TW200952190A - Conductive paste and grid electrode for silicon solar cells - Google Patents

Description

200952190 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種用於太陽能電池之導電性糊料，且更 特定言之，本發明係關於一種用以形成矽太陽能電池之柵 極之導電性糊料。 【先前技術】 銀糊料係廣泛用作在矽太陽能電池中使用之電極糊料， 因為用於太陽能電池之電極糊料需具有低電阻以利於改良 效率。 在矽太陽能電池之情況中，其中電極係形成於兩側上， 光接收側糊料通常含有呈銀、黏合劑、玻璃粉及溶劑形式 之導電性微粒作為基本組分（例如，參見日本專利申請公 開案第2006-295 197號）。銀係通常用作太陽能電池之拇極 的金屬粉末。在曰本專利申請公開案第2〇〇6_295197號

..................之群的金屬微

〜，κ川况▼八燃燒基板為晶質矽之

中同時燃燒若干太陽能電池。然 ，吾人期望在大型燃燒爐 而，某種程度之溫度變化 138803.doc 200952190 可發生在燃燒爐中，其負面地影響太陽能電池轉換效率。 當電極糊料係用於陶瓷基板時，燃燒溫度之變化程度僅略 微影響線路電阻。然而，在太陽能電池中，變化係與轉換 效率直接相關之要t ’其係、有關太陽能電池之口。〇質的關鍵 因素，並且甚至些微減少將受歡迎。 當使用現用之電極糊料時，在燃燒條件中存在約3〇〇c之 變化’其根據轉換效率而言被認為係適合的。纟此溫度範 圍之外，轉換效率突然降I。太陽能電池之轉I效率視燃 燒灌度範圍而疋之一個原因係在電極與太陽能電池基板間 之良好電連接發生在特定溫度範圍内， 適合燃燒溫度範圍之外時，無法獲得此—良好=== 用大型燃燒爐時，需要窄溫度範圍係導致較低產率。適合 燃燒概度之更擴大範圍將適於大型燃燒配置及使用小型燃 燒爐之處。 … 【發明内容】 本發月擴大晶質矽太陽能電池中栅極的燃燒溫度範圍。 在本發明中，除銀之使用外，添加特殊金屬以作為金屬導 體。此等特殊金屬可以金屬微粒、合金微粒之形式使用， 或作為電鍵或類似物之塗層等。 在本發明中，特殊金屬之添加使燃燒溫度範圍可擴大， 在^燃燒溫度範圍中可在該等電極與太陽能電'池基板之間 獲：良好電連接。因此可在比過去可能範圍更寬之燃燒溫 度範圍内獲得具有高轉化效率之太陽能電池。 特疋&之，本發明係一種用於太陽能電池中之柵極的導 138803.doc 200952190 電性糊料，其包括導電性組分、玻璃粉及樹脂黏合劑，其 中該導電性組分係選自由下列組成之群：（i)銀微粒及選自 由鈀'銥、鉑、釕、鈦、及鈷組成之群的金屬微粒；（ii) 合金微粒，其等包括銀及選自由鈀、銥、鉑、釕、鈦及钻 組成之群的金屬；及（iu)銀微粒及内核-外殼微粒，其中選 自由把、銥、鉑、釕、鈦及始組成之群的金屬係塗布在銀 或銅之表面上。 本發明亦係有關一種使用上述糊料生產太陽能電池電極 之方法，且本發明係關於使用該糊料所形成之太陽能電池 電極。 可在寬溫度範圍内使用本發明糊料並且其係適於在大型 燃燒爐中大量生產。 