201128722 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係’-種具備為了啊調節旋轉及升降運動的單一 驅動部的旋轉裝置，特卿，關於透過—個轉部瓣支偉多個 檢查對象物之檢查臺喊轉及並進（即，耕）運動喊轉裝置。 【先前技術】 由於種種原因，在發光二極體（LED)產品或半導體之製造 過程中產生不良產品。 如果在製造過財無法立即去除這些不良產品，其將經過不 必要之後續X序，最終可導致材料f、工序f等的損失。 為了減少此種損失，要求一種在發光二極體產品或半導體的 製造工序上，將發光二極體晶片或半導體晶片料為檢查對象 物，即，碰查咖實施戦，並娜其職結果㈣當的等级 分類被檢查體之裝置。 作為此種裝置的-實例，推出了發光二極體晶片測試裝置， 其在經過包裝工序之_量發光二極體晶片之光躲，並基於測 量之數據按等級分類發光二極體晶片。 「第1圖」係為習知技術之一發光二極體晶片測試裝置之概 略圖。請參閱「第1圖」’可以得知，圖示習知技術之發光二極體 晶片測試裝置i由-檢查臺1G、—接觸單元2g、以及—測 30構成。 201128722 軸A為令心向半徑方向延伸。在支撐框架12的下側連接如馬達之 驅動部13 ’同時，具備紐個支#鍊12及安裝部件1卜 根據檢查臺10透過鶴部13之軸喊轉，放置被檢查體 的安袭部件11按順序放置於測試位置。 接觸單元20例如由探針卡構成，並具備如探針銷之接觸銷 21°如果接觸銷21例如與安裝部件u上的發光二極體晶片接觸 而向Γ光—極體晶片供電，則發光二極體晶片發光而實施測試。 接觸單元2〇ι夠上下方向可移動地連接棚定之框架a。 測量單元30為如同積分球接收自發光二極 而測量光特性之#罟。、、目，丨曰„ _ 对了打尤線 器之測量ϋ 31。 中設置如光檢測機或分光計 量 可以透過「第2圖」 置之工作過程。 獲知此種現有的發光二極體晶片測試裝 圖表。在該圖表上Χ軸表干：表4查臺之旋轉驅動時序的 並且，在「第2圖轴表示角速度。 動時序^」之中’下侧表為絲接解元20之壤 =Γ蝴仏輪輸，顺_方向: 架22具有上行^ I方向’即上财向麵接觸單元20對框 元2_吻^=。(⑽，即撕向表示接觸單 如同透過「第2圖,之圖主士 動而遮斷與經蝴的被檢===單元％上行移 201128722 然後’檢查臺ίο旋轉移動而使要進行測試之對象物l位於測 量單元30的下側（η區間）。 其後，測量單元30向下側移動而使得被測試的對象物L盘接 觸銷相連接（m區間）。此時，由於接觸銷21為具有彈性❹ 微探針或者悬伽態之部件，有可能因接簡21與對象物[ 之接觸而發生振動。 因此，在接觸銷21接觸到對象物L之後，需要預定的穩定化 時間（IV區間）。 之後’透過接觸銷21向對象物L施加電流而測量得 區間）。 上述IV、V區間中不發生檢查臺1G或接觸料2G的 並進運動。 如此在現有的發光二極體晶片測試裝置中檢查臺與接觸單 元的運動區間按順序進行’因此無法大幅縮減工序時間。 並且’接觸與對象物接觸之後需要穩定化_ 縮減工序時間之障礙。 攻马 並且，習知技術之發光二極體晶片測試震置中需要為按順序 驅動檢查臺與接觸單元之各個控制動作，為了單獨驅動相關構成 還需要不同之驅動部，因此增加成本。 【發明内容】 因此，馨於上述問題，本發明之目的在於提供一種旋轉裝置， 其具備单-驅動部’單-驅動部在測量發光二極體晶片或半導體 晶片等被檢查體時’為了能夠縮短工序時間的同時減少配件而節 201128722 約費用’而同時調節旋轉及升降運動。 