CN112236376A - 通信方法、搬送系统以及通信器件 - Google Patents

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Abstract

一种搬送系统(1)的通信方法，该搬送系统(1)具备用于搬送搬送物的多个搬送台车(30)和分别一对一地连接于供搬送物载置的多个载置口(20)的每一个的多个通信器件(10)，多个通信器件(10)预先可相互通信地连接，通信方法包含：(a)特定搬送台车(30)将以特定通信器件(10)为最终发送目的地的第一信号向多个通信器件(10)发送的步骤、和(b)特定通信器件(10)以经由其他通信器件(10)的通信路径从特定搬送台车(30)接收第一信号的步骤，第一信号是为了使特定搬送台车(30)在与一对一地连接于特定通信器件(10)的特定载置口(20)之间移载搬送物而通信的信号。

Description

通信方法、搬送系统以及通信器件
技术领域
本发明涉及搬送系统的通信方法、搬送系统以及通信器件。
背景技术
以往公开有一种系统，其具备搬送半导体晶圆等的顶棚行驶台车和处理半导体晶圆等的半导体制造装置(例如参照专利文献1、2)。顶棚行驶台车在设于半导体制造装置的载置口的上方停止行驶，在与载置口之间移载半导体晶圆等。在顶棚行驶台车的停止位置的上方设有连接于半导体制造装置的光通信终端。顶棚行驶台车在停止行驶时，与光通信终端之间执行用于移载半导体晶圆等的通信(用于进行联锁处理的通信，所谓的联锁通信)。由此，例如在由顶棚行驶台车将半导体晶圆等移载于载置口时，能够在特定的条件不成立时不过渡至下一工序，能够安全并且可靠地进行半导体晶圆等从顶棚行驶台车向载置口的移载。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：国际公开第2011/155040号
专利文献2：日本专利第4471118号公报
发明内容
发明将要解决的课题
上述的系统中的联锁通信通过光通信来执行。就光通信而言，需要在顶棚行驶台车以及光通信终端之间对准光轴。因此，有产生光轴的偏移所引起的通信不良的可能性。
因此，本案发明人们研究了取代光通信而利用Wi-Fi(注册商标)等无线通信的技术。具体而言，在半导体制造装置中设置通信器件，顶棚行驶台车通过与通信器件的无线通信而执行联锁通信。利用无线通信，无需对准光轴，因此可消除光轴的偏移所引起的通信不良。
但是，在无线通信中，由于周围环境等引起的电波的反射等，存在产生通信障碍的可能性，需要使无线通信冗余化。
在本发明中，其目的在于提供能够使搬送系统的联锁通信中的无线通信冗余化的通信方法等。
用于解决课题的手段
为了解决上述课题，本发明的一方式的通信方法为一种搬送系统的通信方法，该搬送系统具备：多个搬送台车，用于对搬送物进行搬送；以及多个通信器件，分别一对一地连接于供所述搬送物载置的多个设备的每一个，其中，所述多个通信器件被预先可相互通信地连接，所述通信方法包含：(a)所述多个搬送台车中的特定搬送台车，将以所述多个通信器件中的特定通信器件为最终发送目的地的第一信号，向所述多个通信器件发送的步骤；以及(b)所述特定通信器件，以经由所述多个通信器件中的其他通信器件的通信路径，从所述特定搬送台车接收所述第一信号的步骤；所述第一信号是为了使所述特定搬送台车在与一对一地连接于所述特定通信器件的特定设备之间移载所述搬送物而通信的信号。
据此，特定通信器件即使由于通信障碍而不能从特定搬送台车直接地接收第一信号，也能够以经由其他通信器件的通信路径间接地接收第一信号。因此，能够使搬送系统的联锁通信中的无线通信冗余化。
另外，所述多个通信器件也可以相互利用有线线缆而连接。
据此，能够使多个通信器件间的通信与无线连接的情况相比更加稳定。
另外，也可以是，所述多个通信器件是3台以上的通信器件，所述第一信号包含时间信息，该时间信息确定所述其他通信器件的每一个将所述第一信号向所述特定通信器件发送用的时间，在所述(b)中，所述其他通信器件的每一个，在通过所述时间信息确定的时间，将所述第一信号向所述特定通信器件发送。
据此，能够抑制其他通信器件的每一个在相同的定时将第一信号向特定通信器件发送，由此能够抑制冲突的产生。
另外，也可以是，在所述(b)中，所述其他通信器件的每一个将所述第一信号向所述特定通信器件发送，所述通信方法还包含：(c)所述特定通信器件，以经由所述其他通信器件的通信路径，将作为针对所述第一信号的响应信号的第二信号向所述特定搬送台车发送的步骤。
据此，特定搬送台车即使由于通信障碍而不能从特定通信器件直接地接收第二信号，也能够以经由其他通信器件的通信路径间接地接收第二信号。
另外，也可以是，所述多个通信器件是3台以上的通信器件，所述第一信号包含所述其他通信器件的每一个从所述特定搬送台车接收所述第一信号时的电波强度，在所述(b)中，所述其他通信器件的每一个将包含所述电波强度的所述第一信号向所述特定通信器件发送，在所述(c)中，所述特定通信器件以经由下述通信器件的通信路径，将所述第二信号向所述特定搬送台车发送，所述通信器件是所述其他通信器件中的、从所述其他通信器件的每一个发送的所述第一信号所含的所述电波强度中的最强的电波强度所对应的器件。
据此，以经由其他通信器件的通信路径中的电波强度最强的通信路径发送第二信号，因此能够提高特定搬送台车与特定通信器件的通信成功的可能性。
另外，本发明的一方式的搬送系统具备：多个搬送台车，用于对搬送物进行搬送；以及多个通信器件，分别一对一地连接于供所述搬送物载置的多个设备的每一个，其中，所述多个通信器件被预先可相互通信地连接，所述多个搬送台车中的特定搬送台车，将以所述多个通信器件中的特定通信器件为最终发送目的地的第一信号，向所述多个通信器件发送，所述特定通信器件，以经由所述多个通信器件中的其他通信器件的通信路径，从所述特定搬送台车接收所述第一信号，所述第一信号是为了使所述特定搬送台车在与一对一地连接于所述特定通信器件的特定设备之间移载所述搬送物而通信的信号。
据此，特定通信器件即使由于通信障碍而不能从特定搬送台车直接地接收第一信号，也能够以经由其他通信器件的通信路径间接地接收第一信号。因此，能够使搬送系统的联锁通信中的无线通信冗余化。
另外，所述多个通信器件也可以相互利用有线线缆而连接。
据此，能够使多个通信器件间的通信与无线连接的情况相比更加稳定。
另外，也可以是，所述多个通信器件是3台以上的通信器件，所述第一信号包含时间信息，该时间信息确定所述其他通信器件的每一个将所述第一信号向所述特定通信器件发送用的时间，所述其他通信器件的每一个，在通过所述时间信息确定的时间，将所述第一信号向所述特定通信器件发送，使得所述特定通信器件以经由所述其他通信器件的通信路径从所述特定搬送台车接收所述第一信号。
据此，能够抑制其他通信器件的每一个在相同的定时将第一信号向特定通信器件发送，因此能够抑制冲突的产生。
另外，也可以是，所述其他通信器件的每一个，将所述第一信号向所述特定通信器件发送，使得所述特定通信器件以经由所述其他通信器件的通信路径从所述特定搬送台车接收所述第一信号，所述特定通信器件，以经由所述其他通信器件的通信路径，将作为与所述第一信号对应的响应信号的第二信号向所述特定搬送台车发送。
据此，特定搬送台车即使由于通信障碍而不能从特定通信器件直接地接收第二信号，也能够以经由其他通信器件的通信路径间接地接收第二信号。
