201100811 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 知月疋州… 4里仕千導體裝詈辇站 ^試中所使用的、將被檢查體的終端與測=查體的電氣 電氣連接之探針卡。 、忒機的终端進行 【先前技術】 、像半導體積體電路（1C)那樣的半導 為1c晶片而於晶圓上形成多個的階段中進是在作 查）。然後，在其組裝步驟之前去仃”氣測試（檢 I置。而且’近年來可在組裝為Ic模‘ ^作二, 例如’作為晶圓級CSP (晶片級封裝），1 ^進仃私查。 的晶圓上卿成配線層，並在該 成了 1C曰曰1 錫凸塊等的1C模組，可進行在晶圓狀態下= 可對採關如腳（卷帶式封幻雜的封^安=卜成 的1C模組的動作不良或電氣特性進行檢查。 、滅 在上述檢查中’探針卡得到有效地應用，該探針卡是 使按壓在作為被檢查體的IC的終端上之多個接觸體（探 針）安裝於例如圓盤狀的配線基板的下面而形成。在該探 針卡中’於配線基板的上面設置有多個測試接合區（hnd， 連接(pogo)座）’該測試接合區從電氣檢查裝置的測試器的 終端（例如連接針(pogo pin))接受檢查用的電氣訊號。而 且’利用在上述配線基板上所形成的配線圖案，使那些連 接座和探針各自對應地進行電氣連接。在這裏，上述配線 基板具有多層配線的構造。 201100811 通常，從測試器終端所傳送來的電氣訊號被固定。而 且，在上述探針卡上安裝有具備固有的多層配線構造的配 線基板，該多層配線構造是與被檢查體及其檢查的種類相 對應。這種探針卡中，當由於被檢查體的樣式而產生其終 端的配置的變更或分配到終端的電氣訊號的變更時，需要 重新製作與該變更相符的不同的多層配線構造的配線基 板。因此，上述探針卡難以迅速地應對其顧客的需求及難 _ 以低成本化。 0 因此，提出有一種探針卡，可利用從配線基板獨立的 被覆絕緣體的導電線（跳線(jumper wire))，按照上述被檢 查體的樣式變更而簡便地進行跳線的結線（例如，參照專 利文獻1)。如利用這種探針卡，則可利用跳線的結線的變 . 更而簡便地應對上述樣式變更，能夠使用相同的配線基 板，所以，探針卡製造的交工期和成本的降低變得容易。 而且，在例如以向頻訊號進行動作的半導體裝置那 樣，被檢查體的動作向速化的情況下，具有習知的多層配 〇 線構造的配線基板之探針卡難以進行正確的電氣特性的檢 查。因此’即使在這種情況下，也經常使用具有從配線基 板獨立的跳線之構造的探針卡。這裏，配設由同軸線纜或 訊號線一接地線對(pair)所構成的複芯線，以作為跳線（例 如，參照專利文獻2)。 〔專利文獻〕 〔專利文獻1〕曰本專利早期公開之特開2〇〇4一 125548號公報 201100811 號公i專利文獻2〕日本專利早期公開之糾2_ —32533 線配==τ線之探針卡’採用使所需數目的跳 線配置在配線基板的上_之構造。而且， 而使探針卡的彼此對應的連接座和探針電氣連接。'但是， ，這種利賴線的探針卡中，#被檢查體的終端的數目增 夕而探針向乡躲發糾，要減_地纽線基板的上 面側配設多條n而且’在配線基板的上面，IC等的主 ^件或電阻體、電容料的被動元件構成的所需的電子 構件會發生無法進行表面安裝的問題。 而且，§伴酼上述的多針化而使來自電氣檢查裝置的 測試器終端的數目增加時，由這些測試器終端所形成的對 配線基板的連接座的全接觸壓增大。而且，例如2000〜 4000根的測試器終端所形成的全接觸壓達到2〇kg以上。 為了得到此夠承文這樣的接觸負荷的強度，配線基板的厚 度需要與上述的探針及測試器終端的多針化一起增加。但 疋，配線基板的厚度增加時，用於連接該配線層間的導通 孔（via hole)或從基板的上面貫通到下面所形成的穿通孔 (throughhole)將加深，而使配線的寄生容量增大。而且， 在南速動作的半導體裝置這樣的被檢查體中，會阻礙正確 的檢查。 而且，因為上述跳線配置在探針卡的配線基板的上面 側並呈暴露的狀態，所以，在電氣檢查裝置中容易受到探 針卡的上方所配置的測試器或檢查時所產生的來自被檢查 201100811 =電磁鱗的影響。而且，由於這些外界干擾，在高速 檢杳的半導體裝置這樣的被檢查體中，有時會阻礙正確的 【發明内容】
