TW201346789A - 處理裝置群控制器、生產處理系統、處理裝置群控制方法、生產效率化系統、生產效率化裝置以及生產效率化方法 - Google Patents

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Abstract

本發明係適切地進行處理被處理體之複數處理裝置所附設之設備的待機狀態/空轉狀態之切換，降低設備之能量消耗量。一種處理裝置群控制器，係具備有：記憶部，係記憶有預定運轉與搬送計畫，該預定運轉包含有對於處理被處理體之分別附設有設備之複數處理裝置的維修時期資訊，該搬送計畫包含有對該複數處理裝置來搬入以及搬出被處理體之時機的資訊；檢測部，係實行下述步驟：對該搬送計畫與各處理裝置之該預定運轉進行比較之步驟；針對各處理裝置來特定維修前之最後處理之步驟；以及檢測特定後之處理之結束時機之步驟；以及，指示部，係對各處理裝置指示於該結束時機連同附設之設備一同切換為空轉狀態。

Description

處理裝置群控制器、生產處理系統、處理裝置群控制方法、生產效率化系統、生產效率化裝置以及生產效率化方法
本發明係關於一種可針對在用以處理被處理體之處理裝置上所附加之設備的能量消耗量進行縮減之處理裝置群控制器、生產處理系統以及處理裝置群控制方法。此外，本發明係關於一種可將由處理被處理體之處理裝置所消耗之能量加以有效運用之生產效率化系統、生產效率化裝置以及生產效率化方法。
具有功能性布置(job jump)型生產系統之製造工廠(例如半導體元件製造工廠、有機EL元件製造工廠)，係藉由生產實行控制裝置(MES：Manufacturing Execution System)來控制生產之實行。於如此之製造工廠，具備有複數處理裝置(用以處理被處理體)、搬送裝置(將被處理體搬送至各處理裝置)、搬送控制裝置(控制搬送裝置之動作)、生產實行控制裝置(決定應處理被處理體之處理裝置，對搬送控制裝置指示被處理體之搬送目的地，並對處理裝置指示對於被處理體之處理內容)之生產處理系統已邁入實用化。
專利文獻1係揭示了一種軟體，具有和用以處理被處理體之複數處理裝置進行通訊之順序、和在任意處理裝置間搬送被處理體之搬送裝置進行通訊之順序、以及和對於處理裝置指示針對被處理體之處理之生產指示裝置進行通訊之順序。
於非專利文獻1揭示了一種使得工廠之生產管理系統(MES)與接收來自MES之各種指示而控制搬送裝置(OHT：Overhead Hoist Transport)之搬送控制裝置(MCS：Material Control System)共有工廠布置等資訊，以謀求搬送之效率化。
於專利文獻2中，揭示了一種程序管理系統，當優先待處理之被處理 體到達處理裝置所需時間相當長之情況，乃指示允許處理裝置處理其他被處理體，當優先待處理之被處理體到達處理裝置所需時間短之情況，乃指示等待優先待處理之被處理體的到達。
於專利文獻3揭示了一種電力供給系統，當被處理體的到達所需到達時間相較於在省電力狀態之處理裝置再度啟動時間，到達時間比再度啟動時間來得長之情況，乃使得處理裝置處於省電力狀態。
此外，已知有一種生產系統，當處於待機狀態(準備狀態)之處理裝置於一定時間內未收到來自於主電腦(host compueter)之具體處理指示之情況，乃藉由處理裝置側判斷從待機狀態切換為空轉狀態(休止狀態)來減少能量消耗量。
於半導體生產工廠設有對被處理體進行各種處理之複數處理裝置。此等處理裝置在尚未對被處理體進行處理之間係成為空轉狀態。所謂空轉狀態乃為能量消耗量相較於通常之動作狀態來得少之狀態，而為了迅速回復到動作狀態係持續消耗某程度之能量。實情上，此能量乃無助於半導體生產之浪費能量，處理裝置數量愈多則無謂消耗之能量也變多。
例如，雖有人提議一種技術，當處理裝置之待機時間超過既定期間之情況，乃自動地從通常狀態移往空轉狀態來謀求節能(例如專利文獻4)，但即使各處理裝置可設定為空轉狀態，但如上述般空轉狀態本身會無謂消耗能量，半導體生產工廠全體達成節能運用並不容易。
半導體生產工廠被無謂消耗者不光是能量。處理裝置通常在腔室內為了進行被處理體之處理，需要將腔室內之溫度或濕度、真空度、供給氣體或排出氣體之流量等環境條件維持在一定。一旦環境條件出現大幅變化，則要回到原有環境條件會花費時間。因此，即便於空轉狀態，並未使得環境條件做極端變化，從而仍無謂地消耗維持環境條件所需資源或成本。
基於如此之背景，專利文獻5係揭示了一種技術，考慮當處理裝置切換動作模式之時所需復原時間，而進行動作模式之切換。此外，於專利文獻2係設置消耗能量不同之複數種類之節能模式，在不致對於處理裝置之處理造成影響之範圍內謀求最大限度之節能。
先前技術文獻
專利文獻1 日本特開2009-135275號公報
專利文獻2 日本特開2008-250826號公報
專利文獻3 日本特開2007-88429號公報
專利文獻4 日本特開2004-200485號公報
專利文獻5 日本特開2007-242854號公報
非專利文獻1 SEMI News 2006 Vol.22 No.6
於上述專利文獻5之情況，係考慮處理裝置之動作模式切換時之回復時間來進行動作模式切換，但若處理裝置之待機時間較回復時間來得長之情況必定切換動作模式，則將頻繁地進行動作模式之切換，恐怕會對於處理裝置之電源裝置等造成負擔。此外，隨被處理體之不同，有時對於膜厚或膜質等之處理品質惠要求高精度，於如此之情況，假使即便待機時間較回復時間來得長仍希望不要切換動作模式。
於專利文獻5雖記載了搭配於回復時間來進行動作模式之切換之旨趣，但並無關於在回復時間以外係以如何之條件來切換動作模式，而不限於可進行最適之動作模式切換。
此外，上述專利文獻3係搭配於搬送時機來進行處理裝置之動作模式切換，並未把心思放在依據處理裝置之待機時間長短來做動作模式切換。
再者，上述專利文獻4，若從設定在通常模式之狀態經過既定時間則自動地變更為節能模式，此亦即表示於經過既定時間之前，處理裝置係以通常模式來動作，至少此期間會無謂地消耗電力。
如此般，以往為了謀求節能而提出各種提案，但於減少消耗能量上尚有空間，且並未有提案係針對依據與被處理體種類之關連來謀求最適節能。
另一方面，於半導體生產工廠由於消耗大量的能量，故例如常和電力公司之間簽訂關於能量使用限制之特別契約。此種契約係設定半導體生產工廠所能消耗之最大能量消耗等級，僅認可於不超過此等級之範圍的能量使用。
但是，以往並不存在適切的機制而可進行複數處理裝置之排序以於最大能量消耗等級範圍內達成最適之能量使用量，結果放寬來看限制了能量使用、或是反而超過最大能量消耗等級，來自電力公司之能量供給變得不安定，此為問題所在。
