TW201350236A

TW201350236A - 標記裝置及方法

Info

Publication number: TW201350236A
Application number: TW102104807A
Authority: TW
Inventors: Naoyoshi Hamakawa; Hiroki Tanikawa
Original assignee: Toray Eng Co Ltd
Priority date: 2012-03-06
Filing date: 2013-02-07
Publication date: 2013-12-16
Also published as: KR102097840B1; JP5896459B2; WO2013132971A1; TWI580505B; CN104159698A; JP2013184171A; KR20140132720A; CN104159698B

Abstract

本發明的課題為其目的為提供一種標記裝置及方法，即使是連續被運送的標記對象物，也能在無晃動的狀態下連續地標記規定的描繪圖案，可提高生產性。本發明的解決手段為一種標記裝置，將描繪圖案標記在標記對象物，其特徵包含:將標記對象物連續運送於第一方向之運送部；使標記單元移動於第一方向之標記單元第一移動部與移動於標記單元第二方向之標記單元第二移動部；標記位置補正部；控制標記位置重疊控制部及同步移動控制部，在標記對象物被連續運送於第一方向的時候，將標記用光線照射規定時間於標記對象物上的第一方向及第二方向的相同位置之統括控制部。

Description

標記裝置及方法

　　本發明是關於將識別碼(identification code)或任意的圖案(pattern)標記(marking)在顯示器材料(display material)或半導體元件(semiconductor device)等的標記對象物之裝置及方法，特別是關於對被連續運送的標記對象物進行標記之技術。

　　在電視或個人電腦、可攜式終端機(portable terminal)等的顯示器材料或半導體元件等，為了生產管理用途或出貨後的追溯性(traceability)用途的利用，與生產批量(production lot)或製造年月有關的資訊、序號等的識別碼被標記。而且，為了使製造廠或製品的判別容易起見，標誌(logo)或標記(mark)、型式、料號等的任意的圖案被標記。該等識別碼或任意的圖案被稱為描繪圖案，複數個描繪圖案被標記在排列成矩陣狀的位置。
　　被標記在前述標記對象物的描繪圖案是使用標記裝置(marking equipment)而被標記，在使前述標記對象物靜止的狀態下被標記(例如專利文獻1)。
　　圖11是顯示習知技術中的標記的樣子之側視圖，顯示使用習知技術中的標記裝置，將規定的描繪圖案15a、15b標記在標記對象物上的兩處的樣子。習知的標記裝置1z包含如下的構件而構成:在使標記對象物10z靜止的狀態下保持的承載台20z；朝標記對象物10z照射對應描繪圖案的標記用光線47之標記單元4。
　　標記單元4是與標記對象物10z在z方向保持規定的間隔下，可移動於箭頭40y所示的方向(y方向)而構成。再者，標記單元4包含描繪圖案產生部40與標記位置補正部45而構成。被由描繪圖案產生部40照射之對應描繪圖案的光線42入射到光學零件43。經由光學零件43後，對應描繪圖案的光線44被照射到標記位置補正部45的鏡子45m，藉由鏡子45m反射的光通過fθ透鏡46等的光學零件，當作標記用光線47朝標記對象物10z照射。標記位置補正部45可使鏡子45m旋轉於θ方向，可變更標記用光線47的照射方向。
　　標記單元4與外部的控制機器連接，可藉由一邊使標記單元4移動於以箭頭40y(y方向)表示的方向，一邊控制標記位置補正部45，將標記用光線47持續照射規定的時間於標記對象物10z上的規定的地方。
　　若以時間序列(time series)進行說明的話，由過去的時刻t1到時刻t2，標記單元4一邊由虛線40t1移動到虛線40t2所示的位置，鏡子45m一邊由虛線45m1移動到虛線45m2所示的位置。此時，標記用光線47一邊由虛線47t1變化成虛線47t2所示的位置、方向，一邊被照射。因此，在標記對象物10z上，規定的描繪圖案15a被標記。
　　再者，由過去的時刻t3到現在，標記單元4一邊由虛線40t3所示的位置移動到以實線表示的現在的位置，鏡子45m一邊由虛線45m3所示的位置移動到現在的位置。此時，標記用光線47一邊由虛線47t3所示的位置、方向變化成以實線表示的現在的位置、方向，一邊被照射。因此，在標記對象物10z上，規定的描繪圖案15b被標記。因此，可將規定的描繪圖案15a、15b標記在標記對象物10z上的兩處。
　　[專利文獻1] 日本國特開2006-259515號公報

