201003094 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 - 本發明係關於一種用於至少一個微晶片的測試支撐架， ' 其具有一基底框架，該基底框架包括至少一個中央開口， 该中央開口封圍用於該微晶片之至少一個插座，及該測試 支撐架具有一按壓構件，其憑藉一樞軸軸承連接至該基底 框架，從而其可繞一樞軸以遠離該中央開口之方向而樞轉 敞開，並以朝向該中央開口之方向樞轉合攏。 I*:、 【先前技術】 用於微晶；1之測試支撐架已為吾人熟知，並通常用於保 護在經設計用於微晶片之電接觸的一孔或接觸器中之適當 位置的-微晶片。特定地，若微晶片包括支撐在該接觸器 之相應接觸點上的電接觸點上，則可利用上文所述之按壓 所謂球狀栅格（ball grid) 其中s亥微晶片包括大致
例如’上述之微晶片接觸點係 陣列或基板柵格（lan{j grid)陣列 半球狀或平坦電接觸點。 然而，測試支撐架亦可用於呈 於〃、有不同形狀電接觸點之微 曰曰片’以確保接觸器中之直：钟汁 , 〈具4就座，例如用於壽命測試。 已知之測忒支撐架之基底框架憑藉樞軸而連接至按壓構 :=按㈣件或測試支撐架樞轉敞開，使微晶片可 插入於連接至基底框架之接觸器中。 在測S式支撐架之樞轉合I + 懕田 攏狀恕中’按壓構件將微晶片按 壓至接觸益中用於微晶片的被中央 、力D包圍或封圍的插座 139678.doc 201003094 内。此情況下，特定地對於「 π 士 士 曰 、加哥命（burn-in)測試」， 由於微s日片之不均勻裝载 .^ s V致曲解之加溫壽命測試結果 或甚至破壞微晶片，因而右 哭中。 U而有必要將微晶片均勻按壓至接觸 當產製及維護已知之測試支 又牙木時，因此有必要確保當 測試支撐架樞轉合攏時，按壓 钕壓構件之至少壓力體經定向平 行於定位於接觸器中且盥嗜桩 4接觸益接觸的微晶片。 由於不僅測試支撐架而 、 叨且儆日日片、接觸器及印刷電路板 (其機械且電氣地容納接觸哭且 ’ 且可忐連接接觸器與測試支 撐架)皆於產製期間皆經受尺寸變動，所以歸因於尺寸變 動而導致介於微^與㈣構件之間可能未對齊地定位， 因而在將微晶片按壓人接觸器内時由堡力體施加於微晶片 的接觸壓力僅在特殊情況下均勾分佈於整體接觸表面上。 【發明内容】 因此，本發明之目的係提供一種改良之用於微晶片之測 試支撐架，當將微晶片按壓至接觸器之上時，其確保微晶 片之均勻壓力負載。 對於上文所述之測試支撐架，根據本發明達成目的在 於，憑藉一第一傾斜軸承使按壓構件可傾斜地連接至基底 框架’該第一傾斜軸承包括垂直於樞軸延伸之一第一傾斜 抽。 此簡單之措施使得有可能使測試支撐架之按壓構件藉由 繞該第一傾斜軸之補償移動而補償下列各者平行於枢轴延 伸之傾斜度：在與接觸器接觸時的微晶片；接觸器；印刷 I39678.doc 201003094 電路板；或甚至測試支撐架相關於按壓構件本身之傾斜 度，以確保即使上文所述之元件之一傾斜仍然將微晶片均 勻按壓至接觸器中。 根據本發明之解決方案可藉由多種組態而進一步改良， 該等組態自身每一者係有利的並可根據需要彼此組合。此 等組態及相關優點將於下文中觀察。 舉例而言，按壓構件及基底框架可憑藉一鉸鏈銷而可樞 轉地連接一起，該鉸鏈銷之縱軸對齊於樞軸，並因而憑藉 基底框架及按壓構件而形成一可能鉸鏈型軸承。基底框架 及按塵構件：者可包括用於鉸鏈銷之插座。因而易於設計 及產製此測試支撐架。 為了能夠簡單地插入微晶片而穿過接觸器之中央開口， 按壓構件可相對於基底框架繞樞軸樞轉至少9〇。。 