201247580 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種玻璃板製造方法及移送管。 【先前技術】 ^ 等平板顯示器之玻璃基板 對於液晶顯示器或電漿顯示器 中使用之玻璃板’要求玻璃表面具有較高之平坦度。近年 來，對於玻璃表面之平坦度之需求品質曰益提高。 此種平板顯示器之基板用玻璃板多藉由溢流下拉法製 造。溢流下減本身為公知之方法，且為例如如專利文獻 U美國專號說明書）中所記載般’流入至成形 體中並溢出之熔融玻璃沿著該成形體之各外表面流下，並 將於該成形體之底部合流之部位向下方延伸而成形為帶狀 之玻璃的方法。 但對於例如TFT(Thin Film Transistor，薄膜電晶體）液晶 顯示器用之玻璃板要求較高之熱穩定性，因此於該玻璃板 之製造中可使用為了實現該目的而調配之玻璃原料。由於 此種玻璃原料通常為難溶性’故而於熔融玻璃中容易產生 條紋（與周圍之部分成分不同之部分）。並且，若於熔融玻璃 中存在條紋，則由於在將利用成形裝置成形之玻填帶向下 拉時’根據周圍之部分與條紋之黏性的不同，該等之拉伸 方法會不同，故而玻璃表面之平坦度惡化。 對於此種條紋之問題，例如專利文獻2(日本專利特開 2004-67408號公報）中提出有藉由使用平均粒徑為3〇〜6〇 μιη之一乳化石夕原料而抑制條紋之產生的技術。 r； 163544.doc 201247580 [先前技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]美國專利第3,338,696號說明書 [專利文獻2]日本專利特開2〇〇4_674〇8號公報 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] 但是，即便使用專利文獻2中所揭示之技術，亦無法完全 地抑制條紋’仍然需要找出可有效地減少條紋之玻璃板之 製造方法。 本發明鑒於上述情況，目的在於提供一種可有效地減少 條紋之玻璃板之製造方法。 [解決問題之技術手段] 本發明之發明者對有效地減少條紋之方法進行努力研 究，結果發現： (I) 為了抑制條紋，供給至成形裝置中之熔融玻璃必須為 均質， … (II) 為了使供給至成形裝置中之熔融玻璃成為均質，所 供給之熔融玻璃之整體溫度必須均勻。 本發明係基於此種觀點而成者’本發明之玻璃板之製造 方法之特徵在於：其係包括使炫融玻璃自移送管之一端向 另一端流動，而將熔融玻璃供給至成形裝置中之供給步驟 的方法，並且於供給步驟中，以平均3〇〇c/m以下之速度將 熔融玻璃之溫度降低150T：以上後，使熔融玻璃通過溫度高 於與移送管之内側相接之界面區域的熔融玻璃之移送管之 163544.doc 201247580 部位而供給至成形裝置中。 又，本發明之玻璃板之製造方法較佳為於供給步驟中， 於以5 0 C /m以上之速度降低熔融玻璃之溫度後，以低於 5〇C/m之速度降低熔融玻璃之溫度，而使降低熔融玻璃之 ' 溫度之速度成為平均30°C/m以下。 * 又’本發明之玻璃板之製造方法之特徵在於：其係包括 一面降低溫度，一面使熔融玻璃自移送管之一端向另一端 流動’而將熔融玻璃供給至與移送管之另一端連接之成形 裝置中之供給步驟的方法，並且於供給步驟中，減小移送 管之剖面之中央部的熔融玻璃之溫度與移送管之剖面之周 邊部的熔融玻璃之溫度的溫度差。 又，本發明之玻璃板之製造方法較佳為於供給步驟中， 以平均30°C /m以下之速度將熔融玻璃之溫度降低15〇t以 上，藉此減小移送管之剖面之中央部的熔融玻璃之溫度與 移送管之剖面之周邊部的熔融玻璃之溫度的溫度差。 