TW201024724A - Array test apparatus, and method of measuring position of point of substrate thereof and method of measuring coordinates of point photographed by camera assembly - Google Patents

Description

201024724 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種陣列檢測襞置，特別係關於一種具 有複數相機之陣列檢測裝置，其能透過相機的使用以偵測 - 形成於一基板上之電極的電性缺陷。本發明亦關於陣列檢 測裝置之基板的一種定點位置測量方法以及一種利用相 機組件拍攝之定點座標測量方法。 ❹ 【先前技術】 光電裝置為一種藉由接收電能以發射光線之裝置，其 包括液晶顯示器（liquid crystal display，LCD )以及電漿顯 示器（plasma display panel, PDP)等。 此種光電裝置通常包含具有一電極之一基板。舉例而 言，薄膜電晶體液晶顯示器（thin film transistor LCD， ΊΤΤ-LCD)包含一薄膜液晶體基板、一彩色濾光基板、液 _ 晶以及一背光單元。彩色濾光基板面對薄膜液晶體基板設 置，且包含一彩色濾光板以及一共用電極。液晶則設置於 薄膜液晶體基板以及彩色濾光基板之間。 藉由使用陣列檢測裝置可檢測出形成於基板上之電 極的缺陷。陣列檢測裝置包含至少一調變單元。調變單元 至少可在一方向上移動，以偵測缺陷電極，且調變單元包 含一調變元件以及一相機。 調變元件包含一調變電極以及一材料性質可變部。調 變電極可相對於基板之電極形成一電場，而材料性質可變 5 201024724 部之材料性質會隨電場強度發生變化。調變元件先於基板 之一預設部位上實施陣列檢測，之後再移至次一檢測部位 重複實施陣列檢測。 相機相對於基板設置，且調變元件設置於兩者之間， 俾使相機可對調變元件及基板進行拍攝。由於材料性質可 變部之材料性質會依據電場而變化，當一畫素中具有一缺 電極且為相機之一畫素拍攝到時，具有缺陷電極之畫素 會顯示出與相機之其他晝素的差異。因此，根據相機之畫 素座標可得知缺陷電極之所在位置。 然而，由於相機必須設置於各個調變單元上，因而限 制了相機之視野大小。 特別在顯示裝置之尺寸逐漸增加的情況下，為了能快 迷偵測顯示裝置之基板上的缺陷電極，如何使陣列檢測裝 置具有一較大視野之相機已成為一項重要課題，但目前仍 未有配備此種相機之陣列檢測裝置。 此外，使用較大視野之相機亦會造成大量電力消粍， 增加陣列檢測裝置之製造成本。 【發明内容】 有鑑於上述課題，本發明之目的為提供一種陣列撿測 裝置，其包含一相機。陣列檢測裝置用以在每次操作時針 對顯示裝置之一區域進行拍攝，且相機之視野可隨顯示裴 置之尺寸調整，因而得以減少此陣列顯示裝置所需之驅動 電力以及生產成本。 6 201024724 本發明另提供一種定點位置測量方法，此定點位於陣 列檢測裝置之基板上，並且在此陣列檢測裝置中，基板上 之缺陷電極的所在位置能精確且快速測得。 本發明另提供一種利用相機組件拍攝之定點座標測 量方法，其能利用相機組件内之複數相機，精確且快速測 量一物體上之定點位置。 為達上述目的，依據本發明之一種陣列檢測裝置，包 含一檢測部以及至少一調變單元。檢測部支撐待檢測之一 ⑩基板。調變單元鄰設於檢測部，以摘測設置於檢剛 基板之一缺陷。 之 調變單元包含一固定元件、一相機組件以及一座_ 量調變元件。相機組件與固定元件連接，且包含一基^挪 機及至少一相鄰相機，基準相機與相鄰相機間具有〜預$ 間距。座標測量調變元件可拆卸地連接於固定元件，且$ 置於相機組件及基板間，座標測量調變元件包含一 ％ 导旨 ❹示件，與相機組件之各相機之焦距對應設置。基準相機=

