TW201350934A - 偏光元件單元、調整用治具、燈管交換台及照射裝置 - Google Patents

Abstract

本發明之課題在於可準確地調整線柵偏光元件。偏光元件單元10構成為具備：複數個線柵偏光元件16，其使光偏光；及框架14，其並列配置上述線柵偏光元件16；且上述框架14具備對每一上述線柵偏光元件16規定安裝位置之安裝部31，於上述安裝部31，可以上述線柵偏光元件16之平面之中心C為軸心轉動地設有上述線柵偏光元件16。

Description

偏光元件單元、調整用治具、燈管交換台及照射裝置

本發明係關於一種並列設有複數個線柵偏光元件之偏光元件單元、用以調整該偏光元件單元所具備之線柵偏光元件之各者之線柵之方向的調整用治具、包括偏光元件單元之照射裝置、及用於照射裝置之燈管交換台。

先前，已知藉由對配向膜或配向層(以下將該等稱為「光配向膜」)照射偏光光束而配向之稱為光配向之技術，該光配向廣泛應用於液晶顯示面板之液晶顯示元件所具備之液晶配向膜之配向等。

用於光配向之照射裝置一般包括光源及偏光元件而構成，尤其係近年來亦提出有如下照射裝置，即，為實現帶狀之較長之光配向膜之光配向，而使光源為棒狀燈管，並且沿該棒狀燈管之長軸方向排列有複數個線柵偏光元件(例如參照專利文獻1)。

線柵偏光元件係於同一平面內相互平行地並列排列多條導體之金屬線而成者，且作為若使偏光光束入射則使平行於金屬線之偏光反射、使垂直於金屬線之偏光光束透射的偏光濾光器而發揮功能。於排列使用複數個此種線柵偏光元件之情形時，為使各線柵偏光元件間之偏光軸之方向一致，必需使各線柵偏光元件之金屬線之方向一致。

因此，提出有於將複數個線柵偏光元件安裝並排列於框架中之構成中，藉由可繞光軸(光之透射軸方向)旋轉地安裝各線柵偏光元件，而可調整線柵偏光元件之各金屬線之方向(即偏光軸)(例如參照專利文獻2)。

專利文獻2中，作為線柵偏光元件之調整機構，揭示有 如下機構。即，其係藉由將線柵偏光元件之外周之側面之複數個部位自與線柵偏光元件之平面平行之方向螺固於框架，且適當地推拉該等螺釘，而使線柵偏光元件於該線柵偏光元件之平面內旋轉的機構。具體而言，以1點推壓並支持線柵偏光元件之相對向之2邊之側面之一側面，2個螺釘以2點推壓並支持另一側面。根據該機構，藉由推拉支持線柵偏光元件之另一側面的2個螺釘之各者，而使線柵偏光元件以支持上述一側面之1個螺釘為支點於平面內旋轉，從而調整線柵偏光元件之金屬線之方向。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1] 日本專利特開2004-163881號公報

[專利文獻2] 日本專利特開2006-126464號公報

然而，於上述專利文獻2之技術中，由於以線柵偏光元件之側面之1點為支點進行旋轉以進行調整，故而由於線柵之旋轉因於該側面中設為支點之位置而改變等，而難以準確地調整複數個線柵偏光元件之各者。

本發明係鑒於上述情況而完成者，其目的在於提供一種可準確地調整複數個線柵偏光元件之各者之偏光元件單元、調整用治具、包括該偏光元件單元之照射裝置、及照射裝置之燈管交換台。

該說明書包括2012年4月20日申請之日本專利申請案特願2012-096449、2012年4月25日申請之日本專利申請案特願2012-100014、2012年10月3日申請之日本專利申請案特願2012-221205、及2012年10月11日申請之日本專利申請案特願2012-225628之全部內容。

為達成上述目的，本發明之偏光元件單元具備：複數個線柵偏光元件，其使光線產生偏光；及框架，其並列地配置上述線柵偏光元件；且該偏光元件單元之特徵在於：上述框架包括對每一上述線柵偏光元件規定安裝位置之安裝部，且於該安裝部以上述線柵偏光元件之平面之中心為軸心可轉動地設置上述線柵偏光元件。

又，本發明之特徵在於：於上述偏光元件單元中，於上述安裝部設有引導上述線柵偏光元件之轉動的引導部。

又，本發明之特徵在於：於上述偏光元件單元中，上述線柵偏光元件係於將n設為折射率、將k設為衰減係數之情形時，利用成為k+(3/4)×n>3、且k>0.5之材料來形成金屬線部。

又，本發明之特徵在於：於上述偏光元件單元中，上述線柵偏光元件具備有相對於上述平面而呈垂直地延伸之凸條(rib)，沿平行於上述平面之方向推拉上述凸條，而可以使上述線柵偏光元件產生轉動。

又，本發明之調整用治具調整上述偏光元件單元所具備 之上述線柵偏光元件之各者之轉動，且其特徵在於：設有供上述線柵偏光元件之上述凸條寬鬆貫穿之寬鬆貫穿孔，一方面使上述凸條貫穿上述寬鬆貫穿孔，一方面以覆蓋上述線柵偏光元件之方式與上述框架產生卡合，且具備：調整手段，其將貫穿上述寬鬆貫穿孔中之上述凸條沿平行於上述平面之方向進行推拉，來調整上述線柵偏光元件之轉動。

又，本發明之調整用治具調整上述偏光元件單元所具備之上述線柵偏光元件之各者之轉動，且其特徵在於包括：卡合部，其以覆蓋配置於上述安裝部之上述線柵偏光元件之方式與上述框架產生卡合；及引導部，其引導上述線柵偏光元件之轉動；且可以一方面利用上述引導部引導上述線柵偏光元件之轉動一方面進行調整。

又，本發明之特徵在於：於上述任一項之偏光元件單元中，將遮蔽光線之遮光區域沿鄰接之線柵偏光元件之邊界部加以設置，並且遍及上述線柵偏光元件之排列方向，而於與該排列方向正交之方向，以在上述線柵偏光元件中之上述遮光區域、與未經上述遮光區域所遮蔽之非遮光區域之長度之比率成為相等之方式設有上述遮光區域。

又，本發明之特徵在於：於上述偏光元件單元中，上述線柵偏光元件之各者係以將使上述線柵偏光元件轉動而可以來調整金屬線之方向之調整用間隙設置於上述邊界部之方式加以排列，並且同時該偏光元件單元包括：遮光板，其覆蓋上述線柵偏光元件之各者之邊界部，而形成上述遮光區域。

又，本發明之特徵在於：於上述偏光元件單元中，將上述線柵偏光元件形成為三角形，使其交替地上下反轉而橫向並列地排 列上述線柵偏光元件，或將上述線柵偏光元件形成為具有相對於上述排列方向呈傾斜之邊之四邊形，並以使該邊彼此對齊之方式橫向並列地排列上述線柵偏光元件。

又，本發明提供一種照射裝置，其特徵在於具備照射器，該照射器於框體內部內置有：上述任一項之偏光元件單元；直管型燈管，其相對於上述偏光元件單元之排列沿大致呈正交之方向延伸；及反射鏡單元，其沿上述直管型燈管之管軸方向延伸，且具備具有使上述直管型燈管所發出之光線產生反射之反射面的玻璃製之反射鏡；且上述反射鏡單元具有：通風板，其沿上述直管型燈管之管軸延伸；及一對上述反射鏡，其設置於該通風板之兩肋；且於上述通風板之長度方向之大致中央安裝有支持上述直管型燈管之支持部。

又，本發明之特徵在於：於上述照射裝置中，上述支持部係由一對支持體所形成，該一對支持體具有：軸，其自上述通風板之上述大致中央延伸至上述直管型燈管之側面；及支持片，其被上述軸所貫穿且支持上述直管型燈管；且上述支持體係隔著上述直管型燈管而配置於相互對向之位置。

又，本發明之特徵在於：於上述照射裝置中，上述支持片係設置為可繞上述軸旋轉。

又，本發明之特徵在於：於上述照射裝置中，上述支持體係沿著上述直管型燈管之管軸方向而配置於相互錯開之位置。

又，本發明之燈管交換台係用於照射裝置，該照射裝置具備：上述任一項之偏光元件單元；及直管型燈管，其相對於上述偏光元件單元之排列沿大致呈正交之方向延伸；且內置沿上述直管型燈管之管軸延伸且於內部收納有上述直管型燈管之燈管單元，自端面沿 上述管軸之方向可以拉出上述燈管單元而進行交換；且該燈管交換台之特徵在於具備：導軌，其配置於上述端面之外側，一方面支持自上述端面拉出之燈管單元一方面進行引導；及搖動單元，其以上述導軌之延伸方向與上述燈管單元之管軸之方向為一致之方式將上述導軌可搖動地加以保持。

又，本發明之特徵在於：上述燈管交換台具備：反轉單元，其使藉由反射鏡加以覆蓋之上述直管型燈管之上側之上述燈管單元上下反轉。

又，本發明之特徵在於：於上述燈管交換台中，具備如下對準標記，其卡合於設置在上述照射裝置所放置的設置面之既定位置之定位導引，而將上述導軌對上述照射裝置之框體之側面進行定位。

根據本發明，於線柵偏光元件之各者之安裝部，使其以線柵偏光元件之平面之中心為軸心轉動，而調整該線柵偏光元件之金屬線之方向。藉此，於線柵偏光元件之各者之間，線柵偏光元件之調整量與金屬線之方向之轉動角度之關係始終維持固定，而可準確地調整複數個線柵偏光元件之各者。

1‧‧‧光配向裝置

2‧‧‧光配向對象物

3、505‧‧‧工件平台

4‧‧‧平板

5‧‧‧照射器收容箱

6、520、690‧‧‧照射器

7‧‧‧燈管

8‧‧‧反射鏡

10、100、210、300、400‧‧‧偏光元件單元

12、112、212、312‧‧‧單位偏光元件單元

12A‧‧‧上端

12B‧‧‧下端

14、114、214‧‧‧框架

14A‧‧‧上緣框架

14B‧‧‧下緣框架

16、216、816‧‧‧線柵偏光元件

16A‧‧‧線柵偏光元件之端部

16B‧‧‧線柵偏光元件之側緣

18、218、318‧‧‧支持框架

19、609a‧‧‧螺釘

20、63‧‧‧開口

22‧‧‧開口之端部

22A‧‧‧肩部

24‧‧‧支持部

25‧‧‧邊

29‧‧‧螺孔

30A‧‧‧上端卡合部

30B‧‧‧下端卡合部

31‧‧‧安裝部

32‧‧‧螺孔(安裝部)

36‧‧‧凸條

38‧‧‧定位凹部

50‧‧‧導銷

60、160‧‧‧調整用治具

62、531、624、684‧‧‧框體

62A‧‧‧框體之上端

62B‧‧‧框體之下端

64A、64B‧‧‧測微計(調整手段)