基底框架中用於鉸鏈銷之插座可形成於基底框架之一 ，並儘可月b彼此遠離。插座可被塑形以擬合錢鍵銷，以 儘可月b令納鉸鏈銷而無晃動及視需要樞轉。以此方式塑形 插座允許鉸鏈銷精確定位。所以在已安裝狀態中，鉸鏈銷 縱轴對知於樞軸，可沿樞軸配置視需要地旋轉對稱塑形 之安裝座的對稱軸。 提供於—基底框架中之用於较鏈銷之插座可於内側㈣ …得該鉸鏈銷可幾乎無摩擦地繞樞轴旋轉。為此，可 於女裝座之内壁塗數η丨 (1如）一固體潤滑劑，或可憑藉一球 軸承而將鉸鏈銷樞轉連接至插座。 為將基底框架機械地連接至接觸器或連接至支承該接觸 139678.doc 201003094 器之-印刷電路板，基底框架可包括平行於中央開口延伸 的至少兩個開口用於螺絲或暗銷，該基底框架可憑藉該至 少兩個開口’而非可移位地且亦可能導電性地連接至接觸 器或印刷電路板。 若測試支撐架接觸器已安裝於印刷電路板之上，則接觸 器可以位於中央之方式定位於中央開口下#，並至少部分 地突出至用於微晶片之插座中。可在相對於按壓構件之中 央開口的對置端處’於微晶片之插座的中央配置接觸器， 插座可以位於中央之方式配置於中央開口中。可在不需拆 除測試支撐架情形下替換接觸器，例如，假使在維護中。 或者，測試支撐架亦可安裝於接觸器之上。 同樣地’按壓構件之蓋㈣可包括用於鉸鏈銷之至少— 個插座，當按麼構件處於已安裝狀態時，該插座可特定地 配置於基底框架之該等插座間之中央。此插座之直徑可大 於鉸鏈銷之直徑，從而按壓構件亦可地連接至绞鍵銷，以 便可圍繞除樞軸外之其他軸移動。 插座之輪廓可包括一漸縮區域，例如其可包括可垂直於 槐軸而定向之-方形截面。具有用於欽鍵銷之插座之—按 麼構件繞該枢軸及繞一第二移動轴移動的移動性可受限 制。特定地，若當按壓構件樞轉合撤時，該插座之方（ 面之-側大體上平行於基底框架延伸，則第二移動轴 齊於第一傾斜軸。 τ 因此，用於鉸鏈銷之按壓構件之插座可連同該鉸鏈銷， 成至少第-傾斜軸承之部分，其轴承轴可重合於該第: 139678.doc 201003094 斜軸。 為了相對於基底框架沿樞軸固定按壓構件之位置，蓋框 架可匕括至j/兩個限止器（limit stop)，當按壓構件處於已 安裝狀態時，該至少兩個限止器配置於用於蓋框架之狡鍵 銷的插座之每一側上，並大體上支撐在用於基底框架之鉸 鏈銷的插座之相互對置側。料限止器形成於蓋框架上， 其形成方式致使該等限止器允許且同時限制第一傾斜軸承 之傾斜角，即，按壓構件繞第一傾斜轴傾斜。特定地，該 等限止器亦可呈孔之形式，鉸鏈銷穿過孔而延伸，孔内徑 可能大於鉸鏈銷之直徑。 為了亦能補償完全接觸於接觸器之微晶片相對於壓力體 繞平行於樞軸延伸之軸的傾斜位置，蓋框架可經由一第二 傾斜軸承而容納一壓力體，微晶片不僅連同蓋框架一起繞 第一傾斜軸而傾斜，此外亦繞第二傾斜軸而傾斜，微晶片 可對齊於第二傾斜軸承之軸承轴。因此，不僅有可能補償 ;1於導引朝向按壓構件之微晶片之表面與基底框架或按壓 構件之間的兩個傾斜軸之一者的方向延伸的傾斜度之每一 情形，而且同時亦可補償繞傾斜軸之組合傾斜構件中的傾 斜位置。 為了不對微晶片施加一離心負載，當測試支撐架閉合並 裝配有微晶片或係在用於該微晶片之插座中點時，第一傾 斜軸及第二傾斜軸可彼此相交於微晶片之幾何中點。此情 況下’该等傾斜軸可於同一平面中延伸並相交於該點或以 彼此相距一距離行進。該兩個傾斜軸亦可彼此垂直定向， 139678.doc 201003094 使得可平行於該等傾斜軸而均勻地補償相對於面對微晶片 的麼力體側的微晶片之表面傾斜度。