攝之一基準位置標記及相鄰相機拍攝之至少一相鄰位 標記形成於位置指示件上。 I 依據本發明之一種定點位置測量方法，定點位於如 凊專利範圍第1項所述之陣列檢測裝置之一基板上，定 位置測量方法之步驟包含根據基準相機之基準畫素取/ 相鄰相機之晝素座標；根據該基板之一預設基準點取得諸 基準晝素座標；以及將一畫素座標與根據預設基準點取S 之基準畫素座標相加，其中，畫素座標是根據基準畫素t 7 201024724 取得，且用以拍攝基板上之定點。相鄰相機是在-第-軸 向之一正方向上與基準相機具有一距離。 依據本發明之-種位置測量方法，利用具有一相機組 件之裝置測量-位置，相機組件包含一基準相機及至少 -相:相機，並至少可水平移動，且位置是在相鄰相機之 一預改晝素拍攝下，位置測量方法之步驟包含：設置一基 準位置標。己以供基準相機拍攝及設置—相鄰位置標記以 供相鄰相機拍攝，且相鄰位置標記在_第一輛向之一正方 向上距離基準位置標記一實際間距；分別利用基準相機及 相鄰相機拍攝基準位置標記及相鄰位置標記；當相機之視 野彼此相鄰且無間隔或無重疊時，取得一基準間距，其對 應於基準位置標記之一拍攝畫素及相鄰準位置標記之一 拍攝晝素間之距離；以及根據基準相機之基準晝素，並利 用實際間距與基準間距，取得相鄰相機之一預設晝素座 標。 與習知技術相較，依據本發明之陣列檢測裝置，由於 能同時使用複數相機拍攝基板影像，故可在每次操作中拍 攝基板之大面積區域，進而減少驅動整組相機組件所需之 驅動電壓以及相機組件之生產成本。 此外’依據本發明之定點位置測量方法，僅需在根據 基板上之預設基準點所取得之基準相機之基準畫素座標 處進行缺陷檢測操作，便可取得相鄰相機之畫素座標，因 而能快速地測量預設位置。 再者，由於根據基板之預設定點便可取得相鄰相機之 201024724 預設晝素’而不需再於相鄰相機之預設晝素處實施檢測操 作’因而能減少檢測誤差並精確取得相鄰相機之預設畫素 位置。 以下將揭露本發明之較佳實施例並結合圖示，詳細說 明本發明之其他性質，俾使本技術領域中具通常知識者得 以清楚瞭解。 【實施方式】

以下將參照相關圖式，說明依據本發明較佳實施例之 陣列檢測裝置及其基板之定點位置測量方法、以及利用相 機組件拍攝之定點座標測量方法。 圖1為依據本發明較佳實施例之陣列檢測裝置的示意 圖。陣列檢測裝置H)代表用以檢測—基板2上之電極之 電性缺陷的設備。 基板2可包含-面板，-般用於一平面顯示器，基板 2可例如薄膜電晶體液晶顯示器之㈣液晶體面板。 陣列檢測裝置10包含-檢測模組5〇、一裝載部2〇、 一檢測部30以及一卸載部40。 裝載部20包含至少二裝载板22。裝餘叫皮此平行 設置但保持-定間隔距離，以支擇待檢測之基板2。基板 2由一光學吸盤70向檢測部30之方向運送 檢測部30設置於裝載部20之一彳目丨^，重 、侧。沿裝載板22運 送之基板2設置於檢測部30上，w & U進行電性缺陷之檢測。 檢測部30包含一檢測平台32及— 電壓應用部38。檢測平 201024724 台32可提供基板2設置於上’而電壓應用部38用以提供 一電壓至基板2之電極。 檢測模組50設置於檢測部30之上侧、下侧或上侧/ 下侧’以偵測設置於檢測平台32上之基板2之缺陷電極。 檢測模組50包含至少一調變單元1〇〇。 調變單元100設置於檢測模組50上，使得調變單元 100可與至少一轴向平行移動，且調變單元1〇〇包含一固 定元件110、一相機組件120以及一座標測量調變元件 130 ° 固定元件110與調變單元100連接，且可沿一支架恥 水平移動，而支架60設置於橫跨檢測部3〇之一方向1。 相機組件120包含複數相機，而相機包含—基 121以及至少-相鄰相機123。相機組件㈣之排 方形或正方形。