65‧‧‧刻度

66‧‧‧寬鬆貫穿孔

67‧‧‧螺固用開口

68‧‧‧凸部

70‧‧‧孔部

75、812‧‧‧間隙

76‧‧‧調整區域

120、220‧‧‧開口

125‧‧‧側邊

128、328‧‧‧邊界部

129、229、329‧‧‧遮光體

215‧‧‧矩形區域

215A‧‧‧一端

215B‧‧‧另一端

225‧‧‧支持框架之側邊

226‧‧‧底邊

228‧‧‧邊界部

230、330‧‧‧遮光區域

240‧‧‧頂點

242‧‧‧角

226A‧‧‧外緣

250‧‧‧調整用遮光板

280‧‧‧遮光板

325‧‧‧邊

501‧‧‧照射裝置

507、681‧‧‧直管型燈管

507a、507b‧‧‧直管型燈管之側面

508、683‧‧‧反射鏡

508a、508b‧‧‧鏡(反射面)

510‧‧‧殼體

511‧‧‧換氣導管

521、710‧‧‧通氣口

530、680‧‧‧燈管單元

532‧‧‧上表面面板

532a‧‧‧通氣孔

533‧‧‧側面面板

533a、532b、671、688、689‧‧‧滾輪

534‧‧‧端面面板

534a‧‧‧手柄

535‧‧‧通風板

535a‧‧‧通風孔

536a、536b‧‧‧第1保持體

536c、538c‧‧‧溝

537a、537b‧‧‧固定具

538a、538b‧‧‧第2保持體

540‧‧‧支持部

541、541a、541b‧‧‧支持體

542‧‧‧支持片

542a‧‧‧對向面

543‧‧‧軸

545、682‧‧‧照射開口

580‧‧‧反射鏡單元

601‧‧‧燈管交換台

602‧‧‧台階

603‧‧‧設置面

605‧‧‧作業者

606‧‧‧支架

607‧‧‧腳輪

607a、635、679‧‧‧止動部

608‧‧‧載置台

609‧‧‧定位導引

609b‧‧‧卡合溝

610‧‧‧燈管交換部

611‧‧‧導軌

620‧‧‧搖動單元

621‧‧‧中心對準單元

621A‧‧‧上板

621B‧‧‧下板

622‧‧‧支持體

623‧‧‧連結板

624a‧‧‧梁體

624b‧‧‧端板

625‧‧‧保持部

630‧‧‧反轉單元

631‧‧‧升降用手柄

632‧‧‧升降機構

633‧‧‧托架部

634‧‧‧定位構件

636‧‧‧座部

637‧‧‧軸承

637a‧‧‧銷孔

638‧‧‧升降器

639‧‧‧銷

640‧‧‧升降單元

641‧‧‧底部

642‧‧‧頂部

650‧‧‧台車部

660‧‧‧對準標記

661‧‧‧托架之前端

662‧‧‧卡合體

663‧‧‧螺栓

670‧‧‧濾光器單元

675‧‧‧寬度調整單元

676‧‧‧螺釘軸

677‧‧‧滑動螺帽

678‧‧‧寬度調整用手柄

685‧‧‧旋轉軸

692‧‧‧軌道

700‧‧‧照射裝置

701‧‧‧端面

704‧‧‧照射器設置架台

710A‧‧‧送風筒

710B‧‧‧排氣筒

810‧‧‧繞射光柵層

811‧‧‧金屬線部

840‧‧‧基板

A、Ax‧‧‧金屬線之方向

B‧‧‧排列方向

Bx‧‧‧排列方向

C‧‧‧線柵偏光元件之平面之中心

Cx‧‧‧搬送方向(與排列方向正交之方向)

Cz‧‧‧箭頭

D‧‧‧圓

E‧‧‧平行於平面之方向

Fy‧‧‧設置面

Gy‧‧‧間隙

Kx‧‧‧有效照射寬度

Nx‧‧‧長度

Qx1、Qx2、Qx3‧‧‧線

S‧‧‧面

W、Wx、α‧‧‧寬度

x、y、z‧‧‧方向

X‧‧‧直線移動方向

Xz‧‧‧管軸

αx、θx‧‧‧角度

δx‧‧‧調整區域

Λ‧‧‧繞射光柵週期

Λ812、Λ811‧‧‧寬度

圖1係具備本發明之第1實施形態之偏光元件單元之照射裝置之示意圖。

圖2係表示偏光元件單元之構成之圖，(A)係平面圖，(B)係側剖面視圖。

圖3係表示單位偏光元件單元之構成之圖，(A)係平面圖，(B)係側 視圖。

圖4係表示偏光元件單元所具備之框架之構成之圖，(A)係平面圖，(B)係側剖面視圖。

圖5係表示調整用治具之構成之圖，(A)係平面圖，(B)係側剖面視圖，(C)係自測微計側觀察之側視圖。

圖6係表示於偏光元件單元中安裝有調整用治具之樣態之圖，(A)係平面圖，(B)係側剖面視圖，(C)係自測微計側觀察之側視圖。

圖7係表示本發明之第1實施形態之變化例之偏光元件單元之構成之平面圖。

圖8係表示調整用治具之構成之圖，(A)係平面圖，(B)係側剖面視圖。

圖9係本發明之第2實施形態之偏光元件單元之說明圖，(A)係表示偏光元件單元之概略構成之平面圖，(B)係表示穿過偏光元件單元而照射之累積光量之圖。

圖10係表示單位偏光元件單元之概略構成之平面圖。

圖11係偏光元件單元中之鄰接之2個單位偏光元件單元之放大圖。

圖12係本發明之第2實施形態之變化例之偏光元件單元之說明圖，(A)係表示偏光元件單元之概略構成之平面圖，(B)係表示穿過偏光元件單元而照射之累積光量之圖。

圖13係表示本發明之第2實施形態之變化例之偏光元件單元之構成之圖。

圖14係表示本變化例之遮光板之圖。

圖15係本發明之第3實施形態之照射裝置之正面透視圖。

圖16係表示燈管單元之圖，(A)係前視圖，(B)係平面圖，(C)係側視圖。

圖17係表示燈管單元之內部構成之剖面圖。

圖18係表示燈管單元內部構成之平面圖。

圖19係表示支持部之構成之燈管單元之剖面圖。

圖20係表示本發明之第4實施形態之燈管交換台及照射裝置之前視圖。

圖21係燈管交換台之側視圖。

圖22係表示定位導引及對準標記之構成之圖，(A)係表示使對準標記卡合於定位導引之前之狀態之立體圖，(B)係表示使對準標記卡合於定位導引之狀態之立體圖。

圖23係表示照射器及燈管單元之構成之圖，(A)係側面透視圖，(B)係部分放大圖。

圖24係模式性地表示自照射器拉出燈管單元之狀態之圖，(A)係表示自照射器拉出燈管單元之狀態之示意圖，(B)係表示將燈管單元載置於燈管交換台並拉出之狀態之示意圖，(C)係表示將燈管單元自照射器完全拉出且燈管單元載置於燈管交換台之狀態之示意圖，(D)係表示燈管單元及燈管交換台之構成之部分放大圖。

圖25係表示燈管交換台之構成之立體圖。

圖26係表示搖動單元之動作之立體圖。

圖27係表示反轉單元之動作之圖，(A)係表示利用升降器使燈管單元上升之狀態之立體圖，(B)係表示使燈管單元反轉之狀態之立體圖，(C)係表示燈管單元之固定機構之部分放大圖。

圖28係模式性地表示使用燈管交換台將濾光器自照射器拉出之狀 態之圖，(A)係表示將濾光器自照射器拉出之狀態之示意圖，(B)係表示將濾光器載置於燈管交換台並拉出之狀態之示意圖，(C)係表示將濾光器自照射器完全拉出且濾光器載置於燈管交換台之狀態之示意圖，(D)係表示濾光器及燈管交換台之構成之部分放大圖。

圖29係表示寬度調整單元之構成之圖，(A)係表示將燈管單元載置於導軌時之寬度調整單元之構成之部分剖面圖，(B)係將濾光器載置於導軌時之寬度調整單元之構成之部分剖面圖。

圖30係模式性地表示本發明之第5實施形態之線柵偏光元件之構成之圖，(A)係剖面圖，(B)係平面圖。

以下，參照圖式對本發明之實施形態進行說明。

[第1實施形態]

圖1係具備本實施形態之偏光元件單元10之光配向裝置1之示意圖。

光配向裝置1係對光配向對象物2照射偏光光束而進行光配向之裝置。於圖1中，工件平台3為矩形板狀之平台，且於上表面載置光配向對象物2。光配向對象物2例如為液晶面板等薄板狀之面板體，且包含作為光配向對象之光配向膜。平板4為支持工件平台3且謀求防振之平台，內設有使工件平台3直線移動之直線移動機構(未圖示)，藉由該直線移動機構，而使工件平台3沿直線移動方向X於平板4之面上往返移動。照射器收容箱5係藉由固定於平板4而於平板4之上方位置橫架於平板4之寬度方向(與直線移動機構之直線移動方向X垂直之方向)之箱體。照射器6內置於照射器收容箱5，且向平板4照射偏光光束。

照射器6具備燈管7、反射鏡8及偏光元件單元10，且使偏光光束聚集並照射至藉由直線移動機構而於正下方移動之光配向對象物2之面S。

具體而言，燈管7係至少以與光配向對象物2之寬度相比為同等以上之量延伸之直管型(棒狀)紫外線燈管。反射鏡8係剖面為橢圓形且沿燈管7之長度方向延伸之柱狀凹面反射鏡，且對光配向對象物2照射反射光。

偏光元件單元10配置於反射鏡8與光配向對象物2之間，且使照射至光配向對象物2之光偏光。藉由該偏光光束照射至光配向對象物2之光配向膜，而根據偏光光束之偏光軸方向將該光配向膜配向。

圖2係表示偏光元件單元10之構成之圖，圖2(A)係平面圖，圖2(B)係側剖面視圖。

如該等圖所示，偏光元件單元10具備複數個單位偏光元件單元12、及將該等單位偏光元件單元12橫向並列地排列成一排之框架14，至少排列有橫越反射鏡8之長度方向之長度之量的單位偏光元件單元12。框架14作為各單位偏光元件單元12之支持體而發揮功能，並且以規定各安裝位置之方式構成，而防止各單位偏光元件單元12之排列方向之位置偏移。再者，於下文對該構成進行詳細敍述。

