JP7160102B2 - 半導体デバイスの製造方法及び熱伝導シート - Google Patents
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Description
<1> 150℃における圧縮応力が0.10MPaのときの圧縮弾性率が1.40MPa以下である熱伝導シートが間に配置された放熱体と複数の発熱体に対して、前記熱伝導シートの厚み方向に圧力をかけて、前記放熱体と前記複数の発熱体とを前記熱伝導シートを介して接着させる工程を含む、半導体デバイスの製造方法。
<2> 定常法により測定される熱抵抗から求められる前記熱伝導シートの熱伝導率が7W/(m・K)以上である、<1>に記載の半導体デバイスの製造方法。
<3> 前記熱伝導シートの25℃におけるタック力が5.0N・mm以上である、<1>又は<2>に記載の半導体デバイスの製造方法。
<4> 前記圧力が0.05MPa~10.00MPaである、<1>~<3>のいずれか1項に記載の半導体デバイスの製造方法。
<5> 前記圧力が0.10MPa~0.50MPaである、<4>に記載の半導体デバイスの製造方法。
<6> 前記複数の発熱体が、種類の異なる複数の発熱体である、<1>~<5>のいずれか1項に記載の半導体デバイスの製造方法。
<7> 前記複数の発熱体のうち少なくとも1個の発熱体の、前記熱伝導シートと対向する面の面積が100mm2以上である、<1>~<6>のいずれか1項に記載の半導体デバイスの製造方法。
<8> 前記複数の発熱体は基板に設けられ、前記基板の、前記複数の発熱体が設けられる面の面積が、1,000mm2以上である、<1>~<7>のいずれか1項に記載の半導体デバイスの製造方法。
<9> 前記複数の発熱体の個数が3個以上である、<1>~<8>のいずれか1項に記載の半導体デバイスの製造方法。
<10> 150℃における圧縮応力が0.10MPaのときの圧縮弾性率が1.40MPa以下であり、半導体デバイスの放熱体と複数の発熱体との間に配置して前記放熱体と前記複数の発熱体との接着に用いるための、熱伝導シート。
<11> 定常法により測定される熱抵抗から求められる熱伝導率が7W/(m・K)以上である、<10>に記載の熱伝導シート。
本開示において「~」を用いて示された数値範囲には、「~」の前後に記載される数値がそれぞれ最小値及び最大値として含まれる。
本開示中に段階的に記載されている数値範囲において、一つの数値範囲で記載された上限値又は下限値は、他の段階的な記載の数値範囲の上限値又は下限値に置き換えてもよい。また、本開示中に記載されている数値範囲において、その数値範囲の上限値又は下限値は、実施例に示されている値に置き換えてもよい。
本開示において各成分は該当する物質を複数種含んでいてもよい。組成物中に各成分に該当する物質が複数種存在する場合、各成分の含有率又は含有量は、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数種の物質の合計の含有率又は含有量を意味する。
本開示において各成分に該当する粒子は複数種含んでいてもよい。組成物中に各成分に該当する粒子が複数種存在する場合、各成分の粒径は、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数種の粒子の混合物についての値を意味する。
本開示において「層」との語には、当該層が存在する領域を観察したときに、当該領域の全体に形成されている場合に加え、当該領域の一部にのみ形成されている場合も含まれる。
本開示において「積層」との語は、層を積み重ねることを示し、二以上の層が結合されていてもよく、二以上の層が着脱可能であってもよい。
本開示において実施形態を図面を参照して説明する場合、当該実施形態の構成は図面に示された構成に限定されない。また、各図における部材の大きさは概念的なものであり、部材間の大きさの相対的な関係はこれに限定されない。
