201032942 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 該發明係關於具備有在介電體內具有兩個吸附電極之 雙極型之靜電吸盤，和對此供給吸附用之直流電壓之吸盤 電源之靜電吸盤裝置中之靜電吸盤之檢査方法以及靜電吸 盤裝置。 φ 【先前技術】 對於上述般之雙極型之靜電吸盤之製造後之檢查，或 將該靜電吸盤組裝於半導體製造裝置等之利用裝置之後的 檢查等，於以往係進行檢査在靜電吸盤內有無異常。 作爲檢查靜電吸盤內有無異常之方法，以往使用分別 設置在靜電吸盤之兩個吸附電極和吸盤電源之間的兩個電 流計，藉由測量在不載置基板等之被吸附物之狀態下流入 兩吸附電極的漏電流（電源接通後之穩定電流（即是，穩 φ 定在一定値之電流）而進行。 並且，在專利文獻1中，不記載檢查靜電吸盤內有無 異常之方法，記載有與上述相同之兩個電流計，和流動於 此之電流波形之例。上述漏電流相當於記載於該專利文獻 1之第3圖中，不配置基板時之電流的穩定電流。 但是，在記載於該專利文獻1之以往之檢查方法中， 雖然知道有無直流性之絕緣不良，但是無法判別靜電吸盤 內之靜電容的異常。靜電吸盤因係藉由靜電吸附被吸附物 ，故靜電吸盤內之靜電容之異常成爲吸附力對被吸附力異 -5 - 201032942 常之原因。再者，也對判定在靜電吸盤上是否具有被吸附 物，或是被吸附物是否正常被吸附造成不良影響。因此， 無直流性之絕緣不良，檢測出靜電容之異常爲重要。 並且，在上述專利文獻1之檢査方法中，雖然可知基 於漏電流之大小，會在靜電吸盤內之某處具有絕緣不良， 但是無法辦別係在何處的吸附電極周邊具有異常。例如， 無法判別在兩個吸附電極中的哪一個周邊具有異常，或是 在兩吸附電極間是否具有異常。於兩個電流計之測量値具 有誤差之時，雖然有可以推測異常處較接近於哪一個吸附 電極之情形，但其推測不見得正確。 再者’與上述專利文獻1不同，作爲在具備有於下部 介電體層和上部介電體層之間具有吸盤電極之靜電吸盤， 和被配置在該靜電吸盤之下方之下部電極的玻璃基板之載 置台，於開始使用靜電吸盤之前診斷其介電體之絕緣狀態 之方法’提案有對靜電吸盤之吸盤電極施加比吸附保持玻 璃基板之時更低之直流之診斷電壓，測量此時之靜電吸盤 之電特性（電壓或電流），從所取得之測量資料和事先設 定之設定資料判定靜電吸盤是否可以使用之方法（專利文 獻2)。 但是’即使在該專利文獻2所記載之靜電吸盤之診斷 方法中’藉由將測量資料與設定資料做比較，與專利文獻 1之情形相同’雖然可以判別在靜電吸盤內之何處具有絕 緣不良’但是無法判別在哪一個吸附電極之周邊具有異常 -6- 201032942 先行技術文獻 專利文獻 〔專利文獻〕日本特開平1 1-330220號公報（第1圖 、第3圖） 〔專利文獻2〕日本特開2008-074564號公報（第1 圖 '第2圖） φ 【發明內容】 〔發明所欲解決之課題〕 然而，靜電吸盤由於藉由靜電吸附被吸附物，故靜電 吸盤內之靜電容成爲吸附力對被吸附物異常之原因，尤其 在介電體內具有沿著該介電體之表面而被配置之正吸附電 極以及負吸附電極而藉由靜電吸附被吸附物之雙極型之靜 電吸盤中，判別在兩個吸附電極中之哪一個周邊是否具有 異常，或是在兩吸附電極是否具有異常，因除在製造時或 φ 實際運作時有助於保證正常吸附或追蹤不良處之外，可以 容易判定係在哪一個電極中存在有斷線或電極缺落、接地 之短路等的不良情況，故極爲重要。 在此，該發明之主要目的在於提供可以判別在雙極型 之靜電吸盤內的哪一個吸附電極之周邊是否產生靜電容異 常之方法以及裝置。 