圖3係表示單位偏光元件單元12之構成之圖，圖3(A)係平面圖，圖3(B)係側剖面視圖。

單位偏光元件單元12具備線柵偏光元件16、及支持該線柵偏光元件16之支持框架18。

支持框架18係於金屬板之面內具有大致矩形之開口20之框體，且具備將線柵偏光元件16之端部16A夾入至夾著開口20之上下之端 部22之各者加以支持的支持部24。又，支持框架18之於開口20之左右兩側之邊25(即，於上下之端部22間延伸之邊25)之寬度W以於照射區不易產生因寬度W所致之映影之方式形成為窄幅。

線柵偏光元件16係具有封閉支持框架18之開口20之大小的大致矩形狀之板材，作為將上下之端部16A連結之兩側之緣部的一對側緣16B以成為與金屬線之方向A大致平行之方式形成。

於偏光元件單元10中，藉由使各線柵偏光元件16之側緣16B彼此靠近且橫向並列地排列該構成之複數個單位偏光元件單元12，而於金屬線之方向A與和排列之方向B(圖2)大致正交之方向一致之狀態下得到排列。

圖4係表示偏光元件單元10所具備之框架14之構成之圖，圖4(A)係平面圖，圖4(B)係側剖面視圖。

如該等圖所示，框架14形成為矩形之框形狀，單位偏光元件單元12並列地排列於該框中。即，框架14具備形成上下之緣部之上緣框架14A及下緣框架14B，上述單位偏光元件單元12之上下之端部22卡合於該等上緣框架14A及下緣框架14B而得到支持。

更詳細地進行敍述，於上緣框架14A之面內，形成有按照單位偏光元件單元12之上端12A(圖3(A))側之端部22之外形而設有凹處之上端卡合部30A，同樣地，於下緣框架14B之面內，亦形成有按照單位偏光元件單元12之下端12B(圖3(A))側之端部22之外形而設有凹處之下端卡合部30B。而且，藉由該等一對上端卡合部30A及下端卡合部30B，而構成規定上述單位偏光元件單元12之安裝位置之安裝部31。於框架14中，沿長度方向以單位偏光元件單元12之量設有安裝部31，藉此，僅將單位偏光元件單元12嵌入至各安裝部31，便將各者簡單地 配置於既定之所決定之位置。

於框架14之上述上端卡合部30A及下端卡合部30B，適當地設有螺固單位偏光元件單元12之螺孔32，藉由使螺釘19(圖2(A))穿過單位偏光元件單元12之上端12A及下端12B之各者之端部22之螺孔29(圖3(A))且螺固於框架14，而將單位偏光元件單元12固定配置於框架14。再者，單位偏光元件單元12之螺孔29以容許該單位偏光元件單元12之既定量之下述轉動之方式形成為橫長形狀。

於偏光元件單元10中，若於各單位偏光元件單元12之間，線柵偏光元件16之金屬線之方向A不一致，則未能使光配向對象物2之配向方向與所需方向一致，而招致產品品質之降低。

因此，於該偏光元件單元10中設有以下機構，以調整安裝於框架14中之各單位偏光元件單元12之金屬線之方向A。

即，單位偏光元件單元12之上端12A之端部22及下端12B之端部22之外形形成為圓弧狀，並且以卡合於該等端部22之圓弧形狀之方式，於框架14之安裝部31，亦將上端卡合部30A及下端卡合部30B形成為圓弧狀，藉此，作為引導單位偏光元件單元12於面內之轉動之引導部而發揮功能。

具體而言，如上述圖3(A)所示，單位偏光元件單元12之端部22之圓弧形狀與以單位偏光元件單元12所支持之線柵偏光元件16之平面(光透射面)之中心(更準確而言為開口20之中心)C為中心之圓D之圓周之一部分一致。即，單位偏光元件單元12轉動時係以線柵偏光元件16之平面之中心C為軸心進行轉動，藉此，單位偏光元件單元12之轉動角度、與線柵偏光元件16之金屬線之方向A之轉動角度始終一致。

單位偏光元件單元12於下端12B側之端部22具備與線柵偏光元件16之平面垂直地立設之凸條36，藉由沿平行於線柵偏光元件16之平面之方向推拉該凸條36，而可簡單地進行單位偏光元件單元12之轉動操作。

如上述般，於該偏光元件單元10中，由於安裝部31引導單位偏光元件單元12之轉動，故而於使單位偏光元件單元12卡合於安裝部31之狀態下，僅使該單位偏光元件單元12轉動，便可簡單地調整單位偏光元件單元12所支持之線柵偏光元件16之金屬線之方向A。

又，由於單位偏光元件單元12以線柵偏光元件16之平面之中心C為軸心轉動，故而該單位偏光元件單元12之轉動角度、與線柵偏光元件16之金屬線之方向A之轉動角度始終一致，因此，可簡單且準確地調整單位偏光元件單元12之金屬線之方向A，調整作業變得非常容易。

而且，單位偏光元件單元12轉動時之端部22必定位於上述圖3(A)所示之圓D之範圍內。即，於單位偏光元件單元12之轉動之軸心於各單位偏光元件單元12之間不一致之情形時，端部22之範圍於各者中產生偏差，因此，為不妨礙各單位偏光元件單元12之轉動，必需使相鄰之單位偏光元件單元12彼此之間隙75(圖6(A)參照)之寬度α較大。若如上述般間隙75變大，則線柵偏光元件16中之不受偏光控制之區域會擴大。

相對於此，於本實施形態中，如上所述，由於單位偏光元件單元12轉動時之端部22必定位於上述圖3(A)所示之圓D之範圍內，故而將各間隙75抑制為最小。

尤其係如上述圖3(A)所示，單位偏光元件單元12之上下之端部22 分別藉由兩側之肩部22A自邊25以角度δ向內側傾斜，而成為切去肩部22A後之形狀。藉由切去肩部22A，而如圖6(A)所示，於鄰接之單位偏光元件單元12之端部22彼此之間，形成較間隙75之寬度α廣之轉動用之調整區域76。如上述般，由於使間隙75之寬度α減小，且設置較大之調整區域76，故而使單位偏光元件單元12彼此之間較窄，而抑制不受偏光控制之光之產生，且充分確保單位偏光元件單元12之金屬線之方向A之調整量。

其次，對高精度且簡單地調整偏光元件單元10所具備之單位偏光元件單元12之各者之轉動的調整用治具60進行說明。

圖5係表示調整用治具60之構成之圖，圖5(A)係平面圖，圖5(B)係側剖面視圖，圖5(C)係自測微計64A、64B之側觀察之側視圖。又，圖6係表示於偏光元件單元10中安裝有調整用治具60之樣態之圖，圖6(A)係平面圖，圖6(B)係側剖面視圖，圖6(C)係自測微計64、64B之側觀察之側視圖。

調整用治具60具備矩形框狀之框體62、及配設於該框體62之上端62A及下端62B中之下端62B之作為調整手段的一對測微計64A、64B。

框體62具有與單位偏光元件單元12之開口20為大致同一尺寸之形狀、或較開口20廣之開口63，且如圖6(B)所示，以將定位配置於框架14之安裝部31的單位偏光元件單元12夾於中間之方式安裝於框架14。

即，如圖5(A)所示，於調整用治具60之框體62之四角，設有與設置於框架14之安裝部31之四角之基準定位凹部38(參照圖4(A))嵌合之凸部68，藉由該等定位凹部38與凸部68之卡合，而如圖6(A)所 示，將調整用治具60之框體62定位於框架14之既定位置，如圖6(B)所示，於該框架14與調整用治具60之間夾入單位偏光元件單元12。

於調整用治具60之框體62中，如圖5(A)所示，設有供單位偏光元件單元12之凸條36寬鬆貫穿之寬鬆貫穿孔66，隔著該寬鬆貫穿孔66而設有上述一對測微計64A、64B。

因此，若將調整用治具60安裝至框架14，則如圖6(A)及圖6(C)所示，單位偏光元件單元12之凸條36自寬鬆貫穿孔66突出，且配設於一對測微計64A、64B之間。測微計64A、64B伴隨使用者之操作而沿平行於線柵偏光元件16之平面之方向E進退，藉由使凸條36於寬鬆貫穿孔66之滑動範圍內移動，而使單位偏光元件單元12以線柵偏光元件16之中心C為軸心轉動，從而調整金屬線之方向A。

於各測微計64A、64B上設有表示凸條36之推拉量之刻度65，從而令作業者可把握進行調整時之推拉量。於本實施形態中，由於推拉量(調整量)、與單位偏光元件單元12之轉動角度及線柵偏光元件16之金屬線之方向A之轉動角度成正比，故而可自該推拉量把握金屬線之方向A之轉動角度。

於調整用治具60之框體62中，如圖5(A)所示，設有使將單位偏光元件單元12之上端12A及下端12B螺固於框架14之螺釘19露出且插入緊固該螺釘19之工具的螺釘緊固用開口67。再者，本實施形態中係將使下端12B側之螺釘19露出之螺固用開口67與上述寬鬆貫穿孔66連結而形成。

如上述般，因於調整用治具60中設有使單位偏光元件單元12之螺釘19露出之螺固用開口67，故而藉由利用調整用治具60對單位偏光元件單元12進行轉動調整後，使工具穿入至螺釘緊固用開口67以 緊固螺釘19，將該單位偏光元件單元12固定於框架14，而未產生旋轉偏差便將單位偏光元件單元12固定於框架14。於調整單位偏光元件單元12後，自框架14卸除調整用治具60，以供排列於該框架14中之其他單位偏光元件單元12之調整。

如以上所說明般，根據本實施形態，構成為利用設置於框架14中之各安裝部31，以線柵偏光元件16之平面之中心C為軸心，使包含該線柵偏光元件16之單位偏光元件單元12轉動而進行調整。藉此，由於可使相對於單位偏光元件單元12之調整量的金屬線之方向A之轉動角度始終相等，故而可簡單且準確地調整單位偏光元件單元12之金屬線之方向A，調整作業變得非常容易。又，單位偏光元件單元12轉動時之端部22必定位於上述圖3(A)所示之圓D之範圍內，藉由以圓D之直徑之間隔配置各單位偏光元件單元12，而將各間隙抑制為最小。

又，根據本實施形態，構成為於支持線柵偏光元件16之單位偏光元件單元12之各者中，設置與線柵偏光元件16之平面垂直地延伸之凸條36，沿平行於平面之方向推拉該凸條36，而使線柵偏光元件16可轉動。

根據該構成，由於凸條36之推拉量、與伴隨其之線柵偏光元件16之轉動角度及金屬線之方向A之轉動角度成正比，故而可藉由將推拉量設為調整量進行管理，而準確地管理金屬線之方向A之調整量。

尤其係根據本實施形態，構成如下調整用治具60，其具備沿平行於線柵偏光元件16之平面之方向推拉凸條36而調整該線柵偏光元件16之金屬線之方向A之作為調整手段的測微計64A、64B。

