TW201351735A - 壓電振動片以及壓電裝置 - Google Patents
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Abstract
一種壓電振動片以及壓電裝置。壓電振動片包括:以規定的振動頻率而振動的振動部;包圍振動部的周圍的框部;及連結振動部與框部的1根連結部。從形成在一個主面的激振電極,第1引出電極經由連結部的一個主面而引出至框部;從形成在另一主面的激振電極,第2引出電極經由連結部的另一主面、連結部的側面、及連結部的一個主面而引出至框部。從一個主面的連結部形成到框部的第1引出電極的第2引出電極側的邊即第1邊、與從一個主面的連結部形成到框部的第2引出電極的第1引出電極側的邊即第2邊的距離,在框部中大於連結部。
Description
本發明是有關於一種形成有框部的壓電振動片以及壓電裝置(piezoelectric device)。
已知有一種壓電振動片以及包含此種壓電振動片的壓電裝置,所述壓電振動片具有:以規定的振動頻率而振動的振動部;以包圍振動部的方式形成的框部;以及連結振動部及框部的連結部。在振動部的兩主面形成有激振電極,從各激振電極將引出電極引出至框部。例如在專利文獻1中,表示出有一種壓電振動片,其具有振動部、框部以及連結振動部與框部的連結部。壓電振動片通過減小該連結部的寬度,從而施加至框部的應力難以傳遞至振動部,而得以良好地維持振動特性。
專利文獻1:日本專利特開2009-65437號公報
但是,於專利文獻1中,若進一步減小連結部的寬度而使各引出電極彼此靠近地形成,則壓電裝置的絕緣電阻有時會變低。尤其,在框部
形成接合材,並在彼此靠近的引出電極上形成接合材而形成壓電裝置的情況下,有時會因接合材中所含的雜質等而導致壓電裝置引起絕緣電阻不良。
本發明的目的在於提供一種防止絕緣電阻不良的壓電振動片以及壓電裝置。
第1觀點的壓電振動片包括:振動部,所述振動部為具有短邊及長邊的矩形形狀,在兩主面分別形成激振電極,並以規定的振動頻率而振動;框部,包圍振動部的周圍;以及1根連結部,連結振動部與框部。從形成在一個主面的激振電極,第1引出電極經由連結部的一個主面而引出至框部,從形成在另一主面的激振電極,第2引出電極經由連結部的另一主面、連結部的側面、以及連結部的一個主面而引出至框部。第1邊與第2邊的距離在框部中大於連結部,所述第1邊是從一個主面的連結部形成到框部的第1引出電極的第2引出電極側的邊,所述第2邊是從一個主面的連結部形成到框部的第2引出電極的第1引出電極側的邊。
第2觀點的壓電振動片是在第1觀點中,連結部連結於振動部的短邊的中央。
第3觀點的壓電振動片是在第1觀點以及第2觀點中,連結部的一個主面中的第1引出電極的寬度,窄於連結部的一個主面中的第2引出電極的寬度。
第4觀點的壓電振動片是在第1觀點至第3觀點中,第1邊及第2邊中的任一邊是沿長邊方向延伸,另一邊則是以從連結部朝向框部而遠離一邊的方式,而呈直線狀地形成。
第5觀點的壓電振動片是在第1觀點至第3觀點中,框部中的第
1邊的端部以及第2邊的端部中的至少一者是形成為扇型。
第6觀點的壓電振動片是在第1觀點至第3觀點中,框部中的第1邊或第2邊中的至少一者是形成為階梯狀。
第7觀點的壓電振動片是在第1觀點至第6觀點中,從連結部引出至框部的第1引出電極,是引出至相對于振動部為相反側的框部為止。
第8觀點的壓電裝置包括:第1觀點至第7觀點所述的壓電振動片;基底(base)板,接合於框部的一個主面;以及蓋(lid)板,接合於框部的另一主面,且密封振動部。
根據本發明的壓電振動片以及壓電裝置,能夠防止絕緣電阻不良。
100、200‧‧‧壓電裝置
110‧‧‧蓋板
111‧‧‧凹部
112‧‧‧接合面
