TW201006748A - Apparatus for transferring base plate - Google Patents

Description

201006748 ^lo^opu 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 ' 本發明是有關於一種基板轉送裝置，藉此來縮短基板 被轉送的時間，從而當基板從一上部工作位置被轉送至一 下部工作位置時或以反方向轉送時，基板的製程處理時間 亦會縮短。本發明特別是有關於一種具有簡單的旋轉托架 以轉送基板的基板轉送裝置 • 【先前技術】 通常用於平面顯示器（flatpaneldisplay FPD)、半導 體晶圓、液晶顯示器（liquid crystal display，LCD )玻璃… 等的基板’是在、經過一系列的製程，例如沈積、姓刻、剝 離、清潔與清洗後產生。 在處理該基板的一系列的這些過程中，基板轉送裝置 會對基板進行轉送，且基板之供給、處理以及將基板自一 轉送軌道移出將構成一種週期循環^ 鲁 圖1至圖3是習知基板轉送裝置的結構示意圖。請參 ，圖1至圖3 ’第—基板！與第二基板2自_上部工作台 〇傳送至-下部工作台2〇，接著再自下部工作台2〇傳送 上部工作台10，最後自上部工作台10移出。 . f參考圖1 ’換句話說，第-基板！是經由上部工作 i二^供t及推送部15所提供，並在上部工作台10 =特疋區段以紫外線來對第一基板1進行清潔。當第一美 完外線清潔後被傳送至一供給侧搬運台 ’第-基板1會如圖2及圖3所綠示的降下，並移至下 201006748 J 1 0*TU|./il 部工作台2〇 ’朗行例如以清潔水來清洗等清洗製程。 搬上成亡述製程後，第一基板1會被移送至-移出侧 。’並在上升後經由上部工作台i的供给及推送 15而由上部工作台10推送出來。 知的基板轉送裝置中，#第—基板1被固 2在供給侧搬運錄上敏作台1G轉送至下部工作

餐 =0時’正在上部卫作台1G進行料線清潔過程的第二 板2保持於閒置(idle)狀態，且就此裝置而言藉由該供 、:及推送部15來供應另—基板時亦會被延遲使此裝置的 生產性亦可能會降低。 【發明内容】 本發明提供一種基板轉送裝置，藉此以減少基板的閒 置時間’並縮減轉送基板所需的空間。 本發明提供一種基板轉送裝置，此裝置包括一簡單的 旋轉拖架以將基板傳送至搬運台。 本發明的一實施例提出一種基板轉送裝置，藉此將提 /、至第一上部位置的一基板轉送至一第二下部位置，再 將該基板移入一轉送軌道並自該轉送軌道移出。此基板轉 送裝置包括一第一與一第二升降(elevator)單元、多個第一 $定板、一第一與一第二轉轴、一第一與一第二旋轉馬達、 第一旋轉托架(support)、多個第一皮帶構件、多個第二 ^帶構件、多個第二固定板、一第三與一第四轉軸、一第 一與一第吗旋轉馬達、一第二旋轉托架、多個第三皮帶構 牛夕個第四皮帶構件以及一第一與一第二又式搬運台。 201006748