此外，於以往之系統，處理裝置從待機狀態切換為空轉狀態會花費時間。附設於處理裝置之設備由於在處理裝置成為空轉狀態之後才從待機狀態切換為空轉狀態，故切換至空轉狀態更需要時間，而有減少設備之能量消耗量成為困難之問題。
本發明係考慮如此之點，其目的在於提供一種處理裝置群控制器、生產處理系統以及處理裝置群控制方法，可適切地進行在用以處理被處理體之複數處理裝置所附設之設備之待機狀態/空轉狀態之切換，減少設備之能量消耗量。此外，本發明係提供一種生產效率化系統、生產效率化裝置以及生產效率化方法，不致降低處理裝置之處理性能、且可考慮被處理體之種類以及處理內容來進行最適當的節能運用。
本發明之一態樣之處理裝置群控制器，係具備有：記憶部，係記憶有預定運轉與搬送計畫，該預定運轉包含有對於處理被處理體之分別附設有設備之複數處理裝置的維修時期資訊，該搬送計畫包含有對該複數處理裝置來搬入以及搬出被處理體之時機的資訊；檢測部，係實行下述步驟：對該搬送計畫與各處理裝置之該預定運轉進行比較之步驟；針對各處理裝置來特定維修前之最後處理之步驟；以及檢測特定後之處理之結束時機之步驟；以及指示部，係對各處理裝置指示於該結束時機連同附設之設備一同切換為空轉狀態。
本發明之一態樣之生產處理系統，係具備有：複數處理裝置，係用以處理被處理體之分別附設有設備者；搬送裝置，係將被處理體搬送至該複數處理裝置；主電腦，係實行下述步驟：製作包含利用該搬送裝置來搬入以及搬出被處理體之時機之資訊的搬送計畫之步驟；以及，從該複數處理裝置取得包含維修時期之資訊的預定運轉之步驟；以及處理裝置群控制器，係實行下述步驟：從該主電腦取得該搬送計畫以及該預定運轉之步驟；對該搬送計畫與各處理裝置之該預定運轉進行比較之步驟；針對各處理裝置特定出維修前之最後處理之步驟；檢測 特定後之處理結束時機之步驟；以及，對各處理裝置指示於該結束時機連同附設之設備一同切換為空轉狀態之步驟。
本發明之一態樣生產處理系統，係具備有：複數第1處理裝置，係處理被處理體之分別附設有設備者；複數第2處理裝置，係處理被處理體之分別附設有設備者；搬送裝置，係將被處理體搬送至該複數第1以及第2處理裝置；主電腦，係實行下述步驟：製作包含利用該搬送裝置來搬入以及搬出被處理體之時機之資訊的搬送計畫之步驟；以及，從該複數第1以及第2處理裝置取得包含維修時期之資訊的預定運轉之步驟；第1處理裝置群控制器，係實行下述步驟：取得該搬送計畫以及該複數第1處理裝置之預定運轉之步驟；對該搬送計畫與各第1處理裝置之預定運轉進行比較之步驟；針對各第1處理裝置特定出維修前之最後處理之步驟；檢測特定後之處理結束時機之步驟；以及對各第1處理裝置指示於該結束時機連同附設之設備一同切換為空轉狀態之步驟；第2處理裝置群控制器，係實行下述步驟：取得該搬送計畫以及該複數第2處理裝置之預定運轉之步驟；對該搬送計畫與各第2處理裝置之預定運轉進行比較之步驟；針對各第2處理裝置特定出維修前之最後處理之步驟；檢測特定後之處理結束時機之步驟；以及對各第2處理裝置指示於該結束時機連同附設之設備一同切換為空轉狀態之步驟；以及，上位控制器，係實行下述步驟：從該主電腦取得該搬送計畫以及該複數第1以及第2處理裝置之預定運轉之步驟；將該搬送計畫以及該複數第1處理裝置之預定運轉送訊至該第1處理裝置群控制器之步驟；以及將該搬送計畫以及該複數第2處理裝置之預定運轉送訊至該第2處理裝置群控制器之步驟。
本發明之一態樣之一種處理裝置群控制方法，係具備有下述步驟：取得包含對於處理被處理體之分別附設有設備之複數處理裝置之維修時期資訊之預定運轉之步驟；取得包含對該複數處理裝置搬入以及搬出被處理體之時機之資訊的搬送計畫之步驟；對該搬送計畫與各處理裝置之該預定運轉進行比較之步驟；針對各處理裝置特定出維修前之最後處理之步驟；檢測特定後之處理結束時機之步驟；以及，對各處理裝置指示於該結束時機連同附設之設備一同切換為空轉狀態之步驟。
本發明之一態樣係提供一種生產效率化系統，係具備有：排序器，係作成被處理體之生產計畫；配送器，係基於該生產計畫來對於對該被處理體進行處理之複數處理裝置進行動作指示；以及生產效率化裝置，係基於該排序器以及該配送器之處理結果來作成該複數處理裝置之處理計畫，並切換該複數處理裝置之動作模式；該複數處理裝置分別在該動作模式方面具有：待機模式，係消耗可對該被處理體迅速開始處理之能量；以及，睡眠模式，係消耗可迅速移往該待機模式之最低限度的能量；該生產效率化裝置係具有：時間間隔測量部，係基於該複數處理裝置之生產計畫，測量從該複數處理裝置分別對該被處理體結束了處理後到開始下一處理為止的時間間隔；以及動作模式設定部，當該時間間隔測量部所測量之時間間隔超過既定基準時間之情況，乃將對應之處理裝置設定為該睡眠模式，當未超過該基準時間之情況，乃將該對應之處理裝置設定為該待機模式。
本發明之一態樣係提供一種生產效率化系統，係具備有：排序器，係作成被處理體之生產計畫；配送器，係基於該生產計畫來對於對該被處理體進行處理之複數處理裝置進行動作指示；複數消耗能量管理部，係分別對應於該複數處理裝置而設置，而管理對應之處理裝置之消耗能量；以及，生產效率化裝置，係基於該消耗能量管理部所管理之各處理裝置之消耗能量以及該排序器與該配送器之處理結果，以該複數處理裝置全體所消耗之消耗能量不至超過事先決定之最大消耗能量的方式來批次地判定是否以該複數處理裝置分別對該被處理體進行處理，並以各批次處理中該複數處理裝置全體所消耗之消耗能量不至超過該最大消耗能量的方式來個別調整於各批次運轉之各處理裝置之處理時機。
依據本發明，可基於被處理體之搬送計畫以及複數處理裝置之預定運轉來檢測各處理裝置中配合處理之待機狀態/空轉狀態之切換時機，於適切時機切換各處理裝置以及所附設之設備的待機狀態/空轉狀態，藉以減少設備之能量消耗量。此外，依據本發明，可不致降低處理裝置之處理性能且可考慮被處理體之種類以及處理內容來進行各處理裝置之最適的節能運用。
1‧‧‧處理裝置群控制器
2‧‧‧處理裝置群
3‧‧‧搬送系統
4‧‧‧主機
21‧‧‧處理裝置
27‧‧‧設備
31‧‧‧搬送控制裝置
32‧‧‧搬送裝置
201‧‧‧生產效率化系統
202‧‧‧排序器
203‧‧‧配送器
204‧‧‧生產效率化裝置
205‧‧‧處理裝置
206‧‧‧處理裝置控制器
207‧‧‧搬送裝置
208‧‧‧搬送控制裝置
209‧‧‧生產實行控制裝置
211‧‧‧製程間搬送路徑
212‧‧‧製程內搬送路徑
213‧‧‧儲藏室
231‧‧‧時間間隔測量部
232‧‧‧動作模式設定部
233‧‧‧狀態判斷部
241‧‧‧能量消耗量總計部
