JP2011000686A - マルチワイヤーソーおよびこれを用いたウエハ製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】マルチワイヤーソーおよびこれを用いたウエハ製造方法を得ること。
【解決手段】シリコンブロック１の下部端面１ｃの高さおよび角度を調整する高さ・角度調整機構と、シリコンブロック１の奥行き方向１７全域に亘って、加工開始時に最初にワイヤー４に当接する部分１ｃとワイヤー４との隙間ｄを、ワイヤーガイドローラ溝６ａの深さｄ１からワイヤー４の直径ｄ２を差引いた長さｄ３よりも小さい長さの隙間になるように前記高さ・角度調整機構を調整して加工を開始させる制御手段と、を備える。
【選択図】図３

Description

本発明は、マルチワイヤーソーを用いて単結晶、多結晶、またはアモルファスのシリコンブロックなどの被切断対象ブロックを薄厚に切断してウエハを製造するマルチワイヤーソーおよびこれを用いたウエハ製造方法に関する。

従来から、シリコンブロックの切断には、一度に多数枚のウエハを切断することができるマルチワイヤーソーが用いられている。このマルチワイヤーソーを用いたシリコンブロックの切断は、走行するワイヤーとシリコンブロックとの間に砥粒を含む切削用スラリーを導入し、ワイヤーで砥粒をシリコンブロックに押し付けるとともに転動させてインゴット表層にマイクロクラックを発生させてシリコン微粉として削り取ることによって行われている。このようなシリコンインゴットの切断において、ウエハ収率を高め、ウエハの材料コスト低減を図るために、切断代の縮小やウエハの薄厚化が進行している。

このウエハの薄厚化が進行するに従い、ウエハの強度は低下し、切断加工中、あるいは、切断終了後のウエハの取り出しにおいて、ウエハを破損することなく、如何に多くの良品を採取するかが求められている。

切断代を縮小するには、ワイヤーの径を小さくする必要があるが、その分、ワイヤーの破断強度が低下するため、ワイヤーをワイヤーガイドローラに架張する際の張力を小さくする必要がある。この張力を小さくするとワイヤーガイドローラにワイヤーを巻き付ける力が弱くなり、図３に示すように、ワイヤーガイドローラの溝６ａ内でワイヤー４が変位して、シリコンブロックから切り出すウエハの板厚にばらつきを及ぼす。また、ウエハの板厚ばらつきはシリコンブロックの切断開始部（ウエハ端部）で顕著である。

太陽電池セルの製造工程では、ウエハの端部に位置決め部材を押し付けてウエハの位置決めをして所定の処理を行い、次の処理工程まで搬送し、同様にウエハの端部に位置決め部材を押し付けてウエハの位置を決めることを数多く繰り返す。ウエハ端部の厚さが薄いと、この繰り返し加えられる押し付け力により、ウエハ端部に割れや欠けが生じて不良品となる。

また、図３に示す様にシリコンブロックの切断加工中においては、溝６ａからワイヤー４が離脱することも有り、離脱したワイヤー４がその隣のワイヤーガイドローラ溝６ａに飛んで、１つのワイヤーガイドローラ溝６ａに２本あるいは、数本のワイヤーが巻かれた状態になる。

このようなワイヤー飛びが発生すると、シリコンブロックの１つの切溝に２本、あるいは数本のワイヤーが存在することで、その部分だけ局所的にワイヤーの張力が増加して、周辺ワイヤーとの切込みの進行速度に差異が発生し、ワイヤーに過剰な引張り力を発生させ、最悪の場合、ワイヤー破断を起こして良品のウエハが１枚も取れなくなる。また１つの切溝に２本あるいは数本のワイヤーが重なると、そのワイヤーが絡まり、安定してワイヤーの走行が出来なくなり最悪の場合、ワイヤー破断を起こして良品のウエハが一つも取れなくなる。

ウエハの薄厚化を図るには、ワイヤーガイドローラ溝６ａの間隔（溝ピッチ）を小さくし、巻きつけるワイヤー４の間隔（巻付けピッチ）を小さくする必要があるが、その分、ワイヤーガイドローラ溝６ａの深さが浅くなり、ワイヤー４がワイヤーガイドローラ溝６ａから離脱する確率が高くなる。