當按壓構件處於閉合 狀態時，面對中央開口的壓力體之側可符合微晶片之形 狀以防止你支晶片之點狀裝載（punctiform loading)。 為了使塵力體可繞第二傾斜軸移動，壓力體可傾斜連接 至蓋框架，壓力體之傾斜軸較佳地對齊於第二傾斜軸。為 此，蓋框架及壓力體可憑藉第二傾斜軸承而連接於一起， 5亥第二傾斜軸承可包括至少兩個互相對置之旋轉軸承，該 等旋轉軸承之轴承軸對齊於該第二傾斜轴。 兩個傾斜軸承之各種可包括一至少部分圓柱形之連接 銷。可提供用於該連接銷的銷插座，該等銷插座行進穿過 盍框架之對置側，可將該銷自外部穿過銷插座插入朝向提 供於蓋框架中用以容納壓力體之一開口，並且當插入後， 该連接銷突出進人蓋框架中提供用於壓力體的插座中。該 等肖插座可平行於樞軸沿第二傾斜軸而延伸並自此間隔。 在兩個對置側上，壓力體可包括孔，該等孔亦可呈盲洞 形式，用以各納連接銷。當按壓構件處於已安裝狀態時， 該等孔亦可沿第二傾斜軸延伸。 “ 奋納連接銷之該等孔或銷插座如此塑形以致使其等容納 連接銷’使得連接銷大體上無晃動地旋轉。此方面中，孔 或銷插座之内侧可具有例如_固體潤滑劑或呈球軸承之形 式’使付盍框架以儘可能小之摩擦力繞第二傾斜軸而傾 斜。 、
第一傾斜軸亦可呈一高度調節構件之形式，藉由 139678.doc 201003094 改㈣二傾斜轴承之至少部分之位置，使得當按壓構件處 ;已安放及樞轉合攏狀態時，可改變壓力體距基底框架之 中央開:之對置端的距離。因此，甚至可藉由測試支撐架 使不同雨度之微晶片保持於接觸器中，而不需至少部分 換測試支撐架。 V. 為此’連接銷可包括例如兩個栓釘，該兩個检釘經由例 如垂直其延伸之-保持壓片而牢固連接於一起。該等检釘 可為圓柱形並具有一圓形底部，並可彼此平行並相隔一距 (伸即離心。處於已安裝狀態之第一栓釘之縱轴可 對4於弟二傾斜軸。特定地，該第一检釘可為由塵力體之 者而谷納的栓釘。當按壓構件處於樞人 狀態時，若連接壓片自第—检钉或壓力體检钉本身= 向中央開口之對置側，則屋力體配置於一上部位置。若連 接銷繞提供於蓋框架之鎖插座中之第二栓钉之縱轴而旋轉 18〇，關力體配置於—下部位置，從而更接近於中央開 口之對置側。介於面對中央開口之壓力體之侧與該開口之 對置端之間的距離差取決於平行於此方向佈置之連接屡片 之長度或取決於兩個栓釘之縱軸的間隔。 平行於第二傾斜軸延伸之連接壓片之寬度需要介於壓力 體與蓋框架之間的-充足間隙。若麼力體與蓋框架之間的 間隙需儘可能小，則亦可能不同地塑形連接銷。特定地， 1接銷可係由不同直徑之兩個栓钉所組成。可藉由魔板 :谷納直徑較小之栓釘，此拴釘之縱軸對齊於第二傾斜 轴。 139678.doc 201003094 對於較大之第二拴釘，相應之鎖插座 該第二检釘配置於蓋框架中之方式致使：供於盖框架中。 斜轴平行並相隔一距離延伸之縱軸而旋轉Ύ繞其與第二傾 釘經離心地配置並特定地配置於第 著第一检 修改遷力體之高度位置的摔作模…Τ之邊緣’則用於 直叼探作軼式對應於經 離心連接呈兩個栓釘形式之連接銷 , —的上迷功能。麗力體之 位置之間的差係兩個栓針之縱轴間隔…果。 用於弟二栓釘之插座截面及第二 ^ ^ , 佺釘之截面可具有彼此 身係點對稱，即，例如圓形或方 =因此，連接鎖可以至少兩個預U向而插人於插座 對於連接鎖之簡單安裝，可用彈簧夾使該等連接銷接合 在一起。彈簣夹可為U形並經設計具有指向—方向之兩個 壓片。