【實施方式】 本發明係一種用於太陽能電池之柵極的導電性糊料，其 包括如下所述之（A)導電性組分；（B)玻璃粉；及（C)樹脂黏 合劑。 (A)導電性組分 在本發明中，可使用下列各物作為導電性組分：⑴銀微 粒及特殊金屬微粒之混合物；（Η)銀及特殊金屬之合金微 粒，或（iii)表面塗布有銀及特殊金屬之金屬微粒。 使用何種形式將根據導電性、可用性、穩定性、成本及 類似因素之考慮而決定。銀係金屬中具有較低電阻之金 屬並且不考慮較低導體電阻，所添加之金屬粉末的絕對 罝杈佳的是較低。預期添加合金粉末或塗布粉末至糊料中 138803.doc 200952190 可導致較低電阻及較好電接觸。 組合使用銀微粒與特殊金屬微粒之實施例係描述於下文 中〇 銀（Ag)微粒係用作一導電性金屬。銀微粒可呈薄片、球 體之形狀或可為無定形。雖然對銀微粒之微粒直徑無特殊 限制’但根據在用作普通導電性糊料之情況中的技術影響 之觀點，微粒直徑對銀之燃燒特性有影響（例如，具有大 微粒直徑之銀微粒係以比具有小微粒直徑之銀微粒更慢之 速率燃燒）。因此，雖然微粒直徑（d5〇)較佳是在〇丨至1〇 〇 μιη範圍内，但事貫上所使用之銀微粒的微粒直徑係根據 燃燒模式而決定。此外，銀微粒必須具有適合於施加導電 性糊料之方法（例如網版印刷）的微粒直徑。在本發明中， 兩種或更多類型之具有不同微粒直徑之銀微粒可以混合物 形式使用。 較佳係，銀具有高純度（大於99%)。然而，視電極圖案 之電力需求而定，可使用較低純度之物質。 雖然對銀含量無任何特殊限制，只要其為—允許達成本 發明目的之量，在銀微粒之情況中’銀含量較佳是基於糊 料重量之40至90重量％。 欲添加之額外金屬係選自由pd(鈀）、Ir(銥）、pt(舶）、

Ru(舒）、τκ鈦）及co(銘）組成之群。可組合使用兩種或多 種此等金屬。較佳的是’根據太陽能電池所需要之高 使用Pd。 添加上述特殊金屬微粒將允許擴大燃燒溫度範圍。即， 138803.doc 200952190 可獲得具有高轉換效率之太陽能電池，不管燃燒爐中之一 些溫度變化。亦可獲得具有高轉換效率之太陽能電池，不 管由於燃燒爐之控制不佳而與目標燃燒溫度有偏差。蓉於 太陽能電池之大量製造的穩定發展，諸如上述之作用在實 際製造方法中可認為係極其重要的。 當添加金屬，諸如把時，吾人預期所添加之金屬與存在於 基板中之矽將反應，於電極與矽基板之間的介面中形成一稱 ^ 為矽化物之合金層。此合金層可具有降低接觸電阻之作用。 此外，在產生最大轉換交換之燃燒溫度中，鋁（在反面 上之電極材料）與矽（基板材料）之合金化傾向在太陽能電池 之反面上產生小珠形式的凸出物。習慣上必要在較不可能 產生小珠形式之凸出物的較低溫度下燃燒材料以便控制此 等小珠之形成。此問題亦可在本發明中被克服。 特殊金屬之量較佳係基於糊料之重量在〇 〇1至1〇 ”％之 範圍内以及其中所含任何範圍，且較佳的是〇〇5至5 wt%。 ❹ 右特殊金屬的量過低，則本發明之優點將變小。此外，若 特殊金屬之量過高，則導體電阻增加，可燃性降低且成本 增加。然而，欲添加之特殊金屬價廉，且若傳導線電阻足 夠低，則可添加較大量。 -特殊金屬微粒之平均微粒直徑（PSD D5〇)較佳係〇1至2〇 μπι。 銀可經特殊金屬微粒合金化，如以下描述。 