120‧‧‧基底板
121‧‧‧凹部
122‧‧‧接合面
123‧‧‧連接電極
124‧‧‧安裝端子
125‧‧‧城堡型結構電極
126‧‧‧城堡型結構
130、230、330、430、530、630‧‧‧壓電振動片
131‧‧‧振動部
132‧‧‧框部
133、533、633‧‧‧連結部
133a、533a‧‧‧連結部的+X軸側的邊
133b、533b‧‧‧連結部的-X軸側的邊
134a、134b‧‧‧激振電極
135a、335a、435a、535a‧‧‧第1引出電極
135b、235b、335b、435b、535b‧‧‧第2引出電極
136‧‧‧貫穿槽
137a、437a、537a‧‧‧第1邊
137b、337b、437b、537b‧‧‧第2邊
137c、337c、437c‧‧‧第3邊
141‧‧‧接合材
150‧‧‧空腔
D1、D2、DR1、DR2、DR3‧‧‧距離
HR‧‧‧高度
X、Y’、Z’‧‧‧軸
W1、W2、WR1、WR2‧‧‧寬度
圖1是壓電裝置100的分解立體圖。
圖2是圖1的A-A剖面圖。
圖3(a)是壓電振動片130的平面圖。
圖3(b)是從+Y'軸側觀察的壓電振動片130的-Y'軸側的面的平面圖。
圖4(a)是壓電振動片230的平面圖。
圖4(b)是從+Y'軸側觀察的壓電振動片230的-Y'軸側的面的平面圖。
圖5(a)是壓電振動片330的平面圖。
圖5(b)是從+Y'軸側觀察的壓電振動片330的-Y'軸側的面的平面圖。
圖6(a)是壓電振動片430的平面圖。
圖6(b)是從+Y'軸側觀察的壓電振動片430的-Y'軸側的面的平
面圖。
圖7(a)是從+Y'軸側的面觀察的壓電振動片530的-Y'軸側的面的平面圖。
圖7(b)是壓電裝置200的剖面圖。
以下,基於附圖詳細說明本發明的較佳實施方式。另外,只要在以下的說明中並無特別限定本發明的記載,則本發明的範圍並不限於這些實施方式。
<壓電裝置100的結構>
圖1是壓電裝置100的分解立體圖。壓電裝置100包括:蓋板110、基底板120及壓電振動片130。對於壓電振動片130,例如使用AT切割的水晶振動片。AT切割的水晶振動片中,主面(YZ面)相對於結晶軸(XYZ)的Y軸,以X軸為中心而從Z軸朝Y軸方向傾斜35度15分。在以下的說明中,使用以AT切割的水晶振動片的軸方向為基準而傾斜的新的軸來作為Y'軸以及Z'軸。即,在壓電裝置100中,將壓電裝置100的長邊方向設為X軸方向、將壓電裝置100的高度方向設為Y'軸方向、將與X及Y'軸方向垂直的方向設為Z'軸方向來進行說明。
壓電振動片130具有:振動部131,以規定的振動頻率而振動,且形成為矩形形狀;框部132,包圍振動部131的周圍;以及1根連結部133,連結振動部131與框部132。連結部133是將振動部131的-X軸側的邊的中央、與振動部131的-X軸側的框部132予以連結。在振動部131與框部132之間的連結部133以外的區域,形成有沿Y'軸方向貫穿壓電振動
片130的貫穿槽136。在振動部131的-Y'軸側的面形成有激振電極134a,第1引出電極135a是從激振電極134a通過連結部133而引出至框部132為止。而且,在振動部131的+Y'軸側的面形成有激振電極134b,第2引出電極135b是從激振電極134b通過連結部133而引出至框部132為止。