另外，也可以是，所述多个通信器件为3台以上的器件，所述第一信号包含所述其他通信器件的每一个从所述特定搬送台车接收所述第一信号时的电波强度，所述其他通信器件的每一个将包含所述电波强度的所述第一信号向所述特定通信器件发送，使得所述特定通信器件以经由所述其他通信器件的通信路径从所述特定搬送台车接收所述第一信号，所述特定通信器件以经由下述通信器件的通信路径，将所述第二信号向所述特定搬送台车发送，所述通信器件是所述其他通信器件中的、从所述其他通信器件的每一个发送的所述第一信号所含的所述电波强度中的最强的电波强度所对应的器件。
据此，以经由其他通信器件的通信路径中的电波强度最强的通信路径发送第二信号，因此能够提高特定搬送台车与特定通信器件的通信成功的可能性。
另外，本发明的一方式的搬送系统中的通信器件，该搬送系统具备：多个搬送台车，用于对搬送物进行搬送；以及多个通信器件，分别一对一地连接于供所述搬送物载置的多个设备的每一个，其中，所述多个通信器件被预先可相互通信地连接，所述通信器件，在所述多个搬送台车中的特定搬送台车将以所述多个通信器件中的所述通信器件为最终发送目的地的第一信号发送到所述多个通信器件时，以经由所述多个通信器件中的其他通信器件的通信路径，从所述特定搬送台车接收所述第一信号，所述第一信号是为了使所述特定搬送台车在与一对一地连接于所述通信器件的特定设备之间移载所述搬送物而通信的信号。
据此，通信器件即使由于通信障碍而不能从特定搬送台车直接地接收第一信号，也能够以经由其他通信器件的通信路径间接地接收第一信号。因此，能够使搬送系统的联锁通信中的无线通信冗余化。
另外，所述多个通信器件也可以相互利用有线线缆而连接。
据此，能够使多个通信器件间的通信与无线连接的情况相比更加稳定。
另外，也可以是，所述多个通信器件为3台以上的通信器件，所述第一信号包含时间信息，该时间信息确定所述其他通信器件的每一个将所述第一信号向所述通信器件发送用的时间，所述其他通信器件的每一个，在通过所述时间信息确定的时间将所述第一信号向所述通信器件发送，使得所述通信器件以经由所述其他通信器件的通信路径从所述特定搬送台车接收所述第一信号。
据此，能够抑制其他通信器件的每一个在相同的定时将第一信号向通信器件发送，因此能够抑制冲突的产生。
另外，也可以是，所述其他通信器件的每一个将所述第一信号向所述通信器件发送，使得所述通信器件以经由所述其他通信器件的通信路径从所述特定搬送台车接收所述第一信号，所述通信器件，以经由所述其他通信器件的通信路径，将作为与所述第一信号对应的响应信号的第二信号向所述特定搬送台车发送。
据此，特定搬送台车即使由于通信障碍而不能从通信器件直接地接收第二信号，也能够以经由其他通信器件的通信路径间接地接收第二信号。
另外，也可以是，所述多个通信器件为3台以上的器件，所述第一信号包含所述其他通信器件的每一个从所述特定搬送台车接收所述第一信号时的电波强度，所述其他通信器件的每一个将包含所述电波强度的所述第一信号向所述通信器件发送，使得所述通信器件以经由所述其他通信器件的通信路径从所述特定搬送台车接收所述第一信号，所述通信器件以经由下述通信器件的通信路径，将所述第二信号向所述特定搬送台车发送，所述通信器件是所述其他通信器件中的、从所述其他通信器件的每一个发送的所述第一信号所含的所述电波强度中的最强的电波强度所对应的器件。
据此，由于以经由其他通信器件的通信路径中的电波强度最强的通信路径发送第二信号，因此能够提高特定搬送台车与通信器件的通信成功的可能性。
另外，也可以是，所述通信器件，在所述多个搬送台车中的特定搬送台车将以所述多个通信器件中的与所述通信器件不同的特定通信器件为最终发送目的地的所述第一信号发送到所述多个通信器件时，将从所述特定搬送台车接收到的所述第一信号向所述特定通信器件发送。
据此，通信器件在从特定搬送台车接收到并非发往自身的第一信号的情况下，将该第一信号向特定通信器件发送(转送)。即，特定通信器件即使由于通信障碍而不能从特定搬送台车直接地接收第一信号，也能够以经由通信器件的通信路径而间接地接收第一信号。因此，能够使搬送系统的联锁通信中的无线通信冗余化。
另外，本发明的一方式的通信方法是一种搬送系统的通信方法，该搬送系统具备：多个搬送台车，用于对搬送物进行搬送；以及多个通信器件，分别一对一地连接于供所述搬送物载置的多个设备的每一个，其中，所述通信方法包含：(d)所述多个搬送台车中的特定搬送台车，将以所述多个通信器件中的特定通信器件为最终发送目的地的第一信号向所述多个通信器件与所述多个搬送台车中的其他搬送台车的至少任一个发送的步骤；以及(e)所述特定通信器件，通过经由所述多个通信器件中的其他通信器件的通信路径以及经由所述其他搬送台车的通信路径中的至少任一个，接收所述第一信号的步骤，所述第一信号是为了使所述特定搬送台车在与一对一地连接于所述特定通信器件的特定设备之间移载所述搬送物而通信的信号。
据此，特定通信器件即使由于通信障碍而不能从特定搬送台车直接地接收第一信号，也能够以经由其他通信器件的通信路径及经由其他搬送台车的通信路径中的至少任一个而间接地接收第一信号。因此，能够使搬送系统的联锁通信中的无线通信冗余化。
发明效果
根据本发明的通信方法等，能够使搬送系统的联锁通信中的无线通信冗余化。
附图说明
图1是表示实施方式1的搬送系统的概要的外观图。
图2是表示实施方式1的搬送系统以及半导体制造装置的功能构成的框图。
图3是表示实施方式1的搬送系统的应用例的图。
图4是表示实施方式1的搬送系统的通信方法的第一例的序列图。
图5是表示实施方式1的搬送系统的通信方法的第二例的序列图。
图6是表示实施方式1的搬送系统的通信方法的第三例的序列图。
具体实施方式
以下，一边参照附图一边具体地说明实施方式。
以下说明的实施方式都表示本发明的优选的一个具体例。以下的实施方式所示的数值、形状、材料、构成要素、构成要素的配置位置以及连接方式、步骤、步骤的顺序等是一个例子，并非旨在限定本发明。另外，关于以下的实施方式中的构成要素中的、未记载于表示本发明的最上位概念的独立权利要求的构成要素，作为构成更优选的方式的任意的构成要素而说明。另外，有对相同的构成要素标注相同的附图标记而省略说明的情况。
(实施方式1)
以下，对于实施方式1，使用图1至图6进行说明。
图1是表示实施方式1的搬送系统1的概要的外观图。另外，图1是示意图，各构成的实际尺寸不限于图1所示的尺寸。
搬送系统1是用于移载搬送物的系统，具备用于对搬送物进行搬送的多个搬送台车、分别一对一地与载置搬送物的多个设备的每一个相连接的多个通信器件、以及用于供多个搬送台车行驶的行驶路径2。另外，图1中示出了多个搬送台车中的一个搬送台车30。另外，图1中也示出了半导体制造装置50。在本实施方式中，半导体制造装置50虽然不是搬送系统1的构成要素，但也可以被包含为搬送系统1的构成要素。
在本实施方式中，设备是载置口。图1中示出了多个通信器件10a～10d以及多个载置口20a～20d。通信器件10a与载置口20a一对一地连接，通信器件10b与载置口20b一对一地连接，通信器件10c与载置口20c一对一地连接，通信器件10d与载置口20d一对一地连接。另外，以下，也将多个通信器件的每一个统称作通信器件10，也将多个载置口的每一个统称作载置口20。在本实施方式中，多个通信器件10是3台以上的通信器件10。