JiMOpU 第-與第二升降單元各自第一上部位置配置至第二下部位 置且分別位於轉送軌道之相對應的兩側。第一固定板固設 至-固定結構’這些第一固定板相鄰於第一升降單元並沿 著一水平方向而等距排列在第一上部位置。第一轉軸與^ -轉軸平打地穿過各第-jg定板的__端且可旋轉地被各第 私f疋板所支擇。第一旋轉馬達與第二旋轉馬達各別地轉 轉軸與第二轉軸。第—旋轉托架包括多個第-上部 ❹ ίΪίί多個第"下部支撐件。各第—上部支樓件的一端 可旋轉地被各第-固定板所支撐，這些第―上部支標件配 置在同—平面以使其在每個水平位置支伽基板。第一下 部支推件配置於第—上部支揮件之下。各第—下部支樓件 ^端可旋轉地被各第―固定板所支撐。這些第一下部支 在同—平面以使其在每個水平位置支_基板， 更接近第二：：ΐ撐件的轉軸較各第一上部支撐件的轉軸 。第一皮帶構件連接第-轉軸與各第 的轉軸。第二皮帶構件連接第二轉軸與各第 :下部支撐件的轉軸。第二固定板固設至固定結構。這些 ^固定板相鄰於第二升降單元並沿著水平方向等距排列 卩位置。第二轉轴與第四轉軸平行地穿過各第二 疋板的-端且可旋轉地被各第二固定板所支樓。第 轉馬達各別地轉動第三轉軸與第四轉軸。 t ^ 多個第二上部支推件與多個第二下部支 所支撐支擇件的一端可旋轉地被各第二固定板 所支擇’廷些第二上部支撐件配置在同一平面以使其在每 201006748 J 1 o*tupu 水平位置切該基板。第二下部支撐件配置在第二上部 支f件之T n下部支撐件的-端可旋轉地被各第二 ©定板所支撐。這鮮二下部續件配置在同—平面以使 其在每一水平位置支撐該基板，其中各第二下部支撐件的 轉轴較各第二上部支撐件的轉軸接近第二升降單元。第三 &帶構件連接第三轉轴與各第二上部支撐件的轉轴。第: 皮帶構件連接第四轉轴與各第二下部支撐件的轉軸。第一 又式搬運台與第二又式搬運台分別被第一升降單元與第二 彳降單元所支樓。第_叉式搬運台舆第二又式搬運台沿一 垂直方向移動’並分別以第-升降單元與第二升降單元為 中心而旋轉。第一又式搬運台與第二又式搬運台在基板被 固定於第-旋轉托架與第二旋轉把架處與在基板被配置於 轉送執道處伸長，其中該轉送執道包括多個 固定間距配置，以使第一叉式搬運台與第二=運3 越這些旋轉桿。 13 在本發明之一實施例中，上述之第一升降單元與第二 ❹ 升降單元各包括多個螺桿(screvrods)，其被第一旋轉馬達 與第二旋轉馬達所轉動。 ''' 在本發明之一實施财’上述之第-又式搬運台與第 二叉式搬運台包括一第一滑塊與一第二滑塊、一第一升 •本想與-第二升降本體、多個第一旋轉桿與多個第二旋 桿以及多個第一延長桿與多個第二延長桿。第一滑塊 二滑塊螺接至第一螺桿與第二螺桿並藉此而上升與下 第一升降本體與第二升降本體固設至第一滑塊與第二滑 8 201006748

JlOWjpu Ϊ政ί第—旋轉桿與各第二旋轉捍的1可旋轉地被第一 升降本趙與第二升降本禮所支律。各第一延長祥與各第二 „的一端藉由一旋轉單元而旋轉地連接於各第一旋轉 才于的另一端與各第二旋轉捍的另一端。 化/t發Γ之·^施射，上述之旋轉單元包括一第一 :口):第，皮帶以及，。第一滑輪 j二一 第二旋轉桿以預設間距而分隔 轉動。氣紅固設於各第一旋轉桿與各第二二斤= 皮帶ί接的桿體，其中第二滑輪的轉軸同軸地連接 於各第-延長桿的轉軸與各第二延長桿轉轴。 接 舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。下文特 【實施方式】 ο 衝段:在—製程的緩 列的製程例如:沈積是顯：的-系 地傳送。換句話說，如同圖1所繪示者，、:據本發 向進行轉送。 作邻刀或疋以相反方 這-連串處理基板的製程是由基板轉送以 驟而=將基板從上位工作部分或下位工作部i 移出等步驟而構成一種在最短時間内完成的循環週期 201006748