在陣列檢測過程中，相機組件i 長 ^同時對基板2進行拍攝。由於每次拍攝之區域面積1 目機 會依相機組们20巾相減目之增加_砂大，^小 縮紐檢測時間，故在本實施例中，不 t可 亦不需龐大的驅動電力。 大尺寸的相機， 座標測量調變元件13〇可拆. u〇。在陣列檢測開始前，座標測量件 準相機m之基準畫素測量相鄰相⑴23二=根據基 於相鄰相機123之晝素座標之取得是 '、座襟。由 而非根據不同基準畫素，因而得 ，—基準畫素， 123之畫素的座標。 、取件對應相鄰相機 201024724 座標測量調變元件130包含一位置指糸件140 ’其是 與相機之焦距對應設置。 圖2為圖1所示之相機組件之視野的T祝圖。請參考 圖2所示，拍攝於基準相機121之視野内的基準位置標記 141是以一預設間距G1間隔形成於位置指糸件140上’而 拍攝於相鄰相機123之視野内的相鄰位置梯記143則是以 一預設間距G2間隔形成於位置指示件140上。 此外，複數長度標記145形成於位置指示件140上， G 且長度標記145與各基準位置標記141及相鄰位置標記 143間相距有一預設間距k。長度標記145可拍攝於各基 準相機121及各相鄰相機123之視野内。基準位置標記 141、相鄰位置標記143以及長度標記145之功能將於後 詳述。 請再參考圖1所示，在根據基準相機12ι之基準畫素 取得相機組件内120之基準相機121及相鄰相機123之座 ❹標後，座標調變元件130可由固定元件110上拆卸下來， 再將檢測調變元件與固定元件11〇連接，以實施陣列檢測。 檢測調變元件與固定元件110連接而可上下移動’且 與基板2之電極共同形成一電場。由於材料性質，例如明 亮度及/或光飽和度，會依據電場強度而變化，因此可偵測 出基板2上具有電性缺陷之部分。 由於利用座標調變元件130並根據基準相機121之基 準晝素而取得相鄰相機123之晝素位置，僅由檢測調變元 件在與基板2之基準點有一距離之基準畫素處實施缺陷檢 11 201024724 測即可’因而根據基板2之基準點便可以取得拍攝缺陷電 極之畫素的實際座標。 、 載部40叹置於檢測部之一侧，故待檢測之基板 過卸栽部40後運送至陣列檢測裝置1〇之外。卸 _反而基板2設置於卸載板42之上。 狀態:運送基板2 一預設間:於其上’並於基板2呈懸浮 ❿ 芽載:=圖1所示’氣孔24可分別形成於裝載部2〇之 裝載板22以及卸载部4 板2氣壓而使基板2想浮於其卸上載板42上以藉由提供基 會摊：而’陣列檢測裝置10之構型並不限於圖1所示之 定支撐元件上，且拾2實施例’基板2可固定於一固 檢測基柘9 檢測模組50沿X軸及Y軸方向移動以 t板2上是否存在有缺陷電極。依據本發明之Γ‘ 施例，檢測模組可在乂軸方：，本發明之又-實 2則可在X轴及Y轴方向行有限的移動，而基板 ❹ 以下將說明依據本發明 方法。定點位置檢測方法包種基板之定點位置測量 素取得相鄰相機m之4=，基準相機121之基準畫 準點取得基準畫素座標；將一^;根據基板2之一預設基 取得之基準畫素座標相加，^素座標與根據預設基準點 素pi以取得，且用以拍攝基拓，晝素^標是根據基準畫 之基準點可取得定點座標Γ 上之疋點’故根據基板2 在本資施例中，根據基準相機⑵之基準畫素？1便 12 201024724 可取得相機組件12G内所有相機之晝素座標。另外 ，由於 、件120内之相機皆僅具有單一視野，故相機組件120 可視為單一相機，而其所具有之視野大小相當於相機組 件120内所有相機之視野的總和。 在本實施例中，若能獲得相對於基板2之基準點的基 準畫素P1座標’便可根據基板2之基準點取得相機組件 120内之所有相機的畫素位置。據此，本實施例可免除必 須逐一考慮各相機之位置與基板2之基準點間之相對關係 的問題。