又’本發明之玻璃板之製造方法較佳為於供給步驟中， 於降低熔融玻璃之溫度後，使熔融玻璃通過溫度高於與移 送B之内側相接之界面區域的炫融玻璃之移送管之部位而 供給至成形裝置中，藉此減小移送管之剖面之中央部的熔 融玻璃之溫度與移送管之剖面之周邊部的熔融玻璃之溫度 的溫度差》 & [發明之效果] 若使用本發明之玻璃板之製造方法，則可有效地減少條 紋。 Μ 163544.doc 201247580 【實施方式】 以下，對本發明之實施形態之玻璃板製造方法進行詳細 說明。 (1)玻璃板之製造方法之概要 (1-υ玻璃之原料 本發明之玻璃板之製造方法可應用於所有玻璃板之製 造，尤其適合液晶顯示裝置或電漿顯示裝置等平板顯示器 用之玻璃基板、或者覆蓋顯示部之覆蓋玻壤之製造。 為了依據本發明而製造玻璃板，首先以成為所需之玻璃 組成之方式調配玻璃原料。例如於製造平板顯示器用之玻 璃基板之情形時，較佳為以具有如下組成之方式調配原料。 (a) Si02 : 50〜70 質量 ％、 (b) B2〇3 : 5〜18 質量 ％、 (c) Al2〇3 : 1〇〜25質量。/〇、 (d) MgO : 〇〜1〇 質量 〇/〇、 (e) CaO : 〇〜20質量％、 (f) SrO : 〇〜20 質量。/〇、 (〇) BaO : 〇〜1〇質量。/0、 (p) RO · 5〜20質量0/〇(其中’ r係選自Mg、Ca、Sr及Ba中 之至少1種）、 (q) R’2〇 :超過〇.1〇質量％且為2 〇質量％以下（其中，R，係 選自Li、Na及K中之至少1種）、 0)選自氧化錫、氧化鐵及氧化鈽等中之至少1種金屬氧 化物合計為〇.〇5〜1.5質量％。 163544.doc -6 - 201247580 再者，上述液晶基板用玻璃亦可為實質上不含奶之無驗 玻璃。例如上述液晶基板用破璃亦可以具有如下組成之方 式調配原料。 (a') Si〇2 : 50〜70 質量 ％ (b’）B2〇3 : 1 〜1〇 質量 ％ O') Al2〇3 : 〇〜25 質量 ％ (d') MgO : 〇〜1〇 質量 ％ (e') CaO : 〇〜20質量％ (Π SrO : 〇~20 質量 ％ (〇') BaO : 〇~1〇 質量 ％ (q') K2〇 : 〇〜2 質量 ％ (〇 Sn02 : 〇〜1質量％ (s’）Fe203 : 0.01 〜〇.〇45 質量％ 又，上述液晶基板用玻璃較佳為實質上不含砷及銻。即， 即便包含該等物質，亦作為雜質而含有該等。具體而言， 較佳為該等物質亦包含八32〇3、及％2〇3之類的氧化物，且 含量為0.1質量％以下》 除上述成分以外’為了調郎玻璃之各種物理性、炫融、 澄清及成形之特性’本發明之玻璃亦可含有各種其他氧化 物。作為此種其他乳化物之例’並不限定於以下，可列舉·
Sn02、Ti02、MnO、ZnO、Nb205、Mo〇3、Ta205、W〇3、 Y2O3及 La2〇3 o 上述（a)〜(r)中之（p)中之RO的供給源可使用硝酸鹽或碳 酸鹽。再者’為了提南溶融玻璃之氧化性，更理想為以適 163544.doc 201247580 合於步驟之比率使用硝酸鹽作為RO之供給源。 與將一定量之玻璃原料供給至熔解用之爐中並進行分批 處理的方式不同’於本實施形態中製造之玻璃板係連續地 製造。本發明之製造方法所應用之玻璃板為具有任何厚度 及寬度之玻璃板均可。 (1-2)玻璃製造步驟之概要 本發明之一實施形態之玻璃板之製造方法包括圖1之流 程圖所示之一系列步驟’並使用圖2所示之玻璃板生產線 100 » 首先於熔解步驟（步驟S101)中，將以成為上述組成之方 式調配之玻璃的原料熔解。將原料投入至熔解槽101中，並 加熱至特定之溫度。