242‧‧‧表格作成部
243‧‧‧處理裝置判定部
244‧‧‧搬送時機判定部
圖1係本發明之第1實施形態之生產處理系統之概略構成圖。
圖2係本第1實施形態之處理裝置之概略構成圖。
圖3係本第1實施形態之處理裝置群控制器之硬體構成圖。
圖4係本第1實施形態之處理裝置群控制器之機能方塊圖。
圖5係說明對於本第1實施形態之處理裝置下成為空轉狀態之切換指示處理之流程圖。
圖6係顯示搬送計畫以及預定運轉之一例之圖。
圖7係變形例之生產處理系統之概略構成圖。
圖8係變形例之生產處理系統之概略構成圖。
圖9係變形例之生產處理系統之概略構成圖。
圖10係本發明之第2實施形態之生產效率化系統之概略構成之方塊圖。
圖11係顯示搬送裝置207之搬送路徑一例之圖。
圖12係顯示處理裝置205之構成一例之方塊圖。
圖13係顯示第2實施形態之生產效率化裝置4之內部構成一例之方塊圖。
圖14係說明時間間隔之測量方法之圖。
圖15係顯示第3實施形態之生產效率化裝置204之內部構成之方塊圖。
以下，基於圖式說明本發明之實施形態。
(第1實施形態)圖1係顯示具有本發明之第1實施形態之處理裝置群控制器1的生產處理系統之構成一例之方塊圖。生產處理系統係具備有：處理裝置群2，係具有複數處理裝置21；搬送系統3，係具有搬送裝置32以及對於搬送裝置32之動作進行控制之搬送控制裝置31；生產管理用主電腦4(以下簡稱為「主機4」)，係對於處理裝置群2以及搬送系統3給予控制指示；以及，處理裝置群控制器1，係對於各處理裝置21指示待機狀態/空轉狀態之切換。此處，所謂處理裝置21之待機狀態係指在接收被處理體之際到可迅速開始處理所做準備之狀態，空轉 狀態稱為休止狀態。
主機4係構成所謂的MES(Manufacturing Execution System)，具有：排序器模組，係因應於待製造製品之種類、規格等來做成生產計畫；以及，配送器(dispatcher)模組等，係依照所作成之生產計畫而特定出待處理被處理體之處理裝置21，而將對於被處理體之處理條件(配方)指示至處理裝置21，並將搬送計畫指示到搬送系統3。此處所說的搬送計畫係規定將被處理體搬入處理裝置21之時機、或是將處理裝置21所處理過之被處理體加以搬出之時機。此外，主機4係從各處理裝置21接收後述之預定運轉，將搬送計畫以及各處理裝置21之預定運轉送訊至處理裝置群控制器1。
處理裝置21係用以處理例如有機EL元件製造用之玻璃基板、半導體元件等製造用之矽晶圓等被處理體之電漿CVD裝置、電漿蝕刻裝置、濺鍍裝置、PVD裝置等基板處理裝置。
構成1個處理裝置群2之複數處理裝置21可為相同種類之裝置、也可為對應於一連串處理流程者。
此外，於各處理裝置21係將進行零件更換、潔淨、定期檢查等維修之時期設定為預定運轉。各處理裝置21係將此預定運轉通知於主機4。如圖1所示般，於生產處理系統設有附設在各處理裝置21之設備27。設備27係例如將處理裝置21之腔室內調整為所希望之真空度之真空泵、或是對處理裝置21所排出之氣體進行去害之去害裝置。
處理裝置21係和設備27以可進行通訊方式來連接，可對設備27指示待機狀態/空轉狀態之切換。處理裝置21一旦因處理裝置群控制器1而被指示切換為空轉狀態，則本身裝置切換為空轉狀態、且將附設於本身裝置之設備27切換為空轉狀態。
一旦設備27成為空轉狀態，則降低能量消耗量。例如，當設備27為真空泵之情況，一旦成為空轉狀態則藉由降低真空度來降低消耗電力、且減少氮氣等稀釋氣體之供給量。此外，當設備27為去害裝置之情況，一旦成為空轉狀態，則減少用於燃燒之燃料供給量。
圖2係顯示處理裝置21之構成一例之方塊圖。處理裝置21係例如多腔室式之基板處理系統。處理裝置21係具備有加載模組(LM：Load Module)23，此加載模組23設有第1以及第2加載埠(LP：Load Port)22a,22b，為了收授將被處理體W加以收容之FOUP(Front Open Unified Pod)而載置FOUP者。加載模組23經由加載互鎖模組(LLM：Load Lock Module)24a,24b連接著轉換器模組(TM：Transfer Module)25。轉換器模組25所具有之真空機械人(未圖示)係將經由加載互鎖模組24a,24b而搬入之被處理體W搬送至程序模組(PM：Process Module)26a~26d。程序模組26a~26d係基於配方而對被處理體W施以既定處理。經過處理之被處理體W係沿著和搬入為相反的路徑而被回收於在第1加載埠22a或是第2加載埠22b所載置之FOUP處，由FOUP單位所搬出。
圖2所示多腔室式基板處理系統，程序模組26a~26d以及轉換器模組25始終被保持在真空狀態，加載互鎖模組24a,24b與轉換器模組25係以閘閥(未圖示)來切換。加載互鎖模組24a,24b在成為真空之狀態下開放閘閥，被處理體W在程序模組26a~26d與加載互鎖模組24a,24b之間受到搬送。作為設備27之真空泵係進行加載互鎖模組24a,24b之抽真空。
搬送系統3係具有搬送控制裝置31與搬送裝置32。搬送裝置32係例如在設置於天花板或是地板上之軌道處行走之搬送梭、或是行走於既定路徑之無人搬送車等來搬送FOUP。搬送裝置32係基於搬送控制裝置31所給予之指示而在複數處理裝置21與保管FOUP之儲藏室(stocker)之間移動以搬送被收容於FOUP之被處理體。
搬送控制裝置31係構成所謂的MCS(Material Control System)，基於來自主機4之搬送計畫來控制搬送裝置32之動作。
圖3係顯示處理裝置群控制器1之硬體構成一例之方塊圖。處理裝置群控制器1係具備有：CPU(中央運算處理裝置)11、碟片裝置12、主記憶體13、以及網路界面14。處理裝置群控制器1之各部係經由匯流排15來連接著。
碟片裝置12係儲存有由CPU11所實行之處理裝置群控制程式12a。再者碟片裝置12係經由網路界面(收訊部)14而從主機4接收搬送計畫以及各處理裝置21之預定運轉並儲存之。碟片裝置12為例如硬碟。此外，處理裝置群控制程式12a也可非儲存於碟片裝置12而是儲存於 ROM或磁帶(均未圖示)。
CPU11係將碟片裝置12內之處理裝置群控制程式12a加載於主記憶體13而實行處理裝置群控制程式12a。圖4係顯示CPU11藉由實行處理裝置群控制程式12a而實現之機能方塊圖。藉由處理裝置群控制程式12a之實行來實現取得部101、檢測部102、以及切換指示部103。
使用圖5所示流程圖來說明在取得部101、檢測部102、以及切換指示部103所實行之對於處理裝置21之空轉狀態的切換指示處理。
