TW201320592A - 壓電振動片以及壓電元件 - Google Patents

Abstract

一種壓電振動片以及壓電元件，壓電振動片包括：矩形形狀的激振部、框部、連結部、以及突起部。激振部包含：兩個主面上的一對激振電極、在第一方向延伸的第一邊、以及在第二方向延伸的第二邊。第二邊比第一邊更長。第二方向與第一方向正交。連結部將激振部的第一邊與框部予以連結，且連結部的厚度比框部的厚度更薄。在連結部、與連結部與激振電極之間的區域的至少一方，突起部向厚度方向突出地形成。突起部的第一方向的長度與連結部的第一方向的長度相同、或為連結部的第一方向的長度以上。

Description

壓電振動片以及壓電元件

本申請案基於且主張2011年11月2日向日本專利局提出申請的日本專利申請案第2011-240799號、及日本專利申請案第2011-240800號的優先權，所述日本專利申請案的全部內容併入本申請案作為參考。

本發明是有關於一種壓電振動片(piezoelectric vibrating pieces)以及壓電元件(piezoelectric device)，所述壓電振動片的朝向激振部的應力的影響已受到抑制。

如下的壓電振動片已為人所知，該壓電振動片包括：激振部，以規定的頻率發生振動；框部，將激振部的周圍予以包圍；以及連結部，將激振部及框部予以連結。在此種壓電振動片中，將蓋板(lid plate)以及基底板(base plate)接合於框部的表面背面，從而形成壓電元件。該壓電元件是安裝於印刷(print)基板等而被使用。此種壓電元件有時會承受施加至印刷基板的應力。施加至壓電元件的應力會對壓電振動片產生影響，使激振部的振動頻率的特性發生變化。

對於如上所述的問題，例如在日本專利特開2007-214942號公報中表示了如下的內容：在連結部形成鋸齒狀的缺口，藉此，期待使從框部向激振部傳遞的應力緩和。該揭露是以如下的方式進行揭示，另外，表示了如下的內容：當缺口的深度為框部的一半以上時，框部與激 振部不會呈直線地被連結。在此情況下，熱或應力的實質性的傳遞距離增加，從而會發揮大的緩和效果。

然而，日本專利特開2007-214942號公報所揭示的壓電振動片是在連結部形成缺口。因此，認為：所述壓電振動片對於由落下引起的衝擊等的耐受性會減弱。特別是，最近的壓電振動片已變薄以使壓電元件實現小型化。有可能因形成所述缺口而使耐衝擊性下降。另外，日本專利特開2007-214942號公報揭示有兩端固定型壓電振動片。該壓電振動片在激振部的相向的邊上，分別形成連結部。相對於此，對於懸臂型壓電振動片而言，將連結部僅連接於激振部的一條邊上，由此，耐衝擊性進一步減弱。因此，針對壓電振動片，還希望對於激振部的應力的影響受到抑制，並且具有充分的耐衝擊性。

承上述，需要不會受到所述缺點的影響的壓電振動片以及壓電元件。

壓電振動片的一個側面包括：矩形形狀的激振部、將激振部予以包圍的框部、連結部、以及突起部。激振部包含：兩個主面、所述兩個主面上的一對激振電極、向第一方向延伸的第一邊、以及向第二方向延伸的第二邊。第二邊比第一邊更長。第二方向與第一方向正交。連結部將激振部的第一邊與框部予以連結。連結部的厚度比框部的厚度更薄。在連結部、與連結部與激振電極之間的區域的至少一方，突起部向厚度方向突出地形成。激振電極配置在 連結部的第二方向。突起部的第一方向的長度是：與連結部的第一方向的長度相同、或為連結部的第一方向的長度以上。

根據附圖來對此處所揭示的第一實施方式進行說明。

(第一實施方式)<壓電元件100的構成>

圖1是壓電元件100的分解立體圖。壓電元件100包含：蓋板110、基底板120、以及壓電振動片130。壓電振動片130中，例如使用AT切割的晶體振動片。AT切割的晶體振動片的主面(YZ面)相對於結晶軸(XYZ)的Y軸，以X軸為中心，從Z軸向Y軸方向傾斜35度15分。在以下的說明中，以AT切割的晶體振動片的軸方向為基準，使用傾斜的新的軸作為Y'軸以及Z'軸。即，壓電元件100中，將壓電元件100的長邊方向作為X軸方向，將壓電元件100的高度方向作為Y'軸方向，將與X軸方向及Y'軸方向垂直的方向作為Z'軸方向來進行說明。

壓電振動片130包含：激振部131，以規定的頻率發生振動，且形成為四邊形狀；框部132，將激振部131予以包圍；以及一個連結部133，將激振部131與框部132予以連結。激振部131與框部132之間的連結部133以外的區域成為貫通孔136，該貫通孔136沿著Y'軸方向將壓電振動片130予以貫通。在激振部131的+Y'軸側的面及-Y'軸側的面，形成有激振電極134。另外，激振部131是由台面(mesa)區域131a與周邊區域131b形成，所述台面 區域131a形成有激振電極134，所述周邊區域131b形成在台面區域131a的周圍，且Y'軸方向的厚度比台面區域131a更薄。引出電極135分別從形成於+Y'軸側及-Y'軸側的面的激振電極134，通過連結部133而引出至框部132的-Y'軸側的面為止。而且，在連結部133的+Y'軸側及-Y'軸側的面上形成有突起部133a(參照圖2)，該突起部133a(參照圖2)從連結部133向Y'軸方向突出。

基底板120配置在壓電振動片130的-Y'軸側。基底板120形成為矩形形狀，該矩形形狀在X軸方向上具有長邊，在Z'軸方向上具有短邊。在基底板120的-Y'軸側的面上形成有一對外部電極124。該外部電極124經由焊料(solder)而固定於印刷基板等，且與該印刷基板等形成電性連接。藉此，壓電元件100安裝於印刷基板等。另外，在基底板120的四個角落的側面形成有城堡形部分(castellation)126，在城堡形部分126中形成有城堡形電極125。在基底板120的+Y'軸側的面上形成有凹部121，在凹部121的周圍形成有接合面122。另外，在接合面122的四個角落、即在城堡形部分126的周圍形成有連接電極123。該連接電極123經由形成於城堡形部分126的城堡形電極125而電性連接於外部電極124。基底板120是：在接合面122上，經由密封材料141(參照圖2)而接合於壓電振動片130的框部132的-Y'軸側的面。另外，連接電極123與“壓電振動片130的引出電極135”形成電性連接。

蓋板110配置在壓電振動片130的+Y'軸側。在蓋板110 的-Y'軸側的面上形成有凹部111，在凹部111的周圍形成有接合面112。蓋板110在接合面112上，經由密封材料141(參照圖2)而接合於壓電振動片130的框部132的+Y'軸側的面。

圖2是圖1的II-II剖面的剖面圖。壓電元件100包括壓電振動片130，該壓電振動片130具有框部132。蓋板110的接合面112是經由密封材料141而接合於壓電振動片130的框部132的+Y'軸側的面。基底板120的接合面122是經由密封材料141而接合於框部132的-Y'軸側的面。當將壓電振動片130與基底板120予以接合時，框部132的-Y'軸側的面上所形成的引出電極135、與基底板120的接合面122上所形成的連接電極123形成電性連接。藉此，台面區域131a的+Y'軸側及-Y'軸側所形成的各激振電極134是：經由引出電極135、連接電極123、以及城堡形電極125而電性連接於外部電極124。

圖3A是壓電振動片130的平面圖。壓電振動片130包含：激振部131，形成為矩形形狀；框部132，將激振部131予以包圍；以及一個連結部133，將激振部131與框部132予以連結。激振部131包括：第一邊138a與第二邊138b，所述第一邊138a是激振部131的-X軸側的邊，所述第二邊138b是激振部131的+Z'軸側及-Z'軸側的邊。連結部133是：連結於激振部131的第一邊138a的中央，從該中央起向-X軸方向延伸，並連結於框部132。另外，激振部131與框部132之間的連結部133以外的區域成為貫 通孔136，該貫通孔136沿著Y'軸方向將壓電振動片130予以貫通。形成於激振部131的周邊區域131b是以將台面區域131a予以包圍的方式而形成。引出電極135是從台面區域131a的+Y'軸側的面上所形成的激振電極134開始，經由周邊區域131b、連結部133的+Y'軸側的面、連結部133的+Z'軸側的側面133b、以及連結部133的-Y'軸側的面，而引出至框部132的-Y'軸側的面的-X軸側的+Z'軸側的角部為止。另外，引出電極135是從台面區域131a的-Y'軸側的面上所形成的激振電極134(參照圖3B)開始，經由周邊區域131b及連結部133的-Y'軸側的面而引出至框部132。引出電極135進而在框部132的-Y'軸側的面上，沿著-Z'軸方向及+X軸方向延伸。引出電極135引出至框部132的-Y'軸側的面的+X軸側的-Z'軸側的角部為止。