例如於為具有上述組成之平板顯示器 用之玻璃基板之情形時，特定之溫度較佳為1550<t以上。 經加熱之原料熔解而形成熔融玻璃。使熔融玻璃通過第1 移送& 105a而輸送至進行其後之澄清步驟（步驟si〇2)之澄 清槽102中❶ 於其後之澄清步驟（步驟S102)中將熔融玻璃澄清。具體 而。右於澄^槽1〇2中將熔融玻璃加熱至特定之溫度，則 熔融玻璃中3有之氣體成分會形成氣泡，或者氣化而排出 至⑽玻以外部。例如於為具有上述組成之平板顯示器 用之。玻璃基板之情形時，特定之溫度較佳為 C 1700 c。使經澄清之熔融玻璃通過第2移送管 而輸送至進仃其後之步驟的均質化步驟（步驟請3)之授禅 163544.doc 201247580 於其後之均質化步驟（步驟S103)中，使熔融玻璃均質 化。具體而言，於攪拌槽103中，利用攪拌槽103所具備之 攪拌翼（未圖示）對熔融玻璃進行攪拌，藉此使其均質化。以 成為特定之溫度範圍之方式，對輸送至攪拌槽103中之熔融 玻璃進行加熱。例如於為具有上述組成之平板顯示器用之 玻璃基板之情形時，特定之溫度範圍較佳為 1440°C〜1500°C。將經均質化之熔融玻璃自攪拌槽1〇3輸送 至第3移送管i〇5c中》 、 於其後之供給步驟（步驟S104)中，以成為適合在第3移送 管105c中成形之溫度之方式使熔融玻璃降溫，並輸送至進 行其後之成形步驟（步驟S105)之成形裝置1〇4中。例如於為 具有上述組成之平板顯示器用之玻璃基板之情形時，適合 成形之溫度較佳為約1200°C。 於其後之成形步驟（步驟S105)中，熔融玻璃成形為板狀 之玻璃。於本實施形態中，熔融玻璃係藉由溢流下拉法連 續地成形為帶狀。將所成形之帶狀之玻璃切割，而製成玻 璃板。 (2)供給步驟之詳細情況 其次’對供給步驟進行詳細說明。 供給步驟（步驟S104)係如上所述將熔融玻璃冷卻至適人 成形步驟（步驟S105)之溫度的步驟。於供給步驟中，較佳 為使熔融玻璃之溫度至少降低150°C。例如於為具有上述組 成之平板顯示器用之玻璃基板之情形時，於均質化步驟（步 驟S103)中’將144(TC〜150(TC之熔融玻螭於供給步驟（步驟 163544.doc -9· 201247580 S104)中冷卻至約m(rc。但是，為了保㈣融玻璃之均質 性，較佳為-面以成為特定之冷卻率之方式加以調整一 面進行熔融玻璃之冷卻。因此，較佳為進行供給步驟之第3 移送管105C可設法控制通過第3移送管1〇5c中之炫融玻璃 的溫度。再者，第3移送管105c較佳為包含如可耐受與高溫 之熔融玻璃之接觸的耐火金屬，進而較佳為包含鉑或鉑合 金0 如圖3所示，於第3移送管1〇5c之下游側之外周安裝有加 熱器201。加熱器2〇1與溫度控制裝置2〇2連接。加熱器^ 係藉由加熱第3移送管i〇5c之下游部，而對在第3移送管 l〇5c之下游部流動之熔融玻璃進行加熱。溫度控制裝置2们 係藉由控制加熱器201之功率，而控制在第3移送管1〇化之 下游部流動之炫融玻璃的溫度。 於熔融玻璃自第3移送管105c之上游端流動至下游端之 期間，熔融玻璃之冷卻率較佳為平均3〇<t/m以下。例如於 1500 C之熔融玻璃自總長約1〇 m之第3移送管1〇5c的上游 端流動至下游端之情形時，較佳為於此期間即便最大亦僅 冷卻300°C，而成為uoot以上之熔融玻璃流出至成形裝置 104 中。 熔融玻璃於在第3移送管l〇5c中流動之過程中降溫。若更 詳細地說明’則由於熔融玻璃在具有溫度低於熔融玻璃之 溫度的第3移送管i05c中流動，故而自熔融玻璃向第3移送 管l〇5c進行熱傳遞。其結果為，炫融玻璃降溫至第3移送管 105c之溫度附近。