　　但是，若在使標記對象物10z靜止的狀態下使其進行標記，則需替換標記對象物10z，或間歇地運送標記對象物10z，無法提高生產性。為了提高生產性，若想一邊連續運送標記對象物10z，一邊使用習知的技術標記規定的描繪圖案，則有發生以下說明的[位置偏移]及/或[晃動]的課題。
　　圖12是顯示習知技術中的標記的樣子之俯視圖，顯示一邊使標記對象物10z移動於與前述標記單元4的移動方向交叉的方向(亦即x方向)，一邊進行標記的情形的描繪圖案16a、16b的標記位置。經過過去的時刻t1、t2、t3，到現在為止，標記對象物10z移動於以箭頭10v表示的方向(x方向)，標記對象物上的某位置移動到以虛線10e1、10e2、10e3表示的位置，現在位於以實線10e表示的位置。因標記單元4可一邊移動於y方向，一邊使y方向的標記用光線的照射位置、方向變化，故不發生由過去的時刻t1到t2所標記的規定的描繪圖案16a或由過去的時刻t3到現在所標記的規定的描繪圖案16b之起因於y方向的相對移動速度的[晃動]。
　　另一方面，因被標記的描繪圖案16a、16b於在與標記單元4移動的方向(亦即y方向)交叉的方向(亦即x方向)標記對象物被運送的狀態下被標記，故發生無法在將該描繪圖案排列成矩陣狀的狀態下標記在規定的地方之運送方向(x方向)的[位置偏移]。
　　再者，被標記的描繪圖案16a、16b因標記對象物10z對標記單元相對移動於運送方向，故發生了起因於運送方向(x方向)的相對移動速度的[晃動]。
　　也就是說，由過去的時刻t1到t2所標記的規定的描繪圖案16a在標記中由虛線16c1所示的位置變化成虛線16c2所示的位置，成為發生起因於運送方向(x方向)的相對移動速度的[晃動]之狀態。同樣地，由過去的時刻t3到現在所標記的規定的描繪圖案16b在標記中由虛線16c3所示的位置變化成實線16c4所示的位置，成為發生了起因於運送方向的相對移動速度的[晃動]之狀態。
　　而且，描繪圖案16a、16b因標記開始位置時刻不同，故在運送方向(x方向)發生[位置偏移]。
　　因此，本發明其目的為提供一種標記裝置及方法，即使是連續被運送的標記對象物，也能在無[位置偏移]及/或[晃動]的狀態下連續地標記規定的描繪圖案，可提高生產性。
　　為了解決以上的課題，申請專利範圍第1項的發明是一種標記裝置，將描繪圖案標記在標記對象物，其特徵包含:
　　將前述標記對象物連續運送於第一方向之運送部；
　　檢測將前述標記對象物運送於前述第一方向的量之運送量檢測器；
　　朝前述標記對象物照射對應前述描繪圖案的標記用光線之標記單元；
　　使前述標記單元移動於前述第一方向之標記單元第一移動部；
　　根據透過前述運送量檢測器檢測出的每一單位時間運送前述標記對象物的量，使前述標記單元第一移動部移動相同的量於與前述第一方向相同的方向之同步移動控制部；
　　使前述標記單元移動於與前述第一方向交叉的第二方向之標記單元第二移動部；
　　檢測前述標記單元的第二方向的位置之位置檢測器；
　　變更照射前述標記用光線的位置並使前述標記用光線被照射於前述標記對象物上的相同位置而進行補正之標記位置補正部；
　　在前述標記單元移動於前述第二方向的時候，根據透過前述位置檢測器檢測出的前述標記單元的第二方向的位置，控制前述標記位置補正部中的挪動量，使前述標記用光線照射規定時間於前述標記對象物上的第二方向的相同位置之標記位置重疊控制部；以及
　　控制前述標記位置重疊控制部及前述同步移動控制部，一邊使前述標記對象物連續運送於前述第一方向，一邊使前述標記用光線照射規定時間於前述標記對象物上的第一方向及第二方向的相同位置之統括控制部。
　　申請專利範圍第2項的發明是申請專利範圍第1項之標記裝置，其中在前述標記對象物被賦予定位基準用標記，
　　包含:
　　以應標記的描繪圖案對前述定位基準用標記的位置之相對位置當作標記預定位置而登記之描繪預定位置登記部；
　　拍攝前述定位基準用標記之標記攝影部；以及
　　檢測透過前述標記攝影部拍攝的前述定位基準用標記的位置資訊之標記位置檢測部，
　　前述統括控制部根據前述標記攝影部與前述標記單元的間隔，與透過前述標記位置檢測部檢測出的定位基準用標記的位置資訊，控制前述標記位置重疊控制部及前述同步移動控制部。
　　申請專利範圍第3項的發明是申請專利範圍第2項之標記裝置，其中更包含:檢測透過前述標記攝影部拍攝的　　前述定位基準用標記的角度資訊之標記角度檢測部，
　　前述標記單元更包含:對前述標記預定位置，使照射前述標記用光線的位置移位規定量於規定的方向而照射之標記位置移位功能，
　　前述統括控制部根據前述標記攝影部與前述標記單元的間隔，與透過前述標記位置檢測部檢測出的定位基準用標記的位置資訊，與透過前述標記角度檢測部檢測出的定位基準用標記的角度資訊，每一描繪圖案使照射前述標記用光線的位置移位規定量於規定的方向，控制前述標記位置重疊控制部及前述同步移動控制部。
　　申請專利範圍第4項的發明是申請專利範圍第2項之標記裝置，其中在前述標記對象物被賦予複數個定位基準用標記，
　　前述標記位置檢測部檢測前述複數個定位基準用標記的位置資訊，
　　更包含:根據透過前述標記攝影部拍攝的前述複數個定位基準用標記的位置資訊，檢測該定位基準用標記的角度資訊之根據複數個標記位置的角度檢測部，
　　前述標記單元更包含:對前述標記預定位置，使照射前述標記用光線的位置移位規定量於規定的方向而照射之標記位置移位功能，
　　前述統括控制部根據前述標記攝影部與前述標記單元的間隔，與透過前述標記位置檢測部檢測出的定位基準用標記的位置資訊，與透過根據前述複數個標記位置的角度檢測部檢測出的定位基準用標記的角度資訊，每一描繪圖案使照射前述標記用光線的位置移位規定量於規定的方向，控制前述標記位置重疊控制部及前述同步移動控制部。
　　申請專利範圍第5項的發明是申請專利範圍第2項至第4項中任一項之標記裝置，其中
　　更包含:計算前述運送部的運送速度之運送速度運算部，
　　在前述描繪預定位置登記部包含有:
　　前述複數排列而被登記的標記預定位置之中，
　　以重複標記在第一方向的方向的間隔當作進給間距(feed pitch)登記之進給間距登記部；以及
　　以依次被標記在第二方向的最初的描繪圖案與最後的描繪圖案的間隔當作兩端描繪圖案間隔登記之兩端描繪圖案間隔登記部，
　　前述運送速度運算部根據前述進給間距，與前述兩端描繪圖案間隔，與前述標記單元第二移動部中的為了依次標記所需的時間，與前述標記單元第一移動部中的為了重複標記所需的時間，算出前述運送部的運送速度的容許值，
　　前述統括控制部包含:以該被算出的運送速度的容許值當作前述運送部的運送速度而設定，進行重複標記的功能。
　　申請專利範圍第6項的發明是一種標記方法，將描繪圖案標記在標記對象物，其特徵包含:
　　將前述標記對象物連續運送於第一方向之運送步驟；
　　檢測將前述標記對象物運送於前述第一方向的量之運送量檢測步驟；
　　使用朝前述標記對象物照射對應前述描繪圖案的標記用光線之標記單元，照射標記用光線之標記用光線照射步驟；
　　使前述標記單元移動於前述第一方向之標記單元第一移動步驟；
　　根據透過前述運送量檢測步驟檢測出的每一單位時間運送前述標記對象物的量，使其移動相同的量於與前述標記單元第一移動步驟中的前述第一方向相同的方向之同步移動控制步驟；
　　使前述標記單元移動於與前述第一方向交叉的第二方向之標記單元第二移動步驟；
　　檢測前述標記單元的第二方向的位置之位置檢測步驟；
　　變更照射前述標記用光線的位置並使前述標記用光線被照射於前述標記對象物上的相同位置而進行補正之標記位置補正步驟；以及
　　在前述標記單元移動於前述第二方向的時候，根據在前述位置檢測步驟檢測出的前述標記單元的第二方向的位置，控制前述標記位置補正步驟中的挪動量，使前述標記用光線照射規定時間於前述標記對象物上的第二方向的相同位置之標記位置重疊控制步驟，
　　統括控制前述標記位置重疊控制步驟及前述同步移動控制步驟，
　　在前述標記對象物被連續運送於前述第一方向的時候，將前述標記用光線照射規定時間於前述標記對象物上的第一方向及第二方向的相同位置。
　　申請專利範圍第7項的發明是申請專利範圍第6項之標記方法，其中在前述標記對象物被賦予定位基準用標記，
　　包含:
　　以應標記的描繪圖案對前述定位基準用標記的位置之相對位置當作標記預定位置而登記之描繪預定位置登記步驟；
　　拍攝前述定位基準用標記之標記攝影步驟；以及
　　檢測在前述標記攝影步驟拍攝的前述定位基準用標記的位置資訊之標記位置檢測步驟，
　　根據在前述標記攝影步驟使用的標記攝影部與標記單元的間隔，與在前述標記位置檢測步驟檢測出的定位基準用標記的位置資訊，統括控制前述標記位置重疊控制步驟及前述同步移動控制步驟。
　　申請專利範圍第8項的發明是申請專利範圍第7項之標記方法，其中更包含:檢測在前述標記攝影步驟拍攝的前述定位基準用標記的角度資訊之標記角度檢測步驟，
　　前述標記單元更包含:對前述標記預定位置，使照射前述標記用光線的位置移位規定量於規定的方向而照射之標記位置移位功能，
　　根據前述標記攝影部與前述標記單元的間隔，與在前述標記位置檢測步驟檢測出的定位基準用標記的位置資訊，與在前述標記角度檢測步驟檢測出的定位基準用標記的角度資訊，每一描繪圖案使照射前述標記用光線的位置移位規定量於規定的方向，統括控制前述標記位置重疊控制步驟及前述同步移動控制步驟。
　　申請專利範圍第9項的發明是申請專利範圍第7項之標記方法，其中在前述標記對象物被賦予複數個定位基準用標記，
　　在前述標記位置檢測步驟中，檢測前述複數個定位基準用標記的位置資訊，
　　更包含:根據在前述標記攝影步驟拍攝的前述複數個定位基準用標記的位置資訊，檢測該定位基準用標記的角度資訊之標記角度檢測步驟，
　　前述標記單元更包含:對前述標記預定位置，使照射前述標記用光線的位置移位規定量於規定的方向而照射之標記位置移位功能，
　　根據前述標記攝影部與前述標記單元的間隔，與在前述標記位置檢測步驟檢測出的定位基準用標記的位置資訊，與在前述標記角度檢測步驟檢測出的定位基準用標記的角度資訊，每一描繪圖案使照射前述標記用光線的位置移位規定量於規定的方向，統括控制前述標記位置重疊控制步驟及前述同步移動控制步驟。
　　申請專利範圍第10項的發明是申請專利範圍第7項至第9項中任一項之標記方法，其中
　　更包含:計算前述運送步驟的運送速度之運送速度運算步驟，
　　在前述描繪預定位置登記步驟中包含有:
　　前述複數排列而被登記的標記預定位置之中，
　　以重複標記在第一方向的方向的間隔當作進給間距登記之進給間距登記步驟；以及
　　以依次被標記在第二方向的最初的描繪圖案與最後的描繪圖案的間隔當作兩端描繪圖案間隔登記之兩端描繪圖案間隔登記步驟，
　　前述運送速度運算步驟根據前述進給間距，與前述兩端描繪圖案間隔，與前述標記單元第二移動步驟中的為了依次標記所需的時間，與前述標記單元第一移動步驟中的為了重複標記所需的時間，算出前述運送步驟的運送速度的容許值，
　　包含:以該被算出的運送速度的容許值當作前述運送步驟的運送速度而設定，進行重複標記的功能。

