TW201026461A - Industrial robot - Google Patents

Description

201026461 v 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於-種搬送特定之搬送對象物之產業用機器 人。 【先前技術】

一直以來，搬送特定之搬送對象物之產業用機器人得以 廣泛使用。作為該種產業用機器人，已知有包括搭载搬送 對象物之機械手、保持機械手之臂、及使臂上下運動之滾 珠螺桿在㈣產業用機器人（例如，參照專利文獻…於= 專利文獻1所記載之產㈣機器人中，滾珠螺桿上連結有Λ 口馬達，滚珠螺桿係由一台馬達驅動。 另外，亦已知_種並非對搬料象物進行搬送之產業用 機器人、但搭载機器人之本體部分之基座能於水平方向移 動，產業用機器人(例如’參照專利文獻2卜該專利文獻2 中。己载之產業用機！！人包括：用以使基座 之齒條及小齒輪、以及用以旋轉驅動小齒輪之—台^多動 [專利文獻1]日本專利特開20064〇2886號公報 [專利文獻2]曰本專利特開平卜丨〇6487號公報 【發明内容】 [發明所欲解決之問題] 、、如液晶顯示器用玻璃基板等般，在由產業用機器人所搬 送之搬送對象物中，存在有在逐年大型化者。隨著該種搬 送對象物之大型化，搬送大型化的搬送對象物之產業用機 益人具有大型化之傾向。而2，隨著產業用機器人之大型 142337.doc 201026461 化’產業用機器人之成本具有增大之傾向。 因此，本發明之課題在於提供一種於搬送大型化之搬送 對象物之情況下亦能實現小型化、且能降低成本之產業用 機器人。 [解決問題之技術手段] 為解決上述課題，本發明之產業用機器人之特徵在於， 匕括.搭載搬送對象物之機械手；連結有機械手之臂；及 支持臂之支持構件，並且包括：使支持構件上下運動之上 下驅動機構、及/或用以使支持構件於水平方向移動之水 平驅動機構、及/或用以使支持構件以將上下方向當作軸 方向之特疋之中心軸作為中心而旋轉的旋轉驅動機構；以 及控制上下驅動機構及/或水平驅動機構及/或旋轉驅動機 構之控制部；上下驅動機構及/或水平驅動機構及/或旋轉 驅動機構包括複數台驅動用馬達，控制部包括控制複數台 驅動用馬達之馬達控制部，馬達控制部各別控制複數台驅 動用馬達中之若干台驅動用馬達即第一驅動用馬達、與除 第一驅動用馬達以外之其餘的驅動用馬達即第：驅動用馬 達。 隨著搬送對象物之大型化，上下驅動機構、水平驅動機 構及/或旋轉驅動機構所要求之驅動用馬達之總容量變 大”因此，在用一台驅動用馬達來驅動上下驅動機構、水 平驅動機構及/或旋轉驅動機構時，必需使用外形較大的 馬達，從而產業用機器人有大型化之虞。 本發明之產業用機器人中，上下驅動機構、水平驅動機 142337.doc 201026461 構及/或旋轉驅動機構包括複數台驅動用馬達。因此，即 便在上下驅動機構、水平驅動機構及/或旋轉驅動機構所 要求之驅動用馬達之總容量較大的情況下，亦可使用外形 較小的驅動用馬達。又，與使用外形較大的一台驅動用馬 達之情形相比’在使用外形較小的複數台驅動用馬達的情 況下’驅動用馬達之配置之自由度變高。因此，本發明 中，儘管搬送較大的搬送對象物，亦能實現產業用機器人 之小型化。

另外，在驅動用馬達之容量超過特定之容量時，驅動用 馬達之價格會急遽升高，但本發明中，由於可使用容量較 小的驅動用馬達，故即便在使用複數台驅動用馬達的情況 下’亦能降低產業用機器人之成本。 進而，本發明中，由於可使用容量較小的驅動用馬達， 故從一台驅動用馬達傳遞之動力變小。因此，可減小對傳 遞驅動用馬達之動力之齒輪等的動力傳遞機構之傳遞動 力，從而可簡化動力傳遞機構之構成。而且，可抑制動 傳遞機構之損傷。 力m便用複數台驅動用馬達時，由於旋轉逮声 之差等原因而有產生如下情況之虞’ gp，某一驅動用馬： 之驅動轉矩成為其他驅動用馬達之較大的負載。在本發 中，馬達控制部各別控制複數台驅動 耶用馬達中之若干a 動用馬達即第一驅動用馬達'盥除坌 ° 甘从 第—驅動用馬達以外之 其餘的驅動用馬達即第二驅動用馬这。 ,,, 因此，能以如下太 式控制第一驅動用馬達及苐二驅動用民、▲ 馬達，即，使第一驅 142337.doc 201026461 動用馬達之驅動轉矩不會成 載，且使第二驅動用馬遠越一’ ％用馬達之較大的負 馬達之較大的負裁。故轉矩不會成為第一驅動用 j貝戰。故而，本發 動用馬達，亦能防止某一驅動…”更使用複數台驅 驅動用馬達之較大的負載。馬達之驅動轉矩成為其他 在本發明中’較好的是第一驅動 達。如此構成時，能二 違為 '"驅動用馬 的驅動用馬達。因此\ 馬達為基準而控制其餘 之旋轉連声 ;如藉由控制-台第-驅動用馬達 之旋轉速度、且不控制其餘的第二 ，達 之方式，可使第紅 動用馬達之旋轉速度 旋轉逮度進行旋轉，果為，二:：用馬達之 m, 2* ^ ^ 地防止某一驅動用 _矩成為其他驅動用馬達之較大的負載。 在本發明中，較辟 β _ 、 者位置控制與轉矩控制二=:係藉由速度控制或 矩控制來控制第二驅動用用馬達’且藉由轉 馬達之旋轉速度或者旋轉位置會不：-驅：用 馬達隨從第-驅動用馬達之;丈第一驅動用 因此，能防止某一驅動用二轉速度或㈣位置而旋轉。 馬達之較大的負載動㈣綱_為其他驅動用 、，在本發明中’較好的是’產業用機器人包括具有第一水' :驅動用馬達作為第—驅㈣馬達並具有第二水平驅動帛 ‘、、、達作為第二驅動用馬達之水平驅動機構，控制部包括控 制第水平驅動用馬達及第二水平驅動用馬達之水平馬達 控制部作為馬達控制部’水平馬達控制部係藉由速度控制 142337.doc 201026461 或者位置控制與轉矩控制來控制第一水平驅動用馬達，且 在第二水平驅動用馬達停止前，藉由速度控制或者位置控 制與轉矩控制來控制第二水平驅動用馬達，並在除第二水 :驅動用馬達停止前之其他情況時，藉由轉矩控制來控制 弟一水平驅動用馬達。