於該情形時’由於熔融玻璃距第3移送管 163544.doc -10- 201247580 105c之剖面方向之距離越近，越容易向第3移送管i〇5c進行 熱傳遞’故而更接近第3移送管l〇5c之溫度β另一方面’由 於熔融玻璃距第3移送管105〇之剖面方向之距離越遠，越難 以向第3移送管l〇5c進行熱傳遞，故而容易與第3移送管ι〇5 形成溫度差。即，熔融玻璃距第3移送管1〇5c之剖面方向之 距離越遠，越不易降溫。 更具體而言，於第3移送管i〇5c中流動之熔融玻璃之溫度 於第3移送管105(;之内面最接近第3移送管1〇&本身的溫 度，且隨著自該内面流向第3移送管105c中心，與第3移送 b 105 c本身之溫度之差增大。因此，隨著自第3移送管ίο/。 之外周流向中心，熔融玻璃之溫度與第3移送管1〇5c之溫度 的差增大。若對此作圖示，則成為如圖6之左（a)之圖表。因 此，熔融玻璃之溫度於第3移送管1〇5e之剖面方向容易變得 不均勻。發明者發現將溫度不均句之熔融玻璃供給至成形 裝置1〇4中，會妨礙均質之玻璃之形成。因此，較佳為將溫 度均勻之熔融玻璃供給至成形裝置1〇4中。並且，發明者進 而發現藉由如下所述般控制第3移送管1〇兄之溫度可將溫 度均勻之炫融玻璃供給至成形裝置1〇4中。 更具體而言，利用加熱器2〇1，將第3移送管1〇九之下游 側之部位之溫度加熱至高於流至該部位並與第3移送管 l〇5c的内側相接之熔融玻璃之溫度。藉此，於第3移送管 l〇5c之下游側，自第3移送管1〇紅向熔融玻璃進行熱傳遞。 其結果為，使熔融玻璃升溫至第3移送管1〇5c之溫度附近。 於該情形時，熔融玻璃距第3移送管1〇5c之距離越近，越容 I63544.doc 201247580 易自第3移送管l〇5c進行熱傳遞。另一方面，隨著自第3移 送官105c之剖面之周邊部流向中央部，由於熔融玻璃距第3 移送管105c之距離變遠，故而難以自第3移送管1〇5c進行熱 傳遞。即，隨著自第3移送管1〇5c之剖面之周邊部流向中央 部’熔融玻璃不易升溫。 此處，流至第3移送管105(；之下游側之部位的熔融玻璃如 圖6之左（a)之圖表所示，隨著自第3移送管1〇5c之剖面之周 邊部流向中央部，溫度升高，而於第3移送管l〇5c之剖面方 向上產生溫度差。但是，如上所述，藉由於第3移送管i〇5c 之下游側之部位形成隨著自第3移送管l〇5c之剖面之周邊 P流向中央部，炫融玻璃不易升溫之狀態，可將該溫度差 抵消。即，減小第3移送管105c之剖面之中央部的熔融玻璃 又與第3移送管i〇5c之剖面之周邊部的熔融玻璃之溫 度的溫度差。 因此’較佳為將於第3移送管1〇5c中朝向成形裝 置104之 下游端之。卩位加熱至高於流至該部位的熔融玻璃之溫度。 八體而δ，較佳為利用加熱器2〇丨加熱之第3移送管之 下游。卩的溫度高於其上游側附近之第3移送管1 〇5c之溫 度較佳為例如高PC以上，進而高5。(：以上，進而高1〇。匚 以上。由於若自第3移送管1〇5c向成形裝置1〇4流出前，熔 融玻璃通過較自身高溫之第3移送管l〇5c之部位，則該部位 之第3移送管10。之熱自第3移送管i〇5c的内侧與熔融玻璃 之界面向中心傳遞，故而如圖ό之右（b)之圖表所示，可減小 第3移送官1〇5c之剖面方向之熔融玻璃的溫度差。於該情形 163544.doc -12- 201247580 時，第3移送管105c之長度方向之溫度分佈成為如圖*之圖 表所示。 又，更佳為於熔融玻璃流出至成形裝置1〇4中之前，儘量 緩慢地加以冷卻。又，亦可於第3移送管1〇5c之上游，以高 於3〇C/m之速度加以冷卻。即，於流入第3移送管1〇允中之 後至流出為止之期間，冷卻熔融玻璃之速度只要平均為 30°C/m以下，則例如藉由控制第3移送管1〇5〇之周圍之溫 度，於第3移送管105〇之上游部，可以5(rc/m以上之速度冷 卻熔融玻璃，其後，至到達利用加熱器2〇1加熱之第3移送 管105c之下游部為止，亦可以低於5〇〇c/m之速度冷卻熔融 玻璃。於該情形時，第3移送管1〇兄之長度方向之溫度分佈 成為如圖5之圖表所示。 (3)實施例 若如下所述般實際使用本發明之玻璃板之製造方法，則 可製造減少條纹之玻璃板。 首先’調配原料，以製造組成成為如下所示之玻璃：