連接銷可包括用於該等麼片之一者的收納孔，該孔 有可能垂直於由連接銷界定之縱軸的一表面而延伸。 利用彈簧夹，可簡單及均勻插入連接鎖於經提供用於連 接銷之開口。-旦連接鎖已定位於開口中，可將彈菁夹自 提i、用於彈簣失的連接銷中之孔簡單地撤出或使彈菁夹留 在孔中，以便於固定連接銷之位置。 由於連接銷中之用於彈簧爽之孔的定向，若安裝失具經 疋向而大體上平行於由樞軸與第一傾斜軸界定之表面，則 連接銷預先定向於兩個位置，即壓力體之上部安裝位置或 下部安裝位置。 為使按壓構件保持在閉合狀態中，可提供一閉合機件 139678.doc •10· 201003094 (例如一L形閉合槓桿之形式）’閉合機件可旋轉地連接至 樞軸之對置側的基底框架上，並且此側上可包括一突出部 或凸塊，當閉合機件處於樞轉合攏狀態時該突出部或凸塊 可按壓該按壓構件朝向基底框架，藉以使按壓構件處於閉 合狀態並牢固免於非所要敞開.閉合機件可按壓該按壓構 件朝向基底框架並特定地相對於第一傾斜軸對稱，使避免 較大微晶片負載在第—傾斜轴之—側上成為可能。該基底
框架可包括-用於槓桿之鈎器件，使得槓桿可固定於按壓 该按壓構件朝向基底框架之位置。 、:藉由閉合槓桿之彈性、幾何組態，或確實藉由釣器件 或蓋框架之組態’而聽決定對於微日日日片之_特定接觸壓 力。可藉由調適第二傾斜軸承或藉由用(例如)不同幾何形 狀或不同材料取代閉合槓桿而改變接觸壓力。此方式下， 可藉由改變彈性係數及，或彈簧衝程來調適接觸壓二以適 於各別微晶片之要求。 為了韻即使突出部支撐在蓋框架之朝向遠離基底框架 之側’蓋框架仍然可繞第-傾斜軸而傾斜，可於蓋 5亥側上提供—軸承’閉合槓桿之突出部支擇在該軸承二該 閉合槓桿且憑藉該轴承而使接觸壓力引人於蓋框架中。 幻如。亥軸承可呈一具有圓基底之圓柱之形式，其縱轴 對齊於第-傾斜軸。該圓柱可平行於其縱轴而被㈣，且 出現之截面可支樓在蓋框架之上。部分突出部之部分(其 ^撐在轴承上之方式致使處於樞轉合攏或閉合狀態之按壓 件可繞第一傾斜軸而傾斜)可符合軸承之形狀並且經特 139678.doc 201003094 定地塑形為至少部分互補。因此，在此組態中，軸承呈滑 動轴承（plain bearing)之形式。 :較簡單之實施例中’軸承呈例如具有三角形基底之圓 柱形式肖軸承之縱轴可平行於第一傾斜袖而延伸。特定 也形成圓柱基底之二角形頂點（指向遠離基底框架）可對 齊於第-傾斜軸。該軸承亦可為金字塔形，其頂點支撐在 第一傾斜轴之上。 蓋框架之軸承表面亦可為平坦，且軸承可配置於導引朝 向蓋框架之突出部之側上。 特定地，軸承之軸承軸可對齊於第一傾斜軸。 下文藉由憑藉例示性實施例及參照附圖之舉例之方式而 解釋本發明。> 已參照個別有利之組態而解釋，可相互獨 立組合該等實施例之多種特徵。 【實施方式】 賞先，將參考圖〗之例示性實施例而描述根據本發明之 一基底框架1之結構及功能。圖丨繪示該基底框架丨之平面 圖A及側視圖S。自平面圖a可清晰看出，基底框架丨具有 大體上矩形之輪廓。該基底框架丨展現一中央開口 2，中央 開口 2封圍用於微晶片之一插座，微晶片穿過插座而插入 於一電接觸器（圖中未繪示）中。自側視圖s明顯看出，中 央開口 2係形成為穿過基底框架1而之一孔洞。 圖中繪示在基底框架1之一個側3處有兩個插座4、5，插 座4、5係將基底框架丨連接至一按壓構件6(圖中未繪示）的 一樞軸軸承Bf之組件。自側視圖S明顯看出，插座4、5形 139678.doc -12- 201003094 成^側3之外部區域中（即，在對置端處），並且往高度方向 h大出超過基底框架1。