J 10*tU|；U 二知的基板轉送裝置所存在的問題即在於

程所需的時間短於操作-習知的搬運台所 串J 而’根據本發明，搬運A的動作、Φ疮π 、、4。然

m 運°的動作逮度得以加快以致搬運A 的動作時間短於製程所需時間，且 板亦能及時地完鮮備。 I程所需預備的基 盘下，根據本發_基板轉送裝置，操作上部支撐件 切件以允許基板可暫時保持在間置狀態的結構可 ❿ 基板轉板轉送裝置_作特性也觀進^特別是此 板轉送裝置的設計與結構能被簡化，且此基板 特性與韓时利第他肅彻641號先前所揭露 的上邛/下部支撐件的連結結構比較之下已有改善。 以下將針對本發明之基板轉送裝置予以描述。 圖4是依據本發明一實施例之一種基板轉送裝置的結 構示意圖。圖10A至圖ι〇Ν所繪示的是依據本發明一實^ 例之基板轉送裝置的操作歹法。請參考圖4以及圖WA至 圖10N，一提供至一第一位置（上部位置）的基板4⑻藉 ❹ 由第一搬運台1〇〇與第二搬運台200而被傳送至第二位置 (下部位置）的高度，且基板400再被傳送至一轉送軌道 300並從該轉送軌道3〇〇被移出。 首先，第一與第二升降導軌(gUides)配置在轉送軌道 300的相對兩側’且其自第一位置分佈至第二位置。第一 搬運台100與第二搬運台2〇〇被第一與第二升降導軌所支 推以進行上升與下降。在本實施例中，此升降結構例如是 鍊條、繩索、時限(timing)皮帶、滾珠螺桿或液壓缸。 201006748 J 1 o«tupu 在本實施例中，第一與第二升降導軌分別包括第一螺 桿101與第二螺桿201，其分別被第一馬m與第二馬 達210所轉動。 一第一旋轉托架130與一第二旋轉托架23〇配置在第 一螺桿KU與第二螺桿2〇1之間，且兩個基板4〇〇藉由機 械手臂（未示）而被放置在第一旋轉托架13〇與第二旋 轉托架230上’且第-旋轉托架13〇與第二旋轉托架23〇 在水平位置與垂直位置進行往復運動β 圖8是圖4的基板轉送裝置的旋轉托架的透視圖。請 ^考圖4至圖8，基板轉送裝置包括多個第—固定板51， :、在一垂直方向上以固定間隔固定至一固定結構51〇，並 位置上的第"'升降單元（以下均指第一螺桿 。第一㈣41與第二轉軸42皆平行地穿過第一固定 1的一端，並可旋轉地被固定結構51〇所支撐著。 與第二旋轉馬達32各別地轉動第—轉轴41 興第一轉轴42。 個第f—旋轉托架130包括多個第—上部支#件131與多 始轴L下部支稽件132 ’各第一上部支擇件131的-端可 配定板51所支標’這些第—上部支揮件131 使其在每個水平位置支擇基板彻。第 —下132配置在第—上部支推件131之下。各第 撐了尸的—端可旋轉地被第—固额51所支 個水平^下支#件132配置在同—平面以使其在每 水十位置能支撐基板400。 11 201006748 上邻=i0A所綠示，第一下部支撑件132的轉軸較第一 上。卩支撐件131的轉輛接近第一升降 支樓:=所:示，當第一上部支律件;31與第-下部 下旋轉時，彼此互相平扣避免了干涉的情 ❿ 鲁 ^轉軸41的-端與第一上部支標件i3i的一端藉 :=ί=Γ而相互連接。第二轉轴42的-端 :相互:ί 端則藉由多個第二皮帶構件71 笛一，輪（树示）輕接於第—與第二轉轴41、42以 及第一上部/下部支撐件131、132, m 6卜71因而得以旋轉。 第-與第-皮帶構件 定板同52時’ f據本發明的基板轉送裝置更包括多個第二固 51。，並相鄰以固定間距固定至固定結構 桿2〇n ^第 第二請單元（町均指第二螺 定柄52 ^第二轉轴43與第四轉轴44平行地穿過第二固 旋轉mi端，並可旋轉地被固定結構51G所支標。第三 與第吨轴44與第四旋轉馬達34各別地轉動第三轉轴43 個第多㈣二上部支撐件131與多 =地被各^ 水平位置支撲— 該基板二 牛232配置在第二上部支撐件231之下，各 12 201006748 部232的—端可旋轉地被各第二固定板52 °這二第二下部支撐件232配置在同一平面以使其 在每個水平位置支撐該基板400。 上邻3二所綠不’第二下部支擇件232的轉軸較第二 上部支樓件231的轉軸接近第二升降單元。 去擔t=1〇J所綠不’當第二上部支撐件231與第二下部 生撐件均向下_時，彼解行以避免干涉的情形發 Ο —fit軸43與各第二上部支料231藉由多個第三 ° ^轉軸44與各第二下部支撐 牛232错由夕個第四皮帶構件”而相互連接。 -滑輪（未繪示）麵接於第三與第四轉轴43、44與 第：下部支標件231、232 ’以使第三皮帶構件62與 第四皮帶構件72得以轉動。 第搬運。100與第二搬運台綱具有相同的結構， 此結構將於下文中參考圖4 而予以說明。 -振繪不圖4的基板轉送裝置的作動情形，以便說明 =的延伸狀態。s u是搬運台的透視圖。圖12Α 則疋在結構上、♦示處於延伸狀態的搬運台。 101由:搬運台100與第二搬運台200分別被第一螺桿 分別:對:广沿著一垂直方向移動’並 運Α 弟螺桿1〇與第二螺桿102而旋轉。第一搬 與第一搬運台200具有又式結構，並能在基板4〇〇 13 201006748