图1所示的半导体制造装置50是加工半导体晶圆的装置，具备用于将储存有半导体晶圆的FOUP(Front Opening Unified Pod，前开式晶圆传送盒)100搬入以及搬出的FOUP搬入搬出口51。另外，FOUP100相当于利用搬送系统1搬送的搬送物。
载置口20是作为搬送物的FOUP100所载置的端口，配置于半导体制造装置50的FOUP搬入搬出口51附近，在与半导体制造装置50之间交接FOUP100。另外，在载置口20与搬送台车30之间进行FOUP100的移载。例如载置口20经由有线线缆而与通信器件10之间发送接收信号。这里，对于一个半导体制造装置50，例如设有四个载置口20，各载置口20与一个通信器件10一对一地连接。因此，一个半导体制造装置50与多个(这里是四个)通信器件10经由多个(这里是四个)载置口20而连接。
搬送台车30是在与载置口20之间移载FOUP100、并沿着行驶路径2进行搬送的台车，在其内部具备把持FOUP100的把持部31。把持部31例如被设为能够升降，在与载置口20之间移载FOUP100时下降至载置口20附近。另外，把持部31也可以被设计为能够沿水平方向移动。
通信器件10是对信号的收发进行中介的通信装置，该信号是为了移载载置口20与搬送台车30之间的搬送物而通信的信号、具体而言是联锁处理相关的信号(第一信号以及针对第一信号的响应信号即第二信号)。第一信号以及第二信号例如是数据包。联锁处理指的是若特定的条件不成立则无法进行其他动作那样的处理。通过在搬送系统1中进行联锁处理，在利用搬送台车30将FOUP100向载置口20移载之际，若特定的条件不成立，则无法移至下一工序。特定的条件指的是例如发送第一信号并接收了第二信号这一条件，该第一信号包含确认特定搬送台车30是否处于当前能够向希望进行FOUP100的移载的特定载置口20进行移载的状态的指示(联锁处理的执行指令)，该第二信号包含表示处于当前能够从特定载置口20进行移载的状态的响应(联锁处理的执行指令所对应的响应)。由此，能够安全并且可靠地进行FOUP100从特定搬送台车30向特定载置口20的移载。通信器件10对搬送台车30与载置口20之间的第一信号以及第二信号的交换进行中介。例如通信器件10经由有线线缆在与载置口20之间发送接收联锁处理相关的第一信号以及第二信号。另外，通信器件10与载置口20也可以通过无线进行该信号的收发。例如通信器件10设置于半导体制造装置50的地板侧。
另外，通信器件10在与搬送台车30之间通过无线收发联锁处理相关的第一信号以及第二信号。另外，通信器件10与搬送台车30的通信可以经由接入点等间接地来进行，也可以不经由接入点等而直接地进行。
另外，多个通信器件10a～10d被预先可相互通信地连接，在多个通信器件10a～10d间发送接收联锁处理相关的第一信号以及第二信号。例如多个通信器件10a～10d相互通过有线线缆而连接。例如多个通信器件10a～10d之间通过有线LAN(Local AreaNetwork，局域网)、RS232C或者USB(Universal Serial Bus，通用串行总线)等而被连接。由此，能够使多个通信器件10a～10d间的通信与无线连接的情况相比更加稳定。另外，多个通信器件10a～10d也可以相互通过无线而连接。
接下来，对本实施方式的搬送系统1以及半导体制造装置50的功能构成进行说明。
图2是表示实施方式1的搬送系统1以及半导体制造装置50的功能构成的框图。
首先，对图2所示的搬送台车30的功能构成进行说明。如图2所示，搬送台车30在功能上包含台车控制部32以及台车通信部33。
台车通信部33是经由网络而与通信器件10通信的通信接口。台车控制部32利用台车通信部33向通信器件10发送信号，该信号是为了在与一对一地连接于通信器件10的设备(载置口20)之间移载搬送物而通信的信号。具体而言，台车控制部32通过台车通信部33向通信器件10发送第一信号，该第一信号包含用于在载置口20与搬送台车30之间移载搬送物的联锁处理的执行指令。台车通信部33例如通过广播对于多个通信器件10a～10d发送第一信号。另外，台车通信部33也可以通过单播对于多个通信器件10a～10d的每一个发送第一信号。另外，台车控制部32利用台车通信部33接收上述处理的执行结果、并且是针对第一信号的响应信号的第二信号。
台车控制部32是控制台车通信部33并且经由台车通信部33而与外部(通信器件)进行通信、从而控制搬送台车30的处理部。具体而言，台车控制部32将第一信号向台车通信部33发送，并且从台车通信部33接收第二信号(即，确认特定载置口20当前是否处于可进行移载的状态)而控制搬送台车30的动作。
接下来，对图2所示的载置口20的功能构成进行说明。如图2所示，载置口20在功能上包含端口控制部22与接口21。
端口控制部22从接口21接收第一信号，确认载置口20当前是否处于可进行移载的状态。另外，端口控制部22将表示载置口20当前是否处于可进行移载的状态的第二信号向接口21发送。
接口21是输入输出信号的输入输出部，例如包含用于将并行线缆所具备的连接器(Dsub－25pin等)连接的插座。例如接口21具有基于SEMI E84标准的构成。接口21所输入输出的信号例如适合并口、IEEE1284通信标准等的方式。
接下来，对图2所示的通信器件10的功能构成进行说明。如图2所示，通信器件10在功能上包含接口11、第一通信部12、控制部13以及第二通信部14。
接口11是在与载置口20之间进行通信的接口，例如在单向上包含8bit(双向的合计为16bit)的IO端口，与并行线缆连接。接口11的通信标准使用与接口21相同的标准。例如若着眼于通信器件10a，则通信器件10a的接口11与载置口20a的接口21连接，通信器件10a对搬送台车30与载置口20a之间的第一信号以及第二信号的交换进行中介。对于通信器件10b～10d也相同。如此，多个通信器件10a～10d分别一对一地连接于多个载置口20a～20d的每一个。
第一通信部12是经由网络而与搬送台车30进行通信的通信接口。第一通信部12包含天线以及无线信号的收发电路等。第一通信部12例如经由无线通信(例如遵循IEEE802.11a、b、g、n的无线LAN)的无线网络从搬送台车30接收第一信号，并向搬送台车发送第二信号。例如第一通信部12具有基于SEMI E84标准的构成。
第二通信部14是与其他通信器件10进行通信的通信接口。第二通信部14与其他通信器件10的第二通信部14预先连接，使得多个通信器件10a～10d预先可相互通信地连接。另外，例如如上述那样，多个通信器件10a～10d相互利用有线线缆而连接，第二通信部14包含该有线线缆所连接的连接器以及信号的收发电路等。例如图2所示的通信器件10是通信器件10a，通信器件10a的第二通信部14被连接于通信器件10b的第二通信部14。第二通信部14在与其他通信器件10的第二通信部14之间收发第一信号以及第二信号。例如将从其他通信器件10中的一个通信器件10(通信器件10b等)接收到的第一信号以及第二信号向其他通信器件10中的其他通信器件10(通信器件10c等)转送。例如第二通信部14具有基于SEMIE84标准的构成。
控制部13是控制接口11、第一通信部12以及第二通信部14的处理部。控制部13进行执行联锁处理用的处理，该联锁处理用于在载置口20与搬送台车30之间移载FOUP100。
