TW201345673A - 抗靜電板及包含其之工作平台組件 - Google Patents

Abstract

本發明揭露一種抗靜電板及具有抗靜電板而能夠進行抗靜電處理之工作平台，抗靜電板包括一多孔板、一中間層、以及一靜電放電披覆層，其中，多孔板具有多孔性，中間層係由高分子混合樹脂所構成並形成於多孔板之至少一表面上，靜電放電披覆層係設置於中間層上並包括複數奈米碳管。

Description

抗靜電板及包含其之工作平台組件

本發明係關於一種工作平台，特別關於一種應用於半導體製成設備、顯示裝置或測試裝置等需要抗靜電處理之工作平台。

在進行半導體製程時，晶圓基板係設置於一工作平台上，而工作平台通常是由金屬材料所構成，因此，在進行半導體製程的過程中，在工作平台與晶圓基板之間會產生靜電摩擦。

此外，在製造平面顯示器的點膠機或刻線機中，顯示基板通常是以真空吸附方式設置於工作平台上，此工作平台亦通常是由金屬材料所構成，如鋁，因此，當設置顯示基板於工作平台時或當將顯示基板從工作平台上移除時，工作平台上會產生靜電，因此顯示基板會被電氣化。近年來，由於顯示基板越來越大，所產生的電荷量亦隨之增加，因此靜電問題亦隨著越來越嚴重。

在晶圓基板或顯示基板上會設置許多電子元件，如半導體裝置，因此，靜電可能流至該些電子元件並傳送至其內部電路，而產生靜電時所導致的靜電電氣化會對該些電子元件的可靠度造成毀滅性的破壞。再者，基板上可能吸附顆粒，而且在提起基板時，可能會導致基板因靜電電氣化而破裂。

在習知技術中，可以在工作平台上設置一靜電消除機以電氣化電位，藉以防止靜電電氣化；然而，在這種情況下，可能無法提起基板，否則離子風流可能無法順利吹至目的地，而且，即使可以順利提起基板，在離子風流吹至需要修除靜電處之前，亦可能產生靜電放電的問題。

為解決上述問題，可以利用氟塑料塗佈(或稱鐵氟龍塗佈)作為工作平台的抗靜電處理，由於氟塑料與其他材料的黏著力較低，且具有優異的無黏著力特性及較低的摩擦係數，因此其與玻璃基板具有較弱的連結關係，進而可以有效降低分離基板時產生的靜電。

一般而言，氟具有電性隔離特性，因此在鐵氟龍塗佈中可以將電氣化材料加入氟中，亦即在電鍍工作平台之後，進行鐵氟龍塗佈，藉以避免在工作平台上產生靜電。

然而，鐵氟龍塗佈相對較昂貴，特別是針對顯示基板越來越大的情況下，工作平台的尺寸亦隨之增大，因此，其製造成本亦大幅增加。

另外，氟本身的硬度較低，所以由氟所構成之塗佈層的硬度相對較低，故容易在其上形成刮痕而此刮痕處不容易保持平坦，且可能會形成顆粒。

此外，由於氟具有電性隔離特性，所以還必須添加填充劑，如碳黑或導電高分子，藉以提供抗靜電之表面電阻；然而由於碳黑為圓形，所以會產生灰塵，而導電高分子的溶劑耐度較弱，需要較大量的黏結劑，且不容易形成薄膜。

除此之外，利用燒結超高分子量聚乙烯粉末以形成一超高分子量多孔膜，其係可以應用於刻線機的抗靜電；然而，此超高分子量多孔膜的吸振能力較弱，因此加工物件可能會容易受損，而且超高分子量多孔膜其的強度較低，所以其耐受度較低。

為解決上述問題，本發明之目的係提供一種抗靜電板以及包括抗靜電板而具抗靜電處理之工作平台，其係能夠減少在工作平台與基板之相對表面上產生的靜電，降低製造成本，適當地調整表面電阻，及較低的摩擦係數與較高的抗磨損度。