* WTV|-»*JL 固疋於第一旋轉托架13〇與第二旋轉托架23〇處以及基板 400配置在轉送執道300處伸長。 第一搬運台100與第二搬運台2〇〇包括一第一滑塊 102與一第二滑塊2〇2、第一升降本體1〇3與第二升降本髏 203、多個第一旋轉桿1〇4與多個第二旋轉桿2〇4以及多個 第一延長桿105與多個第二延長桿2〇5。第一滑塊1〇2與 第一滑塊202各螺接至第一螺桿1〇1與第二螺桿2〇1並藉 此上升及下降。第一升降本體103與第二升降本體203各 ® ®接至第—滑塊⑽與第二滑塊202。第-旋轉桿104與 第二旋轉桿204的一端可旋轉地被第一升降本體103與第 二升降本體203所支撐，且第—延長捍1G5與第二延長桿 2〇5的-端藉由一旋轉單元而可旋轉地連接在第一旋轉桿 104與第一旋轉桿204的另一端。 請參考圖11 ’轉軸107可旋轉地被第一升降本體1〇3 的-對托架108所支撐，且藉由第一旋轉馬達1〇6所產生 的動力帶動而旋轉。各第一旋轉桿1〇4的前端耗接於轉轴 ❹ 107的兩端，以使第-旋轉桿104與轉* 1G7能同時轉動。 請參考圖11、圖1从及圖12B，該旋轉單元包括第一 雜141肖第二滑輪142,其可旋轉地被各第-旋轉桿1〇4 與各第二旋轉桿204所支樓並以預定間距而分隔開來 帶143被第-滑輪141與第二滑輪142導引且轉動紅 140固設在各第一旋轉桿1〇4上與各第二旋轉桿挪上且 具有-與皮帶143連接轉體14Ga。第二滑輪14 分別與各第—延長桿105肖各第二延長桿2〇5同轴地連接 201006748 在一起’以使第一延長捍105與第二滑輪142以及第二延 長桿205與第二滑輪I42能-起轉動。 轉送執道300包括多個旋轉桿301與多個滾輪 (rollers)302 °旋轉桿3〇1以固定間距配置著，以使具有叉 式結構的第一撤運台1〇〇與第二搬運台2〇〇能穿越這些旋 轉桿301。滾輪302耦接在各個旋轉桿301上，且基板400 配置在這些滾輪302上。 請參考圖4與圖9，該轉送軌道3〇〇配置在支架 (frame)310上，且支架3〗〇被傾斜滑塊311、312所支樓， 其中傾斜滑塊311、312固設在支架310的底端，且具有兩 種不同的傾斜角度以使支架31G在其上進行滑移。傾斜滑 ，31卜312藉由-傾斜氣缸32〇來帶動，以使支架31〇 能在水平方向中傾斜或傾斜一特定角度。 〃 上述基板轉送裝置的操作步驟將於下述進行說明。 圖12A與圖12B緣示搬運台於伸長狀態時的結構。 請參考圖4及圖10A，在操作a)中，第一、第二上部 /下部支撐件m、23卜132與232配置在第一位置的水平 方向上，基板400藉由機械手臂而供給至各個第一 土部支#件m與231以及各個第—與第二下部支“ 132與232並位於各支撐件上。 在本實施例中，該轉送軌道300維持在水平位；且 第一與第二搬運台100、200被第一螺桿1〇1 一 2〇1所水平地支撐著。 ，、第-螺幹 請參考圖1〇B、圖10C、圖11與圖12B，在操作b) 15 201006748 二水ί狀t運::第°藉:第第達1()6帶動而旋轉至 氣缸140進行作動以旌鼓下部支撐件U2、232下方的 能夠伸長並轉於水平㈣椁1G5’且使第—搬運台100 第-搬運么100升起在操作c)中’第一螺桿101旋轉並將 慨逻口 ιυο升起，以使第一 下部支禮件m與第二下部第運口 100直接位於第一 ^32 件卜ι 口 100並配置在^支撐 件232 132糾：下部支撐 與第四皮帶構件72而向：；旋轉轉轴44、第二皮帶構件71 接配與第二下部讀件说直 下。並同時參部支揮件卻之 支撐件攻的中心與第二下部 上部，3】的中心轉轴的以撐件⑶與第二 部支擇件231二:一:::;二部支標件131與第二上 ^向下旋轉時，彼狀間m與第二下部支撐件 叫參考圖10F與圖1〇G，在 =%=降下，基板4。°=^ 上清參相1〇H與困101，第一延長桿i〇5g 16 201006748