圖3B是圖3A的IIIB-IIIB剖面圖。連結部133包括突起部133a。在連結部133的+Y'軸側的面及-Y'軸側的面上，各形成有兩個突起部133a。+Y'軸側所形成的突起部與-Y'軸側的面上所形成的突起部是以彼此在Y'軸方向上呈對稱的方式而形成。對於壓電振動片130而言，框部132在Y'軸方向上的厚度形成為厚度T1，形成有突起部133a的區域的連結部133及台面區域131a的Y'軸方向的厚度形成為厚度T2，未形成有突起部133a的區域的連結部133及周邊區域131b的Y'軸方向的厚度形成為厚度T3。在壓電振動片130中，厚度T1形成得比厚度T2及厚度T3更厚，厚度T2形成得比厚度T3更厚。對於壓電振動片130 而言，在頻率例如為40 MHz的情況下，厚度T2形成為41.75 μm。

<壓電振動片130的模擬(simulation)結果>

在將壓電元件安裝於印刷基板的狀態下，進行用以求出如下的應力的模擬，該應力是在使印刷基板彎曲的情況下施加至壓電振動片的應力。設想如下的兩種情況來進行模擬，所述兩種情況是指：在壓電元件100的長邊方向(X軸方向)上使印刷基板彎曲的情況(長邊彎曲)、及在短邊方向(Z'軸方向)上使印刷基板彎曲的情況(短邊彎曲)。以下，對壓電振動片的模擬結果進行說明。

圖4A是未形成有電極的壓電振動片130的平面圖。將壓電振動片130的框部132的Z'軸方向的整體長度設為長度WA，將框部132的X軸方向的整體長度設為長度LA，將激振部131的第一邊138a的長度設為長度WS，將第二邊138b的長度設為長度LS，將台面區域131a的X軸方向的長度設為LM，將台面區域131a的Z'軸方向的長度設為長度WM，將連結部133的Z'軸方向的長度設為長度WR，以及將連結部133的X軸方向的長度設為長度LR。將長度LA設為2.0 mm，將長度WA設為1.6 mm，將長度LS設為1.3 mm，將長度WS設為0.95 mm，將長度LM設為0.78 mm，將長度WM設為0.66 mm，將長度LR設為0.2 mm，將長度WR設為0.32 mm來進行模擬。

圖4B是圖4A的虛線161所包圍的區域的放大平面圖。若將突起部133a的X軸方向的長度設為長度LT，將 未形成有突起部133a的區域的X軸方向的長度設為長度LRa，則在壓電振動片130中，長度LT及長度LRa均設為0.05 mm。突起部133a的Z'軸方向的長度是：與連結部133的Z'軸方向的長度相同的長度WR。

圖4C是壓電振動片130的短邊彎曲的模擬結果。在圖4C中，僅表示了壓電振動片130的激振部131及連結部133的平面圖。在圖4C中，台面區域131a的顏色(白色)是幾乎未施加應力的狀態的顏色。比該顏色更濃的部位表示施加有應力。另外，接近於黑色的部位表示施加了最強的應力。在圖4C中，在連結部133中表示了顏色濃的部分。設想強應力施加至連結部133。另外，已知：顏色淡的區域(灰色的區域)從連結部133向周邊區域131b延伸，施加了應力的區域從連結部133延伸至周邊區域131b。另外，將台面區域131a的中心點設為中心點139a，將通過中心點139a且與X軸呈平行的直線設為直線139，將直線139上的點即激振部131的-X軸側的端部設為端點139b。

圖5A是表示激振部131的應力分佈的圖(graph)。圖5A表示圖4C的直線139上的應力分佈。橫軸表示X軸方向位置(mm)。縱軸表示應力(MPa)。關於X軸方向位置，將台面區域131a的中心點即中心點139a(參照圖4C)設為0.0 mm，從中心點139a算起的朝向+X軸方向的距離表示為正值，從中心點139a算起的朝向-X軸方向的距離表示為負值。另外，當縱軸所示的應力為正值時，表示施加拉伸應力的情況；當縱軸所示的應力為負值時，表示施 加壓縮應力的情況。在圖5A中，表示了在壓電振動片上形成有突起部133a的情況、與在壓電振動片上未形成有突起部133a的情況的結果，另外，各個結果表示了長邊彎曲與短邊彎曲的結果。在圖5A中，塗黑的菱形表示：無突起部133a的長邊彎曲的結果，留白的菱形表示：無突起部133a的短邊彎曲的結果，留白的圓表示：有突起部133a的長邊彎曲的結果，塗黑的圓表示：有突起部133a的短邊彎曲的結果。

在圖5A中，無突起部的長邊彎曲(塗黑菱形)與有突起部的長邊彎曲(留白圓)的值是：取得大致相同的值。即，在長邊彎曲的情況下，因突起部的有無而引起的應力值未出現差異。另一方面，在無突起部的短邊彎曲(留白菱形)與有突起部的短邊彎曲(塗黑圓)中，在X軸方向位置約為-0.5 mm至-0.2 mm的範圍內，有突起部的短邊彎曲的應力的大小是：比無突起部的短邊彎曲的應力的大小更小。

圖5B是表示台面區域131a的中心點139a及激振部131的-X軸側的端部的端點139b處的短邊彎曲的應力的圖。橫軸表示中心點139a及端點139b，縱軸表示應力。另外，在圖5B中表示了各點的有突起部時與無突起部時的應力。在台面區域131a的中心點139a處，無突起部時的應力為-0.097 MPa，有突起部時的應力為-0.090 MPa。另外，在激振部131的端點139b處，無突起部時的應力值為-0.800 MPa，有突起部時的應力值為-0.655 MPa。在台面區 域131a的中心點139a及激振部131的端點139b處，有突起部時的應力小於無突起部時的應力。已知：在激振部131的端點139b處，與無突起部的情況相比較，應力的強度減少了約18%。

藉由模擬已確認：在壓電振動片130中，在連結部133處形成突起部133a，藉此，施加至激振部131的應力減少。另外，連結部133的強度並不因形成突起部而減弱。因此，認為：壓電振動片130的耐衝擊性不會因形成突起部而減弱。因此，在壓電振動片130中，在連結部133處形成突起部133a，藉此，可不損害耐衝擊性而使施加至激振部131的應力減少。藉此，可防止壓電振動片的振動頻率等特性發生變化。特別是，一般在壓電振動片中，連結部的耐衝擊性最弱，因此，會產生顯著的效果。

<<壓電振動片130的變形例>>

形成於連結部的突起部是：也可與形成於壓電振動片130的突起部133a不同。以下，對壓電振動片230及壓電振動片330進行說明，所述壓電振動片230及壓電振動片330形成有：與壓電振動片130不同的突起部。另外，在以下的說明中，對與壓電振動片130相同的部分附上與壓電振動片130相同的記號，並將該部分的說明予以省略。

<壓電振動片230的構成>

圖6A是壓電振動片230的剖面圖。壓電振動片230是 由激振部131、將激振部131予以包圍的框部132、以及連結部233而形成，該連結部233將激振部131與框部132予以連結。與壓電振動片130的連結部133同樣地，連結部233連結於激振部131的-X軸側的邊即第一邊138a的中央。X軸方向的長度形成為長度LR，Z'軸方向的長度形成為長度WR。另外，在連結部233的+Y'軸側的面上形成有突起部233a。突起部233a形成為：與連結部133的+Y'軸側的面上所形成的突起部133a為相同的形狀。X軸方向的長度形成為長度LT，Z'軸方向的長度形成為長度WR。在壓電振動片230中，僅在連結部133的+Y'軸側形成有突起部，在-Y'軸側的面上未形成有突起部。