本開示の半導体デバイスの製造方法は、150℃における圧縮応力が0.10MPaのときの圧縮弾性率が1.40MPa以下である熱伝導シートが間に配置された放熱体と複数の発熱体に対して、前記熱伝導シートの厚み方向に圧力をかけて、前記放熱体と前記複数の発熱体とを前記熱伝導シートを介して接着させる工程を含む。本開示の半導体デバイスの製造方法によれば、複数の発熱体を一括して放熱体と接着させることができ、工程を簡略化することができる。
本開示における発熱体は、熱伝導シートを介して放熱体を接着して放熱させる対象物である。発熱体としては、半導体チップ、半導体パッケージ等が挙げられる。
本開示における放熱体は、熱伝導シートを介して発熱体を放熱させる部材である。放熱体としては、ヒートスプレッダ、ヒートシンク、水冷パイプ等が挙げられる。
複数の発熱体は、基板に設けられていてもよい。基板は特に制限されず、有機基板、有機フィルム、セラミック基板、ガラス基板等のインターポーザ基板、液晶用ガラス基板、MCM(Multi Chip Module)用基板、ハイブリットIC用基板などが挙げられる。
本開示で用いられる熱伝導シートは150℃における圧縮応力が0.10MPaのときの圧縮弾性率が1.40MPa以下である。本開示において、熱伝導シートは、半導体デバイスの放熱体と複数の発熱体との間に配置して、放熱体と複数の発熱体の接着に用いるシートである。本開示においてシートとは液状ではないシート状の製品を表し、液状のグリース等とは区別される。ここで液状とは25℃における粘度が1000Pa・s以下である物質を意味する。粘度は、25℃でレオメーターを用いて5.0s-1のせん断速度で測定したときの値と定義する。粘度は、せん断粘度として、コーンプレート(直径40mm、コーン角0°)を装着した回転式のせん断粘度計を用いて、温度25℃で測定される。
また、本開示の製造方法では上記圧縮弾性率を有する熱伝導シートを用いるため、複数の発熱体に高低差があっても、圧力をかけた(プレス)ときに熱伝導シートが潰れて高低差に追従しやすく、放熱性が担保されやすい。
熱伝導シートを10mm角に切り抜き、発熱体であるトランジスタ(2SC2233)と放熱体である銅ブロックとの間に挟み、トランジスタを80℃、0.14MPaの圧力で押し付けながら電流を通じた際のトランジスタの温度T1(℃)及び銅ブロックの温度T2(℃)を測定する。測定値と印加電力W1(W)に基づいて、単位面積(1cm2)当たりの熱抵抗値X(K・cm2/W)を以下のように算出する。
X=(T1-T2)×1/W1
さらに熱伝導率λ(W/(m・K))を厚みt(μm)を用いて以下のように算出した。
λ=(t×10-6)/(X×10-4)
熱伝導シートの「圧縮量」とは、熱伝導シートの厚み方向に圧力をかけたときの熱伝導シートの圧縮量であり、圧力をかける前の熱伝導シートの厚みから圧力をかけている時の熱伝導シートの厚みを減じた値である。
熱伝導シートの「圧縮率」とは、圧力をかける前の熱伝導シートの厚み(μm)に対する上記圧縮量(μm)の割合(%)である。
また、熱伝導シートの各成分を含有する組成物を用いて成形体を成形し、当該成形体をスライスすることによってシートを作製してもよい。このとき、熱伝導性フィラーが厚み方向に配向するように成形体をスライスすることが好ましい。
本開示における半導体デバイスの製造方法では、熱伝導シートが間に配置された放熱体と複数の発熱体に対して、前記熱伝導シートの厚み方向に圧力をかけて、前記放熱体と前記複数の発熱体とを前記熱伝導シートを介して接着させる。本開示において接着とは化学的若しくは物理的な力又はその両者によって複数の面が接している状態をいう。
工程の簡略化の観点から、1枚の熱伝導シートに対し、複数の発熱体を配置することが好ましい。また、1枚の熱伝導シートに対し、1個の放熱体を配置してもよく、複数の放熱体を配置してもよい。