介於插座4、5之間提供一凹部7, 形成樞軸軸承Bf之進一步組件的按壓構件6之一部分可插 於凹部7中。繞一樞轉軸F(圖中繪示為點虛線）相對於基底 框架1而樞轉敞開或合攏按壓構件6。 樞轉軸F與一第一傾斜轴τ丨（圖中繪示為點虛線）被繪示 為彼此垂直地配置。 基底框架1可包括平行於中央開口延伸的至少兩個孔 洞，可藉由螺絲或暗銷經由該至少兩個孔洞將基底框架丄 非可移位地連接至印刷電路板或用於容納微晶片之接觸 〇〇田基底框架安裝於印刷電路板（印刷電路板可裝備有 接觸器）上或安裝於接觸器上時，接觸器可以位於中央開 口 2或用於微晶片之插座下方，並至少部分地突出至中央 開口 2中。可用於微晶片之插座將微晶片插入於接觸器 中。 圖2繪示根據本發明之測試支撐架H的進一步例示性實施 例，對於相對應於圖丨之例示性實施例之元件的功能及結 構的元件亦使用相同元件符號。為簡短起見，僅著眼於不 同於圖1之例示性實施例之處。 按壓構件6包括一蓋框架1〇，蓋框架1〇備有一轴承9,圖 2亦繪示蓋框架1〇之平面圖A及侧視圖s。蓋框架1〇包括用 於谷納一壓力體11之一開口丨2(圖中未繪示）。開口丨2繪示 為垂直於蓋框架10之主要面延伸穿過蓋框架1〇之孔洞，但是 孔洞可在接近於遠離安裝狀態之基底框架1之側處閉合。 139678.doc • 13 · 201003094 在平面圖A中，軸承9沿高度方向h延伸時，其軸承軸平 行於第一傾斜軸T丨延伸並至少部分重疊於第一傾斜軸丁工。 特定地，該軸承可經組態以致使當已樞轉合攏按壓構件6 時’該軸承允許處於已安裝狀態之蓋框架1〇傾斜。 在—個側13(對置於提供軸承9之側）之外部區域中，綠 示兩個孔14、16及配置於孔14、16之間的一插座15，其中 至少插座15連同基底框架丨之插座4、5及一鉸鏈銷17(圖中 未繪示）形成樞軸軸承Bf。孔14、16及插座15沿樞轉軸1?延 伸，孔14、1 6及插座1 5之中點位於樞轉軸ρ上。孔丨4、i 6 之直控大於基底框架1之插座4、5直徑，孔14、16之直徑 經設計以擬合鉸鏈銷1 7。定位於孔丨4、1 6間之中央的插座 1 5包括一漸縮區域1 8 ’漸縮區域1 8連同鉸鏈鎖1 7係一第一 傾斜軸承Btl之部分，第一傾斜軸承Bt丨之軸承軸對齊於第 一傾斜軸τι。直徑大於鉸鏈銷17的孔14、16充當第一傾斜 軸承Bt 1之限止态，其等限制繞第一傾斜軸τ 1之一可能傾 斜角。 於盍框架10中提供平行於孔14、16之兩個銷插座19、 2 0 ’以谷納連接鎖2 1 (圖中未繪示）。旋轉對稱孔洞19、2 〇 之縱軸對齊於一第二傾斜軸Τ2，第二傾斜軸T2以距樞轉軸 F之一距離d垂直於第—傾斜軸T1延伸。插座〗9、2〇具有大 體上相同之直控’此粗略對應於此區域中之連接銷2丨之直 徑’藉以該連接銷可儘可能少許晃動地旋轉引入於開口 1 9、2 0中。若連接銷2 1不具有旋轉對稱或圓形斷面，則插 座19、20可具有不同之形狀並特定地互補於連接銷21之戴 139678.doc •14- 201003094 面。連接銷21與銷插座19、20相互作用以形成一第二傾斜 軸承Bt2之部分。 圖3繪示一第三例示性實施例，對於相對應於圖1或圖2 之例示性實施例之元件的功能及結構的元件亦使用相同元 件符號。為簡短起見，僅著眼於不同於先前例示性實施例 間之處。 圖3繪示壓力體11之平面圖A及側視圖S。於此圖中，— 完全圓柱狀之壓力體11包括一大體上方形基底，然而亦可 具有不同於微晶片之形狀並特定地為矩形。