TWI552844B - The start of the wire saw operation - Google Patents

Description

線鋸的再次開始運轉方法

本發明關於一種線鋸，該線鋸一邊向鋼線供給漿料一邊壓抵半導體晶棒等工件以進行切斷；本發明尤其關於一種鋼線切斷時之線鋸的再次開始運轉方法。

以往，作為將半導體晶棒等工件切割成晶圓狀之手段，已知有一種線鋸。在此線鋸中，於複數個溝紋輥(grooved roller，附凹溝滾筒)的周圍，藉由切斷用鋼線多數次地捲繞而形成鋼線列，該切斷用鋼線於軸向上被高速驅動，且一邊適當地供給漿料一邊相對於鋼線列切入進給工件，藉此，此工件在各鋼線位置處同時地被切斷。

此處，於第1圖中，表示一般的線鋸的一例的概要。如第1圖所示，在線鋸1中，用於切斷工件W之鋼線2自供給側的鋼線捲軸(wire reel)6陸續放出，並進入溝紋輥3。藉由鋼線2在此溝紋輥3上捲繞約300~500次，而形成鋼線列。進一步，鋼線2自溝紋輥3退繞(reel off，抽出)，並捲繞於回收側的鋼線捲軸6’上。

當切斷工件W時，使鋼線2按照預定的行進距離在鋼線軸向上作往復行進，鋼線新線被逐漸地自供給側供給至回收 側。

因此，在捲繞於溝紋輥3上的鋼線中，相較於供給新線的一側也就是供給側，回收鋼線的一側也就是回收側的鋼線的磨耗量變大，鋼線直徑變小。因此，存在以下傾向：在回收側被切斷的晶圓比在供給側被切斷的晶圓更厚。

因此，使用一種線鋸，其溝紋輥的複數個溝槽間的間距(pitch)，為回收側比供給側更窄(專利文獻1)。

另外，線鋸的鋼線，是使用例如鋼琴線等耐磨耗、富有耐張力性且高硬度的線材，又，為了防止鋼線的損傷，溝紋輥使用一種特定硬度的樹脂輥，但是由於鋼線的持續的磨耗或疲勞等，在工件的切斷中，鋼線可能會斷線，而無法繼續切斷晶圓。

在這種情況下，以往，在進行使工件的切入從鋼線脫離的脫離作業後，以手動的方式將鋼線拉出、或利用人工的方式來運轉溝紋輥驅動裝置，將鋼線的斷線處拉至其中一方的溝紋輥的適當的外側，並將該斷線部彼此連結。若斷線部分無法再次使用，則將該部分移除，更換為新線後連結。之後，進行拉出作業，亦即將鋼線彼此的連接部再次拉至不直接參與切斷工件的位置處。

並且，在這種鋼線修復處理之後，進行復原作業，亦即進行使工件的各切入處與鋼線的各列相對應並卡合的復位作業，然後再次開始工件的切斷，藉此，完成工件的切斷。

針對鋼線的斷線的問題，已知以下方法：改善鋼線的強度(例如，參照專利文獻2)、或利用線鋸來檢測斷線的 徵兆並停止切斷(參照專利文獻3)。藉由這種技術，可降低鋼線斷線的頻率。

[先前技術文獻] (專利文獻)

專利文獻1：日本特開平10-249701號公報

專利文獻2：日本特開2002-256391號公報

專利文獻3：日本特開2011-31355號公報

(非專利文獻)

非專利文獻1：超精密晶圓表面控制技術，松下嘉明等人2000年2月28日科學論壇股份有限公司出版

但是，伴隨近年來生產性的增加，鋼線的使用負荷亦增大，而無法完全避免斷線。一旦發生斷線，就會發生以下問題：在將高價工件的切斷再次開始後立刻切割而成的晶圓上，會產生藉由後續步驟亦無法移除的溝槽，而產生大量的不良品。

本發明人對此原因進行詳細調查後，得以明確以下事項。如上所述，在修復處理中，若將鋼線的斷線部彼此連結，並將連結部分自工件的切斷位置拉出，則工件的切斷位置上的鋼線被替換成新線。工件的切斷位置上的剛剛斷線後的鋼線的直徑，因磨耗而比新線的直徑更細，因此，即將斷線之前的鋼線直徑與新線的鋼線直徑產生差異。一般而言，已知工件的切削裕度是鋼線直徑加上漿料(指漿料中的磨粒)的平 均直徑的3倍的值(非專利文獻1)，而切斷再次開始後的工件的切削裕度增加，導致在切斷部產生溝槽。