藉此，凸條36之推拉操作變得容易，又，可利用測微計64A、64B 進行微調整。

進而，藉由設置於測微計64A、64B之刻度65，可準確地管理調整量。

再者，第1實施形態僅為例示本發明之一態樣者，於未脫離本發明之主旨之範圍內可任意地進行變化及應用。

例如於第1實施形態中，例示了安裝部31引導單位偏光元件單元12之轉動之構成。然而，並不限於此，亦可設為調整用治具引導單位偏光元件單元12之轉動之構成。

圖7係表示本變化例之偏光元件單元100之構成之平面圖。又，圖8係表示調整用治具160之構成之圖，圖8(A)係平面圖，圖8(B)係側剖面視圖。再者，於該等圖中，對實施形態中所說明之構件標註同一符號，並省略其說明。

如圖7所示，偏光元件單元100具備複數個單位偏光元件單元112。於偏光元件單元100所具備之框架114中，設有螺固各單位偏光元件單元112之螺孔32，該螺孔32作為對每一單位偏光元件單元112規定安裝位置之安裝部而發揮功能。

又，於該框架114中，對每一單位偏光元件單元112之安裝位置，均於該單位偏光元件單元112之對角位置設有與調整用治具160卡合以進行定位之定位凹部38。

另一方面，於調整用治具160中，對應於框架114之定位凹部38而於框體62之背面側設有凸部68，藉由該等定位凹部38與凸部68之卡合構造，而將調整用治具160定位於框架114之既定位置，從而成為於調整用治具160與框架114之間夾入有上述單位偏光元件單元112之狀態。

該單位偏光元件單元112之上端12A及下端12B之端部22與上述實施形態中所說明之單位偏光元件單元12相同而為形成以線柵偏光元件16之中心C中心之圓D之圓周之一部分的圓弧狀。另一方面，於調整用治具160之背面，如圖8(A)所示，於沿該圓D之圓弧之位置設有複數個導銷50。即，若使調整用治具160卡合於框架114，則各導銷50抵接於單位偏光元件單元112之上端12A側之端部22之圓弧狀之外周。藉此，若操作測微計64A、64B，則單位偏光元件單元112一面受沿圓D之圓弧配置之各導銷50引導一面轉動。再者，於圖7中，符號70係以承受導銷50之前端之方式設置於框架114中之孔部70。

[第2實施形態]

其次，對本發明之第2實施形態進行說明。

於排列使用線柵偏光元件16之情形時，因於線柵偏光元件16之各邊界部，偏光光束弱於其他部位，故而於光配向膜之光配向中產生不均。

因此，先前，為改善該光配向之不均，提出有如下技術，即，藉由於光配向膜之搬送方向配置多排配置為排狀之線柵偏光元件之排列，並且於各排列之間，以線柵偏光元件之邊界部於搬送方向不重合之方式，使線柵偏光元件之位置錯開進行配置，而抑制偏光光束對光配向膜之照射不均(例如日本專利特開2006-126464號公報)。

然而，於該習知技術中，由於必需具備多排線柵偏光元件，故而必需對各排均等地照射光，因此，有裝置複雜化、且成本變得非常高等問題。

於本發明之第2實施形態中，對可抑制因線柵偏光元件間之邊界 而產生之不均的偏光元件單元進行說明。

圖9係偏光元件單元210之說明圖，圖9(A)係表示偏光元件單元210之概略構成之平面圖，圖9(B)係表示穿過偏光元件單元210而照射之累積光量之圖。

如圖9(A)所示，偏光元件單元210具備複數個單位偏光元件單元212、及將該等單位偏光元件單元212橫向並列地排列成一排之框架214。該偏光元件單元210為對經反射鏡8(圖1)配光控制後之光進行偏光控制，而至少以遍及較反射鏡8之長度方向之長度Lx長之Mx之量之數量排列有單位偏光元件單元212之群。框架214係橫向並列地連接配置各單位偏光元件單元212之板狀之框體。於光配向裝置1(圖1)中，以於該偏光元件單元210之下方通過之方式搬送光配向對象物2。如圖9(B)所示，於光配向對象物2在偏光元件單元210之下方通過之期間照射之累積光量係於遍及至少反射鏡8之長度方向之長度Lx的任一部位均固定。

圖10係表示單位偏光元件單元212之概略構成之平面圖。

單位偏光元件單元212具備線柵偏光元件216、及支持該線柵偏光元件216之支持框架218，於平面視圖中形成為大致正三角形。於偏光元件單元210之框架214中，如上述圖9(A)所示，藉由使該單位偏光元件單元212交替上下反轉地進行排列，而於遍及上述長度Mx之四邊形區域215內鋪滿線柵偏光元件216。

對單位偏光元件單元212之各部進行詳細敍述，支持框架218係於平面視圖為正三角形且具有遮光性之金屬板之面內具有大致正三角形之開口220的框體，以封閉該開口220之方式設有線柵偏光元件 216。該支持框架218之3邊中之其他單位偏光元件單元212所連之側邊225遮蔽光而成為光輸出之降低之要因，因此，其寬度VVx形成得儘量窄。再者，剩餘之1邊、即、底邊226只要為可支持於偏光元件單元210之框架214中之寬度，便可為任意寬度，並非必需為與側邊225相同之寬度。

又，如圖9(A)所示，光透過線柵偏光元件216之區域之寬度(與單位偏光元件單元212之排列方向B正交之方向(搬送方向Cx)之長度)等於支持框架218之開口220之寬度，以下，將該寬度稱為有效照射寬度Kx。

線柵偏光元件216係具有封閉支持框架218之開口220之大小的大致正三角形之板材，且以金屬線之方向Ax大致垂直於底邊226之方式設置於支持框架218。藉由將線柵偏光元件216設為正三角形，而於線柵偏光元件之製造步驟中，可使藉由切割而自晶圓切出之線柵偏光元件之數量較多，而可減少浪費。

於偏光元件單元210之框架214中，如上述圖9(A)所示，一面使該構成之單位偏光元件單元212交替地上下反轉一面使側邊225彼此接觸而排列成一排，藉此，形成鋪滿有線柵偏光元件216之上述四邊形區域215。各單位偏光元件單元212之側邊225位於該四邊形區域215中，各側邊225於四邊形區域215中形成遮光區域230。

由於該遮光區域230沿鄰接之單位偏光元件單元212彼此之邊界部228延伸而遮蔽光，故而經過鄰接之線柵偏光元件216間之光、即、不受偏光控制之光由遮光區域230遮蔽，僅自偏光元件單元210之四邊形區域215輸出通過線柵偏光元件216而受到偏光控制之光。

此處，由於上述遮光區域230位於四邊形區域215中， 故而於照射區中，於對應於遮光區域230之位置產生偏光光束變弱之部位。因此，於搬送光配向對象物2使其通過照射區之情形時，若未實施任何對策，則於光配向對象物2中，於通過偏光光束較弱之部位的部位、與除此以外之部位，在光配向之程度上產生不均，而招致製造品質之降低。

因此，於本實施形態中，以如下方式防止光配光之不均。即，將遮光區域230設為固定寬度之線狀，且構成為於沿四邊形區域215之排列方向Bx之一端215A與另一端215B之間之任一點，沿搬送方向Cx之遮光區域230、與非遮光區域(即，光通過線柵偏光元件216之區域)之長度之比率均相等。

具體而言，於本實施形態中，如上述圖9(A)所示，將鄰接之單位偏光元件單元212之支持框架218之側邊225彼此連接而構成遮光體229，藉由利用該遮光體229形成遮光區域230，而使遮光區域230為寬度Wx之2倍之線狀，自四邊形區域215之一端215A遍及另一端215B而使遮光區域230為呈三角波形狀(亦可為正弦波形狀)延伸之形狀。藉此，如圖9(B)所示，於遍及四邊形區域215之排列方向Bx之各點，於與四邊形區域215之高度相當之有效照射寬度Kx中，沿搬送方向Cx之遮光區域230與非遮光區域之長度之比率相等，因此，於光配向對象物2通過之期間照射之累積光量亦於遍及排列方向Bx之各點相等，而防止於光配向之程度上產生不均。

再者，於本實施形態中，如圖11所示，若設為開口120為無遮光部分之正三角形之形狀，則使單位偏光元件單元212之2個側邊225所成之頂點240、與相鄰之單位偏光元件單元212之底邊226之外緣226A一致，因此，於有效照射寬度Kx之範圍內，自頂點240 起於沿搬送方向Cx之線Qx1上，不存在遮光區域230，該線Qx1上之累積光量高於其他部位。又，頂點40、與相鄰之支持框架218之開口220之角242之間之範圍Rx亦同樣地，於有效照射寬度Kx之範圍內，沿搬送方向Cx之線Qx2上之遮光區域230小於其他部位。因此，自各支持框架218之頂點240於範圍Rx之區間，設有使搬送方向Cx上之遮光區域230之比例與其他部位之線Qx3處之比例一致的調整用遮光板250。再者，沿搬送方向Cx之遮光區域230之長度Nx因於將角242之角度設為αx時，Nx=2×Wx/cosαx，故而頂點240處之調整用遮光板250沿搬送方向Cx之長度亦成為2×Wx/cosαx。

如以上所說明般，根據本實施形態，由於沿線柵偏光元件216之邊界部228設有遮光區域230，故而可防止未受偏光控制之光照射至光配向對象物2。

而且，構成為遍及線柵偏光元件216之排列方向Bx，而於與線柵偏光元件216之排列方向Bx正交之搬送方向Cx，以遮光區域230、與非遮光之非遮光區域之長度之比率相等之方式設置遮光區域230。藉此，於排列方向Bx之各點，遮光區域230之長度Nx相對於有效照射寬度Kx所占之比例固定，沿搬送方向Cx之累積光量相等，因此，可抑制光配向對象物2之光配向之不均。

再者，該第2實施形態僅為例示本發明之一樣態者，於未脫離本發明之主旨之範圍可任意地進行變化及應用。

例如於第2實施形態中，例示了使線柵偏光元件216為三角形之情形，但並不限於此，亦可設為矩形狀。即，如圖12所示，將矩形之線柵偏光元件216嵌入至大致矩形之支持框架318，而構成單位偏光元件單元312，且將單位偏光元件單元312橫向並列地排列於框 架214中，而構成偏光元件單元300。

此時，各單位偏光元件單元312之支持框架318之左右兩側之邊325相對於排列方向Bx以既定角度(圖示例中為60度)傾斜，以邊325彼此接觸之方式排列各單位偏光元件單元312，而形成四邊形區域215，又，藉由邊325彼此，而於線柵偏光元件216彼此之邊界部328，利用具有相互接觸之2條邊325之遮光體329形成遮光區域330。於該偏光元件單元300中，遍及排列方向Bx，而於搬送方向Cx，以遮光區域330與非遮光區域之長度之比率相等之方式設置遮光區域330。藉此，於排列方向Bx之各點，沿搬送方向Cx之累積光量相等，因此，可抑制光配向對象物2之光配向之不均。