本發明之另一目的係提供一種抗靜電板以及包括抗靜電板之具抗靜電處理之工作平台組件，其係具有優異的吸振能力。

本發明揭露一種抗靜電板，其包括一多孔板、一中間層以及一靜電放電披覆層。其中，多孔板具有多孔性，中間層係由高分子混合樹脂所構成並形成於多孔板之至少一側面上，靜電放電披覆層係設置於中間層上並包括複數奈米碳管。

抗靜電板可更包括一初始層，其係用以增加靜電放電披覆層與中間層之間的黏著力，其中，初始層係藉由塗佈一初始披覆劑於中間層上並使其硬化而形成，初始披覆劑係藉由混合氯化聚烯烴及改性橡膠於一溶劑中而形成，溶 劑包括甲苯及二甲苯。

抗靜電板可更包括一電暈處理層，其係藉由電暈處理中間層而形成於靜電放電披覆層與中間層之間。

靜電放電披覆層係藉由塗佈一靜電放電披覆劑而形成，其中，靜電放電披覆劑包括一溶劑、一樹脂以及複數奈米碳管；樹脂係混合加入溶劑中，並包括苯氧基樹脂、丙烯酸氨基甲酸酯、羧基修飾乙烯共聚物、水性聚氨酯、聚酯、及聚乙烯醇縮丁醛至少其中之一，其中樹脂係佔靜電放電披覆劑的重量百分比的10至20%，奈米碳管係佔靜電放電披覆劑的重量百分比的0.1至5%。

其中，靜電放電披覆層之表面電阻為10⁶~10¹⁰ Ω/sq。

多孔板係為一不織布纖維板，其中不織布纖維板之原料纖維係為聚對苯二甲酸乙二酯合成纖維。

另外，本發明亦揭露一種工作平台組件，其包括一工作平台以及一抗靜電板；其中，工作平台具有金屬製之至少一表面，且設置有複數黏著孔，其係利用真空吸附以固定一加工物件，抗靜電板係具有前述之結構，並設置於工作平台之該表面上。

其中，多孔板係覆蓋工作平台之設有黏著孔之上表面及部分側面，另外，工作平台可更包括一黏著劑，其係用以將多孔板之一端固定於工作平台之側面。

其中，多孔板係為一不織布纖維板，其原料纖維係為聚對苯二甲酸乙二酯合成纖維。

其中，不織布纖維板之空氣穿透率為80~160 cm³/cm²．S。

承上所述，本發明係在工作平台上塗佈具有奈米碳管之抗靜電劑，因此能夠降低工作平台的摩擦係數，提供優異的耐磨度，並改善其耐用度。

此外，本發明係採用不織布纖維板，其具有優異的多孔性及彈性，藉以提供良好的吸振效果，因此能夠避免破壞加工物件。

以下將參照相關圖式，說明依本發明較佳實施例之一種抗靜電板及包含其之工作平台組件，其中相同的元件將以相同的參照符號加以說明。需注意者，當本文提到一元件「連接」或「耦接」另一元件時，其係可以直接連接或耦接兩個元件，或透過一中間元件而達成；相反地，當本文提到一元件「直接連接」或「直接耦接」另一元件時，則不存在有任何中間元件。

圖1為本發明一示例性實施例之工作平台組件之一爆炸圖，其中，工作平台組件包括一工作平台1以及一抗靜電板10。

工作平台1係設置於一基座框架(圖未示)上，其中，工作平台1與基座框架可以是一體成形或由分離元件組合而成。

一加工物件g係設置於工作平台1上，其中加工物件g包括一電子元件，而此電子元件可能會被工作平台1電 氣化，加工物件g係例如為一晶圓基板或一顯示基板。

工作平台1所適用的設備包括半導體製程設備、刻線機及點膠機，其中，半導體製程設備之工作平台1係用以承載晶圓基板，而刻線機之工作平台1係用以承載顯示基板，但本發明並不限於此，其可以應用於任何需要抗靜電程序之工作平台。

