JP5853267B2 - 低熱抵抗シート及びその製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title description 13
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims description 72
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 72
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 38
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 32
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 claims description 21
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 17
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 16
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 claims description 12
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 4
- 238000009941 weaving Methods 0.000 claims description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 10
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 10
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 9
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 8
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- 239000013074 reference sample Substances 0.000 description 5
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 2
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000011231 conductive filler Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Description
100≦T≦110
前記W/Pが1.0に近いほど密なガラスクロスとなるため、強度に優れ凹凸も大きくなるので、前記排出経路も良好に形成され、間に入り込んだ空気を排出しやすくなる。ところが、W/P=1.0のガラスクロスは作成が困難であるため、W/Pは高くても0.9程度が現実的である。また、W/Pが0.6未満となると、前記凹凸がなだらかでガラスクロスの前記他方の面が平坦に近いものとなり、前記排出経路が十分に形成されずに空気の排出が困難となる場合がある。
・ガラスクロスA:商品名「グラスファイバー」日東紡製、W/P≒0.6、100g/m2 、厚さt=0.1mm
・ガラスクロスB:商品名「生機クロス」ユニチカ製、W/P≒0.9、110g/m2 、厚さt=0.1mm
・ガラスクロスC:商品名「生機クロス」ユニチカ製、W/P≒0.6、128g/m2 、厚さt=0.13mm
[基準サンプル(比較例)]
前記熱伝導材料をガラスクロスAの一方の面に0.1mmの厚さで塗布(塗工)し、更に、厚さ20μmの粘着層20を形成した。但し、この基準サンプルでは、熱伝導材料をガラスクロスの片面に直接塗工した後に、更に、粘着層を直接塗工することで形成するといった製造方法を採用することにより、粘着層20の表面形状を剥離紙に沿った平滑形状とした。
前記熱伝導材料をガラスクロスAの一方の面に0.1mmの厚さで塗布(塗工)し、更に、厚さ20μmの粘着層20を形成した。この実施例1では、図3を用いて説明した前述の製造方法を採用することにより、粘着層20の表面形状にガラスクロス10の前記他方の面に沿った凹凸を設けることができた。
前記熱伝導材料をガラスクロスBの一方の面に0.1mmの厚さで塗布(塗工)し、更に、厚さ50μmの粘着層20を形成した。この実施例2でも、図3を用いて説明した前述の製造方法を採用することにより、粘着層20の表面形状にガラスクロス10の前記他方の面に沿った凹凸を設けることができた。
前記熱伝導材料をガラスクロスCの一方の面に0.1mmの厚さで塗布(塗工)し、更に、厚さ20μmの粘着層20を形成した。この実施例3でも、図3を用いて説明した前述の製造方法を採用することにより、粘着層20の表面形状にガラスクロス10の前記他方の面に沿った凹凸を設けることができた。
13…横糸 15…縦糸 20…粘着層
20A…粘着テープ 30…熱伝導層 30A…熱伝導材料
70…コータ 71…ホッパ 73,75…ロール
77,79…ラミネートロール
Claims (6)
- ガラスクロスと、
該ガラスクロスの一方の面に積層され、表面形状が平面状である熱伝導層と、
前記ガラスクロスの他方の面に積層され、表面形状が前記ガラスクロスの他方の面に沿った凹凸を有する粘着層と、
を備えたことを特徴とする低熱抵抗シート。 - 前記ガラスクロスはガラス繊維を平織りして構成され、そのガラスクロスを構成する各ガラス繊維の繊維束の幅Wとガラスクロスの単位面積当たりの質量(g/m2 )Tとガラス繊維のピッチPとが、縦糸も横糸も次の関係を満たすことを特徴とする請求項1に記載の低熱抵抗シート。
0.6≦W/P≦0.9
100≦T≦110 - 前記粘着層の各部の厚さは、その厚さの平均値に対して±10%の範囲にあることを特徴とする請求項1または2に記載の低熱抵抗シート。
- 前記粘着層を構成する粘着剤の粘度が、気温25℃,湿度50%の状態でブルックフィールド粘度計を用いて1000〜30000cPであることを特徴とする請求項2〜3の何れか1項に記載の低熱抵抗シート。
- 当該低熱抵抗シートが前記粘着層を下にして平板上に載置されたときに、前記凹凸の凹部に対応して形成される前記平板との非接触部は、互いに連通すると共に前記低熱抵抗シートの外周雰囲気とも連通し、前記非接触部の面積は、前記平板との接触部の面積の10〜34%であることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の低熱抵抗シート。
- ガラスクロスの一方の面に熱伝導材料を塗布することによって熱伝導層を形成し、
続いて、粘着剤が塗布されたフィルムを当該粘着剤が塗布された面から前記ガラスクロスの他方の面にラミネートすることによって粘着層を形成することを特徴とする低熱抵抗シートの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011252021A JP5853267B2 (ja) | 2011-11-17 | 2011-11-17 | 低熱抵抗シート及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011252021A JP5853267B2 (ja) | 2011-11-17 | 2011-11-17 | 低熱抵抗シート及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013110166A JP2013110166A (ja) | 2013-06-06 |
JP5853267B2 true JP5853267B2 (ja) | 2016-02-09 |
Family
ID=48706665
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011252021A Active JP5853267B2 (ja) | 2011-11-17 | 2011-11-17 | 低熱抵抗シート及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5853267B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7274159B1 (ja) | 2022-09-21 | 2023-05-16 | ユニチカ株式会社 | ガラスクロス及びガラスクロスの製造方法 |
-
2011
- 2011-11-17 JP JP2011252021A patent/JP5853267B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013110166A (ja) | 2013-06-06 |
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