圖3至圖8為陣列檢測裝置中之基板2之一預設定點 座標/則量方法的概念圖。為能清楚說明，本實施例是以在 第一轴向上與基準相機121有一間隔之一相鄰相機123進 行說明’然而需注意的是，以下敘述亦可應用於沿第一軸 向及/或第二軸向之其他與基準相機相間隔之相鄰相機。 請參考圖3所示，基準位置標記141是由具有::視野 參 F121之基準相機121進行拍攝（如圖1所示），而相鄰位 置標記143是由具有視野F121之相鄰相機123進行拍攝 (如圖1所示）。因此，基準位置標記141是由基準相機 121之基準位置標記之拍攝晝素P121進行拍攝，而相鄰位 置標記是由基準相機121之相鄰位置標記之拍攝畫素P123 進行拍攝《在本實施例中，基準位置標記141及相鄰位置 標記143間之間距可為一預設間距。 以下請參考圖4至圖6所示，並同時參考圖1，以說 明根據基準相機121之基準畫素取得相鄰相機123之畫素 13 201024724 座標之步驟。 請參考圖4所示’當相機之視野彼此相鄰且無間隔或 無重疊時，取得一基準間距L，其為基準位置標記之拍攝 畫素P121及相鄰準位置標記之拍攝晝素P123間之距離。 請再參考圖5所示，其為取得基準間距l及實際間距G1 間之一差值之步驟。 詳細而言，請參考圖4所示，在取得基準間距L之步 驟中可更包含取得基準位置標記之拍攝晝素P12l及一第 一末端晝素Prl間之一第一距離L1 ;取得相鄰位置標記之 _ 拍攝晝素P123與一第二末端晝素Pr2間之一第二距離 L2 ;以及將第一距離L1與第二距離L2相加。其中，第一 末端晝素Prl是選自於基準相機視野F121中，位於第一軸 向之正方向上的最末端畫素，而第二末端晝素是選自於相 鄰相機視野F123中，位於第一軸向之一負方向上的最末 端畫素，且負方向是相對於正方向。 請參考圖5所示，取得基準間距L及實際間距G1間 _ 之差值，藉以取得第一軸向上之第一偏差值〇sl。因此， 可判斷基準相機121之視野F121與相鄰相機123之視野 F123是否彼此重疊，亦可判斷基準相機ι21之視野F121 與相鄰相機123之視野F123間彼此重疊或間隔的程度。 然而，相鄰相機123亦可能在第二轴向（如圖示中所 示之Y軸向）上與基準相機121產生偏差。請參考圖6所 示’其為取得第二偏差值Os2之步驟。第二偏差值0s2是 對應於相鄰相機123在第二軸向上與基準相機121的偏差 14 201024724 程度。 在本實施例中，在取得第二偏差值Os2之步驟中更包 含取得相鄰位置標§己之拍攝畫素P123與一第三末端晝素 Pr3間之一第三距離L3 ;取得基準位置標記之拍攝晝素 P124與一第四末端晝素Pr4間之一第四距離乙4 ;以及取 得第三距離L3與第四距離L4間之差值而得第二偏差值 〇s2。其中，第三末端畫素Pr3是選自於基準相機視野F121 中’位於第二軸向之正方向上之最末端晝素，而第四末端 ❹ 畫素PH是選自於相鄰相機視野F123中，位於該第二軸向 之正方向上之最末端晝素。第三距離L3與第四距離L4間 之差值是為第二偏差值Os2。 基於上述結果，即可根據基準相機121之基準晝素pi 取得相鄰相機123之晝素座標。 請參考圖7所示，第五末端畫素pr5是選自於基準相 機視野F123中，位於第一軸向之正方向上之最末端畫素。 ❹若基準畫素P1及第五末端晝素Pr5間之距離為第五距離 L5 ’且相鄰相機之預設畫素座標為ai及bl，則根據基準 相機121之基準晝素所取得之相鄰相機123之預設晝素座 標便會與L5 + al - Osl以及bl - 〇s2之座標值相對應。 舉例而言，假設基準相機121之視野F121與相鄰相 機123之視野F123部分重疊，因而產生數值為1〇的第一 偏差值以及數值為-2的第二偏差值，而基準畫素pi與第 五末端晝素Pr5間之距離則為2〇〇。 