(步驟S101)取得部101係取得於碟片裝置12所儲存之搬送計畫、以及各處理裝置21之預定運轉。
(步驟S102)檢測部102係比較搬送計畫與各處理裝置21之預定運轉，特定維修前之最後處理(剛維修前之處理)，檢測將處理裝置21切換為空轉狀態之時機。
例如，檢測部102係對於圖6(a)所示之規定了被處理體之搬入時期T1、T3以及搬出時期T2、T4之搬送計畫與圖6(b)所示之規定了維修時期T5之預定運轉進行比較。檢測部102將於時期T3所搬入而於時期T4所搬出之被處理體之處理特定為即將維修前之處理，將此處理之結束時機(例如被處理體之搬出時期T4)檢測作為往空轉狀態之切換時機。此乃油於，於時期T4與時期T5之間，由於被處理體並未被搬入處理裝置21故無需為待機狀態之故。
伴隨即將維修前之處理的結束，藉由使得處理裝置21成為空轉狀態，而可增長處理裝置21成為空轉狀態之時間。
(步驟S103)切換指示部103經由網路界面14對於處理裝置21發出指示而在以步驟S102所檢測之時機連同附設設備27切換成為空轉狀態。切換指示部103可在步驟S102所檢測之時機來對於處理裝置21進行切換指示，也可在比步驟S102所檢測之時機更前面來對於處理裝置21通知切換指示以及切換之時機。
藉此，處理裝置21以及附設於處理裝置21之設備27可在即將維修之前的處理結束時迅速地成為空轉狀態。
如此般，依據本實施形態，可特定即將維修前之處理，伴隨此此處理之結束來使得設備27成為空轉狀態。從而，相較於當於一定時間內未 從主機4接收具體處理指示之時判斷處理裝置21側從待機狀態切換為空轉狀態之情況，由於可使得設備27迅速成為空轉狀態，拉長設備27成為空轉狀態之時間，而可減少設備27當中之能量消耗量。
於上述實施形態，雖處理裝置群控制器1對處理裝置21指示切換為空轉狀態，而接收到此指示之處理裝置21使得附設之設備27切換為空轉狀態，但處理裝置群控制器1也可直接對設備27指示切換為空轉狀態。
於上述實施形態，處理裝置群控制器1也可於既定時間未自主機4送訊搬送計畫之情況(亦即網路界面14於既定時間未收訊到搬送計畫之情況)乃判定處理裝置群2之處理裝置21無預定使用，而對各處理裝置21指示切換為空轉狀態。
處理裝置21具有伴隨於運轉狀況之變更而將現在之運轉狀況通知主機4之機能。處理裝置21之運轉狀況有例如運行中狀態(進行著被處理體之處理的狀態)、待機狀態、空轉狀態。處理裝置群控制器1也可從主機4取得各處理裝置21之運轉狀況，當從主機4於既定時間未送訊出搬送計畫之情況，乃基於各處理裝置21之運轉履歴(過去之運轉狀況)來對於各處理裝置21指示切換為空轉狀態。例如，處理裝置群控制器1當從處理裝置21之運轉履歴可預測此處理裝置21暫時不會進行處理之情況，乃對此處理裝置21指示切換為空轉狀態。
此外，於上述實施形態，雖1個處理裝置群控制器1進行了1個處理裝置群2所含複數處理裝置21之運轉狀態之切換，但亦可如圖7所示般，設置複數處理裝置群控制器1A~1C以及處理裝置群2A~2C，而於處理裝置群控制器1A~1C與主機4之間設置進行資訊收發訊之上位控制器50。此外，圖7中係省略了搬送系統3之圖示。
例如，上位控制器50一旦從主機4收訊到關於處理裝置群2A~2C所含複數處理裝置21之預定運轉，則將處理裝置群2A所含複數處理裝置21之預定運轉送訊至處理裝置群控制器1A。同樣地，上位控制器50係將處理裝置群2B所含複數處理裝置21之預定運轉送訊至處理裝置群控制器1B，將處理裝置群2B所含複數處理裝置21之預定運轉送訊至處理裝置群控制器1B。
此外，如圖8所示般，當設置了處理裝置群2A~2C所含複數處理裝置21共用之共用設備52之情況，上位控制器50也可進行共用設備52之使用調停與運轉狀態之切換。
例如，上位控制器50在共用設備52之運轉負荷成為既定值以上之情況乃對於處理裝置群2A~2C指示是否允許共用設備52之使用，避免對共用設備52造成過大負荷。
此外，例如上位控制器50係對於搬送計畫與處理裝置群2A~2C所含複數處理裝置21之預定運轉進行比較，當所有的處理裝置21結束了即將維修前之處理而成為等待維修之狀態之時，將共用設備52切換為空轉狀態。藉此，可高效率、有計畫地利用共用設備52。
圖7所示例中雖設置了上位控制器50以及處理裝置群控制器1A~1C之2階層之控制器，但控制器之階層可為3以上。圖9係顯示設置了3階層控制器之構成一例，其中設置有最上位控制器60(係和主機4進行通訊)、處理裝置群控制器1A~1C(進行處理裝置群2A~2C所含處理裝置21之運轉狀態的切換)、處理裝置群控制器1D、1E(進行處理裝置群2D、2E所含處理裝置21之運轉狀態之切換)、上位控制器50A(在最上位控制器60與處理裝置群控制器1A~1C之間進行資訊之收發訊)、以及上位控制器50B(在最上位控制器60與處理裝置群控制器1D、1E之間進行資訊之收發訊)。
例如，可使得共用設備之複數處理裝置群群組化，對應於各組群設置上位控制器50A、50B，而於複數上位控制器50A、50B與主機4之間設置最上位控制器60，藉此來進行共用設備之計畫性利用或使用調停等。
上述實施形態所說明之處理裝置群控制器1以及主機4之至少一部分能以硬體來構成，也能以軟體來構成。以軟體構成之情況，也可將實現處理裝置群控制器1以及主機4之至少一部分機能之程式收納於軟碟或CD-ROM等記錄媒體中，而讀到電腦中來實行。記錄媒體不限於磁碟或光碟片等可裝卸者，也可為硬碟裝置或記憶體等固定型記錄媒體。
此外，實現處理裝置群控制器1以及主機4之至少一部分機能之程式 亦可經由網路等通訊線路(也包含無線通訊)來散布。再者，也可將該程式予以編碼或是調制而於壓縮狀態下經由網際網路等有線線路或無線線路或是收納於記錄媒體來散布。
(第2實施形態)圖10係顯示本發明之第2實施形態之生產效率化系統之概略構成之方塊圖。圖10之生產效率化系統201係具備有排序器202、配送器203、生產效率化裝置204、複數處理裝置205、複數處理裝置控制器206、複數搬送裝置207、以及搬送控制裝置208。
排序器202係做出生產工廠(例如半導體製造工廠)中被處理體(例如半導體裝置)之生產計畫。此生產計畫係基於生產進度計畫來逐次更新。配送器203係基於排序器202所做出之生產計畫來對於進行被處理體之處理的複數處理裝置205進行動作指示。
排序器202與配送器203係合起來構成生產實行控制裝置(MES：Manufacturing Execute System)209，實際上能以例如一台或是複數台之電腦來實現。