基底板120在+Y'軸側的面上,形成有:向-Y'軸側凹陷的凹部121、包圍凹部121的接合面122、及配置於接合面122的+X軸側的-Z'軸側及-X軸側的+Z'軸側的角部的連接電極123。接合面122經由接合材141而接合於壓電振動片130的框部132的-Y'軸側的面。而且,在基底板120的-Y'軸側的面上,形成有一對安裝端子124。進而,在基底板120的側面的四角,形成有向基底板120的內側凹陷的城堡型結構(castellation)126,在+X軸側的-Z'軸側以及-X軸側的+Z'軸側的城堡型結構126的側面,形成有城堡型結構電極125。城堡型結構電極125將連接電極123與安裝端子124電性連接。而且,在-X軸側的+Z'軸側的角部形成的連接電極123,是電性連接於在壓電振動片130的-Y'軸側的面的-X軸側的+Z'軸側的角部形成的第2引出電極135b;在+X軸側的-Z'軸側的角部形成的連接電極123,是電性連接於在壓電振動片130的-Y'軸側的面的+X軸側的-Z'軸側的角部形成的第1引出電極135a。
蓋板110在-Y'軸側的面上,形成有:凹部111、及包圍凹部111的接合面112。接合面112經由接合材141而接合於壓電振動片130的框部132的+Y'軸側的面。
圖2是圖1的A-A剖面圖。壓電裝置100是:在壓電振動片130的+Y'軸側配置有蓋板110,在-Y'軸側配置有基底板120。而且,在壓電裝置100的內部,由蓋板110的凹部111及基底板120的凹部121形成空腔(cavity)150,在空腔150內配置有壓電振動片130的振動部131。空腔150
是通過在蓋板110的接合面112與框部132的+Y'軸側的面之間、以及基底板120的接合面122與框部132的-Y'軸側的面之間形成接合材141,從而受到密封。而且,通過將形成於框部132的第1引出電極135a及第2引出電極135b電性連接於形成在基底板120的連接電極123,從而將激振電極134a及激振電極134b電性連接至安裝端子124。
圖3(a)是壓電振動片130的平面圖。在振動部131的+Y'軸側的面的中央形成有激振電極134b,第2引出電極135b從激振電極134b引出至框部132的+Y'軸側的面的-X軸側的+Z'軸側。第2引出電極135b還經由貫穿槽136的-X軸側的+Z'軸側的側面136b而引出至框部132的-Y'軸側的面。貫穿槽136的側面136b包含:連結部133的+Z'軸側的側面、較連結部133更靠近+Z'軸側的振動部131的-X軸側的側面、以及-X軸側的框部132的側面,此側面與振動部131相對且較連結部133更靠近+Z'軸側。而且,在框部132及連結部133的+Y'軸側的面上形成的第2引出電極135b的-Z'軸側的邊即第3邊137c,是以在Y'軸方向上與後述的圖3(b)中說明的第2引出電極135b的第2邊137b重疊的方式而形成,在連結部133的+X軸側的邊133a與-X軸側的邊133b之間,與X軸平行地形成為直線狀,而在較邊133b更靠近-X軸側,呈階梯狀地延伸向-X軸方向的+Z'軸側。
圖3(b)是從+Y'軸側觀察的壓電振動片130的-Y'軸側的面的平面圖。從在振動部131的-Y'軸側的面上形成的激振電極134a,第1引出電極135a經由連結部133的-Y'軸側的面而引出至-X軸側的框部132的-Y'軸側的面,進而經由-Z'軸側的框部132而引出至框部132的-Y'軸側的面的+X軸側的-Z'軸側的角部為止。而且,第2引出電極135b從+Y'軸側的面經由貫穿槽136的側面136b,而引出至框部132的-Y'軸側的面的-X軸側的+Z'軸側。
在框部132以及連結部133的-Y'軸側的面上,將第1引出電極135a的與第2引出電極135b相向的邊設為第1邊137a,將第2引出電極135b的與第1引出電極135a相向的邊設為第2邊137b。第1邊137a在連結部133以及框部132中,形成為與X軸平行地延伸的直線狀。而且,第2邊137b在連結部133的邊133a與邊133b之間,形成為與X軸平行的直線狀,而在較連結部133的邊133b更靠近-X軸側,呈階梯狀地延伸向-X軸方向的+Z'軸側。若將連結部133的-Y'軸側的面中的第1邊137a與第2邊137b的距離設為距離D1、-X軸側的框部132的-X軸側的端部的第1邊137a與第2邊137b的距離設為距離D2,則位於框部132中的第1邊137a與第2邊137b之間的距離形成得寬於距離D1。即,框部132中,第1邊137a與第2邊137b以彼此遠離的方式而形成。
