201033619 六、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於—種將作為檢查對象之晶圓 用訊號之電路構造之間予以電性連接的探針卡。、產生檢查 【先前技術】 〇 在半導體之檢查步驟中,有一種以切割前 (wafer level)進行導通檢查,以檢測出不良品的方, 以=圓級進行導通檢查時,為了將檢查裝置所產 之檢查用的信號傳送至晶圓,而使用收容多數個導電= 觸探針的探針卡(參照例如專利文獻丨)。 第13圖係顯示習知之探針卡之一構成例圖。第 所示之探針卡201係具備:探針保持具2〇3,用以收容對 應晶圓上之電極配置圖案而設置之複數個接觸探針2=;、 間隔轉換件(space transi〇rmer)2〇4,用為轉換探針保持 具203之細微配線圖案的間隔;中介件2〇5,用以中繼來 自間隔轉換件204之配線w ;配線基板206,將由中介件 205所中繼之配線w連接至檢查裝置;連接器2〇7,將配線 ❹ 基板206之配線與外部連接;板簧208,用以保持探針保 持具203 ;及補強構件209,用以補強配線基板206。由於 具有上述構成之探針卡2〇1係具備間隔轉換件2〇4及中介 件205 ’因此亦可對應檢查對象之電極間距的窄小化。 (先前技術文獻) (專利文獻) (專利文獻1)日本特開2005-164600號公報 4 321790 201033619 【發明内容】 (發明所欲解決之課題) ' 然而,由於上述之習知探針卡的零件數多且構造複 .,,因此崎性及維護財其_。m於間隔轉換
It及中介件的製造需要耗費時間且其材料亦昂貴,因而有 衣造成本變高之問題。 本發明係鐘於上述課題而研創者,其目的在於提供一 :對應檢查對象之電_距的窄小化,且具有零件數少 探針構造、組裝性及維護性佳、亦可降低製造成本的 (解決課題之手段)
為了要解決上述課顳,* ^ L 針卡係將檢查對象與產生檢2成上述目的,本發明之探 連接者,該探針卡之特備用職之電路之間予以電性 心接$第^具有:呈一端尖銳化 =:接觸部之長度方向;略柱狀=之:藉 可重而產生彈性屈曲(buckling)之彈性屈曲部;從前 ^彈1^屈曲部之延伸方向之端部即與相連於前述第1接觸 ^端部不同的端部,沿著前述延伸方向呈柱狀延伸的連 從前述連接部沿著一個方向呈板狀延伸之臂部;及 、袁部之端面中離前述第1接觸部之尖銳化的一端最 〇端面’朝與該端面正交之方向突出,且前端尖銳化之 2接觸部;以及 321790 201033619 » * ^奴針保持具,具有:具備有分別在一端部被前述連接 部貫通地插入且收容前述臂部之複數個第1保持孔的第1 保持具,及具備有分別被前述第1接觸部貫通地插入之複 數個第2保持孔的第2保持具;而收容前述複數個接觸探 針; 在不同之二個前述第1保持孔之未被前述連接部貫通 地f入之端部彼此之間的間隔之最小值,係大於或等於在 *同之一個别述第2保持孔之被前述連接部貫通地插入之 端部彼此之間的間隔之最小值。 冉者
-本發明之探針卡係在前述發明中,前述複數^ :探針各者係屬於前述臂部之延伸長度彼此不同之· 收办!!接_針之任—者,前述探針簡具係具有可分) 孔^4複數種類之接觸探針的複數種類之前述第上飼 接觸部之尖銳化的 係與通過前述一個方向 ^者,本發明之探針卡係在前述發明中,通過前述第 且與前述延伸方向平行之平面, 之刖述彈性屈曲部的下述寬度之中 ❹ 係Ϊ =述延伸方向平行之平面為不同者,其中,該寬度 ‘ = 與該方向之前述第1接觸 曲部之發明之探針卡係在前述㈣巾,前述彈性屈 臂部所:伸I:::向之寬度的剖面係形成為在與前述 延伸之側為相反之侧呈凹陷的形狀。 再者,本發明之探針卡係在前述發明中,在前述複數 321790 6 201033619 · 種類明之探針卡係在前述發明中,在前述複數 、衣中包含有:以前述臂部之與前述連接部的 邊界為起㈣時’在前述臂部之該起附近設有 2接觸部的接觸探針。 