、如此構成時’在除第二水平驅動用馬達停止前之其他情 況時’第二水平驅動用馬達之旋轉速度或旋轉位置不受控 制故第一水平驅動用馬達隨從第一水平驅動用馬達之旋 轉速度或旋轉位置而旋轉。因此，能防止某-水平驅動用 馬達之驅動轉矩成為其他水平驅㈣馬達之較大的負載。 另外’在第二水平驅動用馬達停止前，控制第二水平驅動 用馬達之旋轉速度或旋轉位i ’則吏得用以將第—水平驅 動用馬達及第二水平驅動用馬達之動力傳遞給支持構件之 動力傳遞機構在停止時齒隙消失。 本發明中，較好的是，產業用機器人包括具有第一旋轉 驅動用馬達作為第一驅動用馬達並具有第二旋轉驅動用馬 達作為第二驅動用馬達之旋轉驅動機構’控制部包括控制 第一旋轉驅動用馬達及第二旋轉驅動用馬達之旋轉馬達押 制部作為馬達控制部，旋轉馬達控制部係藉由速度控制或 者位置控制與轉矩控制來控制第一旋轉驅動用馬達，且^ 第二旋轉驅動用馬達停止前，藉由速度控制或者位置栌制 與轉矩控制來控制第二旋轉驅動用馬達，並在除第二旋轉 驅動用馬達停止前之其他情況時，藉由轉矩控制來控制第 二旋轉驅動用馬達。 142337.doc 201026461 如此構成時’在除第二旋轉㈣^達停止前之其他情 況時’第4轉_用馬達之旋轉速度或者旋轉位置不受 控制’故第二旋轉驅動用馬達隨從第一旋轉驅動用馬達之 旋轉速度或旋轉位置而旋轉。因此，能防止H㈣ 用馬達之驅動轉矩成為其他旋轉驅動用馬達之較大的負 載。另外，在第二旋轉驅動用馬達停止前，控制第二旋轉 驅動用馬達之旋轉速度或旋轉位置，以使得用以將第一旋 轉驅動用馬達及第二旋轉驅動用馬達之動力傳遞給支持構 件之動力傳遞機構在停止時齒隙消失。 [發明之效果] 如上所述，對於本發明之產業用機器人，即便在搬送大 型化之搬送對象物之情況下，亦能實現產業用機器人之小 型化及降低產業用機器人之成本。 【實施方式】 以下’根據圖式來說明本發明之實施形態。 (產業用機器人之概略構成） 圖1係本發明之實施形態之產業用機器人丨之俯視圖。圖 2係從圖1之E-E方向表示產業用機器人！之示圖。圖3係從 圖1之F_F方向表示產業用機器人！之示圖。 本實施形態之產業用機器人以下，稱為「機器人丨」） 係用以搬送作為搬送對象物之液晶顯示器用玻璃基板2(以 下，稱為「基板2」）之機器人。本實施形態之機器人1係 特別適合於大型的基板2之搬送之大型機器人，例如搬送 邊長約為3 m之大致正方形之基板2。另外，搬送對象物 142337.doc 201026461 並不限定於基板2，亦可 j為半導體晶圓等。 如圖1〜圖3所示，該播 村丰^.认义 匕括：搭載基板2之兩個機 械手3，於前端側連結有 古 兩個機械手3之各個的兩條臂4 ; 支持兩條臂4之本體部5 ; 夂於水千方向可移動地支持本體 口P 5之基座構件6 〇本體部 , _ 匕括.支持兩條臂4之基端側並 月匕上下運動之支持構件 #再千7，用以於上下方向可移動地支持 =_件74_件8;構成本體部5之下端部分並能

