TW201022114A - Transporting carrier - Google Patents

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201022114 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明的技術領域是有關於：將例如半導體 用的各種基板等被收容的容器等的被搬運物’朝 的母機（station)搬運的搬運台車。 【先前技術】 φ 這種的搬運台車，是具有藉由作業者的操作 半導體基板等的被搬運物搬運者（如 PGV : Guided Vehicle)。被搬運物，是藉由作業員使 走行，並被搬運、移載（即卸載）至保管被搬運 進行製造和檢査等的各種作業的裝置等。移載被 ，是藉由作業員將操作桿和操作桿等操作，使被 臂等的搬運台車的移載用的部位被驅動，作業者 抬起被搬運物就可進行移載（例如專利文獻1參! ❹ 〔專利文獻1〕日本專利第4092783號公報 【發明內容】 (本發明所欲解決的課題） 但是，藉由例如搬運台車使被搬運物被搬運 製造用的清浄室，是因爲建設費用比較高額，所 確保充分寬的面積的話，在成本上是困難的。因 台車行走的通路寬度是被作成比較狹窄，進行移 台車是存在於通路的情況時，作業員和其他的搬 裝置製造 貯藏庫等 將收容有 Personal 搬運台車 物的棚和 搬運物時 設在移載 不需直接 i)- 的半導體 以若更要 此，搬運 載的搬運 運台車的 -5- 201022114 通行有可能被妨害。即移載中的搬運台車會成爲通路中的 障礙物，而具有有可能招至各種作業的效率下降的技術上 的問題點。 本發明，是有鑑於例如上述的問題點，其課題是提供 一種搬運台車，即使在比較狹窄空間也不會成爲作業和通 行的妨害，可容易地進行移載作業。 (用以解決課題的手段） 爲了解決上述課題，本發明的搬運台車，是將被搬運 物搬運’並且對於從母機突出的方式設置且將前述被搬運 物朝前述母機入庫或是出庫的入出庫部移載前述被搬運物 ，或是從前述入出庫部移載前述被搬運物的搬運台車，其 特徵爲’具備：本體部，是設有將前述被搬運物積載的空 間也就是積載部，及位於前述積載部的下方將前述入出庫 部從側方至少部分地包圍的方式收容的空間也就是收容部 ’且朝向側方開口；及行走手段，是設在前述本體部；及 移載手段，是設在前述本體部中的前述積載部的上方，於 前述入出庫部被收容於前述收容部的狀態下，將被積載在 前述積載部的前述被搬運物移載至前述入出庫部，或是將 從前述入出庫部被出庫的前述被搬運物移載至前述積載部 〇 依據本發明的搬運台車，對於藉由例如作業員由手動 進行操作，將半導體基板等自動地搬運的搬運系統中的母 機’使被搬運物被搬運入庫。或是從母機被出庫的被搬運 -6 - 201022114 物是被移載至搬運台車，朝其他的母機等被搬運。且’在 此的「母機」，是只有保管被搬運物的保管場所也可以， 對於被搬運物可實行各種作業的作業母機、處理裝置、進 一步併存只有將入庫處及出庫處不同的被搬運物搬運或是 移送一些的距離的功能的裝置和機構也可以。 在具有母機的搬運系統中，藉由在被舖設於例如頂棚 的軌道等的軌道上行走的車輛、OHT (懸掛式搬運系統、 . Over head Hoist Transport )等的搬運車，使 FOUP (前開 口式通用容器、Front Opening Unified Pod)等的被搬運 物被搬運。搬運車，是在沿著軌道設置的複數母機之間將 被搬運物搬運。但是當搬運車是因爲例如故障和維修等使 系統的動作停止時，就無法將被搬運物搬運。且，對於軌 道未被舖設的場所，無法將被搬運物搬運。 另一方，被搬運的被搬運物，是隨著搬運的半導體基 板等的大口徑化、大型化及重量化。具體而言，將例如直 β 徑45 0mm的半導體基板搬運用的FOUP，是成爲縱500mm X橫560mmx高度350mm，重量是成爲20kg以上。