如圖3(b)所示,壓電振動片130通過1根寬度窄的連結部133,來連結振動部131的-X軸側的邊與-X軸側的框部132。這樣,在連結部133連結於振動部131的區域,即,邊133a的Z'軸方向的寬度窄的情況下,振動部131中產生的振動難以逃逸至框部132,而且,框部132等中產生的應力等難以傳遞至振動部131,因此壓電振動片130可獲得穩定的振動,因而較佳。
而且,壓電振動片130中,從+Y'軸側的面向-Y'軸側的面引出的第2引出電極135b,是經由貫穿槽136的側面136b而引出。當使第2引出電極135b以從+Y'軸側的面向-Y'軸側的面引出的方式而形成時,在引出的區域的周邊也會附著構成電極的金屬膜。也就是,即使只想在框部132的與振動部131相對的內側側面形成引出電極,但在其周邊的振動部131也會形成金屬膜。這樣,形成在振動部的金屬膜會對振動部的振動造成不良影響。壓電振動片130中,因形成原本就會對振動造成不良影響的連結部
133及在其周邊形成第2引出電極135b,因而,在振動部131的一部分形成第2引出電極135b的不良影響難以顯著化。
另一方面,壓電裝置在產品測試時,要進行壓電裝置的耐電壓測試。例如,通過對一對安裝端子間施加電壓,從而調查壓電裝置是否具有500 MΩ以上的絕緣電阻。此時,因第1引出電極135a與第2引出電極135b是靠近地形成,而且,在框部132的+Y'軸側以及-Y'軸側形成的接合材141包含雜質等,從而一部分的絕緣變弱而壓電裝置的絕緣電阻變得低於500 MΩ,因而有可能變得不滿足絕緣電阻規格。
壓電裝置100中,通過使形成接合材141的框部132的表面的第1引出電極135a的第1邊137a與第2引出電極135b的第2邊137b以彼此遠離的方式形成,從而能夠以滿足絕緣電阻規格的方式而形成。尤其,在壓電振動片130中,第2引出電極135b是以如下方式形成,即,第2引出電極135b從連結部133的邊133b起,逐漸靠向+Z'軸側地延伸至框部132的-X軸側的端部為止,由此,第2引出電極135b的寬度不會大幅變細,第2引出電極135b的電阻不會大幅上升,因此可將晶體阻抗(Crystal Impedance,CI)抑制得較小,因而較佳。
<壓電振動片230的結構>
壓電振動片中,第1引出電極也可形成在貫穿槽136的側面以及壓電振動片的+Y'軸側的面上。通過以此方式形成第1引出電極,第1引出電極的表面積變寬而可降低電阻,可將壓電裝置的晶體阻抗(CI)抑制得較低。
圖4(a)是壓電振動片230的平面圖。壓電振動片230是由振動部131、框部132以及連結部133所形成。在振動部131的+Y'軸側的面形成有激振電極134b,第2引出電極135b是從激振電極134b引出。而且,
第1引出電極235a是:從-Y'軸側的面經由貫穿槽136的-X軸側的-Z'軸側的側面136a而引出至+Y'軸側的面,且形成在+Y'軸側的面的振動部131、連結部133、以及框部132的貫穿槽136的側面136a的周圍。貫穿槽136的側面136a包含:連結部133的-Z'軸側的側面、較連結部133更靠近-Z'軸側的振動部131的-X軸側的側面、以及-X軸側的框部132的側面,此側面與振動部131相對且較連結部133更靠近-Z'軸側。
