TW201201916A - Head unit of fluid discharge apparatus - Google Patents

Head unit of fluid discharge apparatus Download PDF

Info

Publication number
TW201201916A
TW201201916A TW099130618A TW99130618A TW201201916A TW 201201916 A TW201201916 A TW 201201916A TW 099130618 A TW099130618 A TW 099130618A TW 99130618 A TW99130618 A TW 99130618A TW 201201916 A TW201201916 A TW 201201916A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
moving
axis
unit
nozzle
head unit
Prior art date
Application number
TW099130618A
Other languages
English (en)
Inventor
Jung-Won Choi
Chul-Oh Bae
Original Assignee
Top Eng Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Top Eng Co Ltd filed Critical Top Eng Co Ltd
Publication of TW201201916A publication Critical patent/TW201201916A/zh

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B15/00—Details of spraying plant or spraying apparatus not otherwise provided for; Accessories
    • B05B15/60—Arrangements for mounting, supporting or holding spraying apparatus
    • B05B15/65—Mounting arrangements for fluid connection of the spraying apparatus or its outlets to flow conduits
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B7/00—Spraying apparatus for discharge of liquids or other fluent materials from two or more sources, e.g. of liquid and air, of powder and gas
    • B05B7/02—Spray pistols; Apparatus for discharge
    • B05B7/08—Spray pistols; Apparatus for discharge with separate outlet orifices, e.g. to form parallel jets, i.e. the axis of the jets being parallel, to form intersecting jets, i.e. the axis of the jets converging but not necessarily intersecting at a point
    • B05B7/0807—Spray pistols; Apparatus for discharge with separate outlet orifices, e.g. to form parallel jets, i.e. the axis of the jets being parallel, to form intersecting jets, i.e. the axis of the jets converging but not necessarily intersecting at a point to form intersecting jets
    • B05B7/0861—Spray pistols; Apparatus for discharge with separate outlet orifices, e.g. to form parallel jets, i.e. the axis of the jets being parallel, to form intersecting jets, i.e. the axis of the jets converging but not necessarily intersecting at a point to form intersecting jets with one single jet constituted by a liquid or a mixture containing a liquid and several gas jets
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104—Forming layers
    • H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
    • H01L21/02225—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer
    • H01L21/0226—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process
    • H01L21/02282—Forming insulating materials on a substrate characterised by the process for the formation of the insulating layer formation by a deposition process liquid deposition, e.g. spin-coating, sol-gel techniques, spray coating
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/76—Apparatus for connecting with build-up interconnects
    • H01L2224/7615—Means for depositing
    • H01L2224/7618—Means for blanket deposition
    • H01L2224/76184—Means for blanket deposition for spray coating, i.e. nozzle

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Ink Jet (AREA)