このような問題を解決するため、たとえば、特許文献１には、所定間隔で配置された溝を有する複数本のワイヤーガイドローラと、該ワイヤーガイドローラの各溝に係合したワイヤーによって形成されたワイヤー列と、ワークを支持して該ワークを前記ワイヤー列に押し当てるワーク支持手段とを備えるワイヤーソーにおいて、ワーク押し当て部近くで前記ワイヤーに当接して該ワイヤーが縦横に振動することを防止するブレ防止手段を形成していることが提案されている。

また、特許文献２には、シリコンインゴットの切断終了後、シリコンインゴットをワイヤーから離脱させる（ワイヤーをインゴットから引き抜く）際に、ワイヤーがシリコンインゴットに引っ掛かって随伴し、ワイヤーガイドローラの溝からワイヤーが浮き上がって離脱することを防止するために、インゴットのワイヤー出入口近傍にワイヤーを押さえる規制手段を設けることが提案されている。この規制手段は一対で、シリコンインゴットの外径変化、インゴットの移動に応じて、ワイヤー引き抜き時には常にワイヤー出入口近傍に配置できるように動き、スラリーの供給手段も兼ねている。

特開２００２-３０７２８３号公報 特許第３０８３２３２号明細書

ここで、本発明者らは、太陽電池用ウエハの製造に係るシリコンブロックの切断における切断開始部（ウエハ端部）の厚さばらつきやワイヤーのガイド溝からの離脱を実験によって詳細に考察した結果、図７に示すように、シリコンブロック１がワイヤー４に０．３ｍｍ程度近づいたところで、ワイヤー４がシリコンブロック１に吸いつけられるように浮き上がることを見出した。これは、ワイヤー４の走行移動に随伴してスラリーが矢印ｂに示すように流れているところにシリコンブロック１の端面が近づき、スラリーとシリコンブロック１端面との隙間の空気がスラリーに随伴して隙間から排出されることによって負圧を生じ、スラリーがシリコンブロック１の端面に吸い付けられるとともに、スラリーがその粘性によってワイヤーを矢印ｃに示すように持ち上げるためと考えられる。図７で２点鎖線は、ワイヤーガイドローラにワイヤー４を巻き付けた初期のワイヤー走行位置を示している。そして、切断代を削減するために、ワイヤー４の直径を縮小してワイヤーガイドローラに巻きつけるワイヤーの張力を低くすると、この現象はより顕著に出現するようになった。このワイヤー４の浮き上がりによってワイヤーガイドローラ溝６ａ内でワイヤー４の変位を誘発させ、最悪の場合ワイヤー４のワイヤーガイドローラ溝６ａからの離脱が起こることが分かった。これに伴って、最悪の場合、シリコンブロック１の切断加工途中でワイヤー４を破断させる問題が発生する場合もあった。

なお、特許文献１に記載されたものは、シリコンブロックの切断終了後のワイヤーの引き抜き工程においてワイヤーガイド溝からのワイヤー離脱を防止するものであり、シリコンブロック切断開始時のワイヤーのガイド溝内での変位や溝からのワイヤー離脱を防止するものではない。

さらに、特許文献２に記載されたブレ防止手段は、ＳｉＣ製で直方体状を成したブロックに、等ピッチで複数の孔を形成し、これらの孔はメインローラーに形成されている溝と同ピッチに配置するとともに、孔はワイヤーの直径より僅かに大きい円形に形成させ、その孔にワイヤーを挿通させるように配置されている。これらは、スラリーを供給しながらワイヤーを走行させてシリコンブロックを切断する過程において、常に、孔の中でワイヤーが規制されているが、孔の内周とワイヤーの外周の間にスラリーが介在した状態でワイヤーが走行するので、孔の内周とワイヤーの外周は擦れあい、ワイヤー外周の磨耗を促進させ、ワイヤーの断面積を現象させて引張強度を急激に低下させるとともに、孔の内周も磨耗により内径の広がりが著しく、規制手段消耗が激しい為、交換頻度が高くコストがかかることになる。また、ブレ防止手段のさらに他の実施の形態として、ワイヤーを挟持するようにして、該ワイヤーの上下に補助ローラを設置し、該補助ローラは、メインローラーの全長とほぼ等しい長さに形成するとともに、周面にはメインローラーに形成された溝のピッチと同じピッチで多数の溝を長手方向に沿って形成したものでは、シリコンブロックの加工開始前にシリコンブロックの長手方向全域に亘って、挟持する様に設置しなければならず、調整が複雑で、調整作業に時間を要し、作業性が悪く、またウエハの生産性が悪く、さらに、ワイヤーソーの消耗部品点数が増し、コストがかかるという問題があった。

