TW201500574A - 界定劑量環圍溫度及壓力蒸氣沉積系統 - Google Patents

Abstract

一種用以傳送在液體化學品中之有效成份至一化學蒸氣沉積系統之封閉化學品導入系統包括含有一界定劑量之液體化學品的一堅固、無水分筒匣。該筒匣係放在特別構形成收納該筒匣之一安裝槽孔上。在啟動該系統後，一第一線性機械致動器確實地保持該筒匣在該槽孔中，同時附加在一第二線性機械致動器上之一抽取矛由底部刺穿該筒匣，抽取該液體化學品且將它傳送至一蒸發室。該蒸發室蒸發該液體化學品且傳送含有該有效成份之蒸氣至該化學蒸氣沉積系統。該化學蒸氣沉積系統可包括一處理腔室，一輸送器，用以在該腔室內提供分開處理隔室之一壓縮清潔空氣系統，一加濕系統，一化學蒸氣系統，及用以中和有害副產物之一中和系統。

Description

界定劑量環圍溫度及壓力蒸氣沉積系統 發明背景 1.發明領域

本發明係有關於用以導入有效化學成份至一自動化學蒸氣沉積系統之一處理腔室且藉由一化學蒸氣沉積在有機與無機基材上產生保護薄膜及塗層的裝置及方法。

2.先前技術及相關資訊之說明

許多以玻璃為主之消費產品，例如飲料容器、食物容器、太陽眼鏡鏡片、汽車擋風玻璃及車窗，需要保護塗層以避免因粗率撞擊產生之刮傷、污漬及破裂。用以在例如玻璃、以二氧化矽為主之玻璃及甚至以金屬氧化物為主之鋼的基材上產生保護薄膜及塗層之各種技術在所屬技術領域中是習知的。這些習知技術中之某些技術包括手動地手動施加有效化學成份及藉由化學蒸氣沉積程序自動地施加。

手動施加有效成份在一基材上通常是藉由手動地或使用一手持機器噴灑化學溶液在該基材之一表面 上。雖然手動施加可產生一有效塗層，但是該施加是緩慢的、勞力密集的，產生安全問題，且大體積應用之擴充性不佳。此外，在基材上產生薄膜或塗層時使用之有效成份經常需要高揮發及可燃有機溶劑以便在施加程序中提供協助，因為當以其純形態施加在基材上時，該等有效成份通常不會提供一有效塗層。在手動地手動施加時，化學溶液會溢出，過度噴灑在該基材之表面，破壞工作表面及地板，且產生一危險之工作環境。例如，與該等有效成份一起使用之有機溶劑會蒸發進入周圍空氣且對實施該手動施加之技術人員產生一健康危害。由於這些風險，實施該手動施加之技術人員必須穿上個人防護裝備以避免吸入蒸氣。又，在手動施加時通常會發生之化學品溢出增加釋放大量有害化學品至環境之風險，破壞設備及備品，且在工作場所產生火災及滑滑落傷害。

為解決伴隨手動施加化學溶液釋放有害溶劑蒸氣之問題，在習知技術中之某些技術使用藉由完全在一抽取室內實施手動施加來局限溶劑煙霧之一蒸氣抽取系統。但是，在該抽取室內實施該手動施加減少可擴充性，增加技術人員對個人保護裝備之需要，且在該抽取系統中實施之安全措施失效時，大幅增加對該技術人員之個人傷害的風險。

某些前述問題可藉由在所屬技術領域中習知之自動化學蒸氣沉積程序克服。該等化學蒸氣沉積程序大幅減少與施加有效成份在該等基材上有關之人力，且，因 此，減少人工成本及危害技術人員及環境之風險。但是，許多在所屬技術領域中習知之化學蒸氣沉積程序必須在真空腔室內在真空下施加該等有效成份在該等基材上。因為對可在真空腔室內使用化學蒸氣沉積程序之基材的最大實體尺寸有某些限制，故真空腔室在抽空化學蒸氣方面通常是緩慢的且容量是有限的。因此，雖然人工成本及釋放有害蒸氣之風險減少，但是真空腔室之尺寸限制仍未解決可擴充性問題，且事實上，大幅減少產能。

又，用以在基材上產生薄膜之其他習知化學蒸氣沉積技術教示在環圍壓力且不使用真空腔室實施該化學蒸氣沉積，這解決了可擴充性、人工成本及蒸氣釋放之問題。該等技術通常係在一房間大小之施加腔室中實施，且該等施加腔室在整個蒸氣沉積程序中均保持在環圍壓力。這些房間大小之腔室具有可以最小人力需求施加大量有效成份之好處。該腔室之操作者可將大量大基材載入該腔室且在非常短之時間內以有效成份施加薄膜塗層至每一暴露表面。通常，該操作會在一小時內完成。但是，這種腔室之操作者必須小心測量該等正確有效成份之精確量，在操作該腔室時手動地將它們注入一化學品導入系統且在該程序中之一非常特定時間實施某些步驟。當如此做時，因為這些有效成份經常是可燃的且儲存玻璃瓶中，故該操作者必須穿上個人保護裝備以避免吸入有毒煙霧及保護不受化學品溢出傷害。玻璃瓶之易碎性與該等有效成份之毒性之組合在該等瓶子掉落或該等內容物溢出時具 有一明顯危險性。此外，在該等化學蒸氣沉積程序中使用該等有效成份通常對空氣敏感。因此，當開啟該等瓶時，該操作者必須施加例如氮之一惰性氣體包覆層，以減少由於暴露於空氣造成之該等有效成份之分解速度。這種腔室之大部份使用者沒有必要之設備來提供一氮包覆層。此外，即使在使用一氮包覆層時，當操作該等腔室時亦無法避免某些空氣暴露。

發明概要

在此所述之實施本發明之一目前化學品導入系統解決在上述習知技術中遭遇之問題。例如，該目前化學品導入系統可並聯或串聯地使用多數系統以容許大規模化學蒸氣沉積程序。此外，該目前化學品導入系統藉由免除在該程序時暴露於有害蒸氣、避免由於掉落及打破含有有效成份之一習知玻璃原料瓶而化學品溢出之風險、防止有害化學蒸氣釋放至環境、及減少由於使用錯誤劑量或錯誤種類之化學品產生人為錯誤造成之程序失效，增加實施一化學蒸氣沉積之安全性。此外，由於不再需要連續監測該程序及在適當時間實施某些步驟，故在此所述之該目前化學品導入系統明顯地增加操作者之生產力。

在另一方面，實施在此所述之本發明之一連續、輸送化學蒸氣沉積系統有助於在零釋放有害蒸氣之情形下完全自動化、大規模薄膜塗布任一似玻璃產品。在一較佳實施例中，在此所述之化學蒸氣沉積系統可連續地操作 24小時以便可不中斷地在線上生產。此外，由於各特定產品會需要，故該輸送化學蒸氣沉積之較佳實施例可藉由調整其寬度及/或長度輕易地修改且適用於任一種產品線，因此提供一獨特適用性及彈性以達成任何製造需求。

如在以下進一步細節中所示，該目前系統之較佳實施例使用含有精確劑量之有效成份的各種筒匣尺寸及形狀，且該等有效成份配合例如玻璃容器、飲料容器(例如，酒瓶、啤酒瓶、汽水瓶等)、食物容器、太陽眼鏡鏡片、汽車擋風玻璃及車窗、或任一種消費性產品之基材之一特定處理的需要。

該目前化學蒸氣沉積系統之一商業應用之一例係氣泡酒瓶之貼標。氣泡酒瓶，由於其固有性質，傳統上係在一生產線上在某低溫下填充。接著，該溫度必須增加以便可在各瓶上貼標。在一大規模生產中，該溫度係藉由將該等瓶在生產線上浸在一水池中且加熱該水一段時間來增加直到該等標籤可適當地黏在該等玻璃瓶上為止。在一小規模生產中，該等瓶必須由該生產線上取下，浸在加熱之水中，放在室溫下數天來冷卻，接著拿回到該生產線以便貼標。這吃力之程序減慢生產速度，增加瓶破裂之可能性且需要大工作空間。

該化學蒸氣沉積之目前實施例讓氣泡酒瓶可塗布特殊成份，該等特殊成份讓標籤可在不需要該瓶浸在一大水池中之情形下，在乾的情形下固定在該等瓶上。因此該目前系統有助於節省能源、人力及成本，且減少使用水。

該目前化學蒸氣沉積系統之商業應用之其他例子可包括，但不限於，防滴塗層(例如在紅酒瓶上)、耐刮及撞擊塗層、及在飲料瓶內表面上塗層(例如香檳酒瓶之內側塗層)之應用。

本發明提供用以在一全自動化學蒸氣沉積系統中導入包含在完全密封且無水分之筒匣中之精確劑量的有效化學成份至一基材之裝置及方法。又，本發明亦提供藉由在一輸送型系統中連續施加化學蒸氣沉積，在有機及無機基材上產生保護薄膜及塗層之裝置及方法。

在一方面，提供一種用以以一薄膜層塗布一基材之用於一化學蒸氣沉積程序之自動液體化學品導入系統。該化學品導入系統可包含一筒匣插入總成，一液體化學品抽取總成，及一蒸發總成。提供一種可程式邏輯控制器(PLC)以同時地控制該化學品導入系統及一化學蒸氣沉積系統。

提供一種包含用於該化學蒸氣沉積之一精確量之有效成份的特別設計筒匣。該筒匣可包含含有該所需液體化學品之一無水分小瓶，用以密封該小瓶之開口之一再密封隔膜，用以固定該再密封隔膜之一小瓶蓋，及具有一中空腔室之一厚筒匣外殼以便將該小瓶確實地放在該外殼內。由於在一特定化學蒸氣沉積程序中可使用不同種類之化學品，故可使用用於特定化學品之具有特定形狀之各種筒匣外殼以協助區別該等筒匣之內容物且避免人為錯誤。較佳地，該等筒匣係由該等有效成份之供應商準備。 因此，該等筒匣不需要該化學蒸氣沉積系統之一操作者手動地測量正確有效成份之量，將該等有效成份手動地注意該化學品導入系統中，及在特定時間實施特定步驟。

該筒匣插入總成宜形成該化學品導入系統之最上方組件。依據一較佳實施例，該筒匣插入總成包含一筒匣托盤，且該筒匣托盤具有特別設計成以一配合形狀收納該筒匣之一底部之一安裝槽孔。在該筒匣托盤上方，設置可以一垂直方向移動之一上線性機械致動器。在一較佳實施例中，該上線性機械致動器可更包含用以在抽取該等有效化學品時確實地保持該筒匣於定位之一扣持夾。在另一實施例中，該上線性機械致動器可更包含一透明圍阻蓋。在包括該透明圍阻蓋之一實施例中，一惰性氣體線，例如一氮線，供應惰性氣體至該筒匣插入總成以便在該系統運轉時將環圍水分排除在外。在各實施例中，上線性機械致動器可藉由該PLC自動地操作或藉由手手動地操作。