乐 (發明之效果) ❹ ”根據本發明’由於探針卡具備:導電性之複數個接觸 棟針,具有第1接觸部、彈性屈曲部、連接部、臂部及第 2接觸=且形成略L字形;以及探針料具,具有具傷分 別在卩被連接部貫通地插入且收容臂部之複數個第1 保持孔的第1保持具、及具備分別被第1接觸部貫通地插 入之複數個第2保持孔的第2保持具,而收容複數個接觸 探針;且使在不同之二個前述第1保持孔之未被前述連接 馨部貫通地插入之端部彼此之間的間隔之最小值,大於或等 於在不同之二個前述第2保持孔之被前述連接部貫通地插 入之端部彼此之間的間隔之最小值;因此無須利用間隔轉 換件或中介件即可在檢查對象側及配線基板侧轉換間距。 因此可提供一種對應檢查對象之電極間距的窄小化,且具 有零件數少且單純之構造、組裝性及維護性佳、亦可降低 製造成本的探針卡。 【實施方式】 以下,參照附圖說明用以實施本發明之最佳形態(以下 7 321790 201033619 ^ . 稱為「實施形態」)。此外,圖式係示意性 分厚度和寬㈣_、各部分减時等 不同的部分之情形。^亦包含纽的尺詞係或比率 (實施形態1) 第1圖係顯示本發明i之 解斜視圖。第2圖係顯示本發明實施形 == 部刻*=等:所"探針卡1係依據預定== 複数個導電性之接觸探斜之圖案保持 ❹ 查對象之晶圓及具備產生檢查用信將作為檢 置予以電性連接。 罨路構造之檢查裝 探針卡1係具備:3種類之接_ 〇 針保持具3,由較薄之圓盤狀之絕緣性材及2。;探 預定圖案收容並保持複數個接觸探針 斗斤構成,且以 基板4,由直徑比探針保持具3大2b及2c ;配線 所構成’且設置有謀求與檢查裝盤狀之絕緣性材料 數個連接器5,相對於配線基板4之中連接的配線層;複 且將配線基板4之配線與外部連接.^配設成放射狀, 著在配線基板4且®定探針保持具3 81環狀之板簧6 ’固 7,使用剛性高之材料而形成,且、,端部;及補強構件 面,以補強配線基板4。配線基板、著在配線基板4之- 及配線基板4與板簧6之間係分與補強構件7之間、 固定。 刀巧由未圖示之螺絲構件所 第3圖係顯示接觸探針2&之嫌 構成的斜視圖。第4圖係 3217% 8 201033619 顯示接觸探針2a及騎保持具3的主要部分 剖面圖。第5圖係顯示探針 ' ° ° 2c ^ ® ^ 了侏符具1 2之接觸探針2a、2b及 圖蝴_ ° Μ,㈣1圖至第5 圖說明接觸探針2a、2b及2〇及探針保持具3之構成。 接觸探針23係具有:一端呈尖銳化之角柱狀的第… 觸部21 ;從第i接觸部21之另—端沿著第i接觸部2ΐ之 長度方向(第3圖之z軸方向)呈略角柱狀而延伸,且對應 來自外部之荷重而產生彈性屈曲(buckUng)之彈性屈曲部 22,從彈性屈曲部22之延伸方向之端部即與相連於第^接 觸"卩21之端部不同的端部,沿著彈性屈曲部22之延伸方 向呈角柱狀延伸的連接部23 ;從連接部23之端部朝與連 接部之延伸方内正交的方向(第3圖之χ轴方向)呈板狀延 伸之臂部24a ;及以臂部24a之與連接部23的邊界為起始 端而設置於臂部24a之終端,朝與連接部23之延伸方向平 行的方向突出,且前端尖銳化之第2接觸部25。接觸探針 參 2係具有以臂部24a為底邊之大致L字形之外觀形狀。 如第4圖所示,彈性屈曲部22之包含X軸方向之寬度 的剖面係形成為在與臂部24a所延伸之側為相反之側呈凹 ^的圓弧狀。再者,如第4圖所示,通過彈性屈曲部22之 X軸方向之寬度中之录小寬度(與第1接觸部21之柱狀部 分之X軸方向的最大寬度R之差最大的寬度)之中點!^且與 321790 1 端T且與z軸平行之平面P3為不同者,平面ρ:係比平面p2 2 位於較遠離臂部24a處。 3 軸平行之平面Pi,係與通過第1接觸部21之尖銳化的前 201033619 接觸探針2a之板寬係為5〇# m左右。 2a之長度方向的長度係為5mm左右。