この結果、切断開始時のワイヤーのガイド溝内での変位や溝からの離脱を防止し、ワイヤー飛びを防止するためには、ワイヤーワイヤーガイドローラの溝近傍でインゴットのワイヤーの浮き上がりを規制する手段をワイヤーに当接させておくのが望ましい。またワイヤーの半径以上の深さのインゴット切断溝が形成されるまでワイヤーをワイヤーガイドローラ溝に巻きつけるように押し付けておくと、より望ましい。このためには、ワイヤー規制手段のワイヤー当接部はガイド溝近傍に配置されることが望ましい。一方で、シリコンブロック切断加工の終了後は、加工室内のスラリー残存がない様に加工室内の内壁や、加工室内の各部品に付着したスラリーを水洗浄にて洗い流す作業を行うため、規制手段は、消耗部品点数を増やすことなく、次の切断加工の準備のための調整時間を、より少なくする必要がある。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、シリコンブロック切断開始時において、ワイヤーワイヤーガイドローラ溝内でのワイヤー変位や、溝からの離脱を防止し、切り出すウエハの端部の板厚ばらつきを小さくするとともに、ワイヤー飛びによるワイヤー断線を防止してシリコンブロックの切断を行うマルチワイヤーソーおよびこれを用いたウエハ製造方法を得ることを目的とする。

また、磨耗、消耗するワイヤーの規制手段を新たに設けることなく、ワイヤー飛びを防止し、ワイヤー破断を防止でき、不良率の低減、全損を回避できるマルチワイヤーソーおよびこれを用いたウエハ製造方法を得ることを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、複数のワイヤー溝が形成された複数のローラにワイヤーを巻きかけてワイヤー列を形成し、前記ワイヤー列を走行させるとともに、前記ワイヤー列に砥粒を含む加工液を供給しながら、ワークプレートに接着固定された被切断対象ブロックを前記ワイヤー列の上部に構成された上下動機構に係合支持させる固定支持部に、前記ワイヤー列の上部から上下動機構を下降させることにより前記被切断対象ブロックをワイヤー列に圧接させて、該被切断対象ブロックを複数のウエハに切断加工するマルチワイヤーソーにおいて、前記固定支持部に設けられ、前記被切断対象ブロックの下部端面の高さおよび角度を調整する高さ・角度調整機構と、前記固定支持部に支持された前記被切断対象ブロックの奥行き方向全域に亘って、加工開始時に最初に前記ワイヤーに当接する部分と前記ワイヤーとの隙間をワイヤーガイドローラの溝の深さから前記ワイヤーの直径を差引いた長さよりも小さい長さの隙間になるように前記高さ・角度調整機構を調整して加工を開始させる制御手段と、を備えたことを特徴とする。

本発明によれば、シリコンブロック切断開始時において、ワイヤーガイドローラ溝内でのワイヤーの変位やワイヤーガイドローラ溝からのワイヤー離脱を防止し、切り出すウエハの端部の板厚ばらつきを小さくするとともに、ワイヤー飛びによるワイヤー断線を防止することができ、これによって、インゴットからの良品ウエハの収率を向上させることができる。

図１は、本発明にかかるマルチワイヤーソーの実施の形態１の下部構成を示す斜視図である。 図２は、本発明にかかるマルチワイヤーソーの実施の形態１の上部構成の断面を模式的に示した模式図である。 図３は、ワイヤーガイドローラ溝とシリコンブロックとの位置関係を示す断面図である。 図４は、制御手段による切断加工処理手順を示すフローチャートである。 図５は、ワイヤーガイドローラ溝とシリコンブロックとの位置関係の一例を示すための断面図である。 図６は、本発明にかかるマルチワイヤーソーの実施の形態２の上部構成の断面を模式的に示した模式図である。 図７は、ワイヤーの浮き上がり現象を説明する説明図である。

以下に、本発明にかかるマルチワイヤーソーおよびこれを用いたウエハ製造方法の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。

実施の形態１．
図１は、本発明にかかるマルチワイヤーソーの実施の形態１の下部構成を示す斜視図である。また、図２は、本発明にかかるマルチワイヤーソーの実施の形態１の上部構成の断面を模式的に示した模式図である。図１に示すように、マルチワイヤーソー１１は、被切断対象ブロックに対応するシリコンブロック１が、ガラスなどの脆性材料を用いて製作されたダミープレート２を介してアダプタプレート３に接着固定されている。このシリコンブロック１は、たとえば、口径１５０ｍｍ角前後で長さが４００ｍｍ前後である。この実施の形態１では、マルチワイヤーソーが、たとえば、シリコンブロック１から太陽電池用ウエハを切断加工する。