相對於基座構件6而水平移動其 十移動之基台9;及固定有柱狀構件 8之下端ϋΙΜ目對於基台9而回旋之回旋構件1〇。 如上所述，本實施形態之機器幻為大型之機器人。例 如，機器幻之高度約為7 m ’支持構件7之上下方向之行 程（移動量）約為5 m°另外’例如，機械手3之水平方向之 行程約為5.5 m。 機械手3包括用以搭載基板2之複數個爪部12。機械手3 之基端可旋動地連結於臂4之前端，臂4具有兩個關節部 U，以整體可伸縮之方式構成。另外，臂4之基端固定於 支持構件7上。 本實施形態中，兩個機械手3與兩條臂4配置成於上下方 向上重疊。即，本實施形態之機器人丨為雙臂型機器人。 另外，機器人1亦可為包括一個機械手3與一條臂4之單臂 型機器人。 又’機器人1包括：使支持構件7上下運動之上下驅動機 構16(參照圖4);使本體部5朝水平方向移動之水平驅動機 構17(參照圖7);以及使回旋構件1〇相對於基台9而回旋之 142337.doc 201026461 旋轉驅動機構18(參照圖7)。以下，對上下驅動機構16、水 平驅動機構17及旋轉驅動機構18之構成以及其周邊部分之 構成進行說明。 (上下驅動機構及其周邊部之構成） 圖4係從圖iiF-F方向表示支持構件7及上下驅動機構“ 之示圖。圖5係從圖4之G_G方向表示支持構件7、柱狀構件 8及上下驅動機構16之示圖。圖6係從圖42H_h方向表示上 下驅動機構16之示圖。 如圖5所不，上下驅動機構16配置於柱狀構件8之側方 (圖5之柱狀構件8之下方）。該上下驅動機構“包括：兩台 上下驅動用馬達20、及連結於兩台上下驅動用馬達2〇之各 個的兩個減速機2!。如圖4所示’ 一台上下驅動用馬達 20、兩個減速機21及一台上下驅動用馬達2〇從上方起依此 順序而固定於支持構件7上。 另外，上下驅動機構16包括：固定於兩個減速機Μ之各 輸出軸上之作為上下驅動用小齒輪的兩個小齒輪 (pmi〇n)22 ;及與兩個小齒輪22嚙合之作為上下驅動用齒 條的齒條23。藉由該兩個小齒輪22與齒條23，支持構件7 會於上下方向移動。進而’上下驅動機構16包括用以使上 下驅動機構16停止(即’用以使支持構件7停止)之兩個上下 制動機構24。 另外，如圖5所示，機器人1包括用以於上下方向導引支 持構件7之導引部25。導引部乃係由導軌％及卡合於導轨 26之導引塊27所構成。再者，柱狀構件8形成為以上下方 142337.doc 201026461 向作為長度方向之細長的大致角柱狀，支持構件7形成為 塊狀。 上下驅動用馬達20包括用以檢測上下驅動用馬達2〇之旋 轉速度之速度檢測機構（省略圖示）。該速度檢測機構例如 係由形成為圓板狀之狹缝板、及以夾隔有狹缝板之狀態而 對向配置的發光元件與受光元件所構成。 如圖6所示，於上下驅動用馬達2〇之輸出軸上，固定有 _ 滑輪28。另外’於減速機21之輸入轴上，固定有比滑輪28 之直徑大的滑輪29。於滑輪28、29上，架設有皮帶30，於 上下方向上相鄰配置之上下驅動用馬達2〇及減速機21係藉 由該皮帶30而連結。 齒條23係以上下方向作為長度方向而固定於柱狀構件8 上（參照圖5)。如上所述，本實施形態中，支持構件7之上 下方向之行程較長。即，齒條23之長度較長。因此，本實 施形態中，齒條23係藉由將複數個齒條片接在一起而形 φ 成。另外，一個齒條片之長度變得比兩個小齒輪22之配置 間距長。 如圖6等所示，上下制動機構24係以與滑輪29相鄰之方 式安裝於減速機21之輸入轴上。即，兩個上下制動機構24 之各個經由滑輪28、29及皮帶30而連結於兩台上下驅動用 馬達2 0之各個。 該上下制動機構24係所謂的無勵磁作動型之制動器，其 包括：收納有線圈之殼體；固定於殼體上之側板；相對於 殼體而於轴方向可移動地配置之電樞；配置於側板與電樞 142337.doc 201026461 之間並固定於減速機21之輸入轴上之制動盤；以及對電樞 朝向制動盤施力之壓縮螺旋彈簧。上下制動機構24中，在 線圈成為通電狀態時’電樞被殼體所吸引，制動盤得以釋 放。另外’在停止對線圈通電時’藉由壓縮螺旋彈簧之施 力而將制動盤夾在電樞與側板之間，對減速機2丨進行緊急 制動。再者’一個上下制動機構24具有可使包括基板2、 機械手3、臂4及支持構件7等在内的於上下方向移動之部 分充分停止之制動力。 導軌26係以上下方向為長度方向而固定於柱狀構件8上 ❹ (參照圖5)。本實施形態中，兩條導執26固定於柱狀構件8 上。具體而言，於圖5之左右方向上平行之兩個柱狀構件8 之女裝面的各個上固定有導軌26。另外，配置於圖5下側 之導軌26係以與齒條23相鄰之方式而被固定。 導引塊27固定於支持構件7上。具體而言，於支持構件7 之與臂4之固定面（圖5之右端面）正交之面上，固定有導引 塊27 ’導引塊27從圖5之上下方向之外側卡合於導軌26。 再者’本實施形態中’如圖5所示，於柱狀構件8上固定 〇 有蓋構件31。該蓋構件31係以從圖5之上下覆蓋導軌26之 方式而配置。 (水平驅動機構及其周邊部之構成） 圖7係用以說明圖2之J部之内部構成的示圖。圖8係用以 從圖3之K-K方向來說明水平驅動機構17等之構成的示圖。 圖9係用以從圖8之[_乙方向來說明水平驅動機構17之構成 的示圖。 142337.doc -12 - 201026461 如圖7所示，水平驅動機構17配置於圖7之基台9之左端 侧。该水平驅動機構17包括兩台水平驅動用馬達。如圖 8所示，兩台水平驅動用^達4〇係以於圖8之左右方向上相 鄰之方式而配置。另外，兩台水平驅動用馬達4〇之各個固 定於基台9上所固定之兩個支架52之各個上。在兩個支架 52之各個上，如圖8、圖9所示，經由軸承M而可旋轉地保 持有轉軸53。兩根轉軸53係以於圖8之左右方向上相鄰之 方式而配置。 ❹ 又，水平驅動機構17包括：固定於兩根轉轴53各自之下 端之作為水平驅動用小齒輪的兩個小齒輪42 ;及與兩個小 嵩輪42嗜合之作為水平驅動用齒條的齒條43。藉由該兩個 小齒輪42及齒條43’基台9會朝水平方向移動。進而，水 平驅動機構17包括用以使水平驅動機構17停止（即，用以 使基台9停止）之兩個水平制動機構44。 另外，機器人1包括用以於水平方向導引基台9之導引部 φ 45。導引部45係由導軌46及卡合於導軌46之導引塊47所構 成。又，如圖7、圖8所示’基座構件6包括細長的兩條軌 道狀構件51。該軌道狀構件51係以於圖7之左右方向上空 •開特定間隔之狀態而平行地配置。 水平軀動用馬達40包括用以檢測水平驅動用馬達4〇之旋 轉速度之速度檢測機構（省略圖示）。該速度檢測機構例如 係由形成為圓板狀之狹缝板、及以夾隔有狹縫板之狀態而 對向配置的發光元件及受光元件所構成。 如圖9所示，於水平驅動用馬達40之輸出軸上，固定有 142337.doc •13· 201026461 滑輪48。又，於轉軸53之上端側’固定有比滑輪48之直押 大的滑輪49。於滑輪48 ' 49上，架設有皮帶5〇，於圖8之 上下方向上相鄰配置之水平驅動用馬達40及轉軸53係藉由 該皮帶50而連結。 如圖8所示，齒條43固定於軌道狀構件51之上面。本實 施形態中’由於基台9之移動量較大，故齒條43之長度較 長。因此’齒條43係藉由將複數個齒條片接在一起而形 成。 如圖9所示，水平制動機構44以與滑輪48相鄰之方式安 裝於水平驅動用馬達40之輸出軸上。該水平制動機構料係 與上下制動機構2 4同樣的所謂無勵磁作動型之制動器，並 與上下制動機構24同樣地構成。即，水平制動機構私中， 在線圈成為通電狀態時，電樞被殼體所吸引，制動盤得以 釋放。另外，在停止對線圈通電時，藉由壓縮螺旋彈簧之 施力而將制動盤夾在電枢與侧板之間，對水平驅動用馬達 40進行緊急制動。 如圖8所示，導軌46固定於軌道狀構件51之上面。本實 施形態中，於兩條軌道狀構件51各自之上面固定有導軌 46。另外，配置於圖8上側之導軌46係以與齒條43相鄰之 方式而被固定。如圖7所示，導引塊47固定於圖7之左右方 向之基台9的兩端部。該導引塊ο從上側卡合於導軌46。 (旋轉驅動機構及其周邊部分之構成） 圖10係圖1所示之回旋構件10之俯視圖。圖11係圖10之 M-M剖面之剖面圖。 142337.doc 201026461 如圖l〇、圖11所示，旋轉驅動機構18配置於作為回旋構 件10之回旋中心之中心軸CL的四周。該旋轉驅動機構18包 括兩台旋轉驅動用馬達60。如圖10所示，兩台旋轉驅動用 馬達60相對於中心轴CL而點對稱地配置，並w於回旋構 件1〇之中心部。另外，旋轉驅動機構18包括固定於回旋構 件10之中心部的減速機61。進而，旋轉驅動機構18包括用 以使旋轉驅動機構18停止（即’用以使回旋構件10停止）之 ❿-個旋轉制動機構64。再者，回旋構件10為細長之塊狀構 件，在其一端側（圖丨〇之左端側）固定有柱狀構件8之下端。 疑轉驅動用馬達60包括用以檢測旋轉驅動用馬達6〇之旋 轉速度之速度檢測機構（省略圖示）。該速度檢測機構例如 係由形成為圓板狀之狹縫板、及以夾隔有狹縫板之狀態而 對向配置的發光元件與受光元件所構成。 如圖11所示，在旋轉驅動用馬達6〇之輸出軸上，固定有 輸出齒輪68,兩個輸出齒輪68與減速機61之輸入齒輪的嚙 ❹ 合。藉由該兩個輸出齒輪68及包括輸入齒輪69之減速機 61，回旋構件1〇會相對於基台9而回旋。即，在回旋構件 10之中心部固定有減速機61之輸出側，在經由減速機61所 傳遞之旋轉驅動用馬達60之動力之作用下，回旋構件10會 相對於基台9而旋轉。 如圖11所不，旋轉制動機構64固定於轉軸73之上端，該 轉轴73係經由軸承74而可旋轉地保持於回旋構件丨〇之中心 部。於轉轴73之下端，固定有與減速機61之輸入齒輪的嚙 合之齒輪70。又，如圖10所示，旋轉制動機構64配置於以 H2337.doc 15 201026461 中心軸CL為中心而使旋轉驅動用馬達60旋轉90。之位置 上0 該旋轉制動機構6 4係與上下制動機構2 4同樣的所謂無勵 磁作動型之制動器’並與上下制動機構24同樣地構成。 即’旋轉制動機構64中，在線圈成為通電狀態時，電樞被 壳又體所吸引’制動盤得以釋放。另外’在停止對線圈通電 時’藉由壓縮螺旋彈簧之施力而將制動盤夾在電樞與側板 之間’對輸入齒輪69進行緊急制動。 (控制部之構成） 圖12係圖1所示之產業用機器人i之控制部8〇及其相關部 分之方框圖。再者，圖12中，圖示有與上下驅動機構16、 水平驅動機構1 7及旋轉驅動機構丨8之控制相關之控制部8〇 的構成。 如圖12所示，作為與上下驅動機構16、水平驅動機構η 及旋轉驅動機構18之控制相關之構成，控制部8〇包括：控 制兩台上下驅動用馬達2〇之上下馬達控制部81 ;控制兩台 水平驅動用馬達4〇之水平馬達控制部82 ;控制兩台旋轉馬 動用馬達60之旋轉馬達控制部83 ;控制兩個上下制動機本 24之上下制動器控制部84;控制兩個水平制動機構料之^ 平制動器控制部85;以及控制—個旋轉制動機構Μ之旋奉 制動器控制部86。X，在控制部8〇上，連接有控制指令 87。 〇 驅動用馬達20之各 速度控制與轉矩控 上下馬達控制部8 1各別控制兩台上下 個。具體而言，上下馬達控制部81藉由 J42337.doc -16- 201026461 制來控制兩台上下驅動用馬達20中之一方之上下驅動用馬 達20,並藉由轉矩控制來控制另一方之上下驅動用馬達 20。即，上下馬達控制部81針對一方之上下驅動用馬達 20，進灯基於來自該上下驅動用馬達2〇之速度檢測機構之 輸出的反饋控制及控制該上下驅動用馬達2〇之電流值的轉 矩控制，且針對另一方之上下驅動用馬達20，並不進行基 於來自该上下驅動用馬達2〇之速度檢測機構之輸出的反饋 控制，而進行控制該上下驅動用馬達20之電流值的轉矩控 制。 本實施形態中，兩台上下驅動 驅動用馬達20為第一驅動用馬達。又，另一方之上下驅動 用馬達20為第二驅動用馬達。 水平馬達控制部8 2各別控制兩台水平驅動用馬達4 0之各 個具體而δ，水平馬達控制部82藉由速度控制與轉矩控 制來控制兩台水平骂叙 馬5動用馬達40中之一方之水平驅動用馬