第一信号中包含表示来自特定搬送台车30的联锁处理的执行指令的最终发送目的地即特定通信器件10的目的地(例如MAC(Media Access Control，介质访问控制)地址或者逻辑地址等地址信息)。控制部13确认第一通信部12从特定搬送台车30接收到的第一信号中所含的目的地是否是发往自身。另外，控制部13测定第一通信部12从特定搬送台车30接收第一信号时的电波强度(例如RSSI(Received Signal Strength Indication，接收信号强度指示))。另外，控制部13比较第二通信部14从其他通信器件10接收到的第一信号所含的电波强度。
另外，控制部13可以通过处理器执行规定的程序来实现，也可以通过专用的硬件来实现。
接下来，使用图3以及图4，对由于通过无线通信进行联锁处理相关的信号而产生的问题与其解决方法进行说明。
图3是表示实施方式1的搬送系统的应用例的图。另外，图3是示意图，各构成的实际的尺寸不限于图3所示的尺寸。
在半导体制造工厂等中例如设置有多个半导体制造装置50。例如图3中示出了半导体制造装置50a～50c。图3所示的半导体制造装置50a与图1所示的半导体制造装置50对应。另外，作为多个搬送台车30，示出了搬送台车30a以及30b。半导体制造装置50a与载置口20a～20d的每一个进行FOUP100的交接，半导体制造装置50b与载置口20e～20h的每一个进行FOUP100的交接，半导体制造装置50c与载置口20i～20m的每一个进行FOUP100的交接。多个通信器件10a～10m的每一个一对一地连接于载置口20a～20m的每一个。
在半导体制造工厂等中，在通过无线通信进行联锁处理相关的信号的情况下，由于周围环境等所带来的电波的反射、来自包含多个半导体制造装置50的各种装置的电波的放射、以及电波的重合所带来的通信的死点的产生等，有产生通信障碍的可能性，需要使联锁通信中的无线通信冗余化。因此，在本发明中，作为该冗余化的一个方式的例子，将多个通信器件10以组为单位预先可相互通信地连接。例如如图3所示，多个通信器件10a～10d预先可相互通信地连接而构成组A，多个通信器件10e～10h预先可相互通信地连接而构成组B，多个通信器件10i～10m预先可相互通信地连接而构成组C。如此，通过使多个通信器件10成组化，能够使联锁通信中的无线通信冗余化。对此，使用图4，示出并且说明搬送系统1的整体处理的具体例子。
图4是表示实施方式1的搬送系统1的通信方法的第一例的序列图。这里将进行联锁处理的特定搬送台车30设为搬送台车30a。另外，特定搬送台车30a将进行FOUP100的移载的载置口20作为载置口20d。即，第一信号所含的目的地即特定通信器件10成为与载置口20d一对一地连接的通信器件10d。以下，也将多个通信器件10a～10d中的除了特定通信器件10d之外的通信器件10称作其他通信器件10a～10c。
首先，多个搬送台车30中的特定搬送台车30a将以多个通信器件10a～10d中的特定通信器件10d为最终发送目的地的第一信号向多个通信器件10a～10d发送(步骤S11)。这里，特定搬送台车30a通过广播将第一信号向多个通信器件10a～10d发送。如图4所示，其他通信器件10a～10c能够从特定搬送台车30a接收第一信号，但作为最终发送目的地的通信器件10d由于通信障碍而不能从特定搬送台车30a接收第一信号。
另外，虽然多个通信器件10e～10m也能够接收从特定搬送台车30a通过广播等发送来的第一信号，但多个通信器件10e～10m确认到第一信号所含的目的地(通信器件10d)是不属于自身所属的组B或者C的通信器件10，从而将接收到的第一信号放弃(忽略)。
接下来，接收到第一信号的其他通信器件10a～10c的各控制部13确认第一通信部12从特定搬送台车30a接收到的第一信号所含的目的地是否是发往自身(步骤S12a、步骤S12b、步骤S12c)。这里，由于该目的地是通信器件10d，因此各控制部13确认到该目的地并非发往自身，而是发往通信器件10d。由此，在多个搬送台车30中的特定搬送台车30a将以多个通信器件10a～10d中的与其他通信器件10a～10c不同的特定通信器件10d为最终发送目的地的第一信号发送到多个通信器件10a～10d时，其他通信器件10a～10c在后述的步骤S14中，分别以经由其他通信器件10a～10c的通信路径将从特定搬送台车30a接收到的第一信号向特定通信器件10d发送。
另外，其他通信器件10a～10c的各控制部13确认第一通信部12从特定搬送台车30a接收第一信号时的电波强度(步骤S13a、步骤S13b、步骤S13c)。例如通信器件10a接收第一信号时测定为电波强度R1，通信器件10b接收第一信号时测定为电波强度R2，通信器件10c接收第一信号时测定为电波强度R3。然后，其他通信器件10a～10c的各控制部13处理第一通信部12接收到的第一信号，以使测定到的电波强度包含在第一信号内。由此，其他通信器件10a～10c的每一个在后述的步骤S14中发送的第一信号都将会包含该接收时的电波强度。
然后，通信器件10a朝向属于自身所属的组A的最终发送目的地即通信器件10d发送包含电波强度R1的第一信号。同样，通信器件10b朝向通信器件10d发送包含电波强度R2的第一信号。同样，通信器件10c朝向通信器件10d发送包含电波强度R3的第一信号。
另外，特定搬送台车30a朝向多个通信器件10a～10d发送的第一信号除了作为最终发送目的地的特定通信器件10d的地址信息之外，还包含时间信息，该时间信息确定属于与特定通信器件10d相同的组A的其他通信器件10a～10c的每一个接收到第一信号时将第一信号向特定通信器件10d发送用的时间。
例如在搬送系统1中，各搬送台车30以及各通信器件10的系统时钟同步。例如特定搬送台车30a朝向多个通信器件10a～10d发送的第一信号作为时间信息而包含表示从当前时刻起几秒后向特定通信器件10d发送第一信号的信息。具体而言，该第一信号包含如下指令：通信器件10a从当前时刻起1.0ms后向特定通信器件10d发送第一信号，通信器件10b从当前时刻起1.5ms后向特定通信器件10d发送第一信号，通信器件10c从当前时刻起2.0ms后向特定通信器件10d发送第一信号。
由此，能够抑制其他通信器件10a～10c的每一个在相同的定时向特定通信器件10d发送第一信号，因此能够抑制冲突的产生。
如此，通过其他通信器件10a～10c的每一个向特定通信器件10d发送第一信号，具体而言，在由上述时间信息确定的时间向特定通信器件10d发送第一信号，使得特定通信器件10d从其他通信器件10a～10c的每一个接收第一信号。即，特定通信器件10d以经由其他通信器件10a～10c的通信路径从特定搬送台车30a接收第一信号(步骤S14)。经由其他通信器件10a～10c的通信路径指的是特定搬送台车30a与其他通信器件10a～10c通信的路径、及其他通信器件10a～10c与特定通信器件10d通信的路径所构成的通信路径。即，经由其他通信器件10a～10c的通信路径不是特定通信器件10d不经由其他通信器件10a～10c而直接与特定搬送台车30a进行通信的路径。
由此，特定通信器件10d即使由于通信障碍而不能从特定搬送台车30a直接地接收第一信号，也能够以经由其他通信器件10a～10c的通信路径间接地接收第一信号。因此，能够使搬送系统1的联锁通信中的无线通信冗余化。
特定通信器件10d向一对一地连接的特定载置口20d发送第一信号。接收到第一信号的载置口20d确认载置口20d当前是否处于能够进行移载的状态。然后，载置口20d将表示载置口20d当前是否处于能够进行移载的状态的第二信号返回到特定通信器件10d。