〔用以解決課題之手段〕 該發明所涉及之靜電吸盤之檢查方法係屬於具備有於 201032942 介電體內具有沿著該介電體之表面而被配置之正吸附電極 及負吸附電極而藉由靜電吸附被吸附物之雙極型的靜電吸 盤，和以接地電位部爲基準，對上述靜電吸盤之正吸附電 極及負吸附電極分別供給正的直流電壓以及負的直流電壓 之吸盤電源的靜電吸盤裝置之檢査方法，其特徵爲： 在上述靜電吸盤之介電體內，於上述正吸附電極以及 負吸附電極之背面側，以該些吸附電極之間隔著特定間隔 分別相向之方式，設置正輔助電極及負輔助電極，並且將 _ 該些輔助電極連接於上述接地電位部， 執行在上述靜電吸盤上不載置被吸附物之狀態下，分 別測量自上述吸盤電源對上述靜電吸盤施加或中斷上述正 及負之直流電壓之時的（a)流通於上述靜電吸盤之正吸 附電極和上述吸盤電源之間的第1過渡電流，（b)流通 於上述靜電吸盤之正輔助電極和上述接地電位部之間的第 2過渡電流，（c)流通於上述靜電吸盤之負吸附電極和上 述吸盤電源之間的第3過渡電流，及（d)流通於上述靜 @ 電吸盤之負輔助電極和上述接地電位之間的第4過渡電流 之中的至少三個過渡電流，並且算出屬於上述第1過渡電 流和第2過渡電流之差或上述第3過渡電流和第4過渡電 流之差的第5過渡電流，將所取得之各過渡電流分別與從 正常之靜電吸盤所取得之各過渡電流之基準値做比較，# 定上述靜電吸盤內之各吸附電極之周邊的靜電容之異常的 判定工程。 該發明所涉及之靜電吸盤裝置係屬於具備有於介電體 • 8 - 201032942 內具有沿著該介電體之表面而被配置之正吸附電極及負吸 附電極而藉由靜電吸附被吸附物之雙極型的靜電吸盤，和 以接地電位部爲基準，對上述靜電吸盤之正吸附電極及負 吸附電極分別供給正的直流電壓以及負的直流電壓之吸盤 電源的靜電吸盤裝置，其特徵爲：具備 正輔助電極及負輔助電極，在上述靜電吸盤之介電體 內，於上述正吸附電極以及負吸附電極之背面側，被配置 φ 成該些吸附電極之間隔著特定間隔分別相向；第1電流計 ，被連接於上述靜電吸盤之正吸附電極和上述吸盤電源之 間，測量流通於該些之間的第1過渡電流；第2電流計， 被連接於上述靜電吸盤之正輔助電極和上述接地電位部之 間，測量流通於該些之間的第2過渡電流；第3電流計， 被連接於上述靜電吸盤之負吸附電極和上述吸盤電源之間 ，測量流通於該些之間的第3過渡電流；第4電流計，被 連接於上述靜電吸盤之負輔助電極和上述接地電位部之間 # ，測量流通於該些之間的第4過渡電流；運算手段，算出 作爲上述第1過渡電流和第2過渡電流之差或上述第3過 渡電流和第4過渡電流之差而被求出的第5過渡電流；和 判定裝置，具備在上述靜電吸盤上不載置被吸附物之 狀態下，自上述吸盤電源對上述靜電吸盤施加或中斷上述 正及負之直流電壓之時，測量以上述第1至第4電流計之 中的至少三個電流計所測量出之上述第1至第4過渡電流 之中的至少三個過渡電流，並且算出以上述運算手段所算 出之第5過渡電流，將所取得之各過渡電流分別與從正常 -9- 201032942 之靜電吸盤所取得之各過渡電流之基準値做比較，判定上 述靜電吸盤內之靜電容之異常的功能。
上述第1或第2過渡電流成爲因應靜電吸盤之正吸附 電極和正輔助電極之間之靜電容之大小的電流。上述第3 或第4過渡電流成爲因應靜電吸盤之負吸附電極和負輔助 電極之間之靜電容之大小的電流。上述第5過渡電流成爲 因應靜電吸盤之正吸附電極和負吸附電極之間之靜電容之 大小的電流。 Q 因此，判別在雙極型之靜電吸盤內之哪一個吸附電極 之周邊是否產生靜電容異常，係可以藉由測量上述第1至 第4過渡電極中之至少三個過渡電極，將作爲第1或第2 過渡電流、第3或第4過渡電流之差而所求出之第5過渡 電流分別與特定基準値（由與該靜電吸盤相同規格之正常 靜電吸盤所取得之對應的第1至第5過渡電流）做比較， 而判別有無靜電容之異常而執行，除判別係在雙極性之靜 電吸盤內之哪一個吸附電極之周邊產生靜電容異常之外， Θ 亦可以執行判別在兩吸附電極間是否靜電容異常。 