在另一方面，該筒匣托盤可包含多數安裝槽孔，多數透明圍阻蓋及多數惰性氣體線以便同時地使用多數化學品。該液體化學品抽取總成宜形成該化學品導入系統之中間組件且位在該化學品導入系統下方。較佳地，它包含可以一垂直方向移動之一下線性機械致動器，附接在該下線性機械致動器上之一抽取矛，覆蓋該抽取矛之一有脊套筒，及用以收集抽取之液體化學品之一化學品收集塊。該下機械致動器可藉由該PLC自動地操作或藉由手手動地操作。該有脊套筒提供圍阻保護以確保沒有來自該等 有效成份之有害蒸氣逸出且在該化學品抽取時沒有周圍水分進入。在另一實施例中，可設置覆蓋該有脊套筒之一波紋管作為另一煙霧圍阻層。在一方面，一第二惰性氣體線與該抽取矛連接以協助使用惰性氣體壓力由該筒匣完全抽取該液體化學品。在另一方面，可設置多數液體化學品抽取總成以便同時抽取多數筒匣。

該蒸發總成宜形成該化學品導入系統之最下方部份且設置在該液體化學品抽取總成下方。它可包含一蒸發腔室，與該化學品收集塊連接且由該化學品抽取總成傳送抽取之化學品至該蒸發腔室的一化學品液體入口，一壓縮空氣源及由該蒸發腔室傳送有效化學蒸氣至該化學蒸氣沉積系統之一處理腔室的一化學蒸氣出口。在一方面，可設置多數蒸發總成以便隔離及蒸發多數獨立或組合之液體化學品且傳送得到之蒸氣至該處理腔室。

依據較佳實施例，該自動液體化學品導入系統由將該筒匣放在該安裝槽孔上開始，其中該筒匣之再密封隔膜側係面向下。因為該安裝槽孔係設計成具有只可收納具有一配合形狀之筒匣的一特定形狀，故該構態確使該筒匣適當地放在該安裝槽孔中且使用正確種類之有效成份。一欲處理之基材係放置在該化學蒸氣沉積系統之處理腔室中。

在該筒匣確實地放在該安裝槽孔上後，操作者啟動在該PLC上之一自動程式以致動該化學品導入系統及該化學蒸氣沉積系統。在一實施例中，在該化學蒸氣沉積 系統之處理腔室外側設置一濕度計以便在以該有效成份處理該基材之前先測量周圍濕度。在由該濕度計接收濕度資料後，該PLC接著計算一適當運轉時間以便依據一預定公式導入濕度至該處理腔室。接著，該PLC接合一增濕器以便依據該預定運轉時間將水分注入該化學蒸氣沉積系統之處理腔室。在該加濕程序完成後，該PLC接著由該處理腔室抽空周圍空氣以儘可能地移除空氣中之水分，只在該基材上留下用於化學處理之水分。

與啟動該化學蒸氣沉積系統同時地，該PLC啟動在該化學品導入系統上之程式。該上線性機械致動器開始以一向下方向移動以便在準備該化學品抽取程序時讓該扣持夾確實地保持該筒匣在該安裝槽孔中。在設置該透明圍阻蓋之一實施例中，該透明圍阻蓋固定該筒匣在該安裝槽孔中且完全封閉該筒匣以防止化學煙霧釋出及外側水分侵入。在該實施例中，在該筒匣被該透明圍阻蓋完全封閉後，依據一預定時間供應氮氣以驅出水分且確保一氣密密封。

此外，在一較佳實施例中，設置一壓力感測偵測器以偵測及報告對該PLC之一洩漏。如果報告一洩漏，則該PLC將暫停該程序直到該問題解決為止。

在將該筒匣扣持在該安裝槽孔中完成後，藉由該機械致動器或藉由手動設定，且該洩漏偵測程序確定沒有洩漏，載運該等有效化學品至該蒸發腔室之一管路系統以由該抽取矛流出之氮沖洗。一旦該氮沖洗完成後，該化 學品導入系統接著等待直到該處理腔室之增濕程序完成為止。

一旦該處理腔室之增濕程序完成後，該PLC接著啟動該下線性機械致動器以便以一向上方向移動以使該附接之抽取矛上升直到該抽取矛刺穿該筒匣之再密封隔膜為止。該抽取矛包含沿該矛之長度延伸之一垂直溝槽，一中空中央腔，至少一圓周溝槽。較佳地，該抽取矛可包含兩圓周溝槽。該矛之垂直溝槽讓該液體化學品可向下流向該化學品收集塊。該等圓周溝槽在該刺穿點卡掣該再密封隔膜且當該下機械致動器倒退數毫米，它將該再密封隔膜稍微向下拉以形成用以更佳地收集該液體化學品之一漏斗。氮透過該中空中央腔供應至該筒匣小瓶中以便在該小瓶內產生壓力且進一步驅動該液體化學品向下通過該垂直溝槽以完成抽取。

該化學品抽取塊引導該抽取之液體通過該化學品液體入口至該蒸發腔室。一旦該液體化學品被收集在該蒸發腔室內後，將壓縮空氣供應至該蒸發腔室中以蒸發該有效成份之液體狀態且將其蒸氣狀態載送至該處理腔室中以進行化學蒸氣沉積。在進入該處理腔室後，含有精確劑量之有效成份之蒸氣與在該基材之表面上之水分反應以便在該基材之表面上產生一薄膜塗層。該薄膜塗布程序之一例係揭露於在此加入作為參考之美國專利第6,245,387號中。依據較佳實施例，該化學蒸氣沉積程序係在一環圍溫度及壓力下實施。

在該化學蒸氣沉積系統之一實施例中，在該處理腔室內之空氣係依據一段預定時間使用一特別設計之風扇及管路系統循環以確保一理想量之空氣渦流。在該化學蒸氣沉積程序結束後，透過過濾該空氣且中和任何空氣中之酸之一過濾器的一空氣洗滌器抽空任何剩餘化學蒸氣及空氣中之副產物。這空氣洗滌器可包含顆粒過濾器及以吸收酸或中和介質填充之一連串托盤。

在另一實施例中，該化學蒸氣沉積系統可包括在一全包含管狀/圓柱形處理腔室內之一輸送、組裝線型系統。較佳地，該圓柱形處理腔室可包含一輸送帶，用以驅動該處理腔室之內部至分開處理隔室的多數空氣幕，一水蒸氣系統，一化學蒸氣系統，用以抽空未反應之有效成份及酸性副產物之一真空系統，及與該真空系統連接以便在該載送空氣釋放至環境前，抽空及中和未反應之有效成份及酸性副產物之一中和系統。該水蒸氣系統可更包含沿該輸送帶之長度放置在該輸送帶之長度上方之多數水蒸氣入口。類似地，該化學蒸氣系統可更包含沿該輸送帶之長度放置在該輸送帶之長度上方之多數化學蒸氣入口。該等多數水蒸氣入口及該等多數化學蒸氣入口係依據所需塗布程序以一交錯方式組配。該真空系統可更包含沿該輸送帶之長度放在該輸送帶之長度下方之多數真空通道。該中和系統可包含一中和溶劑貯器，放在該輸送帶下方之一蒸氣導管，在該蒸氣導管內之多數中和溶劑入口，及將中和溶劑由該溶劑貯器抽出至該等溶劑入口之一泵。或者，該 中和系統可包含一空氣洗滌器，且該空氣洗滌器更包含一顆粒過濾器及以吸收酸或中和介質填充之一連串托盤。

如上所述，該圓柱形處理腔室之內部被該等多數空氣幕分成多數隔室以防止水分及化學蒸氣之交叉污染。在一較佳實施例中，一第一隔室可包含放在一第一對空氣幕間之一第一水蒸氣入口，一第二隔室可包含放在下一對空氣幕間之一第一化學蒸氣入口，一第三隔室可包含放在一第三對空氣幕間之一第二水蒸氣入口，一第三隔室可包含放在一第四對空氣幕間之一第二化學蒸氣入口，且一第五隔室可包含放在最後一對空氣幕間之一壓縮空氣噴嘴。

依據該較佳實施例，該欲處理之基材係放在該輸送帶上且移動至該圓柱形處理腔室中用以進行一連串水及化學蒸氣處理。當該基材進入該第一隔室時，該第一水蒸氣入口在該基材輸送通道該處理腔室之隔室時沉積水分在該基材之表面上。接著輸送通過該空氣幕，只將水分留在該基材之表面上。在這第一隔室之出口的一真空通道移除在邊界上之任何水蒸氣，確保沒有任何水蒸氣進入該程序之下一隔室。接著，該基材進入該第二隔室以進行一第一有效成份之一化學蒸氣沉積處理。

在該第二隔室中，當該基材被輸送通過該處理腔室之第二隔室時，該第一化學蒸氣入口沉積該第一有效化學成份之蒸氣在該基材上。在該基材上之表面上之水分與該化學蒸氣反應以便在該基材之表面上形成一薄膜塗 層。在該第一化學蒸氣沉積完成後，一第二真空通道抽空該未反應化學成份及酸性副產物進入在該輸送帶下方之蒸氣導管中，確保沒有未反應化學成份及酸性副產物通入該處理腔室之下一個隔室。

在進入該第三隔室後，當該基材被輸送通過該處理腔室之第三隔室時，一第二水蒸氣入口沉積水分在該基材之表面上，為一第二有效化學成份之一第二處理作準備。類似於該第一水分處理，當該基材離開這隔室時，它被輸送通過一第三空氣幕，只在該基材之表面上留下水分且一第三真空通道抽空空氣中之水分進入該蒸氣導管中，確保沒有水蒸氣進入下一個隔室。接著該基材進入該第四隔室以便進行該第二有效成份之一化學蒸氣沉積處理。

在該第四隔室中，當該基材被輸送通過該第四隔室時，該第二化學蒸氣入口沉積該第二有效成份之蒸氣在該基材之表面上。在該基材上之表面上之水分與該化學蒸氣反應以便在該基材之表面上形成一第二薄膜塗層。在這隔室之出口，一第四真空通道在邊界抽空該未反應化學成份及酸性副產物進入在該輸送帶下方之蒸氣導管中，且該基材通過一第五空氣幕且繼續進入該第五隔室。

在該第五隔室中，當該基材被輸送通過該第五隔室時，一壓縮空氣噴嘴施加高壓壓縮空氣在該基材上以便由該基材移除多餘化學品。此外，可設置一第五真空通道以進一步抽空未反應之有效成份及酸性副產物。在該程 序完成後，該經處理之基材接著離開該化學蒸氣沉積腔室。

