TW201021989A - Method for resuming operation of wire saw and wire saw - Google Patents

Description

201021989 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於—種㈣，—邊對鋼線供給衆液一邊壓 抵半導體晶棒等的工件來進行切斷；特別是關於一種在利 用鋼線進行切斷時的線鋸的運轉再開方法及其線雜。 【先前技術】 Φ 以往，作為從半導趙晶棒等的工件切出晶BI的手段， 已知有線鑛。此線鑛，其切斷用鋼線多數次地捲繞在複數 個附凹溝滾筒的周圍而形成鋼線列，該切斷用鋼線往轴方 向被高速驅動，且一邊適當地供給聚液—邊對鋼線列切入 進給工件，藉此，各工件可在各鋼線位置同時地被切斷。 另外，線鋸的鋼線，是採用一種擁有耐磨耗性、耐張 力性而且高硬度的線材，例如鋼琴線等；又，附凹溝滾筒， 為I防止鋼線的損傷，而使用一種規定硬度的樹脂滚筒， •但是由於鋼線持續地磨耗或金屬疲勞等，在切斷工件時， 鋼線會發生斷線，而有無法繼續切斷晶圓的情況。 此種情況’ I前，是在進行使工件的切入狀態從鋼線 脱離的脫離作業之後，以手動的方式將鋼線拉出、或是利 用手控的方式來操作附凹溝滾筒驅動裝置，將鋼線的斷線 處拉至其中方的附凹溝滾筒的適當外側位置為止，然後 將該斷線部份連結起來，之後，進行拉出作業，將斷線後 的鋼線的連接部，再度拉至沒有與工件的切斷直接相關的 位置或疋在不能使用的情況，進行交換作業而換成新的 3 201021989 鋼線。 而且’此種鋼線修補處理之後，使工件的各切入處對 應於鋼線列的各列’並使其卡合來進行恢復原狀作業然 後使工件的切斷再度開始（再開），藉此，來進行使工件的 切片切斷完成這樣的恢復原狀作業。 但是’除了從開始鋼線的恢復原狀作業至再度開始工 件的切斷為止所需要的時間極短的情況，例如，當鋼線的 斷線並不是發生在與附凹溝滾筒嵌合之處，則只要連接鋼 瘳線的兩斷線之間，便能完成鋼線處理；除此以外，當鋼線 修補處理需要長時間（1小時以上）的情況，由於上述附凹 溝滾筒的轴承部和鋼線等的摩擦熱，原本熱膨脹中的附凹 溝滾筒會冷卻而收縮，由於鋼線列的節距（pitch)會比原 先進行切斷的狀態更狹窄，所以在此狀態下，若再開（再 度開始）工件的切斷’則在切出來的晶圓的切斷面，會有 產生無法修正的段差這樣的問題。 籲 對於此種問題’揭示一種運轉再開方法及裝置，在附 凹溝滾筒的至少軸承部内，形成用以導入熱交換媒體的通 路’在鋼線斷裂時，先停止附凹溝滾筒的旋轉及漿液的供 給’並將用以限制熱收縮的熱交換媒體導入前述熱交換媒 體的通路内之後，進行鋼線恢復原狀作業（參照專利文獻 1) ° 若根據此種方法及裝置，即便鋼線修補處理需要長時 間的情況，也可以將晶圓的段差，降低至1 /4以内的程度 為止’該晶圓的段差是起因於因為切斷中斷後的滾筒的收 4 201021989 縮而造成的鋼線節距偏移。 [先前技術文獻] 專利文獻1 :日本特開平10-202497號公報 【發明内容】 ❹

