TW201334372A - 線性馬達及線性搬送裝置 - Google Patents

Abstract

本發明係一面維持相對較長之衝程範圍內之滑塊之位置檢測功能，一面使操作容易。本發明之線性馬達係包括以收斂於沿著該移動路徑之X方向上之馬達本體部之尺寸內之方式安裝於馬達本體部的感測器基板。感測器基板包括檢測滑塊且輸出A相之位置檢測信號之感測器、輸出B相之位置檢測信號之感測器、及位置檢測信號加成部。位置檢測信號加成部係將自鄰接地連續設置於某一基板之兩側之基板之位置檢測機構輸出之位置檢測信號於每一A相、及每一B相中進行相加。

Description

線性馬達及線性搬送裝置

本發明係關於一種線性馬達及線性搬送裝置。

線性馬達係包括配置有固定子之馬達本體部、與固定子對向之可動子、及配置有可動子之滑塊。滑塊係沿著預先設定之移動路徑相對於馬達本體部進行相對移動。有時，固定子及可動子其中一者包括複數個永久磁鐵，另一者包括電磁鐵。又，亦存在固定子及可動子之兩者包括電磁鐵之情形。於使用永久磁鐵之情形時，各永久磁鐵係交替地改變磁極而沿著移動路徑排列。又，電磁鐵包括沿上述移動路徑排列之複數個磁芯。於各磁芯安裝有線圈。又，線性馬達包括控制裝置。控制裝置控制對上述線圈之通電，一面使固定子與可動子之間產生吸引力，一面使滑塊沿著上述移動路徑移動。

為檢測滑塊之位置，而於線性馬達中設置線性光學尺。例如專利文獻1中揭示之裝置係將線性光學尺安裝於滑塊。專利文獻1之裝置更包括檢測該線性光學尺且輸出波形信號之位置檢測感測器、輸出確定波形信號之原點位置之信號之原點位置感測器、及將位置檢測感測器及原點位置感測器安裝於馬達本體部之感測器基板。而且，根據滑塊之移動位置，位置檢測感測器及原點位置感測器輸出信號，且基於該等信號，檢測滑塊之位置。

然而，專利文獻1之感測器基板係於沿著移動路徑之方 向上，配置於安裝在馬達本體部之固定子之中央部分。又，各感測器亦佈置於固定子之中央部分。因此，存在滑塊之線性光學尺於到達配置於固定子之中央部分之原點位置感測器之前，無法進行位置檢測之問題。因此，本案申請人提出有如專利文獻2所示，於沿著移動路徑之方向上將原點位置感測器配置於與固定子之端部一致之位置上之線性馬達。該線性馬達採用包括馬達本體部、及裝載於該馬達本體部之複數個固定子之固定子單元。固定子單元係沿著移動路徑連結有單個或複數個，且與包括可動子之滑塊一併構成線性馬達。固定子單元係於每一固定子包括作為感測器基板之感測頭。於感測頭，在沿著移動路徑之方向上，將原點位置感測器配置於與固定子之端部一致之位置。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2003-244929號公報

[專利文獻2]日本專利特開2011-101552號公報

於專利文獻2之構成中，可於滑塊之線性光學尺自複數個固定子單元中之某一固定子單元開始向與該固定子單元鄰接之另一固定子單元移動之時間點，立即獲得原點位置資訊。因此，可於相對較長之衝程範圍內實現滑塊之位置檢測。然而，由於在沿著移動路徑之方向上，將原點位置 感測器配置在與固定子之端部一致之位置，故而為了物理性地支撐該原點位置感測器，而必需使感測頭相對於固定子單元在沿著上述移動路徑之方向上偏移。因此，感測頭成為自固定子單元之端部在沿著移動路徑之方向上凸出之狀態。其結果，於馬達本體部包括單體之固定子單元之情形時，必需保護感測頭之凸出部分。由此，存在操作變得繁雜之可能性。又，於將複數個固定子單元連續設置於基台之情形時，需要固定子單元自身之解體。即，必需暫時自固定子單元拆卸感測頭，且設置固定子單元之馬達本體部後，重新將感測頭安裝於所設置之馬達本體部。因此，存在固定子單元之連結作業、或線性馬達之解體作業變得複雜之情形。

本發明係鑒於上述課題而完成者，其課題在於提供一種一面維持相對較長之衝程範圍內之滑塊之位置檢測功能，一面容易操作之線性馬達。進而，其課題在於提供一種於該線性馬達中可將被搬送物裝載於滑塊之線性搬送裝置、或環狀地連結線性馬達使可裝載被搬送物之滑塊進行循環之線性搬送裝置。

為解決上述課題，本發明之某一態樣係關於一種線性馬達。線性馬達係包括具有可動子之滑塊、配置於該滑塊之移動路徑上之馬達本體部、及安裝於上述馬達本體部之複數個固定子，上述複數個固定子以與上述可動子對向之方式沿著該移動路徑排列，且一面使上述固定子與上述可動 子之間產生吸引力，一面使上述滑塊沿著該移動路徑移動。

固定子單元包括：複數個感測器基板，其等係以收斂於沿著該移動路徑之移動方向上之上述固定子之尺寸內之方式，安裝於上述固定子之各者；上游側位置檢測機構，其係安裝於上述感測器基板之各者，且於上述移動方向上之上述感測器基板之上游部，檢測上述滑塊，輸出位置檢測信號；下游側位置檢測機構，其係安裝於上述感測器基板之各者，且於上述移動方向上之上述感測器基板之下游部，檢測上述滑塊，輸出位置檢測信號；位置檢測信號加成部，其係安裝於上述感測器基板，且將來自上述移動方向上之與該感測器基板之上游側鄰接之感測器基板之上述下游側位置檢測機構的上述位置檢測信號、與來自上述移動方向上之與該感測器基板之下游側鄰接之感測器基板之上述上游側位置檢測機構的上述位置檢測信號相加，且可將藉此所得之加成信號輸出；及控制裝置，其係基於來自上述位置檢測信號加成部之加成信號，檢測上述滑塊相對於安裝有該感測器基板之上述固定子之位置。

又，本發明之另一態樣係一種線性搬送裝置，其特徵在於：可將被搬送物裝載於上述滑塊。

根據本發明，可發揮較固定子長之衝程範圍內之滑塊之位置檢測功能，而且發揮可提供容易操作之裝置之明顯效果。

本發明之進一步之特徵、目的、構成及作用效果可根據 應與隨附圖式一併閱讀之以下詳細說明而容易理解。

以下，參照隨附圖式，對用以實施本發明之最佳形態進行說明。

首先，參照圖1，本發明之實施形態之線性搬送裝置10係包括於平面視圖長方形延伸之基台11、設置於基台11上之一對線性驅動部20A、20B、及由各線性驅動部20A、20B驅動之滑塊30。又，本實施形態係設置有使滑塊30自一(往動側)線性驅動部20A之下游端朝向另一(返動側)線性驅動部20B之上游端進行循環之第1循環裝置40、及使滑塊30自另一線性驅動部20B之下游端朝向一線性驅動部20A之上游端進行循環之第2循環裝置50。

基台11係組合複數個工作台11A而成者。各工作台11A均由框架材料形成長方體作為骨架。各工作台11A均包括底板、安裝於底板之下表面4角之可調整高度之支架、及設置於支架之上部之頂板作為骨架。於以下說明中，將基台11之長度方向假設為X方向，將與該X方向正交之水平方向設為Y方向。又，將Y方向之一端側(圖3之左側)假設為前方。又，於圖4中，將圖之右側假設為一端(線性驅動部20A為下游端，線性驅動部20B為上游端)，且將左側假設為另一端(線性驅動部20A為上游端，線性驅動部20B為下游端)。

各線性驅動部20A、20B係沿X方向於基台11上相互平行地延伸。前方之線性驅動部20A(圖1之近前側)形成將滑塊 30自X方向一端側朝向另一端側驅動之往路(移動路徑)。後方之線性驅動部20B(圖1之後方側)形成將滑塊30自X方向另一端側朝向一端側驅動之返路(移動路徑)。於本實施形態中，該等線性驅動部20A及20B分別構成線性馬達，且各線性馬達(線性驅動部20A及20B)包括複數個固定子單元100、及軌道103。固定子單元100均為同一規格，且沿X方向連續設置。軌道103係沿X方向固定於複數個固定子單元100之上部。

以下，對線性驅動部20A之各固定子單元100進行說明。

參照圖2~圖4，各固定子單元100係將大致同一規格之固定子110以4個為一組連續地設置而構成之裝置。固定子單元100係包括單元架101。單元架101係平面視圖中形成為長方形，且其長度方向沿X方向配置。單元架101藉由省簡圖示之螺栓而固定於基台11之上表面。於本實施形態中，單元架101係構成各固定子單元100之馬達本體部之構件之一例。圖示之實施形態係於各單元架101之前後兩側安裝有罩蓋102a(參照圖3)、102b。

於單元架101之上部，4個為一組地安裝有固定子110。各固定子110係於軌道103之後方側，與軌道103平行地排列。

各固定子110係包括複數個激磁電磁鐵111。激磁電磁鐵111包括磁芯111a。磁芯111a係沿X方向排列成1排。磁芯111a係上方端為磁極，下方端為與鄰接之磁芯111a相連之梳齒狀。於磁芯捲繞有激磁線圈。111b係激磁線圈之集合 體。激磁線圈之集合體111b係配設於單元架101之長度方向。於圖示之例中，固定子110之X方向(沿著移動路徑之方向)長度Ls設定為單元架101之X方向長度Lf之正好1/4。另一方面，如圖2所示，於單元架101，在上表面沿長度方向連續設置有4個固定子110。其結果，藉由沿X方向連續設置單元架101，而將各固定子110沿X方向以同一間距連續設置為直線狀。又，以於固定子110之端部鄰接之磁芯111a、111a彼此之間隔(磁極間距)等於在固定子110之中途部分鄰接之磁芯111a、111a彼此之間隔之方式，設定固定子110之X方向長度Ls、單元架101之X方向長度L、及磁極間距。

