TW201104733A - Break bar - Google Patents

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201104733 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種於對圓形之構件精細地進行切斷加工 之步驟等之切斷步驟中所使用之分斷棒。 【先前技術】 於製造半導體時將圓板狀之晶圓分割成多個四邊形之步 驟中’通常將晶圓固定於切片板上，使用較薄之切片機， 使切片機旋轉而對晶片之間進行掃描，由此將多個晶片形 成為四邊形。 又’於專利文獻1中提出有如下之半導體晶圓加工裝 置，其於將半導體晶圓切斷成晶片狀時，對晶圓之表面進 仃刻劃並沿解理面進行分斷，由此將該晶圓分割成多個晶 片。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開平2003_282485號公報 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] ,、、、:而於專利文獻i中，對晶圓表面之正方形區域進行 刻劃及分斷而將晶圓切斷加工成晶片。圖!⑷係半導體晶 圓之切割步驟之平面圖’圖1(b)、^⑷分別為a_a線、^_ B二剖面圖。於圖丨中，#切片板1〇2貼附於圓環形狀之切 晶環ιοί上，且將晶圓1〇3安裝於該切片板1〇2之黏著面上。 此時’如圖1(a)所示’於工件⑻之正方形之部分上預先形 148540.doc 201104733 成多個格子狀之刻劃線’且如圖1(b)、圖1(c)所示，必須 使用固定長度之分斷棒104、105沿該刻劃線進行分斷。、 於此，如圖2(a)所示，若可從晶圓1〇3之圓形之大致整個 區域切出晶片，則可無浪費地獲得晶[因此效率變佳。 然而此情形，刻劃線之長度變得不固定。如圖2(b)中A_A 線剖面圖所示，當使用長度與晶圓1〇3之半徑大致相等之 長分斷棒106、1〇7之情形，A_A線之部分可分斷。然而， 曰衣101之异度例如為1.2 mm〜2.〇 mm而厚於晶圓1 之 厚度（大約為0.8 mm)，因此如圖2(C)*B_B線剖面圖所示， 於B-B線部分，分斷棒1〇7接觸於切晶環ι〇ι而無法進行分 斷。因此，存在必需根據刻劃線之長度而更換分斷棒之不 足0 本發月係鑒於上述之先前問題而完成者，其技術性課題 在於提供一種可容易地變更分斷棒之刀尖之長度之分斷 棒。 [解決問題之技術手段] 為了解決上述問題，本發明之分斷棒包括：—對旋轉 軸’其形成於分斷棒之兩端；及柱狀之分斷部，其形成於 上迹旋轉軸之間；且於上述分斷部之上述柱狀之外周面 上’與上述旋轉軸之中心軸平行地形成有複數個具有不同 特性之刀尖。 於此’上述分斷部為多稜枉狀，上述分斷部係分別將上 述多棱柱狀之各脊線部設為刀尖，亦可使刀尖之規格因各 條脊線而不同。 148540.doc 201104733 於此上述夕邊形狀部之脊線之兩端分別具有缺口，將 缺口之間作為刀大’並且亦可使刀尖之長度因各條脊線而 不同。 , 於此，亦可使上述分斷部之長度方向上之刀尖之中央部 位於同一位置。 於此上述刀斷部之刀尖之前端亦可分別具有槽。 [發明之效果] 根據具有上述特徵之本發明’僅使分斷棒沿旋轉軸旋轉 便可容易地變更分斷棒之刀尖之長度。因此，可獲得能夠 容易地選擇與應分斷之工件之刻劃線的長度對應之刀尖而 進行分斷之效果。 