発熱体の反り量の測定方法の一例を、図2を用いて説明する。なお、本開示における半導体デバイスは複数の発熱体を有するが、図2では便宜的に1つの発熱体のみを図示している。反り量は、以下のように、発熱体を搭載した基板の変形量に基づいて測定することができる。反り量の解析範囲は、基板側から見て発熱体が搭載されている部分(発熱体部分a)とする。発熱体部分aにおいて、基板の厚み方向の変形量が最も大きい部分と、発熱体の端との変位差を反り量bと定義する。
測定には、恒温槽が付属している圧縮試験装置(INSTRON 5948 Micro Tester (INSTRON社))を用いた。熱伝導シートを直径14mmの円型に切り抜いて試験に用いた。熱伝導シートを0.1mm厚の紙(離型紙)に挟み、恒温槽の温度150℃において、熱伝導シートの厚み方向に対して0.1mm/minの変位速度で荷重を加え、変位(mm)と荷重(N)を測定した。変位(mm)/厚み(mm)で求められる歪み(無次元)を横軸に、荷重(N)/面積(mm2)で求められる応力(MPa)を縦軸に示し、応力が0.10MPaのときの傾きを圧縮弾性率(MPa)とした。また、任意の圧力まで圧縮した際の最大変位を圧縮量(μm)とした。
万能物性試験機(テクスチャーアナライザー、(英弘精機株式会社))を用いて、25℃(常温)において、直径7mmのプローブを荷重40Nで熱伝導シートに押し当て10秒間保持した後、プローブを引き上げた際の荷重と変位曲線を積分して得られる面積をタック力(N・mm)とした。
熱伝導シートを10mm角に切り抜き、発熱体であるトランジスタ(2SC2233)と放熱体である銅ブロックとの間に挟み、トランジスタを80℃、0.14MPaの圧力で押し付けながら電流を通じた際のトランジスタの温度T1(℃)及び銅ブロックの温度T2(℃)を測定し、測定値と印加電力W1(W)から、単位面積(1cm2)当たりの熱抵抗値X(K・cm2/W)を以下のように算出した。
X=(T1-T2)×1/W1
さらに熱伝導率λ(W/(m・K))を熱抵抗値(K・cm2/W)及び厚みt(μm)を用いて以下のように算出した。
λ=(t×10-6)/(X×10-4)
反り量は3D加熱表面形状測定装置(サーモレイPS200、AKROMETRIX社)を用いて測定した。半導体チップ面積部(20mm×20mm及び10mm×10mm)に対応する基板の反り量を測定した。
150℃、0.15MPaをかけているときの発熱体の反り量は、20mm角の半導体チップで28μmであり、10mm角の半導体チップで12μmであった。圧力を開放した後の発熱体の反り量は、20mm角の半導体チップで60μmであり、10mm角の半導体チップで29μmであった。
接着面積は以下のように評価した。超音波画像診断装置(Insight-300、インサイト株式会社)を用いて、反射法、35MHzの条件で貼り付き状態を観察した。さらに、その画像を画像解析ソフト(ImageJ)により2値化し、20mm角の半導体チップ部分及び10mm角の半導体チップ部分のうち、貼り付いている面積の割合をそれぞれ算出し、接着面積(%)とした。
基板にはMCL-E-700G(R)(厚み0.81mm、日立化成株式会社)、アンダーフィル材にはCEL-C-3730N-2(日立化成株式会社)、シール材にはシリコーン系接着剤(SE4450、東レ・ダウコーニング株式会社)を用いた。また、ヒートスプレッダには厚み1mmの銅板の表面にニッケルでメッキ処理したものを用いた。基板及びヒートスプレッダのサイズは65mm角とした。基板上に20mm角の半導体チップ(高さ0.775 mm)を1つと10mm角の半導体チップ(高さ0.725 mm)を2つ、図3に示されるように配置した。半導体チップ同士の間隔は5mmとした。