在本實施例中，相鄰相機123之預設晝素座標為5〇 15 201024724 及50 ’且根據基準晝素P1取得之相鄰相機123之預設畫 素座標應與200 + 50- 10以及50+ 2之數值相對應，座標 值為240以及52。 預設畫素座標可轉換為起始自基準畫素之一實際距 離。詳細而言，將各預設畫素座標之數值乘以各晝素之單 位長度，便可取得預設畫素之實際長度。 基準相機之晝素長度以及相鄰相機之畫素長度可藉 由各種方式取得。舉例而言，若相機在一單位時間内以一 預设速度移動並拍攝一標記，便可取得相機之一位移量 (disPlacement) ^而後將位移量除以拍攝標記之晝素數 目，便可取得晝素之單位長度。 其他不同於上述計算的方式亦可用於取得畫素長 度。請參考圖2所示，長度標記145分別對應基準相機i2i 以及相鄰相機123㈣成於位置指示件之區域上，且與各 基準位置標記141以及各相鄰位置標記143間有所區隔。 在本實施射，料對應於基準相機且介 、長度W 145間之—距離，除以對應於基準且 介於基準位置標記141之拍攝書 之_畫㈣長度標記145之拍攝 晝素間之晝素數目’便可得到基準相機之實際晝素長度。 同樣地，若要取得相鄰相機之實際晝素長 目鄰且對應於相同相鄰相機之基準位置標記⑷ =145間之距離，除以對應於相同相鄰相機之相鄰^ 之㈣晝錢長度標記145之 201024724 雖然圖φ I - 1¾ 代，以進〜不，座標測量元件可用檢測調變元件取 订陣列檢測。最後得以偵測出缺陷電極之所在位 置。 >考圖8所示，其為將根據基板2之預設基準點Ρο 之if 基準相機之基準晝素P1座標（a，b)與畫素Ρχ I座標（C A\ ± , w

，）相加之步驟，畫素Ρχ是根據基準晝素PI 且用以拍攝基板上之一定點。最後得以利用簡易且 ❹ 地測量出基板上之缺陷畫素的所在位置。 —由於相鄰相機之畫素座標是根據基準畫素P1而設 疋因此調變70件僅需要在相對於基準畫素P1之座標（a， ^處實施缺陷檢測即可，至於基準晝素P1之座標（a，b) 疋依據基板2之基準點P〇所取得。 依據本發明之陣列檢測裝置，即使内設有大量之相鄰 相機，部僅需要在基準相機之基準晝素位置上實施缺陷檢 測’便可以取得相鄰相機之所有晝素位置，因而不必准各 相鄰相機上單獨實施缺陷檢測作業，可減少因檢測所產生 之誤差，並縮短陣列檢測所耗費的時間。 垃亡：方法同樣可運用至-第二相鄰相機’即便 請參考圖9所示，其為取得一相鄰相機相鄰。 野F123_a内之位置標記123a之拍、第一相鄰相機之視 步驟，以及根據基準相機之基準晝素？123~&之座標的 相鄰相機之視野F123_b内之位置_成於第二 P123—b之座標的步驟。 記123b之拍攝畫素 17 201024724 相對於第一相鄰相機之第一相鄰位置標記143a取得 第二相鄰相機之相鄰位置標記143b之偏差值〇s3以及 〇s4。取得第二軸向上之偏差值〇s3以及第一軸向上之偏 差值0s4之方式可與取得上述偏差值Osl以及〇S2之方式 相同。舉例而言，偏差值0s3即對應於實際間距G2與基 準間距L6+L7間之差值。實際間距G2代表第一相鄰相機 之相鄰位置標記143a之拍攝畫素P123_a與第二相鄰相機 之相鄰位置標記143b之拍攝畫素P123_b間之距離。 其後’將相對於第一相鄰相機之第二相鄰相機之偏差 值Os3以及〇s4與相對於基準相機之第一相鄰相機之偏差 值相加，便可取得第二相鄰相機相對於基準相機之 的總和。 $ 上述内容並不限於使用在陣列檢測裝置，而可應用於 其他具有相機組件之裝置，其中，相機組件包含一基準相 機以及至少一相鄰相機，且至少可水平移動。此外，上述 内容亦可應用在利用相鄰相機之預設晝素拍攝之定點^