Description

201201916 、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明關於ml體排放裝置(打㈣discharge apparatus)之 頭單元(head unit) ’其於半導體或液晶面板(叫祝crystal panel)製造程序中，將流體排出.到基板上。 【先前技術】 一般而言，平面板顯示器(卩1站1>311611)1叩1叮5，171>1)5)是 比傳統使用陰極射線管的電視或監視器還輕薄的視訊顯示 器。已開發使用的平面板顯示器範例為液晶顯示器(LiqUid
Crystal Displays ’ LCDs)、電漿顯示面板(Plasma Display Panels ’ PDPs)、％發射顯示器（FWd Emission Displays， FEDs)、以及有機發光二極體（〇rganic Light Emitting Diodes，OLEDs)。 在眾多平面板顯示器中，液晶顯示器為基於影像資訊而 個別供應 > 料5扎5虎到矩陣配置的液晶胞(liquid cryStai cen) 的顯示器，因此控制液晶胞的透射率，而顯示所需影像。由 於液晶顯示器具有的優點在於薄、輕、且功率消耗與操作電 壓又低，所以液晶顯示器已廣為使用。製造一般用於液晶顯 示器之液晶面板的方法將說明如下。 首先’彩色濾光片與共用電極形成於上基板上，而薄膜 電晶體(Thin Film Transistor ’ TFT)及晝素電極形成於相對於 上基板的下基板上。接著，配向膜塗佈於這些基板後，配向 臈摩擦而對於待形成於配向膜間的液晶層中之液晶分子提 供預傾角（pretilt angle)及配向方向(a丨ignment direction)。 再者’為了維持基板間的預定間隙，為了避免液晶沒漏 以及為了密封基板間的間隙，塗佈預定圖案的膠於至少一個 基板，以形成膠圖案。之後，排放液晶層於其中至少一個基 201201916 板。以此方式，製造了液晶面板。 於製造液晶面板當中’流體排放裝置用以排出液晶或膠 後稱流體)於基板上。流體排放裝置包含供裝設基板之平 台(stage)、配備讓流體排出之喷嘴(nozzle)的頭單元、以及支 撐頭單元之頭支撐件(head support)。流體排放裝置在改變噴 嘴相對於基板之位置時，排出流體到基板上。亦即，在藉由 於Z軸方向上/下移動頭單元之喷嘴來維持噴嘴之排出孔 (chscharge hole)與基板間一致的間隙時，流體排放裝置水平 =動嘴嘴及/或基板於X及γ軸方向，且自喷嘴排出流體於 基板上。 一於此類流體排放裝置中，達到流體最佳排放的重要因素 之一為喷嘴之排出孔相對於基板的位置。因此，在利用流體 排放裝置翻舰到基板之前，要㈣嘴之翻孔相對^義 板的位置;^正到落人最佳範圍内。藉由當細微移動嘴嘴於X 轴、Y軸、及z軸方向時量測喷嘴之排出孔的位置，決 =的噴奴排出硫置是聽在基板上的最錄圍内，二 及重複上述操作’來調整喷嘴之排出孔相對於基板的位 減t㈣問題在於，鮮元配備有複數 【發明内容】 因此，本發明有鑒於上述習知問題，本發明 之頭單元’其能利用簡單架構來控制 一為Z達成上述目的，本發明提供—種 一構件(_ber)，連接頭支樓件，：：二 ° ’弟—構件’提供成相對於第-構件而移動於γ 201201916 四 中喷嘴提供於 第四構件，用於排放流體；第— 於第二構件及第三構件之間，二第 動= 方向；第三構件，連接第-禮生 構件，連接第三構件，動，方向;第 繁mm丄 ..... 由方向，其中喳峨4日
以及相對於第三構件Y 轴方向;以及第二驅動： 第二驅動單元可包含驅動馬達 &二二问。 移動構件(moving member·)，連接驅動、^ ; “冓件上； 達之驅動力而移動於γ轴方 馬達，且猎由驅動馬 第—，=之動=: 構件=:=:方1πι，被驅動構件可於移動 ，可提供於移動構件上，且被驅動構件可 匕3 ，魏子係於移動構件之凸輪面上滑動。 地將銘更包含第一固定單元(flxing unit)，用於選擇性 2將移動構件固定於第三構件。第—固定單元可包含電磁 件可更包含第二固定單S，用於選擇性地將第四構 牛口疋於第二構件。第二固定單元可包含電磁鐵。 【實施方式】 ;後 > 考伴p边圖式將說明根據本發明較佳實施例之流 體排放裝置的頭單元。 如圖丨所示’根據本發明之流體排放裝置包含基座 (base)10、平台20、一對支撐移動導引件(supp〇rt削_ gUlde)30、/員支樓件40、頭單元50、以及控制單元(未顯示）。 平台20 U於基座iQ，喊板§安置於平台2q上。