<壓電振動片330的構成>

圖6B是壓電振動片330的剖面圖。壓電振動片330是由激振部131、將激振部131予以包圍的框部132、以及連結部333而形成，該連結部333將激振部131與框部132予以連結。與壓電振動片130的連結部133同樣地，連結部333連結於激振部131的-X軸側的邊即第一邊138a的中央。X軸方向的長度形成為長度LR，Z'軸方向的長度形成為長度WR。另外，在連結部333的+Y'軸側的面及-Y'軸側的面上形成有突起部333a。形成於+Y'軸側的面的突起部333a形成為：與突起部133a相同的形狀，且形成於與突起部133a相同的位置，所述突起部133a形成於連結部133的+Y'軸側的面。X軸方向的長度形成為長度LT， Z'軸方向的長度形成為長度WR。另外，-Y'軸側的面上所形成的突起部333a形成為：與+Y'軸側的面上所形成的突起部333a相同的形狀，但形成位置形成於比+Y'軸側的面上所形成的突起部333a更偏向-X軸側的位置。即，在壓電振動片330中，+Y'軸側所形成的突起部與-Y'軸側的面上所形成的突起部，並非以彼此在Y'軸方向上呈對稱的方式而形成。

形成於壓電振動片的連結部的突起部是：如壓電振動片230所示，也可僅形成於連結部的一個面。另外，如壓電振動片330所示，連結部的+Y'軸側的面上所形成的突起部與-Y'軸側的面上所形成的突起部，也可並非以彼此在Y'軸方向上呈對稱的方式而形成。而且，雖已表示了如下的情況，即，在壓電振動片130中，兩個突起部133a形成於連結部133的+Y'軸側及-Y'軸側的各個面，但可形成一個突起部、或也可形成多個突起部。另外，在壓電振動片130中，如圖3B所示，台面區域131a與形成有突起部133a的連結部133形成為相同的厚度，但也可不形成為相同的厚度。

另一方面，當台面區域131a及周邊區域131b的階差的高度、與形成有突起部的連結部及未形成有突起部的連結部的階差的高度相同，且周邊區域131b與未形成有突起部的連結部的厚度相同時，可在形成台面區域131a的同時形成突起部。因此，可利用與未形成突起部的情況相同的步驟來形成壓電振動片130，無需設置僅用以形成突起部 的步驟，由此為較佳。

(第二實施方式)

形成於壓電振動片的突起部也可形成在連結部與激振電極之間的區域中。以下，對如下的壓電振動片進行說明，該壓電振動片的突起部形成在連結部與激振電極之間的區域中。另外，在以下的說明中，對與第一實施方式相同的部分附上與該部分相同的記號，並將該部分的說明予以省略。

<壓電振動片430的構成>

圖7A是未形成有電極的壓電振動片430的平面圖。壓電振動片430包含：激振部431；框部132，將激振部431予以包圍；以及連結部433，將激振部431與框部132予以連結。連結部433連結於激振部431的-X軸側的邊即第一邊138a的中央。另外，在圖7A中未表示電極，但與壓電振動片130相同的激振電極134及引出電極135形成於壓電振動片430(參照圖3A)。激振部431、框部132、以及連結部433的尺寸是：與圖4A中所說明的壓電振動片130的尺寸相同。另外，激振部431包括：台面區域131a，形成有激振電極134；以及周邊區域431b，形成在台面區域131a的周圍。在周邊區域431b的台面區域131a與連結部433之間的區域中，形成有突起部433a。周邊區域431b的+Y'軸側的面上所形成的兩個突起部433a是在X軸方向 上並排地形成。+X軸側的突起部433a的-Z'軸側的端部與連結部433的-Z'軸側的邊是在X軸方向上對齊地形成。-X軸側的突起部433a的+Z'軸側的端部與連結部433的+Z'軸側的邊是在X軸方向上對齊地形成。另外，形成於周邊區域431b的突起部433a分別形成於周邊區域431b的+Y'軸側的面及-Y'軸側的面。+Y'軸側所形成的突起部與-Y'軸側的面上所形成的突起部是：以彼此在Y'軸方向上呈對稱的方式而形成。而且，突起部433a的X軸方向的長度形成為長度LT，Z'軸方向的長度形成為長度WT。長度WT比連結部433的Z'軸方向的長度WR更長，該長度WT的長度形成為0.465 mm。

圖7B是壓電振動片430的短邊彎曲的模擬結果。圖7B中表示了壓電振動片430的激振部431及連結部433的平面圖。在圖7B中，在連結部433中表示了顏色濃的部分。設想強應力施加至連結部433。另外，已知：顏色淡的區域(灰色的區域)從連結部433向周邊區域431b延伸，施加了應力的區域從連結部433延伸至周邊區域431b。所述施加了應力的區域強烈地出現於-X軸側的突起部433a，但在+X軸側的突起部433a中未出現所述區域。因此，已知：與施加至連結部433的應力相比較，施加至+X軸側的突起部433a的應力頗小。另外，將台面區域131a的中心點設為中心點439a，將通過中心點439a且與X軸呈平行的直線設為直線439，將直線439上的點即激振部431的-X軸側的端部設為端點439b。

圖8A是表示激振部431的應力分佈的圖。圖8A表示圖7B的直線439上的應力分佈。橫軸表示X軸方向位置(mm)。縱軸表示應力(MPa)。關於X軸方向位置，將台面區域131a的中心點即中心點439a(參照圖7B)設為0.0 mm。將從中心點439a算起的朝向+X軸方向的距離表示為正值。從中心點439a算起的朝向-X軸方向的距離表示為負值。另外，當縱軸所示的應力為正值時，表示施加拉伸應力的情況；當縱軸所示的應力為負值時，表示施加壓縮應力的情況。在圖8A中，表示了形成有突起部433a的情況與未形成有突起部433a的情況的結果。另外，各個結果表示了長邊彎曲與短邊彎曲的結果。在圖8A中，塗黑的菱形表示：無突起部433a的長邊彎曲的結果，留白的菱形表示：無突起部433a的短邊彎曲的結果，留白的圓表示：有突起部433a的長邊彎曲的結果，塗黑的圓表示：有突起部433a的短邊彎曲的結果。

在圖8A中，無突起部433a的長邊彎曲(塗黑菱形)與有突起部433a的長邊彎曲(留白圓)的值大致相同。所述圖8A表示：因X軸方向的位置而引起的應力的變化的傾向也大致相同。另一方面，在無突起部433a的短邊彎曲(留白菱形)與有突起部433a的短邊彎曲(塗黑圓)中，在X軸方向位置大致為-0.4 mm至-0.1 mm的範圍內，有突起部433a的短邊彎曲的應力的絕對值稍小於無突起部433a的短邊彎曲的應力的絕對值。

圖8B是表示台面區域131a的中心點439a及激振部 431的-X軸側的端點439b處的短邊彎曲的應力的圖。橫軸表示中心點439a及端點439b，縱軸表示應力。另外，在圖8B中表示了各點的有突起部433a時與無突起部433a時的應力。在台面區域131a的中心點439a處，無突起部433a時的應力為-0.097 MPa，有突起部433a時的應力為-0.093 MPa。另外，在激振部431的端點439b處，無突起部433a時的應力為-0.800 MPa，有突起部433a時的應力為-0.758 MPa。在台面區域131a的中心點439a及激振部431的端點439b處，有突起部433a時的應力小於無突起部433a時的應力。已知：在激振部431的端點439b處，應力的強度減少了約5%。

藉由模擬已確認：在壓電振動片430中，施加至激振部431的應力也因形成突起部433a而減少。因此，在壓電振動片430中，藉由形成突起部433a，可不損害耐衝擊性而使施加至激振部431的應力減少。藉此，可防止壓電振動片430的振動頻率等特性發生變化。另外，認為：即使形成於壓電振動片430的突起部433a在Z'軸方向上的長度小於連結部433的長度WR，也可使從連結部433傳遞至台面區域131a的應力減少。然而，如圖7B所示，會在整個連結部433中產生應力。為了防止整個連結部433的應力傳遞至台面區域131a，突起部433a的Z'軸方向的長度優選為：與連結部433的Z'軸方向的長度相同、或為連結部433的Z'軸方向的長度以上。

<<壓電振動片430的變形例>>

形成於周邊區域的突起部也可與形成於壓電振動片430的突起部433a不同。以下，對壓電振動片530進行說明，該壓電振動片530形成有與壓電振動片430不同的突起部。另外，在以下的說明中，對與壓電振動片130或壓電振動片430相同的部分附上與壓電振動片130相同的記號，並將該部分的說明予以省略。