固定子單元100係包括設於每一固定子110之控制器200(於圖3中示意性圖示)。

控制器200係包含微處理器及其他電子零件等。控制器200係求出滑塊30對於相應之固定子110之位置，且對應著求出之位置，單獨地控制對相應之固定子110之各激磁線圈之通電。各控制器200係基於控制線性搬送裝置整體之主控制裝置之控制或程式，控制對相應之固定子110之供給電流。又，各控制器200構成為可相互進行通信。

參照圖4，於單元架101中，與構成於該單元架101上之4個固定子110對應地，於Y方向前側安裝有4個基板112A、112B、112C、112D。於各基板112A、112B、112C、112D分別安裝有平板(plate)113。於平板113設置有連接器114。於連接器114連接有用於與外部之接線之線束(wire harness)115。線束115以延伸至單元架101之Y方向前側之方式配置(參照圖3)。

各基板112A、112B、112C、112D係X方向上之長度均設定為與固定子110之長度Ls大致相同。各基板112A、112B、112C、112D以與固定子110相等之配置間距排列於X方向上。因此，任一之基板112A、112B、112C、112D均收斂於單元架101之正面(即，處於非凸出之狀態)。又，於X方向上，安裝在單元架101之一端側之基板112A與安裝在和該基板112A之一端側鄰接之另一單元架101之另一端側之基板112D的X方向之配置間距設定為等於安裝在該單元架101中之基板112A與基板112B之配置間距(或者，基板112C與基板112D之配置間距)。

設置於上述平板113上之連接器114係與和該平板113之基板112A(112B、112C、112D)對應之固定子110、設置於該平板113之基板112A(112B、112C、112D)上之感測器類、及下述加法電路S8電性連接。於連接器114連接有線束115。因此，線束115將對應之固定子110及感測器類與對應於該固定子110之控制器200電性連接。藉此，控制器200可控制捲繞於對應之固定子110之激磁磁芯111a上之激磁線圈之通電。

進而，為將各基板112A、112B、112C、112D電性連接，而於各基板112A、112B、112C、112D各自之X方向兩側設置有輔助連接器(subconnector)116。於輔助連接器116，連接有由扁平電纜等具體化之導線117。導線117將 相互鄰接之基板彼此(基板112A與該基板112A之另一端側之單元架101之基板112D、上述基板112A與基板112B、基板112B與基板112C、基板112C與基板112D、基板112D與和該基板112D之另一端側鄰接之單元架101之基板112A，以下相同)電性連接。

於圖示之實施形態中，各基板112A、112B、112C、112D係本發明中之感測器基板之一例。

參照圖3及圖4，滑塊30包括與軌道103嵌合之滑動件31、安裝於該滑動件31之上部之頂板32、及固定於頂板32之底面且與固定子110對向之作為可動子之複數個永久磁鐵33。

於圖示之實施形態中，在軌道103之兩側部，如圖3所示，分別形成有沿X方向延伸之槽。滑動件31包括具有被覆於軌道103之上部且與兩側部之槽滑動接觸之內壁之凹部。藉由將該凹部導入至軌道103之端部，而使滑動件31於可在X方向上插拔之狀態下，僅可在軌道103之長度方向上滑動地連結於軌道103。

頂板32係與滑動件31一體移動之構造體。頂板32係作為例如托板之安裝用構件發揮功能。於托板上載置由線性搬送裝置10搬送之作為被搬送物之工件。勿庸置疑，亦可視用途，對頂板32自身實施加工，直接載置工件。

作為可動子之複數個永久磁鐵33係沿X方向以於下側端面交替地出現N極與S極之方式，以特定之排列間距配設成1排。另一方面，固定子110之激磁電磁鐵111之磁極係因 供給至該激磁線圈之供電之態樣而變化。控制器200對激磁線圈供給相位不同之U相、V相、W相中之任一相之電流。若供給電流，則可根據激磁電磁鐵111之磁極變化，使激磁電磁鐵111中產生之磁通與永久磁鐵33產生之磁通相互作用，使固定子110之激磁電磁鐵111與滑塊30之永久磁鐵33之間產生吸引力或排斥力。因此，於使滑塊30移動時，藉由控制對激磁電磁鐵111之激磁線圈之通電，控制器200可使滑塊30沿X方向以特定速度往返移動。

於滑塊30之頂板之前端側底面固定有前端壁34。於前端壁34之背面(與基板112A、112B、112C、112D對向之面)黏貼有包含於位置檢測裝置S中之2個線性光學尺(磁尺)S1、S2。位置檢測裝置S係包括本發明之「位置檢測機構」之單元。

以下，對本實施形態之位置檢測裝置S進行詳細敍述。

首先，參照圖4、及圖5(圖中，基板112A、112B、112C、112D係自圖3之左方即Y方向前側觀察所得之圖，且磁尺S1、S2以實線表示自圖3之左方透視所得之圖形)，磁尺S1、S2上下排列地沿X方向平行延伸。

設置於上側之磁尺S1係包括複數個永久磁鐵S11、S12。永久磁鐵S11、S12係交替地改變磁極，且沿X方向等間距地黏貼於前端壁34之背面。一永久磁鐵S11係Y方向上成為基板112A(112B、112C、112D)側之端面之磁極為N極。另一永久磁鐵S12係Y方向上成為基板112A(112B、112C、112D)側之端面之磁極為S極。該等一永久磁鐵S11與另一 永久磁鐵S12係於預先設定之光學尺長L內以相等之配置間距配設。該光學尺長L係長於基板112A(112B、112C、112D)之長度(與固定子110之長度Ls大致同相同之長度Ls)。於本實施形態中，磁尺S1之兩端部係包括磁極相同之永久磁鐵S11。再者，於圖示之例中，磁尺S1之兩端部包括N極(Y方向上基板112A(112B、112C、112D)側端面之磁極為N極)之永久磁鐵S11，但磁尺S1之兩端部亦可包括S極之永久磁鐵S12。

又，下側之磁尺S2係以上下排列地黏貼之永久磁鐵S21、S22兩個為一組而構成。構成各組之永久磁鐵S21、S22係成為基板112A(112B)側之端面之磁極相互不同。一組永久磁鐵S21、S22係配置於上側之磁尺S1之另一端側端部之正下方。又，另一組永久磁鐵S21、S22係相較一組而於一端側隔開間隔。一組永久磁鐵S21、S22與另一組永久磁鐵S21、S22之間隔Lz係設定為比固定子110之X方向長度Ls長預定之尺寸。

為檢測磁尺S1，而於各基板112A、112B、112C、112D上設置有輸出正弦波之波形信號(A相)之一對第1感測器SA1、SA2、及輸出餘弦波之波形信號(B相)之一對第2感測器SB1、SB2。正弦波餘弦波之關係係A相亦可為餘弦波，B相亦可為正弦波。進而，為檢測磁尺S2，而於各基板112A、112B、112C、112D上設置有輸出Z相之信號(Z相)之第3感測器SZ。各感測器SA1~SZ係包括例如霍爾感測器(hall sensor)，且構成為計測對應之永久磁鐵S11、 S12、S21、S22之磁通密度，並輸出與磁通密度相應之輸出電壓(振幅)之波形信號。

第1感測器SA1、SA2係於該基板112A(112B、112C、112D)上，在沿著X方向之同一線上隔開地配設於一端側與另一端側。兩第1感測器SA1、SA2之高度係第1感測器SA1、SA2設定於在組裝時與磁尺S1在Y方向上對向之位置。又，於組裝時，第1感測器SA1、SA2相對於磁尺S1，在Y方向(前後)上略微隔開間隔地與永久磁鐵S11、S12對向。同樣地，第2感測器SB1、SB2係於基板112A(112B、112C、112D)上，在沿著X方向之線上隔開地配設於一端側與另一端側。兩第2感測器SB1、SB2之高度係第2感測器SB1、SB2設定於在組裝時與磁尺S1在Y方向上對向之位置。又，於組裝時，第2感測器SB1、SB2相對於磁尺S1，在Y方向(前後)上略微隔開間隔地與永久磁鐵S11、S12對向。

一第1感測器SA1與另一第1感測器SA2之X方向之間隔係與鄰接之基板112A、112B、112C、112D建立關聯地設定。即，配置於位於某一基板112B之一端側的某一基板112A之另一端側之第1感測器SA2至配置於位於基板112B之另一端側的某一基板112C之一端側之第1感測器SA1為止之距離設定為與上述光學尺長L相等。由此，夾隔著基板112B，兩第1感測器SA2、SA1同時地與磁尺S1之兩端部對向。

一第2感測器SB1與另一第2感測器SB2之X方向之間隔亦 相同。即，配置於位於某一基板112B之一端側的某一基板112A之另一端側之第2感測器SB2至配置於位於該基板112B之另一端側的某一基板112C之一端側之第2感測器SB1為止之距離設定為與上述光學尺長L相等。由此，夾隔著基板112B，兩第2感測器SB2、SB1同時地與磁尺S1之兩端部對向。

進而，第1感測器SA1、SA2與第2感測器SB1、SB2設定為於相同之時序下與磁極相互不同之永久磁鐵S12(S11)對向之間隔。

第1感測器SA1與第2感測器SB1、及第1感測器SA2與第2感測器SB2各自之配置間距分別設置為鄰接之2個永久磁鐵S11(S12)與永久磁鐵S12(S11)之配置間距乘以1/2、或3/2、進而該等加上2之整數倍之數所得者。

或者，於將n設為0以上之整數時，設定為上述配置間距乘以{n+(1/2)}所得之長度。其結果，A相之波形信號與B相之波形信號成為一者(例如A相)為正弦波，而另一者(例如B相)為餘弦波之關係。因此，第1感測器SA1、SA2與第2感測器SB1、SB2分別輸出之波形信號之相位相互偏移π/2。