在兩個彼此對 置側之區域中，在中央提供兩個孔22及23以用於在每—情 形中部分地收納一連接銷21。當壓力體處於已安裝狀態 時，孔22、23之縱轴對齊於第二傾斜軸，孔22、23連同連 接銷21及蓋框架1〇之插座19、20形成第二傾斜軸承Bt2， 壓力體11憑藉第二傾斜軸承Bt2安裝於蓋框架1〇中，致使 可相對於蓋框架1 〇繞第二傾斜轴T2傾斜。 圖4繪示一第四例示性實施例，對於相對應於先前圖式 之例示性實施例之元件的功能及結構的元件亦使用相同元 件付號。為間短起見，僅著眼於不同於先前例示性實施例 間之處。 圖4繪示鉸鏈銷17之平面圖a及側視圖S。處於已安裝狀 態之叙鏈銷17之縱軸對齊於樞轉軸F，此圖中所示之鉸鏈 鎖1 7係圓柱狀且具有圓形基底。鉸鏈銷丨7之末端可例如包 括容納分開之銷之孔，當鉸鏈銷丨7處於已安裝狀態時，該等 分開之銷其防止或限制绞鏈銷〗7往樞轉轴F方向之位移。 139678.doc -15- 201003094 圖5至7繪示根據本發明之連接銷2 1的三個例示性實施 例，對於相對應於先前圖式之例示性實施例之元件的功能 及結構的元件亦使用相同元件符號。為簡短起見，僅著眼 於不同於先前例示性實施例間之處。 圖5繪示連接銷21之平面圖a及側視圖s。自側視圖明顯 看出，連接銷21具有一圓形基底。平面圖繪示連接銷以係 圓柱組態。於已安裝狀態中，連接銷2 1之縱軸對齊於第二 傾斜軸。 圖6中，連接銷2 1包括彼此平行並相隔一距離延伸之兩 個栓釘，該兩個栓釘牢固連接於一起。如圖6中之平面圖 所示，處於已安裝狀態之一第一（於此圖中較短之）栓釘Μ 的縱軸對齊於第二傾斜軸T2。牢固連接栓釘24與平行於栓 釘24延伸之較長栓釘25的一壓片％垂直於第二栓釘乃之縱 軸R及柽釘24之第二傾斜軸Τ2延伸。處於已安裝狀態之連 接銷21a係可旋轉地容納於蓋框架1〇之插座19、2〇中之一 者中’並係高度調節構件之部分。栓釘24、25往相反方向 K申並J藉連接堡片26在每—情況中於其—端處連接於一 起。自圖6之側視圖明確看出，第一栓釘24及第二栓釘 具有圓形基底。 圖7.會示兩項進一步例示性實施例之連接銷21匕、2 1匕，， 連接銷21b、21b同樣包括—第—栓釘27及—第二栓釘28。 相車又於第一检釘27 ’此圖中所示之該第二栓釘28具有一明 貝較大之直€。自側視圖s明顯看出，此圖巾所示之該兩 個釘包括圓形基底。然而，第二栓釘28之基底可特定地 139678.doc -16 · 201003094 亦具有例如四邊形之不同形狀，前提係第二栓釘28之基底 本身係點對稱的。 •在連接銷21b ' 21b’之已安裝狀態中’第一栓釘27之縱 " 軸對齊於第二傾斜軸T2。第二栓釘28之縱軸R平行於第一 栓釘27之縱軸延伸並且與第一栓釘27之縱軸相距一距離。 在本文所示之例示性實施例中，第一栓釘及第二栓釘在每 f月况中在一端面處連接於一起，且離心地配置第一栓釘 27，致使第一栓釘27置於栓釘28之周邊區域。在例示性實 ( 施例所示的該連接銷21b中，第一栓釘27特定地配置於第 二栓釘28之上部區域。 不同於連接銷21b，連接銷21b，繞縱R軸旋轉18〇。，使得 當前所繪示之第一栓釘27係處於第二栓釘28之一下部區 域’從而繪示高度調整構件之原理。 圖8綠示一 $一步之例示性實施你J，對於相對應於先前 圖式之例示性實施例之元件的功能及結構的元件亦使用相 f 肖兀件符號。為簡短起見，僅著眼於不同於先前例示性實 I 施例間之處。 A於此圖中，在側視圖S中緣示處於已安裝、樞轉敞開狀 態之測式支撐架Η之基底框架！