再者，在本發明中，因判別雙極性之靜電吸盤中之靜 電容有無異常，使用測量或算出的第1至第5過渡電流而 執行，故比起以往使用電壓或電流而進行之時，則有可以 取得與靜電容有關之多量資訊，該資訊係靜電吸盤用以發 揮其功能之基本。 並且，在本發明中，最理想係上述判定工程（判定裝 置）包含自上述吸盤電極對上述靜電吸盤施加上述正及負 -10- 201032942 之直流電壓之時的（a)測量上述第1及第2過渡電流之 至少一方之過渡電流，將該過渡電流下降至其峰値之特定 比率的時間，與對應於此之正常的靜電吸盤之時間做比較 ，判定上述靜電吸盤之正吸附電極和正輔助電極之間的靜 電容之異常的第1工程（第1功能）；（b )測量上述第3 及第4過渡電流之至少一方之過渡電流，將該過渡電流下 5 降至其峰値之特定比率的時間，與對應於此之正常的靜電 φ 吸盤之時間做比較，判定上述靜電吸盤之負吸附電極和負 輔助電極之間的靜電容之異常的第2工程（第2功能）； 和（c )將作爲上述第1過渡電流和第2過渡電流之差或 第3過渡電流和第4過渡電流之差而求出的第5過渡電流 之峰値，與對應於此之正常的靜電吸盤之峰値做比較，判 定上述靜電吸盤之正吸附電極和負吸附電極之間的靜電容 之異常的第3工程（第3功能）。如此一來，藉由使用所 測量之過渡電流之峰値下降至特定比率之時間進行判別有 Φ 無靜電容異常，因難以對電源和靜電吸盤影響配線的阻抗 或周圍之電磁場擾亂，故有能夠正確判定之優點。 並且，在本發明中，上述靜電吸盤之正輔助電極構成 對應於正吸附電極之形狀，再者，負輔助構成對應於負吸 附電極之形狀爲佳。依此，各吸附電極和各輔助電極之間 的靜電容變大，因應此通過該靜電容而流通之上述過渡電 流也變大並且成爲緩和。其結果，容易判定該過渡電流之 變化’並且容易判定上述靜電容之異常。 -11 - 201032942 〔發明效果〕 若藉由該發明時，測量上述第1至第4過渡電流中之 至少3個過渡電流，再者求取第5過渡電流分別與特定基 準値比較而判定靜電容之異常，依此可以判別係在雙極型 之靜電吸盤內之哪一個吸附電極之周邊是否產生靜電容異 常，並且也可以判別在兩吸附電極間產生靜電容異常。 【實施方式】 以下，根據附件圖面所示之實施例，具體說明本發明 〇 並且，在以下之實施例中，雖然使用自吸盤電源對靜 電吸盤施加正及負之直流電壓之時的過渡電流而執行靜電 吸盤之時予以說明，但是即使於使用切斷自吸盤電源對靜 電吸盤施加的正及負之直流電壓之時的過渡電流而執行靜 電吸盤檢查之時，亦可以同樣實施。 第1圖爲表示實施該發明所涉及之檢查方法之靜電吸 盤裝置之一實施形態之圖式。第2圖爲第1圖中之靜電吸 盤之槪略俯視圖。 該靜電吸盤裝置具備有藉由靜電吸附被吸附物（例如 ，晶圓等之基板）2之雙極型之靜電吸盤4，和對該靜電 吸盤4之正吸附電極8以及負吸附電極10，以接地電位部 GND爲基準，分別供給正的直流電壓+V以及負的直流電 壓-V之吸盤電源26。 靜電吸盤4係在接近例如陶瓷般之介電體6內之表面 -12- 201032942 ，具有沿著該表面而被配置之一對正吸附電極8及負吸附 電極10。兩吸附電極8、10在該實施形態中如第2圖所示 之例般，皆構成半圓形，並且配置成在相同平面內互相相 向而構成圓形。但是，一對吸附電極8、10之形狀並不限 定於此，即使爲其他形狀，例如梳形等亦可。 在靜電吸盤4之介電體6內，於正吸附電極8及負吸 附電極10之背面側（換言之與被吸附物2之吸付面相反 φ 側），使兩吸附電極8、10隔著間隔分別相向，而配置有 正輔助電極12及負輔助電極14。