圖4(b)是從+Y'軸側觀察的壓電振動片230的-Y'軸側的面的平面圖。在壓電振動片230的-Y'軸側的面的框部132的-X軸側的+Z'軸側,形成有第2引出電極135b,該第2引出電極135b從+Y'軸側的面經由貫穿槽136的側面136b而引出。而且,在振動部131中形成有激振電極134a,第1引出電極235a從激振電極134a引出。第1引出電極235a還經由貫穿槽136的側面136a而引出至+Y'軸側的面。
壓電振動片230中,第1引出電極235a也形成在貫穿槽136的側面136a以及+Y'軸側的面,由此,第1引出電極235a的面積變寬而可降低第1引出電極235a的電阻,可降低晶體阻抗(CI),因而較佳。
第1引出電極的第1邊及第2引出電極的第2邊的形狀,可進而考慮各種變形例。以下,對壓電振動片的變形例進行說明。而且,在以下的說明中,對於與第1實施方式相同的部分,標注與第1實施方式相同的編號並省略其說明。
<壓電振動片330的結構>
圖5(a)是壓電振動片330的平面圖。壓電振動片330具有:振動部131、框部132及連結部133。在振動部131中,形成有激振電極134b,第2引出電極335b從激振電極134b引出至框部132的+Y'軸側的面的-X軸
側的+Z'軸側。第2引出電極335b還經由貫穿槽136的側面136b,而引出至框部132的-Y'軸側的面。而且,在框部132以及連結部133的+Y'軸側的面形成的第2引出電極335b的-Z'軸側的邊即第3邊337c,是以在Y'軸方向上與後述的圖5(b)中說明的第2引出電極335b的第2邊337b重疊的方式而形成,而在較連結部133的+X軸側的邊133a更靠近-X軸側,呈直線狀地延伸向-X軸方向的+Z'軸側。
圖5(b)是從+Y'軸側觀察的壓電振動片330的-Y'軸側的面的平面圖。在振動部131的-Y'軸側的面形成有激振電極134a,第1引出電極135a從激振電極134a引出。而且,第2引出電極335b從+Y'軸側的面經由貫穿槽136的側面136b而引出至-Y'軸側的面,並形成至框部132的-X軸側的+Z'軸側的角部為止。第2引出電極335b的第2邊337b是從連結部133的+X軸側的邊133a向-X軸方向的+Z'軸側,呈直線狀地以遠離第1邊137a的方式而延伸。因此,第1邊137a與第2邊337b的-X軸側的端部的Z'軸方向的距離D2,大於連結部133的+X軸側的邊133a上的第1邊137a與第2邊337b的距離D1,第1邊137a與第2邊337b的距離在框部132中大於連結部133。
壓電振動片330中,第2引出電極335b的第2邊337b以遠離第1邊137a的方式而形成,由此,當壓電振動片330被裝入壓電裝置中時,可將壓電裝置的絕緣電阻保持為高的狀態。而且,壓電裝置中的接合材141有時會從框部132溢出而流入連結部133,但在壓電振動片330中,即使於連結部133中,第1邊137a與第2邊337b也是以遠離的方式而形成,因而即使有少許接合材141流入連結部133,也可將絕緣電阻維持為高的狀態。而且,通過使連結部133的+X軸側的邊133a上的第2引出電極335b的寬度W2形成得寬於第1引出電極135a的寬度W1,從而在連結部133
中,可抑制因第2邊337b以遠離第1邊137a的方式形成而造成的、第2引出電極335b的電阻的上升。
<壓電振動片430的結構>
圖6(a)是壓電振動片430的平面圖。壓電振動片430具有:振動部131、框部132及連結部133。在振動部131的+Y'軸側的面上形成有激振電極134b,第2引出電極435b從激振電極134b引出至框部132的+Y'軸側的面的-X軸側的+Z'軸側。第2引出電極435b還經由貫穿槽136的側面136b而引出至框部132的-Y'軸側的面。而且,在框部132以及連結部133的+Y'軸側的面形成的第2引出電極435b的-Z'軸側的邊即第3邊437c,是以在Y'軸方向上與後述的圖6(b)中說明的第2引出電極435b的第2邊437b重疊的方式而形成,在連結部133的+X軸側的邊133a與-X軸側的邊133b之間,與X軸平行地形成為直線狀,而在較邊133b更靠近-X軸側,呈向-Z'軸方向鼓出的扇狀地延伸向-X軸方向的+Z'軸側。