根據本發明之思想，提供之—觀轉裝置包含有，—檢查臺， 其包含有—自祕中㈣外側延伸之支#框架，以及-在支禮框 2末端絲被檢查_絲部件；―,鶴部，其級電氣訊號 而產生旋轉力；以及一轉動部件，其連接至此檢查臺的旋轉中心 之下部，並自驅動部接收旋轉力而轉換成檢查臺的斷續性之旋轉 及升降運動。 包含-杆，其連接形成於支標框架與轉動部件之間，並鱼轉 動部件的運_動而實現切轉的旋轉及升降軸。、 優選地，此種杆為能夠沿轴方向流動空氣的中空轴部件。 料、=’=地，支雜架自檢查臺的旋射灿輻射狀分枝 从多個，相互隔離-Μ心角而以相同的長度延伸形成。 ^卜，較佳地更包含—私部件，其連接形成於驅動部與轉 =Γ控制自驅動部傳輸的旋轉力之大小及方向而傳輸至 部件可以_趟_ (_聊麵）機構 对槽轮齒輪（genevagear)機構中的任音—個 臺旋：轉T在細1架的個數二時，進娜動使檢査 室娜36〇 /η，並具有相當於設定時間之暫停時間。 檢查臺根據轉動部件的驅動，可以具轉^ 接近的方向升_的運動’旋轉驅動的運 暫停時間的運動巾的任意上之運械式、有疋夺間的 根據優選實施例，此檢查臺簡具錢續地實現，對轉動部 6 201128722 =離近的方向進行升降驅動的同時進行旋轉驅動的第- 運勒“ ”第—運動的相反方向進行升降驅動的同時，與第- 目5的方向進行旋轉驅動的第二運動之運動模式” 料料 夠财連續地實現，對轉動部件分離戍者接 近的方向進行請驅動的同時進行旋轉鷄的第—運動·=接 運動相同的方向僅進行旋轉驅動的第二運動；以絲第一運 ===Γ與第-~方心 、並且，檢查臺能夠具有連續地實現，對轉動部件分離或者接 ，的方向僅進行升__第—運動；與第—運__方向進 仃升降驅動的啊進行旋轉驅動的第二運動；與第-運動相反的 方向進行升降驅動的同時，與第―運動相同的方向進行旋轉驅動 的第二運動；以及鮮-運動相反的方向僅進行升降驅動的第四 運動之運動模式。 並且，此檢查臺能夠具有連續地實現，對轉動部件向分離或 者接近的方向僅進行耕驅動的第-運動；與第-運動相同的方 向進仃升降驅動制時進行旋轉驅動的第二運動；與第—運動相 同的方向僅進行旋轉驅動第三運動；與第一運動相反的方向進行 升降驅動的同時進行旋轉驅動的第四運動；以及與第一運動相反 的方向僅進行升降驅動的第五運動之運動模式。 作為本發明的優選實施方式，被檢查體可以利用半導體晶片 或者發光二極體（LED)晶片。 根據本發明的具備為了同時調節旋轉及升降運動的單一驅動 201128722 部的旋轉裝置’麵量發光二極體晶片或半導體晶片等的被檢查 體的不良時，配置單—之驅動部’其能__節配置被檢查體 的檢查臺職轉及升降運動，從邮有_王料_同時能夠 節約費用的技術效果。 【實施方式】 可以明確本發明之 將請參閱附圖及稍後描述之詳細實施例， 優點、特徵，及其實現的方法。 以下，將參閱附圖詳細說明本發明之實施例。 「第3圖」係為概括地表示具備本發明—實施例的旋轉裝置 的發光二極體晶片測試裝置之側視圖。 如，所示，發光二極體晶片測試裝置包含有一旋轉裝置刪、 -接觸單元2GG及-·單元3⑻，_裝置 n〇'-轉動部件120、以及_㈣部（她^有檢查臺 檢查臺no包含有一安裝部件⑴，用以支撐被檢查體l ; 一 支樓框架112 ’其以旋轉轴a為中心、以輻射狀向外側延伸，一杆 113 ’連接於檢查臺ho之下部中心。 安裝部件m可與織匡架112形成為—體或者單獨形成。 另外，上述安裝部件lu之内侧形成為防止透過空氣吸入方 式而設置的被檢查體L之脫離貫通孔（圖未示）。 並且’安裝部件111的材質及形狀不特意限制。