G Ο ㈣ί發明的目的是提供—種鑒於上述問題而形成的、能 ，、…顧客需求而自如地進行配線的變更之探針卡。而 &本發明的目的是在該探針卡中，使探針的多針化變得 谷，且可對被檢查體進行正確的檢查。 偏^了達成上述目的’本發明的探針卡的構成包括：多 ^ ’其與被檢錄的終端接觸；探針頭，其安裝有前 j針’ f狀的配線基板，其在第1主面上設置有生成檢 ，電氣訊號之測試器的終端所接觸的乡個測試器終端 邛，在第2主面或第1主面上設置有可使前述探針的 連f的多個探針終端連接部；基板保持構 、才、西^其1麵主侧保持前述配線基板，並與前 導電的空隙;以及被覆絕緣體的多條 接邻和^, μ述空隙内，將前述多個測試器終端連 接#刖衫個探針終端連接部進行電氣連接。 【發明的效果】 、二t發明的構成’可提供—種對應於顧客的需求而 二成ί的探針卡。而且，在該探針卡中，探 針的夕針“易’且可進行其正。 【實施方式】 乂下，π圖不’對本發明的幾個較佳的實施形態進行 201100811 說明。這裏，對彼此相同或類似的部分付以相同的符號， 且省略部分的重複說明。但是，圖示為概略圖，各尺寸的 比例等也與現實的尺寸比例不同。 (第1實施形態） 麥照圖1、圖2、圖3及圖4 ’對關於本發明的第i實 施形態陳針卡進行說明。這裏，圖丨所示為關於本實施 形態的探針卡的概略剖面圖。而且，^ 2及圖3分別為構 成探針卡的配線基板的-_子之上面圖及下面圖。圖4 為構成探針卡的基板歸構件的—個例子之平面圖。 π不，徠針卡 2製的基板保持構件12，其中，配線基板η由例如印 (PCB ; Pnnted Clrcuit Β_)那樣的板狀基 央區诚央區域已穿通。而且，在基板保持構件12的中 中心持有板針頭13。而且，在基板保持構件12 定位置上，設置有突㈣12a，且在這 並從下方得^支持配線基板11安裝在基板簡構件12上 形成所需數2的、0丨丨、上，於其上面（第1主面）的外周部 些連接座14 ^試器終端連接部亦即連接座η，且與這 與連接座14 订電氣連接的連接座用連接11 15，是 11的下面（第2主固分別例如對向配置地安裝在配線基板 周部設置有所兩數面）而且，在配線基板U的上面的内 接器16對向的^立晉目的連接器16,並在其下面的與各個連 、罝上，形成設置有與連接器16電氣連接 201100811 的探針終端連接部的探針用連接區17。 而且，在配線基板u的下面及基板保持構件12的一 主面12b之間所形成的空隙12c中，設置有將各個連接座 用連接區I5和探針用連接g W進行連接的所需數目的跳 線18。14裏，配置了跳線18的空隙12c的空間的大小是 考慮跳線18的數目，並根據由基板保持構件12的-主面 12t^而來的犬出部i2a之高度而設定。另外，跳線π包括·· 〇 只疋喊線的單芯線、由同軸電€或訊號線-接地線對 (Ρ&1Γ)構成的複芯線’或者軟性印刷基板（FPC ; Flexible Printed Circuit)、軟性排線（FFC ; FlexibleFlatCabie)等 的軟性電纜。 如圖1所不，在探針頭13中，安裝在探針固定部19 上的夕個探針20，疋使處於其基端的探針的終端通過例如 FPC21而與連接器16電氣連接。另外，探針是使其頂 端與彳皮a檢查體的終端彈性接觸。在該探針頭13中，這些探 針2G疋藉㈣用光微f彡技術的微細的金屬加工*形成，並 〇 以規定的傾斜肖度岐裝在探針E]定部19上。上述FPC21 在構成探針終端連接部的連接器16的上端，經由例如異方 • [^導電薄膜（ACF ;施她响Conductive Film)而與規 $的配線®案的連接區相連接。