圖6(b)是從+Y'軸側觀察的壓電振動片430的-Y'軸側的面的平面圖。在振動部131的-Y'軸側的面形成有激振電極134a。第1引出電極435a從激振電極134a經由連結部133的-Y'軸側的面而引出至-X軸側的框部132的-Y'軸側的面,進而經由-Z'軸側的框部132而引出至框部132的-Y'軸側的面的+X軸側的-Z'軸側的角部為止。而且,第2引出電極435b從+Y'軸側的面經由貫穿槽136的側面136b,而引出至框部132的-Y'軸側的面的-X軸側的+Z'軸側。
第1引出電極435a的第1邊437a及第2引出電極435b的第2邊437b,均在連結部133中形成為與X軸平行的直線狀,而在較連結部133的-X軸側的邊133b更靠近-X軸側,以彼此遠離的方式呈扇形地延伸向-X軸方向的-Z'軸側以及+Z'軸側。第1引出電極的第1邊及第2引出電極的第
2邊是以彼此遠離的方式形成,雖然各引出電極的寬度有時會變窄而電阻上升,但在壓電振動片430中,通過第1邊437a及第2邊437b呈扇形地形成,從而各引出電極的寬度不會形成得極窄,可抑制各引出電極的電阻的上升。
壓電振動片中,通過改變連結部的形狀,有時可更有效地發揮第1實施方式及第2實施方式的特徵。以下,對具有形狀與連結部133不同的連結部的壓電振動片進行說明。而且,對於與第1實施方式及第2實施方式相同的部分,標注與第1實施方式及第2實施方式相同的編號並省略其說明。
<壓電振動片530的結構>
圖7(a)是從+Y'軸側的面觀察的壓電振動片530的-Y'軸側的面的平面圖。壓電振動片530具有:振動部131、框部132及連結部533。連結部533是將振動部131的-X軸側的邊的中央與-X軸側的框部132予以連結。連結部533中,連結部533的-X軸側的邊533b的Z'軸方向的寬度WR2形成得寬於連結部533的+X軸側的邊533a的Z'軸方向的寬度WR1。而且,第1引出電極535a的第1邊537a及第2引出電極535b的第2邊537b是:從連結部533的+X軸側的邊533a的附近分別呈直線狀地延伸向-X軸方向的-Z'軸側以及+Z'軸側,且以彼此遠離的方式而形成。因此,第1邊537a與第2邊537b的-X軸側的端部的距離DR3,寬於連結部533的邊533b上的第1邊537a與第2邊537b的距離DR2,距離DR2形成得寬於連結部533的邊533a上的第1邊537a與第2邊537b的距離DR1。
壓電振動片530中,距離DR2形成得寬於距離DR1,因此在連結部533中,即使第1引出電極535a的第1邊537a及第2引出電極535b
的第2邊537b以彼此遠離的方式而形成,各引出電極的寬度亦不會變窄,可防止各引出電極的電阻變高。
<壓電裝置200的結構>
圖7(b)是壓電裝置200的剖面圖。壓電裝置200具有:壓電振動片630、配置在壓電振動片630的+Y'軸側的蓋板110、以及配置在壓電振動片630的-Y'軸側的基底板120。壓電振動片630包含:振動部631、框部132及連結部633,且具有與圖3(a)及圖3(b)所示的壓電振動片130同樣的平面形狀。振動部631及連結部633的Y'軸方向的厚度是形成得薄於振動部131及連結部633;振動部631及連結部633的+Y'軸側及-Y'軸側的面是:從框部132的+Y'軸側及-Y'軸側的面,分別向-Y'軸方向及+Y'軸方向僅凹陷高度HR而形成。