【發明的功效】
　　可對連續被運送的標記對象物，在無[位置偏移]及/或[晃動]的狀態下連續地標記規定的描繪圖案，可提高生產性。

1、1a．．．標記裝置

2．．．運送部(x方向)

4．．．標記單元

5．．．標記單元第一移動部(x方向)

6．．．標記單元第二移動部(y方向)

7．．．標記攝影部

9．．．控制部

10、10z．．．標記對象物

10v．．．運送方向

11．．．框體框架

12、13．．．支柱

15．．．描繪圖案(以往：靜止OK)

16．．．描繪圖案(以往：運送中NG)

17．．．描繪圖案(本案：運送中OK)

18．．．描繪圖案(本案：運送過快：NG)

19a~19d、19e~19h．．．標記用區域

19a’~19d’、19e’~19h’．．．實際上應標記的區域

20z．．．承載台

21．．．滾子

21m．．．馬達

22．．．運送量檢測器

40．．．描繪圖案產生部

40a．．．光源

40b．．．雷射束

40c．．．反射鏡

40m．．．圖案顯示器

40v1．．．箭頭(標記單元的相對移動方向、去程)

40v2．．．箭頭(標記單元的相對移動方向、回程)

41．．．描繪圖案產生部

41a．．．UV燈

41b．．．UV光線

41c．．．液晶遮罩

42、44．．．對應描繪圖案的光線

43．．．光學零件

43m．．．反射鏡

43a、43b．．．中繼透鏡

45．．．標記位置補正部(電流鏡等)

46．．．fθ透鏡

47．．．標記用光線

48v1．．．箭頭(去程標記)

48v2．．．箭頭(朝回程待機位置移動)

48v3．．．箭頭(回程標記)

48v4．．．箭頭(朝去程待機位置移動)

48z1．．．去程標記前待機位置

48z2．．．去程標記後停止位置

48z3．．．回程標記前待機位置

48z4．．．回程標記後停止位置

48z5．．．回程標記前待機位置

50、50a．．．X軸滑件單元

51、51a．．．X軸滑件

50b．．．X軸輔助滑件單元

51b．．．X軸輔助滑件

60．．．Y軸滑件單元

61．．．Y軸滑件

61b．．．Y軸滑件

62．．．位置檢測器

71、72．．．攝影機

76a、76a’．．．定位基準用標記

76b．．．定位基準用標記(2標記對準用)

77a、77a’．．．定位基準用標記

77b．．．定位基準用標記(2標記對準用)

91．．．標記位置重疊控制部

93．．．同步移動控制部

94．．．描繪預定位置登記部

95．．．統括控制部

97．．．標記位置檢測部

98．．．標記角度檢測部

98b．．．複數個標記位置的角度檢測部

99．．．運送速度運算部

LY．．．兩端間距

PX．．．進給間距

TS．．．重複標記可花費的時間

TX．．．用以重複標記一列的描繪圖案群所需的時間

TY．．．用以依序標記一列的描繪圖案群所需的時間

Vp．．．暫定運送速度

VS．．．標記對象物的運送速度

VX．．．標記單元的移動速度(x方向)

VY．．．標記單元的移動速度(y方向)

　　圖1是顯示體現本發明的形態的一例之斜視圖。
　　圖2是體現本發明的形態的一例所使用的機器之概略圖。
　　圖3是顯示體現本發明的形態的一例之系統構成圖。
　　圖4是顯示體現本發明的形態的一例之流程圖。
　　圖5是顯示體現本發明的形態的一例中的標記例之俯視圖。
　　圖6是顯示體現本發明的形態的另一例中的標記例之俯視圖。
　　圖7是顯示體現本發明的形態的再另一例中的標記例之俯視圖。
　　圖8是顯示體現本發明的形態的另一例之流程圖。
　　圖9是體現本發明的形態的另一例中之時間圖。
　　圖10是顯示體現本發明的另一形態的一例之斜視圖。
　　圖11是顯示習知技術中的標記的樣子之側視圖。
　　圖12是顯示習知技術中的標記的樣子之俯視圖。