支樓 201201916 移動導$丨件3G提供於平台2G的相對側，而延伸於γ站方 向0頭支撐件40安裝於平& 2〇卜方，罕 才目對，該對支擇移動導引;3㈣支擇牛 ‘含用裝於頭支#件4()，而移動於x轴方向，並 作=用於排出流體的喷嘴6卜控制單元控制流體的排出操 用於平台20於X抽方向的x轴移動單元21，以及 基座^動平口 20W軸方向❹軸移動單元22可裝設於 40的動贿％响41安装於頭支撑件 件如及Γ動導引件30。支撐移動導引 久又琢移動早兀41間的互動， ^ ΐ支撐移動導引件3〇之縱長方向，即丫軸方^牛^移動於 早^的飾^轴此方^ 可提供_讀件4〇及頭料fGt_⑽一邮3 於頭支撐件40之縱長方向，即χ轴方而移動頭單元50 如圖2所示，頭單元5〇包含第一 ^ ^構件53、第四構件54、第 ：、第二構件52、 =早凡70。第一構件51連接頭支擇件早^5、以及第二驅 2；Λ二構件52提供成相對於第-構件5=於χ軸 軸方向。苐三構件53連接第二構件 午51而移動於Υ :四構件54連接第三構件53，而移動多動於Ζ軸方向。 排出流體的噴嘴61裝設於第四構 ；^由方向’且用於 提供於第二構件52及第三構件53 第—驅動單元55 52移動第三構件53於ζ轴方向 3，以相對於第二構件 第—構件51上，並且除了相 :驅動單元70支偉 6、弟二構件53移動第四構件 201201916 54於Z軸方向外’還移動第二構件力於 與儲存流體於其中之儲存容器㈣卿 因此第到頭支_。 轴方向時，連接第-構件51的第^件51於χ 52的第三構件53 第—構件52、連接第二構件 可一起移動於=;;及連接第三構件53的第四構件… -)78 動於Υ軸方向時，i 轴方向。當第二構件5 2移 接第三構件53的第:：:構件52的第三構件53以及連 第三構件祕丫轴方向。 52上，且當第一驅叙盟_ c動早7055而支撐於第二構件 而移動於z轴方向。^一5馬動動時_，可相對於第二構件52 53移動於Z轴方向㈣早疋55驅動而使第三構件 可移動於Z轴方向連接第三構件53的第四構件54亦 舉例而言，第一驅動罩 上的馬達551以及將 β is提供於第二構件52 (細)552。如圖3所示；^冓牛53與馬達551輕接的轴件 可相對於第二構件 j達如驅動時，第三構件53 =三構件53 —起移動於動z;=向’而第四構件54可與 平：輪方向的位置。此類第一驅，可調整噴嘴6〗 D 〇上的基板S的不平的上5用於根據安置在 向，因而在流體+十的^面來移動嘴嘴61於2轴方 距保持固定。排“序期間使得基板s及噴嘴61間^ 〜單元7。包含驅動馬達71、導引構件(gi"de 201201916 member)72、耦接構件(c〇upUng 咖
被驅動構件75、第-固定單元80、以及第件74、 驅動馬達支禮於第一構件51上=早元9〇。 軸方向。藉由驅動驅動馬達7卜件1延伸於Y ]=於Y軸方向。移動構件74轉接到麵構件 =提供於;::=::=;= 冓件74接觸。當移動構件74移動於γ轴方°。移動 =4=構件74接觸並移動於z軸方向ϊ:: 構件54固定到第二3第一固 產生轉動力，而導引構件72藉由驅動^達.動f達71 轉，使_接構件73移動於^動力旋 =種架構’而可使用線性馬達。亦即 次;月 轉子(Γ。㈣蚊子⑽㈣，使_接構件 包各 :間的電磁互動而沿著導引構件72 精^ =及定 f J ^r^^(hydraullc cylmde! 側，而供於移動構件74的一 含輕子，其係於移動構件74 _二‘3=可包 本發明不限於這樣的架構。亦即， =動°然而， 件75 ’而與移觸件74的凸輪面‘二S驅動構 件74的凸輪面74丨相對於細爾75的凸輪面^動Ϊ 201201916 =子而凸輪面可提供於被驅動 動移力動構件74的γ軸驅動力轉換： 動構件75可提供於第三構件-，而調整其 74二圖第—岐單元⑽可包含提供於移動構件 磁鐵，當輪入電訊號時Hnr82可包含電 不限於上述架構。亦即，第if然而，本發明 包含電磁鐵，而其餘的那個可由能:==82可 成。如此-來，第—固定單鐵的材料所製 件74可自動地固定到第匕二鐵，使得移動構 一固定單mg包含i者’本發明不限於第 種架構，以選擇性地將移動構件74 發:月可應用各