兩波形信號係除了相位不同之外，原則上，以相同之振幅、相同之週期輸出。其中，將磁尺S1之兩端部之永久磁鐵S11之X方向之寬度設定為剩餘之永久磁鐵S11、S12之寬度之1/2。因此，於磁尺S1之兩端部，磁通密度降低。由此，於第1感測器SA1、SA2與磁尺S1之兩端部之永久磁 鐵S11對向之時序中，第1感測器SA1、SA2分別輸出之波形信號之振幅成為第1感測器SA1、SA2分別與除光學尺S1之兩端部以外之相同極性之永久磁鐵S11對向之時序中的第1感測器SA1、SA2分別輸出之波形信號之振幅之1/2。第2感測器SB1、SB2於分別與磁尺S1之兩端部之相同極性之永久磁鐵S11對向之時序中輸出之波形信號之振幅亦為相同。由此，即便第1感測器SA1、SA2與磁尺S1之兩端部同時地對向，亦可防止合成之波形信號成為大於檢測其他部位時之波形信號之振幅。

再者，端部之永久磁鐵S11之邊緣與鄰接之永久磁鐵S12之X方向中心之間隔即配置間距設為與其他鄰接之2個永久磁鐵S11、S12之配置間距相同。

參照圖5，第3感測器SZ係每一基板112A(112B、112C、112D)中設置一個。具體而言，第3感測器SZ係安裝於接近該固定子110之一端側之位置。因此，於圖示之例中，其與一端側之第1感測器SA1在X方向上為同一位置，且於圖之上下一致。又，鄰接之第3感測器SZ間之間隔Lz-例如基板112B之第3感測器SZ與鄰接於該基板112B之任一基板112C(112D)之第3感測器SZ之間隔Lz-係與固定子110之X方向長度Ls相同。而且，於自某一基板112B之另一端部至與另一端側鄰接之基板112C之第3感測器SZ為止之X方向之長度設為偏移量L1，自某一基板112B之一端部至該基板112B之第3感測器SZ為止之X方向之長度設為偏移量L2之情形時，兩偏移量L1、L2儘可能地變短。該等第3感測器 SZ之間隔Lz、及兩端側之偏移量L1、L2對於基板112B、112C、112D亦為相同。

再者，一端側之第1感測器SA1係與配置於下方之第3感測器SZ於X方向上為同一位置，故而，鄰接之基板(例如112A與112B)之各第1感測器SA1之間隔成為Lz。

參照圖6，各基板112A、112B、112C、112D包括加法電路S8。

以下，以圖6之中央之基板112B為基準，對加法電路S8進行說明。

加法電路S8係將設置於與某一基板112B之一端側鄰接之基板112A之另一端側之第1感測器SA2經由導線117輸出之波形信號、與設置於鄰接於該基板112B之另一端側之基板112C之一端側之第1感測器SA1經由導線117輸出之波形信號相加後，輸出至連接器114。又，將設置於與某一基板112B之一端側鄰接之基板112A之另一端側之第2感測器SB2經由導線117輸出之波形信號與設置於鄰接於該基板112B之另一端側之基板112C之一端側之第2感測器SB1經由導線117輸出之波形信號相加後，輸出至連接器114。

其次，對連接器114，不僅輸入加法電路S8輸出之波形信號，而且輸入設置於該基板112B上之第3感測器SZ輸出之Z相之信號、及與另一端側鄰接之基板112C之第3感測器SZ經由導線117輸出之Z相之信號。因此，經由連接於連接器114之線束115，對控制器200中輸入於某一基板112B之兩側檢測之A相之波形信號、B相之波形信號、以及該基 板112B之第3感測器SZ所檢測之Z相之信號及該基板112B之另一端側之基板112C之第3感測器SZ所檢測之Z相之信號。

例如，於往路側之線性驅動部20A，滑塊30自一端側移動至另一端側。此時，對例如基板112B之加法電路S8，分別輸入來自與一端側鄰接之基板112A之另一端側之第1感測器SA2的A相之波形信號、及來自第2感測器SB2之B相之波形信號。加法電路S8係將該等波形信號於每一A相、每一B相中進行相加，輸出加成信號。該加成信號係經由線束115，輸入至基板112B之控制器200。另一方面，於滑塊30未到達與另一端側鄰接之基板112C之一端側之第1感測器SA1之期間，自第1感測器SA1、第2感測器SB1對基板112B之控制器200之輸出為0。

若滑塊30進一步向另一端側移動，則基板112B之第3感測器SZ檢測磁尺S2之另一端側之一組永久磁鐵S21、S22，並輸出Z相之信號。該輸出係輸入至基板112B之控制器200。又，基板112B之控制器200係以另一端側之磁尺S2通過第3感測器SZ之時序為基點，對來自與一端側鄰接之基板112A的A相、B相之波形信號之振幅之變化進行計數。基於該信號，基板112B之控制器200可求出以原點位置為基準之滑塊30之位置。

若滑塊30進一步向另一端側移動，則磁尺S1之一端側端部之永久磁鐵S11到達基板112A之另一端側之第1感測器SA2。同時，磁尺S1之另一端側端部之永久磁鐵S11到達 基板112C之一端側之第1感測器SA1。於該時序中，對基板112B之加法電路S8輸入自基板112A之另一端側之第1感測器SA2輸出之1/2振幅之A相之波形信號、及自基板112C之一端側之第1感測器SA1輸出之1/2振幅之A相之波形信號。另一方面，加法電路S8將自基板112A之另一端側之第1感測器SA2輸出之1/2振幅之A相之波形信號、與自基板112C之一端側之第1感測器SA1輸出之1/2振幅之A相之波形信號相加。繼而，加法電路S8輸出2/2振幅之A相之波形信號。由此，對基板112B之控制器200輸入自加法電路S8輸出之2/2振幅之A相之波形信號。因此，與基板112B鄰接之兩基板112A、112B兩者檢測磁尺S1之端部時之波形信號、與鄰接於基板112B之兩基板112A、112B中之僅任一者檢測磁尺S1時之波形信號的連續性得到保持。其結果，將輸入至基板112B之控制器200之A相之波形信號作為一系列平滑之A相之波形信號進行處理。

再者，於磁尺S1之另一端側端部之永久磁鐵S11到達基板112C之一端側之第1感測器SA1之時序中，磁尺S2之另一端側端部之永久磁鐵S21、S22亦到達基板112C之第3感測器SZ。於該時序之後，與基板112B之控制器200之情形相同，基板112C之控制器200可基於第3感測器SZ之檢測，檢測滑塊30相對於對應之固定子110之位置。

其結果，基板112C之控制器200可基於輸入之A相、B相、Z相之信號，檢測滑塊30相對於固定子110之位置，且基於由主控制裝置預定之程式，對應著滑塊30之位置，控 制對激磁電磁鐵111之激磁線圈之通電，從而控制滑塊30之移動。

若滑塊30進一步向另一端側移動，則磁尺S1之一端側端部之永久磁鐵S11離開基板112A之另一端側之第1感測器SA2，而到達另一端側之第2感測器SB2。同時，磁尺S1之另一端側端部之永久磁鐵S11到達基板112C之一端側之第2感測器SB1。於該時序中，對基板112B之加法電路S8輸入自基板112A之第2感測器SB2輸出之1/2振幅之B相之波形信號、及自基板112C之第1感測器SB1輸出之1/2振幅之B相之波形信號。另一方面，加法電路S8將來自基板112A之另一端側之第2感測器SB2的1/2振幅之B相之波形信號、與來自基板112C之一端側之第2感測器SB1的1/2振幅之B相之波形信號相加。繼而，加法電路S8輸出2/2振幅之B相之波形信號。由此，對基板112B之控制器200輸入自加法電路S8輸出之2/2振幅之B相之波形信號。因此，B相之波形信號亦保持其連續性。其結果，將輸入至基板112B之控制器200之B相之波形信號作為一系列平滑之B相之波形信號進行處理。

若滑塊30進一步向另一端側移動，則磁尺S1之一端側端部之永久磁鐵S11離開與一端側鄰接之基板112A之另一端側之第2感測器SB2。因此，來自基板112A之另一端側之第1感測器SA2、第2感測器SB2之輸出成為0。另一方面，磁尺S1之另一端側之永久磁鐵S11、S12繼續與鄰接於另一端側之基板112C之一端側之第1感測器SA1、第2感測器 SB1對向。因此，自該等第1感測器SA1、第2感測器SB1分別輸出2/2振幅之A相之波形信號、及2/2振幅之B相之波形信號。該等A相、B相之波形信號藉由基板112B之加法電路S8，而與來自基板112A之另一端側之第1感測器SA2、第2感測器SB2的輸出相加後，輸入至基板112B之控制器200。輸入之波形信號係於每一A相、每一B相中分別追加於此前輸入至控制器200之A相之波形信號、B相之波形信號。此處，追加之A相、B相之波形信號均為2/2振幅之波形信號。由此，該等A相、B相之波形信號與已輸入之各信號之連續性得到確保。基板112B之控制器200可藉由對追加後之各波形信號進行計數，而檢測滑塊30相對於安裝有基板112B之固定子110之位置。

如上所述，某一基板(例如112B)之控制器200可利用配置於該基板112B之兩側之基板之感測器類之輸出，於相較該固定子110在X方向上較長之衝程範圍內實現滑塊30之位置檢測。又，於某一基板位於單元架101之端部之情形時，可利用與該單元架101鄰接之單元架101之基板之感測器類之輸出。