再者，於該等第2實施形態及變化例中，例示了橫向並列地排列同一形狀之線柵偏光元件216(單位偏光元件單元212、312)之構成，但並不限於此。即，只要遍及排列方向Bx，而於搬送方向Cx，以遮光區域與非遮光區域之長度之比率相等之方式設置遮光區域，亦可橫向並列地排列形狀不同者。

第2實施形態中係利用支持框架218之側邊225形成沿邊界部228延伸之遮光區域230，但並不限於此，亦可將形成遮光區域230之構件設置為不與單位偏光元件單元212一體之獨立個體。

詳細地進行敍述，於線柵偏光元件216中，有因個體差等而導致金屬線之方向A未相對於外形成為固定之方向而產生偏移之情況。即，於上述實施形態中，如上述圖10所示，雖將線柵偏光元件216設為正三角形，且以金屬線之方向Ax大致垂直於底邊226之方式設置於支持框架218中，但實際上，例如，如圖13所示，有線柵偏光元件216之金屬線之方向Ax相對於底邊226之垂線Hx以角度θx(θ之值因各線 柵偏光元件216而異)傾斜之情形。

因此，可藉由設為於橫向並列地排列於框架214中之複數個單位偏光元件單元212之各者之間之邊界部228設置既定寬度之間隙作為調整區域δx的構成，而使各單位偏光元件單元212於調整區域δx之範圍內個別地旋轉，從而調整線柵偏光元件216之金屬線之方向Ax。

然而，若設置調整區域δx，則於邊界部228產生間隙，光會自該間隙透出。因此，可藉由設為如下構成，即，以圖14所示之方式形成與上述圖9所示之遮光區域230相當之形狀之遮光板280，將該遮光板280橫向並列地排列於框架214中，且以覆蓋調整金屬線之方向Ax之各單位偏光元件單元212之方式安裝於框架214，而封閉邊界部228之間隙，且無論各單位偏光元件單元212之調整量如何，均使遮光區域與非遮光區域之比率始終固定。

再者，當然，單位偏光元件單元212之側邊225之寬度Wx根據調整區域δx之寬度而變窄。

[第3實施形態]

對本發明之第3實施形態之照射裝置進行說明。

如於第1實施形態中所說明般，一般而言，用於光配向之照射裝置係將長條之直管型紫外線燈管(第1實施形態中為燈管7)用於光源，以實現寬幅之帶狀之光配向膜之光配向。該長條之直管型紫外線燈管通常為於以石英玻璃管為材料且經加工而成之發光管內部封入有水銀或金屬鹵化物之高壓放電燈管。於此種放電燈管中，因點燈時之熱而導致發光管軟化，有產生燈管因自重而以燈管中央部為頂點沿長度方 向彎曲且向下下垂的下垂熱變形之可能性。

因此，已知如下技術，即，為防止點燈時之燈管之下垂熱變形，而利用發光管支持體，以自與發光管之管軸正交之方向進行夾持之方式，於發光管之中央部之外周上進行支持，以防止發光管中央部之下垂熱變形(例如日本專利特開2009-160545號公報)

於用於光配向之照射裝置中，具備沿燈管之長度方向延伸且對光配向對象物照射反射光之柱狀凹面反射鏡。於日本專利特開2009-160545號公報所記載之照射裝置中，反射鏡為鋁合金製，但於使用在若進行開孔等則容易破碎之玻璃之表面蒸鍍鋁或銀等金屬而形成的反射鏡之情形時，未考慮支持發光管以防止點燈時之燈管之下垂熱變形之構成。

於本實施形態中，對具備於使用玻璃製之反射鏡之情形時可支持燈管之構成的照射裝置進行說明。

圖15係表示本實施形態之照射裝置501之構成之正面透視圖。

照射裝置501例如與第1實施形態同樣地，為對帶狀之光配向對象物之光配向膜照射光而進行光配向的光配向裝置，雖省略圖示，但具備第1實施形態中所說明之偏光元件單元10。

又，本實施形態之照射裝置501於載置於設置面Fy之殼體510內具備設置於照射器設置架台504之照射器520、及載置光配向對象物之工件平台505。

照射器520具備作為光源之直管型燈管507，於本實施形態中，對載置於配置於照射器520之正下方之工件平台505的光照射對象物向下照射光。再者，照射裝置501亦可為除可選擇向下照射 以外亦可任意選擇橫向照射或向上照射等照射方向之構成。再者，於本實施形態中，所謂上下係基於對載置於配置於照射器520之正下方之工件平台505的光照射對象物向下照射光之情形時之構成者。

直管型燈管507為放電燈管，且係使用至少以與光配向對象物之寬度相比為同等以上之量延伸的長條之直管型(棒狀)之紫外線燈管。詳細內容於下文敍述，直管型燈管507係與以沿直管型燈管507之長度方向且圍繞直管型燈管507之方式設置之反射鏡單元580一體地安裝於燈管單元530中，燈管單元530裝卸自如地收容於照射器520中。

於照射器520中設有換氣用之通氣口521。於通氣口521連接有連通至殼體510之外部之換氣導管511。於通氣口521之內側設有未圖示之送風機。藉由該送風機，而使冷卻風於照射器520內流動，從而直接對直管型燈管507及其周邊進行空氣冷卻。

圖16係表示燈管單元530之圖，圖17係燈管單元530之剖面圖。如圖16、圖17所示，燈管單元530於下表面開口之箱形之框體531內收納直管型燈管507及反射鏡單元580，且裝卸自如地收容於照射器520內。

框體531包含不鏽鋼等具有剛性之金屬製材料。框體531包括上表面面板532、一對側面面板533及一對端面面板534，且具備於下方開口之照射開口545。

於框體531之上表面面板532，沿長度方向呈線狀地排成2排而設有複數個用以於框體531內對直管型燈管507及其周邊進行空氣冷卻之空氣流通的通氣孔532a。

於框體531之一對側面面板533，沿上緣設有複數個滾輪533a。於照射器520內，設有於對照射器520裝卸燈管單元530時 供框體531之滾輪533a滑動且引導燈管單元530之導軌(未圖示)。燈管單元530構成為使滾輪533a於設置於照射器520內之導軌上滑動，且可自照射裝置501之一端面(前表面)之開口沿長度方向拉出放入。又，於框體531之上表面面板，設有沿設置於照射器520內之導軌之側面滑動之滾輪532b。又，於框體531之一對端面面板534，安裝有拉出放入燈管單元時使用之手柄534a。

雖省略圖示，但於框體531之內部，具備支持直管型燈管507之管端支持部、及對直管型燈管507供給電能之電源供給機構。直管型燈管507係兩端部由管端支持部支持，收容於框體531內，並且由電源供給機構供給電能而發光。

直管型燈管507例如係全長為3m左右之長條之高輸出直管型燈管。直管型燈管507係於包含石英玻璃等具有高耐熱性及透光性之材料的發光管之內部封入有水銀或金屬鹵化物之高壓放電燈管。於直管型燈管507點燈時，直管型燈管507之管壁之溫度成為800℃~900℃左右之高溫。

反射鏡單元580包括反射鏡508、通風板535、以及於通風板535與框體531之側面面板533之間保持反射鏡508的第1保持體536a、536b及第2保持體538a、538b。

反射鏡508係剖面為橢圓形且沿直管型燈管507之長度方向延伸之柱狀凹面反射鏡，使直管型燈管507之光聚集而自照射開口545照射至光配向對象物。如圖17、圖18所示，反射鏡508係將彎曲成弓狀之多片板狀之小片鏡(反射面)508a、508b組合成剖面橢圓形狀而構成。各鏡508a、508b係使具有反射性之覆膜附著形成於玻璃之凹面側表面而被賦予反射性。各鏡508a、508b架設並固定於安裝在設置於直管型 燈管507之管軸正上方之通風板535的第1保持體536a、536b、與安裝在框體531之側面面板533的第2保持體538a、538b之間。

使來自直管型燈管507之一側面507a之光反射之鏡508a、與使來自直管型燈管507之另一側面507b之光反射之鏡508b分別如圖18所示沿燈管單元530之長度方向連結有複數個，而構成一對凹面反射鏡508、508之一者及另一者。又，鏡508a與鏡508b沿燈管單元530之長度方向配置於相互錯開之位置。根據該構成，藉由將鏡508a、508b沿燈管單元530之長度方向分割且形成為複數個小片，可於裝卸反射鏡508等作業上使操作容易，並且可降低製造成本。又，由於將鏡508a與鏡508b沿燈管單元530之長度方向配置於相互錯開之位置，故而可減小對照射至鄰接之鏡508a、508a與鏡508b、508b之接合線的反射光之光路之影響。

如圖17、圖18所示，通風板535設置於直管型燈管507之正上方，且沿直管型燈管507之管軸延伸。雖省略圖示，但通風板535之兩端例如由螺釘等緊固用具固定於框體531之端面面板534。通風板535係形成為剖面為四邊形之管狀之通風板，且上下貫穿之複數個通風孔535a相互以既定間隔沿燈管單元530之長度方向設有複數個。各通風孔535a可形成為長孔形狀。

第1保持體536a、536b分別固定於通風板535之兩側面，且沿直管型燈管507之管軸延伸。於第1保持體536a、536b之側面形成有插入鏡508a、508b之上端部的溝536c。

第2保持體538a、538b分別支持於沿燈管單元530之長度方向安裝於框體531之側面面板533之照射開口545附近的固定具537a、537b。第2保持體538a、538b相互隔開既定間隔而安裝於與 鄰接之鏡508a、508a及鏡508b、508b之接合線對應之位置。於各第2保持體538a、538b之上表面，形成有插入鄰接之鏡508a、508a及鏡508b、508b之下端部的溝538c。

根據上述構成，反射鏡508可藉由將各鏡508a、508b之上端部插入至形成於第1保持體536a、536b之側面之溝536c，並且將鄰接之鏡508a、508a及鏡508b、508b之接合線配置於與第2保持體538a、538b對應之位置，將鄰接之鏡508a、508a及鏡508b、508b之下端部插入至第2保持體538a、538b之溝538c，而容易地組裝。

如圖17所示，於反射鏡單元580中，於燈管單元530之長度方向之大致中央支持直管型燈管507的支持部540固定安裝於通風板535。支持部540係為防止直管型燈管507因自重或熱所致之下垂而設置。

支持部540包括一對支持體541(以下稱為支持體541a、541b)。各支持體541a、541b包括形成為大致Z字形狀之軸543、及繞軸543旋轉自如地安裝於軸543上之支持片542。各支持體541a、541b使軸543之一端部543a上下地貫穿至通風板535，且利用螺帽543b等緊固用具而懸掛於通風板535。