但是，被檢查體L為垂直型發光二極體晶片（VerticaiLED dnp)時’由於要向垂直型發光二極體晶片底部供給電流因此上 述安裝部件111的材質優選為具有導電性之材質。 8 201128722
另外’被檢查體L為水準形發光二極體晶# (Lateral LED Φ)時’為了減少光損失，上述絲部件⑴的材質可以由反射 率高之材質構成。 此時’作為發光二極體晶片的測量波段2〇〇肺〜湖〇贈中， 最好利用反射率較高之材質。 並且’在絲料111上财钱轉除乡嫩檢查體L，因 此，最好利用耐磨性好，硬度高之材質。 支樓框架112可以域臂（eantilever)形祕成，但並非局 限於此種形態。 另外，支撐框架112為複數個，例如4個或者8個，也可以 之外的個數實施。 但是，支撐框架112形成為多個時，在各末端部上形成之安 裴部件111可以同時調節成其他之作業模式。 作為-實例，任意-個絲部件U1處·懷被檢查體l的 位置時’另-個安裝部件111可處於為測試被檢查體L而裝載之 位置。並且再-個安裝部件m可處於卸載完成戦的被檢查體L 之位置。 透過這些檢查工序模式之調節，可以加快工序速度，提言 業效率。 ^ 杆113處於支撐框架m之下侧。並且杆113與轉動部件12〇 的工作聯動而進行旋轉及升降運動。 杆113可形成為中空軸。 中空軸形fe的杆113具有沿軸方向能夠向内部流動空氣的择 201128722 構，由此，連接安裝部件lli的貫通孔（圖未示）之吸氣管（圖 未示）能夠通過上述杆113的中空連通至外部之排氣泵。 轉動部件120為連接驅動部160及檢查臺11〇之構成元件。 透過「第4圖」能夠大致確認此種轉動部件12〇之工作結構。 如圖所示，轉動部件12G透過搞合軸㈣而自驅動部16〇 ^動 力’並透過杆113向檢查臺11〇輸出動力。 為此’轉動部件12〇之内部可以結合齒輪、凸輪、滚輪 械元件。 由此，驅動部160之旋轉力實現轉換成檢查臺11〇的斷續性 的旋轉及升降運動。 這裡’斷續性之旋轉及升降運動係指，在預定㈣間區間内 早-或者重疊地發生的’根據用戶設定的旋轉或者升降運動，同 樣意味著根顧戶蚊将生任何獅之暫停_的連續運動。 …同時，在旋轉或者升降運動區間與暫停時間可以多次反復地 進行。 另外，如綱框㈣2的辑n，曝料 臺U0旋轉·。/n後，獲得相當於用戶設輯間的暫停時間。-例如，如果支馳架112之個數為8個，請參閱「 =。第12圖」’作W嶋⑽_45。後設置暫停時 載等在此暫停時間内進行對被檢查體L之測量、裝載、卸 轉動部件合部件140相連接。 10 201128722 另外搞合部件MO透過驅動轴ls〇連接至驅動部·。 在此，驅動部160作為動力發生裝置，可採用電動馬達等。 耗合部件14G形成於驅動部16()與轉動部件12()之間，透過 驅動部160傳輸生成的旋轉力。 ° 即，麵合部件140為控制自驅動部16〇傳輸的旋轉力之大小 及/或者方向傳輸至轉動部件120而具備的動力連接裝置。 並且’驅動部160 _動速度可轉持—定，也可以根據外 部之控制而變化。 例如，根據檢查臺110的運動形態，即旋轉及升降運動而使 得根據驅動部160的旋轉速度加快。 