而且，該連減在配線基 板11的下面作為探針用連接區17而被取出。 适樣，本實施形態的探針卡10形成可經由跳線18而 使配，基板11的連接座14和探針2〇自如地進行電氣連接 之構k，其中，該跳線18配置在該配線基板U的下面和 201100811 基板保持構件12的-主面l2b之間關隙丨 跳線18利用焊錫接合、連接針或acf等而與上述= 接 座用連接區15或探針用連接區17相連接。在跳線μ由軟 性電、纜構成的情況下’藉由彻ACF的連接， 裝高度，所以能夠增加在空隙仏中可配置的軟性 Ϊ纜數，從而有效地應對多針化。而且，在連接針的 ‘f月況下，是在配線基板U上所設置的貫通孔中插通著連接 針’且與連接座14或連接器16相連接。纟這種情況下， 也可不設置連接翻連接區或探針騎接區Η。 =，在利用該探針卡1G的被檢查體的電氣測試中， ，4 —裝置的賴器終端亦即連接針被壓接在配線基板 的上面的連接座14上。而且，來自測試器的電氣訊號 從連接座14通過跳線18、連接器16及Fpc2i而被^ 到與被檢查體的終端彈性接觸的探針2〇。 、、 鮮再/闕2〜圖4，對配線基板11及基板保持 。 仃5兒明。如圖2、圖3所示，配線基板u為工 片圓盤狀的印刷基板，且形成為在其中央區域^置有第1 開口 22的構造。而且’在配線基板11的上面，于其外周 部設置所需數目的連接座14。圖2為連接座14沿著5個 同心圓而排列的例子。而且，在配線基板U的上面的内周 部，配置安裝有所需數目（在圖2中為20個）的連接器 16 ° ° 另外，電阻體、電容器等被動元件23及1C等主動元 件24被適當地表面安裝在例如連接座14及連接器16的配 201100811 置區域之間。這裏，例如旁路電容器那樣的被動元件23 被插入配線基板1丨摘設⑽電源配線和接地配線（未圖 示）之間’、以除去電源噪聲。而且，主動元件24在例如新 產生了與被檢查體相符的固有的電氣訊號之情況下，適當 地進行安裝。或者，安裝有響應波形修正電路那樣的ic。 Ο ο 而且’在配線基板η的外周部的多個規定位置形成 所需數目的第1貫通孔25。同樣，在配線基板u的 部的規定位置（在圖2中為4處）形成第2貫通孔26。配 線基板11藉由插通這些第i貫通孔25及第2貫通孔％ 的螺絲或螺栓，而如後述那樣安裝保持在基板保持構 上。 另-方面，在上述配線基板u的下面，與其 排列的各個連接座14對應地形成有連接座用連接區15。 =且:連接座用連接區15經由貫通上述配線基板u 通孔（未圖示）而導通到對應的各個連接座14。而且 的㈣部，形成有從連接器16拉出的探針用 而且，雖然圖3令未圖示，但在配線基板U的下 ，田圖！所說明之部分的所㈣跳線18以其—端來與連接 =連接區15相連接’其另一端與探針用連接區17相連 行it癌而設置著。該跳線18可按照顧客需求而適當地進 作Α Γί，在形成有上述第1貫通孔25的部分，形成有 作為h層的接地用的第i接地層27。而且，這些第β 11 201100811 地層27沿著配線基板n的周邊而設置且彼此連結。同樣， 在形成有第2貫通孔26的部分形成有第2接地層^。 在上述的配線基板n上，於例如樹脂製的積層板的 上面形成有由銅那樣的金屬箱所構成之襯墊(pad)狀的連 接座I4纟其下面形成有由同樣的金L轉成之連接座 用連接區15及探針用連接區17。而且，在配線基板U的 例如内層形财電源配線和接地配線。或者，在内層的2 層形成有接地配線或接地層。這樣，配線基板u开^成3 層〜5層的配賴造的多層配線板，其具有形成了上述那 樣的連接座Μ的配線層、内層的配線層、形成了連接座用 連接區15及探針用連接⑤17的配線層。這裏，上述*層、 5層的配線基板u的厚度為例如2mm左右。 除此以外’也可採用使電氣訊號用的配線設置在配線 ς = 11的⑽之乡層崎構造。而且，也可使電源配線或 配線①置在配線基板i丨的上面或下面而形成2層配線 稱造。