j 卜尺平馬達控制部82在另一方之水平驅動用馬 達40停止前，盘__. 方之水平驅動用馬達40同樣地，藉由速 轉矩控制來控制另-方之水平驅動用馬達4。，但 ^ 良平驅動用馬達4 〇停止前之其他情況時，則 藉由轉矩控制來控制另—方之水平驅動用馬達40。 即，在除另__ 聍 ” 之水平驅動用馬達40停止前之其他情況 、，K平馬達控制部82針對另—方之水平驅制馬達40， 並不進行基於來白姑u τ 自該水平驅動用馬達40之速度檢測機構之 翻出的反饋把在丨 而進行轉矩控制。另外，在另一方之水 142337.doc •17· 201026461 平驅動用馬達40停止前，水平馬達控制部82針對另一方之 * 水平驅動用馬達40，進行基於來自該水平驅動用馬達40之 速度檢測機構之輸出的反饋控制，對另一方之水平驅動用 馬達40之旋轉速度進行控制，以使兩個小齒輪42與齒條43 之間的齒隙消失。 此處，另一方之水平驅動用馬達40是否為停止前之狀 態’例如係由水平馬達控制部82根據來自一方之水平驅動 用馬達40之速度檢測機構之輸出而判斷。例如，水平馬達 控制部82計算由一方之水平驅動用馬達4〇之速度檢測機構 _ 所檢測出的基台9之從特定之基準位置至停止預定位置為 止的脈衝數、與由速度檢測機構實際所檢測出的脈衝數之 差，當该差為特定之值以下時，則判斷為另一方之水平驅 動用馬達40為停止前之狀態。即，在基台9進入到從停止 預定位置起算之特定距離之範圍内時，另一方之水平驅動 用馬達40成为停止前之狀態。 本實施形態中，兩台水平驅動用馬達4〇中之一方之水平