兩輔助電極12、14雖然 不一定要構成對應於吸附電極8、10之形狀，但是在該實 施形態中，正輔助電極12構成對應於正吸附電極8之形 狀，負輔助電極14構成對應於負吸附電極1〇之形狀。更 具體而言，在該實施形態中，兩輔助電極12、14分別構 成與吸附電極8、10機乎相同尺寸之半圓形，並且配置成 在相同平面內互相相向而形成圓形。 # 並且，在第1圖中，雖然將輔助電極12、14圖示成 小於吸附電極8、10，但是該僅爲了方便圖示而已。在第 2圖中，輔助電極12、14因重疊於吸附電極8、10，故在 .圖中無表示。 在不載置被吸附物2之狀態下，於上述正吸附電極8 和正輔助電極12之間形成有第1靜電容C!，在負吸附電 極10和負輔助電極14之間形成有第2靜電容C2，在正吸 附電極8和負吸附電極10之間形成有第3靜電容C3。該 些以等効電路性地表示於第1圖中。 -13- 201032942 靜電吸盤4在該實施型態中具有支撐上述介電體6等 之支撐台16。支撐台16於由金屬等之導體所構成之時， 支撐台16通常被電性接地。 吸盤電源26具有自其正輸出端子32以接地端子36 爲基準而輸出上述正之直流電壓+ V之政電源28，和自負 輸出端子34以接地端子36爲基準而輸出上述負之直流電 壓-V之負電源30。兩直流電壓+V、-V之大小互相相等， 極性爲相反。 在靜電吸盤4之正吸附電極8和吸盤電源26(更具體 而言，其正輸出端子3 2 )之間，連接有測量流通於其間之 第1過渡電流I!之第1電流計21。在該電流計21之線路 因應所需串連連接有電流限制電阻3 8。 在靜電吸盤4之正輔助電極12和接地電位部GND之 間，連接有測量流通於其間之第2過渡電流12之第2電流 計22。換言之，正輔助電極12經電流計22而被連接於接 地電位部GND (即是接地）。再者，吸盤電源26之接地 端子36因也被連接於接地電位部GND，故可以說正輔助 電極12經電流計22而連接於吸盤電源26之接地端子36 〇 在靜電吸盤4之負吸附電極1〇和吸盤電源26(更具 體而言’其負輸出端子34)之間，連接有測量流通於其間 之第3過渡電流13之第3電流計23。在該電流計23之線 路因應所需串連連接有與上述電流限制電阻38相同之電 阻値的電流限制電阻40。 -14- 201032942 在靜電吸盤4之負輔助電極14和接地電位部GND之 間，連接有測量流通於其間之第4過渡電流14之第4電流 計24。換言之，負輔助電極1 4經電流計24而被連接於接 地電位部GND (即是接地）。或是，也可以說負輔助電極 14經電流計24而連接於吸盤電源26之接地端子36。 吸盤電源26因係直流電源，故上述過渡電流I!〜14 ，本質上係於接通吸盤電源26之時，即是自吸盤電源26 φ 對靜電吸盤4施加上述正及負之直流電壓+V、-V之時過 渡性流通之電流。針對此在之後參照第3圖後之圖式再加 以說明。 再者，於接通吸盤電源26之時，通過上述靜電容C3 流通過渡電流Is。該過渡電流Is係根據克希何夫定律（ Kirchhoff laws )，上述過渡電流Ii和12之差或上述過渡 電流13和14之差的電流。具體而言，過渡電流15可以藉 由下述式1或式2求出。 • 〔式 1〕 15=1^12 〔式 2〕 l5= 13-14 在電流計21〜24所測量之過渡電流^〜:^之資料被 供給至判定裝置42。判定裝置42在該實施形態中，除具 有後述功能之外，具有依照上述式1或式2而算出上述過 渡電流15之運算手段。該判定裝置42係使用例如電腦而 被構成。 -15- 201032942 爲了執行靜電吸盤4之檢查’在該實施形態之檢查方 法中，執行下一個判定工程。 