ワイヤー４は、ワイヤー送り出し機構５から送り出され、２本のワイヤーガイドローラ６間に０．２５〜０．４ｍｍ程度のピッチで巻き掛け、ワイヤー巻き取り機構７で巻き取られる。ワイヤー４は、一般に直径０．１０〜０．１６ｍｍのピアノ線が用いられる。ワイヤー４は、制御手段Ｃ１によって、ワイヤー送り出し機構５と２本のワイヤーガイドローラ６とワイヤー巻き取り機構７とを同期制御して駆動するとともに、テンションローラ８の位置を制御してワイヤー４に常に所定の張力を与えながら５００〜６００ｍｍ／ｍｉｎ前後の速度で送られる。また、制御手段Ｃ１は、スラリー撹拌・供給タンク９からスラリー塗布ヘッド１０を介してワイヤー４にスラリーを塗布する制御を行う。そして、制御手段Ｃ１は、この状態で、少なくとも、ワーク上下機構１５を駆動制御して、アダプタプレート３にガラスプレート２を介して接着固定したシリコンブロック１を下方に送る。

図２において、シリコンブロック１は、上述したように、ガラスプレート２を介して、アダプタプレート３に接着剤により固着される。また、アダプタプレート３は、その上面の高さおよび角度の調整が可能な高さ・角度調整機構１３を介して固定支持部１４に係合される。この高さ・角度調整機構１３は、駆動部１６を有し、制御手段Ｃ１による駆動部１６の制御によって、上述したアダプタプレート３の高さおよび角度が調整される。なお、固定支持部１４は、ワーク上下機構１５によって上下動が可能であり、制御手段Ｃ１の制御によってシリコンブロック１が上下に移動される。なお、高さ・角度調整機構１３は、たとえば、複数のねじの螺合によってアダプタプレート３と固定支持部１４とを接続するボールねじによって実現される。

これらシリコンブロック１から固定支持部１４までの構成は、上述したようにワーク上下機構１５に固定されるとともに、複数のワイヤー４によるワイヤー列４ｂの上部に配置される。そして、ワーク上下機構１５を下降させることによって、固定支持部１４に係合されたシリコンブロック１をワイヤー列４ｂに圧接し、スラリー供給ヘッド１０によって加工部位にスラリーを供給しながら、切断加工を行う。

ところで、このマルチワイヤーソー１１における太陽電池用ウエハの切断加工では、シリコンブロック１を研磨加工により、表面を研磨し、各部の寸法を精度よく仕上げているが、ガラスプレート２と接着剤とにより固定し、ガラスプレート２のもう一方の面（上面）を接着剤によりアダプタプレート３に固定した後にアダプタプレート３を固定支持部１５に固定するため、シリコンブロック１の最初にワイヤー４に当接する部分１ｃと、ワイヤー列４ｂとの平行度が、精度よく得られない。この状態で、切断を開始した場合、シリコンブロック１の最初に当接する部分１ｃによって切込み初めにワイヤー４に斜めの力が作用し、図３に示すように、ワイヤーガイドローラ溝６ａからワイヤー４が浮上り、離脱を誘発させる。

このため、この実施の形態１では、図４に示したフローチャートに示したように、制御手段Ｃ１は、まず、ワーク上下機構１５を下降してシリコンブロック１をワイヤー列４ｂの近傍まで下降させる（ステップＳ１０１）。

その後、高さ・角度調整機構１３を調整し、シリコンブロック１の奥行き方向１７全域に亘って、シリコンブロック１が加工開始時に最初にワイヤー４に当接する部分１ｃとワイヤー４との隙間ｄを、ワイヤーガイドローラ溝６ａの深さｄ１から、ワイヤー４の直径ｄ２を差引いた長さｄ３よりも小さい長さになるようにする（ステップＳ１０２）。

この隙間ｄに調整した後に切断加工を開始する（ステップＳ１０３）。なお、高さ・角度調整機構１３は、制御手段Ｃ１および駆動部１６を介して行われるが、この調整は、操作者の目視と、操作者による制御手段Ｃ１内の図示しない入力部の操作を行うことによって行われる。もちろん、制御手段Ｃ１および駆動部１６を削除した構成とし、操作者が高さ・角度調整機構１３を直接手動によって調整するようにしてもよい。