與此不同’在檢查臺no的暫停狀財可以設定為驅動部16〇 之驅動速度變慢。 即’用戶根據在暫停時間内實制作業工序之種類，任意設 定相當於必要之消耗時間的暫停時間。 接觸單元200位於安裝在檢查臺⑽的被檢查體[之上側。 接觸單7L 2GG，例如由探針卡構成，並具備如探針銷的鋪銷 210 〇 如果，被檢查體L為發光二極體晶片時，接觸銷21〇接觸到 發光二極體晶片而向發光二極體晶片供應電流，則發光二極體晶 片在發光之同時進行測試。 並且接觸單元200可構成對框架220向上下方向固定之形態。 如「第1圖」所示，習知技術之發光二極體晶片測試裝置中 接觸單元20為上下驅動，因此接觸單元20中需要實現上下運動 11 201128722 的單獨驅動部。 但疋在本發明之中，檢查臺110除旋轉運動以外，還具有上 下方向進仃並進運動，因此不需要接觸單元200的單獨驅動。由 此縮短工序時間，並排除追加構成而實現節約費用。 測1單70 300為如積分球受光自發光二極體晶片發光的光 線，而測量光特性之裝置。 在測置早疋3 〇 〇可以設置例如光檢測器或者分光計量器等測 量器310。 j 凊參閱「第5圖」’對根據本發明的優選實施例之檢查 動模式進行說明 、連 =5圖」之X轴表示時間轴、y軸表示檢查臺之旋轉角速度。 臺可具備旋轉及升降運動，在此沒有單獨表示升降運動。 根據「第5圖」’根縣發明之實施觸檢查臺可 _及並進運動1區間，以及暫停時間η區間。 、備 離轉及並進運動1嶋味著，檢查臺朝向轉動部件分 離域近的方向升降之同時，使得旋 並且在暫停時卿區^婦之動作。 運動。 ]之内仏查：在_及升降t不採取任何 目前檢查臺之_勒態解元 續進行，但在本發明中不需要接觸單元之升降掉=要知順序連 縮短工_，這樣有助於 12 201128722 以下’將參閱「第6圖」至 臺之多種運動模式。 帛圖」’進—步詳細說明檢查 在「第6圖」至「第9圖 之旋轉運_圖表。 ’上側之ffi表絲示檢查臺 在此’ X軸表示時間軸 另外，在「第6圖」至「第查臺之旋轉角速度。 檢查臺之升降運動的圖表。·」之中，下側之圖表為表示 在此，X軸表示時間輛，^ 度。 y軸表不根據檢查臺的升降運動之速 此時’在y轴上正（+ )方向表示檢 之方向，即具備的獅 賴轉動将分離 備向轉動部件-側接近之扣㈣（·）方向表示檢查臺具 請參閱「第6圖」下降之運動。 旋轉及細咖U1 〗）包含有第一 區間）。 以及第一旋轉及升降運動區間（2 向接近轉動(1區間)意味著’檢查臺朝 另外，第二升降 同時旋轉之區間。 向自轉動部件』的方區間）意味著’檢查臺朝 在1區間檢查臺向下:降f動的同時旋轉之區間。 步驟完成測試的發解除被檢查體L，例如在前述 查臺進行旋轉。 體曰曰片與測量單元之間的連接。之後檢 在2區間檢查麵均絲，緊鳴恤，例如完成測 13 201128722 試的發光二極體晶片與測量單元的連接。 其後’具備暫停時間π ’此時的檢查臺在旋轉及升降中不採 取任何運動。因此，能夠穩定的進行被檢查體之測量。 位置 另外’在此結合關’酬接觸單元及測量單元位於檢查臺 之上側位置的航，_單元及·單元還可位於檢查臺之· 此時’在1區間’檢查臺朝向自轉動部件分離的方向採取 =運動’在2區間，檢查臺躺接近轉動部件的方向採取升降運 ^7-4 將參閱「第7圖」具體說明檢查臺的其他運動模式。 -閱「第7圖」，檢查臺之運動模式（1區間）包含有：第 轉:升降區間(1區間)及旋轉區間(2區間)，第二旋 轉及幵降運動區間（3區間）。 旋轉及升降運動區間（1區間）為，_朝向接 牛的方向採取升降運動之區間。 取旋(糊）$ ’梅不縣耕運動而僅採 轉勤 之區間。 升降運動的同時，檢查臺採取旋轉運動 第7圖」所示的運動模式與厂 透過追加轉區間（2區 圖」化以之不相同， 檢查臺之升降運動。 此夠在1區間與3區間迅速地實現 201128722 由此，能夠更加迅速的進行被檢查體與接觸單元之間的連接 緊固及解除。 以下，將參閱「第8圖」，具體說明檢查臺之另一運動模式。 請參閱「第8圖」，檢查臺的運動模式（1區間）包含有··第 一升降運動區間（1區間），第一旋轉及升降運動區間（2區間）， 第二旋轉及升降運動區間（3區間），以及第二升降運動區間（4 區間）。 在此，在第一升降運動區間（1區間），檢查臺不採取旋轉運 動而是朝向接近轉動部件的方向僅具備升降運動。 另外’在第一旋轉及升降運動區間（2區間），檢查臺朝向接 近轉動部件的方向採取升降運動之同時具備旋轉運動。 此外，在第二旋轉及升降運動區間（3區間），檢查臺朝向從 轉動部件分離之方向採取升降運動的同時具備旋轉運動。 另外，在第二升降運動區間（4區間），檢查臺不採取旋轉運 動而是朝向從轉動部件分離的方向僅具備升降運動。 「第8圖」中所示的檢查臺之運動模式與「第ό圖」及「第7 圖」中《尤月之内谷不同，追加具備第一升降運動區間（^區間）及 第二升降運動區間（4區間）。 由此’在不採取旋魏動的狀態下僅具備料運動，從而能 夠更加穩定的進行被檢錢與細單元之_連誠者解除。 =下。月參閱「第9圖」，詳細說明檢查臺之另一運動模式。 请參閱「第9圖」，檢查臺的運動模式（I區間）包含有，第 升降運動區間（1區間），第一旋轉及升降運動區間（2區間）， 15 201128722 旋轉區間D區間），第二旋轉及升 二升降運動區間（5區間）。 勒5間（4區間），以及第 在此，在第-升降運動區間（ 動而是朝向接近轉動部件的方向具備升曰降運_不採取旋轉運 另外’在第-旋轉及升 近轉動部件的方向採S區間），檢查臺朝向接 g ο 降縣的科具備_運動。 此外，在奴轉區間3區間，檢杳喜 備旋轉運動。 -臺不練升降運動而是僅具 另外’在第二旋轉及升降 轉動部件分_方 門（4_)，檢查臺朝向從 μ μ 運動的同時具備旋轉運動。 動f 升降獅區間（5 ，檢查臺稍取旋轉運 動而=朝向從轉動部件分離之方向僅具備升降運動。 Μ^樣—根ί第9圖」所示之檢查臺的運動模式，能夠更加 i定的實現被檢查體與接觸單元之間的連接或者解除。 第10圖」係為表示本發明—實施例的旋轉裝置之剖視圖。 Π圖」係為「第1G圖」之旋轉裝置之侧視圖。 請參閱「第10圖」至「第U圖」’能夠具體確認本發明一實 施例之旋轉裝置的構成。 如圖所示，具備8個安裝部件m及支撐框架112。 此時，如「第12圖」所示，旋轉臺11〇經過一個旋轉及升降 運動區間而旋轉的角度0為45。。 。如果—個安裝部件111位於測雜置，則自職位置處於·90 位置的*裝部件111將位於裝載位置。在此，哪。意味著對檢查 201128722 臺的旋轉方向為逆向9〇。。 另外’在測試位置位於90。位置的安裝料⑴將位於純位 在褒载位制試的被檢查體放置於檢查臺。並且純位置拾 取完成測試的被檢查體。 匕卜在其他位置，例如在測試位置位於衫。、I%。、18〇。、 135位置的安裝部件nl上也可進行多種作業模式。 