應了解的是該輸送化學蒸氣沉積系統可與用於一界定劑量之筒匣系統一起，或與該筒匣系統無關地使用，以便進行有效成份之一連續施加。亦應了解的是該輸送化學蒸氣沉積系統可使用二種以上之有效成份，且因此可包含多數加水隔室及多數化學蒸氣處理隔室。最後，應了解的是依據這較佳實施例之化學蒸氣沉積程序係在周圍溫度及壓力下實施。

在另一方面，提供一種在一封閉化學蒸氣沉積系統中自動地導入空氣敏感液體化學品至一基材之方法。該方法可包含為一化學蒸氣沉積程序提供含有一界定劑量之特定液體化學品的一無水分筒匣；提供一封閉抽取機構以便由該筒匣抽取該液體化學品；及傳送在該抽取之液體化學品中之有效成份至該化學蒸氣沉積系統之一處理腔室。

為一化學蒸氣沉積程序提供含有一界定劑量之特定液體化學品之一無水分筒匣的步驟可更包含依據一預定量時間由一小瓶移除周圍水分；分配該界定劑量之液體化學品至該小瓶中在惰性氣體包覆層下方；以一再密封隔膜及一蓋密封該小瓶；及將該小瓶放在一保護外殼內。

提供一封閉抽取機構以便由該筒匣抽取該液體化學品之步驟可更包含提供一安裝槽孔，且該安裝槽孔係組配成收納配合該安裝槽孔之該筒匣；提供一上線性機械 致動器，該上線性機械致動器係在該安裝槽孔上方且可以一垂直方向移動以便在液體化學品抽取時固定該筒匣；提供一抽取矛，該抽取矛係附接在一下線性機械致動器上，且該下線性機械致動器係在該安裝槽孔下方且可以一垂直方向移動以便由該筒匣抽取液體化學品；及提供一化學品收集塊以收集該抽取之液體化學品。

傳送在該抽取之液體化學品中之有效成份至該化學蒸氣沉積系統之一處理腔室的步驟可更包含提供一蒸發腔室以便由該化學品收集塊收納該液體化學品；依據一預定量時間將壓縮空氣抽至該液體化學品上方以便蒸發該液體化學品；及藉由進一步施加壓縮空氣壓力至該蒸發腔室，通過一出口傳送呈一蒸氣狀態之有效成份至該處理腔室。

在另一方面，一種在一封閉化學蒸氣沉積系統中自動地導入空氣敏感液體化學品至一基材之方法包含為一化學蒸氣沉積程序提供含有一界定劑量之特定液體化學品之一無水分筒匣；提供組配成收納該筒匣之一安裝槽孔；在啟動該系統時確實地保持該筒匣在該安裝槽孔中；在一封閉環境中由該筒匣抽取液體化學品；及傳送包含在該液體化學品中之有效成份至一化學蒸氣系統之一處理腔室。

為一化學蒸氣沉積程序提供含有一界定劑量之特定液體化學品之一無水分筒匣的步驟可更包含依據一預定量時間由一小瓶移除周圍水分；分配該界定劑量之液 體化學品至該小瓶中在惰性氣體包覆層下方；以一再密封隔膜及一蓋密封該小瓶；及將該小瓶放在一保護外殼內。

提供組配成收納該筒匣之一安裝槽孔可更包含提供一安裝槽孔，且該安裝槽孔具有配合該筒匣之底部之一形狀。

在啟動該系統時確實地保持該筒匣在該安裝槽孔中之步驟可包含提供一上線性機械致動器，且該上線性機械致動器可以垂直方向移動以便在啟動該系統時確實地保持該筒匣在該安裝槽孔中。在一實施例中，這步驟可更包含提供附接在該上線性機械致動器上之一扣持夾。在另一實施例中，這步驟可更包含提供一透明圍阻蓋，且該透明圍阻蓋係附接在該上線性機械致動器上且完全封閉該筒匣。此外，這步驟可使用一PLC自動地或藉由手手動地實施。在一封閉環境中由該筒匣抽取液體化學品之步驟可包含提供一抽取矛，該抽取矛係附接在一下線性機械致動器上，且該下線性機械致動器係在該安裝槽孔下方且可以一垂直方向移動，其中該下機械致動器使該矛上升以便在啟動該系統時刺穿該筒匣且抽出該液體化學品，且其中該抽取矛供應氮壓力至該筒匣中；及提供一化學品抽取塊以便收集該液體化學品。

傳送包含在該抽取之液體化學品中之有效成份至該化學蒸氣沉積系統之一處理腔室的步驟可更包含提供一蒸發隔室，且該蒸發隔室係組配成蒸發由該筒匣抽取之液體化學品至一蒸氣狀態且載送在該蒸氣中之有效成 份至一化學蒸氣沉積系統之一處理腔室。

在另一方面，提供一種準備含有空氣敏感之液體化學品之一無水分筒匣供在一化學蒸氣沉積系統中使用的方法。該方法可包含依據一預定量時間由一小瓶移除周圍水分；分配該界定劑量之液體化學品至該小瓶中在惰性氣體包覆層下方；以一再密封隔膜及一蓋密封該小瓶；及將該小瓶放在一保護外殼內。

依據一預定量時間由一小瓶移除周圍水分之步驟可更包含依據一預定量時間以一氮氣沖洗該小瓶。在另一實施例中，依據一預定量時間由一小瓶移除周圍水分之步驟可更包含依據一預定量時間施加真空壓力至該小瓶及以氮氣填充該小瓶。

將該小瓶放在一保護外殼內之步驟可更包含提供該保護外殼一形狀，且該形狀係組配成可嵌入一自動化學品導入系統之一安裝槽孔中。

在另一方面，提供一種藉由化學蒸氣沉積在有機及無機基材上產生保護薄膜之方法。該方法可包含提供包含一輸送器、一水分處理系統、一化學蒸氣沉積系統、一壓縮清潔空氣系統及一蒸氣中和系統之一輸送處理腔室；使用該壓縮清潔空氣系統在該處理腔室內分開該水分處理系統及該化學蒸氣沉積以防止在水分與有效化學成份間之交叉污染；將一基材放在一輸送器上以便讓該基材進行一連串水分及化學蒸氣處理；及在釋放該載送空氣至開放空氣前，藉由抽空未反應之化學成份及化學副產物至該蒸 氣中和系統，中和任何未反應之化學成份及化學副產物。

提供包含一輸送器、一水分處理系統、一化學蒸氣沉積系統、一壓縮清潔空氣系統及一蒸氣中和系統之一輸送處理腔室的步驟更包含將該水分處理系統沿該輸送器放在該輸送器上方，其中該水分處理系統包括多數水蒸氣入口。這步驟亦可包含將該化學蒸氣沉積系統沿該輸送器放在該輸送器上方，其中該化學蒸氣沉積系統包括多數化學蒸氣入口。

使用該壓縮清潔空氣系統在該處理腔室內分開該水分處理系統及該化學蒸氣沉積以防止在水分與有效化學成份間之交叉污染可更包含提供一中央清潔空氣源；提供與該清潔空氣源連接之一主空氣導管；及提供與該主空氣導管連接，沿該輸送器之長度放在該輸送器之長度上方之多數空氣幕以便使用一空氣幕分開一水分處理隔室及一化學蒸氣隔室。

在釋放該載送空氣至開放空氣前，藉由抽空未反應之有效成份及化學副產物至該蒸氣中和系統，中和任何未反應之有效成份及化學副產物的步驟可更包含在各隔室之邊界在該輸送器下方提供多數真空通道以抽空該等未反應有效成份及副產物至一蒸氣導管；提供含有一中和劑之一溶劑貯器；在該蒸氣導管中提供多數中和溶劑入口；及提供一溶劑泵以將該中和劑由該溶劑貯器抽出且傳送該中和劑至該等多數溶劑入口以便在釋放該等蒸氣之前中和在該蒸氣導管內之有害蒸氣。或者，這步驟可包含 提供一空氣洗滌器，該空氣洗滌器包含一顆粒過濾器及以吸收酸或中和介質填充之一連串托盤。

10,10d‧‧‧化學品導入系統

12‧‧‧控制面板隔室

14‧‧‧液體化學品傳送隔室

16‧‧‧控制面板隔室門

18‧‧‧觸控螢幕PLC控制模組

20‧‧‧筒匣隔室

22‧‧‧蒸發隔室

24‧‧‧筒匣隔室門

26‧‧‧蒸發隔室門

26d‧‧‧蒸發腔室蓋

28‧‧‧筒匣插入總成

28-2‧‧‧第二筒匣插入總成

30‧‧‧惰性氣體(氮)計量閥

31‧‧‧壓縮空氣計量閥

32‧‧‧抽取總成

32-2‧‧‧第二抽取總成

34,34d‧‧‧蒸發總成

34-2‧‧‧第二蒸發總成

36,36b,36-2‧‧‧安裝槽孔

40,40b,40d‧‧‧筒匣

42‧‧‧小瓶

41b‧‧‧液體化學品

42b,42d‧‧‧小瓶

44,44b‧‧‧障壁

46‧‧‧小瓶蓋

46d‧‧‧內蓋

48,48b‧‧‧外殼

48d‧‧‧筒匣外殼

50‧‧‧中空腔室

51‧‧‧螺紋部份

52‧‧‧壁厚度

53‧‧‧運送及處理蓋

53d‧‧‧外蓋

56‧‧‧筒匣托盤

57‧‧‧扣持夾

58‧‧‧圍阻蓋

60‧‧‧上線性機械致動器

62‧‧‧上線性機械致動器軌道

64‧‧‧主氮線

66‧‧‧主壓縮空氣線

68,68b‧‧‧圍阻蓋槽孔線

68,68b‧‧‧圍阻蓋槽孔

72‧‧‧抽取矛

74‧‧‧有脊套筒

76‧‧‧波紋管

78‧‧‧下線性機械致動器軌道

80‧‧‧下線性機械致動器

82‧‧‧中央腔

84‧‧‧垂直溝槽

86‧‧‧圓周溝槽

88‧‧‧化學品收集塊

90‧‧‧液體收集腔室

92‧‧‧氮線

94‧‧‧液體入口

96,96d‧‧‧蒸發腔室

100‧‧‧壓縮空氣源

100d‧‧‧壓縮空氣源(線)

102‧‧‧蒸氣出口

102d‧‧‧出口

104‧‧‧壓縮空氣閥

106‧‧‧蒸氣壓力閥

120‧‧‧基材(瓶)