因此， . 由作業員1人將F0UP抱持並自力搬運是非常困難的。因 . 此，如上述無法藉由系統中的搬運車將被搬運物搬運使的 情況時，有可能產生各式各樣的問題。 然而本發明的搬運台車，可以無關於系統的動作將被 搬運物搬運。即搬運系統停止時，作業員也可容易地將搬 運物搬運。且，即使搬運出發處或是搬運目的地是軌道未 被舖設的場所，也可將被搬運物搬運。 201022114 本發明的搬運台車，特別是具備朝向側方開口的本體 部，其具有：將被搬運物積載的空間也就是積載部，及位 於積載部的下方並將入出庫部從側方至少部分地包圍的方 式收容的空間也就是收容部。且，在此的「側方」，是包 含對於搬運台車的前後左右的各方向（即沿著水平的各方 ’ 向）的槪念，在廣義上除了上下方向以外包含各式各樣的 ’ 方向。本體部，是藉由典型被作成的3字型，在其內部形 成具有積載部及收容部的比較寬的空間。本體部是由例如 ❹ 配管狀的骨架被組合而成也可以，由板狀物被組合而成也 可以。 在本體部中，設有例如滑車等的行走手段，藉由作業 員進行按壓或是拉引等的操作，而可走行於搬運通路上。 且，藉由具備馬達等的，可由電動行走也可以。被搬運物 是在被積載於本體部中的積載部的狀態下，藉由使搬運台 車行走，使被搬運物被搬運。 在本體部中的積載部的上方設有移載手段，將被積載 @ 在積載部的被搬運物移載至入出庫部時，在入出庫部被收 容於收容部的狀態下進行移載動作。且’將從入出庫部被 出庫的被搬運物移載至搬運台車的積載部時’也同樣地在 入出庫部是被收容在收容部的狀態下進行移載動作。入出 庫部的收容時，是入出庫部是從本體部的開口朝本體部的 內部被收納。且，在此的「收容」’不限定於入出庫部整 體被本體部覆蓋的狀態，也包含入出庫部是部分由本體部 包圍的狀態。 -8- 201022114 藉由在本體部中的收容部收容有 就可接近母機側。即收容部將入庫部 運台車在搬運通路等所佔位的面積的 搬運物時，可有效地防止搬運台車妨 運台車的通行。 在本發明中進一步，移載時藉由 側，實現被搬運物的最佳的移載。例 φ 將入出庫部收容在收容部的狀態下進 在移載手段中，爲了移載被搬運物會 方向的動作被要求。然而本發明的搬 出庫部收容在收容部的狀態下可進行 就可進行移載。即藉由縮短搬運台車 距離，就可更容易地移載被搬運物。 如以上說明，依據本發明的搬運 有收容因爲具有收容入出庫部用的收 φ 較狹窄空間也不會妨害作業和通行， 業。 · 在本發明的搬運台車的一態樣中 具有··將前述被搬運物把持的把持手 段昇降的昇降手段。 依據此態樣，在移載手段中具有 是藉由將被搬運物把持的或是將被把 進行移載。且在移載手段中，除了把 手段，被搬運物的移載進行時，藉由 入出庫部，搬運台車 收容的部分，可使搬 減小。因此，移載被 害作業員和其他的搬 使搬運台車靠近母機 如，假設考慮在無法 行移載的情況的話， 使昇降動作及朝水平 運台車因爲是在將入 移載，只由昇降動作 及被搬運物的彼此的 台車，本體部因爲具 容部，所以即使在比 可容易地進行移載作 ，前述移載手段，是 段、及將前述把持手 把持手段，把持手段 持的被搬運物放掉來 持手段以外具有昇降 昇降手段使把持手段 -9 - 201022114 昇降（即朝上下移動）。由此，把持手段的高度，可調整 成爲可供移載被搬運物的適切的高度。因此，可以確實地 移載被搬運物。 在本發明的搬運台車的其他的態樣中，進一步具備落 下防止手段，其是被設在前述本體部中的前述積載部的下 方，藉由將被積載在前述積載部的前述被搬運物從下方側 支撐，防止前述被搬運物從前述積載部落下。 依據此態樣，在本體部具備落下防止手段，防止被積 載在積載部之被搬運物落下。具體而言，落下防止手段是 設在積載部的下方，藉由將被積載在積載部的被搬運物從 下方側支撐，防止被搬運物從積載部落下。且，在此的「 支撐」，是將被積載的被搬運物時常支撐的意思以外，也 包含將要落下時才進行支撐的狀態。