近年來，為了縮減晶圓的製造成本，而將後續步驟中的磨光(lapping)處理時的磨光裕度設計成較小，因此，利用磨光處理無法移除上述溝槽的情況增加。如上所述，當鋼線回收側的溝紋輥的溝槽間的間距比鋼線供給側更窄時，若使用鋼線新線進行切斷，尤其在接近鋼線回收側的切斷位置處切斷的晶圓的厚度變薄，很有可能無法移除所產生的溝槽。

而且，隨著晶圓的直徑變大，產生不良品所導致的影響變得愈發嚴重。

本發明是鑒於如前所述的問題而完成，目的在於提供一種線鋸的再次開始運轉方法，其在藉由線鋸所實施的半導體晶棒等工件切斷中，即便在因鋼線的斷線而導致工件的切斷在中途被中斷的情況下，也能抑制在再次開始運轉後切斷的晶圓上產生溝槽，並可抑制產品晶圓的品質問題。

為了達成上述目的，根據本發明，提供一種線鋸的再次開始運轉方法，該線鋸是於複數個溝紋輥上捲繞鋼線，並一邊將該鋼線的新線自供給側供給至回收側，一邊使前述鋼線在鋼線軸向上作往復行進，向前述鋼線供給切斷用的漿料，並將工件相對地壓下，使該工件壓抵並切入進給於作往復行進的前述鋼線，而將前述工件切斷成晶圓狀；該線鋸的再次開始運轉方法，是在該線鋸的運轉中，前述鋼線斷線而在中途暫時中斷前述工件的切斷之後，再次開始該切斷的方 法，並且，該線鋸的再次開始運轉方法的特徵在於，具有以下步驟：修復步驟，其在中斷前述工件的切斷之後且再次開始前述工件的切斷之前，修復前述斷線的鋼線；及，切斷準備步驟，其使前述工件的切斷位置上的前述已修復的鋼線的直徑與前述即將斷線之前的鋼線的直徑一致。

若為這種再次開始運轉方法，由於可消除再次開始運轉後所使用的鋼線的直徑與斷線前的直徑的差異，因此，可抑制在切斷的晶圓上產生溝槽，並可抑制晶圓成為不良品。

此時，在前述切斷準備步驟中，當前述鋼線的斷線發生在捲繞於前述溝紋輥上的位置、或在前述供給側的位置上時，可藉由使前述已修復的鋼線磨耗，來使其直徑與前述即將斷線之前的鋼線的直徑一致。

當鋼線的斷線發生在上述位置時，即便工件的切斷位置上的修復後的鋼線成為新線，若如此地進行切斷準備步驟，亦可容易地使鋼線的直徑與即將斷線之前的鋼線的直徑一致。

又，在前述切斷準備步驟中，可將仿真(dummy)的工件與保持該仿真的工件之保持手段設置於前述線鋸上，並以使前述鋼線自前述溝紋輥被退繞(抽出)至回收側的位置上的前述鋼線的直徑與前述斷線前相同的方式，利用前述已修復的鋼線來切斷前述仿真的工件，藉此來使前述鋼線磨耗後，將前述仿真的工件和保持手段移除。

如此一來，利用將鋼線自溝紋輥被退繞至回收側的位置上的鋼線直徑作為標準，可更容易地使鋼線的直徑與即 將斷線之前的鋼線的直徑一致。又，在切斷準備步驟中，由於無需將中途中斷切斷的工件自線鋸上卸除，工件對鋼線列的相對位置不會變化，因此，可防止在再次開始運轉後的切斷中由工件的位置變化所導致的影響。

又，在前述修復步驟中，可檢測自前述斷線發生時間點的前述鋼線的斷線處的位置至前述鋼線自前述溝紋輥被退繞至回收側的位置之鋼線長度；在前述切斷準備步驟中，以使前述鋼線的斷線處的位置成為前述鋼線自前述溝紋輥被退繞至回收側的位置的方式，將前述鋼線定位，之後，供給並使用前述所檢測的鋼線長度以上的長度的前述鋼線的新線，來切斷前述仿真的工件。