起來以使第一搬運台100的長度減短，接著，第一旋轉桿 104向下旋轉。 其後，請參考圖101，傾斜汽缸320開始作動，以使 支架310沿著第一傾斜滑塊311與第二傾斜滑塊312而傾 斜地移動，因而使轉送軌道300處於傾斜狀態。在本實施 例中’在基板400上的清洗液便會流至轉送軌道3〇〇。 接著，該轉送軌道300繼續旋轉且基板4〇〇便被轉送 出該轉送軌道400。

請參考圖10F ’在操作e)中，當第一搬運台1〇〇進行 操作d)時，第一螺桿2〇1旋轉並使第二搬運台2〇〇上升， 且％參考圖10G與圖10H，在第一上部支稽件131盘第二 ^部支擇件231之下的第二搬運台2〇〇的長度增加，以使 一搬運台200維持在一水平位置。第二搬運台2〇〇的延 伸長度的操作步驟如同第-搬運台⑽—般，在此便予以 癌略0 明參考® 101至圖10L，在操作〇中，第一上部支^ 與第二上部支樓件2S1向下旋轉，使在第一上部j 與第二上部支禮件231上的基板働被轉送並· 置在第二搬運台200上。 件中第一上部支撐件131與第二上部支名 與第一下部支撐件132與第二下㈣ 件2的操作步驟相同，在此便予以省略。 配置’在第二搬運台200降下以使基板401 、、300之後，第二延長桿205藉由第二旋赛 201006748 馬達206的驅動而旋轉並折疊。肖時胃 旋轉桿204向下旋轉。同時請參考圖 & 旋轉以使第二搬運台2〇〇上升至第一位£第一則干201 請參考圖麵，基板400配置在轉 由於傾斜氣缸320作動並藉由一民、老r +道 上且 韓逆mnn… 達（未緣示）帶動而使 二送執道30。傾斜’因此基板4。〇便被轉送出轉送軌道 e 在操作g)中’當第二搬運台2〇〇在操㈣之後降低至 操作Φ中向下旋轉的第-搬運台100上升， 且在操作C)與操作f)中向下旋轉的 f與第二下部支樓件132 置旋轉，如同圖1〇Κ盥圖1〇1中 新的基板400將會被機^手臂中(^!。並报請參考圖麵， 二臂（未緣不）供給至第一與第 232。°件3卜231以及第一與第二下部支擇件132、 接著在第一與第一下部支撐件I%、232上的基;^ 搬運台如此，圖雇:: 進行_作區段’ ^上述操作&)至操作g)將會再重複 基於上述’在本發明的基板轉送裝置中，基板藉 -與第二搬運台100、2〇〇,其包括能伸長的第一與第 部支撐件，而在第—位置與第二位置之間移動而 ^仃轉送。因此多個基板能在此狹窄的空間中同時進行水 平方向與垂直方向的轉送。 18 201006748 在當第—與第二下部支撐件132、232直接配置 干，第一广上部支揮件131、231之下。如®議所繪 -輿第-下部支樓件132、232的中心轉難置在第 社參者JfMnf擇件131、231的令心轉軸的旋轉區域外。 ，第—與第二上部支撺件131、胸及第一 向下播鐘。撐件132、232如圖10J所緣示的彼此平行地 P;，而T 因而此基板轉送裝置能設置在較為狹窄的空 二-金=於本案的前申請案中所揭露的基板轉送裝置， if 上部支擒件131、231以及第一與第二下部支 #件132、232彼此交錯且需要較大的空間。 再者，第-與第二上部支擇件⑶、231以及第一與 fF部支撐件132、232藉由第一至第四轉軸41〜44以 =第-至第四皮帶構件6卜62、71與72所帶動而 因此本發明之基板轉送裝置的旋轉結構舒以簡化。 