即是，分別測量在靜電吸盤4上不載置被吸附物2之 狀態下自吸盤電源26對靜電吸盤4施加上述正及負之直 流電壓+V、-V之時，上述過渡電流Ιι〜Is之內的含有過 竣電流15之至少四個過渡電流。具體而言，分別測量表1 所示之組合之至少四個過渡電流。即使測量或算出五個所 有過渡電流h〜15亦可。然後，將所測量或算出之過渡電 流與特定基準値分別做比較，判定靜電吸盤4內之靜電電 容之異常。 〔表1〕 ^組合 Cl判定用 C2判定用 C3判定用 15算出用 _ 1 I. Is Is h 2 Ιι I3 Is U 3 Ιι U Is I2 4 Ιι I4 Is I3 —5 h I3 I5 I. 6 h I3 h u 7 h I4 h Ii 8 h L, h I3
表1中之15算出用之過渡電流除靜電容C,、C2、C3 判定用之過渡電流之外’爲依上述式1或式2算出過渡電 流15所需之過渡電流。 上述過渡電流Ιι、12成爲因應上述靜電容C!之大小 之電流。上述過渡電流13、14成爲因應上述靜電容C2之 -16- 201032942 大小之電流。上述過渡電流成爲因應上述靜電容C3之 大小之電流。因此，藉由上述般之判定工程，可以判別在 靜電吸盤4內之哪一個吸附電極8、10之周邊是否產生靜 電容C 1或C2異常，並且也可以判別在兩吸附電極8、1 0 之間是否產生靜電容C3異常。 即是，若藉由該檢查方法，藉由設置分別對應於兩吸 附電極8、10之輔助電極12、14，因可以測量屬於自兩輔 φ 助電極12、14之返回電流的過渡電流12、14，並且亦可 以依上述式1或式2，算出流通於兩吸附電極8、10間的 過渡電流15，故容易掌握靜電容之變化。 以下，以上述判定工程之更具體例更詳細說明上述情 形。上述判定工程係在以下之實施形態中由接著的第1至 第3工程所構成。 (a )測量上述過渡電流I!及過渡電流12之至少一方 之過渡電流，將該過渡電流下降至其峰値之特定比率的時 9 間，與對應於此之時間，即與靜電吸盤4相同規格之正常 的靜電吸盤之時間做比較，判定靜電吸盤4之正吸附電極 8和正輔助電極12之間的靜電容C!之異常的第1工程。 上述峰値之特定比率例如爲峰値之1 /e。e爲自然對數 之底，爲2.718。特定比率雖然不限定於此，但是以下以 此爲例予以說明。針對接著第2工程中之特定比率也相同 〇 再者，靜電容c i之判定即使測量過渡電流I i及12之 雙方之過渡電流，於判定使用兩者亦可。如此一來，提筒 -17- 201032942 判定之精確度。針對接著第2工程中之過渡電流13及I4 也相同。但是，在以下之模擬中，以於靜電容Ci之判定 用使用過渡電流h，於靜電容C2之判定用使用過渡電流 13之情形爲例予以說明。 (a)測量上述過渡電流13及14之至少一方之過渡電 流，將該過渡電流下降至其峰値之特定比率的時間，與對 應於此之時間，即與靜電吸盤4相同規格之正常的靜電吸 盤之時間做比較，判定靜電吸盤4之負吸附電極10和負 _ 輔助電極14之間的靜電容C2之異常的第2工程。 (c )算出上述過渡電流15，將該過渡電流之峰値， 與對應於此之峰値，即與靜電吸盤4相同規格之正常的靜 電吸盤之峰値做比較，判定靜電吸盤4之正吸附電極8和 負吸附電極10之間的靜電容C3之異常的第3工程。 參照總結使用第1圖所示之裝置之等効電路而執行模 擬之結果的第3至第9圖，及判定內容之表2，更詳細說 明上述第1至第3工程。 · 201032942 〔表2〕 判定對象之 靜電容 測量電流 判定結果之例 異常內容 麵結果 C, 1!或12 下降至峰値之ι/e 之時間大 cl：k 第4圖 下降至峰値之1/e 之時間小 CVJ、 第5圖 c2 13 或 14 下降至峰値之1/e 之時間大 CA 第6圖 下降至峰値之1/e 之時間小 C】小 第7圖 c3 Is 峰値大 Cl大 第8圖 峰値小 C"J、 第9圖 第3圖爲表示正常之靜電吸盤4之上述過渡電流 15之一例。