置測量方法中。由於以預設畫素測量定點位置之方法‘〆 述於上’不再贅述。 已詳 以上所述僅為舉例性，而非為限制性者。任何 本發明之精神與範疇，而對其進行之等效修改或^更脫離 應包含於後附之申請專利範圍中。 均 【圖式簡單說明】 的示意 圖1為依據本發明較佳實施例之陣列檢測裝置 18 201024724 圖， 圖2為圖1所示之相機組件之視野的下視圖； 圖3至圖8為利用相機組件拍攝之預設定點座標測量 方法的概念圖，其中： 圖3為取得實際間距之步驟的示意圖，實際間距為拍 攝基準位置標記之基準相機的晝素與拍攝相鄰位置標記 之相鄰相機的晝素間之距離， 圖4為取得基準間距之步驟的示意圖，基準間距為基 © 準位置標記之拍攝晝素與拍攝相鄰位置標記之拍攝晝素 間之距離， 圖5為藉由計算基準間距與實際間距間之差值以取得 第一偏差值之步驟的示意圖， 圖6為取得基準相機與相鄰相機間之第二偏差值之步 驟的示意圖， 4 圖7為根據基準相機之基準晝素取得相鄰相機之預設 _ 晝素座標之步驟的示意圖， 圖8為根據基板上之基準點取得相鄰相機之預設晝素 座標之步驟的示意圖；以及 圖9為於使用複數相鄰相機時取得偏差值之步驟的示 意圖。 【主要元件符號說明】 10 :陣列檢測裝置 100 :調變單元 201024724 110 ： 固定元件 120 ： 相機組件 121 ： 基準相機 123 ： 相鄰相機 130 ： 座標測量調變元件 140 ： 位置指示件 141 ： 基準位置標記 143 ： 相鄰位置標記 143a :第一相鄰位置標記 ⑩ 143b :第二相鄰位置標記 145 :長度標記 2 :基板 20 ： 裝載部 22 ： 裝載板 24 ： 氣孔 30 ： 檢測部 32 ： 檢測平台 38 ： 電壓應用部 40 ： 卸載部 50 ： 檢測模組 60 ： 支架 70 ： 光學吸盤 a、b、al、bl、c、d:座標 F121、F123、F123 a、F123 b :視野 20 201024724 G1、G2 :實際間距 k:預設間距 L、L6、L7 :基準間距 L1 :第一距離 L2 :第二距離 L3 :第三距離 L4 :第四距離 Osl :第一偏差值 ❹ 0s2 :第二偏差值 0s3、0s4 :偏差值 Po :基準點 P1 :基準晝素 P121 :基準位置標記之拍攝晝素 P123 :相鄰準位置標記之拍攝晝素 P123_a、P123_b :拍攝晝素 ⑩ Prl :第一末端晝素 Pr2 :第二末端晝素 Pr3 :第三末端晝素 Pr4 :第四末端畫素 Pr5 :第五末端晝素 Px :晝素 X、Y :方向 21

Claims (1)

1. 201024724 七、申請專利範圍： 1、 一陣列檢測裝置，包含： 一檢測部，支撐待檢測之一基板；以及 至少一調變單元，鄰設於該檢測部，以偵測設置於該 檢測部上之該基板之一缺陷，且該調變單元包含： 一固定元件， 一相機組件，與該固定元件連接，且包含一基準相 機及至少一相鄰相機，且該基準相機及該相鄰相機 具有一預設間距，及 一座標測量調變元件，可拆卸地連接於該固定元 件，且設置於該相機組件及該基板間，該座標測量 調變元件包含一位置指示件，係與該相機組件之各 該等相機之焦距對應設置； 其中’該基準相機拍攝之一基準位置標記及該相鄰相 機拍攝之至少一相鄰位置標記係形成於該位置指承 件上。 2、 如申請範圍第1項所述之陣列檢測裝置，其中至少一 長度標記形成於該位置指示件之一區域上，並對應該 等相機形成一直線’且該長度標記相對於該基準位置 標記及該相鄰位置標記間具有一預設間距。 3、 如申請範圍第1項所述之陣列檢測裝置，更包含： 一控制單元，根據一基準畫素，並利用一實際間距與 一基準間距間之差值，取得該等相鄰相機之晝素座 標，其中，該實際間距係為該基準位置標記與該相 201024724 鄰位置標記間之距離，而當該等相機之視野彼此相 鄰且無間隔或無重疊時，該基準間距係為該基準位 置標記之一拍攝晝素及該相鄰位置標記之一拍攝晝 素間之距離。 