然而’近年來’由於半導體元件的微細化而造成對於 半導體晶圓的品質要求變高，伴隨著此趨勢，晶圓檢查方 法也尚感度化’於是’在剛利用線鑛切斷後的段差測定中 無法檢測出來的微小段差，也會在晶圓加工後的奈米形貌 (奈米級形貌）測定中被檢測出來。 而且，利用上述先前的方法，並無法完全地避免此種 释小段差。因此，要求更進一步的品質改善。 本發明係有鑑於上述問題而開發出來，其目的係提供 -種線鑛的運轉再開方法及其線鑛，在根據祕而實行的 半導體晶棒等的工件切斷中，即便由於鋼線的斷線等而使 件的切斷在途中被中斷的情況，也能抑制加工後的晶圓 的奈来形貌(Nan〇topography )的惡化，製品晶圓不會發 生品質的問題’並能使切斷再度開始(再開)而完成切斷。 為了達成上述目的，若根據本發明，提供—種線鑛的 開方法’是針對—種使捲繞在複數個附凹溝滾筒上 於轴方向作往復行進，並-邊將切斷用漿液供給 行二，線上’一邊將工件相對地壓下，使其壓抵作往復 =的前述鋼線來進行切人進給，而將前述卫件切斷成晶 圓狀的線鑛的運轉’而在切斷途中，前述工件的切斷暫時 5 201021989 二：之後’再度開始該切斷的 徵在於： 传丹開方法，其特 在前述工件的切斬中，一邊 方向的變位量及前述 附凹溝滾筒的軸 述工件； +的/皿度並加以記錄，-邊切斷前 中斷前述工件的切斷 齡夕义拉丄 斷後在再度開始前述工件的切 斷…藉由對前述附凹溝滾筒與前述工件，供給：:： 立地控制溫度後的溫度調整 、n 方向的變位量與前述工件的=，=附凹溝滾筒的軸 的切斷時所記錄的變位量和；刀引與前述中斷工件 調整後，再度開始進行切斷和Γ度成為㈣的方式來進行 如此’在前述工件的切斷中，一邊測定前述附凹溝滾 筒的軸方向的變位量及前述工件的溫度並加以記錄，一邊 切斷前述工件’而在中斷前述工件的切斷之後，在再度開 始前述工件的切斷之前，藉由對前述附凹溝滾筒與前述工 件’供給分別獨立地控制溫度後的溫度調整媒體，將前述 附凹溝滾筒的軸方向的變位量與前述工件的溫度，以分別 與前述中斷工件的切斷時所記錄的變位量和溫度成為相 同的方式來進行調整後，再度開始進行切斷。若如此進行 則附凹溝滾筒與工件的熱膨脹的狀態，在中斷切斷之前與 再度開始之後，並不會成為不連續的狀態，因而能一邊抑 制在切斷後的晶圓的表面上產生段差、奈米形貌惡化等， 一邊完成工件的切斷。 此時’作為供給至前述附凹溝滾筒與前述工件上的溫 201021989 度調整媒體，較佳是採用一種在切斷前述工件時所使用的 聚液。 如此’作為供給至附凹溝滾筒與工件上的溫度調整媒 體，若是在切斷工件時所使用的漿液，則不用另外準備溫 度調整媒體，所以能使裝置的構成簡單化，並且在調整附 凹溝滾筒的轴方向的變位量與工件的溫度後，不用停止供 給漿液，而能迅速地再度開始切斷工件，並能有效地抑制 在切斷後的晶圓表面上發生段差或是奈米形貌惡化等的 ©情況。 又此巧’作為供給至前述附凹溝滾筒上的溫度調整 媒體，較佳是採用一種在切斷前述工件時所使用的漿液； 作為供、給至前述工件上的溫度調整媒冑，較#是使用氣 趙》 如此作為供給至前述附凹溝滾筒上的溫度調整媒 趙丄是在切斷前述卫件時所使用的漿液，而且，作為供給 至别述工件上的溫度調整媒體，是使用氣體，藉此，則不 用新增加往工件的漿液供給管路，能使用更簡單的裝置來 作溫度調整’且在調整附凹溝滾筒的轴方向的變位量與工 件的恤度後’龅迅速地再度開始切斷工件，並能更有效地 抑制在切斷後的晶圓表面上發生段差或是奈㈣貌惡化 等的情況。 又’右根據本發明 個附凹溝滾筒上的鋼線 切斷用漿液供給至前述 ’提供一種線鋸，是使捲繞在複數 ’於轴方向作往復行進，並一邊將 鋼線上’一邊將工件相對地壓下， 201021989 使其壓抵作往復行進的前述鋼線來進行切入進給，而將前 述工件切斷成晶圓狀的線鋸，其特徵在於. 