C 此相對，如圖4所示，基板保持構件12由例如壁 右的贿籠的金^板構成，且成為與配線基 目讀平面雜，並形絲在其巾央區域設置有第2 署的構造。而且’沿著基板保持構件12的周邊，設 從一主面121突出規定高度的周邊突出部122。另外， ^基板保持構件11的外周部的規定位置（在圖4中為4 二番^成外周突出部123，並在其内周部的規定位置形成 °又周突出部124。這些外周突出部123及内周突出部 12 124 Ο ο 201100811 相同高二：ΐ上端:成為與周邊突出部122的上端面處於 、古此二又置之形態，而從一主® 121突出形成。這裏， 板保持構件12 一體形成較佳’但也可利用 ::，、寺構件12異種的導電體，而形成在其一主面121 在内】ΐ中11周突出部123上設置多個第1螺絲孔30， u 置第2職孔31 ° ^，配線基板 所4 ^ 貫觀25並與上述外職出和3上 ==二r螺:r絲或•而結合在 與上述内周突出部26 # 之蟫w 第螺絲孔31進行螺合 η巧栓’而使配線基板n結合在基板保持構件12 =，喊基板u可錄板簡齡 =⑵、内周突出部124或周邊突出部122抵接並二裝保 圖4所說明的部分㈣邊突㈣12 出部124,相當於請說明的突出部=， 跳線18的設置時所必需的空隙仏，而適當地設 部122、外周突出部123及關突出部124的 相距一主面121的高度。 旧 =且，該基板保持構件12形成為在其中央 設置有探針頭η ’且其探針20從第2開 反:： 底第：出2:構造。而且，與探針“ 穿通弟2開η 29和探針固定部19的間隙，並從配 13 201100811 線基板11的第1開口 22而與圖2所示的配線基板11的上 面的連接器16形成電氣連接。 在上述的基板保持構件12中，其周邊突出部122及 外周突出部123是與配線基板n的第丨接地層27相連接。 同樣，内周突出部124與配線基板π的第2接地層28相 連接。這樣，基板保持構件12固定為穩定的接地電位。例 如，該接地電位從測試器終端經由規定的連接座，並通過 配線基板11上所形成的接地配線或接地層而供給到第^ 接地層27及第2接地層28。 在基板保持構件12上所設置的突出部12a，並 不限定於圖4所示那樣的周邊突出部122、外周突出部123 及内周突出部124。除此以外，也可為例如完全不形成或 部分形成周邊突出部122的構造。或者，也可為外周突出 沿者基板保持構件12的環繞方向而等間隔地設置在 同的位置上之構造。而且，也可為完全不形 成内周犬出部m的構造。無論如何，只要該突出部12a 持配線基板n，並可確保配置跳線18的空 隙12c之形態而形成且設置著即可。 圖5戶Γ面^圖5 ’對上述探針卡1〇的變形例進行說明。 圖2相於第】f施形態_針卡的變 =針=例的探針卡^為探針形成臂式探針或 心#式&料的情況，所示為其部分的剖面構造。 板所探針卡收具有例如由圓盤狀的印刷基 構成的配線基板n和金屬製的基板保持構件12。而 14 201100811
A 且，在配線基板11的下面的中央區域，安裝作為探針終端 的多個探針固定用終端3 2，並分別植入且設置懸臂式的探 針20。而且，與圖丨所說明的情況相同，在基板保持構= 12的周邊或規定位置設置突出部12a，且在該突出部 上，使配線基板11安裝在基板保持構件12上並從下方得 以支持。另外，在上述配線基板U上，也可不在苴 ^ 域形成第1開口 22。 ^ Ο ο 而且，在配線基板11的上面的外周部形成所需數目 的連接座14，且在配線基板u的下面設置與這些連接座 14分別進行電氣連接的連接座用連接區15。而且，在配線 基板11的下面設置探針用連接區17。而且，在盥第ι實 =態的情況相同地，於配線基板u的下面及基板保持構 的-主面12b之間所形成的空隙12c中，設置將各個 連接座用連接區15和探針用連接區17 目的跳線18。 而數 把^圖5所示’上述懸臂式的探針20分別通過配線基 、内層所设置的内層配線33，而與探針用連接區Ο 。