在联锁处理中，需要将联锁处理的执行指令(换句话说是第一信号)所对应的响应(换句话说是第二信号)返回到特定搬送台车30a，因此特定通信器件10d将从载置口20d接收到的针对第一信号的响应信号即第二信号朝向特定搬送台车30a发送。此时，特定通信器件10d的控制部13比较从其他通信器件10a～10c分别发送来的第一信号中所含的电波强度R1～R3。例如特定通信器件10d的控制部13判定为电波强度R1～R3中的电波强度R2最强。
特定通信器件10d以经由其他通信器件10a～10c中的、与从其他通信器件10a～10c的每一个发送来的第一信号中所含的电波强度R1～R3中的最强的电波强度R2对应的通信器件10b的通信路径，向特定搬送台车30a发送第二信号。即，特定通信器件10d将第二信号向通信器件10b发送(步骤S16)，通信器件10b将从特定通信器件10d发送来的第二信号向特定搬送台车30a发送(步骤S17)。
由此，由于以经由其他通信器件10a～10c的通信路径中的、电波强度最强的通信路径来发送第二信号，因此能够提高特定搬送台车30a与特定通信器件10d的通信成功的可能性。
在搬送系统1的通信方法的第一例中，说明了特定通信器件10d不能从特定搬送台车30a直接地接收第一信号的情况下的搬送系统1的通信方法。以下，使用图5，对在步骤S11中特定通信器件10d从特定搬送台车30a接收了第一信号的情况进行说明。
图5是表示实施方式1的搬送系统1的通信方法的第二例的序列图。第二例与第一例的不同之处在于，在步骤S11中由特定通信器件10d从特定搬送台车30a接收第一信号，以及伴随于此的特定通信器件10d的动作。因此，对于相同的点适当省略说明，以不同点为中心进行说明。
特定通信器件10d的控制部13与其他通信器件10a～10c相同地确认第一通信部12从特定搬送台车30接收到的第一信号所含的目的地是否为发往自身(步骤S12d)。这里，由于该目的地是通信器件10d，因此特定通信器件10d的控制部13确认到该目的地是发往自身。
另外，特定通信器件10d的控制部13与其他通信器件10a～10c相同地确认第一通信部12从特定搬送台车30a接收第一信号时的电波强度(步骤S13d)。例如特定通信器件10d在接收第一信号时测定为电波强度R4。
这里，特定通信器件10d的控制部13判定测定出的电波强度R4是否为特定通信器件10d与特定搬送台车30a通信时不会产生通信障碍的程度的规定的电波强度阈值以上。
例如在电波强度R4小于规定的电波强度阈值的情况下，若特定通信器件10d与特定搬送台车30a直接进行通信，则存在由于通信障碍而导致第一信号以及第二信号的收发失败的隐患。因此，特定通信器件10d的控制部13在电波强度R4小于规定的电波强度阈值的情况下，以规定的时间等待第一信号从其他通信器件10a～10c转送过来。规定的时间例如可以是基于第一信号所含的时间信息而决定的时间，也可以被预先决定。之后，与第一例相同地进行处理。例如在电波强度R1～R4中的电波强度R4最强的情况下，特定通信器件10d以不经由其他通信器件10a～10c的通信路径、即从特定通信器件10d直接向特定搬送台车30a发送第二信号(步骤S18)。
例如在电波强度R4是规定的电波强度阈值以上的情况下，即使特定通信器件10d与特定搬送台车30a进行直接通信，第一信号以及第二信号的收发由于通信障碍而失败的可能性也较低。因此，特定通信器件10d的控制部13在电波强度R4为规定的电波强度阈值以上的情况下，不等待第一信号从其他通信器件10a～10c转送过来。即，也可以不进行图5所示的步骤S14以及步骤S15中的处理。之后，特定通信器件10d从特定通信器件10d直接向特定搬送台车30a发送第二信号(步骤S18)。
另外，在使用图4以及图5说明的搬送系统1的通信方法中，特定通信器件10d以经由属于同一组A的其他通信器件10a～10c的通信路径从特定搬送台车30a接收了第一信号，但也可以经由与经由其他通信器件10a～10c的通信路径不同的其他通信路径来接收第一信号。关于这一点，使用图3以及图6进行说明。
图6是表示实施方式1的搬送系统1的通信方法的第三例的序列图。这里，将进行联锁处理的特定搬送台车30设为搬送台车30a。另外，特定搬送台车30a以进行FOUP100的移载的载置口20为图3所示的载置口20m。即，作为第一信号所含的目的地的特定通信器件10成为与载置口20m一对一地连接的通信器件10m。以下，也将图3所示的多个通信器件10i～10m中的除了特定通信器件10m的通信器件10称作其他通信器件10i～10k。另外，也将多个搬送台车30中的除了特定搬送台车30a的搬送台车30称作其他搬送台车30b。例如其他搬送台车30b在与特定通信器件10m的通信中，处于比特定搬送台车30a难以产生通信障碍的位置。多个搬送台车30预先可相互通信地连接。例如，这里设为搬送台车30a以及30b属于一个组。
在第三例中，台车控制部32具有利用台车通信部33向其他搬送台车30b发送包含联锁处理的执行指令的第一信号的功能。另外，台车控制部32具有在利用台车通信部33接收到从特定搬送台车30a发送来的第一信号的情况下，将该第一信号向特定通信器件10m发送的功能。第一信号中如上述那样包含了最终发送目的地的地址信息，因此其他搬送台车30b能够向特定通信器件10发送第一信号。
首先，多个搬送台车30中的特定搬送台车30a将以多个通信器件10i～10m中的特定通信器件10m为最终发送目的地的第一信号，向多个通信器件10i～10m与其他搬送台车30b中的至少任一个发送(步骤S21)。这里，特定搬送台车30a通过广播将第一信号向多个通信器件10i～10m与其他搬送台车30b这两方发送。例如其他通信器件10i的第一通信部12能够从特定搬送台车30a接收第一信号。但是，作为最终发送目的地的通信器件10m由于通信障碍不能从特定搬送台车30a接收第一信号。另外，其他搬送台车30b能够从特定搬送台车30a接收第一信号。
接下来，接收到第一信号的其他搬送台车30b的台车控制部32确认台车通信部33从特定搬送台车30a接收到的第一信号中所含的目的地(步骤S22a)，其他通信器件10i的控制部13确认第一通信部12从特定搬送台车30a接收到的第一信号中所含的目的地是否是发往自身(步骤S22b)。这里，该目的地是通信器件10m，因此台车控制部32确认到该目的地是发往通信器件10m，控制部13确认到该目的地并非发往自身，而是发往通信器件10m。由此，其他搬送台车30b及其他通信器件10i在后述的步骤S24中分别以经由其他搬送台车30b及其他通信器件10i的通信路径将从特定搬送台车30a接收到的第一信号向特定通信器件10m发送。
另外，其他搬送台车30b的台车控制部32确认台车通信部33从特定搬送台车30a接收第一信号时的电波强度(步骤S23a)，其他通信器件10i的控制部13确认第一通信部12从特定搬送台车30a接收第一信号时的电波强度(步骤S23b)。例如其他搬送台车30b在接收第一信号时测定为电波强度R5，其他通信器件10i在接收第一信号时测定为电波强度R6。然后，其他搬送台车30b的台车控制部32处理台车通信部33接收到的第一信号，以使测定到的电波强度R5包含在第一信号内。另外，其他通信器件10i的控制部13处理第一通信部12接收到的第一信号，以使测定到的电波强度R6包含在第一信号内。由此，其他搬送台车30b及其他通信器件10i的每一个在后述的步骤S24中发送的第一信号包含该接收时的电波强度。