<壓電振動片530的構成>

圖9A是未形成有電極的壓電振動片530的平面圖。壓電振動片530是由激振部531、連結部433、以及框部132而形成。激振部531包括：台面區域131a，形成有激振電極134；以及周邊區域531b，形成在台面區域131a的周圍。在台面區域131a與連結部433之間的周邊區域531b的+Y'軸側的面及-Y'軸側的面上，形成有突起部533a。在周邊區域531b的+Y'軸側的面及-Y'軸側的面上，各形成有一個突起部533a。+Y'軸側的面上所形成的突起部533a與-Y'軸側的面上所形成的突起部533a是：以彼此在Y'軸方向上呈對稱的方式而形成。突起部533a的X軸方向的長度為長度LT，Z'軸方向的長度為長度WT2。在壓電振動片530中，長度WT2形成為0.65 mm。另外，連結部433的中心與突起部533a的中心處於沿著X軸方向延伸的直線上。

圖9B是壓電振動片530的短邊彎曲的模擬結果。圖9B中表示了壓電振動片530的激振部531及連結部433 的平面圖。已知：在圖9B中，與圖7B同樣地，施加了應力的區域從連結部433延伸至周邊區域531b。在比突起部533a更靠+X軸側的區域中，未出現所述施加了應力的區域。已知：與施加至連結部433的應力相比較，施加至突起部533a的+X軸側的應力頗小。根據圖9B，已知：即使突起部僅為一個，也可使來自連結部的應力減弱。

(第三實施方式)

形成於壓電振動片的連結部有時連結於激振部的各種部位。以下，對如下的壓電振動片的例子進行說明，該壓電振動片的連結部連結於激振部的第一邊的兩端。另外，在以下的說明中，對與第一實施方式相同的部分附上與第一實施方式相同的記號，並將該部分的說明予以省略。

<壓電振動片630的構成>

圖10A是未形成有電極的壓電振動片630的平面圖。壓電振動片630是由激振部131、框部132、以及連結部633而形成。連結部633分別連結於激振部131的-X軸側的邊即第一邊138a的兩端。另外，在激振部131與框部132之間的連結部633以外的區域中形成有貫通孔636，該貫通孔636沿著Y'軸方向將壓電振動片630予以貫通。在壓電振動片630的各連結部633的+Y'軸側及-Y'軸側的面上，分別形成有一個突起部633a。+Y'軸側的面上所形成的突起部633a與-Y'軸側的面上所形成的突起部633a是： 以彼此在Y'軸方向上呈對稱的方式而形成。各突起部633a的Z'軸方向的長度是：與各連結部633的Z'軸方向的長度相等。

<壓電振動片730的構成>

圖10B是未形成有電極的壓電振動片730的平面圖。壓電振動片730是由激振部731、框部132、以及連結部733而形成。激振部731包含：台面區域131a，形成有激振電極134；以及周邊區域731b，形成在台面區域131a的周圍。另外，連結部733分別連結於激振部731的-X軸側的邊即第一邊138a的兩端。在台面區域131a與連結部733之間的周邊區域731b的+Y'軸側及-Y'軸側的面上，分別形成有突起部733a。各突起部733a比各連結部733的Z'軸方向的長度更長。+Y'軸側的面上所形成的突起部733a與-Y'軸側的面上所形成的突起部733a是：以彼此在Y'軸方向上呈對稱的方式而形成。

突起部也可形成於如壓電振動片630及壓電振動片730所示的壓電振動片，該壓電振動片的兩個連結部連結於激振部。另外，突起部也可形成於連結部僅連結於第一邊138a的一方的端部的壓電振動片、及連結部分別連結於激振部的+X軸側及-X軸側的兩端固定型壓電振動片等。

(第四實施方式)<壓電元件1100的構成>

圖11是壓電元件1100的分解立體圖。壓電元件1100 包含：蓋板1110、基底板1120、以及壓電振動片1130。壓電振動片1130中，例如使用AF切割的晶體振動片。AF切割的晶體振動片的主面(YZ面)相對於結晶軸(XYZ)的Y軸，以X軸為中心，從Z軸向Y軸方向傾斜35度15分。在以下的說明中，以AT切割的晶體振動片的軸方向為基準，使用傾斜的新的軸作為Y'軸以及Z'軸。即，壓電元件1100中，將壓電元件1100的長邊方向作為X軸方向，將壓電元件1100的高度方向作為Y'軸方向，將與X軸方向及Y'軸方向垂直的方向作為Z'軸方向來進行說明。

壓電振動片1130包含：激振部1131，以規定的頻率發生振動，且形成為四邊形狀；框部1132，將激振部1131予以包圍；以及一個連結部1133，將激振部1131與框部1132予以連結。激振部1131與框部1132之間的連結部1133以外的區域成為貫通孔1136，該貫通孔1136沿著Y'軸方向將壓電振動片1130予以貫通。在激振部1131的+Y'軸側的面及-Y'軸側的面上形成有激振電極1134。另外，激振部1131是由台面區域1131a與周邊區域1131b而形成，所述台面區域1131a形成有激振電極1134，所述周邊區域1131b形成在台面區域1131a的周圍，且Y'軸方向的厚度比台面區域1131a更薄。引出電極1135分別從形成於+Y'軸側及-Y'軸側的面的激振電極1134開始，通過連結部1133而引出至框部1132的-Y'軸側的面為止。而且，框部1132包括：第一區域1137a與第二區域1137b。第一區域1137a的Y'軸方向的厚度與連結部1133相同。第二區域 1137b的Y'軸方向的厚度比第一區域1137a更厚。連結部1133連結於包含框部1132的第一區域1137a的區域。

基底板1120配置在壓電振動片1130的-Y'軸側。基底板1120形成為矩形形狀，該矩形形狀在X軸方向上具有長邊，在Z'軸方向上具有短邊。在基底板1120的-Y'軸側的面上形成有一對外部電極1124。該外部電極1124經由焊料而固定於印刷基板等，且與該印刷基板等形成電性連接。藉此，壓電元件1100安裝於印刷基板等。另外，在基底板1120的四個角落的側面形成有城堡形部分1126，在城堡形部分1126中形成有城堡形電極1125。在基底板1120的+Y'軸側的面上形成有凹部1121，在凹部1121的周圍形成有接合面1122。另外，在接合面1122的四個角落、即在城堡形部分1126的周圍形成有連接電極1123。該連接電極1123經由形成於城堡形部分1126的城堡形電極1125而電性連接於外部電極1124。基底板1120在接合面1122上，經由密封材料1141(參照圖12)而接合於壓電振動片1130的框部1132的-Y'軸側的面。另外，連接電極1123與壓電振動片1130的引出電極1135形成電性連接。

蓋板1110配置在壓電振動片1130的+Y'軸側。在蓋板1110的-Y'軸側的面上形成有凹部1111，在凹部1111的周圍形成有接合面1112。蓋板1110在接合面1112上，經由密封材料1141(參照圖12)而接合於壓電振動片1130的框部1132的+Y'軸側的面。

圖12是圖11的XII-XII剖面的剖面圖。壓電元件1100 包括壓電振動片1130，該壓電振動片1130具有框部1132。蓋板1110的接合面1112經由密封材料1141而接合於框部1132的+Y'軸側的面。基底板1120的接合面1122經由密封材料1141而接合於框部1132的-Y'軸側的面。藉此，對壓電元件1100的內部進行密封。當將壓電振動片1130與基底板1120予以接合時，框部1132的-Y'軸側的面上所形成的引出電極1135、與基底板1120的接合面1122上所形成的連接電極1123形成電性連接。藉此，台面區域1131a的+Y'軸側及-Y'軸側所形成的各激振電極1134是：經由引出電極1135、連接電極1123、以及城堡形電極1125，而電性連接於外部電極1124。