200‧‧‧化學蒸氣沉積系統

208‧‧‧壓縮清潔空氣系統

210‧‧‧處理腔室

212‧‧‧主空氣導管

214‧‧‧中央空氣源

216‧‧‧空氣幕

216-2‧‧‧第二空氣幕

216-3‧‧‧第三空氣幕

216-4‧‧‧第四空氣幕

216-5‧‧‧第五空氣幕

216-6‧‧‧第六空氣幕；最後空氣幕

218‧‧‧水蒸氣系統

220‧‧‧化學蒸氣系統

222‧‧‧真空系統

224‧‧‧中和系統

226‧‧‧水蒸氣入口

226-2‧‧‧第二水蒸氣入口

228‧‧‧化學蒸氣入口

228-2‧‧‧第二化學蒸氣入口

232‧‧‧壓縮空氣噴嘴

234‧‧‧輸送帶

236,238‧‧‧機械手臂

240‧‧‧中和溶劑貯器

242‧‧‧貯器泵

246‧‧‧真空通道；第一真空通道

246-2‧‧‧第二真空通道

246-3‧‧‧第三真空通道

246-4‧‧‧第四真空通道

248‧‧‧溶劑入口

248-9‧‧‧真空通道

250‧‧‧第一隔室

260‧‧‧第二隔室

270‧‧‧第三隔室

274‧‧‧導管開口

280‧‧‧第四隔室；蒸氣導管

290‧‧‧第五隔室

300‧‧‧方法

310‧‧‧步驟

320‧‧‧步驟

330‧‧‧步驟

400‧‧‧方法

410‧‧‧步驟

420‧‧‧步驟

430‧‧‧步驟

440‧‧‧步驟

500‧‧‧方法

510‧‧‧步驟

520‧‧‧步驟

530‧‧‧步驟

540‧‧‧步驟

550‧‧‧步驟

600‧‧‧方法

610‧‧‧步驟

620‧‧‧步驟

630‧‧‧步驟

640‧‧‧步驟

圖式簡單說明

圖1係一自動化學品導入系統之一較佳實施例的前視圖，且其門關閉。

圖2係該自動化學品導入系統之較佳實施例的前視圖，且其門開啟。

圖3係該化學品導入系統之一筒匣之一較佳實施例之立體圖。

圖4A與4B係該化學品導入系統之一筒匣之一第二較佳實施例之立體圖。

圖5係該化學品導入系統之一筒匣插入總成及一液體抽取總成之較佳實施例的前視圖。

圖6A係該化學品導入系統之筒匣插入總成及液體抽取總成之較佳實施例的立體圖。

圖6B係該化學品導入系統之筒匣插入總成及液體抽取總成之其他較佳實施例的立體圖。

圖7係該筒匣插入總成之一筒匣托盤之一較佳實施例的立體圖。

圖8係該筒匣插入總成之一筒匣托盤之一第二較佳實施例的立體圖。

圖9係該化學品導入系統之一氮線及一壓縮空氣線之較佳實施例的前視圖。

圖10係該液體抽取總成之一抽取矛之一較佳實施例的立體、放大圖。

圖11係該液體抽取總成之一化學品收集塊之一較佳實施例的立體圖。

圖12係該化學品導入系統之一蒸發總成之一較佳實施例的前視圖。

圖13A與13B係該化學品導入系統啟動前及後該筒匣插入總成之較佳實施例的前視圖。

圖14A與14B係該化學品導入系統啟動前及後該筒匣插入總成之較佳實施例的立體圖。

圖14C與14D係該化學品導入系統啟動前及後該筒匣插入總成之其他較佳實施例的立體圖。

圖15A與15B係該化學品導入系統啟動前及後該抽取總成之較佳實施例的立體圖。

圖16係一化學品導入系統之另一實施例之立體圖。

圖17係一輸送化學蒸氣沉積系統之一較佳實施例之側視圖。

圖18係該輸送化學蒸氣沉積系統之較佳實施例之立體圖。

圖19係在一封閉化學蒸氣沉積系統中導入空氣敏感液體化學品至一基材之一較佳方法的圖。

圖20係準備含有空氣敏感之液體化學品之一無水分筒匣供在一化學蒸氣沉積系統中使用之一較佳方法 的圖。

圖21係在一封閉化學蒸氣沉積系統中自動地導入空氣敏感液體化學品至一基材之另一較佳方法的圖。

圖22係藉由化學蒸氣沉積在有機及無機基材上產生保護薄膜之一較佳方法的圖。

以下本發明及其各種實施例可藉助於說明所示實施例之以下詳細說明而更佳地了解。可特別了解的是所示實施例係作為例子提出且不如最後界定在申請專利範圍般地作為本發明之限制。

較佳實施例之詳細說明

以下本發明及其各種實施例可藉助於說明所示實施例之以下詳細說明而更佳地了解。可特別了解的是所示實施例係作為例子提出且不如最後界定在申請專利範圍般地作為本發明之限制。

在圖1中，一自動液體化學品導入系統，或簡稱為一化學品導入系統之一較佳實施例係以一符號10表示。在此，顯示該化學品導入系統10之一外前視圖。如圖1所示，該化學品導入系統10宜包含兩隔室、一控制面板隔室12及一液體化學品傳送隔室14。該控制面板隔室12收容一電氣控制器、一可程式邏輯控制器(PLC)、及同時控制該化學品導入系統10及一化學蒸氣沉積系統(未圖示)之操作的各種電氣與電腦佈線。該液體化學品傳送隔室14收容多數自動機構，且該等自動機構實施包含在密封筒匣40(在 稍後圖中顯示)內之液體化學品的抽取、該液體化學品之蒸發、及將含有有效成份之蒸氣傳送至該化學蒸氣沉積系統以進行一基材之一蒸氣沉積處理。

該控制面板隔室12係被一控制面板隔室門16關閉。該控制面板隔室門16在其外部更包含一觸控螢幕PLC控制模組18以便讓一操作者可設定一所需程式或控制該化學品導入系統10及該化學蒸氣沉積系統之操作的某些變數，例如溫度、惰性氣體壓力、運轉時間等。

如圖1與2所示，該液體化學品傳送隔室14宜包含一頂筒匣隔室20及一底蒸發隔室，或簡稱為一蒸發隔室22。該頂筒匣隔室20被一筒匣隔室門24關閉且該蒸發隔室22被一蒸發隔室門26關閉。該筒匣隔室門24讓使用者可在不必開啟整個液體化學品傳送隔室14，且產生一有害蒸氣釋放之風險的情形下輕易地替換內側密封筒匣40。在一實施例中，該筒匣隔室門24可包含透明玻璃使得操作者可看見該筒匣隔室20之內部。

圖2顯示依據一較佳實施例之液體化學品傳送隔室14內部之大致概觀。如圖所示，該筒匣隔室20大致收容一筒匣插入總成28、一惰性氣體(例如氮)計量閥30及一壓縮空氣計量閥31。依據一較佳實施例，該筒匣隔室20可收容多數筒匣插入總成28以便在相同操作時可使用含有不同液體化學品之多數筒匣40。只藉由舉例且不作為一限制，圖2顯示一第二筒匣插入總成28-2，其中類似結構之元件係由後接“-2”之相同符號表示。較佳地，該筒匣插入 總成28形成該化學品導入系統10之最上方組件。應了解的是在目前系統10中亦可使用二以上筒匣插入總成28。

該蒸發隔室22大致收容一抽取總成32及一蒸發總成34。如在此所示，該抽取總成32宜形成該化學品導入系統10之中間組件，設置在該筒匣插入總成28下方且在該蒸發總成34上方。依據一較佳實施例，該蒸發隔室22可收容多數抽取總成32及多數蒸發總成34以便在相同操作時可使用各種液體化學品。只藉由舉例且不作為一限制，圖2顯示一第二抽取總成32-2及一第二蒸發總成34-2，其中類似結構之元件係由後接“-2”之相同符號表示。如圖2所示，應了解的是該第一筒匣插入總成28係與該第一抽取總成32及該第一蒸發總成34連接，該第二筒匣插入總成28-2係與該第二抽取總成32-2及該第二蒸發總成34-2連接等，這將在以下更詳細地說明。應了解的是在目前系統10中亦可使用二以上抽取總成32及二以上蒸發總成34。

圖3顯示特別設計成可與該化學品導入系統10一起使用之該筒匣40的一較佳實施例。如在此所示，該筒匣40包含在此簡稱為一障壁44之一再密封隔膜或其他可接受障壁，一內蓋46，及一外殼48。在這實施例中，該外殼48係顯示為具有一形狀。該外殼48更包含一中空腔室50及一壁厚度52。在一較佳實施例中，該筒匣40可藉由將該小瓶42放在該中空腔室50內組合。在另一實施例中，可設置一外殼底蓋以防止該小瓶42滑出該中空腔室50，但容許穿刺通達該障壁44。雖然該小瓶42及該外殼48可由任何適 當有機及無機材料構成，但是該小瓶42宜由玻璃構成且該外殼48宜由例如膨脹性聚丙烯之硬、耐用之模製聚合物或其他適合化學惰性聚合物構成。

該筒匣40包含用於該化學沉積程序之一界定劑量之特定液體化學品。較佳地，該筒匣40係由該等有效成份之供應商準備以避免該化學蒸氣沉積系統之操作者需要手動地測量該正確有效成份之量及將該有效成份手動地注入化學蒸氣沉積系統。

由於該等有效成份對周圍水分之空氣敏感性，需要特別準備該筒匣40以免除空氣及水分在該小瓶42內。依據一較佳實施例，該筒匣40係藉由先以惰性氣體徹底地沖洗該小瓶42以便由該小瓶42之內部排出空氣及環圍水蒸氣。雖然可使用任一惰性氣體，但是氮是較佳的。作為一例子且不作為一限制，先以一隔膜密封該小瓶42，將一氮線導入該小瓶42中，且提供讓周圍空氣及水分可逸出該小瓶42之一出口。接著讓該氮源可供應一段時間直到在該小瓶42內之周圍空氣以該惰性氮氣徹底地取代。或者，在另一實施例中，可密封該小瓶42且可施加真空壓力一段時間以便由該小瓶42之內部抽空周圍空氣及水分。接著，在該小瓶42之內部完全“乾燥”水分後，將氮導入該小瓶42以完全填充該小瓶42之內部。

在該小瓶42之內部充滿氮氣且沒有周圍空氣後，接著依據一界定劑量精確地測量該液體化學品且分配至該小瓶42中在一氮包覆層下方。在分配該液體化學品在 氮下方後，以該障壁44密封該小瓶42，且接著以該內蓋46固定該障壁44。作為一例且不作為一限制，該內蓋46可包含一螺紋或一扣合金屬或硬塑膠。如上所述，接著將該小瓶42放在該中空腔室50內，且該中空腔室50係設計成將該小瓶42緊密地嵌合在該外殼48內。

依據另一實施例，該外殼48可更包含靠近該中空腔室50之開口之一螺紋部份51。設置一運送及處理蓋53作為在運送及轉移該筒匣40時該小瓶42之另一保護。

該筒匣40之特殊構造提供防止蒸氣釋放、危險化學品溢出，及由於在習知技術中遭遇之周圍水分造成之有效成份快速劣化的一堅固保護。例如，該中空腔室50及該壁厚度52可包含柔軟，但是結實、耐用且防漏之材料，例如膨脹性聚丙烯發泡體，或任何其他適當材料。依據預備測試，該外殼48之硬外表面及該壁厚度52讓該筒匣40可在不會打破該小瓶42或溢出該化學內容物之情形下承受一至少六英呎之未受保護掉落。因此，依據該較佳實施例之該筒匣40之構造增加在一基材之蒸氣沉積程序中操作者之安全性，減少最大保護裝備之需要，及提供製備、運送及處理在一蒸氣沉積程序中用以塗布基材之液體化學品的一更安全、更容易且更符合經濟效益之方法。