及按壓構件6。按壓構件6包 括具有軸承9之蓋框架10’該蓋框架可憑藉提供於插座 19 20 22、23中之連接销21b，而可旋轉地連接至麼力體 11。該按壓構件6相對於基底框架1而繞樞轉軸F樞轉敞開 大於90。尤其’處於閉合狀態的按壓構件6支撐在軸承9 之上，並可繞對齊於轴承9之軸承軸的第-傾斜㈣而傾 139678.doc •17- 201003094 斜，直至文限於孔丨4、丨6的繞第一傾斜軸τ丨之一最大傾斜 角。 此圖中未繪示第二傾斜軸T2，但第二傾斜軸T2垂直於第 傾斜轴T1並沿連接銷2丨b之栓釘2 7之縱軸而延伸。壓力 體11可繞第二傾斜軸T2傾斜。 圖9繪示一進一步之例示性實施例，對於相對應於先前 圖式之例不性實施例之元件的功能及結構的元件亦使用相 同元件符號。為簡短起見，僅著眼於不同於先前例示性實 施例間之處。 於此圖中，已安裝之測試支撐架H在平面圖A中係繪示 為處於枢轉合攏狀態。基底框架丨係繪示為藉由鉸鏈銷i 7 而連接到按壓構件6之蓋框架10。鉸鏈銷17之縱軸及插座 或孔4、14、15、10、5之縱軸對齊於枢轉軸F，按壓構件6 可繞樞轉軸F而樞轉離開影像平面。於此圖中顯而易見， 蓋框架10之孔14、16之直徑大於行進穿過孔14、16之鉸鏈 銷1 7之直徑。另一方面，基底框架】之插座4、5經組態以 擬合鉸鏈銷17，並引導鉸鏈銷17致使鉸鏈銷17係可大體上 無晃動地旋轉。蓋框架10之中間插座15之輪廓包括具有一 直徑之一錐形，該錐形至少往垂直於鉸鏈銷之一方向延 伸，其直徑粗咯地對應於鉸鏈銷17之直徑。此直徑中點位 於第一傾斜軸T1之上。 插座4、15、5之内壁可塗敷一固體潤滑劑，或例如徑向 球軸承亦可提供於插座4、15、5内，該徑向球軸承允許易 於旋轉鉸鏈銷17或易於樞轉敞開及合攏按壓構件6。 139678.doc •18· 201003094 因而，蓋框架10與鉸鏈銷17之連接方式致使可繞垂直於 鉸鏈銷17延伸之第一傾斜軸T1傾斜。蓋框架1〇之傾斜範圍 受限於孔14、1 6。 在處於已安裝、樞轉合攏狀態之按壓構件6中，軸承9配 置於朝向遠離基底框架1的蓋框架1〇之一側上並且朝向遠 離基底框架1或遠離蓋框架10。 所示之壓力體11插入並穿過蓋框架1〇之插座或開口 12。 壓力體11憑藉兩個連接銷21連接至蓋框架1 〇之方式致使可 繞垂直於第一傾斜軸T1延伸的第二傾斜軸丁2而傾斜，該等 連接銷穿過蓋框架1〇中之銷插座19、20而插入於壓力體11 中之孔22、23内。 圖1〇繪示進一步之例示性實施例，對於相對應於先前圖 式之例不性實施例之元件的功能及結構的元件亦使用相同 兀件符號。為簡短起見，僅著眼於不同於先前例示性實施 例間之處。 於此圖中，連接銷21b包括垂直於由該等銷界定之一藉 平面E延伸之孔29。平面e沿第二傾斜軸T2垂直於圖式平 面而延伸。指向一大體上U形彈簧夾31之方向κ的兩個壓 片30中之—者被插入兩個連接銷21b中之各孔29中。 於此圖中，孔29及壓片3〇兩者係圓形截面。然而，孔Μ 及壓片30之截面亦可具有不同形狀’並且特定地彼此互補 及呈點對稱。此方式下，若检釘27經導引而沿第二傾斜轴 T2朝向彼此，則一連接銷21b可置於壓片％上至少兩個不 同位置。 139678.doc •19· 201003094 女裂於彈簧夾31上之連接銷2ib可易於安裝及再次移 除。 圖11繪不進一步例示性實施例’對於相對應於先前圖式 之例不性貫施例之元件的功能及結構的元件亦使用相同元 件符號。