圖13A是壓電振動片1130的平面圖。壓電振動片1130包含：激振部1131，形成為矩形形狀；框部1132，將激振部1131予以包圍；以及一個連結部1133，將激振部1131與框部1132予以連結。激振部1131包括第一邊1138a與第二邊1138b，所述第一邊1138a是激振部1131的-X軸側的邊，所述第二邊1138b是激振部1131的+Z'軸側及-Z'軸側的邊。另外，框部1132是由：在Z'軸方向延伸的第一框體1132a、與在X軸方向延伸的第二框體1132b形成，且框部1132將激振部1131予以包圍。在激振部1131的-X軸側所形成的第一框體1132a中，包括第一區域1137a及第二區域1137b。第一區域1137a的Y'軸方向的厚度與連結部1133相同。第二區域1137b的Y'軸方向的厚度比第一區域1137a更厚。連結部1133連結於包含框部1132的 第一區域1137a的區域。另外，連結部1133連結於激振部1131的第一邊1138a的中央。激振部1131與框部1132之間的連結部1133以外的區域成為貫通孔1136，該貫通孔1136沿著Y'軸方向將壓電振動片1130予以貫通。形成於激振部1131的周邊區域1131b是：以將台面區域1131a予以包圍的方式而形成。引出電極1135從台面區域1131a的+Y'軸側的面上所形成的激振電極1134開始，經由周邊區域1131b、連結部1133的+Y'軸側的面、連結部1133的+Z'軸側的側面1133a、及連結部1133的-Y'軸側的面，而引出至框部1132的-Y'軸側的面的-X軸側的+Z'軸側的角部為止。另外，引出電極1135從台面區域1131a的-Y'軸側的面上所形成的激振電極1134(參照圖13B)開始，經由周邊區域1131b以及連結部1133的-Y'軸側的面，而引出至框部1132。引出電極1135進而在框部1132的-Y'軸側的面上沿著-Z'軸方向及+X軸方向延伸。引出電極1135引出至框部1132的-Y'軸側的面的+X軸側的-Z'軸側的角部為止。

圖13B是圖13A的XIIIB-XIIIB剖面圖。在壓電振動片1130中，第一區域1137a以外的框部1132的Y'軸方向的厚度形成為第三厚度T3，台面區域1131a的Y'軸方向的厚度形成為第二厚度T2，周邊區域1131b、連結部1133、以及框部1132的第一區域1137a的Y'軸方向的厚度形成為第一厚度T1。在壓電振動片1130中，第三厚度T3形成得比第二厚度T2及第一厚度T1更厚，第二厚度T2形成 得比第一厚度T1更厚。對於壓電振動片1130而言，在頻率例如為40 MHz的情況下，第二厚度T2形成為41.75 μm。

<壓電振動片1130的模擬結果>

在將壓電元件1100安裝於印刷基板的狀態下，進行用以求出如下的應力的模擬，該應力是在使印刷基板彎曲的情況下施加至壓電振動片1130的應力。設想如下的兩種情況來進行模擬，所述兩種情況是指：在壓電元件1100的長邊方向(X軸方向)上使印刷基板彎曲的情況(長邊彎曲)、及在短邊方向(Z'軸方向)上使印刷基板彎曲的情況(短邊彎曲)。以下，對壓電振動片1130的模擬結果進行說明。

圖14A是未形成有電極的壓電振動片1130的平面圖。將壓電振動片1130的框部1132的Z'軸方向的整體長度設為長度WA，將框部1132的X軸方向的整體長度設為長度LA，將第一框體1132a的X軸方向的長度設為長度LC，將激振部1131的第一邊1138a的長度設為長度WS，將第二邊1138b的長度設為長度LS，將台面區域1131a的X軸方向的長度設為LM，將Z'軸方向的長度設為長度WM，將連結部1133的Z'軸方向的長度設為長度WR，以及將連結部1133的X軸方向的長度設為長度LR，將框部1132的第一區域1137a的X軸方向的長度設為長度LB。將長度LA設為2.0 mm，將長度WA設為1.6 mm，將長度LC設為0.2 mm，將長度LS設為1.3 mm，將長度WS設為0.95 mm，將長度LM設為0.78 mm，將長度WM設為0.66 mm，將長度LR設為0.1 mm，將長度WR設為0.32 mm，將長 度LB設為0.1 mm來進行模擬。

圖14B是壓電振動片1130的短邊彎曲的模擬結果。在圖14B中，僅表示了壓電振動片1130的激振部1131及連結部1133的平面圖。在圖14B中，台面區域1131a的顏色(白色)是幾乎未施加應力的狀態的顏色。比該顏色更濃的部位表示施加有應力。另外，接近於黑色的部位施加了最強的應力。在圖14B中，在連結部1133及該連結部1133的周邊表示了顏色濃的部分。已知：在連結部1133及該連結部1133的周邊產生了應力。另外，將台面區域1131a的中心點設為中心點1139a，將通過中心點1139a且與X軸呈平行的直線設為直線1139，將直線1139上的點即激振部1131的-X軸側的端部設為端點1139b。

圖15A是表示激振部1131的應力分佈的圖。圖15A表示圖14B的直線1139上的應力分佈。橫軸表示X軸方向位置(mm)。縱軸表示應力(MPa)。關於X軸方向位置，將台面區域1131a的中心點即中心點1139a(參照圖14B)設為0.0 mm。從中心點1139a算起的朝向+X軸方向的距離表示為正值。從中心點1139a算起的朝向-X軸方向的距離表示為負值。另外，當縱軸所示的應力為正值時，表示施加拉伸應力的情況；當縱軸所示的應力為負值時，表示施加壓縮應力的情況。另外，在圖15A中，表示了在壓電振動片1130中形成有第一區域1137a的情況、與在壓電振動片1130中未形成有第一區域1137a的情況的結果。各個結果表示了長邊彎曲及短邊彎曲的結果。在圖15A 中，塗黑的菱形表示：無第一區域1137a的長邊彎曲的結果，留白的菱形表示：無第一區域1137a的短邊彎曲的結果，留白的圓表示：有第一區域1137a的長邊彎曲的結果，塗黑的圓表示：有第一區域1137a的短邊彎曲的結果。

在圖15A中，表示了無第一區域的長邊彎曲(塗黑菱形)與有第一區域的長邊彎曲(留白圓)。有第一區域的長邊彎曲時的應力的絕對值小於無第一區域的長邊彎曲時的應力的絕對值。另一方面，圖15A是以如下的方式來表示：無第一區域的短邊彎曲(留白菱形)與有第一區域的短邊彎曲(塗黑圓)。有第一區域的短邊彎曲時的應力的絕對值小於無第一區域的短邊彎曲時的應力的絕對值。

圖15B是表示台面區域1131a的中心點1139a及激振部1131的-X軸側的端點1139b處的短邊彎曲的應力的圖。橫軸表示中心點1139a及端點1139b，縱軸表示應力。另外，在圖15B中，表示了各點的有第一區域時與無第一區域時的應力。在台面區域1131a的中心點1139a處，無第一區域時的應力為-0.501 MPa，有第一區域時的應力為-0.390 MPa。另外，在激振部1131的端點1139b處，無第一區域時的應力為-1.354 MPa，有第一區域時的應力為-1.049 MPa。在台面區域1131a的中心點1139a及激振部1131的端點1139b處，有第一區域時的應力小於無第一區域時的應力。已知：在激振部1131的端點1139b處，應力的強度減少了約22%。

圖15A及圖15B的結果如下所述。在壓電振動片1130 的框部1132中形成有第一區域1137a。已知：藉此，施加至激振部1131的應力減少。另外，形成有第一區域1137a的壓電振動片1130與“未形成有第一區域1137a的壓電振動片1130”相比較，“與連結部1133相鄰接的激振部1131的端點1139b”的應力更小。因此，認為：施加至連結部1133的應力減少。因此，認為：壓電振動片的耐衝擊性不會因形成第一區域而減弱。因此，在壓電振動片1130中，在框部1132處形成第一區域1137a，藉此，可不損害耐衝擊性而使施加至激振部1131的應力減少。藉此，可防止壓電振動片的振動頻率等特性發生變化。另外，在“形成有激振部、框部、以及連結部的壓電振動片”中，“連結部的X軸方向的長度”越長，則“框部的應力”越不易傳遞至激振部，使激振部的應力減小。已知：藉由在框部形成第一區域，可與使“連結部的X軸方向的長度”變長同樣地，而抑制“施加至激振部的應力”。即，即使將連結部的X軸方向的長度設計成短的長度，也可藉由在框部形成第一區域來抑制施加至激振部的應力。對於壓電振動片而言，只要可將連結部的X軸方向的長度設計成短的長度，則可相應地使激振部的設計允許範圍擴大，由此為較佳。

在壓電振動片1130中，框部1132的第二區域1137b接合於蓋板1110及基底板1120，從而對壓電元件1100的內部進行密封。因此，長度LC比長度LB更長。另外，為了確保充分的接合區域，較為理想的是，長度LB為長度LC的一半或一半以下，所述充分的接合區域用以使壓 電元件1100的內部的密封不會解除。

(第五實施方式)

形成於框部且連結於連結部的第一區域也可形成為如下的各種形狀，所述各種形狀與形成於壓電振動片1130的第一區域不同。另外，根據形成於壓電振動片的連結部的位置來形成所述第一區域。以下，對形成有與壓電振動片1130不同的第一區域的壓電振動片進行說明。另外，在以下的說明中，對與壓電振動片1130相同的部分及已說明過一次的部分附上與該部分相同的記號，並將該部分的說明予以省略。