即落下防止手段，是 與被積載在積載部的被搬運物隨時接觸也可以，將可能從 積載部落下的被搬運物由下方側承接也可以。 藉由具備落下防止手段，因爲可以防止搬運中的被搬 運物落下，所以可以最佳地將被搬運物搬運。特別是，對 於如半導體基板的衝擊較弱的精密的構件或是裝置的搬運 時，上述的效果是顯著被發揮。 在進一步具備上述落下防止手段的態樣中，前述落下 防止手段，是設在前述收容部，將前述入出庫部收容在前 述收容部時，被容納於不會妨害收容前述入出庫部的的位 置也可以。 如此構成的話，落下防止手段因爲是被設在位於積載 -10- 201022114 部的下方的收容部，藉由將在搬運中可能落下的的某被搬 運物從下方支撐，就可確實地防止落下。且在本態樣中特 別是，落下防止手段，是將入出庫部收容在收容部時，被 容納於不會妨害將入出庫部收容的位置。落下防止手段， 是依據例如操作桿和把手等的操作而成爲可動，藉由將搬 運台車操作的作業員的操作而成爲被容納的狀態。且，將 收容部被收容的狀態檢出，並自動地進行容納也可以。 φ 落下防止手段是藉由收容時被容納，就可以回避因爲 落下防止手段的存在而妨害入出庫部的收容。因此，可最 佳地進行搬運及移載。 在本發明的搬運台車的其他的態樣中，前述移載手段 ，是被作成對於前述本體部可由沿著水平的方向旋轉。 依據此態樣，藉由將移載手段對於本體部沿著水平的 方向旋轉，就可適宜變更被移載的被搬運物的方向。即不 旋轉搬運台車中的本體部，就可以變更被搬運物的方向。 Φ 在上述的構成中，例如從入出庫部移載被搬運物時及 將被搬運物移載至入出庫部時，搬運台車的方向即使相異 ，不需要改變被搬運物的方向就可以完成移載。且，將被 搬運物從入出庫部移載時，移載手段及被搬運物的方向不 對齊的話無法確實地移載的情況時，可將移載手段的方向 微調整。即可最佳地進行移載動作。 本發明的作用及其他的増益可從以下說明的實施發明 用的最佳的形態可明白。 -11 - 201022114 【實施方式】 以下，對於本發明的實施例一邊參照圖一邊說明。 〔搬運系統〕 首先，對於包含藉由本實施例的搬運台車被搬運的 FOUP的移載目的地也就是母機（station)的搬運系統的 結構，參照第1圖及第2圖說明。在此，第1圖是將搬運 系統的整體構成槪略地顯示的俯視圖，第2圖是顯示母機 的具體的構成的立體圖。 在第1圖中，搬運系統，是具備：軌道100、及複數 車輛2 00、及複數母機3 00、及搬運通路400。 軌道1〇〇，是被舖設在例如頂棚，由鋁和不銹鋼等的 金屬所構成。且，在此爲了方便說明，雖是對於軌道100 的結構進行比較簡單的圖示，但是實際的軌道100，是例 如具有更多的分岐處及合流處的複雜的構成也可以。 車輛200，是藉由分別沿著軌道100行走，搬運半導 體基板等被收容的F0UP。即F0UP，是本發明的「被搬運 物」的一例。車輛200，是從軌道100吊下的形態被安裝 ，將例如線性馬達作爲動力在軌道1〇〇上行走。各車輛 200，是分別藉由無圖示的控制器等控制行走及搬運等的 動作。且，在此爲了方便說明，在軌道1〇〇上只有圖示2 台車輛200a及車輛20 0b，典型的是具備更多（例如數十 台，或是數百台）的車輛200。 母機300，是沿著軌道100複數設置，可分別保管 201022114 FOUP。且’可對於被收容在F〇UP的半導體基板等的構件 進行各種作業也可以。 在第2圖中’母機300，是具備由突出的方式設置的 入庫部310及出庫部32〇。入庫部310，是具有例如皮帶 輸送機等’將從搬運台車被移載的FOUP朝母機300內部 入庫。出庫部3 20，是與入庫部310同樣具有皮帶輸送機 等，將母機300內部的FOUP出庫，移動至可朝搬運台車 φ 移載的位置。入庫部310及出庫部320，是如第2圖所示 各別地設置也可以。即入庫部310是兼具出庫部320的功 能的構成也可以。且，入庫部310及出庫部320，是對於 1個母機300，分別設置2個以上也可以。 