於本實施形態中，一端側之各第1、第2感測器SA1、SB1係本案發明之上游側位置檢測機構之一例。另一方面，另一端側之各第1、第2感測器SA2、SB2係本案發明之下游側位置檢測機構之一例。又，於本實施形態中，加法電路S8係位置檢測信號加成部之一例。本實施形態之位置檢測裝置S包括該等一端側之各第1、第2感測器SA1、 SB1、另一端側之各第1、第2感測器SA2、SB2、第3感測器SZ、及磁尺S1、S2。

其次，於返路側之線性驅動部20B，在單元架101，對應著構成該單元架101之4個固定子110，與往路側之線性驅動部20A同樣地在Y方向前側，以一端側至另一端側之順序安裝有4個基板112A、112B、112C、112D。於各基板112A、112B、112C、112D安裝有平板113。於平板113分別設置有連接器114。於各連接器114分別連接有用於與外部之接線之線束115。線束115係以沿著單元架101之Y方向前側延伸之方式配置。

於返路側之線性驅動部20B，滑塊30自另一端側移動至一端側。以下，以基板112B為基準，對返路側之檢測過程進行說明。

例如，於磁尺S1之一端側端部之永久磁鐵S11通過位於某一基板112B之上游側的某一基板112C之一端側之第1感測器SA1之時序中，基板112C之一端側之第1感測器SA1、第2感測器SB1輸出A相、B相之波形信號。又，第3感測器SZ輸出Z相之信號。A相、B相之波形信號經由導線117，輸入至基板112B之加法電路S8。又，將Z相之信號輸入至基板112C之控制器200，並且經由導線117、線束115亦輸入至基板112B之控制器200。加法電路S8係經由線束115，輸出A相、B相之波形信號。輸出之A相、B相之波形信號係與自基板112C之第3感測器SZ輸出之Z相之信號一併輸入至基板112B之控制器200。其後，A相、B相、Z相之各 信號與往動側之線性驅動部20A之情形同樣地，於滑塊30到達基板112A，且磁尺S1通過基板112B之一端側之第1感測器SA1(繼而，基板112B之第3感測器SZ)之前，輸入至基板112B之控制器200。

基板112B之控制器200係以磁尺S2之一端側之一組永久磁鐵S21、S22到達基板112C之第3感測器SZ之時序為基點，分別對來自基板112C之一端側之第1感測器SA1之A相之波形信號與來自第2感測器SB1之B相之波形信號之振幅之變化進行計數。基於該信號處理，基板112B之控制器200可檢測滑塊30之位置。再者，於該時序中，磁尺S1之永久磁鐵S11、S12均未到達一端側之基板112A之另一端側之第1感測器SA2、第2感測器SB2。因此，對基板112B主要以2/2之振幅輸入基板112C之一端側之感測器SA1、SB1之波形信號。

於滑塊30自另一端側進一步向一端側移動，且磁尺S1之一端側端部之永久磁鐵S11到達基板112A之另一端側之第2感測器SB2之時序中，磁尺S1之另一側端部之永久磁鐵S11到達基板112C之一端側之第2感測器SB1。因此，於基板112B之加法電路S8中，經由對應之導線117，輸入有來自位於基板112A之另一端側之第2感測器SB2的1/2振幅之B相之波形信號、及來自位於基板112C之一端側之第2感測器SB1的1/2振幅之B相之波形信號。加法電路S8將該等B相之波形信號相加，輸出2/2振幅之加成信號。輸出之加成信號係輸入至基板112B之控制器200。輸入至控制器200 之2/2振幅之加成信號係追加於此前自與另一端側鄰接之基板112C之一端側之第2感測器SB1輸出之B相之波形信號中。追加之加成信號係相對於此前之波形信號平滑地連續。

同樣地，於磁尺S1之一端側端部之永久磁鐵S11到達基板112A之另一端側之第1感測器SA2之時序中，磁尺S1之另一端側端部之永久磁鐵S11到達基板112C之一端側之第1感測器SA1。因此，於基板112B之加法電路S8中，經由對應之導線117，輸入有來自位於基板112A之另一端側之第1感測器SA2的1/2振幅之A相之波形信號、及來自位於基板112C之一端側之第1感測器SA1的1/2振幅之A相之波形信號。加法電路S8將該等A相之波形信號相加，輸出2/2振幅之加成信號。輸出之加成信號係輸入至基板112B之控制器200。輸入至控制器200之2/2振幅之加成信號係追加於此前自與另一端側鄰接之基板112C之一端側之第1感測器SA1輸出之A相之波形信號。追加之加成信號係相對於此前之波形信號平滑地連續。進而，於磁尺S1之一端側端部之永久磁鐵S11到達基板112A之另一端側之第1感測器SA2之時序中，磁尺S2之一端側之一組永久磁鐵S21、S22由基板112B之第3感測器SZ進行檢測。又，於該時序中，磁尺S2之另一端側之一組永久磁鐵S21、S22由基板112C之第3感測器SZ進行檢測。因此，亦於磁尺S2之一端側之一組永久磁鐵S21、S22通過基板112C，且由基板112B之第3感測器SZ進行檢測之過程中，對應著長度Lz，輸出原點位置信 號，藉此，基板112B之控制器200不會失去原點位置資訊，可正確地運算滑塊30之位置。

其結果，基板112B之控制器200基於輸入之A相、B相、Z相之信號，檢測滑塊30相對於固定子110之位置，且基於由主控制裝置預定之程式，控制對激磁電磁鐵111之激磁線圈之通電，從而控制滑塊30之移動。

其次，參照圖1，線性搬送裝置10之第1循環裝置40包括搬送單元41、驅動單元42、滑塊轉移單元43及滑塊轉移單元44。

搬送單元41係於往路側之線性驅動部20A與返路側之線性驅動部20B之另一端側，在Y方向上可進行往返移動之單元。於往路側之線性驅動部20A之另一端側之下游端，設定滑塊30之接收位置。又，於返路側之線性驅動部20B之另一端側之上游端，設定將滑塊30轉交至返路側之線性驅動部20B之另一端側之轉交位置。於接收位置，滑塊30自往路側之線性驅動部20A之另一端側接收至搬送單元41。於轉交位置，滑塊30以不變之姿勢自搬送單元41轉交至返路側之線性驅動部20B之另一端側。

驅動單元42係於接收位置與轉交位置之間驅動搬送單元41之單元。

滑塊轉移單元43可與滑塊30卡合及脫離。滑塊轉移單元43係卡合於位於往路側之線性驅動部20A之滑塊30，且將卡合之滑塊30轉移至接收位置。於搬送單元41在接收位置待機時，滑塊轉移單元43將滑塊30自線性驅動部20A之下 游端轉移至接收位置。藉此，將滑塊30以不變之姿勢接收至搬送單元41上。其後，驅動單元42將搬送單元41自接收位置搬送至轉交位置。

滑塊轉移單元44可與滑塊30卡合及脫離。滑塊轉移單元44係卡合於位於到達轉交位置之搬送單元41上之滑塊30，且將卡合之滑塊30向線性驅動部20B之上游端轉移。於搬送單元41到達轉交位置時，滑塊轉移單元44藉由將滑塊30自搬送單元41轉移至返路側之線性驅動部20B之另一端側，而將滑塊30以不變之姿勢轉交至返路側之線性驅動部20B之另一端側。

如上所述，於本實施形態中，可使自往路側之線性驅動部20A搬送之滑塊30保持著相同姿勢，於返路側之線性驅動部20B中進行循環。

其次，第2循環裝置50係包括搬送單元51、驅動單元52、滑塊轉移單元53及滑塊轉移單元54。

搬送單元51係於返路側之線性驅動部20B與往路側之線性驅動部20A之一端側，在Y方向上可進行往返移動之單元。於返路側之線性驅動部20B之一端側之下游端，設定滑塊30之接收位置。又，於往路側之線性驅動部20A之一端側之上游端，設定將滑塊30轉交至往路側之線性驅動部20A之一端側之轉交位置。於接收位置，滑塊30自返路側之線性驅動部20B之一端側接收至搬送單元51。於轉交位置，滑塊30以不變之姿勢自搬送單元51轉交至往路側之線性驅動部20A之一端側。

驅動單元52係於接收位置與轉交位置之間驅動搬送單元51之單元。

滑塊轉移單元53可與滑塊30卡合及脫離。滑塊轉移單元53係卡合於位於返路側之線性驅動部20B之滑塊30，且將卡合之滑塊30轉移至接收位置。於搬送單元51在接收位置待機時，滑塊轉移單元53將滑塊30自線性驅動部20B之下游端轉移至接收位置。藉此，將滑塊30以不變之姿勢接收至搬送單元51上。其後，驅動單元52將搬送單元51自接收位置搬送至轉交位置。

滑塊轉移單元54可與滑塊30卡合及脫離。滑塊轉移單元54係卡合於位於到達轉交位置之搬送單元51上之滑塊30，且將卡合之滑塊30向線性驅動部20A之上游端轉移。於搬送單元51到達轉交位置時，滑塊轉移單元54藉由將滑塊30自搬送單元51轉移至往路側之線性驅動部20A之一端側，而將滑塊30以不變之姿勢轉交至往路側之線性驅動部20A之一端側。

如上所述，於本實施形態中，可使自返路側之線性驅動部20B搬送之滑塊30保持著相同姿勢於往路側之線性驅動部20A中進行循環。作業者可將滑塊30任意地自第2循環裝置50之轉交位置導入至往路側之線性驅動部20A。同時導入至各線性驅動部20A、20B之滑塊30之個數可於未產生超載之範圍內任意設定。

該線性搬送裝置10係分別設置複數個線性馬達(往路側之線性驅動部20A、返路側之線性驅動部20B)、及於各線 性馬達中使上述滑塊自另一端部向鄰接之線性馬達之一端部循環之循環裝置，構成包括複數個線性馬達及複數個循環裝置之上述滑塊之循環路，使一個或複數個上述滑塊於該循環路中進行移動。