生產效率化裝置204係基於排序器202與配送器203之處理結果來做出複數處理裝置205之處理計畫，並切換複數處理裝置205之動作模式。尤其，本實施形態之生產效率化裝置204係進行各處理裝置205之動作模式之切換。
此處，所說的動作模式包含有待機模式(消耗可迅速開始被處理體之處理的電力)與睡眠模式(消耗可迅速移往待機模式之最低限度的電力)。亦可設置此等模式以外之模式。
無須所有的複數處理裝置205皆可切換動作模式，只要至少一部分之處理裝置205可切換動作模式即可。
複數處理裝置205係例如處理有機EL元件製造用玻璃基板、半導體元件等製造用矽晶圓等被處理體之電漿CVD裝置、電漿蝕刻裝置、濺鍍裝置、以及PVD裝置等，而不問具體的處理內容。
此外，複數處理裝置205亦可使得進行相同處理之2以上處理裝置205成為一群，而分類為分別進行不同處理之複數群。於此情況，生產效率化裝置204在優先考慮處理速度之情況下，可從一群當中同時選擇 複數處理裝置205而對複數被處理體同時進行處理來提高處理生產量，而在優先考慮節能之情況，可從相同群當中選擇能量消耗量最少之處理裝置205來進行處理。
或是，當一個製程處理係以複數處理裝置205來連續地進行之情況，亦可使得此等處理裝置205成為一群，而設置進行相同製程處理之複數群。
分別對應於複數處理裝置205來設置處理裝置控制器206。此等處理裝置控制器206係接收來自生產效率化裝置204之指示而控制對應之處理裝置205之動作、並檢測來自於連接在處理裝置205之未圖示之各種感應器的訊號。感應器之種類並無特別限定，例如係測定處理裝置205內之腔室內的溫度、濕度、氣體流量、以及真空度等。
搬送裝置207係例如行走在設置於天花板或是地面上之軌道的搬送梭、或是行走於既定路徑之無人搬送車等，而對搬送容器(載具)進行搬送。搬送裝置207係基於從搬送控制裝置208所給予之指示而移動於複數處理裝置205與保管著載具之儲藏室之間，對收容於載具之被處理體進行搬送。
搬送控制裝置208係構成所謂的MCS(Material Control System)，基於排序器202所作成之搬送計畫來控制搬送裝置207之動作。
圖11係顯示搬送裝置207之搬送路徑之一例之圖。圖11係顯示被處理體之一製程的搬送路徑。如圖示般，於中央部設有在各製程間進行搬送之製程間(Inter-Bay)搬送路徑211，於其兩側設有製程內(Intra-Bay)搬送路徑212。
左右製程內搬送路徑212為大致U字形，於兩端部之出入口連接著製程間搬送路徑211。於製程內搬送路徑212之兩端部出入口處設有暫時儲存晶圓等被處理體之儲藏室213。從製程間搬送路徑211搬送而來之被處理體暫時儲存於此儲藏室213後，於所希望之時機被取出，而搬送到製程內搬送路徑212上。如此般，儲藏室213係為了吸收於各處理裝置205之處理結束時機與前製程或是下一製程之搬送時機的偏差而設置者。
製程內搬送路徑212係例如設置於天花板或是地面上之U字形狀之軌 道，具備有以皮帶驅動而上下移動之吊車機構的搬送裝置207(OHT：Overhead Hoist Transfer)係行走於此軌道上。搬送裝置207一旦到達待處理被處理體之處理裝置205之正上方，則以吊車機構往下方下移，將被處理體載置於處理裝置205。
複數處理裝置205係配置於製程內搬送路徑212之兩側。如上述般，可使得進行相同處理之處理裝置205成為一群而近接配置，而當一個製程處理係以複數處理裝置205來分擔進行之情況，亦可使得複數處理裝置205按照處理順序來排列配置。
雖圖11中省略了，但於各處理裝置205之附近係設置有使得搬送車從搬送路徑暫時地迴避之分枝路徑。藉此，當搬送車比處理開始時刻提前甚早到達目標之處理裝置205位置的情況，可使得搬送車迴避至分枝路徑。從而，搬送車不會停止於搬送路徑上，而可使得複數搬送車高速移動於搬送路徑上。
圖12係顯示處理裝置205之構成一例之方塊圖。處理裝置205係例如多腔室式之基板處理系統。處理裝置205具備有加載模組(LM：Load Module)223，其設有為了收授收容被處理體W之載具(Front Open Unified Pod)而載置載具的第1以及第2加載埠(LP：Load Port)222a,222b。於加載模組223係經由加載互鎖模組(LLM：Load Lock Module)224a,224b而連接著轉換器模組(TM：Transfer Module)225。轉換器模組225所具有之真空機械人(未圖示)係將經過加載互鎖模組224a,224b而被搬入之被處理體W搬送到程序模組(PM：Process Module)226a~226d。程序模組226a~226d係基於配方來對被處理體W施以既定處理。經過處理之被處理體W係沿著和搬入為相反路徑而被回收至載置於第1加載埠222a或是第2加載埠222b之載具，以載具單位來被搬出。
圖12所示多腔室式基板處理系統，程序模組226a~226d以及轉換器模組225始終保持在真空狀態，加載互鎖模組224a,224b與轉換器模組225係以閘閥(未圖示)來分隔。在加載互鎖模組224a,224b成為真空之狀態下開啟閘閥，被處理體W係於程序模組226a~226d與加載互鎖模組224a,224b之間受到搬送。真空泵係進行加載互鎖模組224a,224b之抽真空。
圖13係顯示第2實施形態之生產效率化裝置204之內部構成一例之方塊圖。圖13之生產效率化裝置204具有時間間隔測量部231、動作模式設定部232、狀態判斷部233。時間間隔測量部231係測量從處理裝置205結束被處理體之處理後到開始下一處理為止的時間間隔。動作模式設定部232在時間間隔測量部231所測量之時間間隔超過既定基準時間之情況乃將處理裝置205設定為睡眠模式，當未超過基準時間之情況將處理裝置205設定為待機模式。狀態判斷部233如後述般非必須者，但可基於處理裝置205之環境條件來判斷從睡眠模式回復到待機模式之處理裝置205是否已成為可開始處理被處理體之狀態。
時間間隔測量部231與動作模式設定部232之處理動作能以硬體來進行也能以軟體來進行。只要以電腦來構成生產效率化裝置204，藉由電腦來實行進行時間間隔測量部231與動作模式設定部232之處理動作的程式(軟體)，而能以軟體來實現生產效率化裝置204之全部或是一部分之處理。
時間間隔測量部231亦可在處理裝置205從睡眠模式切換為待機模式後，將重點放在處理裝置205直到著手於處理之狀態為止的回復時間而測量上述時間間隔。亦即，如圖14所示般，時間間隔測量部231亦可考慮處理裝置205結束被處理體之處理之時刻t1、開始下一處理之時刻t3、從該時刻t3到回復時間分前之時刻t2來測量時間間隔(t2-t1)。