如此一來，可容易地決定要磨耗的鋼線新線的長度和仿真的工件的切斷時間，並可以所需最低限度的步驟時間，確實地使鋼線的直徑與即將斷線之前的鋼線的直徑一致。

又，可利用測微計或雷射位移計來測定前述鋼線的直徑。

如此一來，可容易地測定鋼線的直徑。

本發明中，在藉由線鋸所實施的工件的切斷中，由於當鋼線斷線時，將斷線的鋼線修復之後，使工件的切斷位置上的已修復的鋼線的直徑與即將斷線之前的鋼線的直徑一致，因此，可消除再次開始運轉後所使用的鋼線的直徑與斷線前的直徑的差異，因此，可抑制所切斷的晶圓上產生溝槽，並改善晶圓的平坦度。藉此，可抑制發生產品晶圓的品質問 題。

1‧‧‧線鋸

2‧‧‧鋼線

3‧‧‧溝紋輥

4‧‧‧工件進給機構

5‧‧‧漿料供給手段

6‧‧‧供給側的鋼線捲軸

6'‧‧‧回收側的鋼線捲軸

7‧‧‧保持手段

DW‧‧‧仿真的工件

P‧‧‧回收側終點

W‧‧‧工件

X‧‧‧距離

第1圖是表示一般的線鋸的一例的概要圖。

第2圖是表示本發明的線鋸的再次開始運轉方法的流程圖。

第3圖是表示利用本發明的線鋸的再次開始運轉方法來切斷仿真的工件的情況的圖。

第4圖是表示根據溝紋輥內位置，鋼線直徑因磨耗而發生變化的情況的圖。

第5圖是表示線鋸中的自回收側終點P到斷線產生位置的距離X的圖。

第6圖是表示實施例的平坦度的結果的圖。

第7圖是表示比較例的平坦度的結果的圖。

第8圖是將第6圖、第7圖的平坦度的結果的斷線產生部分擴大的圖。

以下，針對本發明，說明實施形態，但本發明並非限定於此實施形態。

如上所述，在藉由線鋸所實施的工件的切斷中，鋼線斷線的情況下，存在以下問題：若再次開始該工件的切斷，因即將斷線之前的鋼線直徑與修復後的鋼線的直徑的差異，再次開始後的切斷部上會產生溝槽。

本發明人為了解決這種問題而努力研究。結果發現，修復鋼線後，藉由使工件的切斷位置上的已修復的鋼線的直徑 與即將斷線之前的鋼線的直徑一致，可抑制上述溝槽的產生，從而完成本發明。

首先，說明將工件切斷成晶圓狀的線鋸的運轉。

如第1圖所示，線鋸1具有用於切斷工件W之鋼線2、捲繞有鋼線2之溝紋輥3、將想要切斷的工件W相對地向下方送出之工件進給機構4、及用於在切斷時向鋼線2供給漿料之漿料供給手段5。

鋼線2自供給側的鋼線捲軸6陸續放出，並進入溝紋輥3。藉由鋼線2在此溝紋輥3上捲繞約300~500次，而形成鋼線列。進一步，鋼線2自溝紋輥3退繞，並捲繞於回收側的鋼線捲軸6’上。

在溝紋輥3與鋼線捲軸6、6’之間，設置有鋼線張力賦予機構(未圖示)，其用於對鋼線2賦予張力。

當切斷工件W時，使鋼線2以預定的行進距離在鋼線軸向上作往復行進。此時，往復行進的鋼線向各方向行進的距離並非相同，而是其中一個方向的行進距離較長。藉此，鋼線一邊繼續往復行進，一邊向行進距離較長的方向也就是如第1圖所示的自供給側向回收側，逐漸地供給鋼線新線。

工件W被工件進給機構4保持，並被送至相對地位於下方的鋼線2。此工件進給機構4，藉由將工件W相對地向下方壓下，直到鋼線2到達抵板，藉此，將工件W壓抵並切入進給於鋼線2。並且，在完成工件W的切斷之後，藉由使工件W的送出方向倒轉，而將切斷完成的工件W自鋼線列中拔出。

本發明的線鋸的再次開始運轉方法，是在上述的線鋸的運轉中，鋼線2斷線而在中途暫時中斷工件W的切斷之後，再次開始該切斷時的再次開始運轉方法。以下，一邊參照第1圖、第2圖，一邊詳細地說明。

首先，若產生鋼線的斷線，則中斷工件的切斷，暫時使工件自鋼線列退避(第2圖的(A))，然後進行將斷線的鋼線移除的作業(第2圖的(B))。之後，進行鋼線的修復。又，測定斷線發生時間點的鋼線的直徑(第2圖的(C))。此處，測定鋼線直徑的位置，可為第1圖所示的鋼線自溝紋輥退繞至回收側的位置P(以下，稱作回收側終點)。