工作平台1具有複數黏著孔5，其係黏著並支撐加工物件g於工作平台1上，其中加工物件g可以是一顯示基板或一晶圓。

工作平台1的材料可以包括鋁、鎂、鋅、鈦、鉭、鉿、或鈮。

在本實施例中，工作平台1的材料為鋁合金，其係由於鋁材料很輕，且具有一定的強度及優異的加工能力。

抗靜電板10係設置於工作平台1之表面與加工物件g之間，換言之，抗靜電板10係固定設置於工作平台1之表面上，且抗靜電板10係承載加工物件g。

抗靜電板10可以是貼設於工作平台1上。

此外，抗靜電板10亦可以未貼設於工作平台1上，而是透過黏著孔固定抗靜電板10，因此，可以容易地更換抗靜電板，且可以避免造成工作平台的髒污。

承上所述，抗靜電板10係覆蓋形成有黏著孔5之工作平台1的上表面及工作平台1的部分側面，此外，抗靜電板10可更包括一黏著劑90，用以將抗靜電板10之一端固定於工作平台1的側面上。

如圖2所示，抗靜電板10包括一多孔板11、一中間層13以及一靜電放電披覆層15。

多孔板11具有彈性且其空氣穿透率為80~160cm³/cm²．S，其中，多孔板11可以是一不織布纖維板。

不織布纖維板係由不織布纖維所構成，且形成一板狀，其中，不織布纖維係指將纖維以平行或不定向方式設置，並利用一合成樹脂黏著劑結合纖維以形成毛毯狀，而非使用編織方式。

不織布纖維板可以經過一浸泡或乾燥程序，其中，浸泡程序係指將纖維浸泡於合成樹脂黏著劑瓶中，然後進行紙過濾，接著進行乾燥或加熱，此時，不織布纖維板係近似於一紙張，其中乾燥程序係指將合成樹脂旋轉塗佈於薄棉狀纖維上，然後加熱乾燥。

不織布纖維板係為毛毯狀，以提高其吸振效能，此外，由於所採用的纖維及黏著劑幾乎皆為合成高分子，所以其具有良好的防皺效能及高形狀穩定度，而且其耐用度高、低溫穩定度高、熱阻能力高、熱衝擊強、且耐潮濕性高。

多孔板具有多孔性，因此，當工作平台1設置並支撐加工物件g時，工作平台1的吸收能力可以傳遞至加工物件g。

從黏著孔5所提供的負壓可以散佈至整個多孔板11的表面，藉以適當地固定任意尺寸之加工物件，其中，多孔板11的空氣穿透率較佳為80~160 cm³/cm²．S；若多孔 板11的空氣穿透率小於80 cm³/cm²．S，則從黏著孔5所提供的負壓可能無法散佈至整個多孔板11的表面，另外，多孔板11的空氣穿透率大於160 cm³/cm²．S，則會減弱不織布纖維板的拉伸強度及張力，因此無法順利地塗佈奈米碳管以提供足夠的抗靜電能力。本發明之多孔板具有前述之空氣穿透率，所以能夠將從黏著孔5提供的負壓均勻地散佈，因此，即使加工物件僅設置於工作平台的一部份上，仍然能夠將加工物件貼附於工作平台上。

當多孔板11為一不織布纖維板時，其原料纖維係為聚對苯二甲酸乙二酯、聚乙烯、或聚丙烯合成纖維。以下係以多孔板11為一不織布纖維板為例進行說明。

不織布纖維板的原料纖維係較佳為聚對苯二甲酸乙二酯合成纖維，其本身具有比天然的聚對苯二甲酸乙二酯材料更好的多孔性特性。

由於不織布纖維板具有毛毯外型，所以其不具有平滑表面，因此，不容易在不織布纖維板上進行塗佈。

因此，可以將一中間層13形成於多孔板11之一側面上，此中間層13可以改善靜電放電披覆層15與多孔板11之間的黏著力，進而可以減少其厚度並改善塗佈效率，其中，靜電放電披覆層15將於後續說明之。