由於可在一特殊化學蒸氣沉積程序中使用不同種類之化學品，故可為特定化學品使用具有特定形狀之各種筒匣外殼48以協助區別該等筒匣之內容物。圖4A與4B顯示該筒匣40b之另一較佳實施例，其中類似結構之元件係由 後接“b”之相同符號表示。圖4A顯示該筒匣40b面向下且圖4B顯示該筒匣40b面向上。在這實施例中，該筒匣40b包含含有液體化學品41b之一小瓶42b及一筒匣外殼48b。該小瓶42b可包含一障壁44b。如在此所示，在這第二較佳實施例中，該外殼48b宜具有一矩形而非一圓柱形。但是，應了解的是該筒匣40可為任何幾何形狀。

圖5至10更詳細地顯示依據一較佳實施例之該筒匣插入總成28及該抽取總成32。如圖6A所示，該筒匣插入總成28可更包含具有一安裝槽孔36之一筒匣托盤56及位在該安裝槽孔36上方之一上線性機械致動器60，且該上線性機械致動器60可以一垂直方向沿一上線性機械致動器軌道62移動。依據一較佳實施例，該上線性機械致動器60可更包含一扣持夾57。該安裝槽孔36具有設計成可收納該筒匣40之一配合底部的一形狀。較佳地，該安裝槽孔36可更包含一安裝槽孔O環以便在操作該化學品導入系統10期間在該筒匣40放在該安裝槽孔36中時提供另外之密封。

在另一實施例中，一圍阻蓋58可附接在該上線性機械致動器60上用以另外地保護防止蒸氣逸出及水分侵入。如圖6B所示，該圍阻蓋58可呈圓柱形。在設置該圍阻蓋58之實施例中，該筒匣托盤56可更包含一圍阻蓋槽孔68，且該圍阻蓋槽孔68具有配合該圍阻蓋58之一底部的一形狀。為使化學蒸氣圍阻及對周圍水分之密封最佳化，可設置一圍阻蓋槽孔O環。如圖7所示，在設置該圍阻蓋58之實施例中，該安裝槽孔36及該圍阻蓋槽孔68係顯示為與 該筒匣40及該圍阻蓋58之圓柱形第一較佳實施例配合之同心圓。但是，應了解的是該安裝槽孔36及該圍阻蓋槽孔68可為具有配合所使用之該筒匣40及該圍阻蓋58之一特殊形狀之一共同中心的任何形狀(例如同心正方形、同心矩形等)。例如，如果使用上述該筒匣40b之第二較佳實施例，則一安裝槽孔36b及一圍阻蓋槽孔68b可為同心正方形。

在一實施例中，該上線性機械致動器60可藉由該PLC自動地操作。在另一實施例中，該上線性機械致動器60可藉由手手動地操作。

此外，如圖8所示，在一蒸氣沉積程序中使用至少兩種化學品且該等化學品係包含在至少兩不同種類之筒匣40中之一實施例中，該筒匣托盤56可包含各種形狀之多數安裝槽孔36及多數圍阻蓋槽孔68。作為一例且不作為一限制，圖8顯示該圓柱形筒匣40係安裝在該圓形安裝槽孔36上且該矩形筒匣40係安裝在一第二安裝槽孔36-2上。為一特定種類化學品使用一特殊形狀筒匣40只可被一配合安裝槽孔36收納的一特定種類筒匣40有助於操作者區別一種液體化學品與另一種液體化學品，且因此減少人為錯誤。

在圖9中，供應氮至整個化學品導入系統10之一主氮線64及供應壓縮空氣至該蒸發總成34之一主壓縮空氣線66係設置在該筒匣插入總成28上方。在一較佳實施例中，該主氮線64之流動係藉由該氮計量閥30調節。該氮計量閥30控制氮壓力且將氮源進一步分成多數供應氮至多數 筒匣插入總成28及多數抽取總成32之多數氮副線。類似地，該主壓縮空氣線66係藉由該壓縮空氣計量閥31調節，且該壓縮空氣計量閥31控制壓縮空氣壓力且將壓縮空氣源分成多數蒸發總成34。圖9亦顯示多數蒸氣出口102，且該等蒸氣出口102將含有有效成份之化學蒸氣傳送至在以下更詳細地說明的該化學蒸氣沉積系統之一處理腔室。

請參閱圖5至7及10至11，該抽取總成32宜包含可以一垂直方向沿一下線性機械致動器軌道78移動之一下線性機械致動器80，附接在該下線性機械致動器80上之一抽取矛72，覆蓋該抽取矛72之一有脊套筒74及用以收集抽取之液體化學品的一化學品收集塊88。依據一實施例，可藉由該PLC自動地操作該下線性機械致動器80。在另一實施例中，可藉由手手動地操作該下線性機械致動器80。該抽取矛72可在該有脊套筒74內垂直地移動。該有脊套筒74提供一封圍保護以確保在該抽取程序中沒有有害蒸氣由該等有效成份逸出。在另一實施例中，可進一步設置一波紋管76以覆蓋該有脊套筒74且增加加一層煙霧圍阻體。

如圖10所示，該抽取矛72宜更包含一中央腔82，一垂直溝槽84，及至少一圓周溝槽86。該中央腔82讓氮可在該抽取程序時供應至該小瓶42中。該垂直溝槽84讓抽取之液體可向下流出至下方之化學品收集塊88。該圓周溝槽86在抽取時在該刺穿點卡掣該障壁44。在操作時，在開始刺穿該障壁44後，該下機械致動器以一向下方向倒退數毫米。因此，該圓周溝槽86將該障壁44稍微向下拉以形 成一漏斗以便最佳地收集在該筒匣40中之化學品。在一實施例中，該抽取矛72可包含兩圓周溝槽86。

圖11顯示依據一較佳實施例之化學品收集塊88。該化學品收集塊88更包含一液體收集腔室90，一氮線92及將抽取之化學品引導至該蒸發總成34之一液體入口94。該氮線92供應氮壓力至該小瓶42中以協助該液體抽取。較佳地，該液體收集腔室90具有一倒錐形以確保由該筒匣40完全收集抽取之液體化學品。

圖12顯示該蒸發總成34之一較佳實施例。在此，該蒸發總成34更包含一蒸發腔室96，一壓縮空氣源100，將有效化學蒸氣由該蒸發腔室96傳送至該化學蒸氣沉積系統之處理腔室的該蒸氣出口102，用以調節進入該蒸發腔室96之壓縮空氣壓力流之一壓縮空氣閥104，及用以調節由該蒸發腔室96至該處理腔室之化學蒸氣流之一蒸氣壓力閥106。抽取之液體化學品係由該液體收集腔室90通過該液體入口94傳送至該蒸發腔室96。在一方面，可設置多數蒸發總成34以便讓多數液體化學品蒸發且同時將得到之蒸氣傳送至該處理腔室。作為一例且不作為一限制，圖12顯示一第二蒸發總成34-2，其中類似結構之元件係由後接“-2”之相同符號表示。

在已更詳細說明該化學品導入系統10之各種組件後，以下可藉由參照以下說明及圖13至15更了解該化學品導入系統10之操作的較佳原理。圖13A與13B顯示在啟動該化學品導入系統10前與後，該筒匣插入總成28之前視 圖。圖14A至14D顯示在啟動該化學品導入系統10前與後，該筒匣插入總成28之立體圖。圖15A與15B顯示在啟動該化學品導入系統10前與後，該抽取總成32之立體圖。

在啟動該化學品導入系統10前，在該障壁44面向下之情形下，該筒匣40插入在該液體化學品傳送隔室14內之配合安裝槽孔36中。在該筒匣40適當地插入該安裝槽孔36後，操作者接著關閉該筒匣隔室門24且藉由使用該觸控螢幕PLC控制模組18啟動該化學品導入系統10及該化學蒸氣沉積系統。該PLC提供該操作者依據一預設自動程式或一手動程式藉由控制例如步驟運轉時間等之某些參數運轉該等系統的選項。

該化學蒸氣沉積程序需要該基材之表面包含一有效量之水分以便與該等有效成份反應以形成一薄膜塗層。因此，依據一較佳實施例，該化學蒸氣沉積系統及該化學品導入系統10係同時啟動。首先，將一欲塗布之基材放在該化學蒸氣沉積系統之處理腔室中。可設置一濕度計以便在以該有效成份處理該基材前，先測量周圍濕度。在由該濕度計接收濕度資料後，該PLC接著計算一適當運轉時間以便依據一預定公式加入濕度至該處理腔室。接著，該PLC接合一增濕器以便依據該預定運轉時間將水分注入該處理腔室。在該加濕步驟完成後，該PLC接著由該處理腔室抽空周圍空氣以儘可能地移除空氣中之水分，只在該基材上留下用於進一步化學處理之水分。

與啟動該化學蒸氣沉積系統同時地，該PLC啟 動在該化學品導入系統10上之程式。如圖14A與14B所示，該上線性機械致動器60開始沿該上線性機械致動器軌道62以一向下方向移動以便在該化學品抽取程序時讓該扣持夾57確實地保持該筒匣40在該安裝槽孔36中。在設置該透明圍阻蓋58之一實施例中，如圖14C與14d所示，在該化學品抽取程序中該透明圍阻蓋58確實地保持該筒匣40在該安裝槽孔36中且提供防止水分進入及化學煙霧釋出之一氣密密封。

依據一較佳實施例，該筒匣插入總成28可更包括用以偵測空氣洩漏之一壓力感測器。如果該壓力感測器在該系統之操作周邊外，則該PLC將使該上線性機械致動器60稍微退後且再使它以一向下方向移動以便重新放置該筒匣40。該壓力感測器將再使用以決定任一洩漏。如果沒有發現洩漏，則該程序將繼續。如果發現一洩漏，則該程序將停止且將在該觸控螢幕PLC控制模組18顯示一錯誤碼。又，在使用該圍阻蓋58之實施例中，依據一預定時間將氮供應至該透明圍阻蓋58以進一步驅出水分且確保一氣密密封。一旦這步驟完成後，該化學品導入系統10將等待直到該化學蒸氣沉積系統之處理腔室中之增濕步驟完成為止。