在時間0之時點接通電源。即使在其他圖也相 同。在過渡電流13畫上括號係表示過渡電流1,與曲線重 疊。針對過渡電流14也相同。即使在其他圖也相同。 事先測量如此正常之靜電吸盤4之過渡電流h、13成 爲其峰値P之Ι/e之時間t,，將此當作上述第1及第2工 程中之比較之基準値。該時間h若例如記憶在上述判定裝 置42內即可。並且，過渡電流1!〜14之峰値P雖然在以 下之說明及圖面中爲了簡化，使用相同符號P，但是在過 渡電流I!〜14中不一定要互相成爲相同値。 並且，事先算出正常靜電吸盤4之過渡電流15之峰値 P!，將此設爲上述第3工程中之比較基準値。該峰値Pi 若例如記憶在上述判定裝置42內即可。 並且，在該模擬中，雖然作爲比較之基準，使用第3 -19- 201032942 圖所示之正常靜電吸盤4之電流資料，但是在靜電吸盤4 之實際檢查中，使用與欲檢查之靜電吸盤4相同之規格的 正常靜電吸盤之電流的資料。兩資料因實質上相同，故在 以下之說明中，不區分兩者。 在靜電吸盤4中靜電容C!異常之時，例如第4圖表 示大於正常時（例如1 OOnF )之時（例如1 50nF )的例， 在第5圖表示小於正常時之時（例如30nF )之例。若與 第3圖比較可知，過渡電流I,、12明顯變化。 _ 作爲上述第1工程，測量過渡電流I,下降至其峰値P 之We之時間t2 (第4圖之時）、t3 (第5圖之時），將 此與正常之靜電吸盤4之時間tl做比較。由於第4圖之例 的情形爲η<ί2，判定靜電容C,大於正常時。由於第5圖 之例的情形爲t, < t3，判定靜電容C,小於正常時。該係在 過渡現象中所皆知，對靜電容接通直流電源之後所流動之 過渡電流，當靜電容大時對此之充電時間則變長，隨著時 間經過而緩和衰減，當靜電容小時，對此之充電時間變短 0 ，隨著時間經過急速衰減之故。如此一來，可以判定靜電 容山之異常。 作爲靜電容C 1變大之原因，可舉例如正吸附電極8 和正輔助電極1 2之間的距離等効性變小。該原因應係於 例如介電體6熱收縮之時，正吸附電極8之材料藉由電遷 移而擴散至周邊之時，由於正吸附電極8之周邊的放電產 生使得電極材料朝向周邊溶融固化。 作爲靜電容C !變小之原因，可舉例如正吸附電極8 -20- 201032942 之斷線、正吸附電極8和正輔助電極12之間的距離等効 性變大等。就以後者之原因而言’可想像例如依據介電體 6之熱而產生之膨脹，正吸附電極8之周邊的介電體6之 剝離等。 在靜電吸盤4中靜電容C2異常之時，例如第6圖表 示大於正常時（例如1 OOnF )之時（例如15〇nF )的例， 在第7圖表示小於正常時之時（例如30nF)之例。若與 φ 第3圖比較可知，過渡電流13、14明顯變化。 作爲上述第2工程，測量過渡電流ι3下降至其峰値p 之Ι/e之時間t4 (第6圖之時）、t5 (第7圖之時），將 此與正常之靜電吸盤4之時間t i做比較。第6圖之例之情 形由於爲U < t4，故判定成靜電容C2大於正常時。第7圖 之例之情形由於爲t! > t5 ’故判定靜電容c2小於正常時。 如此一來，可以判定靜電容C2之異常。 靜電容（：2變大或變小之原因的例，係與靜電容（^之 φ 情形相同。 如此一來’因藉由上述第1工程即第2工程，可以互 相獨立判定靜電容Ci之異常和靜電容C2之異常，故可以 容易判別靜電吸盤4之正吸附電極8和負吸附電極10中 之哪一個電極之周邊是否產生靜電容異常。 在靜電吸盤4中靜電容c3異常之時，例如第8圖表 示大於正常時（例如10nF )之時（例如30nF )的例，在 第9圖表示小於正常時之時（例如3nF)之例。