-一，和印巧；局第二驅動用馬達， 且為第二水平驅動用馬達。

呢初用馬運60停止前，與一 ，旋轉馬達控制部83藉由速度控制 旋轉驅動用馬達6〇中之一方之旋轉 旋轉馬達控制部83在另一方之旋轉 與方之旋轉驅動用馬達60同樣 142337.doc .18· 201026461 地’藉由速度控制與轉矩控制來控制另一方之旋轉驅動用 馬達60，但在除另一方之旋轉驅動用馬達停止前之其他 情況時，則藉由轉矩控制來控制另一方之旋轉驅動用馬達 60 - 即，在除另一方之旋轉驅動用馬達6〇停止前之其他情況 時，旋轉馬達控制部83針對另一方之旋轉驅動用馬達6〇, 不進行基於來自該旋轉驅動用馬達6〇之速度檢測機構之輸

出的反饋控制，而進行轉矩控制。另外，在另一方之旋轉 驅動用馬達60停止前，旋轉馬達控制部83針對另一方之旋 轉驅動用馬達6〇，進行基於來自該旋轉驅動用馬達6〇之速 度檢測機構之輸出的反饋控制，對另_方之旋轉驅㈣馬 達60之旋轉速度進行控制，以使兩個輸出齒輪㈣輸入齒 輪69之間的齒隙消失。 ▲此處’另-方之旋轉驅動用馬達6〇是否為停止前之狀 態，例如係由旋轉馬達控制部83根據來自一方之旋轉驅動 用馬達之速度檢測機構之輸出而判斷。例如，旋轉馬達 控制部83計算由一方之旋轉驅動用馬達6〇之速度檢測機構 所檢測出的回旋構件10之從特定之基準也置至停止預定位 置為止的脈衝數、與由速度檢測機 ^ ^ ^ 、機構實際所檢測出的脈衝 數差，*該差為特定之值以下時，則 ^ m 町則判斷為另一方之旋 轉驅動用馬達60為停止前之狀態 L ^即，在回旋構件10進入 到攸V止預定位置起算之特定角 订心内没靶圍内時，一 驅動用馬達60成為停止前之狀態。 本實施形態中，兩台旋轉驅動 ，建60中之一方之旋轉 142337.doc •19· 201026461 驅動用馬達60為第一驅動 達 •马第—旋轉驅動用馬 …：另—方之旋轉驅動用馬達60為第二驅動用馬達， 為第一旋轉驅動用馬達。 7之上偉下Γ動器控制部84在從控制指令部87輸人有支持構件 信號時，會使兩個上下制動機構24階段性地作 卜在從控制指令部87輸入有支持構件7之停止信號 動Η二制動器控制部84會以一方之上下制動機構24之作 同（歼/門另一方之上下制動機構24之作動開始時刻不 一 y)的方式’使兩個上下制動機構24作動。具體而 :二：制動器控制部84會以另一方之上下制動機構“之 作動開始時刻遲於一方 ..下制動機構2 4之作動開始時刻 的方:W兩個上下制動機構24作動。更具體而言上下 制動态控制部84以對另一方之上 卜制動機構24之線圈停止 通電主之時刻遲於對-方之上下制動機構24之線圈停止通電 :時刻的方式，停止對兩個上下制動機構Μ之線圈之通 電0 同樣地，水平制動器控制部85在從控制指令部Μ輸入有 基台9之停止信，號時，會使兩個水平制 作動。即，在從控制指令部87 也 輸入有基台9之停止信號 平制動器控制部85會以—方之水平制動機構44之作 動開始時刻與另一方夕士 i 平制動機構44之作動開始時刻錯 開的方式’使兩個水平制動機構44作動。具體而言，水平 制動器控制部85會以另一方之水平制動機構44之作動開始 時刻遲於-方之水平制動機_之作動開始時刻的方式， I42337.doc 201026461 使兩個水平制動機構44作動。再者，在從控制指令部87輸 入有基台9之停止信號時，水平制動器控制部85亦可使兩 個水平制動機構44同時作動。 (本實施形態之主要效果） 如以上所說明’本實施形態中，上下驅動機構“包括兩 台上下驅動用馬達2〇。因此，為了搬送大型的基板2，即 便在上下㈣機構16所要求之上下驅動用馬達Μ之總容量 ❹ 冑大的情況下，亦可使用外形相對較小的上下驅動用馬達 2〇。例如，在上下驅動機構16所要求之上下驅動用馬達2〇 之總容量為10 kw時，可使用外形相對較小的5 kw之上下 驅動用馬達20,而不使用外形較大的1〇 kw之上下驅動用 馬達。另外，與使用外形較大的一台上下驅動用馬達之情 形相比，在使用外形較小的兩台上下驅動用馬達2〇時上 下驅動用馬達20之配置之自由度變高。因此，本實施形態 中，儘管搬送較大的基板2,亦能實現機器人丨之小型化。 φ 另外，在上下驅動用馬達20之容量超過特定之容量時， 上下驅動用馬達20之價格會急遽升高，但本實施形態中， 由於可使用容量相對較小的上下驅動用馬達2〇，故即便在 使用兩台上下驅動用馬達20之情況下，亦能降低機器人i 之成本。 進而，本實施形態中’由於可使用容量相對較小的上下 驅動用馬達20，故從一台上下驅動用馬達2〇所傳遞之動力 變小。因此，可減小對傳遞上下驅動用馬達2〇之動力之減 速機21、小齒輪22及齒條23等動力傳遞機構的傳遞動力， 142337.doc -21· 201026461 從而可簡化減速機21、小齒輪22及齒條23等動力傳遞機構 之構成。而且，可抑制減速機2、小齒輪22及齒條23等的 動力傳遞機構之損傷。 另一方面，由於上下驅動機構16使用兩台上下驅動用馬 達20故有產生如下情況之虞：一方之上下驅動用馬達2〇 之驅動轉矩成為另一方之上下驅動用馬達2〇之較大的負 載’且另一方之上下驅動用馬達2〇之驅動轉矩成為一方之 上下驅動用馬達20之較大的負載，但本實施形態中，上下 馬達控制部8 1係藉由速度控制與轉矩控制來控制兩台上下 驅動用馬達20中之一方之上下驅動用馬達2〇，並藉由轉矩 控制來控制另一方之上下驅動用馬達2(^即，上下馬達控 制部81控制一方之上下驅動用馬達2〇之旋轉速度，但不控 制另一方之上下驅動用馬達2〇之旋轉速度，另一方之上下 驅動用馬達20係隨從一方之上下驅動用馬達2〇而旋轉。因 此’不會在兩台上下驅動用馬達20之間產生較大的旋轉速 度之差。故而，可防止一方之上下驅動用馬達2〇之驅動轉 矩成為另一方之上下驅動用馬達2〇之較大的負載，且可防 止另方之上下驅動用馬達20之驅動轉矩成為一方之上下 驅動用馬達20之較大的負載。 另外，由於另一方之上下驅動用馬達2〇隨從一方之上下 驅動用馬達20而旋轉，故即便在經由減速機21等而連結於 兩台上下驅動用馬達20之各個的兩個小齒輪22與齒條23相 响合的情況時’亦能防止兩個小齒輪22之齒及齒條23之齒 以過大之力相嚙合。其結果能抑制小齒輪22及齒條23之損 J42337.doc •22· 201026461 . 傷’從而可利用上下驅動機構16而使支持構件7適當地上 下運動。 本實施形態中，水平驅動機構17包括兩台水平驅動用馬 達40 °因此’與上下驅動機構丨6同樣地，即便在水平驅動 機構17所要求之水平驅動用馬達4〇之總容量變大的情況 下，亦可使用外形相對較小的水平驅動用馬達4〇，另外， 水平驅動用馬達40之配置之自由度變高。因此，在本實施 形態中，儘管搬送較大的基板2，亦能實現機器人丨之小型 化。 另外’本實施形態中’由於可使用容量相對較小的水平 驅動用馬達40，故即便在使用兩台水平驅動用馬達4〇之情 況下，亦能降低機器人1之成本。進而，本實施形態中， 由於可使用容量相對較小的水平驅動用馬達4〇，故從一台 水平驅動用馬達40所傳遞之動力變小。因此，可減小對傳 遞水平驅動用馬達40之動力之小齒輪42及齒條43等動力傳 粵 遞機構的傳遞動力，從而可簡化傳遞水平驅動用馬達40之 動力之動力傳遞機構的構成。而且，可抑制傳遞水平驅動 用馬達40之動力之動力傳遞機構的損傷。 另一方面，由於水平驅動機構17使用兩台水平驅動用馬 達40，故有產生如下情況之虞：一方之水平驅動用馬達 4〇(或者另一方之水平驅動用馬達4〇)之驅動轉矩成為另一 方之水平驅動用馬達40(或者一方之水平驅動用馬達4〇)之 較大的負載，但本實施形態中，水平馬達控制部82係藉由 速度控制與轉矩控制來控制兩台水平驅動用馬達4〇中之一 142337.doc -23- 201026461 方之水平驅動用馬達40,且在除另一方之水平驅動用馬達 · 4〇停止前之其他情況時，藉由轉矩控制來控制另一台水平 驅動用馬達40。 即，在除另一方之水平驅動用馬達40停止前之其他情況 時，控制一方之水平驅動用馬達4〇之旋轉速度，但不控制 另方之水平驅動用馬達40之旋轉速度，另一方之水平驅 動用馬達40係隨從一方之水平驅動用馬達4〇而旋轉。因 此，在除另一方之水平驅動用馬達4〇停止前之其他情況 時，不會在兩台水平驅動用馬達4〇之間產生較大的旋轉速碜 度之差故可防止一台水平驅動用馬達4〇(或者另一方之 水平驅動用馬達40)之驅動轉矩成為另一方之水平驅動用 馬達40(或者一方之水平驅動用馬達4〇)之較大的負載。 又，由於在除另一方之水平驅動用馬達4〇停止前之其他 情況時’另一方之水平驅動用馬達4〇係隨從一方之水平驅 動用馬達40而旋轉，故即便在經由滑輪48、49及皮帶5〇而 Μ㈣Μ㈣動用馬達4〇之各個的兩個小齒輪42與齒 條43相嗜合的情況時，亦可防止兩個小齒輪η之齒與齒條@ 之齒以過大之力相响合。其結果能抑制小齒輪42及齒條 43之損傷’從而可利用水平驅動機構17而使本體部5適當 地水平移動。 卜本實施形恶中’在另一方之水平驅動用馬達4〇停 止前’另-方之水平驅動用馬達4〇係藉由速度控制與轉矩 工1而又到控制’並且另一方之水平驅動用馬達之旋轉 速度受到’以使兩個小齒輪42與齒條43之間的齒隙消失。 142337.doc •24· 201026461