而且臂々外,接觸探針 即與彈性屈曲部22之長度方向平杆夕士 ^ # 2红之寬度、 //m左右。 °的寬度係為200 接觸探針2b係具有第1接觸部2丨、彈 連接部23、臂部24b及第2接觸部25。臂部屈曲部22、 24a延伸更長。而且,第2接觸部25係從臂力2扑係比臂部 中離第1接觸部21之尖銳化的一端最遠部24b之端面 面正交之方向突出。 、嶠面,朝與該端 接觸探針2c係具有第丨接觸部21、 連接部23、臂部24c及第2接觸部25。臂/屈曲部22、 24a、24b延伸更長。而且,第2接觸部24。係比臂部 之端面㈣第】接觸部2】之尖銳化的1係從臂部24c 與該端面正交之方向突出。 破遠的端面,朝 2c時’亦可藉由餘 ’ '、*丨za、Zb及 者,就接觸探針2 4; _加-及該等之-合來形成。再 鎢、鈹系之合金等而° ’亦可使用銅、鐵(不鏽鋼)、 在以下說明中, 。 統稱為「接觸探斜在不區別接觸探針2a、2b及2c時, 統稱為「臂部24」’在不區別臂部24a、24b及24c時’ 探針保轉具^ 接部23且保持臂*" “有··供貫通地插入接觸探針2之連 ^ 24之圓盤狀的第1保持具31 ;及供貫 接觸探針2a、2b及2c係藉由私 且可-併地進行製造。此外:之電碡所形成’ ,亦可藉由為^ “ 在形成接觸探針2a、2b及 321790 201033619 通地插入接觸探針2之第2接觸部21且形成與第】保持具 31相同直徑之圓盤狀的第2保持具m保持具扑與 第2保持具㈣j令保持接_針2之部分的表面彼此之 間平行之態樣隔開’並將各個緣端部彼此之間予以螺絲固 定(未圖示)。 具有以上構成之探針保持具3係利用氧化链(Ah〇3)或 氮化矽(SiWO等陶瓷、塑膠樹脂等絕緣性材料所形成。此 外,亦可藉由以絕緣被膜對金屬等導電性材料之表面進行 ® 塗布(coating)而實現探針保持具3。 第1保持具31係具有複數個:分別呈^ ?形剖面形 狀,並且被連接部23貫通地插入且分別收容臂部2乜、2扑 及24c之3種類之第1保持孔311a、311b & 3Uc。如第4 圖所示,第1保持孔311a係具有:形成L字形剖面,且載 置並收容臂部24a之大徑部312a ;及被連接部23貫通地 插入之小径部313a。第1保持孔311b亦具有:形成l字 ❹形剖面,且載置並收容臂部24b之大徑部312b ;及具有與 小徑部313a相同形狀,且被連接部23貫通地插入之小徑 部313b(未圖示)。此外,第1保持孔3Uc亦具有:形成L 字形剖面,且載置並收容臂部24c之大徑部312^ ;及具有 與小徑部313a相同形狀,且供連接部23貫通地插入之小 徑部313c(未圖示)。 在形成第1保持孔311a、311b及311c時,在藉由鑽 孔加工等形成作為小徑部313a、313b及313c之貫通孔後, 分別配合臂部24a、24b及24c之形狀施以凹設孔加工,藉 321790 11 201033619 此形成大徑部312a、312b及312c。亦可藉由貼合具有大 徑部312a、312b及312c之板狀構件及具有小徑部313a、 313b及313c之板狀構件而實現第】保持具。 第2保持具32係具有由分別被第1接觸部21貫通地 插入之呈圓柱狀的複數個第2保持孔321。第2保持孔321 ,直徑係與第1保持孔3Ua之小徑部313a等的直徑相 等。第2保持孔321之位置係對應小徑部313a、31北及 313c之位置而形成。如此,複數個第丨保持孔“Μ、“η 及係朝上下方向與複數個第2保持孔321之任一個連 通0 第6圖係顯示從第5圖之上方觀看之接觸探針%、此 c的配置圖案之例的示意圖。在第6圖中,小圓係 顯=探針2之第i接觸部21的位置,另一方面,大圓係 :接觸探針2之第2接觸部25的位置,以實線連μ :接觸探針2之第i接觸部21與第2接觸部 圖所示之愔拟性哲, °在弟6 2接_ 第1接觸部21係以等間隔n排列,而第 此之25並非以等間隔排列,不同之第2接觸部25彼 此之間的間隔之最小值『2係比ηΜη>η) = 接觸部此及20進行排列’可使第1 之間距比第i t ’另一方面’可使第2接觸部25 之電極^ 部21之間距大。