此時，當鋼線的斷線發生在捲繞於溝紋輥上的位置、或在比溝紋輥更位於供給側的位置時，以使鋼線的斷線處位於比回收側終點P更靠近鋼線捲軸6’側處的方式，將鋼線拉出後，將鋼線的斷線部彼此連結(第2圖的(D))。如此一來，鋼線的修復作業變得容易，並且在再次開始切斷時，可防止鋼線的連結部用於切斷而對所切斷的晶圓的品質產生影響。此時，在再次開始切斷時，使鋼線的往復行進自回收側的方向開始。

當鋼線的斷線發生在比溝紋輥更位於回收側的位置時，可以不將鋼線向回收側拉出，便連結鋼線的斷線部彼此。或者，在鋼線的斷線位置過於靠近溝紋輥等情況下，也可根據鋼線修復作業的必要性，將鋼線向回收側的方向拉出，再將鋼線的斷線部彼此連結。

繼而，實施切斷準備步驟，其用於進行再次開始已 中斷的工件的切斷所需的準備。在此步驟中，使工件的切斷位置上的已修復的鋼線的直徑與即將斷線之前的鋼線的直徑一致。之後，進行使工件的各切入處與鋼線列的各列相對應並卡合的作業。

當鋼線的斷線發生在回收側的位置，且在上述修復步驟中，不將鋼線向回收側拉出而將鋼線的斷線部彼此連接時，工件的切斷位置上的已修復的鋼線的直徑與即將斷線之前的鋼線的直徑一致。又，在已將鋼線向回收側拉出的情況下，若將鋼線送回至拉出鋼線前的位置也就是即將斷線之前的位置並定位，則可使工件的切斷位置上的已修復的鋼線的直徑與即將斷線之前的鋼線的直徑一致。

當鋼線的斷線發生在捲繞於溝紋輥上的位置、或供給側的位置時，如上所述，鋼線的斷線處被拉出至回收側，因此，再次開始後的工件的切斷位置上的鋼線包含新線的部分。因此，為使鋼線的直徑與即將斷線之前的鋼線的直徑一致，要使工件的切斷位置上的鋼線磨耗。

作為使鋼線磨耗的具體方法，可使用以鋼線切斷仿真的工件的方法。若將已中斷切斷的工件自工件進給機構卸除，由於在再次開始切斷的前後，工件的位置有可能會改變，因此不佳。因此，如第3圖所示，將仿真的工件DW、用於保持該工件之保持手段7設置於線鋸1上。可將此保持手段7，可拆卸地安裝於例如工件進給機構4。

如此一來，無需將已中斷切斷的工件自工件進給機構4上卸除，便能利用鋼線來切斷仿真的工件，從而使鋼線 磨耗。

此時，可基於回收側終點P的位置上的鋼線的直徑，來判斷工件的切斷位置上的鋼線的直徑與即將斷線之前的鋼線的直徑是否一致。亦即，若以使回收側終點P的位置上的鋼線的直徑與即將斷線之前相同的方式，利用鋼線來切斷仿真的工件，則可判斷工件的切斷位置上的鋼線的直徑與即將斷線之前的鋼線的直徑一致。

以下，對利用鋼線來切斷仿真的工件而使鋼線磨耗的方法的具體例，進行說明。

在上述修復步驟中，預先檢測自斷線發生時間點的鋼線的斷線處的位置至回收側終點P的位置為止的鋼線長度C。此處，若將捲繞於複數個溝紋輥上的鋼線的1圈的長度設為WN、將從垂直於鋼線列的方向的回收側終點P到斷線產生位置為止的距離設為X(參照第5圖)、將鋼線列的間隔設為D，則能以WN×X/D來求出上述鋼線長度C。此處，當回收側的鋼線列的間隔比供給側的更狹窄時，使用平均值。

在切斷準備步驟中，以使鋼線的斷線處(連結部)的位置比回收側終點P的位置稍微靠近鋼線捲軸6’側的方式，來將鋼線定位(第2圖的(E))。若比回收側終點P的位置稍微靠近鋼線捲軸6’側，則成為連結部從回收側終點P的位置偏離的狀態。