中間層13係較佳由聚乙烯或聚對苯二甲酸乙二酯所構成。

當利用聚乙烯形成中間層13時，可以利用貼附一高密度聚乙烯膜或薄薄地塗佈一層聚乙烯樹脂，然後將其硬 化而形成。

需特別說明的是，當利用聚對苯二甲酸乙二酯形成中間層13時，中間層13可以容易地貼附於不織布纖維板上，並具有高剪切應力，另外，利用聚對苯二甲酸乙二酯形成中間層13的製造過程中的體積較小，所以由聚對苯二甲酸乙二酯所形成的中間層13比由聚乙烯所形成的中間層13更容易清洗。

中間層13可以僅形成於多孔板的一側面，此時，中間層13係較佳形成於工作平台之表面及提供加工物件抗靜電之相對表面。

如圖3所示，中間層13可以設置於多孔板的兩側面，此時，當靜電放電披覆層15a到達使用期限時，可以將多孔板11翻面，以便利用設置於多孔板11另一側之靜電放電披覆層15b來接觸加工物件，因此，可以延長奈米碳管多孔板10的使用壽命。

同時，中間層13可以是直接貼附於多孔板11，然而，一般而言，中間層13無法輕易地直接貼附於多孔板11，因此，可以形成一連結層12於多孔板11與中間層13之間。

連結層12可以是由聚乙烯所構成，其中，聚乙烯之密度係較佳為小於0.9。連結層12係熱固於至少多孔板11與中間層13其中之一，因此，當多孔板11與中間層13於上述程序後互相接觸時，多孔板11與中間層13可以藉由連結層12而互相連接。

靜電放電披覆層15可以藉由將靜電放電披覆劑塗佈於初始層然後硬化而成，其中，靜電放電披覆劑係藉由混合一樹脂及導電奈米碳管於一溶劑中而形成，且溶劑包括乙醇及去離子水。

上述之溶劑可為水性溶劑，而上述之樹脂可為苯氧基樹脂、丙烯酸氨基甲酸酯、羧基修飾乙烯共聚物、水性聚氨酯、聚酯、及聚乙烯醇縮丁醛至少其中之一。

承上所述，水性聚氨酯可以是市售的Sancure^TM 12954或Sancure^TM 898，聚酯可以是市售的Vylon 200,305,3200，聚乙烯醇縮丁醛可以是市售的BM-2,60H,08HX，樹脂可以佔靜電放電披覆劑的重量百分比的10至20%，上述化合物係混合加入溶劑中，由於靜電放電披覆劑的黏著力較弱，且奈米碳管可能無法均勻地混合及散佈於其中，所以在利用包含少於10%重量百分比之樹脂的靜電放電披覆劑形成奈米碳管多孔板時，奈米碳管可以利用塗抹方式形成。相反地，當靜電放電披覆劑包含大於20%重量百分比之樹脂時，雖可增加黏著力，但其高黏度及需長時間乾燥的特性導致操作效率不彰。

靜電放電披覆劑可包括0.1至5%重量百分比的奈米碳管；當使用少於0.1%重量百分比的奈米碳管時，會導致奈米碳管多孔板的導電性能下降，然而，當使用大於5%重量百分比的奈米碳管時，則會增加奈米碳管多孔板的製造時間及成本，進而降低其經濟效益。

為有效減少成本，可以採用多壁奈米碳管(MWCNT) 取代單壁奈米碳管(SWCNT)。

奈米碳管可以藉由其優異的導電性而帶來抗靜電效果，因此，包括奈米碳管之奈米碳管多孔板具有限制靜電產生及容易與玻璃基板(如LCD面板)分離等優點，因此，可以加速製程，並減少材料污染。