因此’可對應檢查對象 的乍小化,並且可增加配線基板4之電極41 圖案之自由度。 41的配線 配線基板4係利用酚醛樹脂(Bakelite)或環氣樹俨等 321790 12 201033619 絕緣性材料而形成,並 數個接觸探針2與檢杳由通孔等立體地形成有用以將複 圖案)。 〜、置予以電性連接的配線層(配線 板簧6係磷青銅、不 ❹ 所形成,且呈薄壁之圓^(=)、鈹解具彈性之材料 置有用以保持探針保持具3之偏及全周均等地設 部61係遍及全周將探針作=壓構件的爪部6卜水 線基板4之方向均等地推3之表_緣端部附近朝配 補強構件7係具有:具有與配線基板4大致相同直徑 之圓形的外周部71;具有與外周部71所形成之圓相同之 中心’且呈表面積略比探針保持具3大之圓盤狀的中心部 72,及從中心部72之外周方向延出至外周部71為止,且 連結外周部71與中心部72之複数個連結部73(在第i圖 中為4個)。補強構件7係可藉由進行防蝕鋁(alumiteM^ 整之鋁、不鏽鋼、因鋼材、鐵鎳鉻合金(K〇var,註冊商標)、 參杜拉鋁(duralumin)等剛性高乏材料而實現。 第7圖係顯示利用具有以上構成之探針卡〗進行檢 時的狀態的圖。如第7圖所示’第1接觸部21係輿半導〜 積體電路100之電極101接觸,另一方面,第2接觸部體 係與配線基板4之電極41接觸。 ^ 在第7圖中,彈性屈曲部22係藉由第1接觸部2ι 承受之荷重而產生彈性屈曲,且變形成朝χ軸正方向彎所 的形狀。如此,接觸探針2係具有僅朝一方向(第7圖曲
軸正方向)彎曲之性質。然而,随著彈性屈曲部2田^ X 囚應來 321790 13 201033619 » 自外4之荷重而變形,第1接觸部2i係使半導體積體電路 100之電極101朝χ軸方向滑動。因此,在以氧化膜覆蓋 電極101或在電極101之表面附著有污物時,可刮除該等 氧化膜或污物。 根據以上說明之本發明的實施形態i,由於藉由使用 複數種類之接觸探針,而在檢查對象側及配線基板侧變更 配線間距,因此無須利用間隔轉換件或中介件即可使檢查 對象侧之間距與配線基板側之間距成為1同之間距。此 ❹ 外’由於在第1保持具設置具有L字形剖面的第i保持孔, 因此可容易地進行大致L字形之接觸探針的定位及對探針 保持具之插入。因此,可對應檢查對象之電極間距的窄小 化,且具有零件數少且單純之構造,組裝性及維護性佳, 亦可降低製造成本。 =者’根據本實施形態卜由於不需要用間隔轉換件 件因此可使探針卡之高度方向的空間變得充裕, 而使探針及探針保持具之設計自由度增加。 (實施形態2) 第8圖係顯示本發明實施形態2之 的斜視圖。在本實施形態2中,適用 卡之主要構成 及2d。 種類之接觸探針2c 321790 24 1 之Γ接觸探針2d之構成的斜視圍。第9 _ 之接觸探針2d係具有第!接 趣固第9圖所 連接部烈、臂部24d及第2接觸部° 、彈性屈曲部22、 臂部24d係形成為與接 呈大致L字形。 針2a之臂部24a相同㈣狀。 201033619 :二25係在臂部24d之端部且沿著連接部23之延 伸方向哭出。 右夕持具8係具有:被接觸探針2c&別所分別具 ' 6 卩23貫通地插入且保持臂部24c及24d之圓盤狀 具81;及被接觸探針&及別所分別具有之第 =二/通地插入且形成與第1保持具31相同直徑 之圓盤狀的第2簡具82。第且 82係以令保持接n〇 h、81與帛Z保持具 ®行之態樣隔門,Γ 及2d之部分的表面彼此之間平 保持^8孫I ' 緣端部彼此予以螺絲固定。探針 、、i1二用與探針保持具3相同之材料而實現。 被連8U_ :分別呈L字形剖面形狀,並且 貝通地插入且分別收容臂部24c及24d之2種 類之第1保持孔811 牙[故及24d之2種 與上述第丨保持孔 d。