繼而，利用測微計或雷射位移計來測定回收側終點P的位置上的修復後的鋼線的直徑，並算出此測定值與斷線發生時間點的同一位置的鋼線直徑的差值△Q。

一般而言，在工件的切斷中，自供給側供給的鋼線新線，一邊繼續往復行進，一邊逐漸向回收側前進，伴隨著向回收側前進，鋼線直徑也因磨耗而逐漸變小。如第4圖所示，回收側終點P的位置上的鋼線的直徑比新線的直徑小約10%。這種由磨耗所導致的鋼線直徑的減少量，根據切斷條件(新線供給速度、鋼線平均速度、切入速度及工件抵接鋼線列的壓力)而不同，但自線鋸的切斷原理方面的理由看來，鋼線的磨耗量是自供給側朝向回收側增加。因此，上述所測定的直徑，變得比斷線發生時間點的同一位置的鋼線直徑更大。

之後，將仿真的工件、用於保持該工件之保持手段設置在線鋸上(第2圖的(F))，並設定切斷條件(第2圖的(G))。利用此切斷條件一邊使鋼線作往復行進一邊供給新線，來切斷仿真的工件，直至回收側終點P的位置上的鋼線的直徑磨耗掉上述算出的差值△Q的程度為止，亦即，繼續進行切斷，直至此位置上的鋼線的直徑與斷線發生時間點的同一位置的鋼線直徑一致(第2圖的(H))。此時，若將新線供給速度設為S、切入速度設為V、工件抵接鋼線列的壓力設為F、仿真的工件的長度設為L、比例常數設為K，則以K×L×V×F/S來表示回收側終點P的位置上的鋼線的磨耗量。

因此，以滿足△Q=K×L×V×F/S的切斷條件，切斷仿真的工件即可。可基於此關係式預先切斷仿真的工件並記錄獲得△Q所需的切斷條件，並在切斷準備步驟中，使用此切斷條件。例如，可將仿真的工件的長度L、切入速度V、工件 抵接鋼線列的壓力F設為一定，使新線供給速度S變化來切斷仿真的工件，並記錄△Q與S的關係，在切斷仿真的工件時，使用與目標△Q相對應的新線供給速度S。

又，當切斷仿真的工件時，供給並使用上述所檢測的鋼線長度C以上的長度的鋼線的新線。這可藉由將仿真的工件的切斷時間T設為由公式C/S所求得的時間以上來達成。

切斷仿真的工件後，確認回收側終點P的位置上的鋼線的直徑，並移除仿真的工件和保持手段(第2圖的(I))。

此處，作為仿真的工件，可使用玻璃、碳、填充有填料的丙烯酸類樹脂、填充有填料的環氧樹脂、填充有填料的聚胺酯樹脂製的工件。

如以上所述地實施切斷準備步驟後，再次開始工件的切斷(第2圖的(J))。

[實施例]

以下，示出本發明的實施例和比較例，更具體地說明本發明，但是本發明並非限定於這些例子。

(實施例)

使用第1圖所示的線鋸，將直徑200mm、長度360mm的矽晶棒切斷時，在上述切入位置為65mm、上述距離X為25mm的位置，鋼線斷線。因此，按照本發明的線鋸的再次開始運轉方法，如以下所示地再次開始工件的切斷。

測定鋼線斷線時間點的回收側終點P的位置上的鋼線的直徑，結果為鋼線新線的90%。進行鋼線的修復，並以使鋼線的連結部處於回收側終點P的位置的方式來進行定位。

之後，在第3圖所示的保持手段，將厚度10mm、寬度150mm、長度360mm的由丙烯酸類樹脂所構成的仿真的工件進行切斷，使鋼線磨耗，直至回收側終點P的位置上的鋼線的直徑成為新線的90%，從而使工件的切斷位置上的已修復的鋼線的直徑與即將斷線之前的鋼線的直徑一致。

進行仿真的工件的切斷之後，將仿真的工件和保持手段卸除。之後，再次開始晶棒的切斷，使切斷完成。

評價以如此方式切斷的晶圓的平坦度。評價的晶圓，為相當於晶棒的兩端面、及中央位置的晶圓。平坦度是藉由以下方法來評價：將晶圓靜置於水平面上，並於直徑方向(切斷方向)上測定切斷面的單側的面的位移。

其結果示於第6圖。(A)是供給側端面的晶圓的結果，(B)是中央部的晶圓的結果，(C)是回收側端面的晶圓的結果。如第6圖所示可知，任一位置上的晶圓均不會於產生斷線的65mm處產生朝向負方向的陡峭的溝槽，相較於後述比較例的結果，平坦度得以改善。所得晶圓作為產品，並無品質方面的問題。