　　針對為了實施本發明的形態，一邊使用圖，一邊說明。在以下的說明中，使用片狀的連續體當作標記對象物10的一例進行說明。設各圖中的正交座標系的3軸為X、Y、Z，設XY平面為水平面，設Z方向為鉛直方向。特別是Z方向是以箭頭的方向為上，表現其反方向為下。
　　圖1是顯示體現本發明的形態的一例之斜視圖。
　　與本發明有關的標記裝置1包含如下的構件而構成:運送部2、運送量檢測器22、標記單元4、標記單元第一移動部5、標記單元第二移動部6、控制部9。
　　運送部2是在將標記對象物10的被標記區域保持於水平的狀態下，以運送速度VS使標記對象物10連續運送於以箭頭10v表示的第一方向之構件。此外在本說明中，使以箭頭10v表示的第一方向與圖中的正交座標系x方向一致。具體上，可適宜配置如下的構件而構成:被安裝於標記裝置1的框體框架11(在圖中以虛線表示)之在y方向具有規定的長度的圓筒狀的滾子(roller)21；使圓筒狀的滾子21旋轉之馬達21m。
　　運送量檢測器22是檢測標記對象物10運送於以箭頭10v表示的第一方向(亦即x方向)的量之構件，構成本發明中的運送量檢測器。具體上，運送量檢測器22可舉例說明在圓筒狀的滾子21及/或馬達21m安裝旋轉編碼器(rotary encoder)及/或FV計數器(FVcounter)等。運送量檢測器22可使用如下而構成:輸出對應標記對象物10所運送的量之脈衝信號(pulse signal)者，或輸出與每一單位時間的運送速度成比例的電壓信號者。或者，運送量檢測器22也可以為雷射測長機(laser length measuring machine)等之檢測配設於標記對象物10的凹凸不平或端面的位置，以檢測運送的量。
　　標記單元4於後面敘述詳細，是朝標記對象物10照射對應規定的描繪圖案的標記用光線之構件。
　　標記單元第一移動部5是使標記單元4移動於第一方向之構件。在本說明中，使第一方向與圖中的正交座標系x方向一致。具體上，標記單元第一移動部5可包含X軸滑件單元(X-axis slider unit)50而構成。X軸滑件單元50可使用如下而構成:與標記對象物10的表面平行且延伸於x方向的導軌(rail)；可移動地安裝於該導軌上之X軸滑件51。X軸滑件51可根據來自外部的控制信號，以規定的速度移動於該導軌上，或在該導軌上的規定的位置靜止。再者，在X軸滑件51安裝有標記單元4。
　　標記單元第二移動部6是使標記單元4移動於與第一方向交叉的第二方向(以箭頭40y表示的方向)之構件。此外在本說明中，使第二方向與圖中的正交座標系y方向一致。具體上，標記單元第二移動部6可包含如下的構件而構成:配置於框體框架11之上的一組支柱12；安裝於支柱12之上的Y軸滑件單元60。Y軸滑件單元60可使用如下的構件而構成:與標記對象物10的表面平行且延伸於y方向的導軌；可移動地安裝於該導軌上之Y軸滑件61。Y軸滑件61可根據來自外部的控制信號，以規定的速度移動於該導軌上，或在該導軌上的規定的位置靜止。再者，在Y軸滑件61安裝有X軸滑件單元50。
　　控制部9於後面敘述詳細，是控制上述的各機器，將描繪碼標記在標記對象物10上的規定的位置之構件。
　　因此，標記單元4可在與標記對象物10於z方向保持規定的間隔下，根據來自控制部9的控制信號，各自獨立移動或靜止於x方向及y方向。再者，標記裝置1包含檢測標記單元4的第二方向的位置之位置檢測器62而構成。具體上，位置檢測器62可舉例說明可藉由組裝於Y軸滑件單元60的線性編碼器(linear encoder)構成，將對應Y軸滑件61的y方向的位置及/或移動量的信號輸出到外部機器的形態。
　　[標記單元詳細]
　　圖2是體現本發明的形態的一例所使用的機器之概略圖，顯示標記單元4的內部的機器佈置之圖。標記單元4包含描繪圖案產生部40與標記位置補正部45而構成。
　　描繪圖案產生部40包含光源40a與圖案顯示器40m而構成。而且，反射鏡40c、擴束器(beam expander)40e、中繼透鏡(relay lens)43a依照需要被配置。由光源40a照射的雷射束(laser beam)40b在反射鏡40c反射，通過擴束器40e後，成為束寬(beam width)被擴大的雷射束40f。束寬被擴大的雷射束40f被照射到圖案顯示器40m。在圖案顯示器40m的表面選擇性地反射的束42a通過中繼透鏡43a，當作對應描繪圖案的光線42被由描繪圖案產生部40照射。
　　對應描繪圖案的光線42依照需要在反射鏡43m反射，通過中繼透鏡43b，當作對應描繪圖案的光線44被照射到標記位置補正部的鏡子45m。對應描繪圖案的光線44被照射到鏡子45m，通過fθ透鏡46，當作標記用光線47被照射到標記對象物10。鏡子45m被安裝於標記位置補正部45，藉由自外部機器將控制信號傳送至標記位置補正部45，變更鏡子45m的角度，變更標記用光線47的照射方向。
　　光源40a可使用雷射二極體(laser diode)、雷射振盪器(laser oscillator)、LED照明、UV燈等而構成，自外部機器輸入信號控制ON/OFF及/或輸出。圖案顯示器40m可使用DMD(Digital Micromirror Device:數位微鏡裝置)而構成，可自外部機器輸入資料(data)得到規定的描繪圖案。
　　標記位置補正部45可使用掃描振鏡(galvanometer scanner)而構成，可自外部機器輸入信號調節鏡子45m的角度。
　　[系統構成]
　　標記裝置1的控制部9包含如下的構件而構成:標記位置重疊控制部91、同步移動控制部93、統括控制部95。圖3是顯示體現本發明的形態的一例之系統構成圖，顯示構成標記裝置1的各機器如何被連接。
　　標記位置重疊控制部91是在標記單元4移動於第二方向的時候，根據透過運送量檢測器22檢測出的標記單元4的第二方向的位置，控制標記位置補正部45中的挪動量，使前述標記對象物10上的第二方向成為相同位置而使標記用光線47照射規定時間之構件。
　　具體上，標記位置重疊控制部91是透過控制用電腦及控制用電腦的執行程式中的處理區段(processingblock)構成，為體現以下的動作之構件。標記位置重疊控制部91與光源40a、圖案顯示器40m、標記位置補正部45連接，可控制光源40a、圖案顯示器40m並使對應規定的描繪圖案的光線44照射到鏡子45m。再者，可控制標記位置補正部45，改變標記用光線47的方向。