1 具備：測定前述工件切斷中的前述附凹溝滾筒的轴方 向的變位量並加以記錄之手段； 測定切斷中的前述工件的溫度並加以記錄之手段·以 及 ❹ 參 對前述附凹溝滾筒與前述工件，供給分別獨立地控制 溫度後的溫度調整媒體之手段； 其中’在前述工件的切斷中’藉由前述變位量的記錄 手段與前述溫度的記錄手與·， ^ 錄于段邊測定前述附凹溝滾筒的 軸方向的變位量及前述工件的溫度並加以記錄一 前述工件； 在切斷途中，前述工件的切斷暫時中斷之後，在再度 開始該切斷之前’利用前述溫度調整媒體的供給手段，將 前述媒體供給至前述附凹溝滾筒與前述工件上，藉此，將 前述附凹溝滾筒的轴方向的變位量與前述工件的溫度，以 刀別”钔述中斷工件的切斷時所記錄的變位量和溫度成 為相同的方，來進行調整後，再度開始進行切斷。 如此^•疋一種線鑛，其具備：測定前述工件切斷中 的前述附凹溝滾筒的轴方向的變位量並加以記錄之手 段，測定切斷中的前述工杜 义件的溫度並加以記錄之手段；以 及對前述附凹溝滚筒盥箭、+、， 同興則述工件，供給分別獨立地控制溫 度後的溫度調整媒體之手段；且在前述工件的切斷中，藉 由前述變位量的記錄手段與前述溫度的記錄手段，-邊測 201021989 定前述附凹冑滾筒的轴方向&變位4及前述工件的溫度 並加以記錄，一邊切斷前述工件；在切斷途中，前述2 的切斷暫時中斷之後，在再度開始該切斷之前，利用前述 溫度調整媒體的供給手段，將前述媒體供給至前述附凹溝 滾筒與别述工件上，藉此，將前述附凹溝滾筒的轴方向的 變位量與前述工件的溫度，以分別與前述中斷工件的切斷 時所記錄的變位量和溫度成為相同的方式來進行調整 後，再度開始進行切斷。藉此，成為-種裝置，其附凹溝 滾筒與工件的熱膨脹的狀態，在中斷切斷之前與再度開始 之後，並不會成為不連續的狀態，因而能一邊抑制在切斷 後的晶圓的表面上產生段差、奈米形貌惡化等，一邊完成 工件的切斷。 此時’作為供給至前述附凹溝滾筒與前述工件上的溫 調整媒冑肖佳疋#用—種在切斷前述工件時所使 漿液。 ❿ ^如此’成為一種裝I，供給至w凹溝滚筒與工件上的 =度調整媒體，若是在切斷工件時所使用的聚液，則能使 構成簡單化，並且在調整附凹溝滾筒的軸方向的變位量與 件的温度後，能迅速地再度開始切斷工件，並能有效地 制在切斷後的晶圓表面上發生段差或是奈米形貌惡化 等的情況。 此時’供給至前述附凹溝滾筒上的溫度調整媒體， =佳是採用-種在切斷前述工件時所使用的聚液；供給至 前述工件上的溫度調整媒體，較佳是氣體。 9 201021989 如此，若供給至前述附凹溝滾筒上的溫度調整媒體， 是在切斷前述工件時所使用的漿液，而且，供給至前述工 件上的溫度調整媒體，是氣體，藉此，則成為一種裝置^ 不用新增加往工件的漿液供給管路，能構成更簡單的裝 置，且在調整附凹溝滾筒的軸方向的變位量與工件的温产 後，能迅速地再度開始切斷工件，並能更有效地抑制在切 斷後的晶圓表面上發生段差或是奈米形貌惡化等的情況。 在本發明中，針對線鋸，在工件的切斷中藉由變位 量的測定手段與溫度的記錄手段，一邊測定附凹溝滾筒的 轴方向的變位量及工件的溫度並加以記錄，一邊切斷工 件，而在中斷前述工件的切斷之後，在再度開始前述工件 的切斷之前，利用溫度調整媒體的供給手段，對附凹溝滾 筒與工件，供給溫度調整媒體，藉此，將附凹溝滾筒的軸 方向的變位量與工件的溫度，以分別與前述中斷工件的切 斷時所記錄的變位量和溫度成為相同的方式來進行調整 後，再度開始進行切斷，所以，附凹溝滚筒與工件的熱膨 脹的狀態，在中斷切斷之前與再度開始之後，並不會成為 不連續的狀態，因而能一邊抑制在切斷後的晶圓的表面上 產生段差、奈米形貌惡化等，一邊完成工件的切斷。 