この実施の形態１では、シリコンブロック１切断における切断開始部（ウエハ端部）において、シリコンブロック１がワイヤー４に近づいたときに、ワイヤー４がシリコンブロック１に吸いつけられるように浮き上がりが発生しても、ワイヤー４は、ワイヤーガイドローラ溝６aの高さを乗り越えることが出来ないため、ワイヤーガイドローラ溝６ａ内でワイヤー４の変位、離脱によるワイヤー飛びを発生させることなく、安定した切溝を生成することができる。

また、切込み初めに等ピッチで安定した切り溝を生成できることにより、切溝自身がワイヤー４のガイド機能を有することが出来るので、切断加工終了まで、安定した加工が実現でき、途中のワイヤー飛びによる複数本切、最悪の場合の近接するワイヤーの絡みによる断線を防止することができる。

具体的には、１５０μｍ〜１８０μｍの厚みの太陽電池用ウエハを製造する場合、図５に示すように、ワイヤーガイドローラ溝６ａの施工ピッチ２０を０．２８ｍｍ〜０．３１ｍｍとし、ワイヤーガイドローラ溝６aの内角の角度２１を３５°に設定する。ここで、
ワイヤー４の直径ｄ２を０．１ｍｍとし、ワイヤーガイドローラ溝６ａの側壁および底にワイヤー４が内接するようにワイヤーガイドローラ溝６ａを形成した場合、ワイヤーガイドローラ溝６ａの深さｄ１は、０．２８５ｍｍで構成できる。

このようにして構成されたワイヤーガイドローラ６では、ワイヤーガイドローラ溝６ａの深さｄ１からワイヤー４の直径ｄ２を差引いた長さである隙間ｄは、０．１８５ｍｍとなる。ここで、固定支持部１４に支持されたシリコンブロック１の奥行き方向１７全域に亘って、加工開始時に最初にワイヤーに当接する部分１ｃとワイヤー４との隙間ｄを０．１ｍｍ以下になるように高さ・角度調整機構１３を調整することにより、シリコンブロック１の最初にワイヤー４に当接する部分１ｃは、ワイヤーガイドローラ溝６ａの最高部よりも０．０８５ｍｍ以上沈み込むことができる。

この状態から切断加工を開始すれば、上述したように、シリコンブロック１切断における切断開始部（ウエハ端部）において、シリコンブロック１がワイヤー４に近づいたときに、ワイヤー４がシリコンブロック１に吸いつけられるように浮き上がりが発生しても、ワイヤー４は、シリコンブロック１の最初の当接部１ｃにより、ワイヤーガイドローラの溝６aの高さを乗り越えることが出来ないため、ワイヤーガイドローラ溝６ａ内でワイヤー４の変位、離脱によるワイヤー飛びを発生させることなく、安定した切溝を生成することができる。

また、切込み初めに等ピッチで安定した切り溝を生成できることにより、切溝自身がワイヤーのガイド機能を有することが出来るので、切断加工終了まで、安定した加工が実現でき、途中のワイヤー飛びによる複数本切、最悪の場合の近接するワイヤーの絡みによる断線を防止することができる。

実施の形態２．
つぎに、この発明の実施の形態２について説明する。この実施の形態２では、図６に示すように、シリコンブロック１の最初にワイヤー４に当接する部分１ｃとワイヤー４との隙間ｄを撮像し、この撮像した画像信号により隙間ｄを計測する計測手段２６ａ，２６ｂを備える。制御手段Ｃ１に対応する制御手段Ｃ２は、計測手段２６ａ，２６ｂが計測した隙間ｄの情報を処理し、高さ・角度調整機構１３を調整する。すなわち、制御手段Ｃ２は、シリコンブロック１のワイヤーに当接する部分１ｃと、ワイヤー４との隙間ｄが予め設定された所定値となるように、高さ、角度調整機構１３を動作させる自動調整を行うようにしている。この結果、加工開始前の調整が容易となる。

この実施の形態２では、シリコンブロック１切断における切断開始部（ウエハ端部）において、シリコンブロック１がワイヤー４に近づいたときに、ワイヤー４がシリコンブロック１に吸いつけられるように浮き上がりが発生しても、ワイヤー４は、ワイヤーガイドローラ溝６aの高さを乗り越えることが出来ないため、ワイヤーガイドローラ溝６ａ内でワイヤー４の変位、離脱によるワイヤー飛びを発生させることなく、安定した切溝を生成することができ、しかも、短時間で実現できる。