若與第3 圖比較可知，過渡電流15明顯變化。 -21 - 201032942 作爲上述第3工程，測量過渡電流15之峰値P2 (第8 圖之時）、P3(第9圖之時），將此與正常之靜電吸盤4 之峰値P!做比較。由於第8圖之例的情形爲P 1〈 P2 ’判 定靜電容C3大於正常時。由於第9圖之例的情形爲p〗〉 P 3，判定靜電容C 3小於正常時。如此一來’可以判定靜 電容C3之異常。 就以靜電容C3變大之原因而言’可舉出例如（a)兩 吸附電極8、1 0間之距離等効性變小之情形’（b )兩吸 春 附電極8、10間之介電體6變大之情形等。就以（a )之 原因而言，可想像例如兩吸附電極8、1〇之材料藉由電子 遷移擴散於兩吸附電極8、10間之時’由於兩吸附電極8 、1〇間的放電產生使得電極材料朝向對方電極溶融固化之 情形等。 就以靜電容C3變小之原因而言，可舉出例如兩吸附 電極8、1 0雙方或一方之一部分缺損之情形，經過時間變 化等介電體6之介電率變小之情形等。 Θ 如此一來，藉由上述第3工程，可以容易判定在兩吸 附電極8、10間產生靜電容異常。 並且，如上述般，靜電吸盤4之輔助電極12、14以 設成分別對應於吸附電極8、1 0之形狀爲佳。如此一來’ 上述靜電容變大，因應此，通過該靜電容CrC2 而流通之過渡電流12、14也變大且成爲緩和，故容易判定 該過渡電流之變化，進而容易判定上述靜電容（^、（：2之 異常。 -22- 201032942 上述判定裝置42係在該實施形態中，如上述般，具 有算出過渡電流15之運算手段，並且具有執行實質上與上 述判定工程相同內容之處理（即是測量、比較過電流、判 定靜電容之異常。以下相同）的功能。更具體而言，該實 施形態具有執行實質上與上述第1工程相同內容之處理的 第1功能’和執行實質上與上述第2工程相同內容之處理 的第2功能，以及執行實質上與上述第3工程相同內容之 φ 處理的第3功能。換言之，具備有用有如此功能之判定裝 置4 2 〇 因此’即使在具備有上述靜電吸盤4、吸盤電源26、 電流計21〜24以及判定裝置42之該實施形態之靜電吸盤 裝置，亦可以達成與針對上述檢查方法所說明之作用效果 相同的作用效果。 【圖式簡單說明】 Φ 第1圖爲表示實施該發明所涉及之檢查方法之靜電吸 盤裝置之一實施形態的圖式。 第2圖爲第1圖中之靜電吸盤之槪略俯視圖。 第3圖爲表示正常之靜電吸盤之各過渡電流之模擬結 果之一例的圖式。 第4圖爲表示靜電吸盤之正吸附電極和正輔助電極之 間之靜電容Ci大於正常時之時之各過渡電流之模擬結果 之一例的圖式。 第5圖爲表示靜電吸盤之正吸附電極和正輔助電極之 -23- 201032942 間之靜電容C!小於正常時之時之各過渡電流之模擬結果 之一例的圖式。 第6圖爲表示靜電吸盤之負吸附電極和負輔助電極之 間之靜電容C2大於正常時之時之各過渡電流之模擬結果 之一例的圖式。 第7圖爲表示靜電吸盤之負吸附電極和負輔助電極之 間之靜電容C2小於正常時之時之各過渡電流之模擬結果 之一例的圖式。 _ 第8圖爲表示靜電吸盤之正吸附電極和負吸附電極之 間之靜電容C3大於正常時之時之各過渡電流之模擬結果 之一例的圖式。 第9圖爲表示靜電吸盤之正吸附電極和負吸附電極之 間之靜電容C3小於正常時之時之各過渡電流之模擬結果 之一例的圖式。 【主要元件符號說明】 ⑩ 2 :被吸附物 4 :靜電吸盤 6 :介電體 8 :正吸附電極 10 :負吸附電極 12 :正輔助電極 1 4 :負輔助電極 21〜24 :電流計 -24- 201032942 2 6 :吸盤電極 42 :判定裝置 I 1〜I 5 :電流 Ci~ c3 :靜電容 + V :正的直流電壓 -V :負的直流電壓 GND :接地電位部