【實施方式】 以下，說明關於本發明的實施形態，但本發明不限定 於此實施形態。 先前，根據線鋸而實行的半導獐晶圓等的工件的切 10 201021989 斷，例如由於鋼線的斷線等，在切斷途中暫時中斷工件的 切斷，先進打恢復原狀處理後，再度開始（再開）該切斷的 情況，若直到再度開始切斷為止需要長時間（1小時以上) 的情況，由於附凹溝滾筒的軸承部和鋼線等的摩擦熱，原 本熱膨脹中的附凹溝滚筒和工件會冷卻而收縮，由於鋼線 列的節距會比原先進行切斷的狀態更狹窄，所以在此狀態 下，若再度開始工件的切斷，則在切出來的晶圓的切斷 面’會有產生無法修正的段差這樣的問題。 ❹ 此種段差，根據先前的方法，雖然能降低至某種程度， 但是並無法完全地避免在晶圓加工後的奈米形貌測定中 會被檢測出來的微小段差的發生。因此，要求切斷晶圓的 更進一步的品質改善。 對此，本發明人為了解決此種問題而進行深入的檢 时。其結果’想到了以下的技術内容而完成本發明。亦即， 當再度開始工件的切斷時，使附凹溝滾筒的變位量與切斷 0 的中斷前的狀態相同’使晶棒的熱膨脹狀態也與中斷前相 同’能更靠近斷線前的狀態，而能改善切斷後的晶圓的奈 米形貌。 第1圓係表示本發明的線鋸的一例的概略圖。 如第1圖所示’本發明的線鋸1，主要係由用以切斷 工件W的鋼練2、捲繞有鋼線2之附凹溝滾筒3、用以賦 予鋼線2張力的鋼線張力賦予機構4、將要切斷的工件w 相對地向下方饋送的工件進給機構5、在切斷時用以供給 装液至鋼線2上的漿液槽10、漿液冷卻器1丨及嘴嘴12 201021989 等所構成。 鋼線2，係從一側的線捲轴7送出，經由移車台8，再 經過由粉粒離合器（定轉矩馬達9)或上下跳動滾筒（靜重 (dead weight))(未圖示）等所組成的鋼線張力賦予機構 4 ’進入附凹溝滾筒3。鋼線2 ,藉由捲繞於此附凹溝滾筒 3上約300〜400次，而形成鋼線列。鋼線2經過另一側的 鋼線張力賦予機構4，而被捲繞在線捲轴7，上。

又，在工件切斷時，藉由鋼線張力賦予機構4，能對 鋼線2賦予適當的張力。 工件W係黏著於抵板上’並經由抵板與用以保持該抵 板的工件板’而藉由卫件進給機構5而被保持^此工件進 給機構5,可利用電腦控制而以預先程式化的進給速度， 將保持著的工件W推送。 、'、備種°己錄手段15 ’測定切斷中的工件w的溫 度並加以記錄。記錄手段1^，目士成 于段15具有用以測定切斷中的工件 W的溫度的溫度計1 3 〇斗者 此處作為溫度計13,例如能使用 放射式溫度計。如此^ 若使用放射式溫度計來測定工件w 的溫度，則能以非接觸沾 + 較佳的0 _的方式Μ高精度的敎，所以是 下方TIL當進進:切斷時，藉由工件進給機構5,往位於 斟祕1 。此工件進給機構5,藉由將工件？相 下方推虔，直到鋼線2到卜 件”抵鋼線2來進行切入進且板=止：而使工 斷之後，藉由逆轉工件 ’'成工件货的切 的推送方向，將切斷結束的工件 12 201021989 w從鋼線列拔出。 又’附凹溝滾筒3,係在鋼鐵製圓筒的周邊壓入聚胺 8曰樹知’並於其表面以一定的節距切出凹溝而成的滾筒， 捲繞的鋼線2,可藉由驅動用馬達(未圖示)來驅動，而在 往復方向作移動（運動）。 又’如第1圖所示’線鋸i具備記錄手段16，用以測 定附凹溝滾筒3的軸方向的變位量並加以記錄。此記錄手 段I6’具有用以測定附凹溝滾筒3的軸方向的變位量之變 位感測器14。