為簡短起見，僅著眼於不同於先前例示性實施例 間之處。 於此圖中，在平面圖A繪示處於樞轉合攏狀態之測試支 撐架Η。蓋框架1〇支撐在基底框架丨之上，並被一閉合機件 V朝向該基底框架按壓而因此保持一樞轉合攏位置。 該閉合機件V包括兩個支撐眼孔32、33，該兩個支撐眼 孔32、33在相對於樞轉軸之對置側的外部相互對置區域中 連同在該側上的基底框架形成單件。支撐眼孔32、33包括 平行於樞轉軸F延伸之開口，其可旋轉地容納一閉合槓 柃。介於該等支撐眼孔32、33之間的閉合槓桿35包括一突 出部36,突出部36經組態成相對於第—傾斜軸以呈對稱， 以使按壓蓋框架1 〇朝向基
並因此不再按壓蓋框架1〇朝向基底框架！ §亥突出部配置於蓋框架丨〇之上， 底框架1。相對於在支撐眼孔32 35的部分成直角，一致動槓 139678.doc •20· 201003094 由閉合槓桿35及按壓蓋框架1〇朝 2sg ± 利Π丞底框架1所施加之 彈性接㈣力可適用於每一情況中待測試微晶片之需求。 :列如，可藉由改變爽耳37之位置、突出部乂之大小及/或 相對於致動元件35,之定向，或藉由 楮田調整弟二傾斜軸承，來 調適接觸壓力。閉合槓桿之35突 什大出部36按壓於軸承9之邊 ί =38之上，該邊緣決定軸承9之轴承軸並平行於第一傾 斜軸T1延伸。於此圖中，軸承9呈現圓柱及三角基底之形 式，其縱轴平行於第一傾斜軸T1延伸，形成基底之三角形 之一侧平整地支撐在蓋框架1〇之側上並朝向遠離基底框架 1土亦可不同地組態轴承9，例如金字塔形狀，其頂點指向 遠離蓋框架1 0，頂點4 ..4於所不之平面圖中之第一傾斜軸T1 上。 “由於此大出部36與軸承9按壓連接，朝向基底框架丨按壓 “私木10盍框架1〇保持可繞第一傾斜軸T1傾斜。此方式 下，使按壓構件6處於閉合以防非所要敞開。 【圓式簡單說明】 圖ί、.’s不根據本發明第一例示性實施例之測試支撐架之 基底框架的略圖； 圖2、’s不本發明之第二例示性實施例之蓋框架的略圖； 圖3繪示根據本發明之第三例示性實施例之壓力體的略 圖； 圖4、.曰不本發明之一圓柱形鉸鏈銷的略圖； 圖5繪不根據本發明進一步例示性實施例之測試支撐架 之連接銷的略圖； 139678.doc •21 · 201003094 。圖6係根據本發明進一步例示性實施例之連接銷的略 *，其與第一例示性實施例不同處在於具有兩個栓釘； 圖7係根據本發明第三例示性實施例之連接銷的略圖； 圖8係根據本發明之測試支撐架的側視略圖； 圖9係根據本發明之測試支撐架的平面略圖； 圖1 〇繪示根據本發明進一步例示性實施例之測試支撐架 之彈簀夾的略圖；及 圖11繪示根據本發明之測試支撐架之閉合機件之的平面 略圖。 【主要元件符號說明】 1 基底框架 2 中央開口 3, 13 側 4, 5, 15 插座 6 按壓構件 7 凹部 9 轴承 10 蓋框架 6, 11 塵力體 12 開口 14, 16, 22, 23 子L 17 鉸鏈鎖 18 漸縮區域 19, 20 銷插座/孔洞 139678.doc •22- 201003094
21 連接銷 24, 27 第一检釘 25, 28 第二栓釘 26, 30 壓片 31 彈簣夾 32, 33 支撐眼孔 35 閉合槓桿 35 ' 起動槓桿 36 突出部 37 夾耳 38 邊緣 Bf 樞軸軸承 Btl 第一枢轴轴承 Bt2 第二枢轴轴承 F 柩轉軸 H 測試支撐架 0 相對端 S 側視圖 T1 第一傾斜軸 T2 第二傾斜軸 139678.doc •23-