與其他由導電高分子所製成之抗靜電膜相比，本發明之靜電放電披覆層15具有相對較粗糙的表面，因此，可以減少加工物件黏著於奈米碳管多孔板上的可能性。

另外，在形成靜電放電披覆劑時，還可加入少量的整平劑及消光劑於上述之水性溶劑，其中，整平劑可以改善靜電放電披覆劑的性能，因此靜電放電披覆劑能夠更薄更平整地塗佈。其中，整平劑例如為市售的Dynol^TM 604 607或Dynol^TM 604 607，其係佔靜電放電披覆劑之重量百分比的0.04~0.08%。

同時，初始層14可以形成於中間層13與靜電放電披覆層15之間。

初始層14係用以改善靜電放電披覆層15的黏著力，以便順利黏著中間層13與靜電放電披覆層15，而初始層14藉由塗佈薄薄一層初始披覆劑於中間層13上並使其硬化而形成。其中，初始披覆劑係藉由混合氯化聚烯烴及改性橡膠於一溶劑中而形成，且溶劑係混合甲苯及二甲苯而成。

圖4為本發明另一示例性實施例之抗靜電板的示意圖，如圖4所示，抗靜電板20包括一多孔板11、一中間 層13、一電暈處理層24及一靜電放電披覆層15，其中，中間層13係由聚乙烯或聚對苯二甲酸乙二酯所形成、並形成於不織布纖維板的至少一側，電暈處理層24係形成於中間層13之表面，而靜電放電披覆層15係包括奈米碳管並形成於電暈處理層24上。

此時，中間層13與多孔板11可以藉由一連結層12而互相連接。

上述之多孔板11、中間層13、靜電放電披覆層15及連結層12的各元件及製造方法係與圖2所示之多孔板11、中間層13、靜電放電披覆層15及連結層12相同，故及其使用相同元件符號，因此於此不再贅述。

承上所述，電暈處理係指藉由施加高頻高壓輸出於一放電電極與一滾輪之間，藉以產生電暈放電，然後將一物件通過電暈放電以進行表面處理。

電暈處理層24係為中間層13的一個表面，其係通過電暈放電環境之電暈處理，此電暈處理層24可以增加靜電放電披覆劑的黏著力，改善塗佈污染的情況，並減少堆疊之靜電放電披覆層15的厚度。

另外，請參照圖5所示，多孔板11的表面可以進行浮雕加工，以形成複數凹凸；由於多孔板11具有許多凹凸，所以中間層13、初始層14(或電暈處理層24)、及靜電放電披覆層15可以配合不織布纖維板上的凹凸形狀，而依序堆疊於多孔板11的兩側面。

亦即，在完成之抗靜電板的表面上亦會形成複數凹 凸，因此，上述之抗靜電板的吸振效能可以提高並大於圖2至圖4所示之任一種抗靜電板。

在本實施例中，在製備靜電放電披覆劑以形成靜電放電披覆層時，添加整平劑的動作變得非常重要，其係能夠使得不織布纖維板上的凹凸形狀複製呈現於靜電放電披覆層。

圖6為本發明之抗靜電板之表面的顯微鏡照片，其係為放大200倍的圖像，如圖6所示，不織布纖維板具有許多數百微米大小之氣泡，而不織布纖維板的空氣穿透率係為80~160 cm³/cm²．S。

具有上述結構之抗靜電板的製造方法包括下列步驟：形成一靜電放電披覆層15於一中間層13上，其中靜電放電披覆層15包括奈米碳管，而中間層13係由高分子複合板所構成；以及將形成有靜電放電披覆層15之中間層13貼附於一不織布纖維板(多孔板11)之一側或較佳於其兩側。