パッケージの組立は以下のように行った。任意の厚みの熱伝導シートを、23mm角に切り抜き、ヒートスプレッダ又は半導体チップへ貼り付けた。ヒートスプレッダを半導体チップ及びシール材を配置した基板にかぶせて、高精度加圧・加熱接合装置(HTB-MM、アルファーデザイン株式会社)を用いて任意の温度及び圧力で3分間熱伝導シートの厚み方向に加圧した。その後、150℃の恒温槽で2時間処理し、シール材を完全に硬化させた。
150℃における圧縮応力が0.10MPaのときの圧縮弾性率が1.16MPaであり、25℃におけるタック力が7.6N・mm、熱伝導率が21W/(m・K)である日立化成株式会社製の厚み0.3mmの熱伝導シートを選択して、ヒートスプレッダへ貼り付けた。このヒートスプレッダを、前述の3つの半導体チップ及びシール材が配置された基板にかぶせてから、150℃、0.15MPaの条件において上記方法でパッケージを組み立て、熱伝導シートを発熱体である半導体チップと放熱体であるヒートスプレッダに接着させた。このとき、20mm角の半導体チップ部における接着面積は97%であり、2つの10mm角の半導体チップ部における接着面積はそれぞれ99%、99%であった。反り追従性の指標である接着面積が90%以上を示し、優れた反り追従性を示し、一括で短時間に複数個の発熱体と放熱体を接着することができた。
150℃における圧縮応力が0.10MPaのときの圧縮弾性率が1.16MPaであり、25℃におけるタック力が7.6N・mm、熱伝導率が18W/(m・K)である日立化成株式会社製の厚み0.2mmの熱伝導シートを選択して、ヒートスプレッダへ貼り付けた。このヒートスプレッダを、前述の3つの半導体チップ及びシール材が配置された基板にかぶせてから、150℃、0.15MPaの条件において上記方法でパッケージを組み立て、熱伝導シートを発熱体である半導体チップと放熱体であるヒートスプレッダに接着させた。このとき、20mm角の半導体チップ部における接着面積は95%であり、2つの10mm角の半導体チップ部における接着面積はそれぞれ99%、98%であった。反り追従性の指標である接着面積が90%以上を示し、優れた反り追従性を示し、一括で短時間に複数個の発熱体と放熱体を接着することができた。
150℃における圧縮応力が0.10MPaのときの圧縮弾性率が1.16MPaであり、25℃におけるタック力が7.6N・mm、熱伝導率が21W/(m・K)である日立化成株式会社製の厚み0.3mmの熱伝導シートを選択した。前記の複数個のチップ及びシール材が配置された基板を用いて、前述の3つの半導体チップに熱伝導シートを先に貼り付けてから、ヒートスプレッダをかぶせた。150℃、0.15MPaの条件において上記方法でパッケージを組み立て、熱伝導シートを発熱体である半導体チップと放熱体であるヒートスプレッダに接着させた。このとき、20mm角の半導体チップ部における接着面積は96%であり、2つの10mm角の半導体チップ部における接着面積はそれぞれ98%、97%であった。反り追従性の指標である接着面積が90%以上を示し、優れた反り追従性を示し、一括で短時間に複数個の発熱体と放熱体を接着することができた。
150℃における圧縮応力が0.10MPaのときの圧縮弾性率が1.16MPaであり、25℃におけるタック力が7.6N・mm、熱伝導率が16W/(m・K)である日立化成株式会社製の厚み0.15mmの熱伝導シートを選択して、ヒートスプレッダへ貼り付けた。このヒートスプレッダを、前述の3つの半導体チップ及びシール材が配置された基板にかぶせてから、150℃、0.15MPaの条件において上記方法でパッケージを組み立て、熱伝導シートを発熱体である半導体チップと放熱体であるヒートスプレッダに接着させた。このとき、20mm角の半導体チップ部における接着面積は92%であり、2つの10mm角の半導体チップ部における接着面積はそれぞれ95%、94%であった。反り追従性の指標である接着面積が90%以上を示し、優れた反り追従性を示し、一括で短時間に複数個の発熱体と放熱体を接着することができた。