壓電裝置200中,通過連結部633的-Y'軸側的面與框部132的-Y'軸側的面相距高度HR,從而溢出到空腔150之中的接合材141難以落到連結部633。因此,形成在連結部633中的引出電極與接合材141難以接觸,可防止壓電裝置200的絕緣電阻變低。
以上,對本發明的最佳實施方式進行了詳細說明,但所屬技術領域中具有通常知識者可明確的是,本發明可在其技術範圍內對實施方式施加各種變更、變形而實施。
例如,上述實施方式中示出了壓電振動片為AT切割的水晶振動片的情況,即使是同樣以厚度切變模式振動的BT切割的水晶振動片等,也可同樣地適用。進而,壓電振動片不僅可適用於水晶材,而且基本上能夠適用於包含鉭酸鋰(lithium tantalate)或鈮酸鋰(lithium niobate)或者壓電陶瓷(ceramic)的接合材。
130‧‧‧壓電振動片
131‧‧‧振動部
132‧‧‧框部
133‧‧‧連結部
133a‧‧‧連結部的+X軸側的邊
133b‧‧‧連結部的-X軸側的邊
134b‧‧‧激振電極
135b‧‧‧第2引出電極
136‧‧‧貫穿槽
136b‧‧‧側面
137c‧‧‧第3邊
X、Y’、Z’‧‧‧軸
Claims (8)
- 一種壓電振動片,其特徵在於包括:振動部,所述振動部為具有短邊及長邊的矩形形狀,在兩主面分別形成激振電極,所述振動部以規定的振動頻率而振動;框部,包圍所述振動部的周圍;以及1根連結部,連結所述振動部與所述框部,從形成在一個主面的所述激振電極,第1引出電極經由所述連結部的一個主面而引出至所述框部,從形成在另一主面的所述激振電極,第2引出電極經由所述連結部的另一主面、所述連結部的側面、以及所述連結部的一個主面而引出至所述框部,第1邊與第2邊的距離在所述框部中大於所述連結部,所述第1邊是從所述一個主面的所述連結部形成到所述框部的所述第1引出電極的所述第2引出電極側的邊,所述第2邊是從所述一個主面的所述連結部形成到所述框部的所述第2引出電極的所述第1引出電極側的邊。
- 如申請專利範圍第1項所述的壓電振動片,其中,所述連結部是連結於所述振動部的所述短邊的中央。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述的壓電振動片,其中,所述連結部的一個主面中的所述第1引出電極的寬度,窄於所述連結部的一個主面中的所述第2引出電極的寬度。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述的壓電振動片,其中,所述第1邊及所述第2邊中的任一邊是沿所述長邊方向延伸,另一邊 則是以從所述連結部朝向所述框部而遠離所述一邊的方式、而呈直線狀地形成。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述的壓電振動片,其中,所述框部中的所述第1邊的端部以及所述第2邊的端部中的至少一者是形成為扇型。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述的壓電振動片,其中,所述框部中的所述第1邊或所述第2邊中的至少一者是形成為階梯狀。
- 如申請專利範圍第1項或第2項所述的壓電振動片,其中,從所述連結部引出至所述框部的所述第1引出電極,是引出至相對於所述振動部為相反側的所述框部為止。
- 一種壓電裝置,其特徵在於包括:申請專利範圍第1項到第7項中任一項所述的壓電振動片;基底板,接合於所述框部的一個主面;以及蓋板,接合於所述框部的另一主面,且密封所述振動部。
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