此處，於圖示之實施形態中，對每一線性驅動部20A、20B，將作為輔助感測器基板之一端側感測器基板60A設置於第2循環裝置50中。又，對每一線性驅動部20A、20B，將作為輔助感測器基板之另一端側感測器基板61A設置於第1循環裝置40中。

一端側感測器基板60A係於第2循環裝置50中，分別與構成往路側之線性驅動部20A之上游端的固定子110之基板112A之上游側、及構成返路側之線性驅動部20B之下游端的固定子110之基板112A之下游側鄰接地配置。

同樣地，另一端側感測器基板61A係於第1循環裝置40中，分別與構成往路側之線性驅動部20A之下游端的固定子110之基板112D之下游側、及構成返路側之線性驅動部20B之上游端的固定子110之基板112D之上游側鄰接地配置。

參照圖6，於往路側之線性驅動部20A及返路側之線性驅動部20B之各一端側感測器基板60A，設置第1感測器SA2及第2感測器SB2。又，於一端側感測器基板60A之另一端側設置輔助連接器116。於輔助連接器116連接有導線117。各一端側感測器基板60A、與鄰接於該一端側感測器基板60A之基板112A分別由導線117連接。

而且，與鄰接於各一端側感測器基板60A之下游側之基板112A連接之控制器200接收來自設置於基板112B上之第1感測器SA1之A相之波形信號、與來自設置於一端側感測器基板60A上之第1感測器SA2之A相之波形信號的加成信號。又，與基板112A連接之控制器200接收來自設置於基板112B上之第2感測器SB1之B相之波形信號、與來自設置於一端側感測器基板60A上之第2感測器SB2之B相之波形信號的加成信號。進而，與基板112A連接之控制器200接收來自基板112A之第3感測器SZ之Z相之信號。與基板112A連接之控制器200基於該等信號，檢測滑塊30相對於安裝有基板112A之固定子110之位置。

參照圖7，於往路側之線性驅動部20A及返路側之線性驅動部20B之各另一端側感測器基板61A上設置有第1感測器SA1、第2感測器SB1及第3感測器SZ。於另一端側感測器基板61A之一端側，設置有輔助連接器116。於輔助連接器116連接有導線117。各另一端側感測器基板61A、與鄰接於該另一端側感測器基板61A之基板112D分別由導線117連接。

而且，與鄰接於各另一端側感測器基板61A之上游側之基板112D連接之控制器200接收來自設置於基板112C上之第1感測器SA2之A相之波形信號、與來自設置於另一端側感測器基板61A上之第1感測器SA1之A相之波形信號的加成信號。進而，與基板112D連接之控制器200接收來自設置於基板112C上之第2感測器SB2之B相之波形信號、與來 自設置於另一端側感測器基板61A上之第2感測器SB1之B相之波形信號的加成信號。再者，就Z相之信號而言，於往路側之線性驅動部20A中，與鄰接於另一端側感測器基板61A之上游側之基板112D連接之控制器200檢測來自基板112D之第3感測器SZ之Z相之信號。於返路側之線性驅動部20B中，與鄰接於另一端側感測器基板61A之下游側之基板112D連接之控制器200檢測來自設置於另一端側感測器基板61A上之第3感測器SZ之Z相之信號，並且自移動中途，檢測來自與另一端側感測器基板61A之下游側鄰接之基板112D之第3感測器SZ之Z相之信號。基於該等Z相之信號，各控制器200檢測滑塊30相對於對應之安裝有基板112D之固定子110之位置。

如以上所說明，根據本實施形態之線性搬送裝置10，於X方向上(沿著移動路徑之方向)驅動滑塊30之往路側之線性驅動部20A及返路側之線性驅動部20B分別包括複數個固定子單元100。各固定子單元100分別包括複數個固定子110。各固定子110分別包括感測器基板112A~112B。各感測器基板112A~112B分別包括加法電路S8。加法電路S8係將來自設置於某一基板112B之兩側之基板112A、112C上之位置檢測機構的位置檢測信號相加，輸出加成信號。連接於某一基板112B之控制器200係基於該加法電路S8輸出之加成信號，求出滑塊30相對於該固定子110之位置。因此，上述控制器200可於比設定於該固定子110中之基板112B之長度、即該固定子110之長度Ls長之滑塊30之移動 衝程範圍內，進行滑塊30相對於固定子110之位置檢測。

而且，作為感測器基板之基板112A~112D係收斂於構成對應之固定子單元100之馬達本體部的單元架101之內側，故亦不會形成多餘之凸出部分。因此，於固定子單元100為單體之情形時，操作變得格外容易。又，於將複數個固定子單元100重新連續設置於基台11等之情形、或將連續設置之固定子單元100拆卸之情形、或將固定子單元100追加於已設置之線性驅動部20A、20B之情形等時，無需固定子單元100自身之分解、即基板112A或112D對於單元架101之裝卸作業。由此，可獲得連結作業或拆卸作業之效率高之線性搬送裝置。

又，本實施形態係作為位置檢測機構，於每一感測器基板112A、112B、112C、112D中分別包括第1感測器SA1、SA2、第2感測器SB1、SB2。第1感測器SA1、SA2係於X方向上，構成使配置於固定子110之一端部側之霍爾感測器(感測器SA1)與配置於另一端部側之霍爾感測器(感測器SA2)以兩個為一組的感測器組。又，第2感測器SB1、SB2亦同樣於X方向上構成使配置於固定子110之一端部側之霍爾感測器(感測器SB1)與配置於另一端部側之霍爾感測器(感測器SB2)以兩個為一組的感測器組。而且，加法電路S8構成如下位置檢測信號加成部，該位置檢測信號加成部係將來自配置於各固定子110中之與一端部鄰接之固定子110之另一端側之霍爾感測器的位置檢測信號、與來自配置於與另一端側鄰接之固定子110之一端側之霍爾感測器 的位置檢測信號相加，並將連續之波形信號輸出至每一感測器組。

因此，於本實施形態中，將各基板112A~112D設定為與對應之固定子110相同之尺寸。由此，各基板112A~112D無論是否在X方向上無偏移地同一平面狀固定於單元架101，均可遍及相對較廣之衝程範圍，檢測可動子之位置。

又，於本實施形態中，第1感測器SA1與第2感測器SB1、第1感測器SA2與第2感測器S各自之配置間距係設為磁尺S1中之鄰接之永久磁鐵S11與永久磁鐵S12之間之配置間距之例如1/2、3/2。即，兩個構成感測器組之感測器之一端側彼此、另一端側彼此之X方向上之配置間距為構成磁尺S1之複數個永久磁鐵S11與永久磁鐵S12之配置間距乘以{n+(1/2)}所得之數(其中n為0以上之整數)。因此，各第1感測器SA1、SA2構成之感測器組輸出之波形信號、與第2感測器SB1、SB2構成之感測器組輸出之波形信號成為相位相對地偏移π/2。因此，於本實施形態中，可藉由利用2組感測器組，將一者用作正弦波，將另一者用作餘弦波，可使解析度提昇，從而發揮較高之位置檢測功能。

又，於本實施形態中，作為原點位置感測器之第3感測器SZ之安裝位置係於X方向上接近該固定子110之一端側之位置上一致。因此，X方向上之與固定子110之長度Ls之偏移量L1、L2儘可能地變短。由此，於滑塊30之磁尺S1自固定子單元100中之某一固定子110開始向與該固定子110 鄰接之固定子110移動之時間點，進而於滑塊30之磁尺S1自複數個固定子單元100中之某一固定子單元100開始向與該固定子單元100鄰接之另一固定子單元100移動之時間點，可立即獲得原點位置資訊。其結果，可於相對較長之衝程範圍內實現滑塊30之位置檢測。

又，於本實施形態中，往路側之線性驅動部20A包括與一端側(滑塊30移動方向上之上游側)端部鄰接地安裝之一端側感測器基板60A、及與另一端側端部鄰接地安裝之另一端側感測器基板61A。進而，返路側之線性驅動部20B包括與一端側(滑塊30移動方向上之下游側)端部鄰接地安裝之一端側感測器基板60A、及與另一端側端部鄰接地安裝之另一端側感測器基板61B。於各一端側感測器基板60A，分別設置有相當於基板112A、112B、112C、112D之另一端側之感測器的第1感測器SA2、第2感測器SB2。於各另一端側感測器基板61A，分別設置有相當於基板112A、112B、112C、112D之一端側之感測器的第1感測器SA1、第2感測器SB1、及第3感測器SZ。

因此，本實施形態係於往路側之線性驅動部20A之上游端部，構成該上游端部之固定子110之控制器200亦可接收自作為輔助感測器基板之一端側感測器基板60A輸出之信號。因此，該控制器200可基於自設置於該固定子110中之基板112A之第3感測器SZ輸出之信號、來自與該基板112A之下游側鄰接之基板112B的輸出信號、及來自一端側感測器基板60A之輸出信號，檢測進入至構成線性驅動部20A 之上游端部之固定子110中的各滑塊30之位置，從而控制移動。由此，於自第2循環裝置50進行循環之滑塊30進入至最上游側之固定子110中之情形時，或者作業者將滑塊30配置於最上游側之固定子110中之情形時，該控制器200可立即檢測滑塊30之位置，且控制滑塊30之移動。

又，於往路側之線性驅動部20A之下游端部，構成該下游端部之固定子110之控制器200亦可接收自作為輔助感測器基板之感測器基板61A輸出之信號。因此，該控制器200可基於自該固定子110之基板112D之第3感測器SZ輸出之信號、自基板112D之上游側之基板112C輸出之信號、及自感測器基板61A輸出之信號，檢測意圖自構成線性驅動部20A之下游端部之固定子110之端部側退出之滑塊30之位置，從而控制移動。