且，雖在此省略圖示，但是在母機300中，除了上述 的入庫部310及出庫部320以外，也具備對於車輛2 00進 行FOUP的入庫及出庫用的入庫部及出庫部。 返回至第1圖，搬運通路400，是搬運台車行走用的 φ 通路，被挾持在複數母機3 00之間的方式被設置。搬運台 車，是在例如系統停止且車輛200無法行走之情況等，藉 由行走在此搬運通路400，進行FOUP的搬運。且搬運通 路400，是除了上述的搬運以外，也作爲供進行搬運系統 的維修作業等讓的作業員的通路等的功能。 〔搬運台車〕 以下，對於本實施例的搬運台車參照第3圖至第18 圖說明。 -13- 201022114 〔第1實施例〕 首先，對於第1實施例的搬運台車的結構，參照第3 圖及第4圖說明。在此，第3圖是顯示第1實施例的未積 載時的搬運台車的結構的立體圖，第4圖是顯示第1實施 例的積載時的搬運台車的結構的立體圖。 在第3圖中，第1實施例的搬運台車500，是具備： 本體部510、及滾子520、及昇降部530、及把持部540。 本體部510，是由例如鋁和鐵等的金屬構成的框架， 藉由被作成3的字型的形狀，在其內部具有比較大的空間 。在本體部的內部的空間中，是包含：將被搬運物也就是 FOUP積載用的空間也就是積載部，以及將母機300中的 入庫部310及出庫部320收容用的空間也就是收容部。 滾子5 20，是本發明的「行走手段」的一例，藉由旋 轉使可以走行於搬運台車500。且，在此的滾子520，是 雖是藉由作業員進行將搬運台車5 00按壓或是拉引動作而 旋轉的方式構成，但是藉由例如電動馬達等被旋轉的方式 構成也可以。 昇降部530，是本發明的「昇降手段」的一例，被作 成可將後述的把持部540對於本體部510昇降。藉由昇降 部53 0的昇降動作，把持部53 0，是被調整至可將FOUP 把持用的適切的高度。對於昇降部530的具體的構成是如 後詳述。 把持部5 40，是本發明的「把持手段」的一例，被作 201022114 成可將 FOUP把持。藉由把持部 540FOUP使被把持， FOUP是成爲被積載在搬運台車5 00的狀態。對於把持部 540的具體的構成是如後詳述。 在第4圖中，被積載在搬運台車5 00的FOUP600，是 如圖所示，在被把持於把持部5 40的狀態下，被收容在本 體部510的內部的空間。即圖中的FOUP600被收容的空 間是本體部510中的積載部，位於FOUP600的下方的空 φ 間是收容部。對於朝收容部的入庫部310及出庫部320的 收容，是在說明移載動作時詳述。 接著，對於上述的昇降部530的具體的構成，參照第 5圖至第7圖說明。在此，第5圖至第7圖是分別顯示搬 運台車中的昇降部的具體的構成的側面圖。 在第5圖中，昇降部530是例如具備：昇降操作桿 531a、及昇降小齒輪531b、及昇降齒條531c。昇降時， 是藉由作業員將昇降操作桿531a操作，使昇降小齒輪 ❹ 531b旋轉，使昇降齒條531c朝上下移動。藉此，使被安 裝於昇降齒條531c的把持部5 40被昇降。 在第6圖中，昇降部530，是具備：昇降操作桿532a 、及皮帶捲取部532b、及昇降皮帶532c也可以。此情況 ，藉由作業員將昇降操作桿532a操作，使皮帶捲取部 532b旋轉，使昇降皮帶532c被捲取於或是被捲出皮帶捲 取部532b。藉此，使被安裝於昇降皮帶5 32c的把持部 540被昇降。 在第7圖中，昇降部530，是具備：昇降操作桿533a -15- 201022114 、及昇降驅動部533b、及昇降皮帶53 3 c、及昇降支撐部 533 d、及線性導引5 33 e也可以。此情況，藉由作業員將 昇降操作桿533a操作，使昇降驅動部533b被驅動。藉由 昇降驅動部533b被驅動，使昇降支撐部533d，沿著線性 導引533e朝上下移動。藉此，使隔著昇降皮帶532c被安 裝於昇降支撐部533d的把持部540被昇降。 且，在此舉例的昇降部530的結構只是一例，即使使 用具有不同的構成的昇降部530的情況，也可實現上述的 本實施例的搬運台車500。 