如螺栓或螺帽’其係放二構I 或鑰匙難置(key_1()ek deviee)，1包含乒I 電或電子的切換操作而移動的桿件㈣。同時，第！：=由 part)742 ^ ^ Γ 移動構牛74的一側延伸，而第二固定 二自 =:類;74於γ軸方向的 匕蝴禾偁奋5午第一固定部81葬 的移動而軸，並置於第二固定部82上。^移=件74 時，移以 三構件53。…及弟―固疋部82間的互動而固定到第 201201916 54早讀可包含提供於第三構件53及第四構件 趨ί I t鐵。如此—來，#第二岐單元9G包含電磁 二構件53及第四構件54可自動地彼此固定。然而， 太偏不限於第二固定單元9〇包含電磁鐵的架構。亦即， 望應用各種架構，以選擇性地將第四構件54固定到 ::姓< 53够例*緊固構件，如螺检或螺帽，其係置於第 :七φ 3及四構件54之間，或鑰匙鎖裝置，其包含藉由 f S第構件54必須與第三構件5卜起移動於2 ^向時，此類_料第四構件54固定到第三構件… 二當需要調整或校正(c〇rrect)喷嘴61的三轴位置時，可 構:t !3從第四構件54釋放，使得第四構件54可相 對於第二構件53獨立地移動於2軸方向。 置的2’。將參考圖5至圖8說明根據本發明之流體排放裝 ^利^流體排放裝置執行將流體排放到基板s上的操 ^之=，喷嘴6!之排出孔相對於基板s在γ轴及z轴方向 人預設最佳範圍内。喷嘴61之排出孔相 對於基板s的位置難如下。料嘴61 Ζ軸方向時’量測喷嘴61之排出孔位置，並決㈣嘴^ 排出孔所1測位置是否相對於基衫落人預設最佳範圍内。 如圖5所示’首先當調整喷嘴61的位置時，驅動 馬達7：!，使得移動構件％朝被驅動構件7 動。此時，第三構件53沒有藉由第二固定單元9〇=: 四構:! 者’當移動構件74與被驅動構件75接觸 而之後移賴件74繼續移動，被軸構件π在移動 74的凸輪面741上滑動，被驅動構件75移動於ζ幸由 5向上的方向）’且第四構件54藉由被驅動構件75的移動(而 201201916 =動於z轴方向。因此，可調整固定 ，排出孔的2轴位置(於圖，喷5 54之噴嘴 置A改變到位置B)。 貨货61之排出孔從位 四構件54藉之排出孔的2條置時，第 ,^ 弟—固定早疋90固定刭筮二4^ ” 禾 =6所示，當移動構件％藉 i : 3。接著， 軸方向(於圖6中， —驅動早兀7〇移動於γ 的方向)時，第—固定部8叙74移動々離開被驅動構件75 置。此時，由於第四^件5到?應第二固定部82的位 動構件74移動時合二三構件53，所以當移 方向上的位置改變―構件54及喷嘴6!在Z轴 移動構件74藉由；應第二固定部82的位置後’ 動而固定到第二=大 件％移動於γ轴方向(於圖 ^’ ^ 7所示，移動構 開被驅動構件75 &方 亦即移動構件74移動離 -固定單元I〇 第三構件53藉由第 由第二d- Q構件74，以及第四構件54 ^ 固疋早7G 90而固定於第二盖 精 及第四構件54隨 二-秦件”，所以第三構件53 固定到第四構件54嗔 矛多動而移動。因此，可調整 中，噴嘴61之排出位的排出孔的Y軸位置(於圖7 同時，如圖8^ 程序中操作，移動構件74可移=驅動早疋55在流體排放 四構件Μ於Z車由方向的移動2 =阻礙第三構件53及第 向的=的操作容許調整嘴嘴61之排出孔於γ轴及z轴方 出孔=之排放裝置可在校正噴嘴Μ之排 私序期間，利用單1動馬達7丨來調整喷嘴6丨 201201916 之排出孔於γ軸及z軸方向 有複數個驅動馬達在頭單元sn、力。因此，相較於傳統具 排放裝置，減本發明之嘴於各方向的流體 方法的功效。 ^排«置具錢化結構及控制 或膠元製造二”板時用於排出液晶 放裝胸彻_於_==== =ί種麵放裝置’例如用於半導難製造 如上所述，本發明提供流體排放裝置之頭 正喷嘴翻孔位置的程序中，能_單_軸馬達來控g :相對於基板的位置’因而簡化控制噴嘴位置上及： /ίτ。 本發明實施_技術精神可獨立地或彼此結合地實施。 【圖式簡單說明】 本發明上述及其他的目的、特徵、以及優點，結合 與詳細說明將更易了解，其中： ° 圖1為根據本發明之流體排放裝置之透視圖； 圖2為圖1之流體排放裝置之頭單元之側視圖； 圖3為圖1之流體排放裝置之頭單元操作之側視圖； 圖4為圖！之流體排放裝置之第_固定單元之戴面圖； 以及 圖5至圖8為依序顯示圖1之流體排放裝置之 作之側視目。 ^ 【主要元件符號說明】 丨0 :基座 201201916 20 :平台 21 : X軸移動單元 22 : Y軸移動單元 30 :支撐移動導引件 40 :頭支撐件 41 :支撐移動單元 42 :頭移動導引件 43 :頭移動單元 50 :頭單元 51 :第一構件 52 :第二構件 53 :第三構件 54 :第四構件 55 :第一驅動單元 61 :喷嘴 62 :儲存容器 63 :緊固構件 70 :第二驅動單元 71 :驅動馬達 72 :導引構件 73 :耦接構件 74 :移動構件 75 ··被驅動構件 78 :導軌 80 :第一固定單元 81 :第一固定部 82 :第二固定部 90 :第二固定單元 201201916 531 :連接部 551 :第一驅動馬達 552 :軸件 741 :凸輪面 742 :延伸部 A、B、C :位置 S :基板