　　標記位置重疊控制部91更與位置檢測器62連接，輸入對應透過位置檢測器62檢測的標記單元4的第二方向的位置及/或移動量的信號。而且，根據對應該位置及/或移動量的信號控制標記位置補正部45中的挪動量而構成執行程式中的處理區段。
　　標記位置重疊控制部91與於後面敘述詳細的統括控制部95連接，可根據標記單元4的位置及/或移動量以及來自統括控制部95的控制指令，控制光源40a、圖案顯示器40m、標記位置補正部45。
　　標記位置重疊控制部91因成這種構成，故在標記單元4移動於第二方向的時候，可不改變前述標記對象物10上的第二方向的位置，將對應規定的描繪圖案的標記用光線47照射規定時間於標記對象物10上的相同位置，在使一列的描繪圖案群排列於規定的位置的狀態下進行標記。
　　同步移動控制部93與運送部2、標記單元第一移動部5、標記單元第二移動部6連接，是根據透過運送量檢測器22檢測出的每一單位時間運送標記對象物10的量，使標記單元第一移動部5移動相同的量於與第一方向相同的方向之構件。
　　具體上，可藉由具備定位控制單元的可程式控制器(programmable controller)之執行程式中的處理區段構成。
　　同步移動控制部93與運送部2的馬達21m連接，能以規定的轉數使馬達21m旋轉或使其停止或使轉數變化。
　　同步移動控制部93與運送部2的運送量檢測器22連接，輸入由運送量檢測器22輸出的信號。由運送量檢測器22輸出的信號若為表示現在位置及/或移動量的脈衝信號，則根據每一單位時間的前述脈衝信號的計數值，取得每一單位時間運送標記對象物10的量。
　　再者，同步移動控制部93與X軸滑件51連接，可根據該每一單位時間運送標記對象物10的量，對X軸滑件51輸出控制信號，使X軸滑件51移動於第一方向(x方向)。同樣地，同步移動控制部93與Y軸滑件61連接，可對Y軸滑件61輸出控制信號，使Y軸滑件61移動於第二方向(y方向)。
　　同步移動控制部93與於後面敘述詳細的統括控制部95連接，根據由運送量檢測器22取得的標記對象物10的運送量與來自統括控制部95的控制指令，一邊控制以便標記對象物10的x方向的移動與X軸滑件51的x方向的移動彼此移動方向及移動量相同，一邊對X軸滑件51輸出控制信號。
　　統括控制部95是控制標記位置重疊控制部91與同步移動控制部93，在標記對象物10被連續運送於第一方向(x方向)的時候，將標記用光線47照射規定時間於標記對象物上的第一方向(x方向)及第二方向(y方向)的相同位置之構件。具體上，統括控制部95使用控制用電腦，透過其執行程式中的處理區段構成，可進行如以下的處理而構成。
　　統括控制部95設定有:預先標記位制資訊、及/或標記對象物10的運送速度、X軸滑件及/或Y軸滑件的控制參數、其他對標記必要的控制參數。該等資訊藉由標記位置重疊控制部91及/或同步移動控制部93輸出到各部機器。使各部成可根據控制指令開始標記動作之標記待機狀態。
　　統括控制部95進行如下的運算:根據由運送量檢測器22輸出的信號，在由現在位置標記對象物10移動了某種程度(例如幾脈衝份)後，使X軸滑件51與Y軸滑件61的移動開始的話，將描繪圖案群標記在移動中的標記對象物10上的規定的位置。
　　再者，統括控制部95根據該運算結果，一邊參照由運送量檢測器22輸出的標記對象物10的現在位置資訊，一邊藉由同步移動控制部93控制X軸滑件51與Y軸滑件61，同時藉由標記位置重疊控制部91控制標記單元4的描繪圖案產生部40與標記位置補正部45，使規定的描繪圖案標記在標記對象物10上的規定的位置而進行統括的控制。
　　與本發明有關的標記裝置1因成如上述的構成，故可對被連續運送的標記對象物10，在無[位置偏移]及/或[晃動]的狀態下連續地標記規定的描繪圖案。而且，因一邊連續地運送標記對象物10，一邊進行標記，故可節省間歇地運送的情形所需的加減速時間及/或靜止時間，可提高生產性。
　　[流程圖]
　　圖4是顯示體現本發明的形態的一例之流程圖，用以將規定的描繪圖案標記在標記對象物10上之一連串的流程為每一步驟被顯示。
　　首先，將標記對象物10設置於運送部2的滾子21(s101)。接著，使馬達21m旋轉，以規定的速度連續運送標記對象物10(s102)。然後，檢測被由運送量檢測器22檢測出的標記對象物10的運送量(s104)。
　　在連續運送標記對象物10下，使用標記單元第一移動部，使標記單元4移動於第一方向(s111)。稱由該步驟s102到步驟s111的一連串的步驟為同步移動控制步驟(s10)。
　　另一方面，在連續運送標記對象物10下，一邊使標記單元4移動於第一方向，一邊使用標記單元第二移動部，使標記單元4移動於第二方向(s121)。此時，由位置檢測器62檢測標記單元4的第二方向的位置(s122)。然後，根據標記單元4的第二方向的位置調整鏡子45m的角度(s123)。此時，鏡子45m的角度是變更照射標記用光線47的位置，使標記用光線47被照射於標記對象物10上的相同位置而進行補正。也就是說，變更照射標記用光線47的角度成與標記單元4移動的方向相反方向，成為無y方向的相對速度的狀態而進行補正。據此，在相同的地方將標記用光線47照射規定時間於標記對象物10上(s124)。
　　然後，判斷對一列的描繪圖案群標記是否完了(s125)。在步驟s125中，若被判斷為對一列的描繪圖案群標記未完了，則重複上述步驟s121~s125。另一方面，在步驟s125中，若被判斷為對一列的描繪圖案群標記完了，則前進到下一個步驟。稱該步驟s121到步驟s125的一連串的步驟(亦即依次標記一列的描繪圖案群的動作)為標記位置重疊控制步驟(s20)。
　　然後，一邊使同步移動控制步驟(s10)與標記位置重疊控制步驟(s20)連繫，一邊進行控制，在標記對象物10被連續運送於第一方向的時候，將標記用光線47照射規定時間於標記對象物上的第一方向及第二方向的相同位置。
　　若標記單元4結束移動於第二方向，則使標記單元4移動於與x方向相反方向，返回到原來的x位置(s131)。然後，判斷標記是否結束(s132)，若被判斷為標記結束，則一連串的流程完了。另一方面，若被判斷為標記未結束，則上述的步驟s104以後的動作重複被進行，對複數列的描繪圖案群重複標記被進行。
　　[標記例1]
　　圖5是顯示體現本發明的形態的一例中的標記例之俯視圖，顯示規定的描繪圖案被良好地標記在標記對象物10上的樣子。標記對象物10被以規定的速度VS運送於箭頭10v所示的方向，標記單元4一邊相對移動於箭頭40v1所示的方向，一邊依次將描繪圖案17a~17d標記在標記對象物10上的規定的位置。然後，標記單元4一邊相對移動於箭頭40v2所示的方向，一邊依次將描繪圖案17e~17h標記在標記對象物10上的規定的位置。