特殊金屬係選自由Pd(鈀）、Ir(銥）、Pt(鉑）、Ru(釕）、 Ti(鈦）及Co(鈷）組成之群。可組合使用兩種或多種金屬。 138803.doc 200952190 較佳係根據所獲得之太陽能電池之高效率使用pd。 合金之合金比例不受特別限制。在合金中不同金屬的量 係由許多因素決定。例如，銀與鈀趨向於不管二者摻合比 例地合金化1絲比銀更昂貴，根據成本觀點，以較低 鈀含量為較佳。可使用wt%pd較佳為丨至儿。/。之間更佳在 5至20%之間的Ag:Pd合金。 可藉由在此項技術中已知之方法生產本發明之合金。亦 可使用市售合金。 〇金3量較佳係基於糊料總重量之〇 〇丨至2〇 Μ%，較佳 是0.05至10 wt%。若特殊金屬量過低，則本發明之優點變 小。此外，若特殊金屬之量過高，則導體電阻增加，可燃 性降低且成本增加。 合金之平均微粒直徑（PSD D5〇)較佳是〇丨至^ PM Ο X射線繞射將可能決定導電性粉末為合金或為兩種或多 種金屬之混合物。例如，在Ag/Pd之情況下當Ag與Pd未 合金化時，將分別觀察Ag之峰值特徵與Pd之峰值特徵。另 一方面，當合金化時，視八§與1>(1之比例而定，將在應存在 之Ag峰值處與應存在之以峰值處之間觀察到合金峰值。 在實細*例中，除了銀微粒之外，使用内核-外殼微 粒。内核-外殼微粒係選自由鈀、銥、鉑 '釕、鈦與鈷組 成之群之特殊金屬塗布在銀或銅之表面上之微粒。 内核-外殼結構之比例不受限制。根據由此實施例所引 起之足夠影響’表面金屬可較少，例如低至導電性粉末之 1 vol。/。。上限不受限制，但較佳是保持在最小值以降低由 138803.doc 200952190 表面金屬所引起之材料成本。 本發明之導電性粉末可由内核_外殼材料之習知方法所 製成。可使用市售粉末。 導電性粉末之形狀不受特別限制，並且可為球狀微粒或 薄片（桿、圓錐體或板）之形式。

内核-外殼微粒之含量較佳是基於糊料之總重量之〇 至 20 wt%，較佳是0.05至10 wt%。若内核·外殼微粒之量過 低’則本發明之優點變小。此外，若内核·外殼微粒之量 過高’則導體電阻增加，可燃性降低且成本增加。然而， 若特殊金屬廉價，則可添加較大量。 内核-外殼微粒之平均微粒直徑（PSD D50)較佳是〇· i至20 μπι。此處’平均微粒直徑（psD D5〇)意指當製備粒徑分佈 微粒直钇對應於微粒數目之總和值的5〇%。可使用市 售測ΐ裝置諸bMicr〇trac^xi〇〇製備粒徑分佈。 如上文所提及’本發明之特徵在於銀與其他特殊金屬一 ，使用+排除添加不包含在銀之概念也不在特殊金屬名 單中的第—導電性微粒。然而，第三導電性微粒之含量較 佳是小於基於糊料重量之2”％。 (B)玻璃粉 本發月之導電性糊料較佳是含有玻璃粉形式之無機黏合 劑0 為玻璃粉之化學成分在本發明中係不重要的，所以可 使用任何破璁金V，〇 Λ & 〃要其係用於電子材料之導電性糊料中 之玻璃粉。你丨 較隹係使用硼矽酸鉛玻璃。根據軟化點 138803.doc 200952190 範圍及玻璃黏著力 越的材料。此外， 璃。 的觀點，卿酸*麵在本發明中係優 亦可使用無錯玻璃，諸如石夕⑽無錯玻 雖然對無機點合劑 允畔會斑里…、任仃特別限制，只要其為一 、 目的之量，但其為基於糊料之重量的〇5 至15^量％ ’並且較佳是U至HU)重量％。