軸543亦可構成為包含具有剛性之金屬製材料，且於一端部543a，外周面攻有與螺帽543b對應之螺紋。又，軸543由具有高耐熱性及高導熱性且不會因直管型燈管507點燈時之熱而與支持片542具有反應性之金屬或合金形成。作為軸543之材料，例如可使用鎳合金。軸543係以一端部543a於直管型燈管507之管軸X之正上方貫穿通風板535之方式配設。根據該構成，可使構成反射鏡508之鏡508a、508b之上端延伸至直管型燈管507之上方，且可使直管型燈管 507之光高效地照射至光照射對象物。

支持片542例如亦可構成為包括壁厚之板狀構件，雖省略圖示，但具有供軸543貫穿之貫穿孔且繞軸543旋轉。支持片542與直管型燈管507之發光管同樣地，包含石英玻璃等具有高耐熱性且不會因直管型燈管507點燈時之熱而與直管型燈管507具有反應性之材料。根據該構成，可減小直管型燈管507與支持片542之間之溫度差。較為理想的是支持片542之高度大於直管型燈管507之半徑ry，且較為理想的是支持片542之下緣延伸至直管型燈管507之下端附近。根據該構成，可利用支持片542以上抬之方式支持直管型燈管507，而防止因直管型燈管507之自重或熱所導致之下垂。

支持片542之與直管型燈管507對向之對向面542a切成沿直管型燈管507之圓周之凹面形狀。再者，構成為支持片542之對向面542a之曲率形成得較直管型燈管507之圓周之曲率小，且於對向面542a與直管型燈管507之周面之間形成間隙Gy。根據該構成，可利用該間隙G吸收因直管型燈管507之熱膨脹所致之變化、或直管型燈管507及其他構成零件之應變。

如圖19所示，支持片542可繞軸543旋轉。支持片542可為可繞軸543旋轉360°之構成，或亦可為僅可旋轉90°之構成。於交換直管型燈管507時等，可藉由於自燈管單元530裝卸直管型燈管507時，使支持片542旋轉例如90°，而使支持片542自直管型燈管507之裝卸路徑退離。藉此，不卸除支持部540或支持片542便可進行直管型燈管507之裝卸。

如圖18所示，各支持體541a、541b安裝於通風板535之鄰接之通風孔535a間。又，支持體541a、541b沿直管型燈管507 之管軸Xy方向配置於相互錯開之位置。根據該構成，支持體541a、541b於朝與直管型燈管507之管軸Xy平行之面的投影圖上，不會成為隔著直管型燈管507而對向之位置關係。藉此，可防止於燈管單元530之照射面上，來自直管型燈管507之照射光之光路被支持體541a、541b遮擋之影響集中於1個部位。再者，各支持體541a、541b間之距離可設為於直管型燈管507之任一部位均不會因自重或熱而產生向下下垂之變化的任意距離。

說明對直管型燈管507及其周邊進行空氣冷卻之空氣之流動，藉由設置於照射器520之通氣口521之內側的未圖示之送風機之驅動，而如圖17所示，經由照射開口545將冷卻風取入至燈管單元530之內部。圖17中之箭頭Ay係表示燈管單元530之內部之冷卻風之流動之圖，自照射開口545取入之冷卻風對直管型燈管507及其周邊進行冷卻，經過通風板535之通風孔535a、設置於框體531之上表面面板532中之通氣孔532a，藉由換氣導管511而排出至照射裝置501之殼體510外部。再者，由於直管型燈管507由支持部540支持，故而可抑制因框體531內部之冷卻風之流動而導致之直管型燈管507之振動。

如以上所說明般，根據第3實施形態，具備燈管單元530，該燈管單元530於框體531之內部內置有：直管型燈管507；及反射鏡單元580，其沿直管型燈管507之管軸Xy方向延伸，且具備具有使直管型燈管507發出之光反射之反射面508a、508b的玻璃製之反射鏡508；且反射鏡單元580具有沿直管型燈管507之管軸Xy延伸之通風板535、及設置於該通風板535之兩肋之一對上述反射鏡508、508，且於通風板535之長度方向之大致中央安裝有支持直管型燈管 507之支持部540。藉此，可一面使用玻璃製之反射鏡508，一面將支持直管型燈管507之支持部540安裝於反射鏡單元580，而可防止直管型燈管507因自重或熱而下垂。

又，支持部540包括一對支持體541，該一對支持體541具有自該通風板535之長度方向之大致中央延伸至直管型燈管507之側面507a、507b的軸543、及軸543貫穿且支持直管型燈管507之支持片542，支持體541隔著直管型燈管507而配置於相互對向之位置。藉此，由於使軸543自通風板535之中央延伸至直管型燈管507之側面507a、507b，故而可使構成反射鏡508之鏡508a、508b之上端延伸至直管型燈管507之上方，而可使直管型燈管507之光有效率地照射至光照射對象物。

又，支持片542設置成可繞軸543旋轉。藉此，於自燈管單元530裝卸交換直管型燈管507時等之直管型燈管507時，不卸除支持體541或支持片542，僅使其旋轉例如90°，便可使支持片542自直管型燈管507之裝卸路徑退離，而可容易地進行直管型燈管507之裝卸。

又，支持體541沿直管型燈管507之管軸Xy方向配置於相互錯開之位置。藉此，可防止於燈管單元530之照射面上，來自直管型燈管507之照射光之光路被支持體541a、541b遮擋之影響集中於1個部位。

[第4實施形態]

其次，對本發明之第4實施形態進行說明。

於該第4實施形態中，對在交換第1實施形態~第3實施形態中 說明之光配向裝置、照射裝置之長條之直管型紫外線燈管時的燈管交換台進行說明。

一般而言，於光配向裝置或照射裝置等中，長條之直管型紫外線燈管沿燈管之管軸方向延伸，且與對光配向對象物照射反射光之柱狀凹面反射鏡一併收納於框體內。而且，於該框體內具備直管型紫外線燈管及反射鏡之燈管單元構成為可自紫外線照射裝置之端面拉出，以進行燈管交換等維護(例如參照日本專利特開平06-096610號公報)。

然而，於將內置有長條之直管型燈管之燈管單元拉出至照射裝置之外部時，必需由多名作業者一面支持燈管單元一面將其拉出，作業性不佳。

因此，於本發明之第4實施形態中，對可有效率地交換直管型燈管之燈管交換台進行說明。

圖20係將本發明之第4實施形態之燈管交換台601之構成與利用該燈管交換台601交換直管型燈管681之照射裝置700一併表示之圖。

照射裝置700例如係作為用於液晶配向膜之配向之紫外線照射裝置的光配向裝置，雖省略圖示，但與第1實施形態同樣地內置有偏光元件單元10。

又，本實施形態之照射裝置700具備照射器設置架台704、及載置光照射對象物之工件平台(未圖示)。照射器設置架台704橫架於與設有照射裝置700之設置面603相隔既定距離之上方位置，且內置有照射器690。照射器690收容有自照射裝置700之一端面701拉出且裝卸自如地為照射器690所具備的燈管單元680。

燈管單元680沿作為光源的直管型燈管681之管軸Xz延伸，於內部包括該直管型燈管681及反射鏡683，且向正下方照射由反射鏡683聚集之偏光光束(參照圖27(B))。直管型燈管681為放電燈，且其係使用至少以與光配向對象物之寬度相比為同等以上之量延伸的直管型(棒狀)紫外線燈管。反射鏡683係剖面為橢圓形且沿直管型燈管681之管軸Xz延伸之柱狀凹面反射鏡，於設置於照射器690內之狀態下，覆蓋直管型燈管681之上側，聚集直管型燈管681之光，而向配置於照射器690之正下方之光配向對象物照射。燈管單元680內置於照射裝置700內，且設置成可自該照射裝置700之一端面701沿直管型燈管681之管軸Xz方向與燈管單元680一體地拉出以進行交換。

燈管交換台601包括燈管交換部610及台車部650。燈管交換部610之詳細內容於下文敍述，其具備當自照射裝置700之照射器690拉出燈管單元680時支持燈管單元680且沿拉出方向進行引導的導軌611。

燈管交換部610固定於台車部650，且構成為可與台車部650一體地移動。於台車部650之底面安裝有複數個腳輪607。台車部650構成為可藉由該等腳輪607而移動。根據該構成，例如當於交換直管型燈管681時等自照射裝置700拉出燈管單元680時，可視需要而對照射裝置700設置燈管交換台601。藉此，於存在多台照射裝置700之情形時，亦可利用一台燈管交換台601進行多台照射裝置700之直管型燈管681之交換等維護。

圖21係燈管交換台601之側視圖。於台車部650，具備作業者605用以進行直管型燈管681之交換等作業之支架606。作業者605可藉由暫設之台階602登上至該支架606而進行作業。又，於台車 部650，一體地設有載置燈管交換部610之載置台608。

燈管交換部610具備固定於載置台608之升降單元640、及可搖動地支持燈管單元680之搖動單元620。

又，於燈管交換台601，於底面附近設有使燈管交換台601之位置對準於照射裝置700之對準標記660。照射裝置700以於設置面603上不動之方式設置。於照射裝置700之一端面701附近之設置面603上，如圖20及圖22所示，利用螺釘609a固定有定位導引609。定位導引609藉由使燈管交換台601之對準標記660之位置對準於該定位導引609，而預先固定於可將燈管交換台601相對於照射裝置700定位之位置。

詳細地進行敍述，如圖22(A)所示，安裝於燈管交換台601之對準標記660係於大致L字狀之托架之前端661，利用螺栓663固定有由橡膠等緩衝材料形成為壁厚之圓盤狀的卡合體662。定位導引609具備對準標記660之卡合體662所卡合之卡合溝609b。於交換照射裝置700之直管型燈管681時，利用腳輪607使燈管交換台601移動至照射裝置700之附近，如圖22(B)所示，使對準標記660之卡合體662卡合於固定於設置面603上的定位導引609之卡合溝609b。藉此，將燈管交換台601相對於照射裝置700定位。根據該構成，可將燈管交換台601相對於照射裝置700準確且容易地定位。可於將燈管交換台601相對於照射裝置700定位後，利用止動器607a使腳輪607固定。

如圖23(A)所示，燈管單元680係於框體684內收納直管型燈管681，且收容於照射器690內。於照射器690中設有換氣用之通氣口710。於通氣口710，雖省略圖示，但連接有連通至照射裝置700之外部之換氣導管。通氣口710具有送風筒710A及排氣筒710B。藉 由設置於照射裝置700外之未圖示之送風機，而經由送風筒710A將冷卻風導入至照射器690內，從而直接對直管型燈管681及其周邊進行空氣冷卻。空氣冷卻後之冷卻風經由排氣筒710B而排出至照射裝置700外。