4、如申請範圍第1項所述之陣列檢測裝置，更包含： 一檢測調變元件，與該固定元件之底表面連接，以替 換該座標測量調變元件並上下移動，藉以得知設置 於該基板上之一缺陷電極之位置。 〇 5、一種定點位置測量方法，該定點位於如申請專利範圍 第1項所述之陣列檢測裝置之一基板上，該定點位置 測量方法包含下列步驟： 根據該基準相機之該基準晝素取得該相鄰相機之晝素 座標； 根據該基板之一預設基準點取得該基準晝素座標；以 及 ©將一晝素座標與根據該預設基準點取得之該基準晝素 座標相加，其中，該晝素座標係根據該基準晝素以 取得，且用以拍攝該基板上之該定點。 6、如申請專利範圍第5項所述之定點位置測量方法，其 中，若至少一相鄰相機係在一第一轴向之一正方向上 與該基準相機有一距離，則取得該基準晝素座標之步 驟包含： 取得該基準位置標記與該相鄰位置標記間之一偏差 值，該偏差值包含一第一偏差值，其中，該第一偏 23 201024724 差值係對應於一實際間距與一基準間距在該第一軸 向之該正方向上之差值，該實際間距為該基準位置 標記與該相鄰位置標記間之距離，而當該等相機之 視野彼此相鄰且無間隔或無重疊時，該基準間距相 當於在該第一軸向之該正方向上，該基準位置標記 之一拍攝晝素及該相鄰位置標記之一拍攝晝素間之 距離；以及 根據該基準相機之該基準晝素座標，並利用該偏差 值，取得該相鄰相機之晝素座標。 鬱 7、 如申請專利範圍第6項所述之定點位置測量方法，其 中取得該基準間距包含： 取得該基準位置標記之該拍攝晝素與一第一末端晝素 間之一第一距離，且該第一末端晝素係選自於該基 準相機視野中，位於該第一轴向之該正方向上之最 末端畫素； 取得該基準位置標記之該拍攝晝素與一第二末端晝素 間之一第一距離，且該第二末端畫素係選自於該相 鄰相機視野中，位於該第一軸向之一負方向上之最 末端，該負方向係相對於該正方向；以及 將該第一距離與該第二距離相加。 8、 如申請專利範圍第7項所述之定點位置測量方法，其 中該第一距離係藉由將該基準相機之一單位晝素長度 乘以由該基準位置標記之該拍攝晝素至該第一末端晝 素之晝素數目所得，該第二距離係藉由將該相鄰相機 24 201024724 之一單位晝素長度乘以由該相鄰位置標記之該拍攝晝 素至該第二末端晝素之晝素數目所得，該第一末端晝 素係選自於該基準相機視野中，位於該第一軸向之該 正方向上之最末端，該第二末端晝素係選自於該相鄰 相機視野中，位於該第一軸向之該負方向上之最末端。 9、 如申請專利範圍第6項所述之定點位置測量方法，其 中取得該偏差值更包含取得一第二偏差值，其代表該 相鄰相機在一第二軸向之一預設方向上之偏差值，且 ⑩ 該第二軸向與_該第一軸向垂直，而取得該第二偏移值 包含： 取得該相鄰位置標記之該拍攝晝素與一第三末端晝素 間之一第三距離，且該第三末端晝素係選自於該基 準相機視野中，位於該第二軸向之該預設方向上之 最末端晝素； 取得該基準位置標記之該拍攝晝素與一第四末端畫素 _ 間之一第四距離，且該第四末端晝素係選自於該相 鄰相機視野中，位於該第二軸向之該預設方向上之 最末端晝素；以及 取得該第三距離與該第四距離間之差值。 10、 如申請專利範圍第5項所述之定點位置測量方法，更 包含下列步驟： 取得該基準相機及該相鄰相機之一單位晝素長度。 11、 如申請專利範圍第10項所述之定點位置測量方法， 其中至少一長度標記形成於該位置指示元件之一區域 25 201024724 上，並對應該等相機形成一直線，該長度標記相對於 各該等位置標記間有一預設間距，且該基準相機之該 單位晝素長度係藉由將該基準位置標記與對應於該基 準相機之該長度標記間之一距離，除以自該基準位置 標記之該拍攝晝素至該基準相機之該長度標記之一拍 攝晝素間之晝素數目所得，而該相鄰相機之該單位晝 素長度係藉由將該相鄰位置標記與對應於該相鄰相機 之該長度標記間之一距離，除以自該相鄰位置標記之 該拍攝晝素至該基準相機之該長度標記之一拍攝晝素 ⑩ 間之晝素數目所得。 