此處，作為變位感測器14，例如能使用渦 電流式變位感測器。如此，若使用满電流式變位感測器來 進^附凹溝滾筒3的變位的測定，則能以非接觸的方式進 行高精度的測定，所以是較佳的。 又’工件溫度的記錄手段15與附凹溝滾筒的變位量的 記錄手段16,與控制裝置17連接；控制裝£ 17，能讀取 在記錄手段15、16中所記錄的規定時間内的溫度與變位 量。 藝又，喷嘴12係被配置在鋼線2的上方，該鋼線2係被 捲繞於附凹溝滾筒3上，在切斷時，於轴方向作往復行進； 當進行工件w的切斷時，可供給切斷用衆液至鋼線2上。 此喷嘴12,係藉由装液冷卻器u而被連接至裝液槽1〇, 所供給的漿液’藉由漿液冷卻器u而被控制供給溫度， 並能從喷嘴12供給至附凹溝滾筒3(鋼線2)上。 此處，在切斷中所使用Μ液的種類並無特別限定， 可使用與先前相同的漿液’例如可為將GC(碳切）磨粒 13 201021989 分散於液體而成者。 又，如第1圖所示，綠雜】，具備—種分別對附凹溝 滚筒3與工# 供給溫度控制後的溫度調整媒體的手段& 藉由這些溫度調整媒體的供給手段6，對附凹溝滚筒3 與工件w供給溫度控制後的媒體，而能調整附凹溝滾筒3 的轴方向的變位量與工件W的溫度。 又，此供給手段6，與控制裝置17連接，藉由此控制 裝置17 ’附凹溝滾筒3的軸方向的變位量與工件w的溫 度，可利用控制裝置Π加以讀取，並能以使在記錄手段 15、16中所記錄的附凹溝滾筒3的軸方向的變位量與工件 W的溫度分別成為相同的方式，來進行控制。例如，利用 控制漿液冷卻器U、U，，將已調整溫度後的装液從喷嘴 12:12’ #給至附凹溝滾筒3和工件w等處，便能調整附 凹溝滾筒3的軸方向的變位量、工件？的溫度。 而且，有關本發明的線鋸，在工件w的切斷中藉由 記錄手段15、16,以規定的時間間隔來 的轴方向的變位量及工件W的溫度，並一邊做記錄 =切 斷工件卜而在切斷途中暫時中斷工件w的切斷之後，在 再度開始（再開）該切斷之前，利用溫度調整媒體的供給手 段6’將媒體供給至附凹溝滾筒3與工件W上，藉此，將 附凹溝滾筒3的轴方向的變位量與工件|的溫度以分別 與中斷工件的切斷時所記錄的變位量和溫度成為相同的 方式來進行調整後，再度開始進行切斷。

若是此種線鑛，附凹谨；清错q γ w ^ A 町口屏展简3與工件W的熱膨脹的狀 14 201021989 態，在中斷切斷之前與再度開始之後，並不會成為不連績 的狀態，因而能一邊抑制在切斷後的晶圓的表面上產生段 差、奈米形貌惡化等，一邊完成工件的切斷。 此處，將附凹溝滾筒3的變位量與工件评的溫度，以 分別與中斷工件的切斷時所記錄的變位量和溫度相同的 方式來進行調整時，較佳是：調整後的變位量與中斷時所 記錄的變位量的誤差在Hem以内，且調整後的溫度與中 斷時所記錄的溫度的誤差在±KC以内。若是在此設定範圍 癱内，對於在切斷後的晶圓表面上發生段差或是奈米形貌惡 化’本發明能充分地發揮抑制這些缺陷的效果。 此時’如第1圖所示’供給至附凹溝滾筒3與工件w 上的溫度調整媒體’較佳是在切斷工件W時所使用的漿液。 如此’供給至附凹溝滾筒3與工件W上的溫度調整媒 體，若是在切斷工件W時所使用的漿液，則不用另外準備 溫度調整媒體，所以能使裝置的構成簡單化，並且在調整 _ 附凹溝滾筒3的轴方向的變位量與工件w的溫度後，不用 停止供給漿液，而能在該狀態下迅速地再度開始切斷工件 W’並能有效地抑制在切斷後的晶圓表面上發生段差或是 奈米形貌惡化等的情況。 