　　此外，設17a~17d為一列的描繪圖案群，設17e~17h為下一列的描繪圖案群，稱該等列的間隔為進給間距PX。也就是說，一列的描繪圖案群依次被標記，而其動作被重複進行，每一進給間距PX標記被依次重複進行。
　　而且，一列的描繪圖案群的兩端(17a與17d)的描繪圖案的間隔，及/或下一列的描繪圖案群的兩端(17e與17h)的描繪圖案的間隔為依次被標記在第二方向的最初的描繪圖案與最後的描繪圖案的間隔，稱為兩端間距LY。
　　此時，著眼於標記單元4的標記可能區域的中心位置，該中心位置以標記前述描繪圖案17a~17h時通過的軌跡(以下稱為標記單元的動作軌跡)為虛線40k而顯示於圖。以下針對標記單元4的該中心位置，與X軸滑件51、Y軸滑件61等的動作一起進行說明。此外，稱y方向的箭頭的方向為去程，稱其反方向為回程。
　　最初，標記開始前的該中心位置位於去程標記前待機位置48z1。然後，X軸滑件51與Y軸滑件61移動，移動於以箭頭48v1表示的方向。然後，在地點48a的前後描繪圖案17a被描繪，在地點48b的前後描繪圖案17b被描繪，在地點48c的前後描繪圖案17c被描繪，在地點48d的前後描繪圖案17d被描繪。然後，X軸滑件51與Y軸滑件61減速，在去程標記後停止位置48z2停止。然後，X軸滑件51移動於以箭頭48v2表示的方向，在回程標記前待機位置48z3停止。然後，X軸滑件51與Y軸滑件61移動於以箭頭48v3表示的方向。然後，在地點48e的前後描繪圖案17e被標記，在地點48f的前後描繪圖案17f被標記，在地點48g的前後描繪圖案17g被標記，在地點48h的前後描繪圖案17h被標記。然後，X軸滑件51與Y軸滑件61減速，在回程標記後停止位置48z4停止。然後，X軸滑件51移動於以箭頭48v4表示的方向，在回程標記前待機位置48z5停止。然後，X軸滑件51與Y軸滑件61再度移動，移動於以箭頭48v1表示的方向，與上述一樣的動作被重複。藉由重複這種動作，標記單元4一邊描繪如圖5所示的虛線40k的軌跡，一邊將描繪圖案標記在規定的位置。
　　[標記例2]
　　在上述說明中，針對在X軸滑件51、Y軸滑件61的雙方停止後，X軸滑件51返回的形態進行了說明。但是，也有為了縮短時間在通過標記位置後，Y軸滑件61在減速中，X軸滑件51減速完了後，立即開始移動於相反方向的情形。此情形，前述標記可能區域的中心位置不到達使用圖5說明的前述位置48z2、48z4，以不同的軌跡移動。
　　圖6是顯示體現本發明的形態的另一例中的標記例之俯視圖，以與圖5不同的軌跡移動的例子顯示於圖6(a)。
　　圖6(a)所示的形態的情形，標記單元4到在地點48d的前後標記描繪圖案17d為止是使用圖5與上述的形態相同的動作，X軸滑件51與Y軸滑件61在標記描繪圖案17d後開始減速。但是，X軸滑件51停止後立即朝回程標記前待機位置48z3開始移動，在該移動中，Y軸滑件61成為停止狀態。然後，X軸滑件51、Y軸滑件61在回程標記前待機位置48z3成為停止狀態。
　　然後，標記單元4再度使用圖5以與上述的形態相同的動作，標記描繪圖案17e~17h。然後，X軸滑件51與Y軸滑件61在標記描繪圖案17e後開始減速。但是，X軸滑件51停止後立即朝回程標記前待機位置48z5開始移動，在該移動中，Y軸滑件61成為停止狀態。然後，X軸滑件51、Y軸滑件61在回程標記前待機位置48z5成為停止狀態。藉由重複上述的動作，標記單元4一邊描繪如圖6(a)所示的虛線40k1的軌跡，一邊將描繪圖案標記在規定的位置。
　　[標記例3]
　　在圖6(b)顯示有標記單元4的前述中心位置以與圖5、圖6(a)不同的軌跡移動的例子。
　　在該形態中，Y軸滑件61成為停止狀態後，在X軸滑件51停止前，Y軸滑件61為了進行下一列的標記而開始移動。藉由重複上述的動作，標記單元4一邊描繪如圖6(b)所示的虛線40k2的軌跡，一邊將描繪圖案標記在規定的位置。
　　[對準(alignment)]
　　預先被準備於標記對象物10上的標記用區域的排列有移位於x方向及/或y方向的情形。此乃因在前製程形成的主電路圖案等於在標記對象物的運送速度方向及/或寬度方向位置偏移的狀態下被形成。對如此位置偏移的標記用區域的排列也被要求標記在規定的地方。因此，標記裝置1更包含標記攝影部7與描繪預定位置登記部94與標記位置檢測部97而構成較佳。
　　標記攝影部7是拍攝被賦予標記對象物10之定位基準用標記之構件。具體上，標記攝影部7藉由攝影機71、透鏡、照明等構成，可配置於像圖1所示的地方。
　　描繪預定位置登記部94是以標記對象物10上的應標記的描繪圖案對定位基準用標記的位置之相對位置當作標記預定位置而登記之構件。
　　標記位置檢測部97是檢測透過標記攝影部7拍攝的前述定位基準用標記的位置資訊之構件。具體上，標記位置檢測部97可使用市面上販賣的影像處理單元，透過該影像處理單元的執行程式中的處理區段構成，在標記攝影部7的視野內的哪一位置有該標記的中心位置或基準位置呢，進行影像處理而檢測。再者如圖3所示，標記位置檢測部97與統括控制部95連接使用，將被檢測出的前述定位基準用標記的位置資訊輸出到統括控制部95。
　　統括控制部95根據預先被登記的攝影機71與標記單元4的間隔(亦即x方向的距離與y方向的距離)，與被檢測出的前述定位基準用標記的位置資訊，進行應標記在標記對象物10上的哪一位置呢的運算，根據該運算結果，控制標記位置重疊控制部91與同步移動控制部93，進行標記在規定的位置。
　　據此，藉由與本發明有關的標記裝置及方法，預先被準備於標記對象物10上的標記用區域的排列即使移位於x方向及/或y方向，也能標記在規定的地方。
　　[標記位置移位功能]
　　預先被準備於標記對象物10上的標記用區域的排列不僅x方向及y方向的移位，也有進行旋轉(所謂的θ移位)的情形。此處，θ方向是指以z方向為旋轉中心的旋轉方向(朝紙面順時針旋轉)，θ移位是指顯示像圖7所示的例子。
　　圖7是顯示體現本發明的形態的再另一例中的標記例之俯視圖，圖示以無前述θ移位的情形的配置而設定、登記之以虛線表示的標記用區域19a~19d、19e~19h，與對應標記用區域19a~19d、19e~19h的定位基準用標記76a、77a。然後，拍攝附加於實際的標記對象物10上的定位基準用標記76a’、77a’，由位置資訊與角度資訊運算實際上應標記的區域19a’~19d’、19e’~19h’的位置，進行一連串的標記動作。