接著，對於藉由上述的昇降部530被驅動的把持部 5 40的具體的構成，參照第8圖至第10圖說明。在此第8 圖至第10圖是分別顯示搬運台車中的把持部的具體的構 成的部分擴大圖。 在第8圖中，把持部5 40是例如具備：旋轉驅動部 541、及2個連接板542a及542c、及2個握部543 a及 543b。將FOUP600把持時，是藉由作業員將被安裝於旋 轉驅動部541的旋鈕（無圖示）等操作，使連接板5 42a 及542c被驅動，隨著該握部543a及543b進行開閉動作 。在第8圖所示的構成中，藉由將旋轉驅動部541朝右旋 轉使握部543a及543b打開，藉由將旋轉驅動部541朝左 旋轉使握部543a及543b關閉。 在第9圖中，把持部54 0，是具備：設有2個導引溝 5 44a和5 44b的旋轉驅動部541、及設有連接部545a的握 部543a及設有連接部5 45b的握部543b也可以。此情況 201022114 ，藉由被安裝於旋轉驅動部541的旋鈕等被操作，使連接 部545a及545b沿著導引溝544a及544b移動，使握部 543 a及543b進行開閉動作。在第9圖所示的構成中，藉 由將旋轉驅動部541朝右旋轉使握部543a及543b關閉， 藉由將旋轉驅動部541朝左旋轉使握部543a及543b打開 〇 在第10圖中，把持部54〇，是具備：彼此之間嚙合的 φ 4個把持小齒輪546a、546b、546c、546d、及2個握部 5 47 a和547b也可以。此情況，藉由被安裝於把持小齒輪 546a的旋鈕等被操作，使其他的把持小齒輪546b、546c 及546d旋轉，使握部547a及547b進行開閉動作。且， 第10圖中的握部547a及54 7b，是與第8圖及第9圖中的 握部5 43 a及54 3b相異，因爲藉由旋轉運動而開閉，所以 形狀成爲相異。在第1〇圖所示的構成中’藉由將把持小 齒輪546a朝右旋轉使握部547a及547b打開，藉由將把 φ 持小齒輪546a朝左旋轉使握部547a及547b關閉。 且，在此舉例之把持部5 40的結構只是一例，即使使 用具有不同構成的把持部540的情況，也可實現上述的本 實施例的搬運台車500。 接著，對於移載第1實施例的搬運台車500的 FOUP600時的動作，參照第11圖至第14圖說明。在此第 11圖，是顯示將FOUP入庫時的搬運台車及母機的位置關 係的立體圖，第12圖是顯示第1實施例的搬運台車的 FOUP移載時的動作的側面圖。且第13圖是顯示比較例的 -17- 201022114 搬運台車的F〇 UP移載時的動作的側面圖’第14圖是顯 示將FOUP出庫時的搬運台車及母機的位置關係的立體圖 。且，在第11圖至第14圖中’爲了方便說明’將如第3 圖及第4圖等所示的搬運台車的詳細的構件適宜地省略圖 示，對於之後的圖也同樣。 在第11圖及第12圖中’在第1實施例的搬運台車 500中的FOUP600的入庫時，在搬運台車500的收容部， 入庫部310是成爲被收容的狀態。即搬運台車500的本體 部510，是成爲將入庫部310從側方包圍的狀態。將被積 載FOUP600移載至入庫部310時，如第12圖所示，是藉 由昇降部530被驅動使把持部5 40下降，在入庫部310上 被設置FOUP600。且，進行移載時，滾子520是藉由停止 器等而不旋轉的方式被固定。 在第13圖中，假設由無法收容入庫部310的搬運台 車500a進行FOUP600移載的情況的話，無法將入庫部 310收容的部分，搬運台車500a大大地佔去搬運通路400 中的空間。此結果，將搬運通路400中的搬運台車500a 操作的作業員的空間、和爲了其他的作業欲通行於搬運通 路400的作業員的空間會極端地被限制。因此，如上述的 情況時，有可能產生作業效率下降等的實踐上的各式各樣 的問題。 對於此本實施例的搬運台車500，是如第11圖及第 12圖所示，因爲在搬運台車5 00的本體部510收容有入庫 部310，所以可以將搬運通路400的空間充分地保持。