或者’如第2圖所示，也可以將供給至附凹溝滚筒3 上的溫度調整媒體，設為在切斷工件W時所使用的漿液， 並設置一種用以將溫度控制後的氣體供給至工件W上的調 溫氣體供給裝置18，而將從調溫氣體供給裝置18所供給 的氣體’作為要供給至工件W上的溫度調整媒體。 15 201021989 如此’供給至附凹溝滾筒3上的溫度調整媒體，是在 切斷工件w時所使用的漿液，而且，若供給至工件W上的 溫度調整媒體是氣體’則不用新增加往工件W的漿液供給 管路，能作成更簡單的裝置，且在調整附凹溝滾筒3的轴 方向的變位量與工件W的溫度後，不用停止供給漿液，而 能在該狀態下迅速地再度開始切斷工件W，並能更有效地 抑制在切斷後的晶圓表面上發生段差或是奈米形貌惡化 等的情況。 接著，說明有關本發明的線鋸的運轉再開方法。 此處，第3圖係表示有關本發明的線鋸的運轉再開方 法的流程圖。 作為前提，為了進行工件w的切斷，首先，將抵板黏 著於工件W上，並藉由工件板來保持該抵板。而且，經由 這些抵板、工件板，並藉由工件進給機構5來保持工件w。 接著，對鋼線2賦予張力並使其往軸方向作往復行進， 在已進行對鋼線2供給漿液的狀態下，使被保持在工件進 給機構5上的工件W相對地下降，而使該卫件W對地往 鋼線列切入進給，來切斷工件w。 此處’由於鋼線2發生斷線等，中斷工件W的切斷， 當要再度開始該切斷時，在切斷中斷後，首先，除去中斷 的原因來進行恢復原狀作業^如在發生鋼線 2的斷線 的情況行鋼線2的修補作業，之後，使工件的各切入 處對應於鋼線列的各列，並使其卡合來進行恢復原狀作 201021989 業。此恢復原狀作業完成後，將分別 ^ 獨地控制溫度後的 溫度調整媒體，供給至附凹溝滾筒3與工件w上 便的 而且’藉由控制裝置17’以將附凹溝滾筒二 的變位量與工Μ的溫度，控制成與工件？的切時 所記錄的變位量和溫度分別相同的方式’來進行調整 此處，較佳是：調整後的變位量與中斷時所記錄的變 位量的誤差在±i"m以内，且調整後的溫度與中斷 錄的溫度的誤差在±1°C以内。 °

如此’當附凹溝滾筒3的轴方向的變位量與工件化的 溫度都調整完成後’再度開始工件f的切斷。此情況，較 佳是：在再度開始切斷前，利用保持一定時間，使工件界 的溫度、附凹溝滾筒3的變位量安定。 如此，在工件W的切斷中，一邊測定附凹溝滚筒3的 軸方向的變位量及工件的溫度並加以記錄，一邊切斷工 件卜而且’ |中斷工件甘的切斷後，且在再度開始工件 W的切斷前，若藉由將分別獨立控制溫度後的溫度調整媒 體供給至溫度調整媒體與工件U，將附凹溝滾筒3的轴 方向的變位量與工件W的溫度，調整成與在中斷工件界的 切斷時所記錄的變位量與溫度分別相同後，再度開始進行 切斷，則附凹溝滾筒3與工件w的熱膨脹狀態，在中斷切 斷之前與再度開始之後，並不會成為不連續的狀態，因而 能一邊抑制在切斷後的晶圓的表面上產生段差、奈米形貌 惡化等’一邊完成工件的切斷。 此時，作為供給至附凹溝滾筒3與工件w上的溫度調 17 201021989 整媒體’較佳是採用一種在切斷工件w時所使用的漿液。 如此，作為供給至附凹溝滾筒3與工件W上的溫度調 整媒體，若是採用一種在切斷工件W時所使用的漿液，則 不用另外準備媒體，所以能簡單地實施，並且在調整附凹 溝滾筒3的軸方向的變位量與工件w的溫度後，不用停止 供給漿液’而能在該狀態下迅速地再度開始切斷工件W， 並能更有效地抑制在切斷後的晶圓表面上發生段差或是 奈米形貌惡化等的情況。 ® 又’此時’作為供給至附凹溝滚筒3上的溫度調整媒 體’較佳是採用一種在切斷工件W時所使用的漿液；作為 供給至工件上的溫度調整媒體，較佳是使用氣體。 如此，作為供給至附凹溝滾筒3上的溫度調整媒體， 採用一種在切斷工件W時所使用的漿液，而作為供給至工 件W上的溫度調整媒體則是使用氣體，藉此，不用新增加 往工件W的漿液供給管路，便能使用更簡單的裝置來調整 ❿溫度’且在調整附凹溝滾筒3的轴方向的變位量與工件w 的溫度後’也能迅速地再度開始切斷工件W，並能更有效 地抑制在切斷後的晶圓表面上發生段差或是奈米形貌惡 化等的情況。 以下’表示本發明的實施例及比較例，更具體地說明 本發明，但本發明不限定於這些例子。 (實施例1) 使用第1圖所示的本發明的線鑛，進行切斷直徑 201021989 300mm的矽晶棒，在該切斷的途中，使切斷中斷，而在i 小時後，利用第3圖所示的本發明的運轉再開方法，再度 開始切斷，而得到232片矽晶圓。然後，將以此種方法而 得到的切斷後的晶圓，進行磨光、拋光加工後，測定奈米 形貌來進行評價。 測定而得到的奈米形貌的結果，表示於第4圖中。如 第4圖所示，奈米形貌的平均值是nm，相較於後述 的比較例1、比較例2的結果，得知奈米形貌會被改善。 又’奈米形貌的不良率也能抑制在5〜1〇%的低值。 如此，本發明的線鋸的運轉再開方法及線鋸，已經確 認能一邊抑制在切斷後的晶圓表面上發生段差或是奈米 形貌惡化’ 一邊完成工件的切斷。 (實施例2) 除了使用第2圖所示的本發明的線鑛，與實施例1同 樣地進行工件切斷的中斷、再度開始，並進行與實施例1 同樣的評價。 測定而得到的奈米形貌的結果，表示於第4圖中。如 第4圖所示’奈米形貌的平均值是13 96ηιη，相較於後述 的比較例1、比較例2的結果，得知奈米形貌會被改善。 又’奈米形貌的不良率也能抑制在5〜10%的低值。 如此’本發明的線鋸的運轉再開方法及線鋸，已經確 認能一邊抑制在切斷後的晶圓表面上發生段差或是奈米 形貌惡化，一邊完成工件的切斷。 201021989 (比較例1) 使用第5圖所示的先前的線鋸’進行切斷直徑綱賴 的矽晶棒，在該切斷的途中，使切斷中斷，而在丨小時後， 沒有調整附凹溝滾筒的軸方向的變位量與工件的溫度，便 i接再度開始進行切斷’而得到231 “夕晶圓。然後，將 以此種方法而得到的切斷後的晶圓，進行磨光、拋光加工 後，測定奈米形貌來進行評價。 魯 縣果表示於第4圖中。如第4圖所示，奈米形貌的 平均值是20.86nm，相較於實施例！、實施例2的結果， 得知奈米形貌惡化。 又，在切斷後的晶圓表面上會發生段差，全部晶圓的 奈米形貌成為不良惡化。 (比較例2) 將用以供給漿液至附凹溝滾筒上的供給路徑，增設在 第5圖所不的先前的線鋸中，利用在再度開始切斷前供給 鲁裝液、’將附凹溝滾筒的變位量調整成切斷中斷前的狀態， 但是並沒有對工件供給溫度調整媒體，並且，與比較例1 同樣地切出晶圓，且進行與比較例丨同樣的評價。 其…果’如第4圖所示，奈米形貌的平均值是 9.43nm，相較於實施例丨、實施例2的結果，得知奈米形 貌惡化。 又’在切斷後的晶圓表面上會發生微小的段差。 另外，本發明不限定於上述實施形態。上述實施形態 僅為例示’凡是與本發明的申請專利範圍中所記載的技術 20 201021989 思想，實質上具有相同的構成，能產生相同的效果者，不 論為如何的形態，皆應包含於本發明的技術範圍内。 【圖式簡單說明】 第1圖係表示有關本發明的線雜的一例的概略圖。 第2圖係表示有關本發明的線鋸的另一例的概略圖。 