同樣地，於返路側之線性驅動部20B之上游端部，構成該上游端部之固定子110之控制器200亦可接收自作為輔助感測器基板之另一端側感測器基板61A輸出之信號。因此，該控制器200可基於自設置於該固定子110中之基板112D之第3感測器SZ輸出之信號、自與該基板112D之下游側鄰接之基板112C輸出之信號、及自另一端側感測器基板61A輸出之信號，檢測轉交至構成線性驅動部20B之上游端部之固定子110中之滑塊30之位置，且控制轉交動作。由此，於將滑塊30自第1循環裝置40轉交至上游端部，且該滑塊30進入至最上游側之固定子110之情形時，可立即檢測該滑塊30之位置，且控制滑塊30之移動。

又，亦於返路側之線性驅動部20B之下游端部，構成該下游端部之固定子110之控制器200可自作為輔助感測器基板之感測器基板60A接收信號。因此，該控制器200可基於自該固定子110之基板112A之第3感測器SZ輸出之信號、來自與該基板112A之上游側鄰接之基板112B之輸出信號、及來自一端側感測器基板60A之輸出信號，檢測自構成線性驅動部20B之下游端部之固定子110接收至第2循環裝置50之滑塊30之位置，從而控制移動。

又，於本實施形態中，將連續設置於兩側之基板彼此(112A與112B、112B與112C、112C與112D、112D與112A、或60A與112A、112D與61A)分別利用導線117電性連接。於該構成中，由於採用X方向之尺寸與固定子111之X方向尺寸Ls大致相等之基板112A~112D，故而可使導線117儘可能地變短。因此，於導線117中，既無雜訊疊合之擔憂，亦可將差動傳輸方式切換為單端傳輸方式。

當然，本發明並不限定於上述實施形態，於不脫離本發明之精神之範圍內，可追加各種變更。

例如，感測器較佳為霍爾感測器，但亦可使用除霍爾感測器以外之感測器元件。直線狀或直線性之表現係為工學含義，並非排除彎曲路徑之含義。

又，亦可使往路側之線性驅動部20A自上方觀察旋轉180度，而與上述實施形態之返路側之線性驅動部20B置換，且往路側及返路側均包括相同之線性驅動部20A。於該情形時，基板112A~112D、連接器114、116、及線束115、 117於往路側成為Y方向前側，於返路側成為Y方向後側，故檢查維修性提昇。

如上所述，於本發明之線性馬達中，感測器基板之位置檢測信號加成部將來自移動方向上之與該感測器基板之上游側鄰接之感測器基板之下游側位置檢測機構的位置檢測信號、與來自移動方向上之與該感測器基板之下游側鄰接之感測器基板之上游側位置檢測機構的位置檢測信號相加，且輸出藉此獲得之加成信號。因此，無論感測器基板是否收斂於對應之固定子之內側，控制裝置均可與專利文獻2之構成同樣地，於比固定子之長度長之滑塊之移動衝程範圍內，進行滑塊相對於固定子之位置檢測。另一方面，以收斂於對應之固定子之尺寸內之方式安裝各感測器基板，故而不會形成多餘之凸出部分。因此，於線性馬達包括單體之固定子單元之情形時，操作變得格外容易。又，於將複數個固定子或複數個固定子單元連續設置於基台等，形成線性馬達之情形、或者將連續設置複數個固定子或複數個固定子單元而形成之線性馬達解體之情形時，例如無需感測器基板之裝卸作業，故而固定子或固定子單元之連結作業、或者線性馬達之解體作業之效率變佳。

於較佳之態樣之線性馬達中，更包括與上述上游側位置檢測機構及上述下游側位置檢測機構對向之磁尺，且上述磁尺包括複數個磁鐵，上述複數個磁鐵沿上述移動方向，以磁極交替地改變為S極與N極之方式，等間距地配設於上述滑塊。於該態樣中，由於利用實際之固定子之長度等級 之光學尺，對上述滑塊相對於上述固定子之位置進行位置檢測，故而可更正確地進行位置檢測。

於較佳之態樣之線性馬達中，以於上述移動方向上之與該感測器基板之上游側鄰接之感測器基板之上述下游側位置檢測機構與上述磁尺之上游側端部對向時，移動方向上之與該感測器基板之下游側鄰接之感測器基板之上述上游側位置檢測機構與上述磁尺之下游側端部對向，且上述磁尺之上游側端部之磁極與上述磁尺之下游側端部之磁極同為S極與N極中之任一者之方式，設定上述磁尺之長度、上述磁鐵之排列、及該下游側位置檢測機構與該上游側位置檢測機構之上述移動方向上之間隔(配置間距)。

於該態樣中，由於自某一感測器基板之兩側之感測器基板同時輸出檢測磁尺所得之位置檢測信號，故而，即便上述滑塊相對於連續設置於馬達本體部之複數個固定子依序移動過程中，亦可連續地檢測上述滑塊相對於該等固定子之位置。即，可沿著沿移動路徑之方向，遍及寬範圍，檢測可動子之位置。

於較佳之態樣之線性馬達中，上述上游側位置檢測機構及上述下游側位置檢測機構分別包括於上述移動方向上位置不同之2個感測器，且上述位置檢測信號加成部將來自上述移動方向上之與上述感測器基板之上游側鄰接之感測器基板之下游側位置檢測機構之上述移動方向上游側之感測器、與鄰接於上述感測器基板之下游側之感測器基板之上游側位置檢測機構之上述移動方向上游側之感測器各者 的位置檢測信號相加，另一方面，將來自上述移動方向上之與上述感測器基板之上游側鄰接之感測器基板之下游側位置檢測機構之上述移動方向下游側之感測器、與鄰接於上述感測器基板之下游側之感測器基板之上游側位置檢測機構之上述移動方向下游側之感測器各者的位置檢測信號相加。

於該態樣中，可將來自位置不同之2個感測器之位置檢測信號分別作為A相之位置檢測信號及B相之位置檢測信號輸出。並且，將自上述感測器基板之上游側及下流側之各感測器輸出之2個A相之位置檢測信號相加，並將自上述感測器基板之上游側及下游側之各感測器輸出之2個B相之位置檢測信號相加，故而，即便上述滑塊位於連續設置於馬達本體部之複數個固定子之各者中之任一固定子中，亦可更詳細地檢測上述滑塊相對於該固定子之位置。可沿著沿移動路徑之方向，遍及寬範圍，更詳細地檢測可動子之位置。

於較佳之態樣之線性馬達中，更包括與上述上游側位置檢測機構及上述下游側位置檢測機構對向之磁尺，且上述磁尺包括複數個磁鐵，上述複數個磁鐵沿上述移動方向，以磁極交替地改變為S極與N極之方式等間距地配設於上述滑塊，且以上述移動方向上之與上述感測器基板之上游側鄰接之感測器基板之下游側位置檢測機構之上述移動方向上游側之感測器、鄰接於上述感測器基板之下游側之感測器基板之上游側位置檢測機構之上述移動方向上游側之感 測器、或上述移動方向上之與上述感測器基板之上游側鄰接之感測器基板之下游側位置檢測機構之上述移動方向下游側之感測器、及與上述感測器基板之下游側鄰接之感測器基板之上游側位置檢測機構之上述移動方向下游側之感測器分別與上述磁尺之下游側端部之上述磁鐵對向，且該下游側位置檢測機構及該上游側位置檢測機構所對向之上述磁極同為S極與N極中之任一者之方式，設定上述磁尺之長度、磁鐵之排列、及該下游側位置檢測機構與該上游側位置檢測機構之上述移動方向上之間隔，將該上游側位置檢測機構及該下游側位置檢測機構中之各2個感測器之上述移動方向上之配置間距設為磁尺之鄰接之磁鐵之配置間距乘以1/2、或3/2、進而該等加上2之整數倍之數所得者。

於該態樣中，可藉由來自上游側位置檢測機構及下游側位置檢測機構中之各2個感測器的位置檢測信號之相位相對偏移π/2，而更詳細地檢測可動子之位置。

於較佳之態樣之線性馬達中，更包括原點位置感測器，該原點位置感測器係安裝於上述感測器基板，且檢測上述滑塊，並輸出賦予來自上述位置檢測信號合成部之合成信號之原點位置的原點位置信號。於該態樣中，可於比設置於該固定子中之基板之長度長之滑塊之移動衝程範圍內，以原點位置為基準，進行滑塊相對於固定子之位置檢測。

於較佳之態樣之線性馬達中，上述原點位置感測器安裝於上述移動方向上之上述感測器基板之上游側。於該態樣中，於滑塊之線性光學尺自固定子單元100中之某一固定 子110開始向與該固定子110鄰接之固定子110移動之時間點，進而於滑塊之線性光學尺自複數個固定子單元中之某一固定子單元開始向與該固定子單元鄰接之另一固定子單元移動之時間點，可立即獲得原點位置資訊。因此，可於相對較長之衝程範圍內實現滑塊之位置檢測。

於較佳之態樣之線性馬達中，與安裝於上述移動方向上之最上游側之固定子中的最上游側之感測器基板之上游側鄰接地進一步設置輔助感測器基板，且於該輔助感測器基板之下游部，設置上述下游側位置檢測機構，且該下游側位置檢測機構於上述滑塊位於上述最上游側之固定子中時，檢測該滑塊之上游側端部，並輸出位置檢測信號，上述最上游側之感測器基板之位置檢測信號加成部將來自上述輔助感測器基板之上述下游側位置檢測機構之上述位置檢測信號、與來自鄰接於上述最上游側之感測器基板之下游側之感測器基板之上述上游側位置檢測機構之上述位置檢測信號相加，上述控制裝置基於上述最上游側之感測器基板之位置檢測信號加成部進行相加所得之加成信號，檢測上述滑塊相對於上述最上游側之固定子之位置。

於該態樣中，於滑塊位於滑塊之移動方向上之最上游側之固定子中時，可利用控制裝置檢測滑塊相對於最上游側之固定子之位置。因此，可一面立即檢測位於最上游側之固定子中之滑塊之位置，一面實現該滑塊之控制。