然后，其他搬送台车30b朝向作为最终发送目的地的通信器件10m发送包含电波强度R5的第一信号。另外，通信器件10i朝向属于自身所属的组C的最终发送目的地即通信器件10m发送包含电波强度R6的第一信号。
另外，与在图4中说明过的第一例相同，特定搬送台车30a朝向多个通信器件10i～10m及其他搬送台车30b发送的第一信号除了作为最终发送目的地的特定通信器件10m的地址信息之外，还可以包含如下的时间信息：该时间信息确定属于与特定通信器件10m相同的组C的其他通信器件10i～10k以及属于与特定搬送台车30a相同的组的其他搬送台车30b的每一个接收到第一信号时将第一信号向特定通信器件10m发送用的时间。
由此，能够抑制其他通信器件10i～10k及其他搬送台车30b的每一个在相同的定时向特定通信器件10m发送第一信号，因此能够抑制冲突的产生。
如此，其他通信器件10i及其他搬送台车30b的每一个向特定通信器件10m发送第一信号，使得特定通信器件10m从其他通信器件10i及其他搬送台车30b的每一个接收第一信号。即，特定通信器件10m利用经由其他通信器件30i的通信路径与经由其他搬送台车30b的通信路径中的至少任一个(这里是两方)来接收第一信号(步骤S24)。经由其他搬送台车30b的通信路径指的是特定搬送台车30a与其他搬送台车30b通信的路径及其他搬送台车30b与特定通信器件10m通信的路径所构成的通信路径，并且是与特定通信器件10m直接与特定搬送台车30a进行通信的路径不同的路径。
由此，即使由于通信障碍而不能从特定搬送台车30a直接地接收第一信号，特定通信器件10m也能够以经由其他通信器件10i的通信路径及经由其他搬送台车30b的通信路径中的至少任一个间接地接收第一信号。因此，能够使搬送系统1的联锁通信中的无线通信冗余化。
特定通信器件10m向一对一地连接着的特定载置口20m发送第一信号。接收到第一信号的载置口20m确认载置口20m当前是否处于能够进行移载的状态。然后，载置口20m使表示载置口20m当前是否处于能够进行移载的状态的第二信号返回到特定通信器件10m。
特定通信器件10m将从载置口20m接收到的针对第一信号的响应信号即第二信号朝向特定搬送台车30a发送。此时，特定通信器件10m的控制部13比较从其他通信器件10i及其他搬送台车30b分别发送来的第一信号所含的电波强度R5以及R6(步骤S25)。然后，例如特定通信器件10m的控制部13判定为电波强度R5以及R6中的电波强度R5最强。
特定通信器件10m以经由电波强度R5以及R6中的最强的电波强度R5所对应的其他搬送台车30b的通信路径，向特定搬送台车30a发送第二信号。即，特定通信器件10m向其他搬送台车30b发送第二信号(步骤S26)，其他搬送台车30b将从特定通信器件10m发送来的第二信号向特定搬送台车30a发送(步骤S27)。
由此，以经由其他通信器件10i及其他搬送台车30b的通信路径中的、电波强度最强的通信路径发送第二信号，因此能够提高特定搬送台车30a与特定通信器件10m的通信成功的可能性。
(实施方式2)
对本发明的实施方式2进行说明。在本实施方式中，作为预先可相互通信地连接的多个通信器件，具备两个通信器件10。如此，多个通信器件可以不是实施方式1中所说明那样的三个以上，也可以如本实施方式那样为两个。在该情况下，一个通信器件10成为特定通信器件10，剩余的其他通信器件10成为一个。因而，在其他通信器件10向特定通信器件10发送第一信号时，没有产生冲突的隐患，因此第一信号也可以不包含时间信息。另外，在其他通信器件10为一个的情况下，由于也不能进行两个以上的其他通信器件10间的电波强度比较，因此第一信号也可以不包含电波强度。
(其他实施方式)
以上，基于实施方式说明了本发明的通信方法、搬送系统1以及通信器件10，但本发明并不限定于上述实施方式。只要不脱离本发明的主旨，对本实施方式实施了本领域技术人员所想到的各种变形的方式、以及将不同的实施方式中的构成要素组合而构建的方式也包含在本发明的范围内。
例如在上述实施方式中，通信器件10设置于半导体制造装置50的地板侧，但也可以设置于顶棚侧。在该情况下，在行驶于半导体制造工厂等中的顶棚侧所设置的行驶路径2的搬送台车30与通信器件10的通信中，搬送台车30与通信器件10的距离变近，来自周围环境等的影响减少，因此能够增强电波强度。但是，根据本发明，即使通信器件10与搬送台车30之间的电波强度较弱(即，即使是可能发生通信障碍的状态)，也能够使搬送系统1的联锁通信中的无线通信冗余化。因而，根据本发明，能够不对通信器件10的设置位置来设置限制，因此能够提高设置的自由度，并且也能够消除通信障碍有关的问题。
另外，例如在上述实施方式中，如图1以及图3所示，通信器件10设置于载置口20的附近，但只要与载置口20一对一地连接，则也可以不设置于附近。
另外，例如在上述实施方式中，与通信器件10一对一地连接着的设备是载置口20，但并不限定于此。例如设备也可以是半导体制造装置50。即，多个通信器件10的每一个也可以与多个半导体制造装置50的每一个一对一地连接，且一台通信器件10承担多个载置口20。在该情况下，第一信号不仅包含作为最终发送目的地的特定通信器件10的地址信息，也包含特定的半导体制造装置50中的多个载置口20中的进行移载的载置口20的地址信息等。
另外，例如设备也可以是以多个半导体制造装置50的集合为一个单位的半导体制造装置50组。即，多个通信器件10的每一个也可以与多个半导体制造装置50组的每一个一对一地连接，且一台通信器件10承担多个半导体制造装置50。在该情况下，第一信号不仅包括作为最终发送目的地的特定通信器件10的地址信息，也包含特定的半导体制造装置50组中的、设有进行移载的载置口20的半导体制造装置50的地址信息以及该载置口20的地址信息等。
另外，例如设备也可以是以多个载置口20的集合为一个单位的载置口20组。即，多个通信器件10的每一个也可以与多个载置口20组的每一个一对一地连接。换言之，一个通信器件10也可以与多个载置口20的集合一对一地连接。
而且，例如设备也可以不是与半导体制造相关的载置口20或者半导体制造装置50等。例如设备也可以与半导体制造无关、可以是放置台等。
另外，例如在上述实施方式中，第一信号包含确定其他通信器件10的每一个将第一信号向特定通信器件10发送用的时间的时间信息，但也可以不包含这个。
另外，例如在上述实施方式中，第一信号包含其他通信器件10的每一个从特定搬送台车30接收第一信号时的电波强度，但也可以不包含这个。在该情况下，例如特定通信器件10也可以以经由向特定通信器件10发送了第一信号的其他通信器件10的每一个的通信路径、将第二信号向特定搬送台车30发送。即，特定通信器件10也可以与电波强度无关地、以成功与特定搬送台车30直接通信了的所有通信器件10各自的通信路径将第二信号向特定搬送台车30发送。在该情况下，第二信号包含确定其他通信器件10的每一个将第二信号向特定搬送台车30发送用的时间的时间信息，其他通信器件10的每一个也可以在通过该时间信息而确定的时间将第二信号向特定搬送台车30发送。由此，能够抑制其他通信器件10的每一个在相同的定时将第二信号向特定搬送台车30发送，因此能够抑制冲突的产生。