【實施方式】 圖3(a)係表示本發明之第1實施形態之分斷棒之-例之立 體圖’圖3(b)係上述分斷棒之側視圖。如該些圖所示，第1 實施形態之分斷棒10具有三稜柱狀之形狀，且於兩端形成 〇 有圓形之旋轉軸i la、llb。而且，將中央之三稜柱狀之部 • 分設為分斷部12。於此，將1條脊線之中央部設為刀尖 13a，且如圖所示將脊線之兩端設為缺口 13b、13c。分斷 部12之另一條脊線亦相同地，中央部分成為刀尖“a、 15a ’於脊線之靠近旋轉軸之兩端設置有缺口 14b、i4e、 15b、15c。刀尖i3a、14a、15a相對於分斷棒之長度方向 之中心點而左右對稱，且該些刀尖之長度互不相同，刀尖 13 a之長度最短，刀尖15a之長度最長。 圖4(a)係表示第2實施形態之分斷棒2〇之立體圖，圖 I48540.doc 201104733 係該分斷棒20之側視圖。該實施形態之分斷棒2〇之兩端具 有旋轉軸21a、21b，該分斷棒20之中央部成為四稜柱狀之 分斷部22。分斷部22之各條脊線之中央部分成為刀尖 23a、24a、25a、26a，於各條脊線之靠近旋轉軸之部分上 設置有與第1實施形態相同之缺口 23b、23c、24b、24c、 25b、25c及26b、26c。此時，中央之脊線之刀尖23a〜26a 之長度亦各不相同，刀尖23a之長度最短，刀尖24a、 25a、26a之長度依序變長。 圖5(a)係表示第3實施形態之分斷棒30之立體圖，圖5(b) 係該分斷棒30之侧視圖。該實施形態之分斷棒3〇之兩端亦 具有旋轉軸31a、31b，該分斷棒30之中央部成為五稜柱狀 之分斷部32。分斷部32之各條脊線之中央部分成為刀尖 33a、34a、3 5a、36a、37a，於各條脊線之靠近旋轉軸之 部分上設置有與第1實施形態相同之缺口 33b、33c、34b、 34c、3 5b、3 5c、3 6b、36c及 3 7b、3 7c。此時，中央之脊 線之刀尖33a〜3 7a之長度亦各不相同，刀尖33a之長度最 短’刀尖34a、35a、36a、37a之長度依序變長。 圖6(a)係表示第4實施形態之分斷棒40之立體圖，圖6(b) 係該分斷棒40之側視圖。該實施形態之分斷棒4〇之兩端亦 具有旋轉軸41a、41b ’該分斷棒40之中央部成為六棱柱狀 之分斷部42。分斷部42之各條脊線之中央部分成為刀尖 43a、44a、45a、46a、47a、48a，於各條脊線之靠近旋轉 軸之部分上設置有與第1實施形態相同之缺口 43b、43c、 44b 、 44c 、 45b 、 45c 、 46b 、 46c 、 47b 、 47c及48b ' 48c 。 148540.doc 201104733 此時’令央之脊線之刀尖43a〜48a之長度亦各不相同，刀 尖43a之長度最短，刀尖44a、45a、46a、47a、48a之長度 依序變長。 圖7(a)、圖8(a)係分別表示第5、第6實施形態之分斷棒 50、60之立體圖，圖7(b)、圖8(b)係該些分斷棒50、60之 側視圖。於該些實施形態中，除了分斷部為七稜柱、八稜 柱之方面以外，其他方面與上述實施形態相同而省略詳細 之說明。该些具有多邊形之分斷部之分斷棒之脊線亦同樣 地成為刀尖’它們之脊線之長度分別因各條脊線而不同， 再者，多邊形之邊數可任意地設定，又，亦並不限定於正 多邊形。 又，並不限疋於稜柱，如圖9所示，亦可設為於圓柱狀 構件之表面使刀尖部分突出之結構。該分斷棒70之兩端具 有一對旋轉軸71 a、71 b，4 而且，於中央之分斷部72， 中央之圓柱部分成為分斷部72。