Claims (1)

  1. 201201916 七、申請專利範園： ϊ. -種流體排放裝置之頭單元，包含： 第構件’連接—頭支樓， -第二構件，提供成相 於-X軸方向； 方向; 第構件而移動於—γ# 第二構件，連接守笛_ μ φ二第四構件，連接該第;構件，：動動2軸方向； t於該第四構件，用於排放^方向，其 以相斜於姑⑨驅動單元’提供於該第二構件及兮證- 'ϋ，飾組構彳_&；；構件之間’ 相 =申物㈣1彻㈣元，其㈣二無動單元 係支樓於該第-構件上； 移動構件，連接該 動力而移動於該丫轴方向；以及$且猎由_動馬達之—驅 —被驅動構件，提供於該第 一丫軸移動而移動於該z轴方向。猎由該移動構件之 3.如申4專利範圍第2項所述 轴方向時，該被驅動構件於當該移動構件移 於该2軸方向。 、°Λ移動構件上滑動並移動 之 子 從供於該移動構件上， —預定曲率 _子係於該移動構件之該構件包含i 第3項所述之頭單S1中星有 Μ提供於…_上，且該被:;有 該凸輪面上滑動。 201201916 5. 如申請專利範圍第2至4項任— 第-固定單it，用㈣㈣㈣心述之頭單元，更包含- 於選擇性地將S亥移動構件固定於該第三構件。 6. 如申料利範_ 5項所狀頭單元， 包含一電磁鐵。 八肀該第一固定單元 7第如固申lf專蝴圍第1至4項任—項所述之頭料，更包含— 弟一固疋早70 ’㈣選擇性地將· _件m定於該第三構I。 8.如申請專彻圍第7項所狀頭單元 包含一電磁鐵。 /弗一固疋早疋 16
TW099130618A 2010-07-14 2010-09-10 Head unit of fluid discharge apparatus TW201201916A (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020100068040A KR101723376B1 (ko) 2010-07-14 2010-07-14 유체토출장치의 헤드유닛