因此，在基台9停止時，能使兩個小齒輪42與齒條43之間 的齒隙消失。 B 本實施形態中，旋轉驅動機構18包括兩台旋轉驅動用馬 達60。因此，與上下驅動機構16同樣地，即便在旋轉驅動 機構18所要求之旋轉驅動用馬達6〇之總容量變大的情況 下，亦能使用外形相對較小的旋轉驅動用馬達6〇，另外， 旋轉驅動用馬達60之配置之自由度變高。因此，本實施形 態中，儘管搬送較大的基板2 ,亦能實現機器人i之小型 ’化。 又，本實施形態中，由於可使用容量相對較小的旋轉驅 動用馬達60，故即便在使用兩台旋轉驅動用馬達6〇之情況 時，亦能降低機器人1之成本。進而，本實施形態中，由 於可使用容量相對較小的旋轉驅動用馬達6〇，故從一台旋 轉驅動用馬達60所傳遞之動力變小。因此，可減小對傳遞 旋轉驅動用馬達60之動力之輸出齒輪68及減速機61等動力 參 傳遞機構的傳遞動力，從而可簡化傳遞旋轉驅動用馬達6〇 之動力之動力傳遞機構的構成。而且，可抑制傳遞旋轉駆 動用馬達60之動力之動力傳遞機構的損傷。 另方面，由於方疋轉驅動機構18使用兩台旋轉驅動用馬 達60,故有產生如下情況之虞：一方之旋轉驅動用馬達 6〇(或者另一方之旋轉驅動用馬達6〇)之驅動轉矩成為另一 方之旋轉驅動用馬達6〇(或者一方之旋轉驅動用馬達6〇)之 較大的負載，但本實施形態中，旋轉馬達控制部83係藉由 速度控制與轉矩控制來控制兩台旋轉驅動用馬達6〇中之一 142337.doc •25- 201026461 方之旋轉驅動用馬達60，且在除另一方之旋轉驅動用馬達 . 60停止前之其他情況時，藉由轉矩控制來控制另一方之旋 轉驅動用馬達60。 即，在除另一方之旋轉驅動用馬達60停止前之其他情況 時，控制一方之旋轉驅動用馬達60之旋轉速度，但不控制 另一方之旋轉驅動用馬達60之旋轉速度，另一方之旋轉驅 動用馬達60係隨從一台旋轉驅動用馬達6〇而旋轉。因此， 在除另一方之旋轉驅動用馬達60停止前之其他情況時，不 會在兩台旋轉驅動用馬達60之間產生較大的旋轉速度之 _ 差，故可防止一方之旋轉驅動用馬達6〇(或者另一方之旋 轉驅動用馬達60)之驅動轉矩成為另一方之旋轉驅動用馬 達60(或者一方之旋轉驅動用馬達6〇)之較大的負載。 又，由於在除另一方之旋轉驅動用馬達6〇停止前之其他 情況時，另一方之旋轉驅動用馬達6〇隨從一台旋轉驅動用 馬達60而旋轉，故即便在兩個輸出齒輪68與減速機“之輸 入齒輪69相嚙合的情況時，亦能防止輸出齒輪68之齒與輸 入齒輪69之齒以過大之力相嚙合。其結果能抑制輸入齒輪 _ 68及輸出齒輪69之損傷，從而可利用旋轉驅動機構18而使 回旋構件1 〇適當地回旋。 另外，本實施形態中，在另一方之旋轉驅動用馬達60停 ' 止引另方之旋轉驅動用馬達60係藉由速度控制與轉矩 控制而受到控制，並且另—方之旋轉驅動用馬達6〇之旋轉 速度受到控制，以使兩個輸出齒輪68與輸入齒輪69的齒隙 消失。因此’在回旋構件1〇停止時，能使兩個輪出齒輪Μ 142337.doc