即使在該探針卡1〇a中’也是形成為經由該配 /的下面和基板保持構件12的一主面12b間的空 置⑽線18，而使配線基板11的連接座μ 矛探針20可自如地進行電氣連接之構造。 =以外，作為未圖示陳針卡Μ的變形例， 在圖戶斤說明的那樣的探針頭13 二 2〇可對被檢軸終難直地進行探針 15 201100811 在第1實施形態的探針卡中，於配線基板u的上面 形成可與電氣檢查裝置的測試器終端進行接觸之連接座 14，且该配線基板11安裝在金屬製的基板保持構件12上 並得到支持。而且，採用了在配線基板U及基板保持構件 12間所形成的空隙12c中配置所需的跳線18之構造。利 用這樣的跳線18，配線基板η的連接座14和探針可 自如地進行電氣連接。但是，在利用跳線18所形成的上述 連接中，配線基板11可從基板保持構件12進行裴卸。a 而且，如為這種探針卡，則即使因被檢查體 的配置料生變更，也不需要進行配 的變更可對絲客需求迅速地提供低成本的探針卡。 而且，即使被檢查體的㈣數增加，且探針向 ☆ 亚設置多個跳線18，也可在配線基板u的上面上， i之=彳rc等主動元件或電阻、電容器等被動元件所構 的電子構件的表面安裝。這是因為，形成為= -己置在配線基板u的下面側之構造跳、 € 線基板11和基板保持構件U間的空； =的大小’是依據跳線18的數目進行設定，可得以二 且’上述跳、線18可以最短距離將連接座14刭、查拉 或探針用連接區17之間進行電 j連接 使因顧客需求而使被檢查體的樣式發生Τ'即 戶 =連接座用連接區15及探針_妾區π = 生各種各樣的變化，也可確實地得以 7的位置產 16 201100811 而且’因為利用基板保持構件12來保持配線基板11 的強度，所以容易使配線基板n的厚度變薄。因此，能夠 將用於連接配線基板U上所設置的配線層間之導通孔或 穿通孔變淺，減小配線層的寄生效應。
這樣’在測試器和被檢查體之間可經由探針卡而容易 地傳送所需的電氣訊號。而且，該探針卡的傳送路徑的低 阻抗化及低電抗化成為可能，使被檢查體的正確的電氣特 性的檢查變得容易。而且’在例如高速動作的半導體裝置 那樣的被檢查體中，也可進行正確的檢查。 而且，本實施形態的探針卡與習知技術的情況不同， 形成為可容易地抑觀線基板u上所設置的配線層的數 目之構造’所以’即使為上述多針化的情況，也不需要使 配線基板11多層化。目此，也使本實劇彡態賴針卡可進 一步地低成本化。 而且 尽貝施形態的跳線18可配置在探針卡的配線 基板11和其基板保持構件12之間並封閉在裏面。因此， 在電乳檢查裝置巾，從探針卡的上方所配置的測試器朝向 ，線18的電磁嗓聲由例如具有接地層的配線基板n來屏 t而且在檢查時所產生的從被檢查體向跳線Μ的電磁 反保持構件12而被有效地屏蔽。這樣，電磁噪 遮蔽，即使在高速動作的半導體裝置那樣的被 檢—體中，也可容易地進行正確的檢查。 本實絲11峨針卡+，料躲板保持構 件來保s又跳線18，所以，能夠防止因探針卡的搬運或 17 201100811 檢查使用等的操料的掛轉所 針卡的上雜作作纽料。 、且’使探 (第2實施形態） 下面，參照圖6、圖7及圖8 形態的探針卡進行說明。在這裏，圖: = 施 的探針卡的模式概略圖。而且，圖7及圖8分=施 構成f十卡的配線基板的一個例子之上面圖及下面圖。不 ^圖6所示’探針卡4G具有由例如印刷基板 $ =狀的弟i配線基板41及第2配線基板& ^ =基板鋪構件12。而且，如第1實卿態所說明的 録板保持構件12的中央區域固定保持有探針頭η。之 ^在基板鋪構件12上設置有魏高度不_ =出部m和第2突出部12e，且第2突出部仏以^ ^面較第丨突出部m的上端㈣高之形“形成設 者。而且’第1配線基板41及第2配線基板42可分 突出部12d和第2突出部仏而安裝在基板保持才^ 件12上並從下方得以支持。 第1配線基板41相當於第！實施形態所說明的配線 基板11耕周部，並在其上面形成所需數目的連接座14。 