因 201022114 此’即使在比較狹窄空間也可最佳地進行移載動作。 且’在如第13圖顯示的情況，在搬運台車500a中的 把持部540中，除了由昇降部53 0所進行的昇降動作以外 ’也要求臂550的朝水平方向的動作。對於此，本實施例 的搬運台車500，是在將入庫部31〇收容的狀態下因爲可 移載FOUP6 00，所以只要可進行昇降部53 0的昇降動作的 話，不進行由臂5 5 0的朝水平方向的動作也可以。因此， φ 由比較簡易的構成就可以實現FOUP600的移載。且， FOUP 6 00的移載所需要的時間也可短縮。 在第14圖中，在第1實施例的搬運台車500中的 FOUP6 00的出庫時中，在搬運台車500的收容部，出庫部 320是成爲被收容狀態。即搬運台車500的本體部510, 是成爲將出庫部320從側方包圍的狀態。因此，與第11 圖及第12圖所示的入庫時同樣，成爲可最佳地移載 FOUP600。 ❹ 如以上說明，依據第1實施例的搬運台車500，因爲 本體部51〇具有將入庫部310及出庫部320收容的收容部 ，所以即使在比較狹窄空間也不會妨害作業和通行，可容 易地進行移載作業。 〔第2實施例〕 接著，對於第2實施例的搬運台車，參照第15圖及 第16圖說明。在此第15圖是顯示第2實施例的搬運台車 中的把持部的結構的立體圖，第16圖是顯示第2實施例 -19- 201022114 的搬運台車的結構的立體圖。且，第2實施例與上述的第 1實施例相比，把持部的結構相異，對於其他的結構等是 大致同樣。因此在第2實施例中，對於與第1實施例不同 的部分詳細說明，對於其他的重複的部分是適宜地省略說 明。且，在第15圖及第16圖中，對於與如第3圖及第4 圖等所示的第1實施例的構成要素同樣的結構要素是附加 相同的參照符號。 在第15圖中，第2實施例的搬運台車500，是把持部 5 40是形成如圖所示的形狀，如第1實施例的把持部540 (第8圖至第10圖參照），在把持部5 40本身未設有驅 動處。由這種把持部540將FOUP600把持時，藉由將把 持部5 40變水平方向（即在圖中的箭頭的方向）滑動，在 FOUP 0 00中的把手部分及本體部分的間隙，把持部540的 一部分是被嵌入》 在第16圖中，第2實施例的搬運台車5 00，是如上述 ，因爲在把持部5 40本身不設置驅動處也可以，所以可由 比較簡單的構成實現。即設有使把持部540昇降之昇降部 530的話，就可確實地移載FOUP 6 00。 將FOUP600積載時，是搬運台車500是藉由滾子520 而移動並成爲由把持部540將FOUP600把持的狀態。更 具體而言，首先藉由昇降部5 3 0，使FOUP600及把持部 540的彼此的高度被調整之後，藉由滾子520使搬運台車 500朝FOUP600側行走，將FOUP600把持。且，藉由昇 降部530使把持部上昇，使FOUP600成爲被積載在搬運 201022114 台車500的狀態。且，將積載的FOUP600入庫時，藉由 進行與上述的動作相反的動作，就但可確實地將FOUP600 移載至母機300。 如以上說明，依據第2實施例的搬運台車500，可以 使搬運台車的結構更簡單。 〔第3實施例〕 φ 接著，對於第3實施例的搬運台車，參照第17圖及 第18圖說明。在此，第17圖是顯示第3實施例的搬運台 車的結構的側面圖，第18圖是顯示第3實施例的搬運台 車的FOUP移載時的動作的側面圖。且，第3實施例與上 述的第1及第2實施例相比是在具備落下防止部的點相異 ，對於其他的結構等是大致同樣。因此在第3實施例中， 只對於與第1及第2實施例不同的部分詳細說明，對於其 他的重複的部分是適宜地省略說明。且，在第17圖及第 0 18圖中，對於與如第11圖等所示的第1實施例的構成要 素同樣的結構要素是附加相同的參照符號。 在第17圖中，第3實施例的搬運台車500，除了上述 的第1及第2實施例的結構以外，也具備防止被積載的 FOUP600的落下用的落下防止部560。 