在該處理腔室之增濕程序完成後，此時該化學品導入系統10係準備好可實施由該筒匣40抽取該液體化學品。在如由該濕度計讀數及一預定公式所決定地進行增濕該適當時間後，該PLC接著啟動該下線性機械致動器80 以便沿該下線性機械致動器軌道78以一向上方向移動且使該附接之抽取矛72上升直到該抽取矛刺穿該筒匣40之再密封隔膜44為止。一旦該抽取矛72已完全刺穿該障壁44後，通過該抽取矛72之中央腔82供應惰性氣體，最好是氮。重力與氮壓力之組合迫使在該小瓶42內之液體化學品通過該垂直溝槽84向下流出至在該化學品收集塊88內之該液體收集腔室90。在這抽取程序中，該有脊套筒74提供一圍阻系統以防止該液體化學品及其蒸氣之釋出。在另一實施例中，可進一步設置該波紋管76以覆蓋該有脊套筒74。如上所述及圖10中所示，該抽取矛72之圓周溝槽86卡掣該障壁44之刺穿點且稍微下拉該障壁44以形成一漏斗以便確保完全收集該液體化學品。

該化學品收集塊88引導該抽取之化學品及其蒸氣通過該液體入口94至該蒸發腔室96。一旦該液體化學品被收集在該蒸發腔室96內後，抽吸壓縮空氣通過該化學品以蒸發該液體且將該等蒸氣載送至該化學蒸氣沉積系統之處理腔室中。進入該蒸發腔室96之壓縮空氣流係藉由該壓縮空氣閥104及該壓縮空氣計量閥31調節。由該蒸發腔室96進入該化學蒸氣沉積系統之處理腔室之化學蒸氣流係藉由該蒸氣壓力閥106控制。

圖16顯示用於在不需要該筒匣插入總成28及該抽取總成32之一基材上一化學沉積程序之一化學品導入系統10d的另一實施例。在這另一實施例中，包含用於該化學沉積程序之一界定劑量之有效成份的一密封筒匣40d 可包含一無水分小瓶42d，用以密封該小瓶42d之開口之一低透射內蓋46d，一筒匣外殼48d及用以密封該筒匣外殼48d之一外蓋53d。在一實施例中，該內蓋46d及該運送及處理蓋53可具有螺紋。將該所需有效成份分配至該小瓶42d中，接著將該小瓶42d放在該筒匣外殼48d內。該筒匣40d可依據上述較佳實施例製備以確保其內部沒有周圍水分。

在這實施例中，提供包含一蒸發腔室96d、一蒸發腔室蓋26d、一壓縮空氣源100d及一化學蒸氣出口102d之一蒸發總成34d。在一實施例中，該蒸發腔室96d可呈圓柱形，其中其開口之外部具有螺紋以配合該蒸發腔室蓋26d之內螺紋而達成一氣密密封。但是，應了解的是該蒸發腔室96d可使用任何幾何形狀。

該化學品導入系統10d在開始時由該筒匣40d移除該外蓋53d及該內蓋46d以暴露該液體化學品，移除該蒸發腔室蓋26d，且將該筒匣40d放在該蒸發腔室96d內。接著，以該蒸發腔室蓋26d再密封包含該開啟筒匣40d之蒸發腔室96d。接著透過該壓縮空氣源線100d供應壓縮空氣至該蒸發腔室96d中以蒸發該液體化學品且將含有該等有效成份之蒸氣透過該出口102d送入該化學蒸氣沉積系統之處理腔室中。

由該化學品導入系統10，或該化學品導入系統10d，該等化學蒸氣進入該化學蒸氣沉積系統之處理腔室。依據一較佳實施例，在進入該處理腔室後，在該等蒸 氣中之有效成份與在該基材上之水分或在該基材內之元素(例如，在玻璃內之二氧化矽、在鋼內之金屬氧化物或預施加在該基材上之二氧化矽)反應以便在該基材上產生一薄膜塗層。在一實施例中，在該處理腔室內之空氣係依據一預定時間使用一特別設計之風扇及管路系統循環以確保一理想量之空氣渦流以使該蒸氣沉積程序最佳化。在該蒸氣沉積程序完成後，透過過濾該空氣且中和任何空氣中之酸之一過濾器的一空氣洗滌器抽空任何剩餘化學蒸氣及空氣中之副產物。在一方面，該空氣洗滌器可包含顆粒過濾器及以一吸收酸或中和介質填充之一連串托盤。由該空氣洗滌器得到之輸出係不含有害元素之一pH中性空氣。

圖17與18顯示以一符號200表示之該化學蒸氣沉積系統之一實施例的側視圖及立體圖，且該化學蒸氣沉積系統包括在一全包含腔室內之一輸送、組裝線型系統。該輸送線可包括，但不限於，一輸送帶、一籃、一載體或任何適當線上加工機構。該化學蒸氣沉積系統200可與上述化學品導入系統10一起，或獨立地使用。在一起使用該化學蒸氣沉積系統200與該化學品導入系統10之實施例中，使用用於一預定期間之一單次操作之包含在等筒匣40中的界定劑量有效成份。另一方面，在不一起使用該化學蒸氣沉積系統200與該化學品導入系統10之實施例中，可手動地導入該等有效成份。應了解的是依據任一實施例之化學蒸氣沉積程序係在周圍溫度及壓力下連續地實施。

如圖17與18所示，該化學蒸氣沉積系統200宜包含一輸送帶234，一處理腔室210，一壓縮清潔空氣系統208，一水蒸氣系統218，一化學蒸氣系統220，用以抽空未反應有效成份及酸性副產物之一真空系統222，及與該真空系統222連接以便在該載送空氣釋出至環境前收納及中和該等酸性副產物之一中和系統224。在一實施例中，該處理腔室210可呈圓柱形。

該壓縮清潔空氣系統208可更包含一中央空氣源214，一主空氣導管212及多數空氣幕216，其中類似結構之元件係由後接例如“-2”，“-3”，“-4”等連續數字之相同符號表示。

該水蒸氣系統218可更包含多數水蒸氣入口226，其中類似結構之元件係由後接例如“-2”，“-3”，“-4”等連續數字之相同符號表示。該水蒸氣系統218宜沿該輸送帶234放在該輸送帶234上方且在該處理腔室210內。

類似地，該化學蒸氣系統220可更包含沿該輸送帶234之長度放在該輸送帶234之長度上方且在該處理腔室210內的多數化學蒸氣入口228，其中類似結構之元件係由後接例如“-2”，“-3”，“-4”等連續數字之相同符號表示。該等多數水蒸氣入口226及該等化學蒸氣入口228可組配成依據將在以下更詳細所述之所需塗布程序，藉由該等多數空氣幕216以一交錯之方式分開。

該真空系統222可更包含多數真空通道246，其中類似結構之元件係由後接例如“-2”，“-3”，“-4”等連續數 字之相同符號表示。在一較佳實施例中，該等真空通道246係沿該輸送帶234之長度放在該輸送帶234之長度下方，且進一步與該中和系統224連接。該中和系統224可包含一中和溶劑貯器240，與該等多數真空通道246連接之一蒸氣導管280，在該蒸氣導管280內之多數溶劑入口248，及由該中和溶劑貯器240由出該中和溶劑且將它傳送至該等鹼性溶劑入口248之一貯器泵242。在另一實施例中，該中和系統224可包含一空氣洗滌器，且該空氣洗滌器進一步包含顆粒過濾器及以一吸收酸或中和介質填充之一連串托盤(未圖示)。

如圖17與18所示，該處理腔室210之內部被沿該輸送帶234放在該輸送帶234上方之該等多數空氣幕216分成多數隔室，以防止在水分與化學蒸氣間之交叉污染。依據一較佳實施例，壓縮清潔空氣係透過該主空氣導管212由該中央空氣源214供應且分配至該等多數空氣幕216。各空氣幕216形成防止蒸氣在該處理腔室210內由一區域移動至另一區域的一障壁。如圖所示，一第一隔室250可包含放在一空氣幕216與一第二空氣幕216-2間之一第一水蒸氣入口226，一第二隔室260可包含放在該第二空氣幕216-2與一第三空氣幕216-3間之一第一化學蒸氣入口228，一第三隔室270可包含放在該第三空氣幕216-3與一第四空氣幕216-4間之一第二水蒸氣入口226-2，一第四隔室280可包含放在該第四空氣幕216-4與一第五空氣幕216-5間之一第二化學蒸氣入口228-2，且一第五隔室290 可包含放在該第五空氣幕216-5與一第六空氣幕216-6間之一壓縮空氣噴嘴232。

在已更詳細說明該輸送化學蒸氣沉積系統200之各種組件後，以下提供一種用以在一封閉化學蒸氣沉積系統中在一基材上產生薄膜塗層之較佳方法。簡言之，依據一較佳實施例，將一欲處理之基材放在該輸送帶234上且在該處理腔室210內沿一連串水及化學蒸氣沉積處理移動。該處理腔室210包含多數隔室。在一第一隔室中，先以水分處理該欲處理之基材。接著，將該基材繼續移動至將有效成份之蒸氣施加在該基材上之另一隔室。當使用多數有效成份時，該基材可移動通過多數水分隔室及多數化學蒸氣隔室。在該化學蒸氣沉積程序完成且該基材塗布所需薄膜塗層後，該基材離開該處理腔室210。同時，依據較等較佳實施例，在該載送空氣中之任何未反應化學品及酸性副產物在釋放至環境前均被中和。

圖17與18顯示一種用以在一封閉化學蒸氣沉積系統中在一基材上產生薄膜塗層之較佳方法。依據該較佳實施例，將一欲處理之基材120放在該輸送帶234上，藉由一對機械手臂236與238確實地固持，且移入該處理腔室210以進行一連串水及化學蒸氣處理。在圖17與18中，該基材之一例係顯示為一飲料瓶。當該基材120進入該第一隔室250時，該第一水蒸氣入口226在該瓶120通過該第一隔室250時沉積水分在該瓶120之表面上。在該水分沉積完成後，一第一真空通道246在該第一隔室250之邊界將空氣 中之水分抽入該第四隔室280且只在該基材120之表面上留下水分。接著，該基材120通過一空氣幕216-2，且進入該第二隔室260以進行一第一有效成份之化學蒸氣沉積處理。

在進入該第二隔室260後，該第一化學蒸氣入口228依據一預定時間沉積該第一有效化學成份之蒸氣在該基材120上。在該基材120之表面上之水分與該化學蒸氣反應以便在該基材120之表面上形成一薄膜塗層。當輸送該基材120通過該第二隔室260時，該第一化學蒸氣沉積完成且一第二真空通道246-2在該第二隔室260之邊界將所有未反應之化學成份及酸性副產物抽入在該輸送帶234下方之蒸氣導管280。接著輸送該基材120通過一第三空氣幕216-3。

該基材120進入該第三隔室270，其中一第二水蒸氣入口226-2依據一預定時間沉積水分在該基材之表面上，為一第二有效化學成份之一第二處理作準備。類似於該第一水分處理，在該第三隔室270之邊界，一第三真空通道246-3將空氣中之水分抽入該蒸氣導管280且只在該基材120之表面上留下水分。接著該基材120通過一第四空氣幕216-4且進入該第四隔室280以進行該第二有效成份之第二化學蒸氣沉積處理。