於此情況，動作模式設定部232只要在時間間隔(t2-t1)超過既定基準時間之情況，乃將處理裝置205設定為睡眠模式，在未超過之情況則將處理裝置205設定為待機模式。
如此般，只要考慮從睡眠模式切換為待機模式之情況的回復時間來進行動作模式之切換，則可在到達開始下一處理之時刻之前以處理裝置205之準備完成的狀態來進行被處理體之處理，可提高處理性能。
此外，於時間間隔之測量上，是否考慮處理裝置205之回復時間為任意，亦可僅於動作模式會造成回復時間有顯著差異之情況來考慮回復時間。
如上述般，即使處理裝置205從睡眠模式切換為待機模式，在回復時間之間處理裝置205是無法進行被處理體之處理的。即便事前預估回 復時間也未必正確，依據從睡眠模式切換為待機模式之時點的處理裝置205之環境條件(例如溫度、濕度、真空度、氣體流量等)的不同，直到成為可進行被處理體之處理之狀態的真正回復時間並不相同。
是以，狀態判斷部233乃基於處理裝置205所具備之由各種感應器所構成之環境條件檢測部234的檢測訊號來檢測溫度、濕度、氣體流量等環境條件，基於該檢測結果來檢測處理裝置205是否已成為可進行下一被處理體之處理的狀態。如此般，狀態判斷部233係為了檢測事先預估之回復時間之誤差而設置者。
上述生產效率化裝置204之動作模式切換係在每一處理裝置205進行。當存在著進行相同處理之複數處理裝置205，此等處理裝置205同時進行處理之情況，亦可進行共通之動作模式控制。此外，當不同複數處理裝置205同時分別進行不同處理之情況，乃希望於各個進行不同處理之處理裝置205或是處理裝置群來進行動作模式控制。
此外，隨被處理體之不同，有時會要求高處理精度，而即便待機時間長的情況，有時完全不變更腔室內之溫度、濕度等環境條件較佳。從而，於該情況，作為例外性措施，生產效率化裝置204乃不論待機時間之長短均維持在待機模式。如此般，生產效率化裝置204係基於時間間隔測量部231所測量之時間間隔的長度以及處理裝置205對被處理體所施以之處理內容來控制動作模式。
如此般，於第2實施形態由於事前預估處理裝置205在結束被處理體之處理後到開始下一處理為止之時間間隔，而依據該時間間隔之長短來進行處理裝置205之動作模式切換，故無需頻繁地切換動作模式，此外，處理裝置205之處理性能不至降低，可有效地降低處理裝置205之消耗能量。
此外，於預估時間間隔之際，由於動作模式切換時之處理裝置205的回復時間也可被納入考慮，故在成為最初予定之下一處理開始時刻為止，處理裝置205可確實地結束被處理體之處理準備，可提高處理性能。
再者，由於於進行了動作模式切換後，檢測處理裝置205之環境條件，判斷處理裝置205是否已成為可進行被處理體之處理的狀態，故處理 裝置205能以最適狀態來進行被處理體之處理。
(第3實施形態)第3實施形態係以複數處理裝置205之消耗能量總量不致超過最大消耗能量的方式來調整。
本發明之第3實施形態之生產效率化系統201之概略構成係以和圖10同樣的方塊圖來表示。於本實施形態，生產效率化系統201所消耗之最大消耗能量係設定為與電力公司之契約等所事先決定者，在不超過此最大消耗能量之範圍來運用各處理裝置205。
第3實施形態之生產效率化系統201係以批次處理被處理體為前提。於一批次中，係以一個或是複數處理裝置205來進行複數被處理體之處理。複數處理裝置205係以進行同一處理之2以上處理裝置205為群而分類為複數群。一群中可使用屬於該群之複數處理裝置205而處理在相同批次內之複數被處理體。
於不同批次可處理同一被處理體也可處理不同被處理體。此外，於各批次待處理之被處理體數量可為相同亦可為不同。於各批次何種類之被處理體被處理了幾個之資訊係包含在排序器202所作成之處理裝置205的處理計畫中。
連接於各處理裝置205之處理裝置控制器(消耗能量管理部)206係依照批次來檢測對應之處理裝置205之能量消耗量。由各處理裝置控制器206所檢測之各處理裝置205之能量消耗量係依照批次被送往生產效率化裝置204而總計。生產效率化裝置204係基於各處理裝置控制器206所管理之各處理裝置之消耗能量以及排序器202與配送器203之處理結果，以複數處理裝置全體所消耗之消耗能量不致超過事先預定之最大消耗能量的方式來批次判定複數處理裝置個別是否進行被處理體之處理，並以各批次處理中由複數處理裝置全體所消耗之消耗能量不致超過最大消耗能量的方式來個別調整於各批次運轉之各處理裝置之處理時機。亦即，生產效率化裝置204係管理著批次資訊、於各批次進行處理之處理裝置之種類、以及於各批次內運轉各處理裝置之時機。
圖15係顯示第3實施形態之生產效率化裝置204之內部構成之方塊圖。圖15之生產效率化裝置204具有：能量消耗量總計部241，係對由各處理裝置控制器206所供給之能量消耗量進行總計；表格作成部242， 係將每一批次之總能量消耗量予以表格化；處理裝置判定部243，係判定下一批次待處理之處理裝置205；以及搬送時機判定部244，係判定被處理體搬送至判定為待處理之各處理裝置205的時機。
處理裝置判定部243係基於排序器202與配送器203之處理結果來掌握應於下一批次進行處理之被處理體之種類以及數量，此外，參見表格作成部242於不致超過事先決定之最大消耗能量的範圍內來求出可運轉之處理裝置205之最大數量，而可在對下一批次所給予之時間內確實地處理。此外，處理裝置判定部243係以各批次之處理中由複數處理裝置全體所消耗之消耗能量不致超過最大消耗能量的方式來個別調整於各批次進行運轉之各處理裝置之處理時機。
對於由處理裝置判定部243所判定之各處理裝置205以既定時機經由處理裝置控制器206來進行處理之指令。此外，配合於此，生產效率化裝置204係依據搬送時機判定部244所判定之搬送時機對搬送控制裝置208進行指示來將被處理體搬送至各處理裝置205。
於上述說明中，係以複數處理裝置205所消耗之能量總量不致超過事先決定之最大消耗能量的方式進行控制之例來說明，但亦可一併考慮以搬送裝置207進行搬送之際所消耗之能量，以不致超過最大消耗能量的方式進行控制。
於此情況，於表格作成部242事先登錄搬送裝置207將被處理體搬送單位距離所需消耗能量為佳。生產效率化裝置204係按照批次來判定用以處理被處理體之處理裝置205，並判定被處理體搬送至所判定之各處理裝置205的時機，避免所判定之各處理裝置5所消耗之能量總量與被處理體搬送至被判定之各處理裝置205的所需消耗能量之合計量超過最大消耗能量。