第1簡孔8以係形成為 且有.載晉甘^ 同之形狀。第1保持孔_係 Φ 接觸探針%之臂部㈣之大徑部;及供 接觸探針2d之連接部23 久世 另一方而^ 〇, 3貝通地插入之小徑部(未圖示)。 ”通地插入之:分別形成被第1接觸部 孔82】。 、 且排列成一排的複數個第2保持 2d 示^第8圏之上方觀看之接觸探針&及 接觸部21的位置不^圖方:第】〇财’小圓係顯示第1 -™ _ 方面’大圓係顯示第2接觸邱9ς 、’以、線連結同一接觸探針之 接觸部25。在第10圖路- 接觸邛2】舆第2 在第1〇圖所不之情形時’第i接觸部η係以 321790 15 201033619 等間隔Γ3排列,而第2接觸部^ ^ ^ 0 並非以等間隔排列’鄰接 =第:觸部25彼此之間的間隔之最小值Γ4係比满4 >η)。如此,在實施形態2中,菝山 ^ 0 a OJ 精由利用2種類之接觸探 針2c及2d進行排列,可使第1拯 ^ 钱觸部21之間距窄小化, 另一方面’可使第i接觸部21 , m 士 <間靼比第2接觸部25之 間距大。因此,可對應檢查對象 增加配線基板之電極的配線圖案之 , ^ 目由度。 在第8圖及第1〇圖中,雖顯| ^ lfl1 啤牛導體積體電路100之電 極101排列成2排之情形,但本眘# ^ x, ^ 令貫施形態2亦可與實施形 態1同樣地適用在電極101排列由 ιηι & 或1排之情形,亦可適用 在電極101排列成3排以上之情形。 本實施形態2之探針卡係险7 β 〇r 0 , &了具備複数個接觸探針 2c、2d、探針保持具8及未圖示 複数個連衫5、板簧6及_^基板之外,亦具備 複數本發,形態2,由於藉由使用 複數種類之接觸探針,而在檢杳 ^ m 〜對象側及配線基板側變更 =,:?須利用間隔轉換件或中介件即可將檢查 =1線基板側之間矩作成不同之間距。此 外,由於在第1保持具設置具有L念 因此可料鉍行纽L㈣之; 保持具之插入。因此,可對應檢查對象之電極間距的窄小 化,且Μ料❹且單鈍d造,組裝性及維護性佳, 亦可降低製造成本。 , 说么述實施形態1同樣地, 再者’根據本實施形態2,與 321790 16 201033619 探針及探針保持具之設計自由度會增加。 (實施形態3) • 第11圖係顯示本發明實施形態3之探針卡之主要構成 .的斜視圖。在本實施形態3中,適用1種類之接觸探針託。 探針保持具9係具有:被連接部23貫通地插入且保持 臂部24b之圓盤狀的第1保持具91 ;及被第丨接觸部21 貫通地插入且形成與第丨保持具31相同直徑之圓盤狀的第 ❹2保持具92。第丨保持具91與第2保持具92係以保持接 觸探針2b之部分的表面彼此之間相互平行之態樣隔開,並 將各個緣端部彼此予以螺絲固定。探針保持具9係利用與 探針保持具3相同之材料而實現。 弟1保持具91係具有複數個:呈L字形剖面形狀,並 且供連接部23貫通地插入且收容臂部24b之第1保持孔 911。第1保持孔911係形成為與第1保持具31所具有之 第1保持孔311b相同之形狀。第1保持孔911係具有:載 ©置並收容接臂部24b之大徑部;及供連接部23貫通地插入 之小徑部(未圖示)。另一方面,第2保持具92係具有:分 別形成供第1接觸部21貫通地插入之圓柱狀,且排列成一 排的複数個第2保持孔921。 第12圖係顯示從第11圖之上方觀看之接觸探針此的 J己置圖案之示意圖。在第1〇圖中,小圓係顯示第1接觸部 21的位置’另一方面,大圓係顯示第2接觸部25的位置, 以實線連結同一接觸探針之第1接觸部21與第2接觸部 25 °在第12圖所示之情形時,第1接觸部21係以等間隔 321790 17 201033619 η排列’而第2接觸部25亦以等間隔η排利, 接觸部25彼此之間的間隔之最小值η係比苐’1鄰趣<苐2 之間隔η大(Γ6>η)β如此,在實施形態3中,1接觸部21 種類之接觸探針2b進行排列,可使第1接觸▲轉由利用玉 窄小化,另-方面,可使第!