而且’與這些連接座14分別進行魏連接的連接座用連接 區15安裝在第1配線基板41的下面上。而且，第之配 基板42才目當於第i實施形態所說明的配線基板u的内周 部’並在其上面設置所需數目的連接器16，且在其下面妒 成設置有從連接器16拉出的探針用連接區17。 y 18 201100811 而且’在弟1配線基板41的下面及基板保持構件12 的一主面12b之間，還在第2配線基板42的下面及基板保 持構件12的一主面12b之間形成空隙12c。這裏，第2配 線基板42的下面及基板保持構件12的一主面12b之間的 空隙12c的高度，較第1配線基板41的下面及基板保持構 件12的一主面12b間的空隙12c的高度還大。這與第2 突出部12e以較第1突出部I2d還高的形態而形成且設置 _ 之情況相對應。 〇 在上述那樣的空隙12c中，與第1實施形態所說明的 情況同樣地’設置將各個連接座用連接區15和探針用連接 區Π進行連接之所需數目的跳線18。在這種情況下，配 置有跳線18的空隙12c也是由各個第1突出部i2d及第2 突出部12e的上端面的高度而決定。而且，如圖6所示， 在與第1實施形態所說明的情況同樣的探針頭13中，安裝 在探針固定部19上的多個探針20通過例如FPC21而與連 接器16形成電氣連接。 〇 這樣’在本實施形態的探針卡4〇中，與其第1配線 基板41的下面及基板保持構件12的一主面12b之間的空 隙12c相比，其第2配線基板42的下面及基板保持構件 12的一主面12b之間的空隙12c在高度方向上具有大的擴 展。=且，形成為可經由這些空隙12c中所配置的跳線18, 而與第1實施形態的情況同樣地，使配線基板u的連接座 14和探針20自如地進行電氣連接之構造。 在第1實施形態的配線基板11和基板保持構件12之 19 201100811 間所形成的空隙12c中配置的跳線18，使接近配線基板n 的内周部的楝針用連接區17的一側較外周部的連接座用 連接區15的-舰置為高空間密度。這是因為，這種情況 下的空隙12c必然地使内周部一側較外周部在空間上更狹 窄。與此相對，在第2實施形態中，相當於上述内周部的 第2配線基板42的下面及基板保持構件12的一主面12b 間之空隙12e的高度’較相當於上料周部的第丨配線基 板^的下面及基板保持構件12的—主面12b間之空隙12c 的鬲度°又疋传更大。而且，在跳線18的配置下，可防止接 近探針用連接區17的一側的高空間密度化。 另外，與第1實施形態所說明的情況同樣的跳線18， 利用焊錫接合、連接針或ACF等而與連接座用連接區b 或探針用連接區17相連接。而且，將連接座14和連接器 16進行電氣連接。這裏，與第1實施形態的情況同樣，在 跳線18由軟性電纜構成的情況下，藉由利用ACF的連接， 可降低軟性電纜的安裝高度，所以，使空隙12c中能夠配 置的軟性電纜數目增加，從而可有效地對應多針化。而且， 在利用連接針的情況下，在配線基板11上所設置的貫通孔 中插通連接針，並與連接座14或連接器16進行連接。 在利用該探針卡40的被檢查體的電氣測試中，與第1 ，，形態所說明的情況同樣地，使作為電氣檢查裝置的測 试器終端之連接針壓接在第1配線基板41的上面的連接座 14上。而且’使來自測試器的電氣訊號從連接座14通過 跳線18、連接器16及FPC21，而傳送到與被檢查體的終 20 201100811 端進行彈性接觸的探針2〇。 其次，參照圖7及圖8，對第1配線基板41及第2配 線基板42加以說明。如圖7、圖8所示，第i配線基板41 和第2配線基板42形成為可將例如第1實施形態所說明的 那種配線基板11分割為2部分而得到之構造。這裏，配線 基板11沿著排列有其連接座14的外周部和排列有探針用 連接區17的内周部之間的同心圓肖43，進行例如路由器 ❹ （router)切割較為適當。但是，以利用這種2分割使配線基 板11的内層的配線不被切斷之形態而預先進行設置較 it。