以下將參照圖7a及圖7b所示，說明抗靜電板的製造方法。在本實施例中，靜電放電披覆層15係形成於多孔板11之兩側，而初始層14係形成於中間層13與靜電放電披覆層15之間；首先，如圖7a所示，製備個別之兩個複合層130，在複合層130中，靜電放電披覆層15係塗佈於中間層13上。

此時，中間層13可以是由聚乙烯或聚對苯二甲酸乙二酯所構成。

另外，初始層14係形成於中間層13與靜電放電披覆層15之間，藉以提高形成靜電放電披覆層15於中間層13上的塗佈效能。

接著，如圖7b所示，將複合層130貼附於多孔板11之兩側，其中，複合層130用於連接多孔板11之表面係未形成靜電放電披覆層15，而一連結層12係形成於複合層130與多孔板11之間。

上述步驟包括下列程序，首先藉由一拆捲機之一導引滾輪或近似機構將捲筒狀之複合層130及多孔板11分別傳送至黏貼處，然後藉由滾輪施壓並連結傳送至黏貼處之複合層130與不織布纖維板。

上述之製造方法更包含一步驟：在上述連結步驟之前，快速塗佈連結層12之一媒介於複合層130及多孔板11之一側，此連結層12之媒介係由一擠壓機(T形模口)輸出，並於加熱狀態下設置於複合層130及多孔板11之至少一側，然後，冷卻媒介並於黏貼處壓合於複合層130與多孔板11之間，進而連結複合層130與多孔板11。

最後，進行多孔板11的其他側面(亦可未與複合層130貼合)與複合層130的連結程序；此步驟與上述之連結複合層130與多孔板11之一側面的步驟相同，故於此不再贅述。

以上所述僅為舉例性，而非為限制性者。任何未脫離本發明之精神與範疇，而對其進行之等效修改或變更，均應包含於後附之申請專利範圍中。

1‧‧‧工作平台

5‧‧‧黏著孔

10、20‧‧‧抗靜電板(奈米碳管多孔板)

11‧‧‧多孔板

12‧‧‧連結層

13‧‧‧中間層

14‧‧‧初始層

15、15a、15b‧‧‧靜電放電披覆層

24‧‧‧電暈處理層

90‧‧‧黏著劑

130‧‧‧複合層

g‧‧‧加工物件

圖1為本發明一示例性實施例之工作平台組件之一爆炸圖；圖2為沿著圖1所示之線Ⅱ-Ⅱ之一剖面圖；圖3為本發明之一抗靜電板之一剖面圖；圖4為圖3之一變化態樣的示意圖；圖5為圖3及圖4之一變化態樣的示意圖；圖6為本發明之抗靜電板之表面的顯微鏡照片；以及圖7a及圖7b為本發明之抗靜電板的剖面圖，其係顯示抗靜電板之製造方法的步驟。

1‧‧‧工作平台

5‧‧‧黏著孔

10‧‧‧抗靜電板

11‧‧‧多孔板

12‧‧‧連結層

13‧‧‧中間層

14‧‧‧初始層

15‧‧‧靜電放電披覆層

g‧‧‧加工物件

Claims (17)