若無機黏合 劑的里小於0.5重量％，則膠黏強度可能變 益 .重量/。，則由於浮法玻璃等等， 隨後焊錫步驟 甲產生問題。此外，作為導體之電阻值亦辦 加0 曰 (C)樹脂黏合劑 t發明之導f性糊料含有樹脂黏合劑。在本描述中， 「樹脂黏合劑」之概念包含聚合物及稀釋劑之混合物。因 此有機液體（亦稱為稀釋劑）可包含於樹脂黏合劑中。在 本發明中，含有有機液體之樹脂黏合劑係較佳的，並且在 高黏度情況中，可視需要分別添加有機液體以作為黏度調 節劑。 在本發明中，可使用任何樹脂黏合劑。此等樹脂黏合劑 之實例包3樹爿曰（诸如聚曱基丙稀酸醋）乙基纖維素之松油 溶液、乙二醇單丁醚單醋酸酯溶液或乙基纖維素萜品醇溶 液。在本發明中，乙基纖維素之萜品醇溶液（乙基纖維素 含量：5至50重量％)較佳是用作黏合劑。此外，在本發明 中’不含有聚合物之溶劑，諸如水或有機液體可用作黏度 調節劑。可使用之有機液體之實例包含醇、醇酯（諸如乙 138803.doc •10- 200952190 酸醋或丙酸酯)及結(諸如松油或ϋ品醇)。 之10至50重量 樹脂黏合劑之含量較佳是基於糊料重量 %。 (D)添加劍 可添加或可不添加增㈣丨及/或穩定叙/或其他业型添 加劑至本發明之導電性糊料中。可添加之其他典型添加劑 的實例包含分散劑及黏度調節劑。添加劑之量係視最終所 需導電性糊料之特徵而決定。添加劑之量可由一般熟諸此 技者適當地決定。此外，亦可添加複數種類型的添加劑。 如以下所解釋，本發明之導電性糊料具有在預定範圍内 之黏度。可視需要添加黏度調節劑以給予導電性糊料一適 合黏度。雖然所添加之黏度調節劑之量會視最終導電性糊 料之黏度而變化，但其可由-般熟諳此技者適當地決定。 可視須要藉由使用軋輥混合研磨機或旋轉㈣機及類似 物混合各上述組分以生產本發明之導電性糊料。在使用具 有Br〇〇kfield Η卿度計之#丨4轉軸以及使用多功能杯在】〇 rpm及25°C下測量之情況中，本發明之導電性糊料之黏度 較佳係50至350 PaS。 & (E) 溶劑 可使用之有機溶劑實例包含醇，諸如祐品醇（α_祐品 醇、β-萜品醇等），及酯諸如含有羥基酯（2,2,4_三曱基d 3 戊二醇单異丁酸醋’ 丁基卡必醇乙酸醋等）。 (F) 太陽能電池之製造方法 本發明之太陽能電池之元件的製造係描述如下。 138803.doc 200952190 圖1繪示本發明中太陽能電池元件之戴面結構。圖2 A及 2B亦繪示一關於本發明之電極層組態之實例，其中圖2a 係光接收側（表面），且圖2B係不接收光側（反面）。 半導體基板1係由單晶矽或多晶矽或類似物組成。例 如，該矽基板1含有p型摻雜劑，諸如硼（B)，其具有約〇2 至2.0 Q.cm之電阻。單晶矽基板係由柴可斯基（Cz〇chraiski) 法或類似方法所形成，且多晶矽基板係藉由鑄造或類似方 法所形成。將藉由柴可斯基（Cz〇chralski)法或鑄造所形成 之鑄塊切成約10 cmxl0 (^至2〇 cmx20 cm之尺寸，並且將 其切片成至多500 μηι，且較佳是至多25〇 μπι之厚度以提供 該半導體基板1。 為清潔該半導體1之切片表面，使用微量之]^3〇11或反〇11， 或氫氟酸、氫氟硝酸或類似物蝕刻該表面。 