在該第四隔室280中，該第二化學蒸氣入口228-2沉積該第二有效成份之蒸氣在該基材120之表面上。在該基材120上之表面上之水分與該化學蒸氣反應以 便在該基材120之表面上形成一第二薄膜塗層。當該基材被輸送通過該第四隔室280時，該第二化學蒸氣沉積完成且一第第四真空通道246-4在該第四隔室280之邊界將所有未反應之化學成份及酸性副產物抽入在該輸送帶下方之蒸氣導管280。該基材120通過一第五空氣幕216-5且繼續進入該第五隔室290。

在進入該第五隔室290後，該壓縮空氣噴嘴232施加高壓壓縮空氣在該基材120上且當該基材120被輸送通過該隔室290時透過一真空通道248-9將副產物抽入該蒸氣導管280以便由該基材之表面移除多餘之化學品。在該程序完成後，該經處理之基材120接著通過一最後空氣幕216-6且離開該圓柱形化學蒸氣沉積腔室。

應了解的是該化學蒸氣沉積系統200可使用二種以上之有效成份，且因此可包含多數加水隔室及多數化學蒸氣處理隔室。

在該載送空氣釋放在開放環境前，由依據該系統200之化學蒸氣沉積程序產生之所有未反應之化學品及酸性副產物在該中和系統224中均被中和。在一實施例中，例如鹼性溶液之中和劑係儲存在該溶劑貯器240中。在該化學蒸氣沉積程序中，所有未反應之化學品及酸性副產物均透過該等真空通道246進入在該輸送帶234下方之蒸氣導管280。接著該貯器泵242由該溶劑貯器240抽出該鹼性溶液且透過該等多數溶劑入口248將該鹼性溶液傳送至該蒸氣導管280以便在該蒸氣導管280內中和該等酸性副產 物及未反應化學品。在該等蒸氣被完全中和後，透過該導管開口274釋放無害之蒸氣至開放空氣中。

在另一實施例中，所有未反應之化學品及酸性副產物通過過濾該空氣且中和任何空氣中之酸之一空氣洗滌器。在一方面，該空氣洗滌器包含一顆粒過濾器及以吸收酸或中和介質填充之一連串托盤。來自該基材之得到輸出係不含有害元素之一pH中性空氣。

圖19顯示一種用以在一封閉化學蒸氣沉積系統中導入空氣敏感液體化學品至一基材之較佳方法300。該方法300可包含：一步驟310，係為一化學蒸氣沉積程序提供含有一界定劑量之特定液體化學品的一無水分筒匣；一步驟320，係提供一封閉抽取機構以便由該筒匣抽取該液體化學品；及一步驟330，係傳送在該抽取之液體化學品中之有效成份至該化學蒸氣沉積系統之一處理腔室。

為一化學蒸氣沉積程序提供含有一界定劑量之特定液體化學品之一無水分筒匣的步驟310可更包含依據一預定量時間由一小瓶移除周圍水分；分配該界定劑量之液體化學品至該小瓶中在惰性氣體包覆層下方；以一再密封隔膜及一蓋密封該小瓶；及將該小瓶放在一保護外殼內。

在一較佳實施例中，依據一預定量時間由一小瓶移除周圍水分之步驟可包含依據一預定量時間以一氮氣沖洗該小瓶以便以氮氣由該小瓶之內部取代周圍空氣。或者，這步驟可藉由施加真空壓力至該小管一段時間 且接著以氮氣沖洗該小管。

分配該界定劑量之液體化學品至該小瓶中在惰性氣體包覆層下方之步驟可包含維持該小管之內部在氮氣沖洗下；測量欲在該化學蒸氣沉積中使用之液體化學品之一精確量；及在氮氣沖洗下將測量之液體化學品劑量分配至該小管中。

將該小瓶放在一保護外殼內之步驟可更包含提供該保護外殼具有確實地嵌合該小管之一中空腔室及組配成可嵌入一自動化學品導入系統之一安裝槽孔中的一外形。在一較佳實施例中，該保護外殼可包括一圓柱形外形。在另一較佳實施例中，該保護外殼可包括一矩柱形外形。應了解的是該保護外殼不限於所述實施例且可使用配合一特殊安裝槽孔之任何幾何形狀。在另一實施例中，靠近該中空腔室之該外殼之一外部可具有螺紋以便讓具有內螺紋之一配合蓋在運送及處理時得到另外之保護。

提供一封閉抽取機構以便由該筒匣抽取該液體化學品之步驟320可更包含在一化學品導入系統上提供一安裝槽孔，且該安裝槽孔係組配成收納具有一特殊形狀之一筒匣，並且該特殊形狀配合該安裝槽孔；在該安裝槽孔上方提供一筒匣固定機構，該筒匣固定機構可以一垂直方向移動以便在液體化學品抽取時固定該筒匣；提供一抽取矛，該抽取矛係附接在一下線性機械致動器上，且該下線性機械致動器係在該安裝槽孔下方且可以一垂直方向移動以便由該筒匣抽取液體化學品；及提供一化學品收集塊 以收集該抽取之液體化學品。在另一實施例中，可設置一有脊套筒以封閉該抽取矛。在又一實施例中，可設置一波紋管以封閉該有脊套筒。

較佳地，該筒匣固定機構可包含一扣持夾。在另一實施例中，該筒匣固定機構可包含一透明圍阻蓋。又，該筒匣固定機構可藉由一PLC自動地操作或藉由手手動地操作。依據一較佳方法，該步驟320更包含將該筒匣面向下地放在該化學品導入系統之配合安裝槽孔上。當致動該系統時，該筒匣固定機構係組配成固定該筒匣，為該液體化學品抽取作準備。在該筒匣固定機構包含該透明圍阻蓋以完全封閉該筒匣之實施例中，提供一氮源以便在該筒匣封閉後沖洗該圍阻蓋內部之水分。

該步驟320更包含致動該下線性機械致動器以一向上方向移動以使該抽取矛上升且以該抽取矛刺穿該筒匣。施透過該抽取矛施加氮壓力至該筒匣中以協助該液體化學品向下流出該矛且被收集在該化學品收集塊中。

蒸發及傳送在該抽取之液體化學品中之有效成份至該化學蒸氣沉積系統之一處理腔室的步驟330可更包含提供一蒸發腔室以便由該化學品收集塊收納該液體化學品；依據一預定時間將壓縮空氣抽至該液體化學品上方以便蒸發該液體化學品；及藉由進一步施加壓縮空氣壓力至該蒸發腔室，通過一出口傳送呈一蒸氣狀態之有效成份至該處理腔室。

圖20顯示一種準備含有空氣敏感之液體化學品 之一無水分筒匣供在一化學蒸氣沉積系統中使用的較佳方法400。該方法400可包含：一步驟410，係依據一預定時間由一小瓶移除周圍水分；一步驟420，係分配一界定劑量之液體化學品至該小瓶中在惰性氣體包覆層下方；一步驟430，係以一障壁及一蓋密封該小瓶；及一步驟440，係將該小瓶放在一保護外殼內。

依據一預定時間由一小瓶移除周圍水分之步驟可更包含以氮氣沖洗該小瓶一段時間以便以氮由該小管之內部取代該周圍空氣。或者，這步驟可更包含施加真空壓力至該小瓶一段時間及接著以氮氣沖洗該小瓶。

分配一界定劑量之液體化學品至該小瓶中在惰性氣體包覆層下方之步驟420可更包含維持該小管之內部在氮氣沖洗下；測量欲在該化學蒸氣沉積中使用之液體化學品之一精確量；及在氮氣沖洗下將測量之液體化學品劑量分配至該小管中。

將該小瓶放在一保護外殼內之步驟440可更包含提供該保護外殼具有確實地嵌合該小管之一中空腔室及組配成可嵌入一自動化學品導入系統之一安裝槽孔中的一外形。在一較佳實施例中，該保護外殼可包括一圓柱形外形。在另一較佳實施例中，該保護外殼可包括一矩柱形外形。應了解的是該保護外殼不限於所述實施例且可使用配合一特殊安裝槽孔之任何幾何形狀。在另一實施例中，靠近該中空腔室之該外殼之一外部可具有螺紋以便讓具有內螺紋之一配合蓋在運送及處理時得到另外之保護。

圖21顯示在一封閉化學蒸氣沉積系統中自動地導入空氣敏感液體化學品至一基材之另一較佳方法500，該方法500包含：一步驟510，係為一化學蒸氣沉積程序提供含有一界定劑量之特定液體化學品之一無水分筒匣；一步驟520，係提供組配成收納該筒匣之一安裝槽孔；一步驟530，在啟動該系統時確實地保持該筒匣在該安裝槽孔中；一步驟540，係在一封閉環境中由該筒匣抽取液體化學品；及一步驟550，係傳送包含在該液體化學品中之有效成份至一化學蒸氣系統之一處理腔室。

為一化學蒸氣沉積程序提供含有一界定劑量之特定液體化學品之一無水分筒匣的步驟510可更包含依據一預定量時間由一小瓶移除周圍水分；分配該界定劑量之液體化學品至該小瓶中在惰性氣體包覆層下方；以一障壁及一蓋密封該小瓶；及將該小瓶放在一保護外殼內。

提供組配成收納該筒匣之一安裝槽孔的步驟520可更包含提供一安裝槽孔，且該安裝槽孔具有配合該筒匣之底部之一形狀。在另一實施例中，該步驟520可更包含提供多數安裝槽孔。

在啟動該系統時確實地保持該筒匣在該安裝槽孔中之步驟530可包含提供一筒匣固定機構，且該筒匣固定機構可以垂直方向移動以便在啟動該系統時確實地保持該筒匣在該安裝槽孔中。在一實施例中，該筒匣固定機構可更包含一扣持夾。在另一較佳實施例中，可提供一透明圍阻蓋。在該實施例中，例如氮之一惰性氣體可導引至 該透明圍阻蓋以沖洗任何水分。

該步驟530可藉由手手動地實施或使用一PLC自動地操作。

在一封閉環境中由該筒匣抽取液體化學品之步驟540可包含提供一抽取矛，該抽取矛係附接在可以一垂直方向移動之一下線性機械致動器上，其中該下機械致動器使該矛上升以便在啟動該系統時刺穿該筒匣且抽出該液體化學品，且其中該抽取矛供應氮壓力至該筒匣中。提供一化學品抽取塊以便收集該液體化學品。該下線性機械致動器可藉由手手動地移動或藉由該PLC自動地移動。此外，該步驟530可更包含提供一化學品抽取塊以便收集該液體化學品。在一較佳實施例中，該步驟530可更包含將該抽取矛封閉在一有脊套筒系統內。在另一實施例中，可設置一波紋管以覆蓋該有脊套筒系統。