再者，刀尖之個數可任意地選擇。

响穴稷往狀之分斷棒4〇 , 面觀察之部分剖面圖。若舉例說 則該分斷棒40之各個刀尖為如圖 148540.doc 201104733 10(a)所示沿脊線具有細槽之刀尖“心丨，而代替圖6之三角 形之刀尖，例如刀尖43a。該槽形成於刀尖之整個區域， 槽之寬度係以窄於工件之刻劃間距之方式來選擇。其他刀 尖亦相同。 又，帶有槽之刀尖中，如圖10(b)中刀尖43a_2所示，亦 可與槽之底面平行地對槽之端部進行開槽。又，如圖Μ。) 中刀尖43a-3所示，亦可使槽之部分突出而設置槽。其他 刀尖亦都相同。 μ 又，於上述實施形態中，使設置於多稜柱之各條脊線或 圓柱之表面之刀尖之長度不同，但例如當利用非正多邊= 之各條脊線作為刀尖時，或當於圖9所示之圓柱之表面設 置有刀尖時，亦可使刀尖剖面角度（收斂角度）因每個刀尖 而變化，又，當為圖1〇所示之帶有槽之刀尖時，亦可使= 之寬度或深度因每個刀尖而變化。 其次，對使用本發明之分斷棒將圓形之工件加以分斷時 之動作進行說明。如圖11(a)之平面圖、圖11(1?)之中央縱 剖面圖所示，於切晶環101之底面上安裝有切片板ι〇2，'於 切片板102之上表面貼附有圓形之工件n〇。於該圓形之工 件11〇上預先形成有格子狀且整體上大致為圓形之刻劃 線。圖12(a)係該工件110之切斷步驟之正視圖，圖i2(b)、 圖12(c)分別為Α·Α線、B-B線剖面圖。於此，使用具有上 述六稜柱狀之分斷部42之分斷棒4〇來進行分斷，如圖丨之所 示，於工件之上下配置一對分斷棒。於此，線L1〜L6表示 分斷時之分斷棒之刀尖之長度。即，線叫系使用最短之刀 148540.doc 201104733 尖㈣行分斷時之刀尖所接觸之線。此時，如圖⑽ 不上下使用相同之分斷棒4〇，將任意一個分斷棒，例 如僅將下方之分斷棒40向圖中之上方上推來進行分斷。如 此一來，上方之分斷棒4〇不與切晶環1〇1之面接觸便< 進 , 行分斷。而且，使工件僅移動刻劃線之間距。 繼而，當將比該線Li稍長之線以加以分斷時，使上下之 分斷棒40旋轉60。，然後使用較短之刀尖44a來進行分斷。 〇 卩下相㈤針對線L3、L4、L5、L6而分別使用45a、 46a、47a、48a來進行分斷。如此一來，僅使分斷棒旋轉 便可選擇所需長度之刀尖，因此無需根據刀尖之長度來更 換分斷棒，從而可簡化製造步驟，縮短製造時間。 再者，於έ亥貫施形態中，表示了上下使用相同之分斷棒 來進行分斷之步驟，但亦可係僅任意一者使用圖3〜圖8所 示之分斷棒，而另一者使用剖面為圖10所示之具有帶槽之 刀尖之分斷棒。 0 [產業上之可利用性] 本發明係用於對圓形構件進行切斷加工之步驟中，可按 照刻劃線之長度來提供且可容易地變更分斷棒之刀尖，對 切斷加工有用。 【圖式簡單說明】 圖1(a)〜圖i(c)係表示使用先前之晶圓加工裝置將切晶環 上之工件加以分斷之狀態之圖。 圖2(a)〜圖2(c)係表示使用長條之分斷棒將切晶環上之工 件加以分斷之狀態之圖。 148540.doc -9- 201104733 圖3(a) @ 3(b)係表示本發明之第}實施形態之分斷棒之 立體圖及側視圖。 圖4(a) ® 4(b)係表示本發明之第2實施形態之分斷棒之 立體圖及側視圖。 圖5(a)、圖5(b)係表示本發明之第3實施形態之分斷棒之 立體圖及側視圖。 圖6(a)、圖6(b)係表示本發明之第4實施形態之分斷棒之 立體圖及側視圖。 圖7⑷、圖7(b)係表示本發明之第5實施形態之分斷棒之 立體圖及側視圖。 圖8⑷、圖8(b)係表示本發明之第6實施形態之分斷棒之 立體圖及側視圖。 圖9(a)、圖9(b)係表示本發明之第7實施形態之分斷棒之 立體圖及側視圖。 圖10(a)〜圖l〇(c)係表示本發明 4 « /3疋谷貫施形態之分斷棒之 刀尖之變形例之部分剖面圖。 圖11⑷、圖11(b)係表示使用本發明進行分斷時之工件 之一例之圖。 圖i 2⑷〜圖i 2⑷係表示使用本發明之分斷棒將工件 之狀態之圖。 【主要元件符號說明】 分斷棒 旋轉軸 10、20、30、40、50、60、70 1 la、1 lb、21a、21b、31a、31b 41a、41b、71a、71b 148540.doc •10. 201104733 13a、14a、15a、23a、24a、25a、 26a、33a ' 34a、35a、36a、37a、 42a、43a ' 44a、46a、47a、48a、 73 ' 74...76 13b 、 13c 、 14b 、 14c 、 15b 、 15c 、 23b ' 23c ' 24b 、 24c 、 25b 、 25c 、 26b 、 26c 、 33b 、 33c 、 34b 、 34c 、 35b 、 35c 、 36b 、 36c 、 37b 、 37c 、

42b 、 42c 、 43b 、 43c 、 44b 、 44c 、 46b 、 46c 、 47b 、 47c 、 48b 、 48c

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Claims (1)

1. 201104733 七、申請專利範圍·· 1. 一種分斷棒，其包括： 一對旋轉軸’其形成於分斷棒之兩端；及 柱狀之力斷部，其形成於上述旋轉軸之間，·且 於上述分斷部之上述柱狀之外周面上，與上述旋轉軸 之中心軸平行地形成有複數個具有不同特性之刀尖。 2· 如凊求項1之分斷棒，其中 Ο 上述分斷部為多稜柱狀，且 上述刀斷。P係分別將上述多稜柱狀之各脊線部設為刀 尖，且使刀尖之規格因各條脊線而不同。 3. 如請求項2之分斷棒，其中 述多邊I狀部之脊線之兩端分別具有缺口，將缺口 之間設為刀尖，且估„ ^ 主 大之長度因各條脊線而不同。 4. 如s月求項3之分斷棒，其中 使上述分斷部之長度方向上 位置。 大之中央部位於同一 5. 如請求項1至4由 中任—項之分斷棒，其中 上述分斷部之乃八 之刀大之則端分別具有槽。 I48540.doc