-26 - 201026461 與輸入齒輪69之間的齒隙消失。 (其他實施形態） 上述實施形態為本發明之鲂杜者& v 5χ θ乏較佳實施形態之一例，但並不 限定於此，可在不變更太路B日々^ 尺尽發明之要旨之範圍内進行各種變 形實施。 於上述實施形態中，上下馬達控制部81係藉由速度控制 與轉矩控制來控制兩台上下驅動用馬達2〇中之一方之上下 φ 1區動用馬達20。除此之外，例如，上下馬達控制部8 1亦可 藉由基於對速度檢測機構檢測出的旋轉速度進行積分所計 算之上下驅動用馬達20之旋轉位置的位置控制與轉矩控 制’來控制一方之上下驅動用馬達2〇。 同樣地，於上述實施形態中，水平馬達控制部82係藉由 速度控制與轉矩控制來控制一方之水平驅動用馬達4〇，並 在特定情況下’藉由速度控制與轉矩控制來控制另一方之 水平驅動用馬達40 ’但亦可藉由位置控制與轉矩控制來控 φ 制水平驅動用馬達40。又，於上述實施形態中，旋轉馬達 控制部83係藉由速度控制與轉矩控制來控制一方之旋轉驅 動用馬達60’並在特定情況下，藉由速度控制與轉矩控制 -來控制另一方之旋轉驅動用馬達60，但亦可藉由位置控制 與轉矩控制來控制旋轉驅動用馬達60。 上述實施形態中，上下驅動機構16包括兩台上下驅動用 馬達20。除此之外，例如，上下驅動機構16亦可包括三台 以上之上下驅動用馬達20。於該情形時，較好的是上了馬 達控制部81藉由速度控制與轉矩控制來控制三台以上的上 142337.doc •27· 201026461 下驅動用馬達20中之若干台上下驅動用馬達2〇，並藉由轉 . 矩控制來控制其餘的上下驅動用馬達2〇。另外，於該情形 時，為了可靠地防止某一上下驅動用馬達2〇之驅動轉矩成 為其他上下驅動用馬達20之較大的負載，較好的是上下馬 達控制部81藉由速度控制與轉矩控制來控制三台以上之上 下驅動用馬達20中之一台上下驅動用馬達2〇，並藉由轉矩 控制來控制其餘的上下驅動用馬達20。 另外，上述實施形態中’水平驅動機構17包括兩台水平 驅動用馬達40 ’但水平驅動機構17亦可包括三台以上之水 _ 平驅動用馬達40。於該情形時，較好的是水平馬達控制部 82藉由速度控制與轉矩控制來控制三台以上的水平驅動用 馬達40中之若干台水平驅動用馬達4〇，且在其餘的水平驅 動用馬達40停止前’藉由速度控制與轉矩控制來控制其餘 的水平驅動用馬達40,並在除其餘的水平驅動用馬達辦 止前之其他情況時，藉由轉矩控制來控制其餘的水平驅動 用馬達40。另外，於該情形時，為了可靠地防止某一水平 驅動用馬達40之驅動轉矩成為其他水平驅動用馬達4〇之較❹ 大的負載’較好的是水平馬達控制部82藉由速度控制與轉 矩控制來控制三台以上之水平驅動用馬達40中之-台水平 驅動用馬達40’並在除其餘的水平驅動用馬達4q停止前之. 其他情況時，藉由轉矩控制來控制其餘的水平驅動用馬達 40。 同樣地，旋轉驅動機構18亦可包括三台以上的旋轉驅動 用馬達6〇。於該情形時，較好的是旋轉馬達控制部^藉由 142337.doc