於較佳之態樣之線性馬達中，與上述移動方向上之安裝於最下游側之固定子中之最下游側之感測器基板之下游側 鄰接地進一步設置輔助感測器基板，且於該輔助感測器基板之上游部設置上述上游側位置檢測機構，該上游側位置檢測機構於上述滑塊位於上述最下游側之固定子中時，檢測該滑塊之下游側端部，並輸出位置檢測信號，上述最下游側之感測器基板之位置檢測信號加成部將來自上述輔助感測器基板之上述上游側位置檢測機構之上述位置檢測信號、與來自鄰接於上述最下游側之感測器基板之上游側之感測器基板之上述下游側位置檢測機構之上述位置檢測信號相加，上述控制裝置基於上述最下游側之感測器基板之位置檢測信號加成部進行相加所得之加成信號，檢測上述滑塊相對於上述最下游側之固定子之位置。

於該態樣中，於滑塊位於滑塊之移動方向上之最下游側之固定子中時，可利用控制裝置檢測滑塊相對於最下游側之固定子之位置。因此，可一面立即檢測位於最下游側之固定子中之滑塊之位置，一面實現該滑塊之控制。

於較佳之態樣之線性馬達中，更包括與上述上游側位置檢測機構及上述下游側位置檢測機構對向之磁尺，且上述磁尺包括複數個磁鐵，上述複數個磁鐵沿上述移動方向，以磁極交替地改變為S極與N極之方式等間距地配設於上述滑塊，且該上游側位置檢測機構及該下游側位置檢測機構中之各2個感測器之上述移動方向上之配置間距為構成上述磁尺之複數個磁鐵之配置間距乘以{n+(1/2)}所得之數(其中n為0以上之整數)。於該態樣中，來自上游側位置檢測機構及下游側位置檢測機構中之各2個感測器的位置檢 測信號之相位相對偏移π/2，從而可更詳細地檢測可動子之位置。

於較佳之態樣之線性馬達中，以於上述移動方向上之與上述感測器基板之上游側鄰接之感測器基板之下游側位置檢測機構之上述移動方向上游側之感測器與上述磁尺之上游側對向時，與上述感測器基板之下游側鄰接之感測器基板之上游側位置檢測機構之上述移動方向上游側之感測器與上述磁尺之下游側對向，且該下游側位置檢測機構之上述移動方向上游側之感測器所對向之上述磁尺之磁鐵之磁極與該上游側位置檢測機構之上述移動方向上游側之感測器所對向之上述磁尺之磁鐵之磁極成為相同，並且於上述移動方向上之與上述感測器基板之上游側鄰接之感測器基板之下游側位置檢測機構之上述移動方向下游側之感測器與上述磁尺之上游側對向時，與上述感測器基板之下游側鄰接之感測器基板之上游側位置檢測機構之上述移動方向下游側之感測器與上述磁尺之下游側對向，且上述下游側位置檢測機構所對向之上述磁尺之磁鐵之磁極與上述上游側位置檢測機構所對向之上述磁尺之磁鐵之磁極成為相同之方式，設定上述磁尺之長度、上述磁鐵之排列、及該下游側位置檢測機構與該上游側位置檢測機構之上述移動方向上之間隔。於該態樣中，由於自某一感測器基板之兩側之感測器基板同時輸出檢測磁尺所得之位置檢測信號，故而，即便於上述滑塊相對於連續設置於馬達本體部之複數個固定子依序移動過程中，亦可連續檢測上述滑塊相對於 該等固定子之位置。即，可沿著沿移動路徑之方向，遍及寬範圍，檢測可動子之位置。此外，可將來自位置不同之2各感測器之位置檢測信號分別作為A相之位置檢測信號及B相之位置檢測信號輸出。而且，由於將自上述感測器基板之上游側及下游側之各感測器輸出之2個A相之位置檢測信號相加，並且將自上述感測器基板之上游側及下游側之各感測器輸出之2個B相之位置檢測信號相加，故而，即便上述滑塊位於連續設置於馬達本體部之複數個固定子之各者中之任一固定子中，亦可更詳細地檢測上述滑塊相對於該固定子之位置。由此，可沿著沿移動路徑之方向，遍及寬範圍，更詳細地檢測可動子之位置。

於較佳之態樣之線性馬達中，上述磁尺之磁鐵係將該磁尺之兩端部之磁極同一地排列，且於上述移動方向上之與上述感測器基板之上游側鄰接之感測器基板之下游側位置檢測機構之上述移動方向上游側之感測器與上述磁尺之上游側端部對向時，與上述感測器基板之下游側鄰接之感測器基板之上游側位置檢測機構之上述移動方向上游側之感測器與上述磁尺之下游側端部對向。於該態樣中，當於比固定子之長度長之滑塊之移動衝程範圍內檢測滑塊相對於固定子之位置時，可將固定子相對於滑塊之長度設定為充分滿足需要之較佳之長度。

於較佳之態樣之線性馬達中，將複數個包括上述馬達本體部與安裝於該上述馬達本體部之複數個固定子之固定子單元連結。於該態樣中，與將一個馬達本體部中安裝有複 數個固定子者安裝於基台形成線性馬達之情形相比，操作性提昇。

本發明之另一態樣係一種線性搬送裝置，其特徵在於包括上述任一線性馬達，且可將被搬送物裝載於上述滑塊。

於該態樣中，於將連續設置複數個固定子而形成之線性馬達解體之情形時，或者於進行追加固定子使線性馬達之長度變長之連結作業之情形時，無需感測器基板之裝卸作業，故而，可獲得解體作業或連結作業之效率高之線性搬送裝置。

於較佳之態樣之線性搬送裝置中，配置複數個線性馬達，並且設置使上述滑塊自複數個線性馬達中之一線性馬達之另一端部向鄰接之線性馬達之一端部循環的第1循環裝置，利用使上述滑塊循環之循環裝置將各線性馬達之端部連結，且設置使上述滑塊自N台線性馬達之最後之線性馬達之另一端部向上述一線性馬達之一端部循環的最後之循環裝置，藉此，構成包括複數個線性馬達及複數個循環裝置之上述滑塊之循環路，並且使一個或複數個上述滑塊於該循環路中移動。

藉此，可獲得不僅解體作業或連結作業之效率高且可使滑塊循環之線性搬送裝置。

此外，勿庸置疑，可於本發明之申請專利範圍內進行各種變更。

[產業上之可利用性]

本發明可用作於物品之自動搬送等中使用之輸送帶等之 驅動裝置。

10‧‧‧線性搬送裝置

11‧‧‧基台

11A‧‧‧工作台

20A‧‧‧往路側之線性驅動部

20B‧‧‧返路側之線性驅動部

30‧‧‧滑塊

31‧‧‧滑動件

32‧‧‧頂板

33‧‧‧永久磁鐵

34‧‧‧前端壁

40‧‧‧第1循環裝置

41‧‧‧搬送單元

42‧‧‧驅動單元

43‧‧‧滑塊轉移單元

44‧‧‧滑塊轉移單元

50‧‧‧第2循環裝置

51‧‧‧搬送單元

52‧‧‧驅動單元

53‧‧‧滑塊轉移單元

54‧‧‧滑塊轉移單元

60A‧‧‧一端側感測器基板

61A‧‧‧另一端側感測器基板

100‧‧‧固定子單元

101‧‧‧單元架

102a、102b‧‧‧罩蓋

103‧‧‧軌道

110‧‧‧固定子

111‧‧‧激磁電磁鐵

111a‧‧‧磁芯

111b‧‧‧激磁線圈之集合體

112A‧‧‧基板

112B‧‧‧基板

112C‧‧‧基板

112D‧‧‧基板

113‧‧‧平板

114‧‧‧連接器

115‧‧‧線束

116‧‧‧輔助連接器

117‧‧‧導線

200‧‧‧控制器

L‧‧‧光學尺長

L1‧‧‧偏移量

L2‧‧‧偏移量

Lf‧‧‧單元架之X方向長度

Ls‧‧‧固定子之X方向長度

S‧‧‧位置檢測裝置

S1‧‧‧線性光學尺(磁尺)

S2‧‧‧線性光學尺(磁尺)

S8‧‧‧加法電路

S11‧‧‧永久磁鐵

S12‧‧‧永久磁鐵

S21、S22‧‧‧永久磁鐵

SA1‧‧‧一端側之第1感測器

SA2‧‧‧另一端側之第1感測器

SB1‧‧‧一端側之第2感測器

SB2‧‧‧另一端側之第2感測器

SZ‧‧‧第3感測器

圖1係表示本發明之一實施形態之線性搬送裝置之整體構成之立體圖。

圖2係表示圖1之實施形態之固定子單元之主要部分之立體圖。

圖3係圖1之實施形態之固定子單元之側視簡圖。

圖4係圖1之實施形態之固定子單元連續設置兩個時之正視圖。

圖5係表示圖1之實施形態之線性馬達之線性光學尺及感測器之概略構成之說明圖。

圖6係表示圖1之實施形態之一端側之複數個感測器基板與感測器部分之電路構成之電路圖。

圖7係表示圖1之實施形態之另一端側之複數個感測器基板與感測器部分之電路構成之電路圖。

60A‧‧‧一端側感測器基板

112A‧‧‧基板

112B‧‧‧基板

112C‧‧‧基板

112D‧‧‧基板

114‧‧‧連接器

116‧‧‧輔助連接器

117‧‧‧導線

S8‧‧‧加法電路

SA1‧‧‧一端側之第1感測器

SA2‧‧‧另一端側之第1感測器

SB1‧‧‧一端側之第2感測器

SB2‧‧‧另一端側之第2感測器

SZ‧‧‧第3感測器

Claims (15)