落下防止部5 60，是本發明的「落下防止手段」的一 例，設在本體部510中的積載部的下方。落下防止部560 是形成例如板狀的構件，藉由將被積載的F0UP600從下 方側支撐來防止落下。 -21 - 201022114 在第18圖中，落下防止部560，是將入庫部310或是 出庫部3 20收容在收容部時，被容納於不會妨害收容的位 置。具體而言，落下防止手部5 40，是可對應例如操作桿 和操作桿等的操作而動作，移載FOUP600時，是如圖所 示成爲被容納在不與入庫部310接觸的位置狀態。 落下防止部5 60是藉由收容時被容納，藉由落下防止 部560的存在就可回避妨害入庫部310或出庫部320的收 容。因此，可最佳地進行搬運及移載。 如以上說明，依據第3實施例的搬運台車500，藉由 具備落下防止部560，可以防止搬運中的FOUP600落下。 特別是，搬運如半導體基板對於衝擊弱的精密的構件或是 裝置時，上述的效果是顯著地被發揮。 〔第4實施例〕 接著，對於第4實施例的搬運台車，參照第19圖及 第20圖說明。在此，第19圖是顯示第4實施例的搬運台 ❹ 車的結構的立體圖，第20圖是顯示搬運系統中的各母機 的配置的俯視圖。且’第4實施例與上述的各實施例相比 是在可將移載的FOUP旋轉的點相異，對於其他的結構等 是大致同樣。因此在第4實施例中’只對於與第1與第3 實施例不同的部分詳細說明’對於其他的重複的部分是適 宜地省略說明。且，在第19圖及第20圖中，對於與如第 1圖及第4圖等所示的第1實施例的構成要素同樣的結構 要素附加相同的參照符號。 -22- 201022114 在第19圖中，第4實施例的搬運台車500，是具備可 將昇降部530及把持部540旋轉用的旋轉台570。旋轉台 570’是被作成可沿著水平方向旋轉，可變更昇降部530 及把持部540的方向。 在第4實施例的搬運台車500中進一步具備旋轉補強 桿580。使旋轉補強桿580旋轉，將其方向變更的話，就 可以變更搬運台車500的本體部510的開口的方向。即在 φ 搬運台車500的收容部將入庫部31〇及出庫部320收容的 方向可以18 0°變更。藉由組合旋轉補強桿580及上述的旋 轉台570的旋轉，不需意識搬運台車500的前後，就可進 行對於FOUP 500的移載動作。且，旋轉補強桿580,是保 持搬運台車5 00的強度用，如果強度可以充分地確保的情 況的話，不設置也可以。 如第20圖所示，第4實施例的搬運台車5 00，是搬運 通路400比較窄，各母機300中的入庫部310及出庫部 3 20是相面向的方式被配置的情況時可顯著地發揮效果。 具體而言，在彼此之間相面向的入庫部310及出庫部320 之間進行FOUP的移載的情況時，不需將搬運台車500旋 轉（即只要平行移動）就可以進行移載。且，旋轉台570 ’也可利用於把持部540及欲移載的FOUP600的方向的 調整等。 如以上說明，依據第4實施例的搬運台車500，藉由 具備旋轉台570，就可最佳地進行FOUP600的移載動作。 本發明不限定於上述的實施例，在不違反從申請專利 -23- 201022114 範圍及說明書整體可讀取的發明的實質或是思想範圍可適 宜地變更，隨著如此變更的搬運台車也包含於本發明的技 術的範圍。 【圖式簡單說明】 〔第1圖〕將搬運系統的整體構成槪略地顯示的俯視 圖。 〔第2圖〕顯示母機的具體的構成的立體圖。 〔第3圖〕顯示第1實施例的未積載時的搬運台車的 結構的立體圖。 〔第4圖〕顯示第I實施例的積載時的搬運台車的結 構的立體圖。 〔第5圖〕顯示搬運台車中的昇降部的具體的構成的 側面圖（其1 )。 〔第6圖〕顯示搬運台車中的昇降部的具體的構成的 側面圖（其2)。 〔第7圖〕顯示搬運台車中的昇降部的具體的構成的 側面圖（其3 )。 〔第8圖〕顯示搬運台車中的把持部的具體的構成的 部分擴大圖（其1)。 〔第9圖〕顯示搬運台車中的把持部的具體的構成的 部分擴大圖（其2)。 