-28· 201026461 &度控制與轉矩控制來控制三台以上的旋轉驅動用馬達6〇 中之若干台旋轉驅動用馬達60,且在其餘的旋轉驅動用馬 達60停止前，藉由速度控制與轉矩控制來控㈣__ 驅動用馬達60’並在除其餘的旋轉驅動用馬達叫止前之 錢情況時，藉由轉矩控制來控制其餘的旋轉驅動用馬達 6〇。另外，於該情形時，為了可靠地防止某—旋轉驅動用 馬達60之驅動轉矩成為其他旋轉驅動用馬達6〇之較大的負 ⑩冑’較好的是旋轉馬達控制部83藉由速度控制與轉矩㈣ 來控制三台以上之旋轉驅動用馬達6〇中之一台旋轉驅動用 馬達60,並在除其餘的旋轉驅動用馬達的停止前之其他情 況時’藉由轉矩控制來控制其餘的旋轉驅動用馬達⑼ 、。月 上述實施形態中，在另一方之水平驅動用馬達4〇停止 前，水平馬達控制部82係藉由速度控制與轉矩控制來控制 另一台水平驅動用馬達40’且在除另一方之水平驅 達40停止前之其他情況時，藉由轉矩控制來控制另一方2 • 水平驅動用馬達40。除此之外，例如，水平馬達控制部82 亦可始終藉由轉矩控制來控制另一方之水平驅動用馬達 4〇。同樣地，旋轉馬達控制部83亦可始終藉由轉矩控制來 控制另一方之旋轉驅動用馬達6〇。 於上述貧細形態中，上下驅動機構16、水平驅動機構17 及旋轉驅動機構18之任一者均包括兩台驅動用馬達2〇、 40 60，但只要上下驅動機構〗6、水平驅動機構17及旋轉 驅動機構18中之至少任一個驅動機構包括兩台驅動用馬達 、40、60 ’則其他的驅動機構所包括之驅動用馬達2〇、 142337.doc -29- 201026461 40、60亦可為一台。 於上述實施形態中，藉由兩個小齒輪U及齒條Μ而使支 ㈣件7於上下方向移動。除此之外，例如亦可藉由滾珠 螺杯及螺σ於該滾珠螺桿之複數個螺母構件而使支持構件 7於上下方向移動。同樣地，上述實施形態中，藉由兩個 小齒輪42及齒條43而使基台9朝水平方向移動，但亦可藉 由滾珠螺#及螺合於該滾珠螺桿之複數個螺母構件而使基 台9於水平方向移動。 上述實施形態中，機器人丨包括上下驅動機構16、水平 驅動機構17、及旋轉驅動機構18。除此之外，例如，機器 人1亦可僅包括從上下驅動機構16、水平驅動機構Η及旋 轉驅動機構18中任意選擇的兩個或一個驅動機構。 【圖式簡單說明】 圖1係本發明之實施形態之產業用機器人之俯視圖； 圖2係從圖iiE-E方向表示產業用機器人之示圖； 圖3係從圖1之F_F方向表示產業用機器人之示圖，· 圖4係從圖1之F_F方向表示支持構件及上下驅動機構之 示圖； 圖5係從圖4之G-G方向表示支持構件、柱狀構件及上下 驅動機構之示圖； 圖6係從圖4之H-H方向表示上下驅動機構之示圖； 圖7係用以說明圖2之J部之内部構成的示圖； 圖8係用以從圖3之K-K方向來說明水平驅動機構等之構 成的示圖； I42337.doc -30- 201026461 驅動機構之構成 圖9係用以從圖8之L-L方向來說明水平 的示圖； 圖10係圖1所示之回旋構件之俯視圖； 圖11係圖10之M-M剖面之剖面圖，·及 圖12係圖1所示之產業用機器人之控制部及其相關部分 之方框圖。 【主要元件符號說明】

1 機器人（產業用機器人） 2 基板（搬送對象物） 3 機械手 4 臂 7 支持構件 16 上下驅動機構 17 水平驅動機構 18 旋轉驅動機構 20 上下驅動用馬達（驅動用馬達、 馬達、第二驅動用馬達） 第一驅動用 40 水平驅動用馬達（驅動用馬達、 馬達、第二驅動用馬達） 第一驅動用 60 旋轉驅動用馬達（驅動用馬達、 馬達、第二驅動用馬達） 第·一 Ί區動用 80 控制部 81 上下馬達控制部（馬達控制部） 82 水平馬達控制部（馬達控制部） 142337.doc -31- 201026461

83 CL 旋轉馬達控制部（馬達控制部） 中心軸 142337.doc -32-

Claims (1)

1. 201026461 七、中請專利範圍： 1. 一種產業用機器人，其特徵在於， 包括：搭載搬送對象物之機械手；連結有上述機械手 之臂、及支持上述臂之支持構件；並且 包括.使上述支持構件上下運動之上下驅動機構、及/ 或用以使上述支持構件於水平方向移動之水平驅動機 構、及/或用以使上述支持構件以一將上下方向當作軸方 向之特定之中心軸作為中心而旋轉的旋轉驅動機構；以 及控制上述上下驅動機構及/或上述水平驅動機構及/或 上述旋轉驅動機構之控制部； 上述上下驅動機構及/或上述水平驅動機構及/或上述 旋轉驅動機構包括複數台驅動用馬達， 上述控制部包括控制複數台上述驅動用馬達之馬達控 制部， 上述馬達控制部各別控制：第一驅動用馬達，其係複 Φ 數台上述驅動用馬達中之若干台上述驅動用馬達；及第 二驅動用馬達，其係除上述第一驅動用馬達以外之其餘 的上述驅動用馬達。 2. 如請求項1之產業用機器人，其中 上述第一驅動用馬達為一台上述驅動用馬達。 3. 如請求項1或2之產業用機器人，其中 上述馬達控制部係藉由速度控制或者位置控制與轉矩 控制來控制上述第一驅動用馬達，且藉由轉矩控制來控 制上述第二驅動用馬達。 142337.doc 201026461 4.如請求項1或2之產業用機器人，其中 包括具有第一水平驅動用馬達 - a ^ ^ . τ 马上述第—驅動用馬 達並具有第二水平驅動用馬達 之上述水平驅動機構， 攻第-艇動用馬達 上=制部包括控制上述第—水平驅動用馬達及上述 ㈣水平驅動用馬達之水平馬達控制部作為上述馬達控 上逑水平馬達控制部係藉由速度控制或者位置控制與 轉矩控制來控制上述第—水平驅動用馬達，且在上述第 二水平驅㈣馬達停止前，藉由速度控制或者位置控制 與轉矩控制來控制上述第二水平驅動用馬達，並在除上 述第二水平驅動用馬達停止前之其他時候，藉由轉矩控 制來控制上述第二水平驅動用馬達。 5. 如請求項1或2之產業用機器人，其中 包括具有第一旋轉驅動用馬達作為上述第一驅動用馬 達並具有第二旋轉驅動用馬達作為上述第二驅動用馬達 之上述旋轉驅動機構， 上述控制部包括控制上述第一旋轉驅動用馬達及上述 第二旋轉驅動用馬達之旋轉馬達控制部作為上述馬達控 制部， 上述旋轉馬達控制部係藉由速度控制或者位置控制與 轉矩控制來控制上述第一旋轉驅動用馬達，且在上述第 一旋轉驅動用馬達停止前，藉由速度控制或者位置控制 與轉矩控制來控制上述第二旋轉驅動用馬達，並在除上 142337.doc 201026461 述第二旋轉驅動用馬達停止前之其他時候，藉由轉矩控 制來控制上述第二旋轉驅動用馬達。

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