另外’在第2配線基板42的内層所設置的電源配線及 接地配線，可通過與第1配線41的連接座用連接區15相 連接之規定的跳線18，而固定至電源電位及接地電位。 在上述的路由切割方式下，配線基板Η的分割時的 機械應力小’對配線基板幾乎不產生損傷。而且，其切斷 面陡急，不需要去除毛刺，藉由分割配線基板11而製作第 1配線基板41和第2配線基板42時的作業性極佳。 〇 圖7及圖8所示的第1配線基板41與圖2及圖3所 說明的配線基板11的外周部相同，第2配線基板42與配 線基板11的内周部相同。這裏，如使例如第1配線基板 41的外徑為Φ300ιηιη，則第2配線基板42的外徑為 <D200mm左右。另外，其它的構造如第1實施形態的說明， 這裏省略詳細的說明。 而且，第2實施形態的基板保持構件12由例如鋁板 那樣的金屬板構成，形成使第1配線基板41和第2配線基 21 201100811 板42相合的平面形狀。而且，這種情況的基板保持構件 12除了一部分以外，大體為與圖4所說明的情況相同的 造。以下，主要對與第1實施形態的情況不同的部分進疒 說明。 丁 在圖4中，沿著基板保持構件12的周邊所設置的周 邊突出部122和在基板保持構件12的外周部的規定位^ (在圖4中為4處位置）所設置的外周突出部123，以它 們的上端面相距一主面121的高度位置大致相同之形態而 形成設置著。而且’在基板保持構件12的内周部的規定位 置（在圖4中為4處位置）所設置的内周突出部124，以 其上端面的高度位置處於上述周邊突出部122及外周突出 部123的上端面的更上方之形態而形成且設置著。例如， 如使周邊突^部122及外周突出部123的上端面的相距一 主面121之南度為2mm〜4mm左右，則内周突出部124 的上端面的相距-主面121的高度為例如5職〜1〇麵左 右。 1八山外iza宙周邊突部 二相突出部㈣構成。同樣，第2突出部=内 周大出。(U24構成。這裏’這種基板保持構件 成 =交佳:但它們的突出部也可利用與基板保持構件η不同 種練的導電體而形成在其一主面121上。 者’也可為外議㈣=== 22 201100811 向等間隔地設置在與4處位置不同的位置之構造。而且， 也可為内周突出部124設置在與4處位置不同的位置之構 造。無論採用哪種方式，只要以第1突出部12d能夠穩定 地保持第1配線基板41，第2突出部I2e能夠穩定地保持 第2配線基板42之形態來形成且設置即可。 接著，參照圖9對上述探針卡4〇的變形例進行說明。 圖9所示為關於第2實施形態的探針卡的變形例之概略部 〇 分剖面圖。該變形例的探針卡40a為探針採用臂式探針或 懸臂式探針的情況，所示為其部分剖面圖。 如圖9所示，探針卡40a具有：第1配線基板41，其 由例如其内周部已穿通的圓盤狀的印刷基板構成；第2配 線基板42，其配置在上述内周部；以及金屬製的基板保持 構件12。而且，在第2配線基板42的下面的中央區域: 安裝有多個探針固定用終端32’並分別植入設置有懸臂式 的探針20。而且，與圖6所說明的情況相同，在基板保^ 構件12的周邊或規定位置設置第1突出部12d，且在該第 1突出部12d上’使第丨配線基板41安裝在基板保持^ 12上並從下方得以支持。 另外，雖然未作圖示，但在例如圖4所示的内周突出 -部Π4上，使第2配線基板42安裝在基板保持構件上 並從下方受到支持。這裏，内周突出部124作為第2突出 部12e ’以其上端面較第1突出部12d的上端面還高2 態而形成設置著。另外，在第2配線基板42上，也可/ 其中央區域形成第1開口 22。 23 201100811 Ο 第1配線基板41與圖6所說明的情況同樣的，在其 上面^成所需數目的連接座14，並在第1配線基板41的 下面f裝與這些連接座14分別進行電氣連接的連接座用 連接，15。而且，形成設置有第2配線基板42的探針用 連接區17。而且，在第1配線基板Μ的下面及基板保持 構件12的—主面i2b之間，還在第2配線基板42的下面 板保持構件12的一主面12b之間形成空隙12c。在這 些^隙12c中，配置將各個連接座用連接區15和探針用連 接區17予以連接之所要數目的跳線18。 如圖9所示’上述懸臂式的探針2〇分別通過第2 g f基板42的内層所設置的内層配線33 ,而與探針用連4 區17形成電氣連接。而且，在探針卡4〇a中，也形成為# 由上述那樣的空隙12c中所配置的跳線18，而使連接座] 和探針20自如地進行電氣連接之構造。