具有降低光學反射率之功能的紋理（粗糙表面）結構接著 較佳是利用乾蝕刻、濕蝕刻或類似技術而在該半導體基板 之表面上形成，其中該表面將作為入射光側（光接收側）。 接著形成一 η型擴散層2。例如，磷（Ρ)較佳是用作用於 生產η型之摻雜元素以提供具有約3〇至3〇〇 Ω/□之薄片電阻 之η+類型。此導致形成具有Ρ型大面積之ρη接面。 *亥擴散層2可形成於該半導體基板或類似物之光接收侧 上，並且可例如藉由下列方法形成：塗布並且熱擴散糊料 形式之Ρ2〇5的塗布及熱擴散法、將氣體形式之p〇cl3(磷醯 氣）用作擴散源之氣相熱擴散法、使p +離子直接擴散之離 子'主入法或類似方法。該擴散層2係形成約0.2至0.5 μπι之 138803.doc 200952190 深度。 另外在不期望擴散之位置所形成的擴散面積可隨後藉 由韻刻而除去。除了在該半導體基之光接收側上，部 分該擴散層2可藉由在該半導體基板匕光接收側上塗布抗 以具有纟氟酸或氫氟酸與石肖酸之混合物#刻該層， 並且接著移除該抗蝕膜的方式而去除。此外當如下所述 '使隸糊料在反面（非光接收侧之側）上形成膽區域4時， 嶋 P型摻雜劑之鋁可以適當濃度擴散至適當深度，因此使得 可忽略已經擴散之淺nS擴散層之作用，並且排除移除反 面上所形成之η型擴散層之任何特殊需求。 接著形成一抗反射層h SiNx薄膜（根據叫队化學計量 法，組成比率（X)存在一些寬容度），Ti〇2薄膜、Si〇2薄 膜、MgO薄膜、ITO薄膜、Sn〇2薄膜、Zn〇薄膜及類似物 可用作该杬反射層3之材料。可根據該半導體材料選擇厚 度，以便造成相對於入射光之適合非反射條件。例如矽基 φ 板之半導體基板1可為約500至1200 A，具有約1.8至2.3之 折射率。 *亥抗反射層3可藉由PECVD、沈積、噴鍍法或類似法所 產生。當無表面電極4係藉由如下所述之穿過火焰方法形 ' 成時，該抗反射層3係使用預定圖案圖案化以形成一表面 電極5。可使用之圖案化方法之實例包含使用諸如抗蝕劑 之遮罩進行蝕刻（濕法或乾法），及遮罩係在形成該抗反射 薄膜3之同時預先形成，並且接著在已經形成該抗反射薄 膜3後移除之方法。另—方面，當使用稱為過火之方法 138803.doc 200952190 時’不需要圖案化’其中用於該表面電極5之導電性糊料 係直接施加在該抗反射薄膜3上並且於其上燃燒以便在該 表面電極4與該擴散層2之間引起電接觸（圖2A)。 接著較佳是形成該BSF層4。此處，該BSF層4係指包括 以问湲度擴散在該半導體基板丨之反面上的p型掺雜劑之區 域，並且具有防止藉由載體再組合所引起之效率降低的功 能。可使用B(硼）及A1(鋁）作為雜質元素，並且可將雜質元 素之濃度增加至高濃度以生產p+類型，藉此允許以如下所 述之反面電極6獲得電阻接觸。 該表面電極5與反面電極6接著係形成於該半導體基板i 之表面及反面上。該等電極係藉由使用普遍塗布方法將用 於本發月中之太能電池元件之導電性糊料塗布於該半導 體基板1之表面上，並且在700。(：至85〇艽之峰值溫度下燃 燒糊料數十秒至數十分鐘以形成電極。該導電性糊料亦較 佳疋基於具有低電阻之銀。 當電極糊料係在大型燃燒爐中燃燒時，本發明係特別重 要的。當使用本發明糊料時，在製造期間產量之下降較 少，不管大型燃燒爐中之溫度變化。