第8圖是將第6圖所示的晶圓的平坦度的斷線產生部分擴大的圖。如第8圖所示，相較於後述比較例的結果，可明確地確認溝槽得以抑制。

(比較例)

使用第1圖所示的線鋸，將直徑200mm、長度365mm的矽晶棒切斷時，在上述切入位置為85mm、上述距離X為40mm的位置，鋼線斷線。將鋼線修復後，並不進行仿真的 工件的切斷，亦即，並不使已修復的鋼線的直徑與即將斷線之前的鋼線的直徑一致，便再次開始晶棒的切斷，使切斷完成。

之後，與實施例同樣地評價晶圓的平坦度。

其結果示於第7圖。與實施例相同，(A)是供給側端面的晶圓的結果，(B)是中央部的晶圓的結果，(C)是回收側端面的晶圓的結果。如第7圖所示，在(B)中央部的晶圓和(C)回收側端面的晶圓中，於產生斷線的85mm處，產生朝向負方向的陡峭的溝槽。此溝槽為於磨光等後續步驟中不可修正的尺寸，晶圓成為不良品。

第8圖是將第7圖所示的晶圓的平坦度的斷線產生部分擴大的圖。如第8圖所示，可明確地確認產生了具有在後續步驟中不可修復的尺寸的溝槽。

再者，本發明並非限定於上述實施形態。上述實施形態僅為例示，具有和本發明的申請專利範圍中記載的技術思想實質上相同的構成且起到同樣的作用效果的技術方案，均包含於本發明的技術範圍內。

1‧‧‧線鋸

2‧‧‧鋼線

3‧‧‧溝紋輥

4‧‧‧工件進給機構

7‧‧‧保持手段

DW‧‧‧仿真的工件

W‧‧‧工件

Claims (5)

1. 一種線鋸的再次開始運轉方法，該線鋸是於複數個溝紋輥上捲繞鋼線，並一邊將該鋼線的新線自供給側供給至回收側，一邊使前述鋼線在鋼線軸向上作往復行進，向前述鋼線供給切斷用的漿料，並將工件相對地壓下，使該工件壓抵並切入進給於作往復行進的前述鋼線，而將前述工件切斷成晶圓狀；該線鋸的再次開始運轉方法，是在該線鋸的運轉中，前述鋼線斷線而在中途暫時中斷前述工件的切斷之後，再次開始該切斷的方法，並且，該線鋸的再次開始運轉方法的特徵在於，具有以下步驟：修復步驟，其在中斷前述工件的切斷之後且再次開始前述工件的切斷之前，修復前述斷線的鋼線；及，切斷準備步驟，其使前述工件的切斷位置上的前述已修復的鋼線的直徑與前述即將斷線之前的鋼線的直徑一致。
2. 如請求項1所述之線鋸的再次開始運轉方法，其中，在前述切斷準備步驟中，當前述鋼線的斷線發生在捲繞於前述溝紋輥上的位置、或在前述供給側的位置上時，藉由使前述已修復的鋼線磨耗，來使其直徑與前述即將斷線之前的鋼線的直徑一致。
3. 如請求項2所述之線鋸的再次開始運轉方法，其中，在前述切斷準備步驟中，將仿真的工件與保持該仿真的工件之保持手段設置於前述線鋸上，並以使前述鋼線自前述溝紋輥 被退繞至回收側的位置上的前述鋼線的直徑與前述斷線前相同的方式，利用前述已修復的鋼線來切斷前述仿真的工件，藉此來使前述鋼線磨耗後，將前述仿真的工件和保持手段移除。
4. 如請求項3所述之線鋸的再次開始運轉方法，其中，在前述修復步驟中，檢測自前述斷線發生時間點的前述鋼線的斷線處的位置至前述鋼線自前述溝紋輥被退繞至回收側的位置為止的鋼線長度；在前述切斷準備步驟中，以使前述鋼線的斷線處的位置成為前述鋼線自前述溝紋輥被退繞至回收側的位置的方式，將前述鋼線定位，之後，供給並使用前述所檢測的鋼線長度以上的長度的前述鋼線的新線，來切斷前述仿真的工件。
5. 如請求項1至請求項4中的任一項所述之線鋸的再次開始運轉方法，其中，利用測微計或雷射位移計來測定前述鋼線的直徑。