除此以外’作為未圖示的探針卡4〇的變形例，可為 在圖6所說明的那種探針頭13中，使針式的多個探針加 對被檢查體的終端垂直地進行彈性接觸之構造。 在第2實施形態中，可達到與第丨實施形態所說明的 情况同樣的作用效果。而且，在該實施形態中，與第j實 施形恶的情況相比’使跳線18在空隙12c内的設置的空間 密度從配線基板的外周部到内周部之均勻化變得容易。 雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以 限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不 脫離本發明之精神和範圍内，當可作些許之更動與潤飾， 24 201100811 =本發批賴棚當概社_料觸_界定 平〇 、 例如，上述被檢查體除了半導體裝置以外，也 晶面板、形成為多層配線構造的電路基板等。 句狀 :且，配縣城基板歸餘的平面做除 形以外，也可為橢圓形、方形、多角形等。 圓 而且，形成為配線基板上面的測試器終端連接部之
接座亚不限定在配絲板的相部，其—部分也可配 内周部。 # 而且，基板保持構件除了利用上述螺絲/螺栓來達成的 錄合以外，也可採用财例如可在基板㈣構件和配線基 板間進行安裝和拆卸的夾子(clamper)等的扣合装置之構 邊。而且，基板保持構件採用配線基板的可自如裝卸的 造較佳。
而且基板保持構件並不限定於金屬製，也可為半 雜材質或絕緣體材料其它㈣。這裏，在採用絕緣性樹 脂那，的材料來構成的情況下，在其内層形成屏蔽層較佳。 最後，本發明的探針卡也可應用於例如晶圓狀態下的 1C的燒入(bum-in)測試。另外，在該燒入測試中，晶圓升 溫到室溫以上的規定溫度。 【圖式簡單說明】 圖1所不為關於本發明的第丨實施形態之探針卡的概 略剖面圖。 圖2所不為構成關於本發明的第1實施形態的探針卡 25 201100811 之配線基板的1例子的上面圖。 之配的第1實施形態的探針卡 之基實施形態的探針卡 斤：為關於本發明的第1實施形態的探針卡之變 形例的概略部分剖面圖。 下心义 略剖=卿為_本發_第2實彡狀探針卡的概 圖7所不為構成關於本發明的第2實施形態的探針卡 之配線基板的子的上面圖。 圖8所不為構成關於本發明的第2實施形態的探針卡 之配線基板的一個例子的下面圖。 圖9所不為關於本發明的第2實施形態的探針卡之變 形例的概略部分剖面圖。 【主要元件符號說明】 1〇、l〇a :探針卡 11 :配線基板 12 .基板保持構件 12a :突出部 12b :主面 12c :空隙 12d :第1突出部 12e :第2突出部 26 201100811 13 :探針頭 14 :連接座 15 :連接座用連接區 16 :連接器 17 :探針用連接區 18 :跳線 19 :探針固定部 ο ❹ 20 :探針
21 ： FPC 22 :第1開口 23 :被動元件 24 :主動元件 25 :第1貫通孔 26 :第2貫通孔 27 :第1接地層 28 :第2接地層 29 :第2開口 30 :第1螺絲孔 31 :第2螺絲孔 32 :探針固定用終端 33 :内層配線 40、40a :探針卡 41 :第1配線基板 42 :第2配線基板 27 201100811 43 :同心圓周 121 :主面 122 :周邊突出部 123 :外周突出部 124 :内周突出部