此多種作麵式之具體實例包含有，清掃或者清洗安裝部件 m之工序;補償放置於安裝部件ηι上的被檢查體之位置的工序。 1並且’還可以包含有’再次拾取未能自安裝部件111卸載的 被檢查體之工序，冷部或者加熱被檢查體之卫序，觀察被檢查體 之狀態之工序，加工或者處理被檢查體之工序等。 第13圖」及「第14圖」係為表示本發明—實施例的轉動 部件之構成之模式圖。 乍為轉動。卩件12〇巾具備的機械元件的_部份，「第^圖」 之中表不為滾輪齒輪凸輪（1Ollei：gearcam)機構，「第Μ圖」中圖 示槽輪齒輪（genevagear)機構。 首先4參閱「第13圖」，圖示的轉動部件12G雜合韩130 絡音113相作為輸人軸及輪_。糾巾間介人驅動及從動滾 輪齒輪凸輪機構12卜122而構成。 ^動輪錄謝22具備8個錢齒。如果驅減輪齒輪 疑轉1 ’則縱動滚輪齒輪凸輪旋轉Μ。 運動區間及暫停_之長度根據驅動滾輪錄凸輪121之齒 17 201128722 斷續性。由此驅動部刷之連續性運動變成檢查臺110的 以下凊參閱「第Μ圖」，轉動部件⑽將輪 ⑴ 》別作為輸人轴及輸出轴，並在 如圖所示，齒輪 介入減速齒輪而使得杆113旋轉1/8。紅轉Μ。並在中間 孰知===輪凸輪機構或槽輪齒輪機構之構成及設計方法為 熟知的技術内容，因此省略詳細說明。 加速輪齒輪凸輪機構或槽輪齒輪機構追加減速齒輪、 ’而將輸入軸之旋轉運動改變成輸出側的斷續 說明。 的方法也為熟知的技術内容，因此省略詳細 人員轉物，她關領域之技術 •兄可以在不改變本發明之技術思想或必要特徵的情 况下，谷易改變成其他具體方式。 方面為娜的，並且並 =)=二例如，說明為形成為—體或者單一形態之各構成要 〜，嶋f各___ -極體4之光躲’但本發㈣對林限於此。 範圍透過專利申請範圍表示，自專利申請範圍之含 義及細及其均等概念推導出的所有變更或者變形之形態均應當 201128722 包含於本發明 【圖式簡單說明】 圖； 第1圖係為習知技術之一發光二極體晶片測試震置之概略 置之運動模 第2圖係為習知技術之一發光二極體晶片測試裝 式之時序圖； 、一第3圖係為概括地表示具備本發明一實施例的旋魏置的發 光一極體晶片測試裝置之側視圖； 剖視圖； 第4圖係為概括地表示本發明—實施例之轉動部件的作業之 運動模式之驅 第5圖係為說明本發明一實施例之旋轉裝置的 動時序圖； & 作麵編糊㈣一工 置的運動模式之第三 第8圖係為本發明一實施例之旋轉裴 作實例之驅動時序圖； 作實置的運動模式之第- 置之剖視圖； 第10圖係為本發明一實施例之旋轉裝 19 201128722 第11圖係為第10圖之旋轉裝置之側視圖； 第12圖係為本發明一實施例之檢查臺的作業模式之模式 圖；以及 第13圖及第14圖係為本發明一實施例之轉動部件的構成之 模式圖。 【主要元件符號說明】 1 10、110 11 ' 111 12、112 13 20、200 21 ' 210 22、220 30、300 31 ' 310 100 113 120 121 122 發光二極體晶片測試裝置 檢查臺 安裝部件 支撐框架 驅動部 接觸單元 接觸銷 框架 測量單元 測量器 旋轉裝置 杆 轉動部件 驅動滚輪齒輪凸輪機構 從動滾輪齒輪凸輪機構 20 201128722 123 檢查臺 130 耦合軸 140 耦合部件 150 驅動軸 160 驅動部 L 被檢查體 θ 角度 A 旋轉軸 21