傳送包含在該抽取之液體化學品中之有效成份至一化學蒸氣沉積系統之一處理腔室的步驟550可更包含提供一蒸發隔室，且該蒸發隔室係組配成蒸發由該筒匣抽取之液體化學品至一蒸氣狀態且載送在該蒸氣中之有效成份至一化學蒸氣沉積系統之一處理腔室。

圖22顯示一種藉由化學蒸氣沉積在有機及無機基材上產生保護薄膜之較佳方法600。該方法600可包含：一步驟610，係提供包含一輸送器、一水分處理系統、一化學蒸氣沉積系統、一壓縮清潔空氣系統及一蒸氣中和系統之一輸送處理腔室；一步驟620，係使用該壓縮清潔空氣系 統在該處理腔室內分開該水分處理系統及該化學蒸氣沉積以防止在水分與有效化學成份間之交叉污染；一步驟630，係將一基材放在一輸送器上以便讓該基材進行一連串水分及化學蒸氣處理；及一步驟640，係在釋放該載送空氣至開放環境前，藉由抽空未反應之化學成份及化學副產物至該蒸氣中和系統，中和任何未反應之化學成份及化學副產物。

提供包含一輸送器、一水分處理系統、一化學蒸氣沉積系統、一壓縮清潔空氣系統及一蒸氣中和系統之一輸送處理腔室的步驟610更包含將該水分處理系統沿該輸送器放在該輸送器上方，其中該水分處理系統包括多數水蒸氣入口。此外，該步驟610亦可包含將該化學蒸氣沉積系統沿該輸送器放在該輸送器上方，其中該化學蒸氣沉積系統包括多數化學蒸氣入口。

使用該壓縮清潔空氣系統在該處理腔室內分開該水分處理系統及該化學蒸氣沉積以防止在水分與有效化學成份間之交叉污染可更包含提供一中央清潔空氣源；提供與該清潔空氣源連接之一主空氣導管；及提供與該主空氣導管連接，沿該輸送器之長度放在該輸送器之長度上方之多數空氣幕以便使用一空氣幕分開一水分處理隔室及一化學蒸氣隔室。

在釋放該載送空氣至開放環境前，藉由抽空未反應之有效成份及化學副產物至該蒸氣中和系統，中和任何未反應之有效成份及化學副產物的步驟640可更包含在 該輸送器下方提供多數真空通道以抽空該等未反應有效成份及副產物至一蒸氣導管；提供含有一中和劑之一溶劑貯器；在該蒸氣導管中提供多數中和溶劑入口；及提供一溶劑泵以將該中和劑由該溶劑貯器抽出且傳送該中和劑至該等多數溶劑入口以便在釋放該等蒸氣之前中和在該蒸氣導管內之有害蒸氣。或者，該步驟640可包含提供一空氣洗滌器，且該空氣洗滌器更包含一顆粒過濾器及以吸收酸或中和介質填充之一連串托盤。

在不偏離本發明之精神與範疇之情形下，所屬技術領域中具有通常知識者可進行許多改變及修改。因此，必須了解的是所示實施例已只為舉例而提出且它們不應被視為如藉由以下申請專利範圍所界定地限制本發明。例如，雖然事實上一申請專利範圍之元件係以某種組合在以下提出，但是必須特別了解的是本發明包括所揭露元件中較少、較多或不同元件之其他組合。

在這說明書中說明本發明及其各種實施例所使用之字不應只以它們一般定義之意義了解，而是藉由在這說明書中之特殊定義包括它們呈一單一形式之上位結構、材料或動作。

因此，以下申請專利範圍之字或元件之定義係定義在這說明書中且不只包括以文字提出之元件之組合。在這方面，因此可預期的是在以下申請專利範圍中之元件中的任一元件可做成二或二以上元件之一等效替代物且在一申請專利範圍中之二或二以上元件可取代一單 一元件。雖然多數元件可在以上說明為在某些組合中動作且甚至在一開始便如此主張，但是應特別了解的是來自一主張之組合之一或一以上元件可在某些情形下由該組合刪去且該主張之組合可有關於一次組合或一次組合之變化。

現在習知或稍後想出之如由所屬技術領域中具有通常知識者所見的主張標的物之實質變化可特別地預期為在申請專利範圍之範疇內為等效。因此，目前及以後對所屬技術領域中具有通常知識者為習知之明顯替代物係定義為在所界定元件之範圍內。

因此應了解的是申請專利範圍包括以上特別顯示及說明者，觀念上等效者，可明顯地取代者及具有本發明之主要想法者。

10‧‧‧化學品導入系統

12‧‧‧控制面板隔室

14‧‧‧液體化學品傳送隔室

16‧‧‧控制面板隔室門

18‧‧‧觸控螢幕PLC控制模組

20‧‧‧筒匣隔室

22‧‧‧蒸發隔室

24‧‧‧筒匣隔室門

26‧‧‧蒸發隔室門

Claims (26)

1. 一種用於在一基材上之一化學蒸氣沉積程序的化學品導入系統，包含：一密封筒匣，其含有用於該化學蒸氣沉積程序之一界定劑量之液體化學品；一安裝槽孔，係組配成收納該密封筒匣；一上線性機械致動器，係可以一垂直方向移動以便在啟動該系統時確實地保持該密封筒匣在該安裝槽孔中；一抽取矛，係附接在可以一垂直方向移動之一下線性機械致動器上，其中該下機械致動器在啟動該系統時使該矛上升以刺穿該密封筒匣且抽吸該液體化學品；一化學品收集塊，係用以收集該液體化學品；及一蒸發隔室，係組配成蒸發由該化學品收集塊接收之該液體化學品且載送在該等蒸氣中之有效成份至一化學蒸氣沉積系統之一處理腔室。
2. 如請求項1之化學品導入系統，更包含一氮源及一壓縮空氣源。
3. 如請求項1之上機械致動器，更包含一扣持夾。
4. 如請求項1之化學品導入系統，更包含一可程式邏輯控制器，該可程式邏輯控制器讓該化學品導入系統及該化學蒸氣沉積系統可同時地操作。
5. 如請求項1之上線性機械致動器，更包含一透明圍阻蓋 及一氮源。
6. 如請求項1之系統，其中該上線性機械致動器及該下線性機械致動器係手動地操作。
7. 如請求項1之密封筒匣，更包含：一小管；一隔膜，係密封該小管之一開口；一蓋，係確實地固定該隔膜在該小管上；及一外殼，其具有一壁厚度及封閉該小管之一中空腔室。
8. 如請求項6之密封筒匣，其中該外殼係一圓柱體。
9. 如請求項1之抽取矛，更包含一中空腔，一垂直溝槽，及一圓周溝槽。
10. 如請求項1之抽取矛，其中該抽取矛可在一有脊套筒系統內移動以便在化學品抽取時防止蒸氣釋出。
11. 如請求項9之抽取矛，其中氮係在化學品抽取時透過該中空腔提供。
12. 一種用於在一基材上之一化學蒸氣沉積程序的化學品導入系統，包含：一密封筒匣，其含有用於該化學蒸氣沉積程序之一界定劑量之液體化學品；一安裝槽孔，係組配成收納該密封筒匣；一透明圍阻蓋，係附接在一上線性機械致動器且可以一垂直方向移動以便在啟動該系統時確實地保持該密封筒匣在該安裝槽孔中； 一抽取矛，係附接在可以一垂直方向移動之一下線性機械致動器上，其中該下機械致動器在啟動該系統時使該矛上升以刺穿該密封筒匣且抽吸該液體化學品；一化學品收集塊，係用以收集該液體化學品；及一蒸發隔室，係組配成蒸發由該化學品收集塊接收之該液體化學品且載送在該等蒸氣中之有效成份至一化學蒸氣沉積系統之一處理腔室。
13. 如請求項12之系統，其中該上線性機械致動器及該下線性機械致動器可手動地操作。
14. 如請求項12之化學品導入系統，更包含一氮源及一壓縮空氣源。
15. 如請求項12之化學品導入系統，更包含一可程式邏輯控制器，該可程式邏輯控制器讓該化學品導入系統及該化學蒸氣沉積系統可同時地操作。
16. 如請求項12之抽取矛，更包含一中空腔，一垂直溝槽，及一圓周溝槽。
17. 如請求項12之抽取矛，其中該抽取矛可在一有脊套筒系統內移動以便在化學品抽取時防止蒸氣釋出。
18. 一種含有用於一蒸氣沉積程序之一界定劑量之空氣敏感化學品的密封筒匣，包含：一小管，係以氮包圍層沖洗；一隔膜，係密封該小管之一開口；一蓋，係確實地固定該隔膜在該小管上；及一外殼，其具有一壁厚度及封閉該小管之一中空 腔室。
19. 如請求項18之密封筒匣，其中該外殼具有一形狀，且該形狀可被一化學品導入系統之一配合安裝槽孔收納。
20. 如請求項18之密封筒匣，其中該外殼更包含一外螺紋底部，且該外螺紋底部配合一運送及處理蓋之一內螺紋部份。
21. 一種用以在有機及無機基材上產生保護薄膜塗層之化學蒸氣沉積系統，包含：一化學蒸氣沉積處理腔室；一輸送器，係可在該處理腔室內移動；一壓縮清潔空氣系統，係用以在該處理腔室內提供多數分開之處理隔室；一水分蒸氣系統，係用以在化學蒸氣沉積前沉積水分在一基材之一表面上；一化學蒸氣系統，係用以在該基材之該表面上沉積有效成份；及一化學蒸氣中和系統，係用以在將後處理載送空氣釋放至環境前中和未反應有效成份及酸性副產物。
22. 如請求項21之壓縮清潔空氣系統，更包含：一中央清潔空氣源；一主空氣導管，係與該清潔空氣源連接；及多數空氣幕，係與該主空氣導管連接，且沿該輸送器之長度放在該輸送器之長度上方。
23. 如請求項21之水分蒸氣系統，更包含多數水蒸氣入口， 且該等水蒸氣入口係沿該輸送器之長度放在該輸送器之長度上方。
24. 如請求項21之化學蒸氣系統，更包含多數化學蒸氣入口，且該等化學蒸氣入口係沿該輸送器之長度放在該輸送器之長度上方。
25. 如請求項21之化學蒸氣中和系統，更包含：多數真空通道，係在該輸送器下方以便將未反應之有效成份及酸性副產物抽至一蒸氣導管；一溶劑貯器，其含有一中和劑；多數中和溶劑入口，係放在該蒸氣導管中；及一溶劑泵，係用以由該溶劑貯器抽出該中和劑且將該中和劑傳送至該等多數溶劑入口以便在釋放該等蒸氣前中和在該蒸氣導管內之有害蒸氣。
26. 如請求項21之化學蒸氣中和系統，更包含一顆粒過濾器及以吸收酸或中和介質填充之一連串托盤。