Si02 : 60.9質量％、b203 : 11.6質量％、Al2〇3 : 16.9質量％、 MgO : 1.7質量％、CaO : 5.1 質量％、SrO : 2.6質量％、BaO : 〇.7質量％、K2〇 : 〇_25質量％、Fe203 : 0.15 質量％、Sn02 : 0.13質量％。繼而，將原料投入至熔解槽1〇1内。使用包含 圖3所示之第3移送管丨〇5c的圖2所示之玻璃板製造裝置 100、及上述本發明之本實施形態之玻璃板製造方法，將於 熔解槽101内形成之熔融玻璃製成玻璃板。於供給步驟（步 驟S104)中’在使炫融玻璃於平均内徑約146 mm、總長約8 m 163544.doc -13- 201247580 之第3移送管中自上游端流動至下游端之近前為止的期 間’將熔融玻璃之溫度自1440°C降低至1200°C。即，炫融 溫度之冷卻速度約為30°C/m。其後，於將熔融玻璃供給至 成形裝置104中之前，使其通過加熱至122(TC之第3移送管 105c之下游端的長度約300 mm、内徑約140 mm之部位。於 成形步驟（步驟S105)t，使用溢流下拉法將熔融玻璃製產 生尺寸為1100 mm X 1300 mm之玻璃板。 對將上述玻璃板分割成4部分之玻璃板取得40塊樣品，並 測定認為因故產生條紋之玻璃板表面之表面粗糙度。該測 定係使用東京精密公司製造之表面粗糙度測定機（Surfc〇m 1400-D)而測定波峰高度。繼而將由未實施本發明之先前之 玻璃板製造裝置製造的玻璃板之平均值作為標準值，比較 所測定之波峰高度。其結果為，若將標準值設為丨，則本發 明之玻璃板之波峰高度平均成為〇8，平坦度得以提昇，因 此可確認藉由本發明使條紋減少。 (4)特徵 於本發明之玻璃板之製造方法的上述實施形態中，於供 給步驟（步驟S104)中，於熔融玻璃自第3移送管1〇允之入口 流動至出口之期間’以平均3〇t/m以下之速度將熔融玻璃 ，溫度降低15〇。(：以上（例如於為具有上述組成之平板顯示 器用之玻璃基板之情形時，約降m24〇〇c〜3〇〇c>c)。其後， 於將熔融玻璃供給至成形裝置104中之前，使其通過較與第 移送f 105 c之内侧相接之界面區域的炫融玻璃之溫度高 溫之第3移送管版的部位，而使該部位之第3移送管驗 163544.doc 14· 201247580 之熱自第3移送管l〇5c的内側與熔融玻璃之界面向中心傳 遞，藉此減小第3移送管105(：之剖面方向之熔融玻璃的溫度 差。藉此’缓慢地冷卻熔融玻璃’且使供給至成形裝置1〇4 中之炫融玻璃之溫度整體變均勻，而可減少條紋。 又’於本發明之玻璃板之製造方法之上述實施形態中， 於供給步驟（步驟S104)中，於熔融玻璃自第3移送管1〇丸之 入口流動至出口之期間，將熔融玻璃之溫度降低至供給至 成形裝置104中之熔融玻璃的溫度。並且，利用加熱器2(H， 將第3移送管i〇5c之下游側之部位的溫度加熱至高於流至 该部位且與第3移送管1 〇5c的内側相接之熔融玻璃之溫 度’藉此自第3移送管l〇5c向溶融玻璃進行熱傳遞。隨著於 第3移送管l〇5c中流動之熔融玻璃自第3移送管1〇5c之剖面 的周邊部流向中央部，變得難以進行熱傳遞。