接觸部21之間21之間趣 部25之間距大。因此,可對應檢查對象之電比第2轾简 並且可增加配線基板之電極的配線圖案之自由的乍小化, 本實施形態3之探針卡係除了具備複数又 2b、探針保持具9及未圖示之配線基板之外固接_探斜 個連接器5、板簧6及補強構件了。 亦具備複數 根據以上說明之本發明的實施形態3,由、 複數種類之接觸探針,而在檢查對象側及配綠;轉由使用 配線間距,因此無須利用間隔轉換件或中介基技侧變更 對象侧之間距與配線基板侧之間距成為不同即可使檢查 外,由於在第1保持具設置具有!^字形剖面的^間趄。此 因此可容易地進行大致L字形之接觸探針的定位1保持孔, 保持具之插入。因此,可對應檢查對象之電極間探釺 化,且具有零件.數少且單純之構造,組裝性及維護』 亦可降低製造成本。 再者,根據本實施形態3 ’與上述實施形態1同樣地, 探針及探針保持具之設計自由度會增加。 (其他實施形態) 以上雖詳細說明實施形態1至3作為用以實施本發明 之最佳形態,但本發明並非由上述3種實施形態所限定 321790 18 201033619 者 例如,在本發明中 了適用探針卡以外,亦^之接觸探針及探針保持具係除 查所用之插座等各種探為半導體封裝之電氣特性檢 形狀再:如在:發明中’接觸探針形狀並非限定於上述之 側呈/ Μ㈣村作成為在臂部24b所延伸之 例呈凹&的形狀’亦可作成為在臂部所延伸之側或其相反
❹ 之侧呈突起的形狀。此外,可將第2接觸部從臂部之上端 部突出的位置任意地設定。 此外,本發明亦可適用於具有配置圖案之探針卡,該 配置圖案係包含無須變換鄰接之接觸探針之間距的部分。 如此,本發明係可包含在此未記载之各種實施形態等 者,在不脫離由申請專利範圍所特定之技術思想的範圍 内,可進行各種設計變更等。 (產業上之利用可能性) 如上所述,本發明之探針卡係有用於晶圓之電氣特性 檢查。 _ _ _ 【圖式簡單說明】 第1圖係顯示本發明實施形態1之探針卡之構成的分 解斜視圖。 第2圖係顯开本發明實把形態1之探針卡的局部剖面 圏0 第3圖係顯示本發明實施形態1之探針卡所具備之接 觸探針之構成的斜視圖。 第4圖係顯示本發明實施形態1之探針卡所具備之接 321790 19 201033619 觸探針及㈣㈣具仏要部分之構成的局部剖
第5圖係顯示探針保持具之接觸探針之配 分的斜視圖。 θ $ I 第6圖係顯示從第5圖之上方觀看之接觸探針 圖案之圖。 第7圖係顯示利用本發明實施形態丨之探 查時的探針卡之樣態的圖。 卞進灯檢 第8圖係顯示本發明實施形態2之探針卡所具傷之探 針保持具之接觸探針的配置圖案之一部分的斜視圖。 第9圖係顯示本發明實施形態2之探針卡主要部分的 構成之斜視圖。 ^ 第10圖係從第9圖《上方觀看之接觸探針的配置圖案 之圖。 第11圖係表示本實施形態3之探針卡主要部分的 之斜視圖。 第12圖係顯示從第u圖之上方觀看之接觸探針的配 置圖案之圖。 第13圖係習知之探針卡之構成的圖。 【主要元件符號說明】 1、201 探針卡 2 2a、2b、2c、2d、2〇2 接觸探針 3、8、2G3探針保持* 4、2〇6配線基板 5 207 連接器 6 ' 208 7、2〇9補強構件 21第1接觸部 321790 20 201033619 22 彈性屈曲部 23 24a ' 24b 、24c、24d 臂部 25 31 ' 81 ' 91第1保持具 32、82 41 > 101 電極 61 71 外周部 72 73 連結部 100 204 間隔轉換件 205 311a、311b、311c、811c、 811d 312a 大徑部 313a 321 、 821 第2保持孔 w 連接部 第2接觸部 、92第2保持具 爪部 中心部 半導體積體電路 中介件 第1保持孔 小徑部 配線
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