〔第10圖〕顯示搬運台車中的把持部的具體的構成 的部分擴大圖（其3 )。 -24- 201022114 〔第11圖〕顯示將FOUP對於入庫時的搬運台車及 母機的位置關係的立體圖。 〔第12圖〕顯示第1實施例的搬運台車的FOUP移 載時的動作的側面圖。 〔第13圖〕顯示比較例的搬運台車的FOUP移載時 的動作的側面圖。 〔第14圖〕顯示對於將FOUP出庫時的搬運台車及 φ 母機的位置關係的立體圖。 〔第15圖〕顯示第2實施例的搬運台車中的把持部 的結構的立體圖。 〔第16圖〕顯示第2實施例的搬運台車的結構的立 體圖。 〔第17圖〕顯示第3實施例的搬運台車的結構的側 面圖。 〔第18圖〕顯示第3實施例的搬運台車的FOUP移 φ 載時的動作的側面圖。 〔第19圖〕顯示第4實施例的搬運台車的結構的立 體圖。 〔第20圖〕顯示搬運系統中的各母機的配置的俯視 圖。 【主要元件符號說明】 100 :軌道 200 :車輛 -25- 201022114 200a ：車輛 200b ：車輛 300 :母機 310 :入庫部 320 :出庫部 400 :搬運通路 500 :搬運台車 500a :搬運台車 510 :本體部 520 :滾子 530 :昇降部 5 3 1 a :昇降操作桿 5 3 1 b :昇降小齒輪 5 3 1 c :昇降齒條 5 32a :昇降操作桿 532b :皮帶捲取部 5 3 2c :昇降皮帶 5 3 3 a :昇降操作桿 53 3b :昇降驅動部 53 3 c :昇降皮帶 53 3 d :昇降支撐部 53 3 e :線性導引 540 :把持部 541 :旋轉驅動部 201022114

542a :連接杉 543a :握部 5 4 3 b :握部 544a :導弓丨择 545a :連接g 545b :連接吾 546a ， 546b > 547a :握部 550 ：臂 560 :落下防 570 :旋轉台 58 0 :旋轉補 600 ： FOUP 546c :把持小齒輪 止部 強桿

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Claims (1)

1. 201022114 七、申請專利範面： 1·—種搬運台車，是將被搬運物搬運，並且對於從 母機突出的方式設置且將前述被搬運物朝前述母機入庫或 是出庫的入出庫部移載前述被搬運物，或是從前述入出庫 部移載前述被搬運物的搬運台車，其特徵爲，具備： 本體部，是設有將前述被搬運物積載的空間也就是積 載部，及位於前述積載部的下方將前述入出庫部從側方至 少部分地包圍的方式收容的空間也就是收容部，且朝向側 方開口；及 行走手段，是設在前述本體部；及 移載手段，是設在前述本體部中的前述積載部的上方 ，於前述入出庫部被收容於前述收容部的狀態下，將被積 載在前述積載部的前述被搬運物移載至前述入出庫部，或 是將從前述入出庫部被出庫的前述被搬運物移載至前述積 載部。 2. 如申請專利範圍第1項的搬運台車，其中，前述 移載手段是具有： 將前述被搬運物把持的把持手段、及 將前述把持手段昇降的昇降手段。 3. 如申請專利範圍第1或2項的搬運台車，其中， 進一步具備落下防止手段，其是被設在前述本體部中的前 述積載部的下方，藉由將被積載在前述積載部的前述被搬 運物從下方側支撐，防止前述被搬運物從前述積載部落下 -28- 201022114 4.如申請專利範圍第3項的搬運台車，其中，前述 落下防止手段，是設在前述收容部，將前述入出庫部收容 在前述收容部時，被容納於不會妨害收容前述入出庫部的 的位置。 5·如申請專利範圍第1或2項的搬運台車，其中， 前述移載手段’是被作成對於前述本體部可由沿著水平的 方向旋轉。 Ο 6·如申請專利範圍第3項的搬運台車，其中，前述 移載手段’是被作成對於前述本體部可由沿著水平的方向 旋轉。 7·如申請專利範圍第4項的搬運台車，其中，前述 移載手段’是被作成對於前述本體部可由沿著水平的方向 旋轉。 -29-