<壓電振動片1230的構成>

圖16A是未形成有電極的壓電振動片1230的平面圖。壓電振動片1230是由：包括台面區域1131a及周邊區域1131b的激振部1131、將激振部1131予以包圍的框部1232、以及將激振部1131與框部1232予以連結的連結部1133而形成。框部1232是由：在Z'軸方向延伸的第一框體1232a及在X軸方向延伸的第二框體1232b而形成。在框部1232的-X軸側的第一框體1232a中，形成有第一區域1237a與第二區域1237b。第一區域1237a形成為與連結部1133相同的厚度，且連結於連結部1133。第二區域1237b的厚度比第一區域1237a的厚度更厚。壓電振動片1230包括：第二框體1232b與第一框體1232a，該第一框 體1232a具有第二區域1237b。蓋板1110接合於第二框體1232b及第二區域1237b的+Y'軸側，基底板1120接合於第二框體1232b及第一框體1232a的-Y'軸側的面。藉此，形成壓電元件。

圖16B是圖16A的虛線1161所包圍的區域的放大圖。將第一區域1237a的+X軸側的邊設為第三邊1238c，將第一區域1237a的-X軸側的邊設為第四邊1238d。第三邊1238c的長度形成為長度WR，該長度WR與連結部1133的Z'軸方向的長度相同。第四邊1238d的長度形成為長度WB2。長度WB2小於長度WR。第三邊1238c及第四邊1238d的兩端彼此由直線連結。即，第一區域1237a的平面形狀形成為梯形。對於壓電振動片1230而言，可藉由形成第一區域1237a來抑制施加至激振部1131的應力，並且由於長度WB2形成得小於長度WR，因此，第二區域1237b的面積擴大。因此，可更強力地將框部1232與蓋板1110及基底板1120予以粘接，從而可更強力地對壓電元件的內部進行密封。

圖16C是壓電振動片1230a的剖面圖。壓電振動片1230a是壓電振動片1230的變形例。圖16C中表示了與圖16A的XVIC-XVIC剖面相當的剖面圖。對於壓電振動片1230a而言，連結部1133及第一區域1237a的Y'軸方向的厚度形成為第二厚度T2，其他構成與壓電振動片1230相同。連結部1133及第一區域1237a形成得厚，因此，可使壓電振動片1230a的耐衝擊性提高。此種連結部及第一區 域的厚度形成得厚的構成，也可使用於第四實施方式中所說明的壓電振動片1130及第五實施方式中所說明的其他壓電振動片。另外，當“連結部1133及第一區域1237a”與周邊區域1131b的階差形成得：和台面區域1131a與周邊區域1131b的階差相等時，可同時形成連結部1133、第一區域1237a、以及台面區域1131a。藉此，可使製造步驟簡化，由此為較佳。

<壓電振動片1330的構成>

圖17A是未形成有電極的壓電振動片1330的平面圖。壓電振動片1330是由：包括台面區域1131a及周邊區域1131b的激振部1131、將激振部1131予以包圍的框部1332、以及將激振部1131與框部1332予以連結的連結部1133而形成。框部1332是由：在Z'軸方向延伸的第一框體1332a及在X軸方向延伸的第二框體1332b而形成。在框部1332的-X軸側的第一框體1332a中，形成有第一區域1337a、及第二區域1337b。第一區域1337a形成為與連結部1133相同的厚度，且連結於連結部1133。第二區域1337b的厚度比第一區域1337a的厚度更厚。壓電振動片1330包括：第二框體1332b與第一框體1332a，該第一框體1332a具有第二區域1337b。蓋板1110接合於第二框體1332b與第二區域1337b的+Y'軸側的面，基底板1120接合於第二框體1332b與第一框體1332a的-Y'軸側的面。藉此，形成壓電元件。

圖17B是圖17A的虛線1162所包圍的區域的放大圖。第一區域1337a的+X軸側的邊為第三邊1238c，第一區域1337a的-X軸側的邊為第四邊1238d。第一區域1337a相當於如下的形狀，該形狀是以平面1338e來對壓電振動片1130的第一區域1137a(參照圖14A)的-X軸側的角部進行倒角所得的形狀。來自印刷基板等的應力施加至框部。特別是，應力容易集中於第一區域的角部等前端變尖的部位。認為：由於以所述角部為起點而產生裂紋等，因此，壓電振動片會破損。在對第一區域的角部進行了倒角的情況下，可防止應力集中於第一區域的角部，壓電振動片1330不易破損，耐衝擊性提高。

圖17C是以曲面進行倒角的第一區域1337a的平面圖。圖17C是以如下的方式來表示第一區域1337a。壓電振動片1330包括第一區域1337a，該第一區域1337a具有第四邊1238d。以如下的狀態來表示第四邊1238d，該狀態是指：藉由曲面1338f來對該第四邊1238d的兩端的角部進行了倒角的狀態。如圖17C所示，藉由曲面1338f來對第一區域1337a進行倒角。藉此，與圖17B所示的第一區域1337a同樣地，不會使施加至第一區域的角部的應力集中，可使壓電振動片的耐衝擊性提高。

<壓電振動片1430的構成>

圖18A是未形成有電極的壓電振動片1430的平面圖。壓電振動片1430是由：包括台面區域1131a及周邊區域 1131b的激振部1131、將激振部1131予以包圍的框部1432、以及將激振部1131與框部1432予以連結的連結部1133而形成。框部1432是由：在Z'軸方向延伸的第一框體1432a及在X軸方向延伸的第二框體1432b而形成。在框部1432的-X軸側的第一框體1432a中，形成有第一區域1437a與第二區域1437b。第一區域1437a形成為與連結部1133相同的厚度，且連結於連結部1133。第二區域1437b的厚度比第一區域1437a的厚度更厚。壓電振動片1430包括：第二框體1432b與第一框體1432a，該第一框體1432a具有第二區域1437b。蓋板1110接合於第二框體1432b與第二區域1437b的+Y'軸側的面，基底板1120接合於第二框體1432b與第一框體1432a的-Y'軸側的面。藉此，形成壓電元件。

圖18B是圖18A的虛線1163所包圍的區域的放大圖。第一區域1437a的+X軸側的邊為第三邊1438c，第一區域1437a的-X軸側的邊為第四邊1238d。第三邊1438c及第四邊1238d的長度均為長度WB2，第一區域1437a形成為矩形形狀。對於壓電振動片1430而言，可藉由形成第一區域1437a來抑制施加至激振部1131的應力，並且長度WB2形成得小於長度WR，藉此，與壓電振動片1130相比較，第二區域的面積擴大。因此，可更強力地將框部1432與蓋板1110及基底板1120予以粘接，從而可更強力地對壓電元件的內部進行密封。

<壓電振動片1530的構成>

圖18C是未形成有電極的壓電振動片1530的平面圖。壓電振動片1530是由：包括台面區域1131a及周邊區域1131b的激振部1131、將激振部1131予以包圍的框部1532、以及將激振部1131與框部1532予以連結的連結部1133而形成。框部1532是由：在Z'軸方向延伸的第一框體1532a及在X軸方向延伸的第二框體1532b而形成。在框部1532的-X軸側的第一框體1532a中，形成有第一區域1537a與第二區域1537b。第一區域1537a形成為與連結部1133相同的厚度，且連結於連結部1133。第二區域1537b的厚度比第一區域1537a的厚度更厚。壓電振動片1530的蓋板1110接合於第二區域1537b的+Y'軸側的面，基底板1120接合於第一框體1532a的-Y'軸側的面。藉此，形成壓電元件。

圖18D是圖18C的虛線1164所包圍的區域的放大圖。第一區域1537a的+X軸側的邊為第三邊1538c，第一區域1537a的-X軸側的邊為第四邊1538d。第三邊1538c及第四邊1538d的長度均為長度WB3，第一區域1537a形成為矩形形狀。另外，長度WB3形成得比長度WR更長。壓電振動片1530的第一區域1537a的長度WB3形成得大於連結部1133的長度WR，第一區域的面積擴大。藉此，認為與壓電振動片1130相比較，可抑制施加至激振部1131的應力。