此處，流至 第3移送管l〇5c之下游側之部位的熔融玻璃本來如圖6之左 (a)之圖表所示’隨著自第3移送管i〇5c之剖面之周邊部流向 中央部而溫度升高，並於第3移送管i〇5c之剖面方向產生溫 度差。但是，如上所述般藉由於第3移送管1〇5c之下游側之 部位形成隨著自第3移送管i〇5c之剖面之周邊部流向中央 部’熔融玻璃不易升溫之狀態，可抵消該溫度差。即，減 小第3移送管105c之剖面之中央部的溶融玻璃之溫度與第3 移送管105c之剖面之周邊部的熔融玻璃之溫度的溫度差。 藉此’供給至成形裝置104中之熔融玻璃之溫度整體變均 勻，可減少條紋。 (5)變形例 163544.doc -15- 201247580 上述實施形態之供給步驟亦可如下所述般進行變形。 較佳為於適合成形之溫度下將炫融玻璃供給至將炫融玻 璃成形為玻璃帶狀之成形裝置中。於為下述平板顯示器用 之玻璃基板之情形時，適合成形之溫度較佳為 1190C〜1220 C之範圍，進而較佳為約12〇〇t>c。 該供給步驟係於移送管之圖2所示之第3移送管1〇5。内進 行。溶融玻璃自圖2之檀拌槽1〇3流出而進入第3移送管_ 中’並通過第3移送管105c内而流出至成形裝置ι〇4中。於 嫁融玻璃通過第3料管内之朗，較佳為將溫度自上游端 至下游端自1440eC〜1500t：逐漸降低至U9〇〇c〜122〇它。 圖3係表示第3移送管105c之一例。為了如上所述般控制 熔融玻璃之溫度，於第3移送管1〇5(；下游側之外周安裝有加 熱器201。加熱器201係藉由加熱第3移送管1〇乂之下游部， 而對在第3移送管105c之下游部流動之熔融玻璃進行加 熱。與加熱器201連接之溫度控制裝置2〇2係#由控制加熱 器20!之功率，而控制於第3移送管1〇5c之下游部流動之熔 融玻璃的溫度《再者，第3移送管1〇5c較佳為包含如可耐受 與高溫之熔融玻璃之接觸的耐火金屬，進而較佳為包含= 或翻合金。 隨著自第3移送管105c之上游側流動至下游側，熔融破填 之溫度自144(TC〜1500。(：逐漸降溫至ii9(Tc〜122〇〇c。又 在使熔融玻璃流出至成形裝置104中之第3移送管10k 游側，利用加熱器201使第3移送管l〇5c之溫度暫時升高下 利用加熱器201加熱之第3移送管i〇5c之下游部的溫产言； 163544.doc -16 - 201247580 其上游側附近之第3移 古1〇r ,、，， S 11>九之恤度，具體而言，較佳為 门 $而較佳為高5t以上，或者進而較佳為高1〇。。 以再者，所謂下游側，與第3移送管版之總長之一半 相比，為下游之一本， 、 ’且為包含下游端之儘可能接近第3 • 移送管105c之下游端的部分。 又較佳為化費特定時間，使炫融玻璃通過該下游側之 利用加熱器2〇1加熱之部分。特定時間適宜為對應於暫時上 升之第3移送管1()5c的溫度，對與其接觸之溶融玻璃之溫度 上升而。充分之時間，例如較佳為丨分鐘以上進而較佳為 2分鐘以上。若如此控制第3移送管105c之溫度，則可自第3 移送管l〇5c之内壁至第3移送管i〇5c之剖面中心，將熱量充 刀地向熔融玻璃傳遞，且可進一步使熔融玻璃之溫度儘可 能地均句。 【圖式簡單說明】 圖1係玻璃板製造方法之一系列步驟之流程圖。 圖2係玻璃板生產線。 圖3係第3移送管。 圖4係第3移送管中之熔融玻璃溫度歷程例！。 • 圖5係第3移送管中之熔融玻璃溫度歷程例2。 .圖6(a)'圖6(b)係第3移送管之剖面方向之熔融玻璃溫度 分佈。 【主要元件符號說明】 1〇〇 玻璃板製造裝置 101 熔解槽 163544.doc |7 201247580 102 澄清槽 103 攪拌槽 104 成形裝置 105c 第3移送管（移送管） 201 加熱器 202 溫度控制裝置 163544.doc • 18 -