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW201201916A true TW201201916A (en) 2012-01-16

Family

ID=45511736

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW099130618A TW201201916A (en) 2010-07-14 2010-09-10 Head unit of fluid discharge apparatus

Country Status (3)

Country Link
KR (1) KR101723376B1 (zh)
CN (1) CN102335644A (zh)
TW (1) TW201201916A (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103894863B (zh) * 2012-12-27 2016-08-24 北京谊安医疗系统股份有限公司 自动进给机
CN109865612B (zh) * 2019-02-28 2024-03-19 佛山市保利来建材实业有限公司 一种仿石纹铝板的撒点喷涂装置及其喷涂工艺

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA2010247C (en) * 1989-03-03 2000-08-01 John Sharpless Spray gun with five axis movement
JP2752553B2 (ja) * 1992-10-02 1998-05-18 日立テクノエンジニアリング株式会社 ペースト塗布機
KR100559750B1 (ko) * 2005-07-08 2006-03-13 주식회사 탑 엔지니어링 페이스트 도포기
KR100649962B1 (ko) * 2006-06-28 2006-11-29 주식회사 탑 엔지니어링 페이스트 디스펜서의 헤드 유닛
KR100746304B1 (ko) * 2006-08-10 2007-08-03 주식회사 탑 엔지니어링 평판 디스플레이용 디스펜서
KR100778147B1 (ko) * 2006-12-13 2007-11-21 주식회사 탑 엔지니어링 액정 디스플레이 패널 제조용 디스펜싱 장치
CN201380132Y (zh) * 2009-02-11 2010-01-13 李永年 数控喷涂机

Also Published As

Publication number Publication date
KR101723376B1 (ko) 2017-04-05
CN102335644A (zh) 2012-02-01
KR20120007329A (ko) 2012-01-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8617314B2 (en) Organic deposition apparatus and method of depositing organic substance using the same
US20050224156A1 (en) Method of manufacturing display device and substrate bonding apparatus
TWI326368B (en) Dispensing apparatus for manufacturing liquid display panel
TW200406134A (en) Optoelectronic apparatus, its manufacturing method, and electronic machine
TW576758B (en) Thin-film forming device, thin-film forming method, device for manufacturing liquid crystal display, method for manufacturing a liquid crystal display
CN101271215B (zh) 液晶显示装置的制造方法
US20150217556A1 (en) Substrate peeling device and method for peeling substrate
TW200925745A (en) Liquid crystal display device and method for manufacturing the same
US20120264345A1 (en) Apparatus and method for manufacturing display device
JP5897208B2 (ja) パネル取り付け装置
TW201201916A (en) Head unit of fluid discharge apparatus
TW200302032A (en) Organic el apparatus and manufacturing method therefor, electrooptic apparatus, and electronic device
TWI292342B (en) Applying device and method for applying liquid composed of liquid crystal material, method for manufacturing liquid crystal device, and electronic equipment
KR101095511B1 (ko) 편광판 부착장치
CN101271231B (zh) 液晶显示装置的制造方法
KR101408644B1 (ko) 합착기판의 스테이지 평탄도 보정장치
TW200424616A (en) Thin film forming device, optoelectronic device and electronic machine
KR100822221B1 (ko) 평판 디스플레이 패널의 다형 대응 클램프 장치 및 그제어방법
KR20150079093A (ko) 디스플레이 패널용 사이드 실링 장치
KR101404057B1 (ko) 기판 합착 장치용 라미네이팅 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법
KR20150118317A (ko) 플렉시블 디스플레이용 필름 부착장치
CN102560619A (zh) 利用连续横向固化的结晶设备
TW201031968A (en) Stage for a dispenser and method for controlling movements of the stage and a dispensing head unit in the dispenser
JP2008016443A (ja) 合着装置及びそれを用いた電界発光素子の製造方法
JP2005266755A (ja) 電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器