　　此時，若使標記單元4相對移動於箭頭40v1’、40v2’的方向，則在標記對象物10與標記單元4之間發生了x方向的相對移動速度。若在該狀態下進行一連串的標記動作，則被標記的描繪圖案無[位置偏移]而被標記在規定的位置，惟有在具有起因於運送方向的相對移動速度之[晃動]的狀態下被標記之虞。
　　因此，與本發明有關的標記裝置1更包含標記角度檢測部98與標記位置移位功能而構成較佳。標記角度檢測部98是檢測透過標記攝影部拍攝的前述定位基準用標記的角度資訊之構件，是抽出定位基準用標記的形狀及/或特徵點，取得角度資訊之構件。具體上，標記角度檢測部98可使用與構成標記位置檢測部97的影像處理單元共通的機器，透過該影像處理單元的執行程式中的處理區段構成。在該影像處理單元中，可檢測透過攝影機71拍攝的標記的位置及/或角度而構成該處理區段。
　　透過標記位置檢測部97檢測出的定位基準用標記的位置資訊，與透過標記角度檢測部98檢測出的定位基準用標記的角度資訊被輸出到統括控制部95。
　　標記位置移位功能是對預先被設定登記的標記預定位置，使照射標記用光線的位置移位規定量於規定的方向而照射之功能。具體上，標記單元4是對標記對象物10相對移動於箭頭40v1、40v2的方向而構成，在無x方向的相對移動速度的狀態下，進行一連串的標記動作。此時，統括控制部95根據標記攝影部7的攝影機71與標記單元4的間隔，與透過標記位置檢測部97檢測出的定位基準用標記的位置資訊，與透過標記角度檢測部98檢測出的定位基準用標記的角度資訊，決定每一描繪圖案使照射前述標記用光線的位置移位於規定的方向之規定量，將該移位的規定量輸出到標記單元4。然後，根據實際標記描繪圖案時的Y軸滑件61的位置資訊，每一描繪圖案使照射前述標記用光線的位置移位規定量於規定的方向(x方向、y方向的一方或雙方)，並且控制標記位置重疊控制部91與同步移動控制部93，進行一連串的標記動作。
　　據此，即使起因於θ移位，預先被設定的標記用區域在x方向、y方向的一方或雙方位置偏移，也能在無排列於規定的區域內的[位置偏移]及/或[晃動]的狀態下，於規定的地方在排列成矩陣狀的狀態下，標記描繪圖案。
　　[2標記對準]
　　在前述中敘述了為了標記一列的描繪圖案群，拍攝對應的一個標記並對準的形態。拍攝一個對準標記的情形，很難檢測θ移位的角度。
　　因此，與本發明有關的標記裝置1更包含:拍攝預先被賦予標記對象物的複數個定位基準用標記之標記攝影部；根據複數個標記位置的角度檢測部98b；標記位置移位功能，以補正前述θ移位而構成較佳。
　　2標記對準所使用的標記攝影部7如圖1所示，使用複數台攝影機71、72而構成。或者，標記攝影部7為其他的形態也可以，使用一台攝影機71觀察複數個定位基準用標記，取得各個攝影位置資訊的形態也可以。例如若使用圖7說明的話，對標記用區域19a~19d設定定位基準用標記76a、76b，對標記用區域19e~19h設定定位基準用標記77a、77b。
　　2標記對準的情形，在描繪預定位置登記部94以標記對象物10上的應標記的描繪圖案對應複數個定位基準用標記位置的相對位置當作標記預定位置而設定、登記。
　　標記位置檢測部97檢測標記攝影部7的攝影機71、72與標記單元4的間隔，與前述被拍攝的複數個定位基準用標記的攝影位置資訊，將該位置資訊輸出到根據複數個標記位置的角度檢測部98b。
　　根據複數個標記位置的角度檢測部98b是根據透過標記攝影部7拍攝的複數個定位基準用標記的位置資訊，取得角度資訊之構件。具體上，角度檢測部98b可使用與構成標記位置檢測部97的影像處理單元共通的機器，透過該影像處理單元的執行程式中的處理區段而構成。
　　在該影像處理單元中，將透過攝影機71、72拍攝的複數個標記的位置資訊輸出到根據複數個標記位置的角度檢測部98b。然後，根據複數個標記位置的角度檢測部98b根據該複數個標記的位置資訊進行用以檢測角度的運算而構成該處理區段。透過標記位置檢測部97檢測出的定位基準用標記的位置資訊，與透過根據複數個標記位置的角度檢測部98b檢測出的定位基準用標記的角度資訊被輸出到統括控制部95。
　　標記位置移位功能是對預先被設定登記的標記預定位置，使照射標記用光線的位置移位規定量於規定的方向而照射之功能。具體上，標記單元4對標記對象物10相對移動於箭頭40v1、40v2的方向而構成，在無x方向的相對移動速度的狀態下，進行一連串的標記動作。此時，統括控制部95根據標記攝影部7的攝影機71、72與標記單元4的間隔，與透過標記位置檢測部97檢測出的定位基準用標記的位置資訊，與透過根據複數個標記位置的角度檢測部98b檢測出的定位基準用標記的角度資訊，決定每一描繪圖案使照射前述標記用光線的位置移位於規定的方向之規定量，將該移位的規定量輸出到標記單元4。然後，根據實際標記描繪圖案時的Y軸滑件61的位置資訊，每一描繪圖案使照射前述標記用光線的位置移位規定量於規定的方向(x方向、y方向的一方或雙方)，並且控制標記位置重疊控制部91與同步移動控制部93，進行一連串的標記動作。
　　據此，即使是預先被準備於標記對象物10上的標記用區域為在θ方向位置偏移了的狀態，也因觀察位於邊遠的位置的複數個定位基準用標記，故可提高θ移位的補正精度。
　　[計算運送速度容許值]
　　為了提高生產性，被要求盡可能加快將標記對象物10連續運送於第一方向之運送速度VS。但是，若過度提高標記對象物的運送速度VS，則X軸滑件51的重複動作及/或Y軸滑件61的動作趕不上，有無法標記在規定的位置之虞。例如可舉例說明如以下的事例所示的狀態。
　　(事例1) 進給間距PX窄，為了標記一列的描繪圖案在Y軸滑件61移動於去程或回程的時候，下一個標記位置通過了。
　　(事例2) 進給間距PX窄，為了標記一列的描繪圖案在X軸滑件51往復移動的時候，下一個標記位置通過了。
　　為了防止成為這種狀態，以盡可能快的運送速度VS運用，運送速度VS需算出X軸滑件51的重複動作及/或Y軸滑件61的動作可確實進行之運送速度的容許值，設定為該值。
　　因此，與本發明有關的標記裝置1更包含算出運送速度的容許值之運送速度運算部99而構成較佳。
　　運送速度運算部99是根據進給間距PX，與兩端間距LY，與Y軸滑件61為了依次標記一列的描繪圖案群所需的時間，與X軸滑件51為了重複標記一列的描繪圖案群所需的(亦即往復移動用的)時間，算出前述運送部的運送速度的容許值之構件。