特定言之，本發明在 具有至少20 em之運輸帶寬度的燃燒爐中係有效的，並且 在具有至少3G em之運輸帶寬度的燃燒爐巾係更有效。為 善在燃燒方法中之生產率，若干列電池有時係、朝運輸皮 帶之方向S&置及燃燒。在此等情況中，所需皮帶寬度係比 —列寬時’同時亦在燃燒爐中產生較大溫度變化。本發明 之糊料對具有實質溫度變化的燃燒方法係特別有效。 138803.doc 200952190 實例 υ將10份乙基纖維素樹脂添加至9〇份搭品醇中，攪拌 並且溶解混合物約2小時，同時加熱至8(rc，並且接著允 許溶液靜止直至回到室溫，產生一黏合劑溶液。 2)將50份把粉末混人州川之乙基纖維素樹脂溶液 中，並且以三個軋輥揉捏混合物，產生鈀糊料。 3-1)將3份2)之鈀糊料添加至丨〇〇份Dup〇nt之太陽能電池 糊料PVi45(銀糊料）中，並且在一消泡攪拌器中攪拌混合 物至均勻，產生糊料A。 3-2)將50份PV145添加至50份糊料A中，並且在一消泡 擾拌器中攪拌混合物至均勻，產生糊料B。 3-3)將50份PV145添加至5〇份糊料B中並且在一消泡 搜拌器中授拌混合物至均勻，產生糊料c。 3-4)將50份PV145添加至50份糊料C中，並且在一消泡 授拌器中授拌混合物至均勻，產生糊料D。 1 糊料A 糊料B 糊料C 糊料D 糊料E PV145 (Ag糊杜） 100 100 100 100 100 添加Pd的1 1.5 0.75 0.375 0.1875 0 黏合劑溶液 1.5 0.75 0.375 0.1875 0 所传之電極糊料係用於在下列方式中以生產太陽能電 池’接著評估轉換效率。結果係列於表2中。 樣品製備 138803.doc 15- 200952190 製備一抗反射薄膜及用於一太陽能電池之1.5平方英寸 紋理化單晶體矽晶圓。接著藉由網版印刷將DuPont之 PV381塗布於矽晶圓之反面上，並且在烘箱中以150°C /5分 鐘乾燥，在反面上形成一紹電極。 藉由網版印刷將實例與比較實例之糊料塗布於晶圓之光 接收侧並且在烘箱中以150°C /5分鐘乾燥以在表面上形成 柵極。反面A1電極及表面栅極之組態係提供於圖3 A及3B 中以供參考。 燃燒條件 IR加熱帶式爐係在下列條件下用於燃燒。 最大溫度設定：770°C、750°C、740°C、730°C 皮帶速度：270 cm/ min (測量轉換效率之條件） IV測試器：NTC-M-150A，獲自 NPC 條件：AM1.5 ;溫度：25°C ;輻射強度：1000 W/ m2 表2 實例1 實例2 實例3 實例4 比較實例1 糊料 糊料A 糊料B 糊料C 糊料D 糊料E 添加Pd的量 1.5 0.75 0.375 0.1875 0 770〇C 15.1 15.1 15.0 15.0 15.2 750〇C 14.7 14.7 14.4 14.8 14.9 740〇C 14.2 14.2 13.6 13.8 12.9 730〇C 11.9 11.6 11.7 10.2 10.8 表中顯示本發明之糊料在燃燒溫度條件之寬範圍内提供 138803.doc -16- 200952190 更好之轉換效率》換言之，可獲得具有高轉換效率之太陽 能電池，不管燃燒爐中之一些溫度變化。亦獲得具有高轉 換效率之太陽能電池，不管由於燃燒爐之控制不良而引起 與目標燃燒溫度之偏差。 【圖式簡單說明】 圖1繪示本發明中太陽能電池元件之截面結構； 圖2A及2B繪示關於本發明之電極層組態之實例，其中 圖2A係光接收側（表面），且圖2B係不接收光側（反面）；及 圖3 A及3B示意性繪示一實例中所製得反面上之鋁電極7 及表面上之栅極8的組態。 【主要元件符號說明】 1 2 3 4