如圖23(B)所示，框體684具備沿一對側面之上緣設置之複數個滾輪688、及設置於上表面之滾輪689。於照射器690內，設有於對照射器690裝卸燈管單元680時供滾輪688、689滑動之4條軌道692。燈管單元680使設置於框體684之側面之滾輪688於上下平行地並列設置之一對軌道692間滑動，並且使設置於框體684之上表面之滾輪689沿上方之軌道692之側面滑動，而裝卸自如地為照射器690所具備。

又，於燈管單元680中，於框體684之兩端面設置旋轉軸685，於將燈管單元680拉出或放入至照射裝置700時，作業者605握住該旋轉軸685進行拉出。

圖24係模式性地表示自照射器690拉出燈管單元680之狀態之圖。再者，於圖24中，為簡化說明，未圖示照射裝置700之照射器設置架台704及燈管交換台601之台車部650。

如圖24(A)所示，燈管單元680構成為可自照射器690之一端面(前表面)之開口沿直管型燈管681之管軸Xz拉出。於燈管交換台601之燈管交換部610，支持自照射器690拉出之燈管單元680且沿拉出方向進行引導的一對導軌611、611安裝於搖動單元620。

如圖24(B)所示，自照射器690拉出之燈管單元680由燈管交換部610之導軌611、611支持。如圖24(D)所示，燈管單元680係設置於框體684之側面之滾輪688載置於導軌611上，並且藉由作 業者605握住旋轉軸685拉出燈管單元680，而使滾輪688於導軌611上滑動。藉此，燈管單元680支持於導軌611並且得到引導，而如圖24(C)所示，被自照射器690拉出。根據該構成，作業者605握住旋轉軸685拉出燈管單元680，利用導軌611進行支持並進行引導，而可簡單地自照射裝置700卸除燈管單元680。

如圖25所示，燈管交換部610具備導軌611使其可藉由升降單元640而升降，並且可藉由搖動單元620而搖動。又，燈管交換部610具備使燈管單元680反轉之反轉單元630。又，詳細內容於下文敍述，燈管交換部610具備調整導軌611之寬度的寬度調整單元675。

升降單元640包括剪臂式升降機，且沿燈管交換部610之延伸方向隔開既定間隔而設有2台。2台升降單元640可為機械式，亦可為流體作動式，根據作業者605之操作，而同步作動。即，2台升降單元640構成為於升降時可使由2台升降單元640支持之搖動單元620取得水平。升降單元640係底部641載置於台車部650之載置台608(參照圖21)，且於頂部642配設有搖動單元620。

搖動單元620具備包括上板621A及下板621B之中心對準單元621。中心對準單元621構成為上板621A可於下板621B上自由地、例如於自下板621B之中心為半徑650mm之範圍內轉動360度。中心對準單元621之下板621B固定於升降單元640之頂部642。

又，搖動單元620具備支持導軌611之支持體622。支持體622包括固定於中心對準單元621之上板621A的連結板623、連結於連結板623之框體624、及安裝於框體624且保持導軌611之保持部625。框體624係藉由沿燈管交換部610之延伸方向延伸且經連結板623連結 之一對梁體624a、及設置於梁體624a之兩端部且架設於梁體624a之端板624b，而形成為大致四邊形之框狀。

支持體622係藉由中心對準單元621而可相對於升降單元640可搖動地得到保持，且如圖26所示，以可相對於固定於台車部650之升降單元640向圖中箭頭方向擺動之方式設置。根據該構成，於利用導軌611支持自照射器690拉出之燈管單元680且沿拉出方向進行引導時(參照圖24)，即便於內置於照射器690中之燈管單元680之管軸Xz方向、與導軌611之延伸方向存在若干偏差之情形時，亦可利用搖動單元620使燈管單元680搖動而吸收該偏差。藉此，可使導軌611之延伸方向與燈管單元680之管軸Xz之方向一致，而順利地拉出燈管單元680，從而不會與框體684內之軌道692等構件接觸而摩擦。

如圖25所示，反轉單元630包括設置於搖動單元620之延伸方向之兩端部的一對升降器638、設置於一升降器638之附近之升降用手柄631、及藉由升降用手柄631之旋轉而使升降器638升降之升降機構632。升降器638藉由一對托架部633、及設置於托架部633之前端之座部636而形成為門型。座部636配設於搖動單元620之端板624b之上方，由該座部636連結之一對托架部633貫穿端板624b。又，於座部636，凹下設置承受燈管單元680之旋轉軸685的軸承637。

反轉單元630係於作業者605使升降用手柄631旋轉時，升降器638上下移動。若使升降用手柄631旋轉而使升降器638上升，則如圖27(B)所示，燈管單元680之旋轉軸685樞軸支承於座部636之軸承637。而且，若使升降器638進一步上升，則燈管單元680之旋轉軸685於樞軸支承於升降器638之座部636之狀態下被上抬，自導軌611脫離，且架設於設置於導軌611之延伸方向之兩端部的一 對升降器638間而得到保持。

若使升降器638上升，則貫穿托架部633而設置於端板624b之下表面的筒狀定位構件634抵接於設置於托架部633之止動器635。作業者605可藉由使升降用手柄631旋轉，直至定位構件634抵接於止動部635，而使保持於升降器638之燈管單元680上升至既定位置。而且，如圖27(B)所示，上升至既定位置之燈管單元680可於載置於燈管交換部610之狀態下不與導軌611相干涉地繞旋轉軸685沿垂直方向反轉(上下反轉)。於使燈管單元680反轉時，將未圖示之反轉用手柄裝卸自如地安裝於兩端由軸承637樞軸支承之燈管單元680之其中一邊之旋轉軸685。而且，作業者605可藉由以手動使該反轉用手柄旋轉，而簡單地使燈管單元680反轉。

圖27(C)係自圖27(A)中之箭頭Cz方向觀察燈管單元680之部分放大圖。於燈管單元680之旋轉軸685中，如圖27(C)所示，設有插入固定燈管單元680之旋轉之銷639的貫穿孔(未圖示)。又，於反轉單元630之升降器638中，於座部636之軸承637內，形成有插入銷639之銷孔637a。作業者605可藉由於使兩端由軸承637樞軸支承之燈管單元680反轉後，將銷639插入至旋轉軸685之貫穿孔及軸承637之銷孔637a，而以燈管單元680不旋轉之方式進行限制。

燈管單元680係於下表面開口之箱形之框體684內收納直管型燈管681及反射鏡683，且於收納於照射器690內之狀態下，具備於下方開口之照射開口682。框體684包含不鏽鋼等具有剛性之金屬製材料。直管型燈管681係與以沿直管型燈管681之管軸Xz且圍繞直管型燈管681之方式設置之反射鏡683一體地安裝於燈管單元680。如上述般，於將燈管單元680自照射裝置700取出至燈管交換台601上 時，燈管單元680之照射開口682於下方開口。於本實施形態中，如上所述，可容易地使燈管單元680於載置於燈管交換部610之狀態下反轉，且如圖27(B)所示，可使燈管單元680之照射開口682於上方開口。而且，可利用銷639限制於燈管交換部610上反轉之燈管單元680，而可將燈管單元680之直管型燈管681自於上方開口之照射開口682容易地卸除以進行交換。

又，如圖28所示，燈管交換台601亦可較佳地用於交換安裝於照射器690內之濾光器單元670時。濾光器單元670配置於作為光源的直管型燈管681之正下方，且具備調整自燈管單元680照射之照射光之波長的光學濾光器。由於該濾光器單元670會因紫外線燈管之紫外線而導致光學濾光器劣化且穿透率降低，故而將必需與新品進行交換。濾光器單元670為沿直管型燈管681之管軸Xz方向延伸之長條形狀。如上所述，燈管交換台601之燈管交換部610之高度可由升降單元640調整。

於交換濾光器單元670時，首先，作業者605利用升降單元640調整燈管交換部610之高度，而使導軌611為可支持自照射器690拉出之濾光器單元670且沿拉出方向進行引導之高度。其次，如圖28(A)所示，將濾光器單元670自照射器690拉出。而且，使設置於燈管交換台601之燈管交換部610的導軌611支持自照射器690拉出之濾光器單元670，且沿拉出方向進行引導而將其拉出(參照圖28(B))。

如圖29所示，燈管交換部610具備調整一對導軌611、611間之寬度之寬度調整單元675。寬度調整單元675係包括由保持部625固定於搖動單元620中之一對螺釘軸(梯形螺紋)676、可滑動地設 置於各螺釘軸676之滑動螺帽677、使螺釘軸676旋轉而使滑動螺帽677滑動之寬度調整用手柄678、及限制滑動螺帽677之滑動範圍之止動部679而構成。一對螺釘軸676、676構成為由未圖示之正時皮帶相連，且藉由寬度調整用手柄678而相互同步旋轉。若利用寬度調整用手柄678使螺釘軸676旋轉，則一對滑動螺帽677相對於燈管交換部610之中心Cz向相互遠離之方向或靠近之方向於螺釘軸676上滑動而移動。導軌611構成為固定於滑動螺帽677且與滑動螺帽677一體地移動。藉此，構成為導軌611間之寬度可由寬度調整單元675之寬度調整用手柄678調整。

如圖29(A)所示，若利用寬度調整用手柄678使螺釘軸676、676旋轉，且使滑動螺帽677相對於燈管交換部610之中心Cz向相互靠近之方向移動，而使滑動螺帽677碰觸至止動器679，則導軌611間之寬度設定為既定寬度。此時之導軌611間之寬度係設定為與燈管單元680之寬度對應之寬度。

另一方面，如圖29(B)所示，若利用寬度調整用手柄678使螺釘軸676、676旋轉，且使滑動螺帽677相對於燈管交換部610之中心Cz向相互遠離之方向移動，而使滑動螺帽677碰觸至保持部625，則導軌611間之寬度設定為既定寬度。此時之導軌611間之寬度係設定為與濾光器670之寬度對應之寬度。

如上述般，燈管交換部610構成為可利用寬度調整單元675調整導軌611間之寬度，藉由適當地調整導軌611間之寬度，可用於交換燈管單元680或濾光器670時。

如圖28(D)所示，濾光器單元670亦可為於側面具備複數個滾輪671之構成，亦可為藉由該滾輪671於導軌611上滑動而可 容易地拉出之構成。如圖28(C)所示，自照射器690完全拉出之濾光器單元670支持於導軌611，且載置於燈管交換部610上。