1. 一種線性馬達，其係包括具有可動子之滑塊、配置於該滑塊之移動路徑上之馬達本體部、及安裝於上述馬達本體部之複數個固定子，上述複數個固定子以與上述可動子對向之方式沿著該移動路徑排列，且一面使上述固定子與上述可動子之間產生吸引力，一面使上述滑塊沿著該移動路徑移動，且上述線性馬達之特徵在於包括：複數個感測器基板，其等係以收斂於沿著該移動路徑之移動方向上之上述固定子之尺寸內之方式，安裝於上述固定子之各者；上游側位置檢測機構，其係安裝於上述感測器基板之各者，且於上述移動方向上之上述感測器基板之上游部，檢測上述滑塊，並輸出位置檢測信號；下游側位置檢測機構，其係安裝於上述感測器基板之各者，且於上述移動方向上之上述感測器基板之下游部，檢測上述滑塊，並輸出位置檢測信號；位置檢測信號加成部，其係安裝於上述感測器基板，且將來自上述移動方向上之與該感測器基板之上游側鄰接之感測器基板之上述下游側位置檢測機構的上述位置檢測信號、與來自上述移動方向上之與該感測器基板之下游側鄰接之感測器基板之上述上游側位置檢測機構的上述位置檢測信號相加，且可將藉此所得之加成信號輸出；以及控制裝置，其係基於來自上述位置檢測信號加成部之 加成信號，檢測上述滑塊相對於安裝有該感測器基板之上述固定子之位置。
2. 如請求項1之線性馬達，其中更包括與上述上游側位置檢測機構及上述下游側位置檢測機構對向之磁尺，且上述磁尺包括複數個磁鐵，上述複數個磁鐵沿著上述移動方向，以磁極交替地改變為S極與N極之方式等間距地配設於上述滑塊。
3. 如請求項2之線性馬達，其中以上述移動方向上之與該感測器基板之上游側鄰接之感測器基板之上述下游側位置檢測機構與上述磁尺之上游側端部對向時，移動方向上之與該感測器基板之下游側鄰接之感測器基板之上述上游側位置檢測機構與上述磁尺之下游側端部對向，且上述磁尺之上游側端部之磁極與上述磁尺之下游側端部之磁極同為S極與N極中之任一者之方式，設定上述磁尺之長度、上述磁鐵之排列、及該下游側位置檢測機構與該上游側位置檢測機構之上述移動方向上之間隔。
4. 如請求項1之線性馬達，其中上述上游側位置檢測機構及上述下游側位置檢測機構分別包括於上述移動方向位置不同之2個感測器，上述位置檢測信號加成部係將來自上述移動方向上之與上述感測器基板之上游側鄰接之感測器基板之下游側位置檢測機構之上述移動方向上游側之感測器、及與上述感測器基板之下游側鄰接之感測器基板之上游側位置檢測機構之上述移動方向上游側之感測器之各者的位置 檢測信號相加，另一方面，將來自上述移動方向上之與上述感測器基板之上游側鄰接之感測器基板之下游側位置檢測機構之上述移動方向下游側之感測器、及與上述感測器基板之下游側鄰接之感測器基板之上游側位置檢測機構之上述移動方向下游側之感測器之各者的位置檢測信號相加。
5. 如請求項4之線性馬達，其中更包括與上述上游側位置檢測機構及上述下游側位置檢測機構對向之磁尺，且上述磁尺包括複數個磁鐵，上述複數個磁鐵沿著上述移動方向，以在S極與N極交替地改變磁極之方式，等間距地配設於上述滑塊，且以上述移動方向上之與上述感測器基板之上游側鄰接之感測器基板之下游側位置檢測機構之上述移動方向上游側之感測器、及與上述感測器基板之下游側鄰接之感測器基板之上游側位置檢測機構之上述移動方向上游側之感測器、或者上述移動方向上之與上述感測器基板之上游側鄰接之感測器基板之下游側位置檢測機構之上述移動方向下游側之感測器、及與上述感測器基板之下游側鄰接之感測器基板之上游側位置檢測機構之上述移動方向下游側之感測器分別與上述磁尺之下游側端部之上述磁鐵對向，且該下游側位置檢測機構與該上游側位置檢測機構所對向之上述磁極同為S極與N極中之任一者之方式，設定上述磁尺之長度、磁鐵之排列、及該下游側位置檢測機構與該上游側位置檢測機構之上述移動方向 上之間隔，將該上游側位置檢測機構及該下游側位置檢測機構中之各自2個感測器之上述移動方向上之配置間距，設為磁尺之鄰接之磁鐵之配置間距乘以1/2、或3/2、進而該等加上2之整數倍之數所得者。
6. 如請求項1之線性馬達，其中更包括原點位置感測器，該原點位置感測器係安裝於上述感測器基板，且檢測上述滑塊，輸出賦予來自上述位置檢測信號合成部之合成信號之原點位置的原點位置信號。
7. 如請求項6之線性馬達，其中上述原點位置感測器係安裝於上述移動方向上之上述感測器基板之上游側。
8. 如請求項1之線性馬達，其中於上述移動方向上之最上游側之固定子上所安裝的最上游側之感測器基板之上游側，鄰接地進而設置輔助感測器基板，於該輔助感測器基板之下游部，設置上述下游側位置檢測機構，且該下游側位置檢測機構於上述滑塊位於上述最上游側之固定子時，檢測該滑塊之上游側端部，並輸出位置檢測信號，上述最上游側之感測器基板之位置檢測信號加成部將來自上述輔助感測器基板之上述下游側位置檢測機構之上述位置檢測信號、與來自和上述最上游側之感測器基板之下游側鄰接之感測器基板之上述上游側位置檢測機構之上述位置檢測信號相加，且上述控制裝置基於上述最上游側之感測器基板之位置 檢測信號加成部進行相加所得之加成信號，檢測上述滑塊相對於上述最上游側之固定子之位置。
9. 如請求項1之線性馬達，其中於上述移動方向上之最下游側之固定子上所安裝之最下游側之感測器基板之下游側，鄰接地進而設置輔助感測器基板，於該輔助感測器基板之上游部，設置上述上游側位置檢測機構，該上游側位置檢測機構於上述滑塊位於上述最下游側之固定子時，檢測該滑塊之下游側端部，並輸出位置檢測信號，上述最下游側之感測器基板之位置檢測信號加成部將來自上述輔助感測器基板之上述上游側位置檢測機構之上述位置檢測信號、與來自和上述最下游側之感測器基板之上游側鄰接之感測器基板之上述下游側位置檢測機構之上述位置檢測信號相加，上述控制裝置基於上述最下游側之感測器基板之位置檢測信號加成部進行相加所得之加成信號，檢測上述滑塊相對於上述最下游側之固定子之位置。
10. 如請求項4之線性馬達，其中更包括與上述上游側位置檢測機構及上述下游側位置檢測機構對向之磁尺，上述磁尺包括複數個磁鐵，且上述複數個磁鐵沿著上述移動方向，以磁極交替地改變為S極與N極之方式，等間距地配設於上述滑塊，且該上游側位置檢測機構及該下游側位置檢測機構中之各自之2個感測器之上述移動方向上之配置間距係構成 上述磁尺之複數個磁鐵之配置間距乘以{n+(1/2)}所得之數(其中n為0以上之整數)。
11. 如請求項10之線性馬達，其中以於上述移動方向上之與上述感測器基板之上游側鄰接之感測器基板之下游側位置檢測機構之上述移動方向上游側之感測器與上述磁尺之上游側對向時，與上述感測器基板之下游側鄰接之感測器基板之上游側位置檢測機構之上述移動方向上游側之感測器與上述磁尺之下游側對向，且該下游側位置檢測機構之上述移動方向上游側之感測器所對向之上述磁尺之磁鐵之磁極與該上游側位置檢測機構之上述移動方向上游側之感測器所對向之上述磁尺之磁鐵之磁極相同，並且於上述移動方向上之與上述感測器基板之上游側鄰接之感測器基板之下游側位置檢測機構之上述移動方向下游側之感測器與上述磁尺之上游側對向時，與上述感測器基板之下游側鄰接之感測器基板之上游側位置檢測機構之上述移動方向下游側之感測器與上述磁尺之下游側對向，且上述下游側位置檢測機構所對向之上述磁尺之磁鐵之磁極與上述上游側位置檢測機構所對向之上述磁尺之磁鐵之磁極相同之方式，設定上述磁尺之長度、上述磁鐵之排列、及該下游側位置檢測機構與該上游側位置檢測機構之上述移動方向上之間隔。
12. 如請求項11之線性馬達，其中上述磁尺之磁鐵係以該磁尺之兩端部之磁極相同之方式排列，於上述移動方向上之與上述感測器基板之上游側鄰接 之感測器基板之下游側位置檢測機構之上述移動方向上游側之感測器與上述磁尺之上游側端部對向時，與上述感測器基板之下游側鄰接之感測器基板之上游側位置檢測機構之上述移動方向上游側之感測器與上述磁尺之下游側端部對向。
13. 如請求項1之線性馬達，其中將包括上述馬達本體部、及該安裝於上述馬達本體部之複數個固定子之固定子單元連結複數個。
14. 一種線性搬送裝置，其特徵在於包括如請求項1至13中任一項之線性馬達，且可將被搬送物裝載於上述滑塊。
15. 如請求項14之線性搬送裝置，其中配置複數個線性馬達，並且設置使上述滑塊自複數個線性馬達中之一線性馬達之另一端部朝向鄰接之線性馬達之一端部進行循環的第1循環裝置，利用使上述滑塊循環之循環裝置將各線性馬達之端部連結，且設置使上述滑塊自N台線性馬達之最後之線性馬達之另一端部朝向上述一線性馬達之一端部進行循環的最後之循環裝置，藉此，構成包括複數個線性馬達及複數個循環裝置之上述滑塊之循環路，並且使一個或複數個上述滑塊於該循環路上進行移動。