　　再者，統括控制部95是根據以該被算出的運送速度的容許值當作運送部的運送速度VS而設定，複數排列而被登記的標記預定位置，一邊連續運送標記對象物10，一邊控制標記位置重疊控制部91與同步移動控制部93，對複數排列而被登記的描繪圖案進行重複標記。
　　具體上，在運送速度運算部99中以以下的程序算出前述運送部的運送速度的容許值。圖8是顯示體現本發明的形態的另一例之流程圖，算出用以將規定的描繪圖案重複標記在標記對象物10上之運送速度的容許值的一連串的流程是每一步驟被顯示。
　　首先，設定暫定運送速度Vp(s201)。接著，由進給間距PX與暫定運送速度Vp算出重複標記可花費的時間TS(s202)。該時間TS成為重複標記的間隔時間(interval time)(所謂的作業時間(tact time))，每一該時間重複標記動作被執行。接著，算出標記單元4為了依次標記一列的描繪圖案群所需的時間TY(s203)。該時間TY為Y軸滑件61由停止狀態到加速、等速移動、減速、停止為止的合計時間。
　　並且，算出標記單元4為了重複標記一列的描繪圖案群所需的時間TX(s204)。該時間TX成為合計X軸滑件51由停止狀態到加速、等速移動、減速、停止為止的合計時間TX1，與為了返回到原來的位置的時間TX2的時間。
　　接著，比較在上述步驟算出的時間TX、TY是否比前述時間TS小，判斷在間隔時間內各標記動作是否完了(s205)。
　　然後，若被判斷為在步驟s205中前述時間TX、TY比前述時間TS小，則以此時的暫定運送速度Vp的值當作運送速度的容許值，當作實際的運送速度VS設定。
　　另一方面，若被判斷為前述時間TX、TY的任一個比前述時間TS大，則將暫定運送速度Vp變更為小的值(s211)，重複前述步驟s202~s205。
　　圖9是顯示體現本發明的形態的另一例中之時間圖。圖9是顯示以橫軸為時間t，以縱軸為Y軸滑件61的速度、X軸滑件51的速度，標記單元4的標記可能區域的中心位置描繪圖6(a)所示的軌跡而移動的情形的Y軸滑件61的動作與X軸滑件51的動作。圖9所示的時間圖是使用圖6(a)對應上述的形態之圖。若設標記對象物10的運送速度為VS，則X軸滑件與Y軸滑件如下所示被控制。
　　在時刻t1讀取對準標記(alignment mark)，測定對準標記的現在位置與基準位置的距離。
　　由時刻t2起使Y軸滑件加速於Y方向，在時刻t4切換成等速移動。由時刻t4到時刻t5使Y軸滑件等速移動。由時刻t5起使Y軸滑件減速，在時刻t7使其停止。由時刻t7到下一個標記觀察時刻t11為止，使Y軸滑件待機。另一方面，由時刻t3起使X軸滑件加速，在時刻t4切換成等速移動。由時刻t5起使X軸滑件減速，在時刻t6使其停止。然後，使X軸滑件移動於相反方向，在時刻t8返回到待機位置並使其停止。下一個標記觀察時刻t11之後，由時刻t12起使Y軸滑件加速於相反方向，在時刻t13切換成等速移動。另一方面，由時刻t12起使X軸滑件加速，在時刻t14切換成等速移動。此外，在由時刻t4到時刻t5之間，透過標記單元對標記對象物進行標記。
　　此外，時刻t8、t11的時序(timing)在實際的運用中同時也可以，且前後也可以。例如可舉例說明緊接著時刻t7使時刻t12所示的Y軸滑件61的加速開始，緊接著時刻t8使時刻t13所示的X軸滑件51的加速開始的形態。該形態的情形，標記單元4重複移動，以便該中心位置描繪如圖6(b)所示的軌跡，可將描繪圖案標記在被連續運送的標記對象物10上的規定的位置。
　　另一方面，可舉例說明在時刻t7所示的Y軸滑件61的減速完了後使時刻t6所示的X軸滑件51的返回移動用的加速開始，到時刻t8所示的X軸滑件51的返回移動用的減速完了為止，使Y軸滑件61成靜止狀態的形態。該形態的情形，標記單元4重複移動，以便該中心位置描繪如圖5所示的軌跡，可將描繪圖案標記在被連續運送的標記對象物10上的規定的位置。
　　因任一情形都在標記一列的描繪圖案群的時候，標記單元4在標記對象物10的運送方向無相對移動速度，故不發生[晃動]。
　　[變化(variation)]
　　圖10是顯示體現本發明的另一形態的一例之斜視圖。圖10所示的標記裝置1a為使標記單元4移動於x方向及y方向之標記單元第一移動部5a與標記單元第二移動部6，和圖1所示的標記裝置1形態不同。標記裝置1a中的標記單元第一移動部5a包含如下的構件而構成:安裝於框體框架11之上的X軸滑件單元50a；X軸滑件51a。
　　標記單元第一移動部5a包含如下的構件而構成:與X軸滑件單元50a成平行，安裝於框體框架11之上的X軸輔助滑件單元50b；X軸輔助滑件51b。
　　標記單元第二移動部6包含如下的構件而構成:X軸滑件51a；安裝於X軸輔助滑件51b之上的Y軸滑件單元60；Y軸滑件61。Y軸滑件單元60在X軸滑件51a與X軸輔助滑件51b上透過支柱13安裝，一邊保持一定的標記對象物10與z方向的距離，一邊可移動於x方向而被安裝。Y軸滑件單元60包含可移動於y方向的Y軸滑件61而構成，可根據來自外部的控制信號，使Y軸滑件61移動、靜止於規定的位置。標記單元4被安裝於標記單元第二移動部6的Y軸滑件61。因此，標記單元4可獨立移動於x方向與y方向的一方或雙方。
　　其他的機器及/或系統構成與使用圖1及圖2所示的形態相同。因此，標記裝置1a與上述的標記裝置1一樣，可在無起因於運送方向的相對移動速度之[晃動]的狀態下對連續被運送的標記對象物10連續地標記規定的描繪圖案。
　　[另一標記單元例]
　　在上述的說明中，標記單元4所使用的描繪圖案產生部41是顯示以圖案顯示器40m使用DMD(數位微鏡裝置)而構成的例子進行了說明。但是，圖案顯示器40m以其他的方式也可以，例如可使用透射式液晶遮罩方式(transmissive liquid crystal mask method)的圖案顯示器。此情形，在Y軸滑件61與標記單元之間配置另一個Y軸滑件61b，構成像在標記中以相同速度使另一個Y軸滑件61b移動於與Y軸滑件61相反方向並進行標記之標記位置補正部。據此，可持續照射對應描繪圖案的能量規定時間於標記對象物10上的相同地方而進行位置補正，進行適用本發明的標記。

2．．．運送部(x方向)

4．．．標記單元

5．．．標記單元第一移動部

6．．．標記單元第二移動部

7．．．標記攝影部

9．．．控制部

10．．．標記對象物

10v．．．運送方向

11．．．框體框架

12．．．支柱

17a~17d．．．描繪圖案