以上のように、本発明にかかるマルチワイヤーソーおよびこれを用いたウエハ製造方法は、単結晶、多結晶、またはアモルファスのシリコンブロックなどの被切断対象ブロックを薄厚に切断してウエハを製造するものに有用であり、特に、太陽電池用ウエハの製造に適している。

１ シリコンブロック
２ ガラスプレート
３ アダプタプレート
４ ワイヤー
４ｂ ワイヤー列
５ ワイヤー送り出し機構
６ ワイヤーガイドローラ
６ａ ワイヤーガイドローラ溝
７ ワイヤー巻き取り機構
８ テンションローラ
９ スラリー撹拌・供給タンク
１０ スラリー塗布ヘッド
１１ マルチワイヤーソー
１３ 高さ・角度調整機構
１４ 固定支持部
１５ ワーク上下機構
１６ 駆動部
１７ 奥行き方向
２０ ピッチ
２１ 内角の角度
２６ａ，２６ｂ 計測手段
ｄ 隙間
ｄ１ ワイヤーガイドローラ溝の深さ
Ｃ１，Ｃ２ 制御手段

Claims (6)

1. 複数のワイヤー溝が形成された複数のローラにワイヤーを巻きかけてワイヤー列を形成し、前記ワイヤー列を走行させるとともに、前記ワイヤー列に砥粒を含む加工液を供給しながら、ワークプレートに接着固定された被切断対象ブロックを前記ワイヤー列の上部に構成された上下動機構に係合支持させる固定支持部に、前記ワイヤー列の上部から上下動機構を下降させることにより前記被切断対象ブロックをワイヤー列に圧接させて、該被切断対象ブロックを複数のウエハに切断加工するマルチワイヤーソーにおいて、
   前記固定支持部に設けられ、前記被切断対象ブロックの下部端面の高さおよび角度を調整する高さ・角度調整機構と、
   前記固定支持部に支持された前記被切断対象ブロックの奥行き方向全域に亘って、加工開始時に最初に前記ワイヤーに当接する部分と前記ワイヤーとの隙間をワイヤーガイドローラの溝の深さから前記ワイヤーの直径を差引いた長さよりも小さい長さの隙間になるように前記高さ・角度調整機構を調整して加工を開始させる制御手段と、
   を備えたことを特徴とするマルチワイヤーソー。
2. 前記ワイヤーに当接する部分と前記ワイヤーと間の距離を計測する計測手段を有し、
   前記制御手段は、前記加工開始時に前記計測手段が計測した距離をもとに前記隙間となるように前記高さ・角度調整機構を調整する制御を行うことを特徴とする請求項１に記載のマルチワイヤーソー。
3. 前記隙間は、０．１ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１または２に記載のマルチワイヤーソー。
4. 複数のワイヤー溝が形成された複数のローラにワイヤーを巻きかけてワイヤー列を形成し、前記ワイヤー列を走行させるとともに、前記ワイヤー列に砥粒を含む加工液を供給しながら、ワークプレートに接着固定された被切断対象ブロックを前記ワイヤー列の上部に構成された上下動機構に係合支持させる固定支持部に、前記ワイヤー列の上部から上下動機構を下降させることにより前記被切断対象ブロックをワイヤー列に圧接させて、該被切断対象ブロックを複数のウエハに切断加工するマルチワイヤーソーを用いたウエハ製造方法において、
   前記固定支持部に支持された前記被切断対象ブロックの奥行き方向全域に亘って、加工開始時に最初に前記ワイヤーに当接する部分と前記ワイヤーとの隙間をワイヤーガイドローラの溝の深さから前記ワイヤーの直径を差引いた長さよりも小さい長さの隙間になるように、前記固定支持部に設けられ、前記被切断対象ブロックの下部端面の高さおよび角度を調整する高さ・角度調整機構を調整する調整工程と、
   前記調整工程によって調整された後に前記ウエハの切断加工を行う切断加工工程と、
   を含むことを特徴とするマルチワイヤーソーを用いたウエハ製造方法。
5. 前記調整工程は、前記加工開始時に、前記ワイヤーに当接する部分と前記ワイヤーと間の距離を計測し、この計測した距離をもとに前記隙間となるように前記高さ・角度調整機構を調整することを特徴とする請求項４に記載のマルチワイヤーソーを用いたウエハ製造方法。
6. 前記隙間は、０．１ｍｍ以下であることを特徴とする請求項４または５に記載のマルチワイヤーソーを用いたウエハ製造方法。

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