另外，例如在上述实施方式中的第三例中，特定搬送台车30将第一信号向多个通信器件10及其他搬送台车30这两方发送，但也可以不向多个通信器件10发送，而仅向其他搬送台车30发送。
另外，例如在上述实施方式中的第三例中，其他搬送台车30仅为一个搬送台车30b，但也可以是多个。在该情况下，接收到第一信号的多个其他搬送台车30的台车控制部32确认台车通信部33从特定搬送台车30a接收到的第一信号所含的目的地，多个其他搬送台车30的台车控制部32确认台车通信部33从特定搬送台车30a接收第一信号时的电波强度，特定通信器件10m利用经由其他通信器件30i的通信路径与经由多个其他搬送台车30的通信路径中的至少任一个来接收第一信号。
另外，例如搬送系统1的通信方法中的步骤也可以由计算机(计算机系统)来执行。而且，本发明能够将这些方法所含的步骤作为用于使计算机执行的程序而实现。而且，本发明能够作为记录了该程序的CD－ROM等即非暂时的计算机可读取的记录介质而实现。
例如本发明在通过程序(软件)实现的情况下，利用计算机的CPU、存储器以及输入输出电路等硬件资源来执行程序，从而执行各步骤。即，CPU从存储器或者输入输出电路等取得数据并运算、将运算结果向存储器或者输入输出电路等输出，从而执行各步骤。
另外，上述实施方式的搬送系统1所含的多个构成要素也可以分别作为专用或者通用的电路而实现。这些构成要素既可以作为一个电路而实现，也可以作为多个电路而实现。
另外，上述实施方式的搬送系统1所含的多个构成要素也可以作为集成电路(IC：Integrated Circuit)的LSI(Large Scale Integration，大规模集成电路)来实现。这些构成要素可以分别被单芯片化，也可以以包含一部分或者全部的方式被单芯片化。LSI由于集成度的不同，有被称为系统LSI、超大LSI或者特大LSI的情况。
另外，集成电路并不限定于LSI，也可以由专用电路或者通用处理器实现。如上述那样，也可以利用可编程的FPGA、或者LSI内部的电路单元的连接以及设定可重建的可重构处理器。
而且，如果由于半导体技术的进步或者衍生的其他技术而出现代替LSI的集成电路化的技术，则当然也可以使用该技术来进行搬送系统1所含的各构成要素的集成电路化。
除此之外，对于实施方式实施本领域技术人员所想到的各种变形而得的方式、在不脱离本发明的主旨的范围内将各实施方式中的构成要素以及功能任意地组合从而实现的方式也包含在本发明中。
工业上的可利用性
本发明能够利用于通过无线通信进行联锁处理的搬送系统等。
附图标记说明
1 搬送系统
2 行驶路径
10、10a～10m 通信器件
11、21 接口
12 第一通信部
13 控制部
14 第二通信部
20、20a～20m 载置口(设备)
22 端口控制部
30、30a、30b 搬送台车
31 把持部
32 台车控制部
33 台车通信部
50、50a～50c 半导体制造装置
51 FOUP搬入搬出口
100 FOUP

Claims (17)

1.一种搬送系统的通信方法，该搬送系统具备：多个搬送台车，用于对搬送物进行搬送；以及多个通信器件，分别一对一地连接于供所述搬送物载置的多个设备的每一个，其中，
所述多个通信器件被预先可相互通信地连接，
所述通信方法包含：
(a)所述多个搬送台车中的特定搬送台车，将以所述多个通信器件中的特定通信器件为最终发送目的地的第一信号，向所述多个通信器件发送的步骤；以及
(b)所述特定通信器件，以经由所述多个通信器件中的其他通信器件的通信路径，从所述特定搬送台车接收所述第一信号的步骤；
所述第一信号是为了使所述特定搬送台车在与一对一地连接于所述特定通信器件的特定设备之间移载所述搬送物而通信的信号。
2.根据权利要求1所述的通信方法，其中，
所述多个通信器件相互利用有线线缆而连接。
3.根据权利要求1或2所述的通信方法，其中，
所述多个通信器件是3台以上的通信器件，
所述第一信号包含时间信息，该时间信息确定所述其他通信器件的每一个将所述第一信号向所述特定通信器件发送用的时间，
在所述(b)中，所述其他通信器件的每一个，在通过所述时间信息确定的时间，将所述第一信号向所述特定通信器件发送。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的通信方法，其中，
在所述(b)中，所述其他通信器件的每一个将所述第一信号向所述特定通信器件发送，
所述通信方法还包含：(c)所述特定通信器件，以经由所述其他通信器件的通信路径，将作为针对所述第一信号的响应信号的第二信号向所述特定搬送台车发送的步骤。
5.根据权利要求4所述的通信方法，其中，
所述多个通信器件是3台以上的通信器件，
所述第一信号包含所述其他通信器件的每一个从所述特定搬送台车接收所述第一信号时的电波强度，
在所述(b)中，所述其他通信器件的每一个将包含所述电波强度的所述第一信号向所述特定通信器件发送，
在所述(c)中，所述特定通信器件以经由下述通信器件的通信路径，将所述第二信号向所述特定搬送台车发送，所述通信器件是所述其他通信器件中的、从所述其他通信器件的每一个发送的所述第一信号所含的所述电波强度中的最强的电波强度所对应的器件。
6.一种搬送系统，具备：多个搬送台车，用于对搬送物进行搬送；以及多个通信器件，分别一对一地连接于供所述搬送物载置的多个设备的每一个，其中，
所述多个通信器件被预先可相互通信地连接，
所述多个搬送台车中的特定搬送台车，将以所述多个通信器件中的特定通信器件为最终发送目的地的第一信号，向所述多个通信器件发送，
所述特定通信器件，以经由所述多个通信器件中的其他通信器件的通信路径，从所述特定搬送台车接收所述第一信号，
所述第一信号是为了使所述特定搬送台车在与一对一地连接于所述特定通信器件的特定设备之间移载所述搬送物而通信的信号。
7.根据权利要求6所述的搬送系统，其中，
所述多个通信器件相互利用有线线缆而连接。
8.根据权利要求6或7所述的搬送系统，其中，
所述多个通信器件是3台以上的通信器件，
所述第一信号包含时间信息，该时间信息确定所述其他通信器件的每一个将所述第一信号向所述特定通信器件发送用的时间，
所述其他通信器件的每一个，在通过所述时间信息确定的时间，将所述第一信号向所述特定通信器件发送，使得所述特定通信器件以经由所述其他通信器件的通信路径从所述特定搬送台车接收所述第一信号。
9.根据权利要求6至8中任一项所述的搬送系统，其中，
所述其他通信器件的每一个，将所述第一信号向所述特定通信器件发送，使得所述特定通信器件以经由所述其他通信器件的通信路径从所述特定搬送台车接收所述第一信号，
所述特定通信器件，以经由所述其他通信器件的通信路径，将作为与所述第一信号对应的响应信号的第二信号向所述特定搬送台车发送。
10.根据权利要求9所述的搬送系统，其中，
所述多个通信器件为3台以上的器件，
所述第一信号包含所述其他通信器件的每一个从所述特定搬送台车接收所述第一信号时的电波强度，
所述其他通信器件的每一个将包含所述电波强度的所述第一信号向所述特定通信器件发送，使得所述特定通信器件以经由所述其他通信器件的通信路径从所述特定搬送台车接收所述第一信号，
所述特定通信器件以经由下述通信器件的通信路径，将所述第二信号向所述特定搬送台车发送，所述通信器件是所述其他通信器件中的、从所述其他通信器件的每一个发送来的所述第一信号所含的所述电波强度中的最强的电波强度所对应的器件。