综上所述，本發明之基板轉送裝置，藉由第一 與第二搬運台在第-位置與第二位置之間上升與下: 個基板能在此裝置中進行轉送，而使基板在第 轉托架上的間置時間以及基板轉送與製程處理時間都能被 縮知>。 再者，第一與第二上部支撐件以及第一與第二 樓件藉由第-至第四轉轴與第—至第四皮帶構 旋轉，因此基板轉送裝置的旋轉結構能予以簡化。 而 另外，第一與第二搬運台能夠旋轉並延;，以知 轉送裝置能被設置在較狹窄的空間中。 泰板 201006748 此外 轉送軌道能被驅動至'""水平方向或一傾斜角 度，以使基板能在水平位置時穩固地配置在該轉送軌道 上，而在該基板傾斜地配置在該轉送軌道上時能使水平順 地流出。 雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定 本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離 =明之精神和範_，當可作些許之更動與潤飾，故本 【圖==】當視後附之申請專利範圍所界定者為準。 3 1，圖3綠示習知的基板轉送裝置的示意圖。 構示意圖 〇 圖。圖5是圖4的基板轉送裝置的必要構件的結構示意 圖6是圖5的基板轉送裝置的俯視圖。 =2圖5的基板轉送裝置的左侧視圖。 基板轉送裝置的旋轉托架的透視圖。 圖轉送裝置的作動示意圖。 送裝置的操作方:：'^ 圖11是搬運台的透視圖。 台、圖以及圖12B在結構上綠示處於延伸狀態的搬運 20 201006748 【主要元件符號說明】 1:第一基板 2:第二基板 10:上部工作台 11 :供給侧搬運台 15 :供給推送部 20:下部工作台 21 :移出側搬運台 ❹ 31:第一旋轉馬達 32:第二旋轉馬達 33 :第三旋轉馬達 34 :第四旋轉馬達 41 :第一轉軸 42 :第二轉轴 43 :第三轉轴 44 :第四轉軸 參 51 :第一固定板 52 :第二固定板 61 :第一皮帶構件 62:第三皮帶構件 71 :第二皮帶構件 72 :第四皮帶構件 100:第一搬運台 101 :第一螺桿 201006748 ⑩ .第一滑塊 第一升降本體 第一旋轉桿 第一延長桿 第一旋轉馬達 轉軸 托架 第一馬達 第一旋轉托架 第一上部支撐件 第一下部支撐件 氣缸 :桿體 第一滑輪 第二滑輪 皮帶 第二搬運台 第二螺桿. 第二滑塊 第二升降本體 第二旋轉桿 第二延長桿 第二旋轉馬達 第二馬達 201006748 230:第二旋轉托架 231 :第二上部支撐件 232:第二下部支撐件 300 :轉送軌道 301 :旋轉桿 302 :滾輪 310 :支架 311、312 :傾斜滑塊 ❿ 320 :傾斜氣缸 400 :基板 510 :固定結構

Claims (1)

1. 201006748 七、申請專利範圍： L一種基板轉送裝置，藉此將提供至一第一上部位置 的一基板轉送至一第二下部位置，再將該基板移入至一轉 送軌道且自該轉送軌道移出，該基板轉送裝置包括： 一第一升降單元與一第二升降單元，其各自該第一上 部位置配置至該第二下部位置且位於該轉送軌道之相面對 的兩侧； ❹