更具體而言，為了儘可能提高批次之處理效率，係以將處理隸屬於批次之各被處理體之處理裝置205的數量增加至最大限度、並以最短路徑將被處理體搬送至各處理裝置205的方式來排序搬送裝置207之搬送時機。藉此，可儘可能對許多處理裝置205以最短距離來搬送被處理體，以此等處理裝置205來同時實行複數被處理體之處理，並一面抑制消耗能量總量、一面提高生產效率至最大限度。
此外，亦可一併考量圖10之生產效率化系統201所含處理裝置205與搬送裝置207以外的裝置之消耗能量，以避免超過最大消耗能量的方式來進行排序。
如此般，於第3實施形態，由於以避免超過事先決定之最大消耗能量的方式針對每批次來作成處理裝置205之處理排序，而可在最大消耗能量之範圍內有效率地進行各批次之處理。此外，亦可將搬送裝置207之消耗能量納入考慮，以生產效率化系統201全體之消耗能量不至超過最大消耗能量的方式於每批次進行處理裝置205與搬送裝置207之排序。
上述實施形態所說明之生產效率化系統201之至少一部分能以硬體來構成也能以軟體來構成。以軟體構成之情況，可將實現生產效率化系統201之至少一部分機能之程式收納於軟碟或CD-ROM等記錄媒體中並讀入電腦中來實行。記錄媒體不限定於磁碟或光碟片等可裝卸者，也可為硬碟裝置或記憶體等固定型記錄媒體。
此外，實現生產效率化系統201之至少一部分機能的程式也可經由網路等通訊線路(包含無線通訊)來散布。再者，也可將該程式編碼或是調制而於壓縮狀態下經由網際網路等有線線路或無線線路、或是收納於記錄媒體中來散布。
此外，本發明不限定於上述實施形態本身，可在實施階段不超脫其要旨之範圍內對於構成要素加以變形以具體化。此外，可藉由上述實施形態所揭示之複數之構成要素的適宜組合來形成各種發明。例如，也可從實施形態所示全構成要素刪除幾個構成要素。再者，也可將見於不同實施形態之構成要素加以適宜組合。
1‧‧‧處理裝置群控制器
2‧‧‧處理裝置群
3‧‧‧搬送系統
4‧‧‧主機
21‧‧‧處理裝置
27‧‧‧設備
31‧‧‧搬送控制裝置
32‧‧‧搬送裝置

Claims (23)

  1. 一種處理裝置群控制器，係具備有：記憶部，係記憶有預定運轉與搬送計畫，該預定運轉包含有對於處理被處理體之分別附設有設備之複數處理裝置的維修時期資訊，該搬送計畫包含有對該複數處理裝置來搬入以及搬出被處理體之時機的資訊；檢測部，係實行下述步驟：對該搬送計畫與各處理裝置之該預定運轉進行比較之步驟；針對各處理裝置來特定維修前之最後處理之步驟；以及檢測特定後之處理之結束時機之步驟；以及指示部，係對各處理裝置指示於該結束時機連同附設之設備一同切換為空轉狀態。
  2. 如申請專利範圍第1項之處理裝置群控制器，其中該指示部係於該結束時機對該處理裝置所附設之設備指示切換為空轉狀態。
  3. 如申請專利範圍第1項之處理裝置群控制器，係進一步具備有收訊部，從和該複數處理裝置以可通訊方式連接著之主電腦來收訊該搬送計畫；該指示部在該收訊部從該主電腦收訊最新搬送計畫後經過既定時間以上之情況，乃對各處理裝置指示連同附設之設備一同切換為空轉狀態。
  4. 如申請專利範圍第1項之處理裝置群控制器，係進一步具備有收訊部，從和該複數處理裝置以可通訊方式連接著之主電腦來收訊該搬送計畫以及各處理裝置之運轉狀況；該指示部在該收訊部從該主電腦收訊最新搬送計畫後經過既定時間以上之情況，乃實行下述步驟：基於各處理裝置過去之運轉狀況來特定出切換為空轉狀態之處理裝置之步驟；對特定後之處理裝置指示連同附設之設備一同切換為空轉狀態之步驟。
  5. 一種生產處理系統，係具備有：複數處理裝置，係用以處理被處理體之分別附設有設備者；搬送裝置，係將被處理體搬送至該複數處理裝置；主電腦，係實行下述步驟：製作包含利用該搬送裝置來搬入以及搬出被處理體之時機之資訊的搬送計畫之步驟；以及，從該複數處理裝置取得包含維修時期之資訊的預定運轉之步驟；以及 處理裝置群控制器，係實行下述步驟：從該主電腦取得該搬送計畫以及該預定運轉之步驟；對該搬送計畫與各處理裝置之該預定運轉進行比較之步驟；針對各處理裝置特定出維修前之最後處理之步驟；檢測特定後之處理結束時機之步驟；以及，對各處理裝置指示於該結束時機連同附設之設備一同切換為空轉狀態之步驟。
  6. 如申請專利範圍第5項之生產處理系統，其中該處理裝置群控制器係於該結束時機對該處理裝置所附設之設備指示切換為空轉狀態。
  7. 一種生產處理系統，係具備有：複數第1處理裝置，係處理被處理體之分別附設有設備者；複數第2處理裝置，係處理被處理體之分別附設有設備者；搬送裝置，係將被處理體搬送至該複數第1以及第2處理裝置；主電腦，係實行下述步驟：製作包含利用該搬送裝置來搬入以及搬出被處理體之時機之資訊的搬送計畫之步驟；以及，從該複數第1以及第2處理裝置取得包含維修時期之資訊的預定運轉之步驟；第1處理裝置群控制器，係實行下述步驟：取得該搬送計畫以及該複數第1處理裝置之預定運轉之步驟；對該搬送計畫與各第1處理裝置之預定運轉進行比較之步驟；針對各第1處理裝置特定出維修前之最後處理之步驟；檢測特定後之處理結束時機之步驟；以及對各第1處理裝置指示於該結束時機連同附設之設備一同切換為空轉狀態之步驟；第2處理裝置群控制器，係實行下述步驟：取得該搬送計畫以及該複數第2處理裝置之預定運轉之步驟；對該搬送計畫與各第2處理裝置之預定運轉進行比較之步驟；針對各第2處理裝置特定出維修前之最後處理之步驟；檢測特定後之處理結束時機之步驟；以及對各第2處理裝置指示於該結束時機連同附設之設備一同切換為空轉狀態之步驟；以及上位控制器，係實行下述步驟：從該主電腦取得該搬送計畫以及該複數第1以及第2處理裝置之預定運轉之步驟；將該搬送計畫以及該複數第1處理裝置之預定運轉送訊至該第1處理裝置群控制器之步驟；以及將該搬送計畫以及該複數第2處理裝置之預定運轉送訊至該第2處理裝置群控制器之步驟。
  8. 如申請專利範圍第7項之生產處理系統，係進一步具備有該複數第1以及第2處理裝置所共用之共用設備；該上位控制器係實行下述步驟：對該搬送計畫與該複數第1以及第2處理裝置之預定運轉進行比較之步驟；以及基於比較結果來對該共用設備指示切換為空轉狀態之步驟。
  9. 一種處理裝置群控制方法，係具備有下述步驟：取得包含對於處理被處理體之分別附設有設備之複數處理裝置之維修時期資訊之預定運轉之步驟；取得包含對該複數處理裝置搬入以及搬出被處理體之時機之資訊的搬送計畫之步驟；對該搬送計畫與各處理裝置之該預定運轉進行比較之步驟；針對各處理裝置特定出維修前之最後處理之步驟；檢測特定後之處理結束時機之步驟；以及對各處理裝置指示於該結束時機連同附設之設備一同切換為空轉狀態之步驟。