第3圖係有關本發明的線鋸的運轉再開方法的流程 圖。 第4圖係表示實施例1、實施例2、比較例2的結果的 圖。 第5圖係表示先前（比較例 1)的線鑛的一例的概略圖 【主要元件符號說明】 1 :線鋸 11、11’ ：漿液冷部器 2 :鋼線 12、12’ ：噴嘴 3 :附凹溝滚筒 13 :溫度計 4、4’ ：鋼線張力賦予機構 14 :變位感測器 5 :工件進給機構 15 :記錄手段 6，溫度調整媒體的供給手段 16 :記錄手段 7 ' 7’ ：線捲軸 17 :控制裝置 8 :移車台8 18 :調溫氣體供給裴置 9:粉粒離合器（定轉矩馬達） W :工件 10 :漿液槽 21

Claims (1)

1. 201021989 七、申請專利範圍： h 一種㈣的運㈣開方法’是針t卜種使捲繞在複數個 附凹溝滾筒上的鋼線，於轴方向作往復行進並一邊將切 斷用漿液供給至前述鋼線上，一邊將工件相對地壓下，使 其壓抵作往復行進的前述鋼線來進行切人進給，而將前述 工件切斷成晶圓狀的線鑛的運轉，而在切斷途中前述工 件的切斷暫時中斷之後， ^ ^再度開始該切斷的情況的運轉再 開方法’其特徵在於： 在則述工件的切斷中’—邊測定前述附凹溝滾筒的轴方 向的變位量及前述工件的溫度並加以記錄，一邊切斷前述 工件； 中斷前述工件的切斷之後’在再度開始前述工件的切斷 之前，藉由對前述附凹溝滾筒與前述卫件，供給分別獨立 地控制溫度後的溫度調整媒體’將前述附凹溝滾筒的軸方 向的變位量與前述工件的溫度，以分別與前述中斷工件的 切斷時所記錄的變位量和溫度成為相同的方式來進行調整 後，再度開始進行切斷》 2.如申請專利範圍第i項所述的線鑛的運轉再開方法， 其中作為供給至前述附凹溝滾筒與前述工件上的溫度調整 媒體，是採用一種在切斷前述工件時所使用的漿液/ 3.如申請專利範圍第1項所述的線鋸的運轉再開方法， 其中作為供給至前述附凹溝滾筒上的溫度調整媒體，β 22 201021989 用種在切斷則述工件時所使用的聚液；作為供給至前述 工件上的溫度調整媒體，是使用氣艎。 4.種線鑛，是使捲繞在複數個附凹溝滚筒上的鋼線，於 轴方向作往復行進，並一邊將切斷用聚液供給至前述鋼線 上，一邊將工件相對地壓了，使其壓抵作幻复行進的前述 鋼線來進行切入進給，而將前述工件切斷成晶圓狀的線 鋸，其特徵在於： ❿ 具備·測定前述工件切斷中的前述附凹溝滾筒的轴方向 的變位量並加以記錄之手段； 測定切斷中的前述工件的溫度並加以記錄之手段；以及 對前述附凹溝滾筒與前述工件，供給分別獨立地控制溫 度後的溫度調整媒體之手段； | 其中，在前述工件的切斷中，藉由前述變位量的記錄手 段與前述溫度的記錄手段’一邊測定前述附凹溝滾筒的轴 Φ方向的變位量及前述工件的溫度並加以記錄，一邊切斷前 述工件； 1 在切斷途中，前述工件的切斷暫時中斷之後，在再度開 始該切斷之前，利用前述溫度調整媒體的供給手段，將前 述媒體供給至前述附凹溝滾筒與前述工件上， ,J ，精此，將前 述附凹溝滚筒的軸方向的變位量與前述工件的· ’丁的温度，以分 別與前述中斷工件的切鯽時所記錄的變位量和溫度成為相 同的方式來進行調整後’再度開始進行切斷。 23 201021989 5. 如申請專利範圍第4項所述的線鑛，其中供給至前述 附凹溝滾筒與前述工件上的溫度調整媒體，是在切斷前述 工件時所使用的漿液。 6.如申請專利範圍第4項所述的線鋸，其中供給至前述 附凹溝滾筒上的溫度調整媒體，是在切斷前述工件時所使 用的聚液；供給至前述工件上的溫度調整媒體是氣體。 24