11.一种搬送系统中的通信器件，该搬送系统具备：多个搬送台车，用于对搬送物进行搬送；以及多个通信器件，分别一对一地连接于供所述搬送物载置的多个设备的每一个，其中，
所述多个通信器件被预先可相互通信地连接，
所述通信器件，在所述多个搬送台车中的特定搬送台车将以所述多个通信器件中的所述通信器件为最终发送目的地的第一信号发送到所述多个通信器件时，以经由所述多个通信器件中的其他通信器件的通信路径，从所述特定搬送台车接收所述第一信号，
所述第一信号是为了使所述特定搬送台车在与一对一地连接于所述通信器件的特定设备之间移载所述搬送物而通信的信号。
12.根据权利要求11所述的通信器件，其中，
所述多个通信器件相互利用有线线缆而连接。
13.根据权利要求11或12所述的通信器件，其中，
所述多个通信器件为3台以上的通信器件，
所述第一信号包含时间信息，该时间信息确定所述其他通信器件的每一个将所述第一信号向所述通信器件发送用的时间，
所述其他通信器件的每一个，在通过所述时间信息确定的时间将所述第一信号向所述通信器件发送，使得所述通信器件以经由所述其他通信器件的通信路径从所述特定搬送台车接收所述第一信号。
14.根据权利要求11至13中任一项所述的通信器件，其中，
所述其他通信器件的每一个将所述第一信号向所述通信器件发送，使得所述通信器件以经由所述其他通信器件的通信路径从所述特定搬送台车接收所述第一信号，
所述通信器件，以经由所述其他通信器件的通信路径，将作为与所述第一信号对应的响应信号的第二信号向所述特定搬送台车发送。
15.根据权利要求14所述的通信器件，其中，
所述多个通信器件为3台以上的器件，
所述第一信号包含所述其他通信器件的每一个从所述特定搬送台车接收所述第一信号时的电波强度，
所述其他通信器件的每一个将包含所述电波强度的所述第一信号向所述通信器件发送，使得所述通信器件以经由所述其他通信器件的通信路径从所述特定搬送台车接收所述第一信号，
所述通信器件以经由下述通信器件的通信路径，将所述第二信号向所述特定搬送台车发送，所述通信器件是所述其他通信器件中的、从所述其他通信器件的每一个发送的所述第一信号所含的所述电波强度中的最强的电波强度所对应的器件。
16.根据权利要求11至15中任一项所述的通信器件，其中，
所述通信器件，在所述多个搬送台车中的特定搬送台车将以所述多个通信器件中的与所述通信器件不同的特定通信器件为最终发送目的地的所述第一信号发送到所述多个通信器件时，将从所述特定搬送台车接收到的所述第一信号向所述特定通信器件发送。
17.一种搬送系统的通信方法，该搬送系统具备：多个搬送台车，用于对搬送物进行搬送；以及多个通信器件，分别一对一地连接于供所述搬送物载置的多个设备的每一个，其中，
所述通信方法包含：
(d)所述多个搬送台车中的特定搬送台车，将以所述多个通信器件中的特定通信器件为最终发送目的地的第一信号向所述多个通信器件与所述多个搬送台车中的其他搬送台车的至少任一个发送的步骤；以及
(e)所述特定通信器件，通过经由所述多个通信器件中的其他通信器件的通信路径以及经由所述其他搬送台车的通信路径中的至少任一个，接收所述第一信号的步骤，
所述第一信号是为了使所述特定搬送台车在与一对一地连接于所述特定通信器件的特定设备之间移载所述搬送物而通信的信号。
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007058422A (ja) * 2005-08-23 2007-03-08 Daifuku Co Ltd 物品搬送設備
CN101132295A (zh) * 2006-08-25 2008-02-27 华为技术有限公司 一种多方通信方法及系统
CN101461264A (zh) * 2006-06-06 2009-06-17 松下电器产业株式会社 无线通信系统、无线终端、基站以及基站搜索方法
CN102239667A (zh) * 2008-09-05 2011-11-09 村田机械株式会社 中继服务器、中继通信系统和通信装置
CN104204724A (zh) * 2012-03-21 2014-12-10 本田技研工业株式会社 导航系统

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2842657B2 (ja) * 1990-03-23 1999-01-06 積水化学工業株式会社 ホームバス接続の多段光空間伝送ネットワーク
JP3214533B2 (ja) * 1994-07-25 2001-10-02 日本電信電話株式会社 無線データ通信方法
KR100862356B1 (ko) * 2007-03-30 2008-10-13 전자부품연구원 경로-다이버시티 라우팅을 이용한 적응형 통신 방법 및이를 수행하는 통신 노드
JP2010184760A (ja) * 2009-02-10 2010-08-26 Muratec Automation Co Ltd 移載システム
CN102933472A (zh) * 2010-06-10 2013-02-13 村田机械株式会社 搬运系统及搬运系统内的通信方法
JP5183689B2 (ja) * 2010-07-28 2013-04-17 株式会社日立製作所 無線通信システム，無線通信装置及び無線通信方法
JP6052132B2 (ja) * 2013-10-22 2016-12-27 村田機械株式会社 通信デバイス及びその制御方法
JP6268921B2 (ja) * 2013-10-28 2018-01-31 村田機械株式会社 通信デバイスおよび通信デバイスの制御方法
KR20160021626A (ko) * 2014-08-18 2016-02-26 한국전자통신연구원 스몰 셀 환경에서의 자원 관리 방법 및 그 장치
KR102594945B1 (ko) * 2015-10-29 2023-10-30 삼성전자주식회사 무선 통신 시스템에서 사이드링크 통신 방법 및 장치
JP2017143480A (ja) * 2016-02-12 2017-08-17 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 通信端末、マルチホップ通信システム、およびプログラム

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007058422A (ja) * 2005-08-23 2007-03-08 Daifuku Co Ltd 物品搬送設備
CN101461264A (zh) * 2006-06-06 2009-06-17 松下电器产业株式会社 无线通信系统、无线终端、基站以及基站搜索方法
CN101132295A (zh) * 2006-08-25 2008-02-27 华为技术有限公司 一种多方通信方法及系统
CN102239667A (zh) * 2008-09-05 2011-11-09 村田机械株式会社 中继服务器、中继通信系统和通信装置
CN104204724A (zh) * 2012-03-21 2014-12-10 本田技研工业株式会社 导航系统

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