<壓電振動片1630的構成>

圖19A是未形成有電極的壓電振動片1630的平面圖。壓電振動片1630是由：包括台面區域1131a及周邊區域1131b的激振部1131、將激振部1131予以包圍的框部1632、以及將激振部1131與框部1632予以連結的連結部1633而形成。激振部1131與框部1632之間的連結部1633以外的區域成為貫通孔1636，該貫通孔1636沿著Y'軸方向將壓電振動片1630予以貫通。連結部1633連結於激振部1131的-X軸側的邊的-Z'軸側的端部，該連結部1633的Z'軸方向的長度形成為長度WR。框部1632是由：在Z'軸方向延伸的第一框體1632a及在X軸方向延伸的第二框體1632b而形成。在框部1632的-X軸側的第一框體1632a中，形成有第一區域1637a與第二區域1637b。第一區域1637a形成為與連結部1633相同的厚度，且連結於連結部1633。第二區域1637b的厚度比第一區域1637a的厚度更厚。在壓電振動片1630中，第一區域1637a的Z'軸方向的長度形成為長度WR，該長度WR與連結部1633的Z'軸方向的長度相同。

<壓電振動片1730的構成>

圖19B是未形成有電極的壓電振動片1730的平面圖。壓電振動片1730是由：包括台面區域1131a及周邊區域1131b的激振部1131、將激振部1131予以包圍的框部1732、以及將激振部1131與框部1732予以連結的連結部 1733而形成。激振部1131與框部1732之間的連結部1733以外的區域成為貫通孔1736，該貫通孔1736沿著Y'軸方向將壓電振動片1730予以貫通。連結部1733連結於激振部1131的-X軸側的邊即第一邊1138a的-Z'軸側及+Z'軸側的端部。框部1732是由：在Z'軸方向延伸的第一框體1732a及在X軸方向延伸的第二框體1732b而形成。在框部1732的-X軸側的第一框體1732a中，形成有第一區域1737a與第二區域1737b。第一區域1737a形成為與連結部1733相同的厚度，且分別連結於各連結部1733。第二區域1737b的厚度比第一區域1737a的厚度更厚。各連結部1733與各第一區域1737a的Z'軸方向的長度分別形成為長度WR2。

壓電振動片1630及壓電振動片1730的連結部的形成位置與壓電振動片1130不同。如壓電振動片1630及壓電振動片1730所示，壓電振動片的框部包括第一區域，該第一區域連結於連結部。可根據連結部的形成位置而形成第一區域。

以上，已詳細地對本發明的最佳實施方式進行了說明，但對於本領域技術人員而言，顯然可在本發明的技術範圍內，對實施方式添加各種變更、變形來實施本發明。具體而言，可將第一實施方式~第三實施方式與第四實施方式、第五實施方式加以組合。

例如在所述實施方式中，表示了壓電振動片為AT切割的晶體振動片的情況，但同樣地，即使所述壓電振動片為以厚度剪力模式(thickness shear mode)而發生振動的BT 切割的晶體振動片等，也可同樣適用。而且，壓電振動片基本上不僅可應用晶體材料，而且可應用包含鉭酸鋰或鈮酸鋰或者壓電陶瓷的壓電材料。

第一觀點的壓電振動片包括：矩形形狀的激振部、將激振部予以包圍的框部、連結部、以及突起部。激振部包含：兩個主面、所述兩個主面上的一對激振電極、在第一方向延伸的第一邊、以及在第二方向延伸的第二邊。第二邊比第一邊更長。第二方向與第一方向正交。連結部將激振部的第一邊與框部予以連結。連結部的厚度比框部的厚度更薄。在連結部、和連結部與激振電極之間的區域的至少一方，突起部向厚度方向突出地形成。激振電極形成於連結部的第二方向。突起部的第一方向的長度是：與連結部的第一方向的長度相同、或為連結部的第一方向的長度以上。

根據第一觀點，對於第二觀點的壓電振動片而言，連結部連結於激振部的第一邊的中央。

根據第一觀點及第二觀點，對於第三觀點的壓電振動片而言，突起部形成在兩個主面上。一方的主面上所形成的突起部、與另一方的主面上所形成的突起部是以在厚度方向上呈對稱的方式而形成。

根據第一觀點至第三觀點，對於第四觀點的壓電振動片而言，激振部包括：台面區域與周邊區域。台面區域形成有激振電極。周邊區域形成在台面區域的周圍，且周邊區域的厚度比台面區域的厚度更薄。周邊區域的厚度與連 結部的厚度相等。

根據第四觀點，第五觀點的壓電振動片在突起部的厚度方向上具有高度。該高度是：與台面區域的從周邊區域算起的朝向厚度方向的高度相等。

第六觀點的壓電元件包含：第一觀點至第五觀點的壓電振動片；蓋板，接合於壓電振動片的框部的一方的主面；以及基底板，接合於壓電振動片的框部的另一方的主面。

第七觀點的壓電振動片包括：激振部、框部、以及連結部。激振部在兩個主面上形成有一對激振電極，且具有矩形形狀，該矩形形狀包含：在第一方向延伸的第一邊及在第二方向延伸的第二邊。第二邊比第一邊更長。第二方向與第一方向正交。框部包括：在第一方向延伸的第一框體、與在第二方向延伸的第二框體。第一框體及第二框體將激振部予以包圍。第一框體包含：第一厚度的第一區域、與比第一厚度更厚的第二區域。連結部為第一厚度。連結部將激振部的第一邊與第一框體的第一區域予以連結。第一框體的第二方向的長度比第一區域的第二方向的長度更長。

根據第七觀點，對於第八觀點的壓電振動片而言，連結部為一個。該連結部連結於激振部的第一邊的中央。

根據第七觀點，對於第九觀點的壓電振動片而言，連結部連結於激振部的第一邊的至少一方的端部。

根據第七觀點至第九觀點，第十觀點的壓電振動片包含：第三邊與第四邊。在第三邊上，第一區域與連結部發 生接觸，該第三邊在第一方向延伸。第四邊處於第一區域的連結部的相反側。第三邊的長度是：與第四邊的長度相同、或為第四邊的長度以上。

根據第十觀點，第十一觀點的壓電振動片包括：與第一區域的第四邊的兩端發生接觸的角部。藉由曲面或平面來對角部進行倒角。

根據第十觀點或第十一觀點，對於第十二觀點的壓電振動片而言，第三邊的長度是：與連結部的第一方向的長度相同、或為連結部的第一方向的長度以下。

根據第七觀點至第十二觀點，對於第十三觀點的壓電振動片而言，第一區域的第二方向的長度為：第一框體的第二方向的長度的一半、或所述第一框體的所述第二方向的長度的一半以下。

根據第七觀點至第十三觀點，對於第十四觀點的壓電振動片而言，激振部包括：台面區域與周邊區域。在台面區域中形成有激振電極。周邊區域是：形成在台面區域的周圍，且厚度比台面區域的厚度更薄的區域。周邊區域的厚度為第一厚度。

第十五觀點的壓電元件包含：第七觀點至第十四觀點的壓電振動片；蓋板，接合於壓電振動片的框部的一方的主面；以及基底板，接合於壓電振動片的框部的另一方的主面。

根據本發明的壓電振動片及壓電元件，可抑制對於激振部的應力的影響。

在所述說明書中，已對本發明的原理、優選實施方式、及處理模式進行了說明。然而，需被保護的發明並不特別限定於所述實施方式。而且，此處所述的實施方式是例示，並不對本發明進行限定。在不脫離本發明的宗旨的範圍內，本領域技術人員可進行變更及改良，並可使用對等物。因此，顯然權利要求書所定義的本發明的宗旨及範疇內的全部的變更、改良及對等物包含於本發明。