6 7 8 半導體基板 擴散層 抗反射層 表面電極 表面電極 反面電極 鋁電極 拇極 138803.doc 17·

Claims (1)

1. 200952190 . 七、申請專利範圍： 1. 一種用於太陽能電池中之柵極的導電性糊料該導電性 糊料包括一導電性組分、玻璃粉及樹脂黏合劑，其中 該導電性組分係選自由下列各者組成之群： (I) 銀微粒及選自由鈀、銥、鉑、釕、鈦及鈷組成之群的 ’金屬微粒； (II) 合金微粒’其包括銀及選自由把、銀、鉑、釕、欽及 鈷組成之群的金屬；及 2. (iii)銀微粒及内核-外殼微粒，其中選自由鈀、銥、鉑 釕、鈦及銘·組成之群的金屬係塗布在銀或銅之表面上 如請求項1之用於太陽能電池中之柵極的導電性糊料， 其中該導電性組分係銀微粒及選自由鈀、銥、 邱、4了、 鈦、及姑組成之群的金屬微粒； 3. 如請求項2之用於太陽能電池中之柵極的導電性糊料， 其中該金屬微粒係鈀微粒。 4. 如請求項2之用於太陽能電池中之柵極的導電性翔料， 其中該金屬微粒之含量係基於該糊料之總量的〇 〇1至W wt%。 5. 如請求項1之用於太陽能電池中之柵極的導電性糊料， 其中該導電性組分係合金微粒，其包括銀及選自由绝 銥、鉑、釕、鈦及鈷組成之群的金屬。 6. 如請求項5之用於太陽能電池中之栅極的導電性糊料， 其中該合金微粒係銀-鈀微粒。 7. 如請求項5之用於太陽能電池中之柵極的導電性掏料， 138803.doc 200952190 其中该合金微粒之含量係基於該糊料之總量的〇.〇 1至20 wt%。 8. 如請求項丨之用於太陽能電池中之柵極的導電性糊料， 其中β亥導電性組分係銀微粒及内核-外殼微粒，其中選自 由鈀、銥、鉑、釕、鈦及鈷組成之群的金屬係塗布在銀 或銅之表面上。 9. 如請求項8之用於太陽能電池中之柵極的導電性糊料， 其中该專内核-外殼微粒係銀表面上塗佈有把之微粒。 10·如請求項8之用於在太陽能電池中之栅極的導電性糊 料’其中該等内核-外殼微粒之含量係基於該糊料之總量 的 0·01 至 20 wt%。 11. 一種製造太陽能電池電極之方法，其包括以下步驟： 將根據請求項1之糊料塗布於一半導體基板之光接收 表面之至少部分上，並且燃燒該電極糊料。 12. 如請求項；π之製造太陽能電池電極之方法，其中該燃燒 步驟係在燃燒爐中執行，其中該燃燒爐中之運送皮帶的 寬度為至少20公分。 13. —種形成於日光接收表面上之太陽能電池電極，其包括 作為導電性微粒之：⑴銀微粒及選自由鈀、銥、鉑、 釕、鈦、及鈷組成之群的金屬微粒；（ii)合金微粒，其包 括銀及選自由把、银、鉑、釕、鈦及鈷組成之群的金 屬；及（iii)銀微粒及内核-外殼微粒，其中選自由鈀、 敍、鉑、釕、鈦及敍組成之群的金屬係塗布在銀或銅之 表面上。 138803.doc