熱伝導材として、液状の熱伝導率2W/(m・K)のシリコングリース(サンワサプライ製、TK-P3K)を選択した。前述の3つの半導体チップ及びシール材が配置された基板を用いて、複数個の半導体チップにそれぞれグリース材を塗布してから、ヒートスプレッダをかぶせ、150℃、0.03MPaの条件において上記方法でパッケージを組み立て、発熱体である半導体チップと放熱体であるヒートスプレッダに接着させた。組み立て後のシリコングリースの厚みは40μmであった。20mm角の半導体チップ部における接着面積は84%であり、2つの10mm角の半導体チップ部における接着面積はそれぞれ95%、94%であった。
150℃における圧縮応力が0.10MPaのときの圧縮弾性率が1.73MPaであり、25℃におけるタック力が1.8N・mm、熱伝導率が23W/(m・K)である日立化成株式会社製の厚み0.3mmの熱伝導シートを選択して、ヒートスプレッダへ貼り付けた。このヒートスプレッダを前述の3つの半導体チップ及びシール材が配置された基板にかぶせてから、150℃、0.15MPaの条件において上記方法でパッケージを組み立て、熱伝導シートを発熱体である半導体チップと放熱体であるヒートスプレッダに接着させた。このとき、20mm角の半導体チップ部における接着面積は78%であり、2つの10mm角の半導体チップ部における接着面積はそれぞれ86%、85%であった。
2 発熱体
3 放熱体
4 基板
5 アンダーフィル材
6 シール材
10 半導体デバイス
a 発熱体部分(解析範囲)
b 反り量
Claims (13)
- 150℃における圧縮応力が0.10MPaのときの圧縮弾性率が0.50MPa~1.40MPaである熱伝導シートが間に配置された放熱体と複数の発熱体に対して、前記熱伝導シートの厚み方向に圧力をかけて、前記放熱体と前記複数の発熱体とを前記熱伝導シートを介して接着させる工程を含む、半導体デバイスの製造方法。
- 定常法により測定される熱抵抗から求められる前記熱伝導シートの熱伝導率が7W/(m・K)以上である、請求項1に記載の半導体デバイスの製造方法。
- 前記熱伝導シートの25℃におけるタック力が5.0N・mm以上である、請求項1又は請求項2に記載の半導体デバイスの製造方法。
- 前記圧力が0.05MPa~10.00MPaである、請求項1~請求項3のいずれか1項に記載の半導体デバイスの製造方法。
- 前記圧力が0.10MPa~0.50MPaである、請求項4に記載の半導体デバイスの製造方法。
- 前記複数の発熱体が、種類の異なる複数の発熱体である、請求項1~請求項5のいずれか1項に記載の半導体デバイスの製造方法。
- 前記複数の発熱体のうち少なくとも1個の発熱体の、前記熱伝導シートと対向する面の面積が100mm2以上である、請求項1~請求項6のいずれか1項に記載の半導体デバイスの製造方法。
- 前記複数の発熱体は基板に設けられ、前記基板の、前記複数の発熱体が設けられる面の面積が、1,000mm2以上である、請求項1~請求項7のいずれか1項に記載の半導体デバイスの製造方法。
- 前記複数の発熱体の個数が3個以上である、請求項1~請求項8のいずれか1項に記載の半導体デバイスの製造方法。
- 前記熱伝導シートは樹脂を含み、前記樹脂が非硬化性樹脂である、請求項1~請求項9のいずれか1項に記載の半導体デバイスの製造方法。
- 150℃における圧縮応力が0.10MPaのときの圧縮弾性率が0.50MPa~1.40MPaであり、半導体デバイスの放熱体と複数の発熱体との間に配置して前記放熱体と前記複数の発熱体との接着に用いるための、熱伝導シート。
- 定常法により測定される熱抵抗から求められる熱伝導率が7W/(m・K)以上である、請求項11に記載の熱伝導シート。
- 樹脂を含み、前記樹脂が非硬化性樹脂である、請求項11又は請求項12に記載の熱伝導シート。
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