100‧‧‧壓電元件

110、1110‧‧‧蓋板

111、121、1111、1121‧‧‧凹部

112、122、1112、1122‧‧‧接合面

120、1120‧‧‧基底板

123、1123‧‧‧連接電極

124、1124‧‧‧外部電極

125、1125‧‧‧城堡形電極

126、1126‧‧‧城堡形部分

130、230、330、430、530、630、730、1130、1230、1230a、1330、1430、1530、1630、1730‧‧‧壓電振動片

131、431、531、731、1131‧‧‧激振部

131a、1131a‧‧‧台面區域

131b、431b、531b、731b、1131b‧‧‧周邊區域

132、1132、1232、1332、1432、1532、1632、1732‧‧‧框部

133、233、333、433、633、733、1133、1633、1733‧‧‧連結部

133a、233a、333a、433a、533a、633a、733a‧‧‧突起部

133b、1133a‧‧‧側面

134、1134‧‧‧激振電極

135、1135‧‧‧引出電極

136、636、1136、1636、1736‧‧‧貫通孔

138a、1138a‧‧‧第一邊

138b、1138b‧‧‧第二邊

139、439、1139‧‧‧直線

139a、439a、1139a‧‧‧中心點

139b、439b、1139b‧‧‧端點

141、1141‧‧‧密封材料

161、1161~1164‧‧‧虛線

1132a、1232a、1332a、1432a、1532a、1632a、1732a‧‧‧第一框體

1132b、1232b、1332b、1432b、1532b、1632b、1732b‧‧‧第二框體

1137a、1237a、1337a、1437a、1537a、1637a、1737a‧‧‧第一區域

1137b、1237b、1337b、1437b、1537b、1637b、1737b‧‧‧第二區域

1238c、1438c、1538c‧‧‧第三邊

1238d、1538d‧‧‧第四邊

1338e‧‧‧平面

1338f‧‧‧曲面

II-II、IIIB-IIIB、XII-XII、XIIIB-XIIIB、XVIC-XVIC‧‧‧剖面

LA、LB、LC、LM、LR、LRa、LS、LT、WA、WB2、WB3、WM、WR、WR2、WT、WT2‧‧‧長度

T1‧‧‧厚度/第一厚度

T2‧‧‧厚度/第二厚度

T3‧‧‧厚度

圖1是壓電元件100的分解立體圖。

圖2是圖1的II-II剖面的剖面圖。

圖3A是壓電振動片130的平面圖。

圖3B是圖3A的IIIB-IIIB剖面圖。

圖4A是未形成有電極的壓電振動片130的平面圖。

圖4B是圖4A的虛線161所包圍的區域的放大平面圖。

圖4C是壓電振動片130的短邊彎曲的模擬結果。

圖5A是表示激振部131的應力分佈的圖。

圖5B是表示台面區域131a的中心點139a及激振部131的-X軸側的端部的端點139b處的短邊彎曲的應力的圖。

圖6A是壓電振動片230的剖面圖。

圖6B是壓電振動片330的剖面圖。

圖7A是未形成有電極的壓電振動片430的平面圖。

圖7B是壓電振動片430的短邊彎曲的模擬結果。

圖8A是表示激振部431的應力分佈的圖。

圖8B是表示台面區域131a的中心點439a及激振部431的-X軸側的端點439b處的短邊彎曲的應力的圖。

圖9A是未形成有電極的壓電振動片530的平面圖。

圖9B是壓電振動片530的短邊彎曲的模擬結果。

圖10A是未形成有電極的壓電振動片630的平面圖。

圖10B是未形成有電極的壓電振動片730的平面圖。

圖11是壓電元件1100的分解立體圖。

圖12是圖11的XII-XII剖面的剖面圖。

圖13A是壓電振動片1130的平面圖。

圖13B是圖13A的XIIIB-XIIIB剖面圖。

圖14A是未形成有電極的壓電振動片1130的平面圖。

圖14B是壓電振動片1130的短邊彎曲的模擬結果。

圖15A是表示激振部1131的應力分佈的圖。

圖15B是表示台面區域1131a的中心點1139a及激振部1131的-X軸側的端點1139b處的短邊彎曲的應力的圖。

圖16A是未形成有電極的壓電振動片1230的平面圖。

圖16B是圖16A的虛線1161所包圍的區域的放大平面圖。

圖16C是壓電振動片1230a的XVIC-XVIC剖面圖。

圖17A是未形成有電極的壓電振動片1330的平面圖。

圖17B是圖17A的虛線1162所包圍的區域的放大平面圖。

圖17C是以曲面進行倒角的第一區域1337a的平面圖。

圖18A是未形成有電極的壓電振動片1430的平面圖。

圖18B是圖18A的虛線1163所包圍的區域的放大平面圖。

圖18C是未形成有電極的壓電振動片1530的平面圖。

圖18D是圖8C的虛線1164所包圍的區域的放大平面圖。

圖19A是未形成有電極的壓電振動片1630的平面圖。

圖19B是未形成有電極的壓電振動片1730的平面圖。

130‧‧‧壓電振動片

131‧‧‧激振部

131a‧‧‧台面區域

131b‧‧‧周邊區域

132‧‧‧框部

133‧‧‧連結部

133a‧‧‧突起部

133b‧‧‧側面

134‧‧‧激振電極

135‧‧‧引出電極

136‧‧‧貫通孔

138a‧‧‧第一邊

138b‧‧‧第二邊

IIIB-IIIB‧‧‧剖面

Claims (10)

1. 一種壓電振動片，包括：矩形形狀的激振部，包含：兩個主面、所述兩個主面上的一對激振電極、在第一方向延伸的第一邊、比所述第一邊更長且在與所述第一方向正交的第二方向延伸的第二邊；框部，利用在所述第一方向延伸的第一框體及在所述第二方向延伸的第二框體，來將所述激振部予以包圍，所述第一框體包含：第一厚度的第一區域、與比所述第一厚度更厚的第二區域；連結部，為所述第一厚度，且將所述激振部的所述第一邊與所述第一框體的第一區域予以連結；以及突起部，在所述連結部、和所述連結部與所述連結部的所述第二方向上所配置的所述激振電極之間的區域的至少一方，所述突起部向所述厚度方向突出，所述第一框體的所述第二方向的長度是：比所述第一區域的所述第二方向的長度更長，所述突起部的所述第一方向的長度是：與所述連結部的第一方向的長度相同、或為所述連結部的第一方向的長度以上。
2. 一種壓電振動片，包括：矩形形狀的激振部，包含：兩個主面、所述兩個主面上的一對激振電極、在第一方向延伸的第一邊、比所述第一邊更長且在與所述第一方向正交的第二方向延伸的第二 邊；框部，將所述激振部予以包圍；連結部，將所述激振部的所述第一邊與所述框部予以連結，且所述連結部的厚度比所述框部的厚度更薄；以及突起部，在所述連結部、和所述連結部與所述連結部的所述第二方向上所配置的所述激振電極之間的區域的至少一方，所述突起部向所述厚度方向突出，所述突起部的所述第一方向的長度是：與所述連結部的第一方向的長度相同、或為所述連結部的第一方向的長度以上。
3. 如申請專利範圍第2項所述的壓電振動片，其中：所述連結部連結於所述激振部的所述第一邊的中央。
4. 如申請專利範圍第2項所述的壓電振動片，其中：所述激振部包括：台面區域與周邊區域，所述台面區域形成有所述激振電極，所述周邊區域形成在所述台面區域的周圍，且所述周邊區域的厚度比所述台面區域的厚度更薄，所述周邊區域的厚度與所述連結部的厚度相等。
5. 一種壓電元件，包括：如申請專利範圍第2項所述的壓電振動片；蓋板，接合於所述壓電振動片的所述框部的一方的主面；以及基底板，接合於所述壓電振動片的所述框部的另一方的主面。
6. 一種壓電振動片，包括：矩形形狀的激振部，包含：兩個主面、所述兩個主面上的一對激振電極、在第一方向延伸的第一邊、比所述第一邊更長且在與所述第一方向正交的第二方向延伸的第二邊；框部，利用在所述第一方向延伸的第一框體及在所述第二方向延伸的第二框體，來將所述激振部予以包圍，所述第一框體包含：第一厚度的第一區域、與比所述第一厚度更厚的第二區域；以及連結部，為所述第一厚度，且將所述激振部的所述第一邊與所述第一框體的第一區域予以連結，所述第一框體的所述第二方向的長度是：比所述第一區域的所述第二方向的長度更長。
7. 如申請專利範圍第6項所述的壓電振動片，其中：所述連結部為一個，且所述連結部連結於所述激振部的所述第一邊的中央。
8. 如申請專利範圍第6項所述的壓電振動片，其中：所述第一區域包含：於所述連結部側在所述第一方向延伸的第三邊、與所述第一區域的所述連結部的相反側的第四邊，所述第三邊的長度是：與所述第四邊的長度相同、或為所述第四邊的長度以上。
9. 如申請專利範圍第6項所述的壓電振動片，其中：所述第一區域的所述第二方向的長度為：所述第一框 體的所述第二方向的長度的一半、或所述第一框體的所述第二方向的長度的一半以下。
10. 一種壓電元件，包括：如申請專利範圍第6項所述的壓電振動片；蓋板，接合於所述壓電振動片的所述框部的一方的主面；以及基底板，接合於所述壓電振動片的所述框部的另一方的主面。