   多個第一固定板，固設至一固定結構，該些第一固定 板相鄰於該第-升降單元並沿著水付向而等距排列在該 第一上部位置； 一第一轉軸與一第二轉軸，平行地穿過各該第一固定 板的-端且可旋轉地被各該第_固定板所支樓著； 楚:ίι旋轉馬達與一第二旋轉馬達，其各別地轉動該 第一轉轴與該第二轉轴； 一第一旋轉托架，包括： 姓第一上部支撐件，各該第一上部支推件的一 地被各該第一固定板所支撐，該些第一上部 :件配置在同-平面以使其在每個水平位 基板，以及 件之ΐ’ί:口:Γ配置於該些第一上部支撐 上部支撐件的轉軸更 ί面該些第一下部支撐件配置在同-在母個水平位置支撐該基板，其令各該第 下邛支撐件的轉軸較各該第 24 201006748 接近該第一升降單元； 多個第一皮帶構件’連接該第一轉轴與各該第一 支撐件的轉軸； 部 多個第二皮帶構件’連接該第二轉轴與各該第一下 支擒件的轉轴； ° 多個第二固定板，固設至該固定結構，該些第二 =鄰於該第二升降單元並沿著—水平方向而等距 孩第一上部位置；^ 一第三轉軸與一第四轉軸，平行地穿過各該第二固〜 板的一端且可旋轉地被各該第二固定板所支撐著；疋 三熱與一第四旋轉馬達’各別地轉動該第 一第二旋轉托架，包括： 多個第二上部支撐件，各該第二上 一 端可旋轉地被各該第二固定板所支撐，該些第 =件配置在同-平面以使其在每—水平位置支樓該 基板； 乡個第二下部切件，配置在該些第二上部支撐 部支律件的一端可旋轉地被各該 一疋板所支撐，該些第二下部支撐件配置在同- 每一水平位置支撐該基板，其中各該第 4的轉純各該第二上部支㈣的轉軸更 接近該第二升降單元； 多個第三皮帶構件，連接該第三轉軸與各該第二上部 25 201006748 支撐件的轉軸； 乡個第四皮帶構件’連接該第四轉轴與各該第二下部 支撐件的轉軸；以及 -第-叉式搬運台與-第二叉式搬運台，分別被該第 一升降單元與該第二升降單元所支撐，該第一叉搬 與該第二叉式搬運台沿-垂直方向移動，並分別^該第: 升降單元與該第二升降單元為中心而旋轉，該第一叉式搬 運台與該第-叉式搬運台在該基板被固定於該第_旋轉托 架與該第二旋轉托架處與在該基板被配置於該轉送軌道處 伸長’其中該轉送執道包括多個旋轉桿，其以固定間距配 置，以使該第一又式搬運台與該第二又式搬運台穿越該些 旋轉桿。 2. 如申請專利範圍第1項所述的基板轉送裝置，其中 該第一升降單元與該第二升降單元各包括多個螺桿，該些 螺桿分別被該第一馬達與該第二馬達所轉動。 3. 如申請專利範圍第2項所述的基板轉送裝置，其中 ® 該第一叉式搬運台與該第二叉式搬運台包括： 一第一滑塊與一第二滑塊，螺接至該第一螺桿與該第 二螺桿並藉此上升與下降； 一第一升降本體與一第二升降本體，分別固設至該第 一滑塊與該第二滑塊； 多個第一旋轉桿與多個第二旋轉桿，各該第一旋轉桿 與各該第二旋轉桿的一端可旋轉地被該第一升降本體與該 第二升降本體所支撐；以及 26 201006748 多個第一延長桿與多個第二延長桿，各該第一延長 與各該第二延長捍的-端藉由—旋轉單元而可旋轉地遠^ 於各該第一旋轉桿的另一端與各該第二旋轉捍的另一端。 4·如申請專利範圍第3項所述的基板轉 二 該旋轉單元包括： 其中 一第一滑輪與一第二滑輪，被該第一旋轉桿與一 轉寺干以預設間距分隔並可旋轉地支撑·著； 旋 響 以及-皮帶’被該第-滑輪與該第二滑輪卿動而轉動； —-氣缸’固餅各該第—旋轉桿與各該 該氣紅具有-與該皮帶連接的桿體，其中旋轉椁， ：：=地連接於各該第-延長桿的轉轴舆竿 ⑩ 27