  10. 一種生產效率化系統，係具備有：排序器，係作成被處理體之生產計畫；配送器，係基於該生產計畫來對於對該被處理體進行處理之複數處理裝置進行動作指示；以及生產效率化裝置，係基於該排序器以及該配送器之處理結果來作成該複數處理裝置之處理計畫，並切換該複數處理裝置之動作模式；該複數處理裝置分別在該動作模式方面具有：待機模式，係消耗可對該被處理體迅速開始處理之能量；以及，睡眠模式，係消耗可迅速移往該待機模式之最低限度的能量；該生產效率化裝置係具有：時間間隔測量部，係基於該複數處理裝置之生產計畫，測量從該複數處理裝置分別對該被處理體結束了處理後到開始下一處理為止的時間間隔；以及動作模式設定部，當該時間間隔測量部所測量之時間間隔超過既定基準 時間之情況，乃將對應之處理裝置設定為該睡眠模式，當未超過該基準時間之情況，乃將該對應之處理裝置設定為該待機模式。
  11. 如申請專利範圍第10項之生產效率化系統，其中該動作模式設定部係將從該睡眠模式已回復到該待機模式之該處理裝置到開始處理為止所需暖機期間納入考慮，而設定從該睡眠模式切換為該待機模式之時機。
  12. 如申請專利範圍第11項之生產效率化系統，其中該複數處理裝置分別具有環境條件檢測部以檢測對該被處理體進行處理所必要之環境條件；該生產效率化裝置係具有狀態判斷部，係基於該處理裝置之該環境條件檢測部所得檢測結果來判斷從該睡眠模式回復到該待機模式之該處理裝置是否已成為可對該被處理體開始處理之狀態。
  13. 如申請專利範圍第10至12項中任一項之生產效率化系統，其中該動作模式設定部係基於該時間間隔測量部所測量之時間間隔長度以及該處理裝置對該被處理體所施以之處理內容來控制該動作模式。
  14. 如申請專利範圍第10至13項中任一項之生產效率化系統，其中該複數處理裝置分別於選擇該睡眠模式時，乃將消耗能量、該處理裝置內之溫度、以及該處理裝置內之特定氣體流量之至少一者較選擇該待機模式選擇時來得降低。
  15. 一種生產效率化裝置，係具備有：時間間隔測量部，係基於可任意選擇待機模式與睡眠模式而對該被處理體進行處理之處理裝置之生產計畫，測量該處理裝置對該被處理體結束了處理後到開始下一處理為止之時間間隔；該待機模式係消耗可對該被處理體迅速開始處理之能量，該睡眠模式係消耗可迅速移往該待機模式之最低限度的能量；以及動作模式設定部，當該時間間隔測量部所測量之時間間隔超過既定基準時間之情況，乃將該處理裝置設定為該睡眠模式，當未超過該基準時間之情況，乃將該處理裝置設定為該待機模式。
  16. 一種生產效率化方法，係具備有下述步驟：基於可任意選擇待機模式與睡眠模式而對該被處理體進行處理之處理裝置之生產計畫，測量該處理裝置對該被處理體結束了處理後到開始下一 處理為止之時間間隔之步驟；該待機模式係消耗可對該被處理體迅速開始處理之能量，該睡眠模式係消耗可迅速移往該待機模式之最低限度的能量；以及當該測量出之時間間隔超過既定基準時間之情況，乃將該處理裝置設定為該睡眠模式，當未超過該基準時間之情況，乃將該處理裝置設定為該待機模式之步驟。
  17. 一種生產效率化系統，係具備有：排序器，係作成被處理體之生產計畫；配送器，係基於該生產計畫來對於對該被處理體進行處理之複數處理裝置進行動作指示；複數消耗能量管理部，係分別對應於該複數處理裝置而設置，而管理對應之處理裝置之消耗能量；以及生產效率化裝置，係基於該消耗能量管理部所管理之各處理裝置之消耗能量以及該排序器與該配送器之處理結果，以該複數處理裝置全體所消耗之消耗能量不至超過事先決定之最大消耗能量的方式來批次地判定是否以該複數處理裝置分別對該被處理體進行處理，並以各批次處理中該複數處理裝置全體所消耗之消耗能量不至超過該最大消耗能量的方式來個別調整於各批次運轉之各處理裝置之處理時機。
  18. 如申請專利範圍第17項之生產效率化系統，其中該複數處理裝置係以對該被處理體進行同一處理之1以上之處理裝置為一群，而分成分別進行不同處理之複數群；該生產效率化裝置係批次地判定以各群同時進行處理之處理裝置之種類以及數量，且個別地調整於各批次運轉之各處理裝置之處理時機。
  19. 如申請專利範圍第17或18項之生產效率化系統，其中該生產效率化裝置係基於在各批次被處理之該被處理體的種類以及數量來批次地判定是否以該複數處理裝置分別對該被處理體進行處理，且個別地調整於各批次運轉之各處理裝置之處理時機。
  20. 如申請專利範圍第17至19項中任一項之生產效率化系統，其中該生產效率化裝置係具有： 消耗能量總計部，係總計出處理被處理體之複數處理裝置之消耗能量；表格作成部，當改變各批次運轉之處理裝置之種類以及數量之時，將個別之消耗能量總量加以表格化；處理裝置判定部，係實行下述步驟：基於該複數處理裝置之處理計畫來掌握各批次待處理之被處理體之種類以及數量之步驟；以及，參見該表格作成部所作成之表格，以各批次之消耗能量總量不至超過事先決定之最大消耗能量的方式來批次地判定是否以該複數處理裝置分別對該被處理體進行處理之步驟；以及搬送時機判定部，係判定將被處理體搬送至對被處理體進行處理之各處理裝置處之搬送裝置之搬送時機。
  21. 如申請專利範圍第20項之生產效率化系統，其中該處理裝置判定部係包含將被處理體搬送至對被處理體進行處理之處理裝置之際的該搬送裝置之消耗能量都不超過該最大消耗能量。
  22. 一種生產效率化裝置，係具備有：消耗能量總計部，係總計出處理被處理體之複數處理裝置之消耗能量；表格作成部，當改變各批次運轉之處理裝置之種類以及數量之時，將個別之消耗能量總量加以表格化；處理裝置判定部，係實行下述步驟：基於該複數處理裝置之處理計畫來掌握各批次待處理之被處理體之種類以及數量之步驟；以及，參見該表格作成部所作成之表格，以各批次之消耗能量總量不至超過事先決定之最大消耗能量的方式來批次地判定是否以該複數處理裝置分別對該被處理體進行處理之步驟；以及搬送時機判定部，係判定將被處理體搬送至已被判定對被處理體進行處理之各處理裝置處之搬送裝置之路徑。
  23. 一種生產效率化方法，係具有下述步驟：總計處理被處理體之複數處理裝置之消耗能量之步驟；當改變各批次運轉之處理裝置之種類以及數量之時，將個別之消耗能量總量加以表格化之步驟；基於該複數處理裝置之處理計畫來掌握於各批次待處理之被處理體之種 類以及數量之步驟；參見該表格作成部所作成之表格，以各批次之消耗能量總量不至超過事先決定之最大消耗能量的方式來批次地判定是否以該複數處理裝置分別對該被處理體進行處理之步驟；以及判定將被處理體搬送至已被判定為對被處理體進行處理之各處理裝置處之搬送裝置之路徑之步驟。
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