1. 一種抗靜電板，其係插設於一工作平台及待設置於該工作平台上之一加工物件之間，以避免該加工物件之電氣化，該抗靜電板包括：一多孔板；一中間層，其係由高分子混合樹脂所構成並形成於該多孔板之至少一側面上；以及一靜電放電披覆層，其係設置於該中間層上並包括複數奈米碳管。
2. 如申請專利範圍第1項所述之抗靜電板，其中該抗靜電板更包括一初始層，其係用以增加該靜電放電披覆層與該中間層之間的黏著力；其中，該初始層係藉由塗佈一初始披覆劑於該中間層上並使其硬化而形成；以及其中，該初始披覆劑係藉由混合氯化聚烯烴及改性橡膠於一溶劑中而形成，且該溶劑包括甲苯及二甲苯。
3. 如申請專利範圍第1項所述之抗靜電板，其中該抗靜電板更包括一電暈處理層，其係藉由電暈處理該中間層而形成。
4. 如申請專利範圍第1項所述之抗靜電板，其中該靜電放電披覆層係藉由塗佈一靜電放電披覆劑而形成；其中，該靜電放電披覆劑包括：一溶劑；一樹脂，其係混合加入該溶劑中，並包括苯氧基樹脂、 丙烯酸氨基甲酸酯、羧基修飾乙烯共聚物、水性聚氨酯、聚酯、及聚乙烯醇縮丁醛至少其中之一，其中該樹脂係佔該靜電放電披覆劑的重量百分比的10至20%；以及複數奈米碳管，其係佔該靜電放電披覆劑的重量百分比的0.1至5%。
5. 如申請專利範圍第1項所述之抗靜電板，其中該靜電放電披覆層之表面電阻為106~1010 Ω/sq。
6. 如申請專利範圍第1項至第5項所述之抗靜電板，其中該多孔板係為一不織布纖維板。
7. 如申請專利範圍第6項所述之抗靜電板，其中該不織布纖維板之原料纖維係為聚對苯二甲酸乙二酯合成纖維。
8. 一種工作平台組件，包括：一工作平台，其具有金屬製之一表面；以及一抗靜電板，其係設置於該工作平台之該表面上；其中，該抗靜電板包括：一多孔板；一中間層，其係由高分子混合樹脂所構成並形成於該多孔板之至少一表面上；以及一靜電放電披覆層，其係設置於該中間層上並包括複數奈米碳管。
9. 如申請專利範圍第8項所述之工作平台組件，其中該工作平台更包括複數黏著孔； 其中，該多孔板係覆蓋該工作平台之上表面及部分側面；以及其中，該工作平台更包括一黏著劑，其係用以將該多孔板之一端固定於該工作平台之側面。
10. 如申請專利範圍第8項或第9項所述之工作平台組件，其中該多孔板係為一不織布纖維板。
11. 如申請專利範圍第10項所述之工作平台組件，其中該不織布纖維板之原料纖維係為聚對苯二甲酸乙二酯合成纖維。
12. 如申請專利範圍第8項所述之工作平台組件，其中該工作平台係應用於一刻線機。
13. 如申請專利範圍第8項所述之工作平台組件，其中該多孔板之空氣穿透率為80~160 cm³/cm²．S。
14. 如申請專利範圍第8項所述之工作平台組件，其中該抗靜電板更包括一初始層，其係用以增加該靜電放電披覆層與該中間層之間的黏著力；其中，該初始層係藉由塗佈一初始披覆劑於該中間層上並使其硬化而形成；以及其中，該初始披覆劑係藉由混合氯化聚烯烴及改性橡膠於一溶劑中而形成，且該溶劑包括甲苯及二甲苯。
15. 如申請專利範圍第8項所述之工作平台組件，其中該抗靜電板更包括一電暈處理層，其係藉由電暈處理該中間層而形成。
16. 如申請專利範圍第8項所述之工作平台組件，其中該靜電放電披覆層係藉由塗佈一靜電放電披覆劑而形成，該靜電放電披覆劑包括：一溶劑；一樹脂，其係混合加入該溶劑中，並包括苯氧基樹脂、丙烯酸氨基甲酸酯、羧基修飾乙烯共聚物、水性聚氨酯、聚酯、及聚乙烯醇縮丁醛至少其中之一，其中該樹脂係佔該靜電放電披覆劑的重量百分比的10至20%；以及複數奈米碳管，其係佔該靜電放電披覆劑的重量百分比的0.1至5%。
17. 如申請專利範圍第8項所述之工作平台組件，其中該靜電放電披覆層之表面電阻為10⁶~10¹⁰ Ω/sq。