如以上所說明般，根據第4實施形態，燈管交換台601係用於照射裝置700，該照射裝置700內置有沿直管型燈管681之管軸Xz延伸且於內部收納有該直管型燈管681的燈管單元680，自端面701沿管軸Xz之方向拉出燈管單元680而可進行交換，且該燈管交換台601包括：導軌611，其配置於端面701之外側，一面支持自端面701拉出之燈管單元680一面進行引導；及搖動單元620，其以導軌611之延伸方向與燈管單元680之管軸X之方向一致之方式可搖動地保持導軌611。根據該構成，可利用導軌611一面支持燈管單元680一面將其自照射裝置700拉出。藉此，可由1名作業者605容易地進行燈管單元680朝照射裝置700之裝卸，而可使直管型燈管681之交換作業之效率提昇。又，可利用搖動單元620吸收導軌611相對於照射裝置700之若干偏差，而順利地對照射裝置700裝卸燈管單元680。由此，可作業效率高地將燈管單元680自照射裝置700拉出，而容易地進行直管型燈管681之交換。

又，燈管交換台601具備使直管型燈管681之上側由反射鏡683覆蓋之燈管單元680上下反轉的反轉單元630。藉此，可於燈管交換台601上，使燈管單元680反轉，而使燈管單元680之照射開口682朝向上方，從而可自該照射開口682容易地裝卸並交換直管型燈管681。

又，燈管交換台601具備如下對準標記660，即，卡合於設置於放置照射裝置700之設置面603之既定位置的定位導引609，而將導軌611相對於照射裝置700定位。藉此，於需要燈管交換台601 時，例如於交換直管型燈管681時，可相對於照射裝置700準確且容易地進行定位。由此，可提昇直管型燈管681之交換作業之作業效率。

[第5實施形態]

於第1~第4實施形態中使用之偏光元件單元10如上所述包括複數個線柵偏光元件16。於光配向裝置1中，一般而言，線柵偏光元件16之性能、尤其係消光比會對光配向對象物2之品質造成影響。

因此，對可獲得良好之消光比之線柵偏光元件進行說明。

圖30係模式性地表示本實施形態之線柵偏光元件816之構成之圖，圖30(A)係剖面圖，圖30(B)係平面圖。

線柵偏光元件816包含繞射光柵層810及基板840。繞射光柵層810包含沿圖30(A)及圖30(B)中所示之笛卡爾座標系之y方向延伸的細長之金屬線部811。金屬線部811以形成具有週期Λ(lambda)之繞射光柵之方式排列。若組成不同，則對波長為λ1之光具有不同之光學特性。

繞射光柵層810使與z軸平行地傳播之波長為λ1之入射光直線性地偏光。換言之，對於與z軸平行地傳播且入射至線柵偏光元件816上之波長為λ1之光，線柵偏光元件816使與向y方向平面偏光(稱為「阻止」狀態偏光)之成分之量相比，向x方向平面偏光(稱為「通過」狀態偏向)之入射光之成分之量相對較多地使光透射，將該等之比定義為消光比。

於本實施形態之線柵偏光元件816中，λ1對應於UV(Ultraviolet，紫外線)波長(例如自約100nm至最大400nm)。

此處，對繞射光柵層810之構造詳細地進行敍述，金屬 線部811沿y方向延伸，藉由分別由間隙812隔開，而形成週期性之繞射光柵。金屬線部811於x方向具有寬度Λ811，另一方面，間隙812於寬度x方向具有寬度Λ812。繞射光柵週期Λ等於Λ811+Λ812，且小於λ1，其結果，波長為λ1之光與繞射光柵層810相互作用，而未伴有光與週期性之構造相互作用時可能產生之明顯之高維遠場繞射。此處，可認為λ1為UV波長，繞射光柵層810為奈米構造化層之例。

金屬線部811之組成係以線柵偏光元件816具有所需之偏光特性之方式選擇。尤其係於波長λ1為UV波長之情形時，於金屬線部811之材料中，較佳為使用氧化鈰(CeO₂)、銦錫氧化物(ITO，Indium Tin Oxide)、矽(Si)(例如結晶質、半結晶質、非晶質矽)、氮化矽(Si₃N₄)、矽化鈮(NbSi)、氮化鋁(AlN)、氮化鎢(WN)、氮化鉬(MoN)、銥(Ir)、鈦(Ti)、鉻(Cr)、鉑(Pt)、鉬(Mo)。

再者，金屬線部811亦可為結晶質、半結晶質及/或非晶質。又，於金屬線部811之材料為上述氧化物、氮化物、矽化物之情形時，亦可包含所謂氧化、氮化或矽化之程度為中間狀態之物質。進而，亦可為該等材料之混合體。

此處，於將n設為折射率，將k設為衰減係數之情形時，發明者得到以下見解，即，若將成為k+(3/4)×n>3且k>0.5之材料用於金屬線部811，則對於UV波長(尤其係365nm)之入射光，線柵偏光元件816表現良好之消光比。

如上述般，於本實施形態中，因於將n設為折射率，將k設為衰減係數之情形時，將成為k+(3/4)×n>3且k>0.5之材料用於線柵偏光元件816之金屬線部811，故而可使對UV波長之消光比良好。

10‧‧‧偏光元件單元

12‧‧‧單位偏光元件單元

14‧‧‧框架

16‧‧‧線柵偏光元件

19‧‧‧螺釘

36‧‧‧凸條

B‧‧‧排列方向

Claims (16)

1. 一種偏光元件單元，其具備：複數個線柵偏光元件，其使光線產生偏光；及框架，其並列地配置上述線柵偏光元件；且該偏光元件單元之特徵在於：上述框架具備有對每一上述線柵偏光元件規定安裝位置之安裝部，且於該安裝部以上述線柵偏光元件之平面之中心為軸心可轉動地設置上述線柵偏光元件。
2. 如申請專利範圍第1項之偏光元件單元，其中，於上述安裝部設有引導上述線柵偏光元件之轉動的引導部。
3. 如申請專利範圍第1或2項之偏光元件單元，其中，上述線柵偏光元件係於將n設為折射率、將k設為衰減係數之情形時，利用成為k+(3/4)×n>3且k>0.5之材料來形成金屬線部。
4. 如申請專利範圍第1或2項之偏光元件單元，其中，上述線柵偏光元件具備有相對於上述平面而呈垂直地延伸之凸條，沿平行於上述平面之方向推拉上述凸條，而可以使上述線柵偏光元件產生轉動。
5. 一種調整用治具，其調整於申請專利範圍第4項中之偏光元件單元所具備之上述線柵偏光元件之各者之轉動，且其特徵在於：設有供上述線柵偏光元件之上述凸條寬鬆貫穿之寬鬆貫穿孔，一方面使上述凸條貫穿上述寬鬆貫穿孔，一方面以覆蓋上述線柵偏光元件之方式與上述框架產生卡合，且具備：調整手段，其將貫穿上述寬鬆貫穿孔中之上述凸條沿平行於上述平面之方向進行推拉，來調整上述線柵偏光元件之轉動。
6. 一種調整用治具，其調整於申請專利範圍第1項中之偏光元件單元 所具備之上述線柵偏光元件之各者之轉動，且其特徵在於具備：卡合部，其以覆蓋配置於上述安裝部之上述線柵偏光元件之方式與上述框架產生卡合；及引導部，其引導上述線柵偏光元件之轉動；且可以一方面利用上述引導部引導上述線柵偏光元件之轉動一方面進行調整。
7. 如申請專利範圍第1至4項中任一項之偏光元件單元，其中，將遮蔽光線之遮光區域沿鄰接之線柵偏光元件之邊界部加以設置，並且遍及上述線柵偏光元件之排列方向，而於與該排列方向正交之方向，以在上述線柵偏光元件中之上述遮光區域、與未經上述遮光區域所遮蔽之非遮光區域之長度之比率成為相等之方式設有上述遮光區域。
8. 如申請專利範圍第7項之偏光元件單元，其中，上述線柵偏光元件之各者係以將使上述線柵偏光元件轉動而可以來調整金屬線之方向之調整用間隙設置於上述邊界部之方式加以排列，並且同時該偏光元件單元具備：遮光板，其覆蓋上述線柵偏光元件之各者之邊界部，而形成上述遮光區域。
9. 如申請專利範圍第7或8項之偏光元件單元，其中，將上述線柵偏光元件形成為三角形，使其交替地上下反轉而橫向並列地排列上述線柵偏光元件，或將上述線柵偏光元件形成為具有相對於上述排列方向呈傾斜之邊之四邊形，並以使該邊彼此對齊之方式橫向並列地排列上述線柵偏光元件。
10. 一種照射裝置，其特徵在於具備照射器，該照射器於框體內部內置有：申請專利範圍第1至4項中任一項之偏光元件單元；直管型燈管，其相對於上述偏光元件單元之排列沿大致呈正交之方向延伸；及反射鏡單元，其沿上述直管型燈管之管軸方向延伸，且包括具有使上述直管型燈管所發出之光線產生反射之反射面的玻璃製之反射鏡；且上述反射鏡單元具備：通風板，其沿上述直管型燈管之管軸延伸；及一對上述反射鏡，其設置於該通風板之兩肋；且於上述通風板之長度方向之大致中央安裝有支持上述直管型燈管之支持部。
11. 如申請專利範圍第10項之照射裝置，其中，上述支持部係由一對支持體所形成，該一對支持體具有：軸，其自上述通風板之上述大致中央延伸至上述直管型燈管之側面；及支持片，其被上述軸所貫穿且支持上述直管型燈管；且上述支持體係隔著上述直管型燈管而配置於相互對向之位置。
12. 如申請專利範圍第11項之照射裝置，其中，上述支持片係設置為可繞上述軸旋轉。
13. 如申請專利範圍第11或12項之照射裝置，其中，上述支持體係沿著上述直管型燈管之管軸方向而配置於相互錯開之位置。
14. 一種燈管交換台，其係用於照射裝置，該照射裝置具備：申請專利範圍第1至4項中任一項之偏光元件單元；及直管型燈管，其相對於上述偏光元件單元之排列沿大致呈正交之方向延伸；且內置沿上 述直管型燈管之管軸延伸且於內部收納有上述直管型燈管之燈管單元，自端面沿上述管軸之方向可以拉出上述燈管單元而進行交換；且該燈管交換台之特徵在於具備：導軌，其配置於上述端面之外側，一方面支持自上述端面拉出之燈管單元一方面進行引導；及搖動單元，其以上述導軌之延伸方向與上述燈管單元之管軸之方向為一致之方式將上述導軌可搖動地加以保持。
15. 如申請專利範圍第14項之燈管交換台，其中，具備：反轉單元，其使藉由反射鏡加以覆蓋之上述直管型燈管之上側之上述燈管單元上下反轉。
16. 如申請專利範圍第14或15項之燈管交換台，其中，具備：對準標記，其卡合於設置在上述照射裝置所放置的設置面之既定位置之定位導引，而將上述導軌對上述照射裝置之框體之側面進行定位。