12、 如申請專利範圍第5項所述之定點位置測量方法，該 陣列檢測裝置更包含一檢測調變元件，與該固定元件 之底表面連接，以替換該座標測量調變元件並上下移 動，藉以得知設置於該基板上之一缺陷電極之位置， 當設置該座標測量調變元件於該陣列檢測裝置上時， 可根據該基準相機之該基準晝素取得該相鄰相機之晝 馨 素座標，而當設置該檢測調變元件於該陣列檢測裝置 上時，可根據·該基板之該預設基準點取得該基準晝素 之座標。 13、 一種位置測量方法，利用具有一相機組件之一裝置測 量一位置，該相機組件包含一基準相機及至少一相鄰 相機，並至少可水平移動，且該位置係在該相鄰相機 之一預設晝素拍攝下，該位置測量方法包含下列步驟： 設置一基準位置標記以供該基準相機拍攝及一相鄰位 26 201024724 置標記以供該相鄰相機拍攝，且該相鄰位置標記在 一第一軸向之一正方向上距離該基準位置標記一實 際間距； 分別利用該基準相機及該相鄰相機拍攝該基準位置標 記及該相鄰位置標記； 當該等相機之視野彼此相鄰且無間隔或無重疊時，取 得一基準間距’其對應於該基準位置標記之一拍攝 晝素及該相鄰準位置標記之一拍攝畫素間之距離； ❿ 以及 根據該基準相機之該基準畫素，並利用該實際間距與 該基準間距，取得該相鄰相機之一預設晝素座標。 14、 如申請專利範圍第a項所述之位置測量方法，其中 取得該基準間距包含： 取得該基準位置標記之該拍攝晝素與一第一末端晝素 間之一第一距離，該第/末端晝素係選自於該基準 ❹ 相機視野中，位於該第〆軸向之該正方向上之最末 端畫素； 取得該相鄰位置標記之該拍攝畫素與一第二末端畫素 間之一第二距離’該第二末端晝素係選自於該相鄰 相機視野中，位於該第〆軸向之一負方向上之最末 端晝素，且該負方向係相對於該正方向；以及 將該第一距離與該第二距離相加。 15、 如申請專利範圍第13項户斤述之位置測量方法，其中 該第一距離係藉由將該基事相機之一單位晝素長度乘 27 201024724 以由該基準位置標記之該拍攝晝素至該第一末端晝素 之晝素數目所得，該第二距離係藉由將該相鄰相機之 一單位晝素長度乘以由該相鄰位置標記之該拍攝晝素 至該第二末端晝素之數目所得，該第一末端畫素係選 自於該基準相機視野中，位於該第一轴向之該正方向 上之最末端，該第二末端晝素係選自於該相鄰相機視 野中，位於該第一轴向之該負方向上之最末端。 16、 如申請專利範圍第13項所述之位置測量方法，其中 取得該相鄰相機之該預設晝素座標包含： ⑩ 取得一偏差值，對應該基準間距與該實際間距間之差 值；以及 根據該基準相機之該基準晝素，並利用該偏差值，取 得該相鄰相機之該預設晝素座標。 17、 如申請專利範圍第13項所述之位置測量方法，更包 含一步驟： 測量該基準相機之一單位晝素及該相鄰相機之一單位 & 晝素之一實際長度。 18、 如申請專利範圍第17項所述之位置測量方法，其中 設置該基準位置標記及該相鄰位置標記之步驟包含： 設置一第一長度標記及一第二長度標記，該第一長度 標記係供該基準相機拍攝，並與該基準位置標記以 一第一預設間距成列設置於該位置指示件之一第一 區域上，且該第二長度標記係供該相鄰相機拍攝， 且與該相鄰位置標記以一第二預定間距成列設置於 28 201024724 該位置指示件之一第二區域上；以及 根據該基準位置標記與該第一長度標記間之一距離除 以由該基準位置標記之該拍攝晝素至該基準相機之 一第一長度標記之該拍攝晝素間之晝素數目，取得 該基準相機之該單位晝素之該實際長度。 19、如申請專利範圍第13項所述之位置測量方法，其中 在根據該基準晝素取得該相鄰相機之該預設晝素座標 後，更包含： ❿ 根據該基板之該預設基準點，取得該基準相機之該基 準晝素座標；以及 將根據該基準晝素取得之該預定晝素座標與根據該基 準點取得之該基準晝素座標相加。 29