個所被傳送出的前述第1訊號所包含的前述電波強度之中為最強的電波強度所對應的通訊元件的通訊路徑，將前述第2訊號傳送至前述特定的搬運台車。
  6. 一種搬運系統，其係具備：用以搬運搬運物的複數搬運台車、及各個以一對一連接於載置前述搬運物的複數設備的各個的複數通訊元件， 前述複數通訊元件係預先可彼此進行通訊地相連接， 前述複數搬運台車之中的特定的搬運台車係對前述複數通訊元件傳送將前述複數通訊元件之中的特定的通訊元件作為最終送訊目的端的第1訊號， 前述特定的通訊元件係藉由透過前述複數通訊元件之中的其他通訊元件的通訊路徑，由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號， 前述第1訊號係為了前述特定的搬運台車在與以一對一連接於前述特定的通訊元件的特定的設備之間移載前述搬運物所進行通訊的訊號。
  7. 如申請專利範圍第6項之搬運系統，其中，前述複數通訊元件係彼此以有線纜線相連接。
  8. 如申請專利範圍第6項或第7項之搬運系統，其中，前述複數通訊元件係3台以上的通訊元件， 前述第1訊號係包含特定供前述其他通訊元件的各個將前述第1訊號傳送至前述特定的通訊元件之用的時間的時間資訊， 前述其他通訊元件的各個在藉由前述時間資訊所特定的時間，將前述第1訊號傳送至前述特定的通訊元件，藉此，前述特定的通訊元件係藉由透過前述其他通訊元件的通訊路徑，由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號。
  9. 如申請專利範圍第6項或第7項之搬運系統，其中，前述其他通訊元件的各個將前述第1訊號傳送至前述特定的通訊元件，藉此，前述特定的通訊元件係藉由透過前述其他通訊元件的通訊路徑，由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號， 前述特定的通訊元件係藉由透過前述其他通訊元件的通訊路徑，將對前述第1訊號的響應訊號亦即第2訊號傳送至前述特定的搬運台車。
  10. 如申請專利範圍第9項之搬運系統，其中，前述複數通訊元件係3台以上的元件， 前述第1訊號係包含前述其他通訊元件的各個由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號時的電波強度， 前述其他通訊元件的各個將包含前述電波強度的前述第1訊號傳送至前述特定的通訊元件，藉此，前述特定的通訊元件係藉由透過前述其他通訊元件的通訊路徑，由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號， 前述特定的通訊元件係藉由透過由前述其他通訊元件之中的前述其他通訊元件的各個所被傳送出的前述第1訊號所包含的前述電波強度之中為最強的電波強度所對應的通訊元件的通訊路徑，將前述第2訊號傳送至前述特定的搬運台車。
  11. 一種通訊元件，其係搬運系統中的通訊元件，該搬運系統具備：用以搬運搬運物的複數搬運台車、及各個以一對一連接於載置前述搬運物的複數設備的各個的複數通訊元件， 前述複數通訊元件係預先可彼此進行通訊地相連接， 前述通訊元件係當前述複數搬運台車之中的特定的搬運台車，對前述複數通訊元件傳送將前述複數通訊元件之中的前述通訊元件作為最終送訊目的端的第1訊號時，藉由透過前述複數通訊元件之中的其他通訊元件的通訊路徑，由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號， 前述第1訊號係為了前述特定的搬運台車在與以一對一連接於前述通訊元件的特定的設備之間移載前述搬運物所進行通訊的訊號。
  12. 如申請專利範圍第11項之通訊元件，其中，前述複數通訊元件係彼此以有線纜線相連接。
  13. 如申請專利範圍第11項或第12項之通訊元件，其中，前述複數通訊元件係3台以上的通訊元件， 前述第1訊號係包含特定供前述其他通訊元件的各個將前述第1訊號傳送至前述通訊元件之用的時間的時間資訊， 前述其他通訊元件的各個在藉由前述時間資訊所特定的時間，將前述第1訊號傳送至前述通訊元件，藉此，前述通訊元件係藉由透過前述其他通訊元件的通訊路徑，由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號。
  14. 如申請專利範圍第11項或第12項之通訊元件，其中，前述其他通訊元件的各個將前述第1訊號傳送至前述通訊元件，藉此，前述通訊元件係藉由透過前述其他通訊元件的通訊路徑，由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號， 前述通訊元件係藉由透過前述其他通訊元件的通訊路徑，將對前述第1訊號的響應訊號亦即第2訊號傳送至前述特定的搬運台車。
  15. 如申請專利範圍第14項之通訊元件，其中，前述複數通訊元件係3台以上的元件， 前述第1訊號係包含前述其他通訊元件的各個由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號時的電波強度， 前述其他通訊元件的各個將包含前述電波強度的前述第1訊號傳送至前述通訊元件，藉此，前述通訊元件係藉由透過前述其他通訊元件的通訊路徑，由前述特定的搬運台車接收前述第1訊號， 前述通訊元件係藉由透過由前述其他通訊元件之中的前述其他通訊元件的各個所被傳送出的前述第1訊號所包含的前述電波強度之中為最強的電波強度所對應的通訊元件的通訊路徑，將前述第2訊號傳送至前述特定的搬運台車。
  16. 如申請專利範圍第11項或第12項之通訊元件，其中，前述通訊元件係當前述複數搬運台車之中的特定的搬運台車，對前述複數通訊元件傳送將前述複數通訊元件之中不同於前述通訊元件的特定的通訊元件作為最終送訊目的端的前述第1訊號時，將由前述特定的搬運台車所接收到的前述第1訊號傳送至前述特定的通訊元件。
  17. 一種通訊方法，其係搬運系統的通訊方法，該搬運系統具備：用以搬運搬運物的複數搬運台車、及各個以一對一連接於載置前述搬運物的複數設備的各個的複數通訊元件， 前述通訊方法係包含： (d)前述複數搬運台車之中的特定的搬運台車對前述複數通訊元件與前述複數搬運台車之中的其他搬運台車的至少任一者傳送將前述複數通訊元件之中的特定的通訊元件作為最終送訊目的端的第1訊號的步驟；及 (e)前述特定的通訊元件藉由透過前述複數通訊元件之中的其他通訊元件的通訊路徑及透過前述其他搬運台車的通訊路徑之中的至少任一者，接收前述第1訊號的步驟， 前述第1訊號係為了前述特定的搬運台車在與以一對一連接於前述特定的通訊元件的特定的設備之間移載前述搬運物所進行通訊的訊號。
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